CN117012672A - 裸片粘接系统及方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种将在晶片上个别化的裸片附着到基板上的裸片粘接系统和方法。所述裸片粘接系统包括：裸片传送装置，通过真空吸附将切割胶带上的裸片输送到裸片平台；裸片连接装置，用于真空吸附输送到所述裸片平台上的所述裸片，并向基板方向输送，将所述裸片连接到所述基板，以便将所述裸片粘合到所述基板上；集成相机，能够拍摄所述裸片传送装置的传送夹头，并能够拍摄所述裸片连接装置的连接夹头；以及控制部，能够将所述传送夹头定位于所述集成相机的拍摄轴线上，并且能够将控制信号分别施加于所述裸片传送装置和所述裸片连接装置，以将所述连接夹头定位于所述集成相机的所述拍摄轴线上。

Description

裸片粘接系统及方法
技术领域
本发明涉及一种裸片粘接系统及方法，更详细而言，涉及一种将晶片上个体化的裸片附着在基板的裸片粘接系统及方法。
背景技术
一般来说，半导体元件可以通过重复执行一系列的制造工艺，形成在用作半导体基板的硅晶片上，如上所形成的半导体元件可以通过切割工艺分割，并通过裸片粘接工艺粘接到基板上。
执行上述裸片粘接工艺的装置可以包括从分割成形成有半导体元件的裸片(芯片)的晶片上拾取上述裸片后使其分离的裸片传送装置(die transfer instrument)、及将所拾取的裸片附着到基板上的裸片连接装置。
所述裸片传送装置可包括：平台单元，其用于支持附着有所述晶片的晶片环；弹射装置，其在垂直方向上可移动地安装，以便将半导体元件从支持在平台单元上的晶片选择性地分离出来；以及传送头部(transfer head)，其用于从所述晶片上拾取所述裸片并将其输送到裸片平台。裸片连接装置可以包括将输送到裸片平台的裸片重新拾取并附着在所述基板上的连接头部(attaching head)等。
其中，所述传送头部上安装与裸片直接接触的传送夹头(transfer collet)，所述连接头部上也可以分别安装与裸片直接接触的连接夹头(attaching collet)。
这些，所述传送夹头和所述连接夹头与各自的头部可拆卸地安装在一起，当由于磨损、损坏或污染等原因无法使用时，曾被更换为新的夹头来使用。
发明内容
[技术问题]
然而，由于以往没有检测上述传送夹头或上述连接夹头是否有异常的手段，因此在一定期限后，无论夹头的状态如何，都会更换上述夹头，从而导致可用的夹头被丢弃，严重提高了零部件的更换费用。
为了解决这些现有问题，进行吹气检查，以检查头部的真空压力或空气弹射压，但仅通过这种吹气检查，很难可靠地确定残留在夹头中的裸片碎片等各种异物。
本发明旨在提供一种裸片粘接系统和方法，解决包括上述问题在内的多个问题。该裸片粘接系统使用集成摄像机，不仅可以拍摄一个以上的传送夹头，还可以拍摄一个以上的连接夹头，只使用一个摄像头可以拍摄所有类型的夹头，从而可以检查夹头是否有污染等异常。但这些课题是示例性的，并不因此限定本发明的范围。
[技术方案]
为了解决上述课题，根据本发明的裸片粘接系统，包括：裸片传送装置，通过真空吸附将切割胶带上的裸片输送到裸片平台；裸片连接装置，用于真空吸附输送到所述裸片平台上的所述裸片，并向基板方向输送，将所述裸片连接到所述基板，以便将所述裸片粘合到所述基板上；集成相机，能够拍摄所述裸片传送装置的传送夹头，以及能够拍摄所述裸片连接装置的连接夹头；以及控制部，能够将所述传送夹头定位于所述集成相机的拍摄轴线上，并且能够将控制信号分别施加于所述裸片传送装置和所述裸片连接装置，以将所述连接夹头定位于所述集成相机的所述拍摄轴线上。
此外，根据本发明，所述传送夹头为可拆卸的替换式夹头，与所述裸片直接接触，所述连接夹头可以包括与所述裸片直接接触的可拆卸的替换式夹头。
此外，根据本发明，所述传送夹头和所述连接夹头的形状可以彼此相同。
此外，根据本发明，所述裸片传送装置包括：所述传送夹头，其与所述裸片直接接触，用于对所述裸片进行真空吸附；传送头部，与所述传送夹头可拆卸地紧固在一起，并利用真空线向所述传送夹头传递真空压力，以使所述裸片能够被真空吸附；以及，传送头输送装置，用于将所述传送头部从所述切割胶带往返输送至所述裸片平台，或者从所述裸片平台往返输送至所述集成相机的所述拍摄轴线上。
此外，根据本发明，所述裸片连接装置包括：所述连接夹头，与所述裸片直接接触，用于对所述裸片进行真空吸附；连接头部，其与所述连接夹头可拆卸地紧固在一起，并利用真空线向连接夹传递真空压力，以使所述裸片能够被真空吸附；以及，连接头输送装置，用于将所述连接头部从所述裸片平台往返输送至所述基板上，或者从所述基板往返输送至所述集成相机的所述拍摄轴线上。
此外，根据本发明，所述集成相机可以为上方向式相机，安装在所述裸片传送装置的下方或者所述裸片连接装置的下方，用于拍摄所述传送夹头的下表面和所述连接夹头的下表面。
此外，根据本发明，所述集成相机可以安装在所述裸片平台到所述基板形成的连接路径的下方，以便所述裸片连接装置输送所述裸片之前，对所述连接夹头进行拍摄和检查，并且所述裸片传送装置输送所述裸片之前，对所述传送夹头进行拍摄和检查。
此外，根据本发明，所述控制部，可以向所述裸片连接装置和所述裸片传送装置施加拍摄位置移动控制信号，以便利用一个所述集成相机均对所述连接夹头和所述传送夹头能够进行拍摄和检查。
此外，根据本发明，所述控制部，在晶片加载时间或者出现异常现象时，利用所述裸片传送装置将所述传送夹头定位于所述集成相机的所述拍摄轴线上，并对其进行拍摄，以确定所述传送夹头是否有异常，在确定所述传送夹头正常时，向所述裸片传送装置施加控制信号，真空吸附所述切割胶带上的所述裸片，并沿传送路径输送到裸片平台上。
此外，根据本发明，所述控制部，在晶片加载时间或者出现异常现象时，利用所述裸片连接装置将所述连接夹头定位于所述集成相机的所述拍摄轴线上，并对其进行拍摄，以确定所述连接夹头是否有异常；在确定所述连接夹头正常时，向所述裸片连接装置施加控制信号，真空吸附所述裸片平台上的所述裸片，并沿所述连接路径输送到所述基板上。
此外，根据本发明，所述控制部，在确定所述传送夹头是否有异常时，向所述裸片传送装置施加路径变更控制信号，使其脱离所述传送路径并沿所述连接路径移动，以处于所述集成相机的所述拍摄轴线上；并向所述裸片连接装置施加路径回避控制信号，使所述裸片连接装置脱离所述集成相机的所述拍摄轴线，以不干扰所述裸片传送装置。
此外，根据本发明，所述集成相机，可以安装在从所述切割胶带到所述裸片平台形成的传送路径的下方，以便所述裸片连接装置能够在输送所述裸片之前，对所述连接夹头进行拍摄和检查；并且所述裸片传送装置能够在输送所述裸片之前，对所述传送夹头进行拍摄和检查。
此外，根据本发明，所述控制部，在确定所述连接夹头是否有异常时，向所述裸片连接装置施加路径变更控制信号，使其脱离所述连接路径并沿所述传送路径移动，以处于所述集成相机的所述拍摄轴线上；并且向所述裸片传送装置施加路径回避控制信号，使其脱离所述集成相机的所述拍摄轴线，以便所述裸片传送装置不干扰所述裸片连接装置。
另一方面，根据本发明的思想，一种解决上述课题的裸片粘接方法，包括：步骤(a)：利用裸片传送装置将传送夹头定位于集成相机的拍摄轴线上，并对所述传送夹头进行拍摄，以确定所述传送夹是否有异常；步骤(b)：在确定所述传送夹头正常的情况下，通过所述裸片传送装置真空吸附切割胶带上的裸片，并沿传送路径输送至裸片平台；步骤(c)：通过裸片连接装置将连接夹头定位于所述集成相机的所述拍摄轴线上，并对其进行拍摄，以确定所述连接夹头是否有异常；以及步骤(d)：在确定所述连接夹头正常的情况下，通过所述裸片连接装置真空吸附所述裸片平台上的所述裸片，并沿连接路径输送至基板上。
此外，根据本发明，所述步骤(a)可以在晶片加载时间或者出现异常现象时执行。
此外，根据本发明在所述步骤(a)中，所述裸片传送装置脱离所述传送路径，并沿所述连接路径移动，以处于所述集成相机的所述拍摄轴线上；并且所述裸片连接装置脱离所述集成相机的所述拍摄轴线，以便所述裸片连接装置不干扰所述裸片传送装置。
此外，根据本发明在所有裸片连接过程之前，或者在晶片加载时间或者出现异常现象时执行所述步骤(c)。
此外，根据本发明在所述步骤(c)，可以对所述连接夹头进行n次(n为自然数)的拍摄和检查，在所述步骤(a)，可以对所述传送夹头进行小于所述n次的m次(m为自然数)拍摄和检查。
此外，根据本发明在所述步骤(c)中，所述裸片连接装置脱离所述连接路径，并沿着所述传送路径移动，以处于所述集成相机的所述拍摄轴线上，并且所述裸片传送装置脱离所述集成相机的所述拍摄轴线，以便所述裸片传送装置不干扰所述裸片连接装置。
另一方面，根据本发明思想用于解决上述课题的裸片粘接装置包括：裸片传送装置，通过真空吸附将切割胶带上的裸片输送到裸片平台；裸片连接装置，用于真空吸附输送到所述裸片平台上的所述裸片，并向基板方向输送，将所述裸片附着到所述基板，以便将所述裸片粘合到所述基板上；集成相机，能够拍摄所述裸片传送装置的传送夹头，并能够拍摄所述裸片连接装置的连接夹头；以及控制部，能够将所述传送夹头定位于所述集成相机的拍摄轴线上，并且将控制信号分别施加于所述裸片传送装置和所述裸片连接装置，以将所述连接夹头定位于所述集成相机的所述拍摄轴线上；所述传送夹头为可拆卸的替换式夹头，与所述裸片直接接触，所述连接夹头包括与所述裸片直接接触的可拆卸的替换式夹头。所述裸片传送装置包括：所述传送夹头，其与所述裸片直接接触，用于对所述裸片进行真空吸附；传送头部，与所述传送夹头可拆卸地紧固在一起，利用真空线向所述传送夹头传递真空压力，以使所述裸片能够被真空吸附；以及传送头输送装置，将所述传送头部从所述切割胶带往返输送至所述裸片平台，或者从所述裸片平台往返输送至所述集成相机的所述拍摄轴线上。所述裸片连接装置包括：所述连接夹头，其与所述裸片直接接触，用于对所述裸片进行真空吸附；连接头部，其与所述连接夹头可拆卸地紧固在一起，并利用真空线向连接夹头传递真空压力，以使所述裸片能够被真空吸附；以及连接头输送装置，用于将所述连接头部从所述裸片平台往返输送至所述基板上，或者从所述基板往返输送至所述集成相机的所述拍摄轴线上。所述集成相机为上方向式相机，安装在所述裸片传送装置的下方或者所述裸片连接装置的下方，用于拍摄所述传送夹头的下表面和所述连接夹头的下表面。所述集成相机安装在所述裸片平台到所述基板形成的连接路径的下方，以便所述裸片连接装置输送所述裸片之前，对所述连接夹头进行拍摄和检查，并且所述裸片传送装置输送所述裸片之前，对所述传送夹头进行拍摄和检查。
[有益效果]
如上所述，根据本发明的多个实施方式表明，利用集成摄像机，不仅可以拍摄一个以上的传送夹头，还可以拍摄一个以上的连接夹头，只需一个摄像头就可以拍摄所有类型的夹头，从而可以检查夹头是否有污染等异常情况。通过这种方式，可以事先防止裸片传送缺陷和裸片连接缺陷，减少需要安装的摄像头数量，达到降低设备单价的效果。当然，这种效果并不限定本发明的范围。
附图说明
图1：根据本发明的一些实施方式，表示裸片粘接系统的裸片传送输送过程及裸片连接过程的示意图。
图2：表示图1的裸片粘接系统中，裸片连接装置的连接夹头检查过程的示意图。
图3：表示图1的裸片粘接系统中，裸片传送装置的传送夹头检查过程的示意图。
图4：更详细地表示图1的裸片粘接系统中，裸片传送装置的示意图。
图5：更详细地表示图4的裸片粘接系统中，裸片传送装置的传送夹头或连接夹头的截面图。
图6：根据本发明的一些实施方式，表示裸片粘接系统中裸片传送输送过程及裸片连接过程的示意图。
图7：表示图6的裸片粘接系统中，裸片连接装置的连接夹头检查过程的示意图。
图8：表示图6的裸片粘接系统中，裸片传送装置的传送夹头检查过程的示意图。
图9：根据本发明的一些实施方式，表示裸片粘接方法的流程图。
图10：根据本发明的一些其他实施方式，表示裸片粘接方法的流程图。
具体实施方式
以下，对本发明的多个优选实施方式，参照附图进行详细说明。
本发明的实施方式是为了向本领域的普通技术人员更完整地说明本发明而提供，以下实施方式可以变为多种不同的形式，本发明的范围不限于以下实施方式。相反，这些实施方式是为了使本公开的内容更加充实和完整，并向本领域的技术人员完整地传达本发明的思想而提供。此外，为了便于说明和清晰度，附图中扩大了附图中每层的厚度或大小。
本说明书中使用的术语是为了描述特定的实施方式，而不是为了限制本发明。正如本说明书中所使用，除非在上下文中明确指出其他情况，单数形式可以包含多数形式。此外，正如本说明书中所使用，“包括”和/或“包含”是指定所提及的形状、数字、步骤、动作、部件、元素和/或这些组的存在，而不是排除一个以上的其他形状、数字、动作、部件、元素和/或组的存在或添加。
以下，本发明的实施方式参照概述本发明的优选实施方式的附图进行说明。在附图中，例如，根据制造技术和/或公差(tolerance)，可以预测所示形状的变形。因此，本发明思想的实施方式不应解释为仅限于本说明书中所示区域的特定形状，例如，应包括制造商导致的形状变化。
图1是根据本发明的一些实施方案，表示裸片粘接系统100的裸片传送输送过程和裸片连接过程的示意图。
首先，如图1所示，根据本发明的一些实施例，裸片粘接系统100大致可以包括裸片传送装置10，裸片连接装置20，集成相机30及控制部40。
例如，裸片传送装置10可以是一个在切割胶带T上对裸片1进行真空吸引(拾取)，并沿传送路径P1将其输送到裸片平台2的装置。
更具体地说，例如，如图1所示，裸片传送装置10可以包括：传送夹头11，其与裸片1直接接触，并能够对所述裸片1进行真空吸附；传送头部12，其与传送夹头11可拆卸地紧固在一起，并利用真空线将真空压力传递给传送夹头11；以及传送头输送装置13，用于将传送头部12从切割胶带T往返输送到裸片平台2，或从裸片平台2往返输送到所述集成相机30的所述拍摄轴L线上。
其中，传送头输送装置已在图1中简要示出，但可以适用各种输送装置，如将传送头部12移动到X轴、Y轴、Z轴、T轴(角转轴)等的各种XY平台、XYZ平台、YZ平台、输送机器人等。
因此，从晶片W个性化的裸片1可以直接与传送夹头11接触，通过传送头部12的真空压力被真空吸附，并由传送头部输送装置13输送到中间点，即裸片平台2。此时，虽然没有图示，但也可以用单独的相机拍摄稳定在裸片平台2上的裸片1来检查裸片的状态。此外，裸片平台2可以适用各种移动平台装置，如固定式平台，其他旋转式平台或各种移动式平台等。
此外，例如，裸片连接装置20可以用于真空吸附输送到裸片平台2的裸片1并输送到基板3的装置；用于真空吸附裸片1，并将其沿连接路径P2附着到基板3上，以便将裸片1粘附到涂有基板3粘合剂的特定区域，所述基板3安装在基板平台4上。
更具体的例子中，裸片连接装置20可以包括：连接夹头21，其与裸片1直接接触，并能够真空吸附所述裸片1；连接头部(22)，其与连接夹头(21)可拆卸地紧固在一起，并利用真空线将真空压力传递给连接夹头(21)，以便对所述裸片1进行真空吸附；以及连接头输送装置23，用于将连接头部22从裸片平台2往返输送到基板3，或从基板3往返输送到集成相机30的拍摄轴L线上。
其中，连接头输送装置23在图1中简要示出，但可以适用各种输送装置，如将连接头部22移动到X轴、Y轴、Z轴、T轴(角转轴)等的各种XY平台、XYZ平台、YZ平台、输送机器人等。
因此，在裸片平台2上等待的裸片1可以直接与连接夹头11接触，可以通过连接头部22的真空压力被真空吸附，并且可以通过连接头输送装置23输送到基板3上并进行附着。
此外，例如，集成相机30可以拍摄裸片传送装置10的传送夹头11，也可以拍摄裸片连接装置20的连接夹头21，考虑到两个头部12及头部22的移动路线，可以安装在输送路径P1或连接路径P2的下方。
因此，集成相机30可以是自下而上的相机，安装在裸片传送装置10的下方或裸片连接装置20的下方，以便拍摄输送夹头11的下表面和连接夹头21的下表面。
此外，如图1所示，例如，在所述裸片连接装置20移动所述裸片1之前，集成相机30可以每次或根据需要对所述连接夹头21进行相对多次的拍摄和检查；在所述裸片传送装置10输送所述裸片1之前，如有必要，集成相机30可以对所述输送夹头11进行相对较少次数的拍摄和检查。因此，集成相机30可以安装在从所述裸片平台2到所述基板3形成的连接路径P2的下方，以便在裸片连接过程中可以拍摄相对较多的次数。
然而，这种集成相机30的安装位置不一定局限于附图，例如，也可以安装在传送路径P1的下方或其他第三位置，而且可以适用固定式摄像头，还适用移动式摄像头或角度调节式摄像头等多种形式的摄像头。
控制部40可以是分别向裸片传送装置10和裸片连接装置20施加控制信号的各种微处理器、集成电路、运算装置、中央处理装置、存储程序的存储装置、控制电路、控制部件、计算机、智能设备等控制装置，以便将传送夹头11定位于集成相机30的拍摄轴L线上，或将连接夹头21定位于集成相机30的拍摄轴L线上。
更具体地说，例如，控制部40可以在晶片加载时间或出现异常现象时，利用裸片传送装置10将传送夹头11定位于集成相机30的拍摄轴L线上，并对其进行拍摄，以确定传送夹头11是否有异常。
随后，控制部40可以向裸片传送装置10施加控制信号，以便在确定传送夹头11正常时，通过真空吸附将切割胶带T上的所述裸片1沿传送路径P1输送到裸片平台2上。
另一方面，控制部40可以在每次，也就是说，对所有的裸片1进行裸片连接时，或者在晶片加载时间或连接夹头21出现异常现象时，也就是说，在吹气检查中怀疑有差异化裸片1或双裸片(Doubble die)时，利用裸片连接装置20将连接夹头21定位于集成相机30的拍摄轴L线上，并对其进行拍摄，以确定连接夹头21是否有异常。
随后，控制部40可以向裸片连接装置20施加控制信号，以便在确定连接夹头21正常时，对裸片平台2的裸片1进行真空吸附，并沿连接路径P2输送到基板3上。
此时，所述控制部40可以向所述裸片连接装置20及所述裸片传送装置10施加拍摄位置移动控制信号，以便利用所述集成相机30对所述连接夹头21和所述传送夹头11进行拍摄和检查。
例如，所述控制部40可以将拍摄位置移动控制信号施加于所述连接装置20，以便对所述连接装置21进行n次(n为自然数)拍摄和检查；也可以将拍摄位置移动控制信号施加于所述裸片传送装置10，以便对所述传送夹头11进行小于所述n次的m次(m为自然数)拍摄和检查。
因此，根据本发明，由于集成相机30安装在从所述裸片平台2到所述基板3形成的连接路径P2的下方，因此，即使所述连接夹头21的检查次数相对多于所述传送夹头11的检查次数，也可以通过最小化移动路线来最小化检查时间和检查成本。
图2是表示图1的裸片粘接系统100中，裸片连接装置20的连接夹头21的检查过程的示意图。
如图2所示，首先描述裸片连接装置20的连接夹头21的检查过程，每当所有的裸片1都进行裸片连接时，或者当晶片加载时间或连接夹头21发生异常现象时，也就是说，当吹气检查时怀疑有差异化裸片1或者双裸片时，可以利用裸片连接装置20将连接夹头21定位于集成相机30的拍摄轴L线上，并对其进行拍摄，以确定连接夹头21是否有异常。
此时，由于集成相机30位于连接路径P2的下方，因此，连接夹头21在没有拾取沿裸片1的情况下，沿连接路径P2被输送的过程中，位于集成相机30的拍摄轴L线上，可以接受连接夹头21是否有异常的检查。
图3是表示图1的裸片粘接系统100中，裸片传送装置10的传送夹头11的检查过程的示意图。
除此之外，如图3所示，描述裸片传送装置10中传送夹头11的检查过程，在晶片加载时间或传送夹头11发生异常现象的情况下，也就是说，在吹气检查时怀疑有差异化裸片1或双裸片时，利用裸片传送装置10可以将传送夹头11定位于集成相机30的拍摄轴L线上，并对其进行拍摄，以确定传送夹头11是否有异常。
此时，控制部40可以向裸片传送装置10施加路径变更控制信号，使其脱离传送路径P1，并沿连接路径P2移动，以处于集成相机30的拍摄轴L线上；并可以向裸片连接装置20施加路径回避控制信号，使裸片连接装置20脱离集成相机30的拍摄轴L，以不干扰裸片传送装置10。
因此，利用集成相机30，不仅可以拍摄一个以上的传送夹头11，还可以拍摄一个以上的连接夹头21，只需一个摄像头就可以拍摄所有类型的夹头11及夹头12，从而可以检查夹头11及夹头12是否有污染等异常情况。由此，可以事先防止裸片传送缺陷和裸片连接缺陷，并通过减少摄像头的安装数量来降低设备成本。
图4是更详细地表示图1的裸片粘接系统100的裸片传送装置10的示意图。
更具体的例子中，裸片传送装置10可以用来选择性地从晶片W中分离出特定的裸片1，所述晶片包括由切割工艺个别化的多个裸片1。其中，晶片W还可以包括连接裸片1的切割胶带T，以及安装了切割胶带T的大致呈圆环形状的挂载框架14。
此外，裸片传送装置10可以包括：用于支持晶片W的晶片平台15；设置在晶片平台15上并支持切割胶带T边缘部位的扩展环16；用于抓取挂载框架14的夹钳17；以及用于上下移动夹钳17的夹钳驱动部(未图示)。
例如，当切割胶带T放置于扩展环16上之后，夹钳17可以在抓取挂载框架14的状态下往下降，从而使切割胶带T扩展。因此，裸片1之间的间隙可能变得足够宽，从而有利于裸片1的分离和拾取。
晶片平台18可以形成中央开口，使贴有裸片1的切割胶带T的下表面露出，弹射器19可以设置在晶片平台18的下方。此外，虽然没有图示，但晶片平台18可以通过平台驱动部(未图示)配置为在水平方向移动，以确保要从裸片1中拾取的裸片1位于弹射器19的顶部。
在晶片平台18的顶部，可以设置用于对齐弹射器19和裸片1的对齐相机C。对齐相机C可以确认弹射器19的对齐位置，并确认要拾取的裸片1是否定位于对齐坐标上。
此外，在晶片平台18的顶部可以配置传送头部12，所述传送头部12通过传送头输送装置13在水平方向移动，并且可以进一步配置为在垂直方向上移动。传送头部12可以利用所述对齐坐标定位于裸片1的顶部，以拾取配置在所述对齐坐标上的裸片1。由传送头部12拾取的裸片1可以被输送到裸片平台2，而裸片平台2上的裸片1可以通过裸片连接装置20粘合到基板3上。
图5是更详细地表示图4的裸片粘接系统100中，裸片传送装置10的传送夹头11或连接夹头21的截面图。
其中，如图5所示，裸片传送装置10可以包括传送夹头11和传送头部12，传送夹头11可以利用磁力安装在传送头部12上。特别是，传送夹头11可以设有多个用于吸附裸片1的吸附孔11a，并且可以在传送头部12中形成真空线12a，用于向所述吸附孔11a提供真空压力。
传送夹头11可以有大致呈方形的形状，可以包括硬质的顶部垫片111和软质的下部垫片112。用于吸附裸片1的吸气孔11a可以贯穿所述顶部垫片111和下部垫片112设置，并可以与传送头部12的真空线12a相通。例如，在顶部垫片111的上表面可以设置有与真空线12a连接的真空通道113，吸附孔11a可以与真空通道113连接。
传送头部12可以有大致呈方形的形状，以便于安装传送夹头11，并且可以包括与传送头输送装置13连接的驱动轴。驱动轴可以采用空心轴，并可作为真空线12a发挥作用。
另一方面，传送夹头11和传送头部12可以通过磁力相互耦合。例如，传送头部11可以具有用于提供磁力的永久磁铁M，传送夹头11的顶部垫片111可以由磁性材料制成。另外，例如，在传送头部12的下表面边缘可以配置引导传送夹头11的引导部件12b，下部垫片112可以由橡胶材料等软质材料制成。
另一方面，如图5所示，上述传送夹头11的组成和其作用可以与连接夹头21相同。
换句话说，所述传送夹头11和所述连接夹头21为可拆卸的替换式夹头，与所述裸片1直接接触，所述传送夹头和所述连接夹头可以有彼此相同的形状。
因此，传送夹头11和连接夹头21可以互换使用。然而，不限于此，传送夹头11和连接夹头21可以是不同的形状和类型，或者可以采用多种形状和类型的夹头。
图6是表示根据本发明的一些实施方式，裸片粘接系统200的裸片传送输送过程和裸片连接过程的示意图。
如图6所示，所述集成相机30可以安装在从所述切割胶带T到所述裸片平台2形成的传送路径P1的下方，以便所述裸片连接装置20输送所述裸片1之前，对所述连接夹头21进行拍摄和检查；并且所述裸片传送装置10输送所述裸片1之前，对所述传送夹头11进行拍摄和检查。
此时，所述控制部40可以将拍摄位置移动控制信号施加于所述裸片传送装置10，以便对所述传送夹头11进行n次(n为自然数)的拍摄和检查，并将拍摄位置移动控制信号施加于所述裸片连接装置20，以便对所述连接夹头21进行小于所述n次的m次(m为自然数)拍摄和检查。
因此，根据本发明，由于集成相机30安装在从所述切割胶带T到所述裸片平台2形成的传送路径P1的下方，因此，即使所述传送夹头11的检查次数相对多于所述连接夹头21的检查次数，也可以最大限度地减少移动次数，从而最小化检查时间和检查成本。
图7是表示图6的裸片粘接系统200中，裸片连接装置20的连接夹头的检查过程的示意图。
如图7所示，描述裸片连接装置20的连接夹头21的检查过程，当晶片加载时间或连接夹头21发生异常现象时，也就是说，当吹气检查时怀疑有差异化裸片1或双裸片等时，可以利用裸片连接装置20将连接夹头21定位于集成相机30的拍摄轴L线上，并对其进行拍摄，以确定连接夹头21是否有异常。
此时，控制部40可以向裸片连接装置20施加连接变更控制信号，使其脱离连接路径P2，并沿传送路径P1移动，以处于集成相机30的拍摄轴L线上，并可以向裸片传送装置10施加路径回避控制信号，使裸片传送装置10脱离集成相机30的拍摄轴L，以不干扰裸片连接装置20。
图8是表示图6的裸片粘接系统200中，裸片传送装置10的传送夹头的检查过程的示意图。
如图8所示，首先描述裸片传送装置10的传送夹头11的检查过程，当晶片加载时间或传送夹头11发生异常现象的情况下，也就是说，当吹气检查时怀疑有差异化裸片1或双裸片等时，可以利用裸片传送装置10将传送夹头11定位于集成相机30的拍摄轴L线上，对其进行拍摄，以确定传送夹头11是否有异常。
此时，由于集成相机30位于传送路径P1的下方，传送夹头11在没有拾取裸片1的情况下，沿传送路径P1被输送的途中，可以定位于集成相机30的拍摄轴L线上，并接受是否有异常的检查。
因此，本发明可以将安装在两个位置的两台摄像头减少到一台，利用一台集成相机30不仅可以拍摄一个以上的传送夹头11，还可以拍摄一个以上的连接夹头21，只需一台摄像头可以拍摄所有类型的夹头11及夹头12，由此可以检查夹头11及夹头21是否有污染等异常情况。通过这种方式，可以事先防止有缺陷的裸片传送和有缺陷的裸片连接，并且可以通过减少安装的摄像头数量来降低设备的单价。
图9是根据本发明一些实施方式，表示裸片粘接方法的流程图。
如图1至图9所示，根据本发明的一些实施方式的裸片粘接方法包括：在晶片加载时间或传送夹头的吹气检查时出现异常的情况下，利用裸片传送装置10将传送夹头11定位于集成相机30的拍摄轴L线上，并对其进行拍摄，以确定所述传送夹头是否有异常的步骤(a)；在确定所述传送夹头11正常的情况下，通过裸片传送装置10真空吸附切割胶带T上的裸片1，并沿传送路径P1输送至裸片平台2的步骤(b)；在晶片加载时间或连接夹头21的吹风检查时出现异常的情况下，通过裸片连接装置20将连接夹头21定位于集成相机30的拍摄轴L线上，并对其进行拍摄，以确定连接夹头21是否有异常的步骤(c)；以及在确定所述连接夹头21正常的情况下，通过所述裸片连接装置20真空吸附裸片平台2上的裸片1，并沿连接路径P2输送至基板3的步骤(d)。
其中，在所述步骤(a)中，裸片传送装置10脱离传送路径P1，并沿连接路径P2移动，以处于集成相机30的拍摄轴L线上，裸片连接装置20可以脱离集成相机30的拍摄轴L，以便裸片连接装置20不干扰裸片传送装置10。
其中，所述步骤(a)可以在晶片加载时间或者连接夹头11的吹风检查时出现异常现象的情况下执行。所述步骤(c)可以在所有裸片连接过程之前，或者在晶片加载时间或者连接夹头21的吹风检查时出现异常现象的情况下执行。
例如，在所述步骤(c)中，对所述连接夹头进行n次(n为自然数)的拍摄和检查，而在所述步骤(a)中，可以对所述传送夹头进行小于所述n次的m次(m为自然数)的拍摄和检查。
此外，例如，在所述步骤(c)中，所述裸片连接装置脱离所述连接路径，并沿所述传送路径移动，以处于所述集成相机的所述拍摄轴线上，所述裸片传送装置可以脱离所述集成相机的所述拍摄轴，以便所述裸片传送装置不干扰所述裸片连接装置。
图10是根据本发明的一些其他实施方式，表示裸片粘接方法的流程图。
如图10所示，可以向未拾取裸片1的空状态的传送头部12排放空气或产生真空压力，并执行对测量的压力值与参考压力值进行比较的吹风检查(S1)。
随后，通过传送头部12的吹气检查结果确定是否发生了异常现象(S2)，如果发生异常，也就是说，在吹气检查中怀疑有差异化裸片1或双裸片等时，可以将传送头部12移动到集成相机30的拍摄轴L线上(S3)，对传送夹头11进行拍摄并检查是否有污染(S4)。
如果检查结果显示，传送夹头11中有污染物(S5)，在设备上可以显示错误(S6)。
随后，通过传送头部12的吹气检查结果确定是否有异常(S2)，如果没有异常，则裸片传送装置10可以将裸片1裸片传送到裸片平台2上(S7)。
随后，可以向未拾取裸片1的空状态的连接头部22，排放空气或产生真空压力，执行对检测的压力值与参考压力值进行比较的吹风检查(S8)。
随后，通过连接头部22的吹气检查结果确定是否有异常(S9)，如果发生异常，则将连接头部22移动到集成相机30的拍摄轴L线上(S10)，并对连接夹头21进行拍摄，检查是否有污染(S11)。
如果，检查结果显示，连接夹头21中有污染物(S12)，在设备可以显示错误(S6)。
随后，通过连接头部22的吹气检查结果确定是否有异常(S9)，如果没有异常，则裸片连接装置20可以将裸片1从裸片平台2输送到基板3上进行附着(S13)。
随后，通过确定是否继续(S14)，将其他裸片1可以依次传送输送及连接输送。
本发明参照附图所示的实施方式进行了描述，但这些实施方式只是示例性的，本领域的普通技术人员可以理解，从这些实施方式中可以进行各种修改和等同的其他实施方式。因此，本发明的真正技术保护范围应根据所附专利权利要求范围的技术思想来确定。
[附图的说明]
1 裸片
2 裸片平台
3 基板
4 基板平台
T 切割胶带
W 晶片
10 裸片传送装置
11 传送夹头
111 顶部垫片
112 下部垫片
113 真空通道
11a 吸附孔
12 传送头部
12a 真空线
12b 导向部件
M 头部用永久磁铁
13 传送头输送装置
14 挂载框架
15 晶片平台
16 扩展环
17 夹钳
18 晶片平台
19 弹射器
C 对齐相机
20 裸片连接装置
21 连接夹头
22 连接头部
23 连接头输送装置
30 集成相机
L 拍摄轴
P1 传送路径
P2 连接路径
40 控制部
100,200 裸片粘接系统

Claims (20)

1.一种裸片粘接系统，包括：
裸片传送装置，真空吸附切割胶带上的裸片而输送到裸片平台；
裸片连接装置，真空吸附输送到所述裸片平台上的所述裸片而基板方向输送，将所述裸片附着到所述基板上，以便所述裸片能够连接到所述基板；
集成相机，能够拍摄所述裸片传送装置的传送夹头，能够拍摄所述裸片连接装置的连接夹头；以及
控制部，能够将所述传送夹头定位于所述集成相机的拍摄轴线上，将控制信号分别施加于所述裸片传送装置和所述裸片连接装置，以便能够将所述连接夹头定位于所述集成相机的所述拍摄轴线上。
2.根据权利要求1所述的裸片粘接系统，其特征在于：
所述传送夹头为与所述裸片直接接触且可拆卸的替换式夹头，
所述连接夹头包括与所述裸片直接接触且可拆卸的替换式夹头。
3.根据权利要求2所述的裸片粘接系统，其特征在于：
所述传送夹头和所述连接夹头的形状彼此相同。
4.根据权利要求1所述的裸片粘接系统，其特征在于：
所述裸片传送装置包括：
所述传送夹头，与所述裸片直接接触而对所述裸片进行真空吸附；
传送头部，与所述传送夹头可拆卸地紧固在一起，并利用真空线向所述传送夹头传递真空压力，以使所述裸片能够被真空吸附；以及
传送头输送装置，使所述传送头部在所述切割胶带与所述裸片平台之间、或者在所述裸片平台与所述集成相机的所述拍摄轴线上之间往返输送。
5.根据权利要求1所述的裸片粘接系统，其特征在于：
所述裸片连接装置包括：
所述连接夹头，与所述裸片直接接触而对所述裸片进行真空吸附；
连接头部，与所述连接夹头可拆卸地紧固在一起，利用真空线向所述连接夹头传递真空压力，以使所述裸片能够被真空吸附；以及
连接头输送装置，使所述连接头部在所述裸片平台与所述基板之间、或者在所述基板与所述集成相机的所述拍摄轴线上之间往返输送。
6.根据权利要求1所述的裸片粘接系统，其特征在于：
所述集成相机为上方向式相机，安装在所述裸片传送装置的下方或者所述裸片连接装置的下方，以拍摄所述传送夹头的下表面和所述连接夹头的下表面。
7.根据权利要求1所述的裸片粘接系统，其特征在于：
所述集成相机安装在从所述裸片平台开始形成于所述基板为止的连接路径的下方，以便所述裸片连接装置输送所述裸片之前，对所述连接夹头进行拍摄和检查，并且所述裸片传送装置输送所述裸片之前，对所述传送夹头进行拍摄和检查。
8.根据权利要求7所述的裸片粘接系统，其特征在于：
所述控制部向所述裸片连接装置和所述裸片传送装置施加拍摄位置移动控制信号，以便能够利用一个所述集成相机拍摄所有所述连接夹头和所述传送夹头后检查。
9.根据权利要求1所述的裸片粘接系统，其特征在于：
所述控制部在晶片加载时间或者出现异常现象时，利用所述裸片传送装置将所述传送夹头定位于所述集成相机的所述拍摄轴线上，并对所述传送夹头进行拍摄，以确定所述传送夹头是否有异常，在确定所述传送夹头正常时，向所述裸片传送装置施加控制信号，真空吸附所述切割胶带上的所述裸片，并沿传送路径输送到所述裸片平台上。
10.根据权利要求1所述的裸片粘接系统，其特征在于：
所述控制部在晶片加载时间或者出现异常现象时，利用所述裸片连接装置将所述连接夹头定位于所述集成相机的所述拍摄轴线上，并对所述连接夹头进行拍摄，以确定所述连接夹头是否有异常，在确定所述连接夹头正常时，向所述裸片连接装置施加控制信号，真空吸附所述裸片平台上的所述裸片，并沿所述连接路径输送到所述基板上。
11.根据权利要求9所述的裸片粘接系统，其特征在于：
所述控制部在确定所述传送夹头是否有异常时，向所述裸片传送装置施加路径变更控制信号，使所述裸片传送装置脱离所述传送路径并沿所述连接路径移动，以处于所述集成相机的所述拍摄轴线上，并向所述裸片连接装置施加路径回避控制信号，使所述裸片连接装置脱离所述集成相机的所述拍摄轴线，以不干扰所述裸片传送装置。
12.根据权利要求1所述的裸片粘接系统，其特征在于：
所述集成相机安装在从所述切割胶带到所述裸片平台形成的传送路径的下方，以便所述裸片连接装置能够在输送所述裸片之前，对所述连接夹头进行拍摄和检查，所述裸片传送装置能够在输送所述裸片之前，对所述传送夹头进行拍摄和检查。
13.根据权利要求12所述的裸片粘接系统，其特征在于：
所述控制部在确定所述连接夹头是否有异常时，向所述裸片连接装置施加路径变更控制信号，使所述裸片连接装置脱离所述连接路径并沿所述传送路径移动，以处于所述集成相机的所述拍摄轴线上，并且向所述裸片传送装置施加路径回避控制信号，使所述裸片传送装置脱离所述集成相机的所述拍摄轴线，以便所述裸片传送装置不干扰所述裸片连接装置。
14.一种裸片粘接方法，包括：
步骤(a)：利用裸片传送装置将传送夹头定位于集成相机的拍摄轴线上，并对所述传送夹头进行拍摄，以确定所述传送夹是否有异常；
步骤(b)：在确定所述传送夹头正常的情况下，通过所述裸片传送装置真空吸附切割胶带上的裸片，并沿传送路径输送至裸片平台；
步骤(c)：通过裸片连接装置将连接夹头定位于所述集成相机的所述拍摄轴线上，并对所述连接夹头进行拍摄，以确定所述连接夹头是否有异常；以及
步骤(d)：在确定所述连接夹头正常的情况下，通过所述裸片连接装置真空吸附所述裸片平台上的所述裸片，并沿连接路径输送至基板上。
15.根据权利要求14所述的裸片粘接方法，其特征在于：
所述步骤(a)是在晶片加载时间或者出现异常现象时执行。
16.根据权利要求14所述的裸片粘接方法，其特征在于：
在所述步骤(a)中，
所述裸片传送装置脱离所述传送路径，并沿所述连接路径移动，以处于所述集成相机的所述拍摄轴线上，并且所述裸片连接装置脱离所述集成相机的所述拍摄轴线，以便所述裸片连接装置不干扰所述裸片传送装置。
17.根据权利要求14所述的裸片粘接方法，其特征在于：
所述步骤(c)是在所有裸片连接过程之前、或者在晶片加载时间或者出现异常现象时执行。
18.根据权利要求14所述的裸片粘接方法，其特征在于：
在所述步骤(c)中，对所述连接夹头进行n次的拍摄和检查，其中n为自然数，
在所述步骤(a)中，对所述传送夹头进行小于所述n次的m次的拍摄和检查，其中m为自然数。
19.根据权利要求14所述的裸片粘接方法，其特征在于：
在所述步骤(c)中，所述裸片连接装置脱离所述连接路径，并沿所述传送路径移动，以处于所述集成相机的所述拍摄轴线上，并且所述裸片传送装置脱离所述集成相机的所述拍摄轴线，以便所述裸片传送装置不干扰所述裸片连接装置。
20.一种裸片粘接系统，包括：
裸片传送装置，通过真空吸附将切割胶带上的裸片输送到裸片平台；
裸片连接装置，用于真空吸附输送到所述裸片平台上的所述裸片，并向基板方向输送，将所述裸片附着到所述基板，以便将所述裸片粘合到所述基板上；
集成相机，能够拍摄所述裸片传送装置的传送夹头，以及能够拍摄所述裸片连接装置的连接夹头；以及
控制部，能够将所述传送夹头定位于所述集成相机的拍摄轴线上，并且将控制信号分别施加于所述裸片传送装置和所述裸片连接装置，以将所述连接夹头定位于所述集成相机的所述拍摄轴线上；
所述传送夹头为与所述裸片直接接触且可拆卸的替换式夹头，
所述连接夹头包括与所述裸片直接接触且可拆卸的替换式夹头；
所述裸片传送装置包括：
所述传送夹头，与所述裸片直接接触，用于对所述裸片进行真空吸附；
传送头部，与所述传送夹头可拆卸地紧固在一起，利用真空线向所述传送夹头传递真空压力，以使所述裸片能够被真空吸附；以及
传送头输送装置，使所述传送头部在所述切割胶带与所述裸片平台之间、或者在所述裸片平台与所述集成相机的所述拍摄轴线上之间往返输送；
所述裸片连接装置包括：
所述连接夹头，与所述裸片直接接触，用于对所述裸片进行真空吸附；
连接头部，与所述连接夹头可拆卸地紧固在一起，并利用真空线向所述连接夹头传递真空压力，以使所述裸片能够被真空吸附；以及
连接头输送装置，用于将所述连接头部从所述裸片平台往返输送至所述基板上，或者从所述基板往返输送至所述集成相机的所述拍摄轴线上；
所述集成相机为上方向式相机，安装在所述裸片传送装置的下方或者所述裸片连接装置的下方，用于拍摄所述传送夹头的下表面和所述连接夹头的下表面；
所述集成相机安装在所述裸片平台到所述基板形成的连接路径的下方，以便所述裸片连接装置输送所述裸片之前，对所述连接夹头进行拍摄和检查，并且所述裸片传送装置输送所述裸片之前，对所述传送夹头进行拍摄和检查。
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