CN117054802A - 一种检测光电阴极组件电性能的装置及方法 - Google Patents

一种检测光电阴极组件电性能的装置及方法 Download PDF

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CN117054802A CN202311293701.4A CN202311293701A CN117054802A CN 117054802 A CN117054802 A CN 117054802A CN 202311293701 A CN202311293701 A CN 202311293701A CN 117054802 A CN117054802 A CN 117054802A
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张志强
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Abstract

本发明公开了一种检测光电阴极组件电性能的装置及方法，本发明涉及检测光阴极组件电性能的技术领域，它包括设置于工作台台面上用于周转光阴极组件的周转机构、用于顶升光阴极组件的顶升机构、用于调整电性能检测设备位置的检测位调整机构；顶升机构设置于周转机构的左侧，顶升机构包括固设于工作台台面上的顶升气缸，顶升气缸活塞杆的作用端上固设有垂向设置的真空管，真空管的顶端口上固设有与其相连通的硅胶套，真空管的底端口与真空泵连接；检测位调整机构设置于顶升机构的左侧，检测位调整机构包括固设于工作台台面上的支架、固设于支架顶表面上的驱动电机。本发明的有益效果是：极大提高光阴极组件检测效率、降低废品率。

Description

一种检测光电阴极组件电性能的装置及方法
技术领域
本发明涉及检测光阴极组件电性能的技术领域，特别是一种检测光电阴极组件电性能的装置及方法。
背景技术
ICMOS相机是依靠光纤光锥将CMOS图像传感器直接耦合像增强器的增强型相机，本系列产品具有结构紧凑、体积小、低功耗，畸变低等特点，可实现低照度、高分辨、宽动态、大面积图像输出，并可根据不同应用场景支持产品定制化。ICMOS相机以像增强器为核心，通过脉冲高压控制光-电-光-电转换，实现弱光信号的增益。
像增强器的核心部件包括光电阴极组件和微通道板，光阴极组件的结构如图1~图2所示，光阴极组件为圆形薄板状，它能够将微弱的光学图像转换成微弱的电子图像，而微通道板为具有一定厚度圆板状，它能够将微弱的电子图像转换成增强的电子图像。
当车间内生产出一批量的光阴极组件后，工人们需采用电性能检测设备来检测各个光阴极组件的电性能（即电阻值）。车间内检测光阴极组件电性能的方法是：
S1、工人从料筐内取出一个光阴极组件1，并且将其平放在检测台上；
S2、工人用电性能检测设备的检测头依次接触光阴极组件1的外侧材料，其点位如图2中虚线小圆圈位置；
S3、工人用电性能检测设备的检测头依次接触光阴极组件1的内侧材料，其点位如图2中实线小圆圈位置；
S4、工人将采集到的各个数值取平均值，若平均值不在设计范围内，则说明被检测的光阴极组件1的电性能不合格，该光阴极组件1为不合格品，工人将不合品剔除到废料筐内；若平均值在设计范围内，则说明被检测的光阴极组件1的电性能合格，该光阴极组件1为合格品，工人将合格品放入到成品料筐内；如此重复操作，即可连续地对多个光阴极组件的电性能进行检测。
然而，车间内的方法虽然能够检测光阴极组件的电性能，但是在技术上仍然存在以下技术缺陷：
I、需要点位数量多，每对第一个点位进行检测时，都需要工人手动移动电性能检测设备的检测头，以使检测杆接触到点位，这无疑是增加了光阴极组件电性能的检测时间，进而降低了光阴极组件电性能的检测效率。
II、当检测完一个光阴极组件后，工人在将光阴极组件1从检测台上取走时，工人经常将光阴极组件1碰撞到位于检测台正上方的电性能检测设备的检测头上，而造成光阴极组件损坏，进而产生较多的废品，增加了废品率。因此，亟需一种极大提高光阴极组件检测效率、降低废品率的检测光电阴极组件电性能的装置及方法。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术的缺点，提供一种极大提高光阴极组件检测效率、降低废品率的检测光电阴极组件电性能的装置及方法。
本发明的目的通过以下技术方案来实现：一种检测光电阴极组件电性能的装置，它包括设置于工作台台面上用于周转光阴极组件的周转机构、用于顶升光阴极组件的顶升机构、用于调整电性能检测设备位置的检测位调整机构，所述周转机构包括固设于工作台台面上的步进电机、连接于步进电机输出轴上的转轴、固设于转轴上的转盘，转盘右边缘上固设有定位板，定位板的顶表面上开设有定位孔，定位孔的外轮廓与光阴极组件的外轮廓相配合，定位孔的孔底开设有贯穿定位板底表面的通孔；
所述顶升机构设置于周转机构的左侧，顶升机构包括固设于工作台台面上的顶升气缸，顶升气缸活塞杆的作用端上固设有垂向设置的真空管，真空管的顶端口上固设有与其相连通的硅胶套，真空管的底端口与真空泵连接；
所述检测位调整机构设置于顶升机构的左侧，检测位调整机构包括固设于工作台台面上的支架、固设于支架顶表面上的驱动电机，驱动电机的输出轴贯穿支架设置，且延伸端上焊接有旋转板，旋转板的底表面上固设有水平设置的直线气缸，直线气缸的移动块的底表面上顺次固设有安装板和进给气缸，进给气缸活塞杆的作用端上固设有电性能检测设备，电性能检测设备的检测头朝下设置。
所述工作台的底表面上固设有多根支撑于地面上的支撑腿。
所述真空管的外径与硅胶套外径相同，且真空管与硅胶套同轴设置，硅胶套为绝缘套。
所述真空管的底端口处连接有软管，软管与真空泵的工作端口相连接。
所述定位板的左端部经锁紧螺钉固定连接于转盘上。
所述工作台的台面上固设有防护罩，所述顶升气缸和步进电机均设置于防护罩内，转轴和顶升气缸的活塞杆均向上贯穿防护罩的顶壁设置。
所述顶升气缸活塞杆的作用端上固连有连接板，所述真空管焊接于连接板上。
该装置还包括控制器，所述控制器与进给气缸的电磁阀、步进电机、驱动电机和直线气缸经信号线电连接。
一种检测光电阴极组件电性能的方法，它包括以下步骤：
S1、工人将待检测的光阴极组件放入到定位板的定位孔内；
S2、控制步进电机启动，步进电机带动转轴旋转，转轴带动转盘旋转，转盘带动定位板同步旋转，定位板带动光阴极组件同步旋转，当步进电机旋转°后，控制器控制步进电机关闭，此时定位板上的通孔刚好处于真空管的正上方；
S3、光阴极组件的吸取：控制顶升气缸的活塞杆向上伸出，活塞杆带动连接板向上运动，连接板带动真空管向上运动，真空管带动硅胶套同步向上运动，当顶升气缸的活塞杆伸出一段行程后，控制器控制顶升气缸关闭，此时硅胶套的顶表面与光阴极组件的底表面相接触；随后控制真空泵启动，真空泵对真空管和硅胶套的内腔抽真空，在负压下，光阴极组件吸附在硅胶套上，从而实现了光阴极组件的吸取；
S4、控制顶升气缸的活塞杆继续向上伸出，活塞杆带动真空管向上运动，真空管带动被吸附的光阴极组件同步向上运动，当顶升气缸的活塞杆完全伸出后，控制器控制顶升气缸关闭，此时的光阴极组件进入到检测位调整机构的电性能检测设备的检测工位，此时电性能检测设备的检测头刚好处于光阴极组件外侧材料的第一个点位的正上方；
S5、利用电性能检测设备的检测头依次接触光阴极组件外侧材料的各个点位，其具体操作步骤为：
S51、控制进给气缸的活塞杆向下伸出，活塞杆带动电性能检测设备向下运动，电性能检测设备带动检测头同步向下运动，当进给气缸的活塞杆完全伸出后，检测头刚好接触到光阴极组件上外侧材料的第一个点位，工人记录在电性能检测设备上所显示的数值；
S52、控制进给气缸的活塞杆向上缩回，活塞杆带动电性能检测设备向上运动，随后控制驱动电机启动，驱动电机带动旋转板旋转，旋转板带动直线气缸和电性能检测设备同步旋转，当驱动电机旋转到设定角度后，控制器控制驱动电机关闭，此时电性能检测设备的检测头处于光阴极组件外侧材料的第二点位的正上方，重复步骤S51的操作，即可使检测头触到光阴极组件上外侧材料的第二个点位，工人记录在电性能检测设备上所显示的数值；
S53、如此重复步骤S52的操作，即可利用电性能检测设备的检测头依次接触光阴极组件外侧材料的各个点位，进而获得不同点位处所对应数值；
S6、控制进给气缸的活塞杆向上缩回，活塞杆带动电性能检测设备向上复位，电性能检测设备带动检测头同步向上运动；
S7、控制直线气缸的移动块向右运动，移动块带动安装板、进给气缸和电性能检测设备同步向右运动，当电性能检测设备运动一段距离后，控制器控制直线气缸关闭，此时电性能检测设备的检测头刚好处于光阴极组件内侧材料的第一个点位的正上方；重复步骤S5的操作，即可使检测头触到光阴极组件上内侧材料的各个点位，工人记录在电性能检测设备上所显示的数值；
S8、工人将采集到的各个数值取平均值，若平均值不在设计范围内，则说明被检测的光阴极组件的电性能不合格，该光阴极组件为不合格品，工人控制真空泵关闭，此时不合格品不再吸附在硅胶套上，工人直接将不合格品从硅胶套上取走；
若平均值在设计范围内，则说明被检测的光阴极组件的电性能合格，该光阴极组件为合格品，工人控制顶升气缸的活塞杆向下缩回，活塞杆带动真空管向下运动，真空管带动合格品向下运动，当合格品进入到定位板的定位孔内后，控制真空泵关闭，当真空管运动到定位板的下方后，控制步进电机启动，步进电机带动转盘旋转，转盘带动定位板旋转，定位板带动合格品同步旋转，当步进电机旋转180°后，控制器控制步进电机关闭，此时站在转盘右侧的工人即可将合格品从定位孔内取走；
S9、如此重复步骤S1~S8的操作，即可连续地对多个光阴极组件的电性能进行检测。
本发明具有以下优点：本发明极大提高光阴极组件检测效率、降低废品率。
附图说明
图1为光阴极组件的结构示意图;
图2为图1的俯视图；
图3为本发明的结构示意图；
图4为图3的主剖示意图；
图5为顶升机构的结构示意图；
图6为周转机构的结构示意图；
图7为检测位调整机构的结构示意图；
图8为图7的A向示意图；
图9为将待检测的光阴极组件放入到定位孔内的示意图；
图10为步进电机旋转180°后的示意图；
图11为硅胶套的顶表面与光阴极组件的底表面相接触的示意图；
图12为真空管带动被吸附的光阴极组件向上运动的示意图；
图13为检测头接触到光阴极组件上外侧材料的第一个点位的示意图；
图14为电性能检测设备向右运动一段距离后的示意图；
图15为定位板带动合格品同步旋转的示意图；
图中，1-光阴极组件，2-工作台，3-周转机构，4-顶升机构，5-检测位调整机构，6-步进电机，7-转轴，8-转盘，9-定位板，10-定位孔，11-通孔，12-顶升气缸，13-真空管，14-硅胶套，15-支架，16-驱动电机，17-旋转板，18-直线气缸，19-安装板，20-进给气缸，21-电性能检测设备，22-检测头，23-软管，24-移动块，25-合格品。
具体实施方式
下面结合附图对本发明做进一步的描述，本发明的保护范围不局限于以下所述：
如图3~图8所示，一种检测光电阴极组件电性能的装置，它包括设置于工作台2台面上用于周转光阴极组件的周转机构3、用于顶升光阴极组件的顶升机构4、用于调整电性能检测设备21位置的检测位调整机构5，工作台2的底表面上固设有多根支撑于地面上的支撑腿，所述周转机构3包括固设于工作台2台面上的步进电机6、连接于步进电机6输出轴上的转轴7、固设于转轴7上的转盘8，转盘8右边缘上固设有定位板9，定位板9的左端部经锁紧螺钉固定连接于转盘8上，定位板9的顶表面上开设有定位孔10，定位孔10的外轮廓与光阴极组件1的外轮廓相配合，定位孔10的孔底开设有贯穿定位板9底表面的通孔11；
所述顶升机构4设置于周转机构3的左侧，顶升机构4包括固设于工作台2台面上的顶升气缸12，顶升气缸12活塞杆的作用端上固设有垂向设置的真空管13，所述顶升气缸12活塞杆的作用端上固连有连接板，所述真空管13焊接于连接板上，真空管13的顶端口上固设有与其相连通的硅胶套14，真空管13的底端口与真空泵连接。
所述检测位调整机构5设置于顶升机构4的左侧，检测位调整机构5包括固设于工作台2台面上的支架15、固设于支架15顶表面上的驱动电机16，驱动电机16的输出轴贯穿支架15设置，且延伸端上焊接有旋转板17，旋转板17的底表面上固设有水平设置的直线气缸18，直线气缸18的移动块24的底表面上顺次固设有安装板19和进给气缸20，进给气缸20活塞杆的作用端上固设有电性能检测设备21，电性能检测设备21的检测头22朝下设置。
所述真空管13的外径与硅胶套14外径相同，且真空管13与硅胶套14同轴设置，硅胶套14为绝缘套。所述真空管13的底端口处连接有软管23，软管23与真空泵的工作端口相连接。所述工作台2的台面上固设有防护罩，所述顶升气缸12和步进电机6均设置于防护罩内，转轴7和顶升气缸12的活塞杆均向上贯穿防护罩的顶壁设置。
该装置还包括控制器，所述控制器与进给气缸20的电磁阀、步进电机6、驱动电机16和直线气缸18经信号线电连接，通过控制器可控制进给气缸20活塞杆的伸出或缩回，同时还能控制步进电机6、驱动电机16和直线气缸18的启动或关闭，方便了工人的操作，具有自动化程度高的特点。
一种检测光电阴极组件电性能的方法，它包括以下步骤：
S1、工人将如图1所示待检测的光阴极组件1放入到定位板9的定位孔10内，如图9所示；
S2、控制步进电机6启动，步进电机6带动转轴7旋转，转轴7带动转盘8旋转，转盘8带动定位板9同步旋转，定位板9带动光阴极组件1同步旋转，当步进电机6旋转180°后，如图10所示，控制器控制步进电机6关闭，此时定位板9上的通孔11刚好处于真空管13的正上方；
S3、光阴极组件1的吸取：控制顶升气缸12的活塞杆向上伸出，活塞杆带动连接板向上运动，连接板带动真空管13向上运动，真空管13带动硅胶套14同步向上运动，当顶升气缸12的活塞杆伸出一段行程后，控制器控制顶升气缸12关闭，此时硅胶套14的顶表面与光阴极组件1的底表面相接触，如图11所示；随后控制真空泵启动，真空泵对真空管13和硅胶套14的内腔抽真空，在负压下，光阴极组件1吸附在硅胶套14上，从而实现了光阴极组件1的吸取；
S4、控制顶升气缸12的活塞杆继续向上伸出，活塞杆带动真空管13向上运动，真空管13带动被吸附的光阴极组件1同步向上运动，如图12所示，当顶升气缸12的活塞杆完全伸出后，控制器控制顶升气缸12关闭，此时的光阴极组件1进入到检测位调整机构5的电性能检测设备21的检测工位，此时电性能检测设备21的检测头22刚好处于光阴极组件1外侧材料的第一个点位的正上方；
S5、利用电性能检测设备21的检测头22依次接触光阴极组件1外侧材料的各个点位，其具体操作步骤为：
S51、控制进给气缸20的活塞杆向下伸出，活塞杆带动电性能检测设备21向下运动，电性能检测设备21带动检测头22同步向下运动，当进给气缸20的活塞杆完全伸出后，检测头22刚好接触到光阴极组件1上外侧材料的第一个点位，如图13所示，工人记录在电性能检测设备21上所显示的数值；
S52、控制进给气缸20的活塞杆向上缩回，活塞杆带动电性能检测设备21向上运动，随后控制驱动电机16启动，驱动电机16带动旋转板17旋转，旋转板17带动直线气缸18和电性能检测设备21同步旋转，当驱动电机16旋转到设定角度后，控制器控制驱动电机16关闭，此时电性能检测设备21的检测头22处于光阴极组件1外侧材料的第二点位的正上方，重复步骤S51的操作，即可使检测头22触到光阴极组件1上外侧材料的第二个点位，工人记录在电性能检测设备21上所显示的数值；
S53、如此重复步骤S52的操作，即可利用电性能检测设备21的检测头22依次接触光阴极组件1外侧材料的各个点位，接触点位如图2中虚线小圆圈所示，进而获得不同点位处所对应数值；
S6、控制进给气缸20的活塞杆向上缩回，活塞杆带动电性能检测设备21向上复位，电性能检测设备21带动检测头22同步向上运动；
S7、控制直线气缸18的移动块24向右运动，移动块24带动安装板19、进给气缸20和电性能检测设备21同步向右运动，如图14所示，当电性能检测设备21运动一段距离后，控制器控制直线气缸18关闭，此时电性能检测设备21的检测头22刚好处于光阴极组件1内侧材料的第一个点位的正上方；重复步骤S5的操作，即可使检测头22触到光阴极组件1上内侧材料的各个点位，接触点位如图2中实线小圆圈所示，工人记录在电性能检测设备21上所显示的数值；
其中，从步骤S5中可知，工人只需控制检测位调整机构5的驱动电机16启动或关闭、以及控制进给气缸20活塞杆的伸缩，即可利用电性能检测设备21的检测头22依次接触光阴极组件1外侧材料的各个点位，因此该装置相比于车间内的检测方法，无需工人手动移动电性能检测设备21的检测头22以使检测杆接触到各个点位，从而极大的缩短了光阴极组件1电性能的检测时间，提高了光阴极组件1电性能的检测效率。
此外，从步骤S7中可知，工人只需控制检测位调整机构5的直线气缸18启动，即可使电性能检测设备21的检测头22运动到光阴极组件1内侧材料的第一个点位的正上方，而后重复步骤S5的操作，即可利用电性能检测设备21的检测头22依次接触光阴极组件1内侧材料的各个点位，从而进一步的缩短了光阴极组件1电性能的检测时间，从而极大的提高了光阴极组件1电性能的检测效率。
S8、工人将采集到的各个数值取平均值，若平均值不在设计范围内，则说明被检测的光阴极组件的电性能不合格，该光阴极组件为不合格品，工人控制真空泵关闭，此时不合格品不再吸附在硅胶套14上，工人直接将不合格品从硅胶套14上取走；
若平均值在设计范围内，则说明被检测的光阴极组件的电性能合格，该光阴极组件为合格品，工人控制顶升气缸12的活塞杆向下缩回，活塞杆带动真空管13向下运动，真空管13带动合格品25向下运动，当合格品25进入到定位板9的定位孔10内后，控制真空泵关闭，当真空管13运动到定位板9的下方后，控制步进电机6启动，步进电机6带动转盘8旋转，转盘8带动定位板9旋转，定位板9带动合格品25同步旋转，如图15所示，当步进电机6旋转180°后，控制器控制步进电机6关闭，此时站在转盘8右侧的工人即可将合格品25从定位孔10内取走，取出方向如图15中实心箭头所示；
S9、如此重复步骤S1~S8的操作，即可连续地对多个光阴极组件1的电性能进行检测。
其中，在该步骤S8中，定位板9带动合格品25做水平的旋转运动，当合格品25运动到右侧时，工人即可将合格品25从定位孔10内取出。由于取出合格品25的位置距离电性能检测设备21的检测头22较远，因此有效的避免了工人在取出合格品25时，光阴极组件1碰撞到电性能检测设备21的检测头22上而造成光阴极组件1损坏，从而极大的降低了废品率。
最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种检测光电阴极组件电性能的装置，其特征在于：它包括设置于工作台（2）台面上用于周转光阴极组件的周转机构（3）、用于顶升光阴极组件的顶升机构（4）、用于调整电性能检测设备（21）位置的检测位调整机构（5），所述周转机构（3）包括固设于工作台（2）台面上的步进电机（6）、连接于步进电机（6）输出轴上的转轴（7）、固设于转轴（7）上的转盘（8），转盘（8）右边缘上固设有定位板（9），定位板（9）的顶表面上开设有定位孔（10），定位孔（10）的外轮廓与光阴极组件（1）的外轮廓相配合，定位孔（10）的孔底开设有贯穿定位板（9）底表面的通孔（11）；
所述顶升机构（4）设置于周转机构（3）的左侧，顶升机构（4）包括固设于工作台（2）台面上的顶升气缸（12），顶升气缸（12）活塞杆的作用端上固设有垂向设置的真空管（13），真空管（13）的顶端口上固设有与其相连通的硅胶套（14），真空管（13）的底端口与真空泵连接；
所述检测位调整机构（5）设置于顶升机构（4）的左侧，检测位调整机构（5）包括固设于工作台（2）台面上的支架（15）、固设于支架（15）顶表面上的驱动电机（16），驱动电机（16）的输出轴贯穿支架（15）设置，且延伸端上焊接有旋转板（17），旋转板（17）的底表面上固设有水平设置的直线气缸（18），直线气缸（18）的移动块（24）的底表面上顺次固设有安装板（19）和进给气缸（20），进给气缸（20）活塞杆的作用端上固设有电性能检测设备（21），电性能检测设备（21）的检测头（22）朝下设置。
2.根据权利要求1所述的一种检测光电阴极组件电性能的装置，其特征在于：所述工作台（2）的底表面上固设有多根支撑于地面上的支撑腿。
3.根据权利要求2所述的一种检测光电阴极组件电性能的装置，其特征在于：所述真空管（13）的外径与硅胶套（14）外径相同，且真空管（13）与硅胶套（14）同轴设置，硅胶套（14）为绝缘套。
4.根据权利要求3所述的一种检测光电阴极组件电性能的装置，其特征在于：所述真空管（13）的底端口处连接有软管（23），软管（23）与真空泵的工作端口相连接。
5.根据权利要求4所述的一种检测光电阴极组件电性能的装置，其特征在于：所述定位板（9）的左端部经锁紧螺钉固定连接于转盘（8）上。
6.根据权利要求5所述的一种检测光电阴极组件电性能的装置，其特征在于：所述工作台（2）的台面上固设有防护罩，所述顶升气缸（12）和步进电机（6）均设置于防护罩内，转轴（7）和顶升气缸（12）的活塞杆均向上贯穿防护罩的顶壁设置。
7.根据权利要求6所述的一种检测光电阴极组件电性能的装置，其特征在于：所述顶升气缸（12）活塞杆的作用端上固连有连接板，所述真空管（13）焊接于连接板上。
8.根据权利要求7所述的一种检测光电阴极组件电性能的装置，其特征在于：该装置还包括控制器，所述控制器与进给气缸（20）的电磁阀、步进电机（6）、驱动电机（16）和直线气缸（18）经信号线电连接。
9.一种检测光电阴极组件电性能的方法，采用权利要求8所述检测光电阴极组件电性能的装置，其特征在于：它包括以下步骤：
S1、工人将待检测的光阴极组件（1）放入到定位板（9）的定位孔（10）内；
S2、控制步进电机（6）启动，步进电机（6）带动转轴（7）旋转，转轴（7）带动转盘（8）旋转，转盘（8）带动定位板（9）同步旋转，定位板（9）带动光阴极组件（1）同步旋转，当步进电机（6）旋转180°后，控制器控制步进电机（6）关闭，此时定位板（9）上的通孔（11）刚好处于真空管（13）的正上方；
S3、光阴极组件（1）的吸取：控制顶升气缸（12）的活塞杆向上伸出，活塞杆带动连接板向上运动，连接板带动真空管（13）向上运动，真空管（13）带动硅胶套（14）同步向上运动，当顶升气缸（12）的活塞杆伸出一段行程后，控制器控制顶升气缸（12）关闭，此时硅胶套（14）的顶表面与光阴极组件（1）的底表面相接触；随后控制真空泵启动，真空泵对真空管（13）和硅胶套（14）的内腔抽真空，在负压下，光阴极组件（1）吸附在硅胶套（14）上，从而实现了光阴极组件（1）的吸取；
S4、控制顶升气缸（12）的活塞杆继续向上伸出，活塞杆带动真空管（13）向上运动，真空管（13）带动被吸附的光阴极组件（1）同步向上运动，当顶升气缸（12）的活塞杆完全伸出后，控制器控制顶升气缸（12）关闭，此时的光阴极组件（1）进入到检测位调整机构（5）的电性能检测设备（21）的检测工位，此时电性能检测设备（21）的检测头（22）刚好处于光阴极组件（1）外侧材料的第一个点位的正上方；
S5、利用电性能检测设备（21）的检测头（22）依次接触光阴极组件（1）外侧材料的各个点位，其具体操作步骤为：
S51、控制进给气缸（20）的活塞杆向下伸出，活塞杆带动电性能检测设备（21）向下运动，电性能检测设备（21）带动检测头（22）同步向下运动，当进给气缸（20）的活塞杆完全伸出后，检测头（22）刚好接触到光阴极组件（1）上外侧材料的第一个点位，工人记录在电性能检测设备（21）上所显示的数值；
S52、控制进给气缸（20）的活塞杆向上缩回，活塞杆带动电性能检测设备（21）向上运动，随后控制驱动电机（16）启动，驱动电机（16）带动旋转板（17）旋转，旋转板（17）带动直线气缸（18）和电性能检测设备（21）同步旋转，当驱动电机（16）旋转到设定角度后，控制器控制驱动电机（16）关闭，此时电性能检测设备（21）的检测头（22）处于光阴极组件（1）外侧材料的第二点位的正上方，重复步骤S51的操作，即可使检测头（22）触到光阴极组件（1）上外侧材料的第二个点位，工人记录在电性能检测设备（21）上所显示的数值；
S53、如此重复步骤S52的操作，即可利用电性能检测设备（21）的检测头（22）依次接触光阴极组件（1）外侧材料的各个点位，进而获得不同点位处所对应数值；
S6、控制进给气缸（20）的活塞杆向上缩回，活塞杆带动电性能检测设备（21）向上复位，电性能检测设备（21）带动检测头（22）同步向上运动；
S7、控制直线气缸（18）的移动块（24）向右运动，移动块（24）带动安装板（19）、进给气缸（20）和电性能检测设备（21）同步向右运动，当电性能检测设备（21）运动一段距离后，控制器控制直线气缸（18）关闭，此时电性能检测设备（21）的检测头（22）刚好处于光阴极组件（1）内侧材料的第一个点位的正上方；重复步骤S5的操作，即可使检测头（22）触到光阴极组件（1）上内侧材料的各个点位，工人记录在电性能检测设备（21）上所显示的数值；
S8、工人将采集到的各个数值取平均值，若平均值不在设计范围内，则说明被检测的光阴极组件的电性能不合格，该光阴极组件为不合格品，工人控制真空泵关闭，此时不合格品不再吸附在硅胶套（14）上，工人直接将不合格品从硅胶套（14）上取走；
若平均值在设计范围内，则说明被检测的光阴极组件的电性能合格，该光阴极组件为合格品，工人控制顶升气缸（12）的活塞杆向下缩回，活塞杆带动真空管（13）向下运动，真空管（13）带动合格品（25）向下运动，当合格品（25）进入到定位板（9）的定位孔（10）内后，控制真空泵关闭，当真空管（13）运动到定位板（9）的下方后，控制步进电机（6）启动，步进电机（6）带动转盘（8）旋转，转盘（8）带动定位板（9）旋转，定位板（9）带动合格品（25）同步旋转，当步进电机（6）旋转180°后，控制器控制步进电机（6）关闭，此时站在转盘（8）右侧的工人即可将合格品（25）从定位孔（10）内取走；
S9、如此重复步骤S1~S8的操作，即可连续地对多个光阴极组件（1）的电性能进行检测。
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