CN204809195U - 一种机台供水循环系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种机台供水循环系统，包括：汇流阀供水端组件、汇流阀回水端组件、安装于机台顶部的冷却环、第一水管链路转接器及第二水管链路转接器；所述汇流阀供水端组件及所述汇流阀回水端组件均包括至少一个端口，每一个端口分别与所述机台的一个腔室相对应；其中：所述汇流阀供水端组件及所述汇流阀回水端组件均包括圆柱体型主体，所述端口设置于所述主体侧壁，且所述端口中部设置有电磁阀；所述主体顶端设有清洗水入水口、底端设有清洗水排水口；所述主体顶端还设有一搅拌口。本实用新型将汇流阀供水/回水端组件及冷却环漏水的风险降到最低，并使这两个部件可以得到定时的清洗，防止内部的水流发生堵塞，同时极大地简化了更换漏水部位的步骤。

Description

一种机台供水循环系统

技术领域

本实用新型属于半导体制造领域，涉及一种机台供水循环系统。

背景技术

作为CVD-HDP(高密度等离子体化学气相沉积)制程的要求之一，CVD-HDP的机台的腔体(ChamberBody)温度需要控制在75℃。为了达到这一要求，由SMC加热提供的温度为75℃的水流通过SMC内部的汇流阀供水端组件被输出至腔室(chamber)，并循环于腔室内部。但是由于腔室上半部分的陶瓷穹顶(Dome)的温度在陶瓷穹顶加热器(DomeHeater)的控制下达到120℃左右，因此75℃的水流同时还循环于陶瓷穹顶上安装的黄铜材质的冷却环(CoolingCoil)内部，对陶瓷穹顶起到降温的作用。最后两路水流经汇总后通过SMC内汇流阀的回水端组件返回SMC。

现有技术中，一个汇流阀供水端或回水端组件有4路接头，每路接头分别由一根水管连接至一个腔室。由供水端组件产生的75℃水流通过水管链路接头后被分为2路，分别进入腔体的75℃水管接头和冷却环，并经由内部循环后输出至另一个水管链路接头，经合并后返回至SMC汇流阀回水端组件并由其底部的管路排出组件外，以此周而复始地产生循环作用。但是在日常的生产实践过程中，SMC水流循环路径经常出现漏水的问题。当问题发生后，工程师停止整个机台的运行并排查漏水点，将系统内漏水的部件更换后再将机台交还制造部进行监测(monitor)，并直到监测完成后才能将机台重新运行。按照以往的经验，这样的过程需要耗费8到12个小时，严重影响了机台的产能利用率，影响了公司的经济效益。经过统计分析，发现75℃水管与腔体上的水管输入与输出的快速接头漏水的概率极小，发生漏水的问题主要集中在位于SMC机台内部的汇流阀供水端与回水端组件以及冷却环三个部件。

整个75℃水流循环路径的水流的来源由SMC内的去离子水槽(DITank)内部的水流提供。该水流在SMC内部的加热器的作用下形成75℃的热水并进入汇流阀供水端组件。现有的汇流阀供水端组件有4个端口，分别对应机台的4个腔室(可有腔室未安装)。每个端口均装有电磁阀和电磁阀线圈，控制75℃水流是否从该路通过。经过检查与分析，工程师发现汇流阀供水组件发生漏水的原因主要是由于组件整体为立方体构造，内部经过长期的水流循环后容易产生水垢与各种杂质沉淀在该立方体内，导致PCW厂务端常温水经过加热器加热进入供水组件后无法顺畅地通过各路水管输出而从水管接头与汇流阀主体的接缝处发生泄漏。

现有的汇流阀回水端组件的构成部分与供水组件大致相似，均由电磁阀及其线圈、75℃水管的快速接头组成。当75℃水流经过某个腔室的陶瓷穹顶上的冷却环和腔室两条支路的循环后由水管链路转换接头合并为一路后被输送至汇流阀回水组件相应的75℃水管内。

现有的冷却环为一个黄铜材质的圆环形状。75℃水管输入/输出接头与圆环之间通过焊接的方式连接在一起，两个连接处都留有焊点。7个金属夹块同样被以焊接的方式均匀地固定在铜管上，焊接处留有相应的焊点。

由于日常运行时铜管内始终循环着75℃水流，当进行日常的PM维护工作时，SMC需要停止水流循环，铜管内的温度也会由于停止水流循环而逐渐降低，当腔室结束PM养护工作重新运行时，铜管内的水流重新得以循环，铜管的温度又逐渐回升到正常的温度。在长期的运行与PM维护的过程中，冷却环上金属夹块与进水/出水接头和管身之间的焊接处很容易发生渗水。但是，更换冷却环的过程非常繁琐复杂。

冷却环位于腔室上半部分陶瓷穹顶的外部，处于RPS、NF3气体管路与接地保护罩的下方。更换冷却环的过程涉及到先拆除上述三个部件，更换完毕冷却环后再将上述三个部件安装完成以及对腔室重新进行PM的工作。以两个设备工程师的工作效率估算，仅完成更换冷却环一个部件的整个过程，即拆除RPS、NF3气体管路、接地保护罩，更换冷却环，再安装此三个部件，腔室PM工作，制造部完成侦测工作共需要约10至12个小时，耗费了大量的人力资源和时间成本，严重影响了机台的产量，影响公司的产能。

例如，在目前的工作过程中，当发现腔室上的冷却环发生漏水的现象时，我们需要将执行以下操作：

(1)对腔室执行pumptobase操作，并对腔室进行降温；

(2)关闭SMC输出至该腔室的75℃水流的电磁阀，这样使陶瓷穹顶表面的温度降到适宜人力操作的程度，并且冷却环内部停止水流循环后温度也会逐步降低；

(3)掀开腔室上半部分的黑色顶盖；

(4)拆除RPS、NF3管路以及接地保护罩；

(5)将冷却环从陶瓷穹顶上方套出，再将待安装的冷却环套在陶瓷穹顶上方，用螺丝固定在陶瓷穹顶的上表面；

(6)陆续将接地保护罩、NF3气体管路以及RPS等部件安装在原先的位置；

(7)将腔室打开，完成对腔室进行湿法清洗(WetClean)的清洗操作；

(8)对腔室进行湿法清洗的操作完毕后陆续执行PumptoBase、将陶瓷穹顶加热器的温度升至120℃、测试腔室的漏率(标准值为1.2mTorr/min及以下)等操作；

(9)将chamber交还制造部进行DummyMON-PM的监测过程，确保各项监测数据符合要求后进行虚拟运行(DummyRun)；

当发现SMC内部的供水端或回水端汇流阀发生漏水的现象时，需要进行以下操作：

(1)将整个机台的所有腔室全部停止down机；

(2)然后，对各腔室内用氩气或氧气气体进行净化(purge)操作后，将SMC输出至各个腔室的管路的电磁阀关闭，此时，各个腔室的陶瓷穹顶加热器会由120℃的设定值开始降低，直至室温；

(3)排出SMC内部残留的PCW厂务端水和75℃水，并关闭SMC电源；

(4)拆下漏水的整组汇流阀的供水端组件或回水端组件；

(5)更换成新的相应组件；

(6)开启SMC电源，确认其开始正常工作；

(7)打开SMC通往各个腔室的管路的电磁阀，待75℃水流开始循环后确认汇流阀是否杜绝了漏水的现象；

(8)将整个机台的已安装腔室交还制造部进行MON-PM的操作；

(9)确认监测的各项数据达到要求后进行虚拟运行。

因此，如何对现有机台供水循环系统进行改进，减少其漏水概率，并提升更换汇流阀供水/回水端组件及冷却环的方便程度，从而提高机台的产能利用率，提高CVD-HDP制程机台的总体产量，成为本领域技术人员亟待解决的一个重要技术问题。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种机台供水循环系统，用于解决现有技术中机台供水循环系统漏水概率高，更换部件时耗费大量人力资源和时间成本，严重影响了机台的产量及企业产能的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种机台供水循环系统，包括：

汇流阀供水端组件；

汇流阀回水端组件；

安装于机台顶部的冷却环；

第一水管链路转接器及第二水管链路转接器；

所述汇流阀供水端组件及所述汇流阀回水端组件均包括至少一个端口，每一个端口分别与所述机台的一个腔室相对应；

所述汇流阀供水端组件的一个端口与所述第一水管链路转接器之间通过水管连接，所述水管经过所述第一水管链路转接器分为两路，并经过所述第二水管链路转接器重新合并为一路，连接于所述汇流阀回水端组件的一个端口；其中，分为两路的水管中，一路水管分为两段分别连接于腔室入水口及腔室出水口，另一路水管分为两段分别连接于冷却环入水口及冷却环出水口；

其中：

所述汇流阀供水端组件及所述汇流阀回水端组件均包括圆柱体型主体，所述端口设置于所述主体侧壁，且所述端口中部设置有电磁阀；所述主体顶端设有清洗水入水口、底端设有清洗水排水口，所述清洗水入水口及所述清洗水排水口中部均设有手动阀；所述主体顶端还设有一搅拌口，所述搅拌口顶部设有一盖体；

所述汇流阀供水端组件的主体侧壁还设有一循环水入水口，所述循环水入水口中部设有一加热器；所述汇流阀回水端组件的主体侧壁还设有一循环水排出管路。

可选地，所述端口中部还设有一手动阀，该手动阀位于所述主体侧壁与所述电磁阀之间。

可选地，所述盖体与所述搅拌口之间螺纹连接。

可选地，所述电磁阀包括电磁阀线圈。

可选地，所述端口通过紧固件与所述主体侧壁连接。

可选地，所述紧固件包括螺丝。

可选地，所述端口与所述主体侧壁的连接处设有密封圈。

可选地，所述端口与所述主体侧壁的连接处设有容纳所述密封圈的凹槽。

可选地，所述冷却环包括两段圆弧形铜管及一个水流输入/输出接头，该两段圆弧形铜管及所述水流输入/输出接头依次连接组合成环状；所述水流输入/输出接头包括水流输入管道及水流输出管道，所述水流输入管道与所述水流输出管道中部均嵌入一固定支架中，且两段圆弧形铜管分别与所述水流输入管道的出水口及所述水流输出管道的入水口相连接。

可选地，两段圆弧形铜管及所述水流输入/输出接头彼此之间均通过套接式连接组件连接；所述套接式连接组件包括互相配合的连接公头及连接母头；所述连接母头具有内螺纹，所述连接公头具有与所述内螺纹相配合的外螺纹。

可选地，所述冷却环通过可分离式夹块固定安装于所述机台顶部。

可选地，所述可分离式夹块通过螺丝固定所述冷却环。

如上所述，本实用新型的机台供水循环系统，具有以下有益效果：本实用新型通过对整个水流循环系统中进行完整且成套的结构性改造，对机台供水循环系统中最关键的两个部件——SMC汇流阀供水/回水端组件与冷却环进行重新设计，将两者漏水的风险降到最低，并使更换两者的方便程度得到极大地提升，极大提升了机台的产能利用率，也提高了CVD-HDP制程机台的总体产量。

附图说明

图1显示为本实用新型的机台供水循环系统的结构示意图。

图2显示为汇流阀供水端组件的结构示意图。

图3显示为汇流阀回水端组件的结构示意图。

图4显示为汇流阀供水端组件的分解示意图。

图5显示为汇流阀回水端组件的分解示意图。

图6显示为第一段圆弧形铜管的结构示意图。

图7显示为第二段圆弧形铜管的结构示意图。

图8显示为水流输入/输出接头的结构示意图。

图9显示为两段圆弧形铜管及水流输入/输出接头依次连接组合成环状的分解示意图。

元件标号说明

1汇流阀供水端组件

2汇流阀回水端组件

3机台

4冷却环

5第一水管链路转接器

6第二水管链路转接器

7端口

8水管

9腔室入水口

10腔室出水口

11冷却环入水口

12冷却环出水口

13主体

14电磁阀

15清洗水入水口

16清洗水排水口

17,23手动阀

18搅拌口

19盖体

20循环水入水口

21加热器

22循环水排出管路

24密封圈

25,26圆弧形铜管

27水流输入/输出接头

28连接母头

29连接公头

30水流输入管道

31水流输出管道

32固定支架

33可分离式夹块

具体实施方式

以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。

请参阅图1至图9。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。

如图1所示，本实用新型提供一种机台供水循环系统，包括：

汇流阀供水端组件1；

汇流阀回水端组件2；

安装于机台3顶部的冷却环4；

第一水管链路转接器5及第二水管链路转接器6；

所述汇流阀供水端组件1及所述汇流阀回水端组件2均包括至少一个端口7，每一个端口7分别与所述机台3的一个腔室相对应；

所述汇流阀供水端组件1的一个端口与所述第一水管链路转接器5之间通过水管8连接，所述水管8经过所述第一水管链路转接器5分为两路，并经过所述第二水管链路转接器6重新合并为一路，连接于所述汇流阀回水端组件1的一个端口；其中，分为两路的水管中，一路水管分为两段分别连接于腔室入水口9及腔室出水口10，另一路水管分为两段分别连接于冷却环入水口11及冷却环出水口10。

请参阅图2及图3，分别显示为所述汇流阀供水端组件1及所述汇流阀回水端组件2的结构示意图，如图所示，所述汇流阀供水端组件1及所述汇流阀回水端组件2均包括圆柱体型主体13，所述端口7设置于所述主体13侧壁，且所述端口7中部设置有电磁阀14；所述主体13顶端设有清洗水入水口15、底端设有清洗水排水口16，所述清洗水入水口15及所述清洗水排水口16中部均设有手动阀17；所述主体13顶端还设有一搅拌口18，所述搅拌口18顶部设有一盖体19。

所述汇流阀供水端组件1与所述汇流阀回水端组件2的不同之处在于，所述汇流阀供水端组件1的主体13侧壁还设有一循环水入水口20，所述循环水入水口20中部设有一加热器21；所述汇流阀回水端组件2的主体13侧壁还设有一循环水排出管路22。

具体的，所述端口7中部还设有一手动阀23，该手动阀23位于所述主体13侧壁与所述电磁阀14之间。

本实用新型中，所述汇流阀供水端组件1与所述汇流阀回水端组件2的主体部分由常规的立方体结构改为圆柱体的设计。相对于立方体型主体在长时间的水流循环过程中边角容易沉积水垢，影响水流的通畅度，本实用新型的圆柱体型主体能在最大程度上减少主体内部边角的数量，避免死角的产生，保证水流的通畅运行。

所述汇流阀供水端组件1与所述汇流阀回水端组件2的主体13顶端的清洗水入水口15及底端的清洗水排水口16构成清洗循环管路。通过联系厂务相关部门，在原先作为供水端组件加热器的输入水源的PCW厂务端常温水管路旁边再增加两路水管分别进入汇流阀供水端组件与回水端组件主体部分的上方。在平时的SMC机台正常的运行中，圆柱体型主体上方的手动阀17无需打开，圆柱体部分内部无需进行清理。当每个月机台进行例行的月度保养工作时，对于处于闲置的状态腔室，可以暂时关闭所述汇流阀供水端组件1与所述汇流阀回水端组件2通向闲置腔室的管路电磁阀，并在两个组件圆柱体型主体下方清洗路径的常温水出口处各放置一承载容器用于承接放出的经过清洗后的PCW厂务室温水。当需要进行清洗时，只需打开圆柱体型主体上方管路的手动阀17，厂务端常温水便会进入圆柱形主体，然后再打开圆柱体型主体下方用于排出的手动阀17，这样圆柱形的主体结构便得到了有效地清洗。清洗了约5至10分钟后再把两端的手动阀17关闭便完成了所述主体13的清洗过程。

进一步地，所述主体13顶端的搅拌口18有利于更好地清除主体内的水垢等异物。所述搅拌口18顶部的盖体19可拆卸，作为示例，所述盖体19与所述搅拌口18之间螺纹连接，即所述搅拌口18具有内螺纹，所述盖体19下部表面具有与所述内螺纹相匹配的外螺纹。在日常机台运行的过程中，所述搅拌口无需被打开，当机台进行例行的月度保养工作，汇流阀需要被PCW常温水清洗路径进行清洗时，可在清洗时将所述盖体19打开，使用适合的长度的工具伸入主体部分进行搅拌，从而更好地清除主体内的水垢等异物，达到更好的清洗效果。

所述端口7中部的所述电磁阀14用于控制两个组件端口的开关功能。本实施例中，所述电磁阀14包括电磁阀线圈，即所述电磁阀14连同其线圈均固定安装于每条供水与回水端口中部。由于现有技术中所有的电磁阀和电磁阀线圈均安装在立方体型主体上，当某个电磁阀发生损坏需要更换时，便需要停止整机的运转，切断所有的水流管路，通过更换完整的汇流阀才能一并更换损坏的电磁阀。这样数个小时的更换过程加上数个小时的制造部对整机进行的监测的过程使其它正常运行的腔室的产能受到很大的影响。本实用新型改进后的设计只需要单独切断待更换的电磁阀所在的管路，更换汇流阀供水端/回水端组件的端口，再对该端口所供水的腔室进行单独的监测即可。这样的设计只影响到了单个腔室的产能，并不会对其它正常运行的腔室造成影响，最大限度地保证了机台的产能利用率。

具体的，所述端口7通过紧固件与所述主体13侧壁连接，从而便于端口的拆卸，避免了焊接方式在漏水时需要更换整体的供水端组件或回水端组件的问题。

请参阅图4及图5，分别显示为所述汇流阀供水端组件1及所述汇流阀回水端组件2的分解示意图，如图所示，所述端口7与所述主体13侧壁的连接处进一步设有密封圈24，用于降低所述端口7与所述主体13连接处的漏水风险。所述端口7与所述主体13连接处可进一步设有安装所述密封圈24的凹槽。作为示例，所述端口7通过四颗螺丝固定于所述主体13侧壁装有密封圈24的区域，实现端口与主体之间的连接。

这样的设计极大地增强了汇流阀供水端/回水端组件的防水性能。此外，当发生漏水的问题时，不再需要停止整机的运行，更换整个漏水的相应组件，而是只需拆开漏水的相应端口并更换密封圈即可完成，最大程度地降低机台产能因漏水造成的损失，将机台产能实现最大化。

本实用新型对冷却环的结构也进行了新的设计。本实施例中，所述冷却环4包括两段圆弧形铜管及一个水流输入/输出接头，该两段圆弧形铜管及所述水流输入/输出接头依次连接组合成环状。

图6及图7分别显示为两段圆弧形铜管25,26的结构示意图，图8显示为所述水流输入/输出接头27的结构示意图。图9显示为两段圆弧形铜管26,27及水流输入/输出接头27依次连接组合成环状的分解示意图。如图所示，所述水流输入/输出接头27包括水流输入管道30及水流输出管道31，所述水流输入管道30与所述水流输出管道31中部均嵌入一固定支架32中，且两段圆弧形铜管25,26分别与所述水流输入管道30的出水口及所述水流输出管道31的入水口相连接。

作为示例，两段圆弧形铜管25,26及所述水流输入/输出接头27彼此之间均通过套接式连接组件连接；所述套接式连接组件包括互相配合的连接公头29及连接母头28(作为示例，采用Swage-Lock的Fitting接头的公头和母头)；所述连接母头28具有内螺纹，所述连接公头29具有与所述内螺纹相配合的外螺纹。由图可见，每段管身的两端部分都由圆弧形变为直线形并安装了相对应的公头与母头。当公头与母头需要被衔接在一起时，需要在公头上缠上生胶带，以防止接头的内部水流从接头处渗漏。通过这样的设计，可以方便地实现将两段圆弧形铜管与水流输入/输出接头通过公式接头与母式接头衔接在一起，且安装非常方便。这样的设计可以使输入/输出接头与管身紧密无缝地实现连接。

相对于现有技术中冷却环为圆形铜管的一体式结构及水流输入/输出接头与管身亦连为一体，本实用新型的冷却环被分为三个独立的部分，水流输入/输出接头与两段铜管可以通过固定的或活动的扳手拆装Swage-Lock的Fitting公头或母头实现分离或连接。安装时，在公式接头端缠上数圈生胶带并用扳手将两端接头锁紧，这样的设计不但将冷却环发生漏水的风险降到最低的限度，而且使更换的过程实现了效率的最大化，最大程度地节省了时间成本和人力成本，最大限度地减少了机台的产能利用率的损失。

进一步的，所述冷却环4通过可分离式夹块33固定安装于所述机台3顶部。作为示例，所述可分离式夹块33通过螺丝固定所述冷却环4。相对于现有技术中冷却环与金属夹块之间通过焊接方式连接在一起导致焊点处容易漏水，本实用新型中的可分离式夹块33消除了冷却环上的所有焊点，杜绝了因为焊点与管身之间经过长时间的使用后漏水现象的发生。当进行安装冷却环时，只需要将冷却环放置在腔室的陶瓷穹顶外表面上，然后用螺丝将所述可分离式夹块33与冷却环固定在陶瓷穹顶上的螺丝孔上即可。

综上所述，本实用新型通过对整个水流循环系统中进行完整且成套的结构性改造，对机台供水循环系统中最关键的两个部件——SMC汇流阀供水/回水端组件与冷却环进行重新设计，将两者漏水的风险降到最低，并使这两个部件可以得到定时的清洗，防止内部的水流发生堵塞，同时极大地简化了更换漏水部位的步骤，避免了因为某条管路堵塞而停止整机运行进行更换的情况，提高了机台的产能利用率，提高了CVD-HDP制程机台的总体产量。所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。

上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。

Claims (12)

1.一种机台供水循环系统，包括：

汇流阀供水端组件；

汇流阀回水端组件；

安装于机台顶部的冷却环；

第一水管链路转接器及第二水管链路转接器；

所述汇流阀供水端组件及所述汇流阀回水端组件均包括至少一个端口，每一个端口分别与所述机台的一个腔室相对应；

所述汇流阀供水端组件的一个端口与所述第一水管链路转接器之间通过水管连接，所述水管经过所述第一水管链路转接器分为两路，并经过所述第二水管链路转接器重新合并为一路，连接于所述汇流阀回水端组件的一个端口；其中，分为两路的水管中，一路水管分为两段分别连接于腔室入水口及腔室出水口，另一路水管分为两段分别连接于冷却环入水口及冷却环出水口；

其特征在于：

所述汇流阀供水端组件及所述汇流阀回水端组件均包括圆柱体型主体，所述端口设置于所述主体侧壁，且所述端口中部设置有电磁阀；所述主体顶端设有清洗水入水口、底端设有清洗水排水口，所述清洗水入水口及所述清洗水排水口中部均设有手动阀；所述主体顶端还设有一搅拌口，所述搅拌口顶部设有一盖体；

所述汇流阀供水端组件的主体侧壁还设有一循环水入水口，所述循环水入水口中部设有一加热器；所述汇流阀回水端组件的主体侧壁还设有一循环水排出管路。

2.根据权利要求1所述的机台供水循环系统，其特征在于：所述端口中部还设有一手动阀，该手动阀位于所述主体侧壁与所述电磁阀之间。

3.根据权利要求1所述的机台供水循环系统，其特征在于：所述盖体与所述搅拌口之间螺纹连接。

4.根据权利要求1所述的机台供水循环系统，其特征在于：所述电磁阀包括电磁阀线圈。

5.根据权利要求1所述的机台供水循环系统，其特征在于：所述端口通过紧固件与所述主体侧壁连接。

6.根据权利要求5所述的机台供水循环系统，其特征在于：所述紧固件包括螺丝。

7.根据权利要求5所述的机台供水循环系统，其特征在于：所述端口与所述主体侧壁的连接处设有密封圈。

8.根据权利要求7所述的机台供水循环系统，其特征在于：所述端口与所述主体侧壁的连接处设有容纳所述密封圈的凹槽。

9.根据权利要求1所述的机台供水循环系统，其特征在于：所述冷却环包括两段圆弧形铜管及一个水流输入/输出接头，该两段圆弧形铜管及所述水流输入/输出接头依次连接组合成环状；所述水流输入/输出接头包括水流输入管道及水流输出管道，所述水流输入管道与所述水流输出管道中部均嵌入一固定支架中，且两段圆弧形铜管分别与所述水流输入管道的出水口及所述水流输出管道的入水口相连接。

10.根据权利要求9所述的机台供水循环系统，其特征在于：两段圆弧形铜管及所述水流输入/输出接头彼此之间均通过套接式连接组件连接；所述套接式连接组件包括互相配合的连接公头及连接母头；所述连接母头具有内螺纹，所述连接公头具有与所述内螺纹相配合的外螺纹。

11.根据权利要求1所述的机台供水循环系统，其特征在于：所述冷却环通过可分离式夹块固定安装于所述机台顶部。

12.根据权利要求11所述的机台供水循环系统，其特征在于：所述可分离式夹块通过螺丝固定所述冷却环。