CN117098378A - 冷却装置及刻蚀设备 - Google Patents

Abstract

本发明属于刻蚀机技术领域，公开了冷却装置及刻蚀设备，冷却装置的接头组件包括接头机构和安装遮挡机构，接头机构包括分水管和多个管接头，分水管至少一端设有连通冷却供水组件或冷却回水组件的连通口，分水管侧壁开设有多个过水口，管接头固定连接于分水管，其一端连通过水口，另一端连通待冷却设备的进水管路或回水管路，分水管包括主管体和避让段，避让段管径小于主管体管径；安装遮挡机构的安装件连接分水管，安装件设置于待冷却设备，遮挡件设于待冷却设备和接头机构之间以隔离接头机构。本发明的冷却装置能分别连通进水管路或回水管路，独立布置在待冷却设备的不同位置，占用空间小，便于检漏维护，安全性好，避免渗漏危险影响刻蚀设备。

Description

冷却装置及刻蚀设备

技术领域

本发明涉及刻蚀机技术领域，尤其涉及一种冷却装置及刻蚀设备。

背景技术

刻蚀机是一种用于制作电路板、印刷电子元器件的设备，通过化学或者物理的方法来加工材料表面，从而形成设定图案。刻蚀机在工作过程中会产生大量热量，需要工艺冷却水系统（PCW，Process Cooling Water）进行冷却散热。刻蚀机具有多个工作模块，需要多个不同的冷却循环水路，现有的刻蚀机一般将工艺冷却水系统的主机放置在机架底部，多个冷却循环水路的进水接头和出水接头汇集在主机内，主机占用刻蚀机内部较大的空间，不利于刻蚀机内部结构紧凑的排布要求，而且，长时间运行之后工艺冷却水系统有渗漏危险，容易波及刻蚀机的内部结构，进而引起刻蚀机工作故障；除此之外，冷却循环水路的进水接头、出水接头、进水管路和出水管路布置在一起，给工艺冷却水系统的检漏维护带来困难。

发明内容

本发明的第一个目的在于提供冷却装置，其具有的两组接头组件能够分别连通进水管路或者回水管路，分开进行连接安装，独立布置在待冷却设备的不同位置，占用空间较小，便于检漏维护，且安全性好，避免渗漏危险影响待冷却设备的正常工作。

本发明的第二个目的在于提供刻蚀设备，内部结构紧凑，空间布置不受冷却装置影响，工作安全可靠。

为达此目的，本发明第一方面采用以下技术方案：

提供冷却装置，包括接头组件，所述接头组件设置有两组，两组所述接头组件间隔设置于待冷却设备上，所述冷却装置还包括冷却供水组件和冷却回水组件，两组所述接头组件分别连接所述冷却供水组件和所述冷却回水组件；

所述接头组件包括：

接头机构，包括分水管和多个管接头，所述分水管的至少一端设置有连通口，所述连通口连通所述冷却供水组件或者所述冷却回水组件，所述分水管的侧壁开设有多个过水口，所述管接头固定连接于所述分水管，所述管接头的一端连通所述过水口，另一端连通待冷却设备的进水管路或者回水管路，所述分水管包括主管体和避让段，所述避让段的管径小于所述主管体的管径；

安装遮挡机构，所述安装遮挡机构包括安装件和遮挡件，所述安装件固定连接于所述分水管，所述安装件能够连接于所述待冷却设备，所述遮挡件设置于所述待冷却设备和所述接头机构之间以隔离所述接头机构和所述待冷却设备，所述安装件和所述遮挡件之间呈第一夹角设置。

作为本发明的一种优选结构，所述安装件和所述遮挡件可拆卸连接。

作为本发明的一种优选结构，所述第一夹角的角度可调。

作为本发明的一种优选结构，所述遮挡件包括依次可拆卸连接的多个遮挡板，多个所述遮挡板沿所述进水管路或者所述回水管路的长度方向延伸设置，相邻所述遮挡板之间呈第二夹角设置，以使所述遮挡板贴合所述进水管路或者所述回水管路。

作为本发明的一种优选结构，所述第二夹角的角度可调；和/或，

相邻所述遮挡板之间可转动地连接，且两个相邻所述遮挡板能够折叠贴合。

作为本发明的一种优选结构，所述分水管为多面体棱柱，所述多面体棱柱包括多个侧面；

所述安装件和所述过水口设置于不同的所述侧面，和/或，多个所述过水口分别设置于不同的所述侧面。

作为本发明的一种优选结构，所述管接头包括安装接头和转接接头，所述安装接头固定连接于所述分水管，所述转接接头可拆卸连接于所述进水管路或者所述回水管路，所述安装接头和所述转接接头之间呈第三夹角设置，且所述第三夹角的角度可调。

作为本发明的一种优选结构，所述分水管的两端均设置有所述连通口，所述接头机构还包括封堵件，所述封堵件用于封堵两个所述连通口的其中一个。

本发明第二方面采用以下技术方案：

提供刻蚀设备，包括如上述的冷却装置，所述刻蚀设备还包括工作平台、进水管路和回水管路，所述冷却装置设置于所述工作平台上，两组所述接头组件中的其中一组连接所述进水管路，另一组连接所述回水管路。

本发明的有益效果：

本发明所提供的冷却装置，其具有两组接头组件，两组接头组件间隔设置于待冷却设备上，接头组件的接头机构包括分水管和多个管接头，管接头可以连接待冷却设备的进水管路或者回水管路，分水管可以连接冷却装置的冷却供水组件或者冷却回水组件。当设置有两组接头机构时，即可将进水管路或者回水管路分别安装布置，实现独立安装，体积小巧，可根据待冷却设备内部结构的空间布局选择合适的位置；分水管包括主管体和避让段，避让段的管径小于主管体的管径，减少占用的径向空间，避让段可根据待冷却设备的内部结构设置于分水管的任意位置上，径向尺寸较小不占用过多的空间，进而有利于待冷却设备的整体小巧化和内部结构紧凑化；安装遮挡机构的安装件能够以任意角度安装于待冷却设备上，不受待冷却设备的空间布局限制，因此，分水管可以直立设置、水平设置或者倾斜设置。接头组件无整体遮挡结构，且将进水管路或者回水管路分开布置，能够根据待冷却设备的内部结构选择合适的安装位置，适应性强，减少占用空间，便于提升日常维护便利性，降低渗漏风险；当进行日常检漏或者故障诊断时，便于快速进行针对性检查，提升日常检漏和维修的便利性；遮挡件设置于待冷却设备和接头机构之间以隔离接头机构，避免接头机构渗漏对待冷却设备造成影响，保证待冷却设备能够正常工作。

本发明所提供的刻蚀设备，包括上述的冷却装置，冷却装置设置于工作平台上，两组接头组件中的其中一组连接进水管路，另一组连接回水管路，两组接头组件分开设置，占用空间小，不影响刻蚀设备的空间布置，遮挡件能够隔离接头机构，减少冷却装置的渗漏风险，刻蚀设备工作安全可靠。

附图说明

图1是本发明实施例提供的刻蚀设备的部分结构示意图；

图2是本发明实施例提供的接头组件的结构示意图一；

图3是本发明实施例提供的接头组件的结构示意图二；

图4是本发明实施例提供的分水管的结构示意图；

图5是图1中A部分的局部放大示意图。

图中：

1、接头机构；11、分水管；111、连通口；112、过水口；113、主管体；114、避让段；12、管接头；121、安装接头；122、转接接头；13、封堵件；

2、安装遮挡机构；21、安装件；22、遮挡件；221、遮挡板；

100、冷却装置；101、冷却供水组件；102、冷却回水组件；

200、待冷却设备；201、工作平台。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步地详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。

在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

如图1至图5所示，本发明实施例首先提供一种接头组件，接头组件用于冷却装置100，冷却装置100包括冷却供水组件101和冷却回水组件102，冷却供水组件101能够提供用于冷却降温的冷却液，冷却液对待冷却设备200换热降温之后，由冷却回水组件102进行回收，本实施例不对冷却供水组件101和冷却回水组件102的具体结构和工作原理进行赘述。待冷却设备200包括且不局限于刻蚀机、蒸镀机等工作过程中需要冷却的加工设备。

接头组件包括接头机构1和安装遮挡机构2。接头机构1包括分水管11和多个管接头12，分水管11的至少一端设置有连通口111，连通口111连通冷却供水组件101或者冷却回水组件102，分水管11的侧壁开设有多个过水口112，管接头12固定连接于分水管11，管接头12的一端连通过水口112，另一端连通待冷却设备200的进水管路或者回水管路（图中未示出），如图2和图3所示，接头组件分别用于连接待冷却设备200的进水管路或者回水管路。当设置有两组接头机构1时，即可将进水管路或者回水管路分别安装布置，实现独立安装，体积小巧，可根据待冷却设备200内部结构的空间布局选择合适的位置；分水管11包括主管体113和避让段114，避让段114的管径小于主管体113的管径，减少占用的径向空间，避让段114可根据待冷却设备200的内部结构设置于分水管11的任意位置上，径向尺寸较小，不占用过多的空间，进而有利于待冷却设备200的整体小巧化和内部结构紧凑化。在本实施例中，避让段114设置于分水管11的端部，并通过避让段114连接冷却供水组件101或者冷却回水组件102。

安装遮挡机构2包括安装件21和遮挡件22，安装件21固定连接于分水管11，安装件21能够连接于待冷却设备200，安装件21能够以任意角度进行安装，不受待冷却设备200的空间布局限制，因此，分水管11可以直立设置、水平设置或者倾斜设置。接头组件无整体遮挡结构，且将进水管路或者回水管路分开布置，当进行日常检漏或者故障诊断时，便于快速进行针对性检查，提升日常检漏和维修的便利性。遮挡件22设置于待冷却设备200和接头机构1之间以隔离接头机构1和待冷却设备200，避免接头机构1渗漏对待冷却设备200造成影响，保证待冷却设备200能够正常工作。

在本实施例中，安装件21和遮挡件22可拆卸连接；安装件21和遮挡件22为钣金加工件，加工工艺简单，结构稳定性好。安装件21可通过螺钉安装在待冷却设备200上，易于拆装。安装件21和遮挡件22之间也通过螺钉实现连接，多个螺钉沿分水管11的轴向间隔分布。这种可拆卸连接的结构便于在日常检漏或者故障诊断时拆卸遮挡件22，使空间更为开阔，提升便利性。

可选地，安装件21和遮挡件22之间呈第一夹角设置。由于安装件21是连接在待冷却设备200上，安装件21和遮挡件22之间呈第一夹角设置，便于遮挡件22围拢接头机构1，实现更好地遮挡效果。遮挡件22可设置在接头机构1的一侧或者两侧，本实施例不进行具体限制。

一实施例中，第一夹角的角度可调。在本实施例中，遮挡件22可分为连接部和遮挡部，连接部可拆卸连接安装件21，遮挡部用于设置在待冷却设备200和接头机构1之间，连接部和遮挡部之间通过带有任意角度停止功能的合页进行铰接，使连接部和遮挡部之间的夹角可调整至任意角度，并保持该角度。带有任意角度停止功能的合页通过摩擦垫或者螺旋机构等锁定机构使合页能够停留在任意角度。带有任意角度停止功能的合页为现有结构，本实施例不再进行赘述。通过连接部和遮挡部之间的角度调整，实现安装件21和遮挡件22之间的第一夹角可调，当遮挡件22的延伸长度较长时，能够通过角度调整更贴合进水管路或者回水管路，其防渗漏效果更好。

一实施例中，遮挡件22包括依次可拆卸连接的多个遮挡板221，多个遮挡板221沿进水管路或者回水管路的长度方向延伸设置，其隔离防护范围更大。图中仅示意出两个遮挡板221，多个遮挡板221的尺寸可以相同或者不同，其形状不以本实施例附图为限。相邻遮挡板221之间呈第二夹角设置，以使遮挡板221贴合进水管路或者回水管路。当进水管路或者回水管路因空间限制而产生弯折时，使第二夹角设置的相邻遮挡板221能够更好地贴合。

可选地，第二夹角的角度可调，因此，不同的遮挡板221之间的第二夹角的大小可以是不同的，适应性更好；相邻遮挡板221之间可同样采用带有任意角度停止功能的合页进行铰接，使相邻遮挡板221之间的夹角可调整至任意角度，并保持该角度。

进一步地，相邻遮挡板221之间可转动地连接，且两个相邻遮挡板221能够折叠贴合，这种折叠贴合可以是依次折叠使多个遮挡板221收拢呈多个Z字型首尾相连，或者，以一端部的遮挡板221为中心进行收卷折叠均可。当仅需要部分遮挡板221时，可通过其余部分遮挡板221的折叠收拢减少占用的空间，并在需要时再次展开，使用较为方便，便于用户根据待冷却设备200的结构进行选择性调整遮挡件22的遮挡范围。

一实施例中，分水管11为多面体棱柱，多面体棱柱包括多个侧面；安装件21和过水口112设置于不同的侧面，便于选择过水口112的朝向，以及安装件21的朝向。安装件21采用板状钣金件，能够较好地和多面体棱柱的侧面贴合，稳定性好，避免因冷却装置100工作过程中的振动产生松动。而且，安装件21和过水口112设置于不同的侧面，安装件21的拆装不会对管接头12和进水管路、回水管路造成影响，可根据待冷却设备200的具体结构选择安装件21设置在分水管11的哪一个侧面上。在本实施例中，分水管11为六面体棱柱，安装件21和过水口112分别设置于相对的两个侧面。

可选地，多个过水口112分别设置于不同的侧面，当待冷却设备200的进水管路或者回水管路较多时，可在不同侧面设置多个过水口112，并通过多个管接头12实现连接。而且，多个侧面的多面体棱柱能够实现过水口112的不同朝向，满足不同方向的进水管路或者回水管路需求，减少进水管路或者回水管路的弯折，减少漏水风险。

一实施例中，管接头12包括安装接头121和转接接头122，安装接头121固定连接于分水管11，转接接头122可拆卸连接于进水管路或者回水管路，安装接头121和转接接头122之间呈第三夹角设置，且第三夹角的角度可调。安装接头121和转接接头122之间采用RC英制密封圆锥内螺纹，通过旋转即可实现转接接头122的角度调整，使转接接头122的轴向和安装接头121和轴向呈不同夹角，出水方向和进水方向不再直进直出，更好地适应待冷却设备200的不同工作模块处于不同空间位置的冷却需求。

在一实施例中，分水管11的两端均设置有连通口111，接头机构1还包括封堵件13，封堵件13用于封堵两个连通口111的其中一个。这样，分水管11为完全对称结构，加工简单，其任一端均可连接冷却供水组件101或者冷却回水组件102，能够避免装错，并在安装完成后用封堵件13封堵另一端的连通口111即可。

本发明实施例其次还提供一种冷却装置100，冷却装置100包括上述的接头组件，接头组件设置有两组，两组接头组件间隔设置于待冷却设备200上，冷却装置100还包括冷却供水组件101和冷却回水组件102，两组接头组件分别连接冷却供水组件101和冷却回水组件102。两组接头组件能够根据待冷却设备200的内部结构选择合适的安装位置，适应性强，减少占用空间，便于对提升日常维护便利性，降低渗漏风险。

本发明实施例最后还提供一种刻蚀设备，刻蚀设备包括上述的冷却装置100，刻蚀设备还包括工作平台201、进水管路和回水管路，冷却装置100设置于工作平台201上，两组接头组件中的其中一组连接进水管路，另一组连接回水管路，如图1和图5所示。两组接头组件分开设置，占用空间小，不影响刻蚀设备的空间布置，遮挡件22能够隔离接头机构1，减少冷却装置100的渗漏风险，刻蚀设备工作安全可靠。

可选地，两组接头组件并列且间隔设置，这样，每组接头组件可在接头机构1的一侧设置遮挡件22即可，两个遮挡件22即可实现两侧围拢，结构更为简单。

显然，本发明的上述实施例仅仅是为了清楚说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明权利要求的保护范围之内。

Claims (9)

1.冷却装置，其特征在于，包括接头组件，所述接头组件设置有两组，两组所述接头组件间隔设置于待冷却设备（200）上，所述冷却装置还包括冷却供水组件（101）和冷却回水组件（102），两组所述接头组件分别连接所述冷却供水组件（101）和所述冷却回水组件（102）；

所述接头组件包括：

接头机构（1），包括分水管（11）和多个管接头（12），所述分水管（11）的至少一端设置有连通口（111），所述连通口（111）连通所述冷却供水组件（101）或者所述冷却回水组件（102），所述分水管（11）的侧壁开设有多个过水口（112），所述管接头（12）固定连接于所述分水管（11），所述管接头（12）的一端连通所述过水口（112），另一端连通待冷却设备（200）的进水管路或者回水管路，所述分水管（11）包括主管体（113）和避让段（114），所述避让段（114）的管径小于所述主管体（113）的管径；

安装遮挡机构（2），所述安装遮挡机构（2）包括安装件（21）和遮挡件（22），所述安装件（21）固定连接于所述分水管（11），所述安装件（21）能够连接于所述待冷却设备（200），所述遮挡件（22）设置于所述待冷却设备（200）和所述接头机构（1）之间以隔离所述接头机构（1）和所述待冷却设备（200），所述安装件（21）和所述遮挡件（22）之间呈第一夹角设置。

2.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，所述安装件（21）和所述遮挡件（22）可拆卸连接。

3.根据权利要求2所述的冷却装置，其特征在于，所述第一夹角的角度可调。

4.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，所述遮挡件（22）包括依次可拆卸连接的多个遮挡板（221），多个所述遮挡板（221）沿所述进水管路或者所述回水管路的长度方向延伸设置，相邻所述遮挡板（221）之间呈第二夹角设置，以使所述遮挡板（221）贴合所述进水管路或者所述回水管路。

5.根据权利要求4所述的冷却装置，其特征在于，所述第二夹角的角度可调；和/或，

相邻所述遮挡板（221）之间可转动地连接，且两个相邻所述遮挡板（221）能够折叠贴合。

6.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，所述分水管（11）为多面体棱柱，所述多面体棱柱包括多个侧面；

所述安装件（21）和所述过水口（112）设置于不同的所述侧面，和/或，多个所述过水口（112）分别设置于不同的所述侧面。

7.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，所述管接头（12）包括安装接头（121）和转接接头（122），所述安装接头（121）固定连接于所述分水管（11），所述转接接头（122）可拆卸连接于所述进水管路或者所述回水管路，所述安装接头（121）和所述转接接头（122）之间呈第三夹角设置，且所述第三夹角的角度可调。

8.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，所述分水管（11）的两端均设置有所述连通口（111），所述接头机构（1）还包括封堵件（13），所述封堵件（13）用于封堵两个所述连通口（111）的其中一个。

9.刻蚀设备，其特征在于，包括如权利要求1-8任一项所述的冷却装置（100），所述刻蚀设备还包括工作平台（201）、进水管路和回水管路，所述冷却装置（100）设置于所述工作平台（201）上，两组所述接头组件中的其中一组连接所述进水管路，另一组连接所述回水管路。