CN117219560B - 一种超洁净环境下晶圆传送用末端吸附装置 - Google Patents

Abstract

本发明属于半导体制造技术领域，公开了一种超洁净环境下晶圆传送用末端吸附装置，包括，吸附爪主体，其上设有负压腔和主吸盘；主吸附手指，相对固定设置在所述吸附爪主体上，用于配合所述主吸盘对晶圆进行吸附；辅助吸附手指，相对设置在所述主吸附手指下方并与所述吸附爪主体活动连接，用于对不同面积的晶圆进行吸附。本发明通过设置主吸附手指和辅助吸附手指，并将辅助吸附手指与吸附爪主体活动连接，可以根据吸附晶圆面积的大小，将辅助吸附手指展开或收拢，用于吸附不同面积大小的晶圆，且不需要根据晶圆面积大小更换不同的吸附爪，便于使用。

Description

一种超洁净环境下晶圆传送用末端吸附装置

技术领域

本发明属于半导体制造技术领域，具体涉及一种超洁净环境下晶圆传送用末端吸附装置。

背景技术

半导体制造过程中需要经过多道工艺对晶圆片进行加工，因此需要将晶圆片在不同的工艺单元之间进行搬运，而由于真空吸附式的夹爪具有施力柔和均匀，与晶圆片接触面积小，洁净度高等优势，逐渐成为主流的晶圆吸附搬运工具。

由于晶圆本身具有厚度薄，质地脆的特点，在对晶圆进行吸附搬运时，会因接触区域小，导致吸附力过于集中在晶圆的某一局部区域，从而使晶圆在吸附或搬运过程中破损，并且，在吸附面积大的晶圆时，由于晶圆片重心不稳定等问题，容易导致晶圆片在自重的作用下形成不同程度的翘曲和变形。

如授权公告号为CN214643745U的中国专利公开了真空吸附式环形末端夹持器，其通过将吸附装置设置成环形，并在其表面设置三个触盘，利用三个触盘与晶圆片的边缘区域接触，形成三点的稳定接触，有效提高吸盘对晶圆片整个表面的支撑，避免晶圆片的变形。

上述专利虽然可以实现避免晶圆边缘变形的效果，但还存在如下问题：

吸附范围不可调，只能对单一型号大小的晶圆进行吸附；且在吸附较大晶圆片时，虽然对其边缘进行吸附防变形，但其中心部分没有支撑，晶圆的中心部分容易因自重发生形变。

发明内容

本发明的目的在于提供一种超洁净环境下晶圆传送用末端吸附装置，用于解决背景技术中提出的技术问题。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：一种超洁净环境下晶圆传送用末端吸附装置，包括，吸附爪主体，其上设有负压腔和主吸盘；主吸附手指，相对固定设置在所述吸附爪主体上，用于配合所述主吸盘对晶圆进行吸附；辅助吸附手指，相对设置在所述主吸附手指下方并与所述吸附爪主体活动连接，用于对不同面积的晶圆进行吸附；所述主吸附手指包括：固定壳体，固定设置在所述吸附爪主体上；延伸吸附端，活动设置在所述固定壳体一端；延伸组件，设置在所述固定壳体与延伸吸附端之间，用于控制延伸吸附端与固定壳体之间的距离；其中，所述主吸附手指可以通过延伸组件进行延伸或收缩并配合辅助吸附手指的展开或收拢，实现对不同面积的晶圆进行吸附。

优选的，所述延伸组件包括：延伸架，设置在所述固定壳体内部并与所述固定壳体滑动连接；延伸框，滑动设置在所述延伸架上并与所述延伸吸附端固定连接，用于在延伸架向外延伸时进行二次延伸；第一齿条，相对固定设置在所述固定壳体内部两侧，用于与所述延伸架连接。

优选的，所述延伸架包括：架体，其上表面与所述固定壳体滑动连接；驱动轴，转动设置在所述架体靠近固定壳体内部的一侧壁上；从动轴，贯穿所述架体并与所述架体转动连接，所述从动轴与驱动轴相对设置；同步带，设置在所述驱动轴与从动轴之间；第一齿轮，固定安装在所述驱动轴上并与所述第一齿条啮合；第二齿轮，固定安装在所述从动轴上，并位于架体内侧。

优选的，所述延伸框包括：框体，滑动设置在所述架体上；第二齿条，相对固定设置在框体内部底端，并与所述第二齿轮啮合；延伸块，固定设置在框体两侧壁上并与架体匹配连接。

优选的，所述辅助吸附手指与主吸附手指之间设有旋转组件，所述旋转组件包括：空心转轴，其一端转动安装在所述主吸附手指内部并与负压腔内部连通，另一端与所述辅助吸附手指固定连接；转动盘，固定套设在所述空心转轴上并位于辅助吸附手指上端；第一牵引杆，其一端与架体铰接，另一端与转动盘上表面铰接。

优选的，所述辅助吸附手指与主吸附手指结构相同，所述辅助吸附手指下表面设置有第一电推杆，所述第一电推杆一端与所述辅助吸附手指上的架体固定连接。

优选的，所述吸附爪主体上设有辅助吸附组件，所述辅助吸附组件包括：活动杆，一端与吸附爪主体下表面铰接；辅助吸盘，固定安装在活动杆一端，用于与辅助吸附手指上的延伸吸附端匹配使用；异形齿轮，转动安装在所述吸附爪主体下表面并与所述活动杆固定连接，用于带动活动杆转动进行展开或收拢。

优选的，所述吸附爪主体下表面设有用于驱动所述转动盘偏转的驱动组件，所述驱动组件包括：第二电推杆，固定设置在所述吸附爪主体下表面；滑动板，滑动设置在所述吸附爪主体下表面，其一端与第二电推杆的延伸端连接；第二牵引杆，其一端与所述滑动板铰接，另一端与所述转动盘上表面铰接。

优选的，所述驱动组件还包括：齿牙，对称设置在所述滑动板两侧，并与所述异形齿轮啮合；用于跟随滑动板移动时啮合异形齿轮转动实现对活动杆进行展开或收拢。

优选的，所述主吸盘位于两个空心转轴之间，且主吸盘与两个空心转轴的轴心之间的连线垂直于吸附爪主体的中心轴线。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本发明的有益效果是：

本发明通过设置主吸附手指和辅助吸附手指，并将辅助吸附手指与吸附爪主体活动连接，可以根据吸附晶圆面积的大小，将辅助吸附手指展开或收拢，用于吸附不同面积大小的晶圆，且不需要根据晶圆面积大小更换不同的吸附爪，便于使用。

本发明通过在主吸附手指和辅助吸附手指上均设有延伸组件，可以利用延伸组件向外延伸或者向内收缩，改变主吸附手指和辅助吸附手指的长度，进而适应吸附不同面积大小的晶圆，灵活性好，可以根据具体使用情况调节吸附范围。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图做简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1示出了本发明的立体图；

图2示出了本发明的吸附爪主体内部结构图；

图3示出了本发明的辅助吸附手指侧视剖面图；

图4示出了本发明的旋转组件俯视图；

图5示出了本发明的仰视图；

图6示出了本发明的主吸附手指整体结构示意图；

图7示出了本发明的主吸附手指内部结构示意图；

图8示出了本发明的主吸附手指仰视图；

图9示出了本发明的延伸架结构图；

图10示出了本发明的延伸框结构图；

图11示出了本发明的驱动组件结构示意图；

图12示出了本发明的第一种工作状态示意图；

图13示出了本发明的第二种工作状态示意图；

图14示出了本发明的第三种工作状态示意图。

附图标记：100、吸附爪主体；101、负压腔；102、主吸盘；200、主吸附手指；201、固定壳体；201a、T形滑槽；202、延伸吸附端；202a、分支吸盘；202b、辅助分支吸盘；203、延伸组件；203a、延伸架；203a-1、架体；203a-2、驱动轴；203a-3、从动轴；203a-4、同步带；203a-5、第一齿轮；203a-6、第二齿轮；203b、延伸框；203b-1、框体；203b-2、第二齿条；203b-3、延伸块；203c、第一齿条；203d、导向槽；204、可伸缩负压管；300、辅助吸附手指；301、第一电推杆；400、旋转组件；401、空心转轴；402、转动盘；403、第一牵引杆；500、辅助吸附组件；501、活动杆；502、辅助吸盘；503、异形齿轮；600、驱动组件；601、第二电推杆；602、滑动板；602a、齿牙；603、第二牵引杆。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例1

参照图1-2所示，一种超洁净环境下晶圆传送用末端吸附装置，包括，吸附爪主体100，吸附爪主体100整体呈Y形设置，吸附爪主体100内部设有负压腔101，吸附爪主体100上表面设有主吸盘102，主吸盘102与负压腔101内部连通；吸附爪主体100上对称设有两个主吸附手指200，两个主吸附手指200与吸附爪主体100一体化设置，主吸附手指200上设有分支吸盘202a，分支吸盘202a与负压腔101之间设有可伸缩负压管204，用于将分支吸盘202a与负压腔101内部连通，利用分支吸盘202a配合主吸盘102对晶圆进行吸附；主吸附手指200下方设有辅助吸附手指300，辅助吸附手指300与吸附爪主体100转动连接，辅助吸附手指300可以展开或收拢，用于配合主吸附手指200对不同面积的晶圆进行吸附；

本实施例中，当吸附面积较小的晶圆时，如图12所示，此时辅助吸附手指300收拢位于主吸附手指200下方，利用主吸盘102和主吸附手指200上的分支吸盘202a对晶圆进行吸附即可；当吸附面积较大的晶圆时，如图13所示，此时可以将辅助吸附手指300展开并配合主吸附手指200对晶圆进行支撑和吸附，实现对面积大的晶圆进行吸附。

具体的，如图3和图4所示，辅助吸附手指300与主吸附手指200之间设有旋转组件400，旋转组件400包括空心转轴401，空心转轴401一端转动安装在主吸附手指200内部并与负压腔101内部连通，此时空心转轴401内部的压强与负压腔101内部相同，空心转轴401另一端与辅助吸附手指300固定连接，结合图1所示，此时空心转轴401转动，可以带动辅助吸附手指300转动，且辅助吸附手指300上设有辅助分支吸盘202b，辅助分支吸盘202b与空心转轴401之间通过可伸缩负压管204连通；空心转轴401上固定套设有转动盘402；

本实施例中，当控制转动盘402偏转一定的角度时，此时转动盘402转动并带动空心转轴401同步转动，利用空心转轴401转动带动辅助吸附手指300转动向外展开或向主吸附手指200下方收拢；当辅助吸附手指300向外展开时，此时可以利用主吸盘102、分支吸盘202a和辅助分支吸盘202b对晶圆进行5点吸附，由于主吸盘102位于两个空心转轴401之间，且主吸盘102与两个空心转轴401的轴心之间的连线垂直于吸附爪主体100的中心轴线，在进行5点位吸附时，主吸盘102位于晶圆的中心位置，可以利用主吸盘102对晶圆的中心位置进行支撑和吸附，同时利用分支吸盘202a和辅助分支吸盘202b对晶圆外周进行支撑吸附，避免面积大的晶圆因重心不稳在自重的作用下形成不同程度的翘曲和变形，保证支撑吸附效果好，稳定性高；

当辅助吸附手指300收拢至主吸附手指200下方时，此时辅助吸附手指300上的辅助分支吸盘202b上表面与主吸附手指200下表面贴合，对辅助分支吸盘202b进行封堵，此时仅利用分支吸盘202a和主吸盘102对面积小的晶圆进行吸附即可。

进一步的，如图5和图11所示，吸附爪主体100下表面设有用于驱动转动盘402偏转的驱动组件600，驱动组件600包括第二电推杆601，第二电推杆601固定设置在吸附爪主体100下表面；第二电推杆601的延伸端固定连接有滑动板602，滑动板602与吸附爪主体100下表面滑动连接；滑动板602一端铰接有第二牵引杆603，第二牵引杆603一端与转动盘402上表面铰接；

本实施例中，当需要驱动转动盘402进行偏转时，此时可以利用第二电推杆601延伸或者收缩，且第二电推杆601延伸或者收缩时，会带动第二牵引杆603同步移动，第二牵引杆603可以对转动盘402进行推拉，从而可以推动或者拉动转动盘402偏转一定的角度。

工作原理：当需要吸附面积大的晶圆时，此时可以利用第二电推杆601延伸并推动滑动板602移动，滑动板602被推动的同时推动第二牵引杆603移动，第二牵引杆603推动转动盘402偏转一定的角度，此时转动盘402转动并带动空心转轴401转动，空心转轴401转动的同时可以带动辅助吸附手指300同步转动，使得辅助吸附手指300可以向外展开，使得辅助吸附手指300与主吸附手指200对称设置，此时可以利用主吸盘102、分支吸盘202a和辅助分支吸盘202b对晶圆进行5点吸附，使得主吸盘102位于晶圆的中心位置，可以利用主吸盘102对晶圆的中心位置进行支撑和吸附，同时利用分支吸盘202a和辅助分支吸盘202b对晶圆外周进行支撑吸附，避免面积大的晶圆因重心不稳在自重的作用下形成不同程度的翘曲和变形，保证支撑吸附效果好，稳定性高；

当需要对面积小的晶圆进行吸附时，此时可以利用第二电推杆601收缩并带动滑动板602滑动复位，此时滑动带动第二牵引杆603拉动转动盘402偏转一定的角度复位，此时，辅助吸附手指300收拢至主吸附手指200下方，辅助分支吸盘202b上表面与主吸附手指200下表面贴合，对辅助分支吸盘202b进行封堵，仅利用主吸盘102和两个主吸附手指200上的分支吸盘202a对晶圆进行3点位吸附即可。

实施例2

参照图6所示，主吸附手指200包括固定壳体201、延伸吸附端202和延伸组件203；其中，固定壳体201固定设置在吸附爪主体100上，固定壳体201下表面呈开口状设置；延伸吸附端202滑动设置在固定壳体201一端，分支吸盘202a设置在延伸吸附端202上；延伸组件203，设置在固定壳体201与延伸吸附端202之间，用于控制延伸吸附端202与固定壳体201之间的距离，辅助吸附手指300与主吸附手指200结构相同；

本实施例中，主吸附手指200和辅助吸附手指300可以通过延伸组件203进行延伸或收缩，调节吸附范围，进而实现对不同面积的晶圆进行吸附。

具体的，如图7和图8所示，延伸组件203包括延伸架203a、延伸框203b和第一齿条203c，延伸架203a设置在固定壳体201内部，第一齿条203c设置在固定壳体201内部两侧，用于与延伸架203a配合连接，延伸框203b滑动设置在延伸架203a上，用于在延伸架203a向外延伸时进行二次延伸；

进一步的，如图9和图10所示，延伸架203a包括架体203a-1，其上表面设有T形滑块，固定壳体201内部顶端开设有与T形滑块匹配的T形滑槽201a，架体203a-1通过T形滑块和T形滑槽201a与固定壳体201滑动连接；架体203a-1两端分别转动安装有驱动轴203a-2和从动轴203a-3，其中，从动轴203a-3贯穿架体203a-1，驱动轴203a-2和从动轴203a-3之间连接有同步带203a-4；驱动轴203a-2上设有第一齿轮203a-5，第一齿轮203a-5与第一齿条203c啮合；延伸框203b包括框体203b-1，框体203b-1两侧壁上设有延伸块203b-3，延伸块203b-3与架体203a-1侧壁上开设有的导向槽203d匹配滑动连接；框体203b-1内部底端对称设置第二齿条203b-2，从动轴203a-3一端延伸位于框体203b-1内部并安装有第二齿轮203a-6，第二齿轮203a-6与第二齿条203b-2啮合；

本实施例中，当延伸架203a向固定壳体201外部移动时，此时驱动轴203a-2通过第一齿轮203a-5与第一齿条203c啮合进行转动，驱动轴203a-2通过同步带203a-4带动从动轴203a-3同步转动，从动轴203a-3转动的同时带动第二齿轮203a-6转动，第二齿轮203a-6啮合第二齿条203b-2移动，从而可以使得框体203b-1沿着架体203a-1进行滑动延伸，实现二次延伸，可以增加延伸距离，进而增加主吸附手指200和辅助吸附手指300的吸附半径。

进一步的，如图5所示，辅助吸附手指300下表面设置有第一电推杆301，第一电推杆301一端与辅助吸附手指300上的架体203a-1固定连接；

本实施例中，当需要使辅助吸附手指300进行延伸时，可以利用电推杆推动辅助吸附手指300上的架体203a-1向外延伸。

进一步的，如图8所示，主吸附手指200上的架体203a-1位于固定壳体201内部的一端铰接有第一牵引杆403，第一牵引杆403一端与转动盘402上表面铰接；

本实施例中，当转动盘402偏转时可以通过第一牵引杆403对主吸附手指200内的架体203a-1进行推拉，此时，当转动盘402带动辅助吸附手指300展开时，可以通过第一牵引杆403推动主吸附手指200内的架体203a-1向固定壳体201外部展开；当转动盘402带动辅助吸附手指300收拢时，可以通过第一牵引杆403拉动主吸附手指200内的架体203a-1向固定壳体201内部收缩。

工作原理：当需要吸附面积大的晶圆时，如图13所示，转动盘402偏转带动辅助吸附手指300展开，此时转动盘402上的第一牵引杆403可以推动主吸附手指200内的架体203a-1向固定壳体201外部滑动展开，此时驱动轴203a-2通过第一齿轮203a-5与第一齿条203c啮合进行转动，驱动轴203a-2通过同步带203a-4带动从动轴203a-3同步转动，从动轴203a-3转动的同时带动第二齿轮203a-6转动，第二齿轮203a-6啮合第二齿条203b-2移动，从而可以使得框体203b-1沿着架体203a-1进行滑动延伸，实现二次延伸，可以增加延伸距离，进而增加主吸附手指200和辅助吸附手指300的吸附范围；此时可以利用未延伸的辅助吸附手指300和延伸后的主吸附手指200以及主吸盘102对晶圆进行吸附，此时主吸盘102不位于晶圆的中心位置；

当需要继续扩大吸附范围时，如图14所示，此时可以利用第一电推杆301推动辅助吸附手指300上的架体203a-1向外延伸，将辅助吸附手指300上的延伸组件203也展开，此时可以利用延伸后的辅助吸附手指300和延伸后的主吸附手指200以及主吸盘102对晶圆进行吸附，此时主吸盘102位于晶圆的中心位置；

本发明操作简单，可以根据晶圆面积的大小进行自由调节，使用状态多种，且便于调节，灵活性高。

实施例3

参照图11所示，吸附爪主体100上设有辅助吸附组件500，辅助吸附组件500包括活动杆501，活动杆501两两对称设置在吸附爪主体100两侧，活动杆501一端与吸附爪主体100下表面铰接，活动杆501另一端固定连接有辅助吸盘502，用于与辅助吸附手指300上的辅助分支吸盘202b匹配使用；活动杆501与吸附爪主体100连接处安装有异形齿轮503，异形齿轮503与活动杆501固定连接并相对于吸附爪主体100转动，用于带动活动杆501转动进行展开或收拢；

本实施例中，当异形齿轮503转动时，可以带动活动杆501一端进行偏转，进而可以将活动杆501另一端连接的辅助吸盘502远离吸附爪主体100或靠近吸附爪主体100，当辅助吸盘502远离吸附爪主体100时，此时辅助吸盘502位于辅助分支吸盘202b上端，且辅助吸盘502上表面与辅助分支吸盘202b下表面贴合，辅助吸盘502与辅助分支吸盘202b连通，此时辅助吸盘502与主吸盘102和分支吸盘202a位于同一水平面上，可以对晶圆进行稳定吸附。

具体的，如图11所示，驱动组件600还包括齿牙602a，齿牙602a对称设置在滑动板602两侧，分别与异形齿轮503啮合；用于跟随滑动板602移动时啮合异形齿轮503转动实现对活动杆501进行展开或收拢。

工作原理，当第二电推杆601推动滑动板602移动时，此时转动盘402转动并带动空心转轴401转动，空心转轴401转动的同时可以带动辅助吸附手指300同步转动，使得辅助吸附手指300可以向外展开，此时滑动板602移动并通过齿牙602a与异形齿轮503啮合，使得异形齿轮503转动一定角度，从而将辅助吸盘502移动至辅助分支吸盘202b上端，且辅助吸盘502上表面与辅助分支吸盘202b下表面贴合，辅助吸盘502与辅助分支吸盘202b连通，此时辅助吸盘502与主吸盘102和分支吸盘202a位于同一水平面上，可以对晶圆进行稳定吸附；由于吸附爪主体100两侧的辅助吸盘502均设有两组，可以分别匹配辅助吸附手指300未延伸和延伸后的两种状态使用；

当第二电推杆601拉动滑动板602复位时，此时辅助吸附手指300收拢至主吸附手指200下方，同时齿牙602a与异形齿轮503啮合，使得异形齿轮503反向转动一定角度，并使得活动杆501偏转靠近吸附爪主体100两侧，可以对活动杆501和辅助吸盘502进行收拢，减少其闲置时的占用空间，便于使用。

以上，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

以上公开的本发明优选实施例只是用于帮助阐述本发明。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该发明仅为的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可做很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本发明的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本发明。本发明仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (10)

1.一种超洁净环境下晶圆传送用末端吸附装置，其特征在于，包括，

吸附爪主体（100），其上设有负压腔（101）和主吸盘（102）；

主吸附手指（200），相对固定设置在所述吸附爪主体（100）上，用于配合所述主吸盘（102）对晶圆进行吸附；

辅助吸附手指（300），相对设置在所述主吸附手指（200）下方，并与所述吸附爪主体（100）活动连接，用于对不同面积的晶圆进行吸附；

所述主吸附手指（200）包括：

固定壳体（201），固定设置在所述吸附爪主体（100）上；

延伸吸附端（202），活动设置在所述固定壳体（201）一端；

延伸组件（203），设置在所述固定壳体（201）与延伸吸附端（202）之间，用于控制延伸吸附端（202）与固定壳体（201）之间的距离；

其中，所述主吸附手指（200）通过延伸组件（203）进行延伸或收缩并配合辅助吸附手指（300）的展开或收拢，实现对不同面积的晶圆进行吸附。

2.如权利要求1所述的超洁净环境下晶圆传送用末端吸附装置，其特征在于，所述延伸组件（203）包括：

延伸架（203a），设置在所述固定壳体（201）内部，并与所述固定壳体（201）滑动连接；

延伸框（203b），滑动设置在所述延伸架（203a）上，并与所述延伸吸附端（202）固定连接，用于在延伸架（203a）向外延伸时进行二次延伸；

第一齿条（203c），相对固定设置在所述固定壳体（201）内部两侧，用于与所述延伸架（203a）连接。

3.如权利要求2所述的超洁净环境下晶圆传送用末端吸附装置，其特征在于，所述延伸架（203a）包括：

架体（203a-1），其上表面与所述固定壳体（201）滑动连接；

驱动轴（203a-2），转动设置在所述架体（203a-1）靠近固定壳体（201）内部的一侧壁上；

从动轴（203a-3），贯穿所述架体（203a-1）并与所述架体（203a-1）转动连接，所述从动轴（203a-3）与驱动轴（203a-2）相对设置；

同步带（203a-4），设置在所述驱动轴（203a-2）与从动轴（203a-3）之间；

第一齿轮（203a-5），固定安装在所述驱动轴（203a-2）上并与所述第一齿条（203c）啮合；

第二齿轮（203a-6），固定安装在所述从动轴（203a-3）上，并位于架体（203a-1）内侧。

4.如权利要求3所述的超洁净环境下晶圆传送用末端吸附装置，其特征在于，所述延伸框（203b）包括：

框体（203b-1），滑动设置在所述架体（203a-1）上；

第二齿条（203b-2），相对固定设置在框体（203b-1）内部底端，并与所述第二齿轮（203a-6）啮合；

延伸块（203b-3），固定设置在框体（203b-1）两侧壁上，并与架体（203a-1）匹配连接。

5.如权利要求4所述的超洁净环境下晶圆传送用末端吸附装置，其特征在于，所述辅助吸附手指（300）与主吸附手指（200）之间设有旋转组件（400），所述旋转组件（400）包括：

空心转轴（401），其一端转动安装在所述主吸附手指（200）内部，并与负压腔（101）内部连通，另一端与所述辅助吸附手指（300）固定连接；

转动盘（402），固定套设在所述空心转轴（401）上，并位于辅助吸附手指（300）上端；

第一牵引杆（403），其一端与架体（203a-1）铰接，另一端与转动盘（402）上表面铰接。

6.如权利要求5所述的超洁净环境下晶圆传送用末端吸附装置，其特征在于，所述辅助吸附手指（300）与主吸附手指（200）结构相同，所述辅助吸附手指（300）下表面设置有第一电推杆（301），所述第一电推杆（301）一端与所述辅助吸附手指（300）上的架体（203a-1）固定连接。

7.如权利要求5或6所述的超洁净环境下晶圆传送用末端吸附装置，其特征在于，所述吸附爪主体（100）上设有辅助吸附组件（500），所述辅助吸附组件（500）包括：

活动杆（501），一端与吸附爪主体（100）下表面铰接；

辅助吸盘（502），固定安装在活动杆（501）一端，用于与辅助吸附手指（300）上的延伸吸附端（202）匹配使用；

异形齿轮（503），转动安装在所述吸附爪主体（100）下表面并与所述活动杆（501）固定连接，用于带动活动杆（501）转动进行展开或收拢。

8.如权利要求7所述的超洁净环境下晶圆传送用末端吸附装置，其特征在于，所述吸附爪主体（100）下表面设有用于驱动所述转动盘（402）偏转的驱动组件（600），所述驱动组件（600）包括：

第二电推杆（601），固定设置在所述吸附爪主体（100）下表面；

滑动板（602），滑动设置在所述吸附爪主体（100）下表面，其一端与第二电推杆（601）的延伸端连接；

第二牵引杆（603），其一端与所述滑动板（602）铰接，另一端与所述转动盘（402）上表面铰接。

9.如权利要求8所述的超洁净环境下晶圆传送用末端吸附装置，其特征在于，所述驱动组件（600）还包括：

齿牙（602a），对称设置在所述滑动板（602）两侧，并与所述异形齿轮（503）啮合；用于跟随滑动板（602）移动时啮合异形齿轮（503）转动实现对活动杆（501）进行展开或收拢。

10.如权利要求5或9所述的超洁净环境下晶圆传送用末端吸附装置，其特征在于，所述主吸盘（102）位于两个空心转轴（401）之间，且主吸盘（102）与两个空心转轴（401）的轴心之间的连线垂直于吸附爪主体（100）的中心轴线。