CN117059542B - 一种超洁净环境下晶圆传送装置及方法 - Google Patents

Abstract

本发明属于晶圆搬运领域，公开了一种超洁净环境下晶圆传送装置及方法，包括：基座，上端设有大臂，所述大臂一端连接有小臂；夹爪，设置在所述小臂一端用于对晶圆进行承载；主负压腔，设置在所述夹爪内部，用于负压输送；主吸盘，设置在所述夹爪表面并与所述主负压腔内部连通，用于对晶圆进行吸附固定；辅助吸附机构，其活动安装在夹爪下方并可向外扩张，用于对面积大的晶圆外周进行吸附固定。本发明通过设置辅助吸附机构，可以利用夹爪下表面两侧的两个辅助吸附机构向外展开，从而可以使得夹爪在原有吸附点的基础上向外扩张增加吸附点，可以对面积大的晶圆外周进行吸附定位，增加吸附稳定性。

Description

一种超洁净环境下晶圆传送装置及方法

技术领域

本发明属于晶圆搬运技术领域，具体涉及一种超洁净环境下晶圆传送装置及方法。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。晶圆是半导体芯片的中间产物。

在现有的加工晶圆自动化设备中，最常用机械手臂作为取放晶圆的机构，此种机械手臂通常被制成薄型平板状的手臂，并在手臂表面设有供空气流通的气槽，当手臂接触到晶圆时，利用外在的真空源将手臂气槽中的空气抽除，以形成真空状态来达到吸取晶圆的目的。

如申请公开号为CN115083986A的中国专利公开了一种具有End effect的SCARA机器人手臂，其通过在抓臂上设置多个均匀排布的抓合孔可对晶圆提供多点吸合，吸合动作稳固，使得晶圆搬运过程中的稳定性及安全性得到提升。

上述专利虽然可以实现对晶圆的吸附传送工作，但还存在如下问题：

由于机械手臂的端部夹爪面积较小，吸附点较为集中，在对面积大的晶圆进行吸附定位时，其吸附点靠近于晶圆的中部，此时晶圆的外周没有固定点，导致在对晶圆传送过程中，容易出现不稳定、掉片的现象，进而带来损失。

发明内容

本发明的目的在与提供一种超洁净环境下晶圆传送装置及方法，用于解决背景技术中提出的技术问题。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：一种超洁净环境下晶圆传送装置，包括：基座，上端设有大臂，所述大臂一端连接有小臂；夹爪，设置在所述小臂一端用于对晶圆进行承载；主负压腔，设置在所述夹爪内部，用于负压输送；主吸盘，设置在所述夹爪表面并与所述主负压腔内部连通，用于对晶圆进行吸附固定；辅助吸附机构，其活动安装在夹爪下方并可向外扩张，用于对面积大的晶圆外周进行吸附固定；驱动机构，设置在所述夹爪下方，用于驱动所述辅助吸附机构向外扩张或收缩至夹爪下方；所述辅助吸附机构包括：第一辅助吸附组件，转动安装在夹爪下方；第二辅助吸附组件，转动安装在夹爪下方并与第一辅助吸附组件对称设置；通过驱动机构驱动辅助吸附机构向外扩张或向内收拢，以适应对不同面积大小的晶圆进行传送。

优选的，所述第一辅助吸附组件包括：空心轴杆，转动安装在夹爪下表面上，并可与主负压腔内部连通；固定座，固定安装在空心轴杆上，并与夹爪平行设置；次负压腔，设置在所述固定座内部，并与所述空心轴杆内部连通，用于负压输送；吸附管，设置在所述固定座上，并通过软管与次负压腔内部连通；辅助吸盘，设置在所述吸附管一端并与所述吸附管内部连通。

优选的，所述辅助吸附机构还包括控制组件，用于控制空心轴杆与主负压腔连通或封闭；所述控制组件包括：固定圆板，设置在所述空心轴杆顶端用于对空心轴杆顶端封闭；第一气口，设置有四组，贯穿设置在所述固定圆板上并呈周向均匀分布；第二气口，设置有四组，贯穿设置在所述夹爪下表面并与所述主负压腔内部连通；其中，所述第一气口上表面与所述第二气口下表面贴合，所述第一气口与所述第二气口交错设置，所述空心轴杆偏转一定角度时，第一气口与第二气口连通或封闭。

优选的，所述第二辅助吸附组件与第一辅助吸附组件结构相同。

优选的，所述驱动机构包括:气缸，固定安装在夹爪下表面中心位置；牵引杆，设置在所述气缸的延伸端并与所述气缸的延伸端铰接；偏转组件，设置在所述空心轴杆上并与所述牵引杆的另一端铰接，用于带动空心轴杆偏转一定的角度。

优选的，所述偏转组件包括：异形齿轮，设置有两个，分别设置在第一辅助吸附组件和第二辅助吸附组件上的空心轴杆上；转盘，设置在所述第一辅助吸附组件上的空心轴杆底端，所述转盘下表面设有铰接件并与所述牵引杆一端连接。

优选的，所述固定座上设有用于对吸附管进行折叠或支撑的翻转机构，所述翻转机构包括：固定架，设置在所述固定座上表面两侧；转轴，转动安装在固定架上并与所述吸附管侧壁固定连接；从动齿轮，固定安装在转轴一端；推拉组件，用于驱动从动齿轮进行正向或者反向转动。

优选的，所述推拉组件包括：滑槽，开设在所述固定座表面；齿条，设置在所述滑槽上并与其滑动连接，所述齿条位于所述从动齿轮下方并与所述从动齿轮啮合；推杆，一端与所述夹爪下表面铰接，另一端与所述齿条铰接。

优选的，所述辅助吸附机构设有两组，两组所述辅助吸附机构对称设置在所述夹爪下表面两侧，两组所述辅助吸附机构同步运行进行展开或收拢。

一种超洁净环境下晶圆传送方法，包括以下步骤：

步骤一：根据需要传送晶圆的面积大小判断是否需要启动辅助吸附机构；

步骤二：若搬运面积大的晶圆，利用驱动机构工作，利用气缸延伸一定的距离，通过牵引杆推动两组辅助吸附机构同步运行进行展开；

步骤三：辅助吸附机构展开的同时，翻转机构同步运行，利用推拉杆拉动齿条运行，并利用齿条啮合从动齿轮转动，进而使得吸附管翻转度，并使得吸附管上的辅助吸盘与主吸盘处于同一水平面上对晶圆进行吸附；

步骤四：若搬运面积小的晶圆，利用驱动机构工作，通过气缸收缩，并利用牵引杆拉动两组辅助吸附机构同步运行进行收拢，同时，推拉杆推动齿条移动，并使得吸附管翻转进行折叠，将两组辅助吸附机构收拢至夹爪下表面两侧，仅利用夹爪表面的主吸盘吸附即可。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本发明的有益效果是：

1、本发明通过设置辅助吸附机构，在对面积大的晶圆进行吸附传送时，可以利用夹爪下表面两侧的两个辅助吸附机构向外展开，从而可以使得夹爪在原有吸附点的基础上向外扩张增加吸附点，可以对面积大的晶圆外周进行吸附定位，增加吸附稳定性，有效实现对面积大的晶圆进行传送。

2、本发明通过设置控制组件，利用空心轴杆转动控制主负压腔与次负压腔内部连通或者封闭，可以在不利用辅助吸附机构时，使得主负压腔与次负压腔内部断开，降低能耗，便于使用。

3、本发明通过设置翻转机构，可以在辅助吸附机构收拢至夹爪下方时，利用翻转机构对吸附管进行折叠收纳，减少其占用空间高度；并且，可以在辅助吸附机构向外扩张开来时，利用翻转机构驱动吸附管展开并与夹爪高度齐平，进而便于对晶圆进行吸附定位，稳定性高。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图做简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1示出了本发明的主视图；

图2示出了本发明的夹爪整体结构示意图；

图3示出了本发明的夹爪内部结构示意图；

图4示出了本发明的夹爪仰视图；

图5示出了本发明的辅助吸附组件整体结构示意图；

图6示出了本发明的图5中A部分放大结构示意图；

图7示出了本发明的控制组件结构示意图；

图8示出了本发明的第一辅助吸附组件结构示意图；

图9示出了本发明的第一辅助吸附组件局部结构示意图；

图10示出了本发明的翻转机构结构示意图；

图11示出了本发明的夹爪吸附面积小的晶圆示意图；

图12示出了本发明的夹爪吸附面积大的晶圆示意图；

图13示出了本发明的图3中B部分放大结构示意图。

附图标记：100、基座；101、大臂；102、小臂；103、夹爪；103a、主负压腔；103b、主吸盘；200、辅助吸附机构；201、第一辅助吸附组件；201a、空心轴杆；201b、固定座；201c、次负压腔；201d、吸附管；201e、辅助吸盘；202、第二辅助吸附组件；203、控制组件；203a、固定圆板；203b、第一气口；203c、第二气口；300、驱动机构；301、气缸；302、牵引杆；303、偏转组件；303a、转盘；303b、异形齿轮；400、翻转机构；401、固定架；402、转轴；403、从动齿轮；404、推拉组件；404a、滑槽；404b、齿条；404c、推杆。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例1

参照图1-9所示，一种超洁净环境下晶圆传送装置，包括基座100，上端设有大臂101，大臂101与基座100转动连接，大臂101上表面一端连接有小臂102，小臂102与大臂101转动连接；小臂102一端设置有用于对晶圆进行承载的夹爪103，夹爪103由U形爪体和手柄组成，夹爪103通过手柄与小臂102固定连接，基座100上设有动力机构驱动大臂101和小臂102进行转动和延伸，进而带动夹爪103进行移动；

具体的，如图3所示，夹爪103内部设有主负压腔103a，主负压腔103a整体呈“Y”形设置，主负压腔103a与外接真空泵连接，用于负压输送；如图2所示，夹爪103表面设有三个主吸盘103b，三个主吸盘103b均匀分布在爪体上并与主负压腔103a内部连通，用于对晶圆进行吸附固定；

本实施例中，当晶圆放置在夹爪103表面时，可以利用真空泵工作，使得主负压腔103a内部产生负压，从而可以利用三个主吸盘103b对晶圆下表面的不同位置进行吸附定位，从而可以将晶圆固定在夹爪103表面，并利用大臂101和小臂102配合驱动夹爪103进行移动，从而将晶圆传送至相应的位置。

进一步的，如图4和图5所示，夹爪103下方设置有辅助吸附机构200，可向外扩张，用于对面积大的晶圆外周进行吸附固定；辅助吸附机构200包括第一辅助吸附组件201和第二辅助吸附组件202，第一辅助吸附组件201和第二辅助吸附组件202结构相同，且对称转动安装在夹爪103下方；

本实施例中，在传送面积大的晶圆时，通过辅助吸附机构200向外扩张，并利用第一辅助吸附组件201和第二辅助吸附组件202对面积大的晶圆外周进行吸附固定。

进一步的，如图8和图9所示，第一辅助吸附组件201包括转动安装在夹爪103下表面上的空心轴杆201a，空心轴杆201a可与主负压腔103a内部连通；固定安装在空心轴杆201a上的固定座201b，固定座201b呈矩形设置，并与夹爪103平行设置，空心轴杆201a转动时带动固定座201b同步转动；固定座201b内部开设有次负压腔201c，次负压腔201c与空心轴杆201a内部连通，用于负压输送；固定座201b上设置有吸附管201d，吸附管201d通过软管与次负压腔201c内部连通，吸附管201d一端设置有辅助吸盘201e，辅助吸盘201e与吸附管201d内部连通；第二辅助吸附组件202与第一辅助吸附组件201结构相同。

本实施例中，当空心轴杆201a转动一定角度并与主负压腔103a内部连通时，此时固定座201b同步转动，并向外扩张至夹爪103外部，此时晶圆在与夹爪103表面三个主吸盘103b接触的同时，与第一辅助吸附组件201和第二辅助吸附组件202上的辅助吸盘201e也接触，可以利用辅助吸盘201e对面积大的晶圆外周进行吸附定位，可以有效实现对面积大的晶圆进行传送搬运，且不需要更换夹爪103。

进一步的，如图7和图13所示所示，辅助吸附机构200还包括控制组件203，用于控制空心轴杆201a与主负压腔103a连通或封闭；控制组件203包括设置在空心轴杆201a顶端的固定圆板203a，固定圆板203a用于对空心轴杆201a顶端封闭；贯穿设置在固定圆板203a上并呈周向均匀分布的四个第一气口203b，用于将空心轴杆201a内部与外部进行连通；贯穿设置在夹爪103下表面并与主负压腔103a内部连通的四个第二气口203c；其中，第一气口203b上表面与第二气口203c下表面贴合，第一气口203b与第二气口203c大小相同且交错设置，空心轴杆201a偏转一定角度时，第一气口203b与第二气口203c连通或封闭；

本实施例中，当需要使用辅助吸附机构200进行工作时，可以利用空心轴杆201a偏转45度，此时，第一气口203b与第二气口203c连通，由于第二气口203c与主负压腔103a内部连通，进而可以使得空心轴杆201a和次负压腔201c内部也处于负压状态，进而可以利用辅助吸盘201e进行吸附定位工作；且在不使用辅助吸附机构200时，空心轴杆201a反向偏转45度，使得四个第一气口203b与四个第二气口203c交错，进而实现对空心轴杆201a的封堵，使得空心轴杆201a与主负压腔103a不连通，进而可以降低负压能耗。

具体的，如图5和图6所示，夹爪103下方还设有用于驱动辅助吸附机构200向外扩张或收缩至夹爪103下方的驱动机构300；驱动机构300包括固定安装在夹爪103下表面中心位置的气缸301；设置在气缸301的延伸端并与气缸301的延伸端铰接的牵引杆302，以及和牵引杆302一端连接的偏转组件303，偏转组件303设置在空心轴杆201a，用于带动空心轴杆201a偏转一定的角度；

本实施例中，当气缸301进行延伸时，此时气缸301的延伸端推动牵引杆302移动，同时牵引杆302可以推动偏转组件303偏转一定的角度，从而可以通过偏转组件303的转动带动空心轴杆201a转动一定的角度，实现将辅助吸附机构200向外扩张；当气缸301进行收缩，可以利用牵引杆302拉动偏转组件303运动，进而使得空心轴杆201a转动，并实现将辅助吸附机构200收拢至夹爪103下方。

进一步的，如图6所示，偏转组件303包括两个异形齿轮303b，其分别设置在第一辅助吸附组件201和第二辅助吸附组件202上的空心轴杆201a上；第一辅助吸附组件201上的空心轴杆201a底端设置有转盘303a，转盘303a下表面设有铰接件并与牵引杆302一端连接；

本实施例中，当牵引杆302拉动转盘303a偏转时，此时转盘303a带动第一辅助吸附组件201上的空心轴杆201a转动，同时两个异形齿轮303b啮合转动，进而可以使得第一辅助吸附组件201和第二辅助吸附组件202上的空心轴杆201a同步转动，实现将第一辅助吸附组件201和第二辅助吸附组件202向外扩张或向夹爪103下方收拢。

工作原理:当需要对面积大的晶圆进行吸附传送时，可以启动驱动机构300，利用气缸301延伸一定距离并推动牵引杆302进行移动，牵引杆302移动的同时推动转盘303a进行偏转45度，此时由于转盘303a转动，可以使得第一辅助吸附组件201上的空心轴杆201a转动，进而通过两个异形齿轮303b啮合转动，使得第二辅助吸附组件202上的空心轴杆201a同步转动，此时空心轴杆201a偏转45度，同时空心转轴402带动固定座201b偏转，使得固定座201b从夹爪103下方向夹爪103外侧扩张；

空心轴杆201a偏转45度时，此时，第一气口203b与第二气口203c连通，由于第二气口203c与主负压腔103a内部连通，进而可以使得空心轴杆201a和次负压腔201c内部也处于负压状态，进而可以利用辅助吸盘201e进行吸附定位工作；

此时，如图12所示，当面积大的晶圆放置在夹爪103表面时，此时夹爪103上的三个主吸盘103b与靠近晶圆中心部分接触并吸附，扩张至夹爪103外部的辅助吸附机构200，可以通过辅助吸盘201e与晶圆的外周进行吸附定位，实现对面积大的晶圆进行吸附传送；

如图11所示，当需要对面积小的晶圆进行吸附传送时，此时可以利用气缸301收缩，进而利用牵引杆302拉动转盘303a反向偏转45度复位，进而可以使得第一辅助吸附组件201和第二辅助吸附组件202上的空心轴杆201a转动复位，从而使得第一气口203b与第二气口203c错位，此时空心轴杆201a与主负压腔103a内部不连通，进而可以降低负压能耗，便于使用；

可以根据晶圆面积大小进行调节使用，适用性高，不需要因为晶圆面积大小更换夹爪103，便于使用。

实施例2

参照图10所示，固定座201b上设有用于对吸附管201d进行折叠或支撑的翻转机构400，翻转机构400包括设置在固定座201b上表面两侧的固定架401；转动安装在固定架401上的转轴402，转轴402与吸附管201d侧壁固定连接，转轴402转动时，可以带动吸附管201d同步转动进行翻转；转轴402一端固定安装有从动齿轮403；固定座201b与夹爪103下表面之间设有推拉组件404，用于驱动从动齿轮403进行正向或者反向转动；

本实施例中，当固定座201b跟随空心轴偏转向夹爪103外侧扩张时，可以利用推拉组件404工作，驱动从动齿轮403正向转动，从而可以使得转轴402同步转动，且转轴402转动的同时可以带动吸附管201d转动进行翻转，使得吸附管201d与固定座201b垂直设置，此时吸附管201d与夹爪103表面位于同一水平面上，可以便于对晶圆进行吸附定位。

具体的，如图10所示，推拉组件404包括开设在固定座201b表面的滑槽404a，滑槽404a表面滑动连接有齿条404b，齿条404b位于从动齿轮403下方并与从动齿轮403啮合，齿条404b在滑槽404a内滑动时，可以啮合齿轮进行转动，齿条404b表面设有一段距离的光滑部，光滑部不与齿轮接触；夹爪103下表面铰接有推杆404c，推杆404c的另一端与齿条404b表面铰接；

本实施例中，当固定座201b进行偏转时，此时推拉杆可以推动或者拉动齿条404b在滑槽404a内部滑动，且齿条404b在滑动的同时可以啮合从动齿轮403进行正向或者反向转动，进而可以使得转轴402转动并对吸附管201d进行支撑或者折叠。

工作原理:当固定座201b向夹爪103外部偏转45度时，此时固定座201b上表面与夹爪103下表面之间的距离增加，推杆404c拉动齿条404b在滑槽404a内部滑动一定距离，使得齿轮正向转动90度，此时转轴402同步转动90度并带动吸附管201d以转轴402为中心翻转90度，此时吸附管201d与固定座201b表面垂直，同时吸附管201d与夹爪103上表面处于同一水平面上，吸附管201d上的辅助吸盘201e与夹爪103表面的主吸盘103b处于同一水平面上，进而可以同时对晶圆下表面的不同位置进行吸附定位，增加稳定性；

当固定座201b收拢至夹爪103下方时，即固定座201b反向偏转45度复位时，此时固定座201b上表面与夹爪103下表面之间的距离减小，推杆404c推动齿条404b移动，此时齿条404b啮合从动齿轮403反向转动90度，此时吸附管201d折叠并与固定座201b平行设置，同时齿条404b的光滑面位于从动齿轮403下方，可以有效减少辅助吸附机构200闲置时的占用空间，便于使用。

实施例3

一种超洁净环境下晶圆传送方法，包括以下步骤：

步骤一：根据需要传送晶圆的面积大小判断是否需要启动辅助吸附机构200；

步骤二：若搬运面积大的晶圆，利用驱动机构300工作，利用气缸301延伸一定的距离，气缸301延伸的同时推动牵引杆302移动，通过牵引杆302推动转盘303a偏转45度，从而可以使得两组辅助吸附机构200同步运行进行展开，此时第一辅助吸附组件201和第二辅助吸附组件202向夹爪103外部扩张；

步骤三：辅助吸附机构200展开的同时，翻转机构400同步运行，利用推杆404c拉动齿条404b运行，并利用齿条404b啮合从动齿轮403转动，进而使得吸附管201d翻转度90度，此时吸附管201d与固定座201b表面垂直，且吸附管201d上的辅助吸盘201e与主吸盘103b处于同一水平面上对晶圆下表面进行吸附；

步骤四：若搬运面积小的晶圆，利用驱动机构300工作，通过气缸301收缩带动牵引杆302移动，并利用牵引杆302拉动转盘303a反向转动45度复位，两组辅助吸附机构200同步运行向夹爪103下方收拢，同时，推杆404c推动齿条404b移动，并使得吸附管201d翻转进行折叠，将两组辅助吸附机构200收拢至夹爪103下表面两侧，仅利用夹爪103表面的主吸盘103b吸附即可。

综上，本发明可以根据需要吸附传送的晶圆面积的大小，进行调节使用，可以利用同一种夹爪103，实现对不同面积大小的晶圆吸附传送，适用性高，且不需要因晶圆大小不同更换不同的夹爪103，操作方便，可以有效提高晶圆的传送效率，便于使用。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

以上公开的本发明优选实施例只是用于帮助阐述本发明。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该发明仅为的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本发明的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本发明。本发明仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (10)

1.一种超洁净环境下晶圆传送装置，其特征在于，包括：

基座（100），上端设有大臂（101），所述大臂（101）一端连接有小臂（102）；

夹爪（103），设置在所述小臂（102）一端用于对晶圆进行承载；

主负压腔（103a），设置在所述夹爪（103）内部，用于负压输送；

主吸盘（103b），设置在所述夹爪（103）表面并与所述主负压腔（103a）内部连通，用于对晶圆进行吸附固定；

辅助吸附机构（200），其活动安装在夹爪（103）下方并可向外扩张；

驱动机构（300），设置在所述夹爪（103）下方，用于驱动所述辅助吸附机构（200）向外扩张或收缩至夹爪（103）下方；

所述辅助吸附机构（200）包括：

第一辅助吸附组件（201），转动安装在夹爪（103）下方；

第二辅助吸附组件（202），转动安装在夹爪（103）下方并与第一辅助吸附组件（201）对称设置；

通过驱动机构（300）驱动辅助吸附机构（200）向外扩张或向内收拢，以适应对不同面积大小的晶圆进行传送。

2.如权利要求1所述的超洁净环境下晶圆传送装置，其特征在于：所述第一辅助吸附组件（201）包括：

空心轴杆（201a），转动安装在夹爪（103）下表面上，并可与主负压腔（103a）内部连通；

固定座（201b），固定安装在空心轴杆（201a）上，并与夹爪（103）平行设置；

次负压腔（201c），设置在所述固定座（201b）内部，并与所述空心轴杆（201a）内部连通，用于负压输送；

吸附管（201d），设置在所述固定座（201b）上，并通过软管与次负压腔（201c）内部连通；

辅助吸盘（201e），设置在所述吸附管（201d）一端并与所述吸附管（201d）内部连通。

3.如权利要求2所述的超洁净环境下晶圆传送装置，其特征在于：所述辅助吸附机构（200）还包括控制组件（203），用于控制空心轴杆（201a）与主负压腔（103a）连通或封闭；

所述控制组件（203）包括：

固定圆板（203a），设置在所述空心轴杆（201a）顶端用于对空心轴杆（201a）顶端封闭；

第一气口（203b），设置有四组，贯穿设置在所述固定圆板（203a）上并呈周向均匀分布；

第二气口（203c），设置有四组，贯穿设置在所述夹爪（103）下表面并与所述主负压腔（103a）内部连通；

其中，所述第一气口（203b）上表面与所述第二气口（203c）下表面贴合，所述第一气口（203b）与所述第二气口（203c）交错设置，所述空心轴杆（201a）偏转一定角度时，第一气口（203b）与第二气口（203c）连通或封闭。

4.如权利要求2或3所述的超洁净环境下晶圆传送装置，其特征在于：所述第二辅助吸附组件（202）与第一辅助吸附组件（201）结构相同。

5.如权利要求4所述的超洁净环境下晶圆传送装置，其特征在于：所述驱动机构（300）包括：

气缸（301），固定安装在夹爪（103）下表面中心位置；

牵引杆（302），设置在所述气缸（301）的延伸端并与所述气缸（301）的延伸端铰接；

偏转组件（303），设置在所述空心轴杆（201a）上并与所述牵引杆（302）的另一端铰接，用于带动空心轴杆（201a）偏转一定的角度。

6.如权利要求5所述的超洁净环境下晶圆传送装置，其特征在于：所述偏转组件（303）包括：

异形齿轮（303b），设置有两个，分别设置在第一辅助吸附组件（201）和第二辅助吸附组件（202）上的空心轴杆（201a）上；

转盘（303a），设置在所述第一辅助吸附组件（201）上的空心轴杆（201a）底端，所述转盘（303a）下表面设有铰接件并与所述牵引杆（302）一端连接。

7.如权利要求5或6所述的超洁净环境下晶圆传送装置，其特征在于：所述固定座（201b）上设有用于对吸附管（201d）进行折叠或支撑的翻转机构（400），所述翻转机构（400）包括：

固定架（401），设置在所述固定座（201b）上表面两侧；

转轴（402），转动安装在固定架（401）上并与所述吸附管（201d）侧壁固定连接；

从动齿轮（403），固定安装在转轴（402）一端；

推拉组件（404），用于驱动从动齿轮（403）进行正向或者反向转动。

8.如权利要求7所述的超洁净环境下晶圆传送装置，其特征在于：所述推拉组件（404）包括：

滑槽（404a），开设在所述固定座（201b）表面；

齿条（404b），设置在所述滑槽（404a）上并与其滑动连接，所述齿条（404b）位于所述从动齿轮（403）下方并与所述从动齿轮（403）啮合；

推杆（404c），一端与所述夹爪（103）下表面铰接，另一端与所述齿条（404b）铰接。

9.如权利要求1或8所述的超洁净环境下晶圆传送装置，其特征在于：所述辅助吸附机构（200）设有两组，两组所述辅助吸附机构（200）对称设置在所述夹爪（103）下表面两侧，两组所述辅助吸附机构（200）同步运行进行展开或收拢。

10.一种超洁净环境下晶圆传送方法，基于权利要求1-9中任一项所述的超洁净环境下晶圆传送装置来实现，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一：根据需要传送晶圆的面积大小判断是否需要启动辅助吸附机构（200）；

步骤二：若搬运面积大的晶圆，利用驱动机构（300）工作，利用气缸（301）延伸一定的距离，通过牵引杆（302）推动两组辅助吸附机构（200）同步运行进行展开；

步骤三：辅助吸附机构（200）展开的同时，翻转机构（400）同步运行，利用推拉杆拉动齿条（404b）运行，并利用齿条（404b）啮合从动齿轮（403）转动，进而使得吸附管（201d）翻转90度，并使得吸附管（201d）上的辅助吸盘（201e）与主吸盘（103b）处于同一水平面上对晶圆进行吸附；

步骤四：若搬运面积小的晶圆，利用驱动机构（300）工作，通过气缸（301）收缩，并利用牵引杆（302）拉动两组辅助吸附机构（200）同步运行进行收拢，同时，推拉杆推动齿条（404b）移动，并使得吸附管（201d）翻转90度进行折叠，将两组辅助吸附机构（200）收拢至夹爪（103）下表面两侧，仅利用夹爪（103）表面的主吸盘（103b）吸附即可。