CN117063270A - 基板收纳容器 - Google Patents

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Abstract

本发明为一种基板收纳容器，其具备：能够收纳基板(W)的容器主体；以及盖体(20)，用于封闭容器主体的开口；以及保持器(50)，其被安装于盖体(20)；以及左右一对基板支承部件(55)，其形成于保持器(50)，与容器主体夹持基板(W)并进行保持；其中，基板支承部件(55)在从与盖体(20)的封闭方向正交的上下方向的剖面视图中为圆弧形状。此外，基板支承部件(55)与从上下两端所立设的一对基板引导部件(56)形成U形槽。由此，能够提供一种即使基板的厚度不同也能够稳定地保持基板的基板收纳容器。

Description

基板收纳容器
技术领域
本发明涉及一种基板收纳容器，其具备保持基板的保持器。
背景技术
关于收纳半导体晶片等基板的基板收纳容器，例如，如专利文献1以及专利文献2所示，具备能够收纳多枚基板的容器主体和封闭容器主体的开口的盖体。
在盖体上，安装有支承基板的保持器，基板收纳容器在保持器和设置于容器主体上的支承体之间夹持基板并进行支承。该保持器具有在剖面视图中呈V字形的基板支承部件，基板被引导至V字形底部(参见专利文献1的图10以及专利文献2的图13)。
现有技术
专利文献
专利文献1：国际公开第2009/131016号
专利文献2：日本特开第2008-153434号公报
发明内容
发明要解决的技术问题
然而，近年来，由于基板的种类、厚度等多样化，此外，也存在由多枚基板贴合而成的基板(堆叠基板)，所以如果不使用安装有对应于基板厚度的保持器的基板收纳容器，则无法适当地保持基板，有时基板的保持性变差，因振动或冲击等导致基板摩擦，划伤或破裂。
此外，在使用V字形的基板支承部件保持厚基板等的情况时，无法将基板均等地保持在最内部的V字的倾斜面上，由于基板以相对于水平方向倾斜的状态被保持，因此有时扭转力会作用于基板而导致基板破裂。
因此，本发明是鉴于上述课题而完成的，其目的在于提供一种即使基板的厚度不同也能够稳定地保持基板的基板收纳容器。
解决技术问题的技术手段
(1)本发明所涉及的一个技术方案是一种基板收纳容器，其具备：容器主体，其能够收纳基板；以及盖体，其封闭所述容器主体的开口；以及保持器，其安装于所述盖体；以及左右一对基板支承部件，其形成于所述保持器，与所述容器主体夹持所述基板并进行保持；所述基板支承部件在从与所述盖体的封闭方向正交的上下方向的剖面视图中为圆弧形状。
(2)在上述(1)的技术方案中，第一接触位置和保持接触位置的差可以为1.0mm以下；其中，所述第一接触位置是通过所述盖体的封闭动作，所述基板最初与所述基板支承部件接触的位置；所述保持接触位置是通过所述盖体的封闭完成，使所述基板被所述基板支承部件保持的位置。
(3)在上述(1)或(2)的技术方案中，所述基板支承部件与从上下两端所立设的一对基板引导部件可以形成U形槽。
(4)在上述(1)至(3)的任一技术方案中，所述保持器可以具有形成有所述基板支承部件的臂，所述臂包含能够调整保持所述基板的保持力的保持力调整部件。
(5)在上述(4)的技术方案中，所述保持力可以为0.15N以上10N以下。
(6)在上述(1)至(5)的任一技术方案中，所述保持器可以具有形成有所述基板支承部件的臂，所述臂具有能够接触所述盖体的接触基部，通过所述接触基部接触所述盖体，弹簧常数发生变化。
(7)在上述(1)至(6)的任一技术方案中，所述保持器可以具有安装于所述盖体的基部框，所述基部框形成有开口孔。
(8)在上述(1)至(7)的任一技术方案中，所述保持器可以具有安装于所述盖体的基部框，所述基部框形成有限制突出部件，所述限制突出部件限制所述基板的相对于上下方向的移动。
(9)在上述(1)至(8)的任一技术方案中，所述保持器可以形成有防误安装突起，所述防误安装突起能够识别安装时的上下方向或所述保持器自身的规格。
(10)在上述(4)或(5)的技术方案中，所述保持力调整部件通过在0.6mm以上19mm以下的范围内变更肋的长度来调整保持力，
所述保持力在保持所述基板时的所述基板支承部件的位移量在1mm以上4mm以下的范围内，可以满足下述式(1)；
式(1) 0.15X≤Y≤2.5X
其中，Y是保持力(N)，X是基板支承部件的位移量(mm)。
发明效果
根据本发明，能够提供一种即使基板的厚度不同也能够稳定地保持基板的基板收纳容器。
附图说明
[图1]是表示本发明所涉及的实施方式的基板收纳容器的分解立体图。
[图2A]是表示本发明所涉及的实施方式的基板收纳容器中所使用的盖体以及保持器的前视图。
[图2B]是表示本发明所涉及的实施方式的基板收纳容器中所使用的盖体以及保持器的局部剖视图。
[图3A]是表示保持器的平面图。
[图3B]是表示保持器的侧视图。
[图3C]是表示保持器的仰视图。
[图3D]是表示保持器的沿A-A线截取的放大剖视图。
[图3E]是表示保持器的沿B-B线截取的放大剖视图。
[图3F]是表示保持器的沿C-C线截取的放大剖视图。
[图4]是表示变更了保持力调整部件的厚度的臂的剖视图。
[图5A]是表示在末端具有舌片部件的臂的平面图。
[图5B]是表示在末端具有舌片部件的臂的剖视图。
[图6]是表示具有作为保持力调整部件的肋的臂的剖视图。
[图7]是表示具有开口孔的基部框的平面图。
[图8]是表示具有限制突出部件的基部框的平面图。
[图9A]是表示基板与基板支承部件的接触状态的示意图。
[图9B]是表示基板与基板支承部件的接触位置的轨迹的示意图。
具体实施方式
以下，参见附图对本发明的实施方式进行详细说明。在本说明书的整个实施方式中，对相同的构件赋予相同的附图标记。
图1是表示本发明所涉及的实施方式的基板收纳容器1的分解立体图。图2是表示本发明所涉及的实施方式的基板收纳容器1中所使用的盖体20以及保持器50，图2A为前视图。图2B为表局部剖视图。
如图1所示，基板收纳容器1能够收纳多枚(例如，25枚)基板W，并且具备容器主体10和盖体20。
容器主体10是将除了正面的开口以外的面分别作为顶面、底面、左侧面、右侧面以及背面的箱状，是所谓的前开口箱型容器。另外，将连接正面开口和背面的方向作为“前后”方向，连接左侧面和右侧面的方向作为“左右”方向或“水平”方向，连接顶面和底面的方向作为“上下”方向。
此外，容器主体10在左侧面以及右侧面具有支承基板W的多个支承体11。支承体11以与基板收纳容器1内所收纳的基板W的最大枚数相对应地在上下方向上等间隔地设置在相同数量的架上，并且由设置于相同的高度位置的左右一对支承体11支承同一基板W，从而基板W以水平状态被收纳于容器主体10的内部。
此处，基板收纳容器1中所收纳的基板W例如是直径为200mm(8英寸)或300mm(12英寸)的由硅、石英、镓/砷、其他材料所形成的具有各种厚度或者贴合的半导体用晶片或掩模玻璃等。另外，在基板W的周缘部也可以形成缺口或定向平面(orientation flat)。
另一方面，盖体20封闭容器主体10的开口，如图2A所示，其具有托盘状的门主体21，以及覆盖门主体21的门盖25(参见图1)。在门主体21和门盖25之间，设置有可装卸自如地将盖体20固定到容器主体10的锁定机构(未图示)。
门主体21具有使中央凹陷而形成的固定凹部22，其用于安装后述的保持器50并进行固定(参见图2B)。固定凹部22在左右内表面具有多个(例如左右合计10个)卡合部23。
此外，为了维持基板收纳容器1的气密性，门主体21设置有垫圈30。作为该垫圈30的材料，可以使用包含聚酯类弹性体、聚烯烃类弹性体、氟类弹性体、聚氨酯类弹性体等的热塑性弹性体、氟橡胶、乙丙橡胶、有机硅类橡胶等弹性材料。
另外，容器主体10以及盖体20例如由聚碳酸酯、环烯烃聚合物、聚丙烯、聚醚酰亚胺、聚醚酮、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚缩醛、液晶聚合物等的热可能性树脂或其合金等作为成型材料注塑而成。另外，成型材料中可根据需要添加抗静电剂、导电性的添加剂、紫外线吸收剂、抗氧化剂等。
接下来，对保持器50进行说明。
图3表示保持器50，图3A是平面图，图3B是侧视图，图3C是仰视图。此外，图3D是表示沿A-A线截取的放大剖视图，图3E是沿B-B线截取的放大剖视图，图3F是沿C-C线截取的放大剖视图。
当容器主体10由盖体20关闭时，保持器50与容器主体10的支承体11一起在前后方向上夹持基板W并进行保持，如上所述，可装卸自如地安装于盖体20。
如图3A所示，该保持器50由上边511、下边512、左边513以及右边514构成的矩形框状的基部框51和从左边513以及右边514向内侧延伸的左右一对的臂52所形成。
基部框51在左边513以及右边514的外侧具有多个(例如，10个)被卡合部57(参见图3B)，该被卡合部57与盖体20的门主体21的卡合部23卡合。
此外，基部框51在左边513以及右边514的外侧还具有至少突出1mm以上的多个(例如，8个)定位突起58，该定位突起58与盖体20的固定凹部22的内侧面抵接以进行定位。另外，除了左边513以及右边514之外，定位突起58还可以形成于上边511以及下边512，反之，也可以不具有定位突起58，而是基部框51的侧周面直接与固定凹部22的内侧面抵接。
以这种方式，保持器50通过定位突起58或基部框51的侧周面相对于盖体20的固定凹部22定位，此外，通过卡合部23和被卡合部57可装卸自如地固定到盖体20。
进一步，基部框51在左边513以及右边514的背面(面向盖体20的门主体21的面)具有至少突出1mm以上的多个(例如50个)间隔突起59(参见图3B)，使保持器50从盖体20以该间隔突起59的高度程度浮起的状态(具有间隙的状态)(参见图2B)。
另一方面，臂52以与基板容纳容器1可收纳的基板W的枚数相同的数量，设置于与多段地收纳各段的基板W相对应的高度位置。例如，当收纳25枚基板W的情况时，臂52以左侧25列以及右侧25列的既定间距形成。另外，由于臂52的左列和右列为左右对称，因此以下仅对一个臂52进行说明。
此外，各臂52在从基端到前端的部分设置有保持力调整部件54，其能够调整按压并保持基板W的保持力。在本实施方式中，该保持力调整部件54具有厚度从基端朝向前端变薄的形状，即以调整壁厚的方式所构成(参见图3C和3D)。另外，保持力调整部件54的厚度可以为0.5mm～1.5mm左右。
通过该保持力调整部件54，臂52的弹簧常数k优选为0.15N/mm以上2.5N/mm。因此，各臂52的保持力可以在0.15N(15gf)以上10.0N(1020gf)以下的范围内分别调整。例如，如果基板W的直径为300mm，则各臂52的保持力(基准值)可以为3N(294gf)左右(在左右一对臂52中，合计保持力为6N。)。另外，将后述的基板支承部件55从无负荷时到弯曲2.5mm时的力作为臂52的保持力。
此处，示出将保持力调整部件54的厚度变薄的具体示例。图4是表示变更了保持力调整部件54的厚度的臂52的剖视图。图4中的点划线是变更前的厚度，实线是变更后的厚度。
通过以这种方式变更保持力调整部件54的厚度，能够根据用途准备标准规格或高载荷规格(低载荷规格)等的保持器50。另外，保持力调整部件54也可以通过调整厚度以外的尺寸(宽度或整体形状)从而能使保持力变更为各种(不同)值。例如，在平面视图中，将臂52的整体设置为朝向前端侧(后述的基板支承部件55的前面)逐渐变细的形状，并且臂52的前端侧的横截面积(宽度×厚度)可以比基部框51的基部侧的横截面积小30％以上。此时，臂52的宽度可以为2.5mm至4mm左右。
此外，保持力调整部件54可以按照标准规格或高载荷规格等不同的保持器50而分别变更，但也可以在同一保持器50内，分别使各段的臂52进行变化。例如，在用于成型保持器50的注塑模具中，由于成型材料的流动容易性因距离浇口位置的位置而不同，从而导致各段的臂52的尺寸产生偏差。因此，结果有时会导致保持力不同，然而也可以利用该保持力调整部件54以使各段的臂52成为均一的保持力。
另外，在对各段的臂52的保持力进行调整的情况时，如果将保持器50以上下颠倒的方向安装在盖体20上，则存在与所希望的保持力不同、基板W与基板支承部件55的上下方向的接触位置与设计值不同的情况(最坏的情况是，基板W位于相邻的基板支承部件55之间，导致无法保持)，为了不会弄错保持器50的上下，可以在基部框51上刻印文字、记号(例如“上”、“↑”等)，或者也可以在基部框51上设置一个或多个防误安装突起51A，以使保持器50无法安装于盖体20。
此外，为了防止标准规格或高载荷规格等不同保持器50的误安装，在该防误安装突起51A上刻印文字、记号(例如，“H”、“L”等)(在图3A中，在三角形状的防误安装突起51A上刻印了表示高载荷规格的“H”。)，或者，也可以在防误安装突起51A的附近，设置外观形状不同于防误安装突起51A的外观形状的其他识别突起(未图示)，通过识别突起的有无或外观形状来区分保持器50的规格。另外，在这种情况下，识别突起也可以是第二防误安装突起51A。
再次返回图3，臂52进一步具有：基板支承部件55，其在前端接触基板W并支承；以及基板引导部件56、其引导基板W的上下方向的位置偏移。
由于基板支承部件55接触基板W的侧面(端面)并支承，并且被接触的基板W按压，所以使整个臂52发生弹性变形。在从与盖体20的封闭方向正交的上下方向的剖面视图中，该基板支承部件55(的支承面)形成为圆弧形状(半圆形)(参见图3D)。另外，基板支承部件55的曲率半径可以为2.0mm以上4.0mm以下。
另一方面，基板引导部件56从半圆筒状的基板支承部件55的上下两端所立设(参见图3E)，作为限制(防止)基板W的上下方向的位置偏移的引导件而发挥功能。上下一对基板引导部件56在从与盖体20的封闭方向正交的上下方向的剖面视图中呈圆弧形状(半圆形)，并且比基板支承部件55更朝向容器主体10侧突出(参见图3D)。
以这种方式，在从左右方向的侧面视图中，基板支承部件55以及上、下一对基板引导部件56构成以基板支承部件55为底部的U形槽(或コ形槽)。另外，尽管基板支承部件55的上下方向的长度，即基板引导部件56彼此之间的间隔取决于基板收纳容器1中收纳的基板W的可收纳枚数、收纳间距以及基板W的厚度，但优选为5mm以上。
具有这些结构的保持器50是以聚碳酸酯、环烯烃聚合物、聚丙烯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚醚酰亚胺、聚醚砜、聚醚醚酮、液晶聚合物或其合金材料、热塑性弹性体等作为成型材料而成型。另外，在形成保持器的成型材料中，与容器主体和盖体一样，也可以根据需要加入抗静电剂、导电添加剂、紫外线吸收剂、抗氧化剂等。
另外，如上所述，有时在注塑模具中，由于成型材料的流动容易性因距离浇口位置的位置而不同等，导致半圆筒状的基板支承部件55的形状可能无法与设计完全相符(在允许范围内)，或者发生缩痕，或者发生脱模故障。因此，如图5A和5B所示，也可以在基板支承部件55的前端设置舌片部件55a，以使得基板支承部件55不成为流路的末端，或者使基板支承部件55的支承面的相反面为凹状而防止厚壁化，从而确保和提高成形性。图5A、5B是表示在末端具有舌片部件55a的臂52，图5A是平面图，图5B是剖面图。
最后，对由盖体20的保持器50和容器主体10的支承体11夹持基板W并进行保持的状态进行说明。
图9A是表示基板W与基板支承部件55的接触状态的示意图。另外，在图9A中，上段(A)表示以往的V字形的基板支承部件，下段(B)表示实施方式的基板支承部件55，此外，从左侧(1)向右侧(3)用虚线来表示使位移量(压入量)变化0mm、2.5mm、3.5mm时的与基板W的接点。
图9B是表示基板W与基板支承部件55的接触位置的轨迹的示意图。另外，在图9B中，以虚线表示以往的V字形的基板支承部件。此外，以实线(1)、点划线(2)以及(3)表示使位移量(压入量)变化0mm、2.5mm、5.0mm时的基板W，以点划线(1')表示接触以往产品的基板支承部件的、使位移量为0mm的基板W。
通过盖体20的封闭动作将盖体20推向容器主体10，当基板W接触保持器50的左右一对基板支承部件55时，各臂52被来自基板W的反作用力按压，开始变形(弯曲)，而且当臂52变形至既定的位置时，则在容器主体10的支承体11和基板支承部件55之间夹持基板W并进行保持。
如果以附图来表现该基板W和基板支承部件55的接触状态，即，接触位置的轨迹，则为如图9B中所示。此处，当将基板W最初接触基板支承部件55的接触位置作为第一接触位置C1，将通过盖体20的封闭完成而使基板支承部件55为2.5mm的压入量时基板W被基板支承部件55保持的接触位置作为保持接触位置C2，则第一接触位置C1与保持接触位置C2的左右方向的差可以为1.0mm以下，优选可以为0.5mm以下。此时，臂52以位于比基板支承部件55更靠外侧的基部作为支点弯曲，并且臂52的延伸方向与相对于盖体20的封闭方向正交的左右方向上一致。
另外，在本实施方式中，当基板支承部件55为2.5mm的压入量时，第一接触位置C1与保持接触位置C2的差为0.46mm，当基板支承部件55为5.0mm的压入量时，第一接触位置C1与保持接触位置C3的差为0.66mm。另一方面，在以往的产品中，第一接触位置C1'与保持接触位置C2'的差为0.75mm，第一接触位置C1'与保持接触位置C3'的差为1.57mm。
如图9A和图9B所示，在本实施方式的基板支承部件55的情况时，由于接触点没有大幅移动，因此可以称之为能够稳定地保持基板W，并且基板W基本上不被摩擦。另一方面，在呈V字形的以往的产品中，由于接触点大幅移动，因此不能称之为能够稳定地保持基板W，基板W会被摩擦。
如以上说明的那样，本发明的实施方式所涉及的基板收纳容器1具备：容器主体10，其能够收纳基板W；以及盖体20，其封闭容器主体10的开口；以及保持器50，其安装于盖体20；以及左右一对基板支承部件55，其形成于保持器50，与容器主体10夹持基板W并进行保持；其中，基板支承部件55在从与盖体20的封闭方向正交的上下方向的剖面视图中为圆弧形状。
因此，当用盖体20封闭容器主体10并保持基板W时，臂受到来自基板W的反作用力的按压而发生弹性变形并位移，但是即使位移量(压入量)不同，基板支承部件55与基板W的接触位置(接触点)也不会发生大的偏移，能够以稳定的位置以及保持力保持基板W。此外，由于能够以适当的夹持力保持基板W，因此能够吸收振动或冲击等，从而能够减轻基板W的损坏。
进一步，通过盖体20的封闭动作，基板W最初接触基板支承部件55的第一接触位置C1与通过盖体20的封闭完成而使基板W被基板支承部件55保持的保持接触位置C2的差可以为1.0mm以下。
实施方式的基板支承部件55与从上下两端所立设的一对基板引导部件56形成U形槽。由此，即使是堆叠基板那样的厚的基板，也能够由比基板W的厚度大(具有高度)的基板支承部件55支承，此外，由于基板引导部件56位于上下，因此能够限制过度的上下移动，所以能够稳定地保持基板W。
实施方式的臂52包含保持力调整部件54，其能够调整保持基板W的保持力。这样，可以提高臂52的设计自由度，可以使保持力为0.15N以上10N以下。
实施方式的保持器50具有防误安装突起51A和/或识别突起。因此，操作者可以识别保持器50的上下方向和载荷规格，可以防止错误地将保持器50安装到盖体20上。此外，具备CCD相机等摄像装置的机器人等对从容器主体10拆下的盖体20进行摄像，并自动辨别(识别)，从而能够在基板W收纳之前发现错误安装。
以上，对本发明的优选实施方式进行了详细说明，但是本发明并不限定于上述实施方式，在权利要求所记载的本发明的主旨的范围内，能够进行各种变形、变更。
(变形例)
对将上述实施方式的保持器50的各结构进行变形而成的变形例进行说明。另外，各种变形例可以各自独立地应用，也可以组合。此外，对于与上述实施方式相同的结构，可以省略附图标记。
图6是表示具有作为保持力调整部件154的肋的臂152的剖视图。
如图6所示，变形例的臂152附加有作为保持力调整部件154的肋(以下称为“肋154”)。)。
肋154可以通过改变长度而不改变厚度来调整保持力。例如，当肋154的长度L在0.6mm以上19mm以下的范围内变更时，另外，使保持基板W时基板支承部件55的位移量X在1mm以上4mm以下的范围内变更时，优选保持力Y(N:牛顿)满足下式(1)。
式(1) 0.15X≤Y≤2.50X
即，优选为通过调整肋154的长度L，使得臂152的弹簧常数k成为0.15N/mm以上2.5N/mm。在这种情况时，臂152的保持力可以在0.15N(15gf)以上10.0N(1020gf)以下的范围内分别进行调整。
进一步，优选肋154的长度L在8mm以上14mm以下的范围内变更，例如，通过将肋154的长度L设为11mm，将弹簧常数k调整为1.2N/mm，从而将臂152的位移量X为2.5mm时的保持力设为3N(294gf)。
此外，具有肋154的臂152在臂152充分弯曲时，如图6中的点划线所示，肋154与盖体20接触。以下，将肋154的与盖体20的接触部称为接触基部153。
通常，臂152为使用臂152整体弯曲的结构，但是当在基板收纳容器1的搬运、转移期间施加强烈冲击等的紧急情况时，由于接触基部153接触盖体20(门主体21)，因此臂152变形的起点(支点)从与左侧513的连接部转移到接触基部153，因此臂152弯曲部分的表观长度变短，可使弹簧载荷或弹簧常数增加。
也就是说，由于臂152具有接触基部153，从而可使弹簧载荷或弹簧常数增加。另外，接触基部153也可以设置在肋154的前端以外的区域，或者也可以与肋154分开设置，进一步，也可以仅在臂152充分弯曲时将接触盖体20的接触基部153设置于臂152。
图7是表示具有开口孔1513a的基部框151的平面图。
如图7所示，基部框151沿左边1513(其中，未图示的右边也是如此)的全长形成有多个贯通前表面和后表面的开口孔1513a。通过如此设置开口孔1513a，从而能够与上述的隔离突起59一并在基板收纳容器1的清洗时将残留的清洗液、清洁水等液体以无残留的方式排出。
图8是表示具有限制突出部件2516的基部框251的平面图。
如图8所示，基部框251在左边1513以及右边1514之间具有连接上边2511和下边(未图示)的中间边2515。
在该中间边2515设置有多个限制突出部件2516，用于限制基板W的上下方向的移动。但是，限制突出部件2516也可以如专利文献1的图4那样配置。
该限制突出部件1516并非如设置于可弹性变形的臂52的前端的基板支承部件55那样动态地支承基板W，而是通过将基板W插入到相邻的限制突出部件2516的间隙中，从而能够固定(静态)地夹持基板W以限制位置偏移。另外，限制突出部件2516之间的间隙位于与由基板支承部件55以及基板引导部件56所形成的槽相同的高度。
附图标号说明
1：基板收纳容器
10：容器主体
11：支承体
20：盖体
21：门主体
22：固定凹部
23：卡合部
25：门盖
30：垫圈
50：保持器
51：基部框
511：上边
512：下边
513：左边
514：右边
51A：防误安装突起
52：臂
54：保持力调整部件
55：基板支承部件
55a：舌片部件
56：基板引导部件
57：被卡合部
58：定位突起
59：间隔突起
152：臂
153：接触基部
154：肋
151：基部框
1513：左边
1513a：开口孔
251：基部框
2511：上边
2513：左边
2514：右边
2515：中间边
2516：限制突出部件
W：基板

Claims (10)

1.一种基板收纳容器，其具备：
容器主体，其能够收纳基板；以及
盖体，其封闭所述容器主体的开口；以及
保持器，其安装于所述盖体；以及
左右一对基板支承部件，其形成于所述保持器，与所述容器主体夹持所述基板并进行保持；其特征在于，
所述基板支承部件在从与所述盖体的封闭方向正交的上下方向的剖面视图中为圆弧形状。
2.根据权利要求1所述的基板收纳容器，其特征在于，
第一接触位置和保持接触位置的差为1.0mm以下；其中，所述第一接触位置是通过所述盖体的封闭动作，所述基板最初与所述基板支承部件接触的位置；所述保持接触位置是通过所述盖体的封闭完成，使所述基板被所述基板支承部件保持的位置。
3.根据权利要求1或2所述的基板收纳容器，其特征在于，
所述基板支承部件与从上下两端所立设的一对基板引导部件形成U形槽。
4.根据权利要求1至3中的任一项所述的基板收纳容器，其特征在于，
所述保持器具有形成有所述基板支承部件的臂，
所述臂包含能够调整保持所述基板的保持力的保持力调整部件。
5.根据权利要求4所述的基板收纳容器，其特征在于，
所述保持力为0.15N以上10N以下。
6.根据权利要求1至5中的任一项所述的基板收纳容器，其特征在于，
所述保持器具有形成有所述基板支承部件的臂，
所述臂具有能够接触所述盖体的接触基部，通过所述接触基部接触所述盖体，弹簧常数发生变化。
7.根据权利要求1至6中的任一项所述的基板收纳容器，其特征在于，
所述保持器具有安装于所述盖体的基部框，
所述基部框形成有开口孔。
8.根据权利要求1至7中的任一项所述的基板收纳容器，其特征在于，
所述保持器具有安装于所述盖体的基部框，
所述基部框形成有限制突出部件，所述限制突出部件限制所述基板的相对于上下方向的移动。
9.根据权利要求1至8中的任一项所述的基板收纳容器，其特征在于，
所述保持器形成有防误安装突起，所述防误安装突起能够识别安装时的上下方向或所述保持器自身的规格。
10.根据权利要求4或5所述的基板收纳容器，其特征在于，
所述保持力调整部件通过在0.6mm以上19mm以下的范围内变更肋的长度来调整保持力，
所述保持力在保持所述基板时的所述基板支承部件的位移量在1mm以上4mm以下的范围内，满足下述式(1)；
式(1) 0.15X≤Y≤2.5X
其中，Y是保持力(N)，X是基板支承部件的位移量(mm)。
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