CN116983778A - 一种多晶硅生产用尾气处理设备及工艺 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种多晶硅生产用尾气处理设备及工艺，属于尾气处理技术领域；包括处理箱和过滤箱，所述处理箱的上表面固定连接有出气筒，所述处理箱内顶部的左右两侧活动连接有两个活动块，两个所述活动块之间设置有尾气淋洗组件，所述处理箱的内底部转动连接有锥形筒。本发明通过设置尾气淋洗组件对尾气进行进行喷淋处理，混合液落入下侧的锥形筒内进行过滤，过滤的液体从滤水孔流到储液腔重新使用，同时驱动组件带动锥形筒旋转通过刮板将剩余的残渣混合液刮除，残渣混合液从底部的排污管排出，从而防止出现阻塞，提高锥形筒的过滤效果，由于采用自动收集废水内的残渣，且尾气处理设备不需要水解池，所需空间较小，使用效果更好。
Description
技术领域
本发明涉及尾气处理技术领域，特别涉及一种多晶硅生产用尾气处理设备及工艺。
背景技术
多晶硅，是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅。多晶硅是半导体工业、电子信息产业、太阳能光伏电池产业的最主要、最基础的功能性材料，可作各种晶体管、整流二极管、可控硅、太阳能电池、集成电路、电子计算机芯片以及红外探测器等。目前大部分的多晶硅生产厂家均使用西门子改良法工艺，该工艺的主要设备为CVD还原炉。还原炉的工作原理是通过高温硅芯将三氯氢硅与氢气的混和气体反应生成多晶硅并沉积在硅芯上，最终产物是沉积在硅芯上的多晶硅。还原过程十分复杂，经过化学反应产出多晶硅后，反应后的尾气排入尾气处理管线。
现有的尾气处理工艺一般经过水淋洗后达标排放，但是淋洗后的废水中漂浮大量的残渣，为此需要用水解池与尾气淋洗塔相连，用于接纳从尾气淋洗塔排出的废水，然后采用人工打捞的方式收集废水内的残渣，这样的方式采用的工人较多，劳动环境较差，并且所需空间较大，使用效果不好。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种多晶硅生产用尾气处理设备及工艺以解决现有的尾气处理工艺一般经过水淋洗后达标排放，但是淋洗后的废水中漂浮大量的残渣，为此需要用水解池与尾气淋洗塔相连，用于接纳从尾气淋洗塔排出的废水，然后采用人工打捞的方式收集废水内的残渣，这样的方式采用的工人较多，劳动环境较差，并且所需空间较大，使用效果不好的问题。
为解决上述技术问题，本发明提供如下技术方案：
一种多晶硅生产用尾气处理设备，包括处理箱和过滤箱，所述处理箱的上表面固定连接有出气筒，所述处理箱内顶部的左右两侧活动连接有两个活动块，两个所述活动块之间设置有尾气淋洗组件，所述处理箱的内底部转动连接有锥形筒，所述锥形筒上开设有多个滤水孔，所述锥形筒的内壁设置有清理组件，所述锥形筒与处理箱的内底部之间形成有储液腔，所述处理箱的右侧设置有循环组件，所述循环组件用于将储液腔内的水送入尾气淋洗组件，所述处理箱的右侧设置有驱动组件，所述驱动组件用于使尾气淋洗组件前后摆动并使锥形筒旋转，所述过滤箱的左侧底端固定连接有进气管，所述过滤箱的内部安装有过滤网，所述过滤箱的右侧顶端通过连接管与处理箱相连通。
优选地，所述处理箱和过滤箱的下表面固定连接有底板，所述锥形筒的底端密封转动连接有排污管，所述排污管贯穿处理箱的左侧。
优选地，所述处理箱的前后两侧内壁均固定连接有导向杆，所述导向杆贯穿活动块并与处理箱的背面内壁固定连接，所述导向杆与活动块滑动连接，所述尾气淋洗组件的内壁中部固定连接有挡圈。
优选地，所述尾气淋洗组件包括两个固定管，所述固定管与活动块固定连接，两个所述固定管之间固定连接有多个喷淋管，所述喷淋管的下表面安装有多个喷淋嘴，右侧所述固定管的上表面固定连接有连接软管。
优选地，所述清理组件包括固定连接在处理箱右侧内壁的倾斜杆，所述倾斜杆的底端固定连接有安装板，所述安装板的右侧固定连接有刮板，所述刮板与锥形筒的内壁相接触，所述安装板的正面设置有输送组件。
优选地，所述输送组件包括固定连接在安装板正面的固定座，所述固定座上通过轴承转动连接有旋转杆，所述旋转杆的顶端固定连接有橡胶轮，所述橡胶轮与锥形筒的内壁相接触，所述旋转杆的底端外表面固定连接有螺旋叶片。
优选地，所述循环组件包括固定连接在底板上表面右侧的泵体，所述泵体的输入端通过第一管道与储液腔相连通，所述泵体的输出端通过第二管道与连接软管相连通。
优选地，所述驱动组件包括固定连接在处理箱右侧的电机箱，所述电机箱的左侧内壁固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出端固定连接有第一带轮，所述锥形筒的外表面固定连接有第一锥齿轮，所述第一锥齿轮啮合连接有第二锥齿轮，所述第二锥齿轮的右侧固定连接有第一转轴，所述第一转轴的右端贯穿处理箱和电机箱并固定连接有第二带轮，所述第一带轮通过第一皮带与第二带轮传动连接，所述第一转轴通过轴承与处理箱转动连接，所述处理箱的右侧顶端通过轴承转动连接有第二转轴，所述第二转轴的右侧位于电机箱的内部并固定连接有第三带轮，所述第三带轮通过第二皮带与第一带轮传动连接，所述第二转轴的左端设置有传动组件。
优选地，所述传动组件包括固定连接在第二转轴左端的半齿轮，右侧所述活动块的下表面固定连接有矩形框，所述矩形框的上下两侧内壁分别固定连接有第一齿条和第二齿条，所述半齿轮位于第一齿条和第二齿条之间并与第一齿条啮合连接。
一种多晶硅生产用尾气的处理工艺，包括如下步骤：
步骤一、尾气从进气管进入过滤箱内，然后经过过滤网将大颗粒物质过滤，过滤后的尾气从连接管进入处理箱内，然后尾气在处理箱内上升。
步骤二、启动泵体通过第一管道将储液腔内的液体抽出，随后通过第二管道送入连接软管、固定管和喷淋管，然后从多个喷淋嘴喷出，此时气体在上升的过程中与喷出的水雾充分接触，从而对尾气进行进行喷淋处理，混合液落入下侧的锥形筒内进行过滤，过滤的液体从滤水孔流到储液腔重新使用。
步骤三、同时启动驱动电机带动第一带轮旋转，第一带轮在旋转的过程中通过第一皮带带动第二带轮、第一转轴和第二锥齿轮旋转，第二锥齿轮在旋转的过程中与第一锥齿轮配合能够带动锥形筒旋转，由于刮板固定不动，此时锥形筒在旋转的过程中通过刮板将剩余的残渣混合液刮除，同时橡胶轮沿着锥形筒旋转并带动旋转杆和螺旋叶片转动，螺旋叶片在转动的过程中将刮除的残渣输送到底部从排污管排出。
步骤四、同时第一带轮在旋转的过程中通过第二皮带带动第三带轮、第二转轴和半齿轮旋转，半齿轮旋转到上侧时与第一齿条配合带动矩形框、活动块和尾气淋洗组件向前移动，半齿轮旋转到下侧时与第二齿条配合带动矩形框、活动块和尾气淋洗组件向后移动，从而使尾气淋洗组件在喷洒的同时前后摆动，更好的使尾气与喷洒液充分混合。
本发明与现有技术相比，至少具有如下有益效果：
上述方案中，通过设置尾气淋洗组件和循环组件，使气体在上升的过程中与喷出的水雾充分接触，从而对尾气进行进行喷淋处理，同时尾气淋洗组件在喷洒的同时前后摆动，更好的使尾气与喷洒液充分混合，提高尾气的处理效果。
通过设置尾气淋洗组件对尾气进行进行喷淋处理，混合液落入下侧的锥形筒内进行过滤，过滤的液体从滤水孔流到储液腔重新使用，同时驱动组件带动锥形筒旋转通过刮板将剩余的残渣混合液刮除，残渣混合液从底部的排污管排出，从而防止出现阻塞，提高锥形筒的过滤效果，由于采用自动收集废水内的残渣，且尾气处理设备不需要水解池，所需空间较小，使用效果更好。
附图说明
并入本文中并且构成说明书的部分的附图示出了本公开的实施例，并且与说明书一起进一步用来对本公开的原理进行解释，并且使相关领域技术人员能够实施和使用本公开。
图1为多晶硅生产用尾气处理设备及工艺的立体结构示意图；
图2为多晶硅生产用尾气处理设备及工艺的正视结构示意图；
图3为多晶硅生产用尾气处理设备及工艺的正视剖面结构示意图；
图4为多晶硅生产用尾气处理设备及工艺的图3中A处放大结构示意图；
图5为多晶硅生产用尾气处理设备及工艺的图3中B处放大结构示意图；
图6为多晶硅生产用尾气处理设备及工艺的尾气淋洗组件的结构示意图；
图7为多晶硅生产用尾气处理设备及工艺的清理组件的结构示意图。
[附图标记]
1、处理箱；2、出气筒；3、活动块；4、尾气淋洗组件；5、锥形筒；6、滤水孔；7、清理组件；8、储液腔；9、循环组件；10、驱动组件；11、进气管；12、过滤网；13、连接管；14、过滤箱；15、底板；16、排污管；101、导向杆；102、挡圈；401、固定管；402、喷淋管；403、喷淋嘴；404、连接软管；701、倾斜杆；702、安装板；703、刮板；704、固定座；705、旋转杆；706、橡胶轮；707、螺旋叶片；901、泵体；902、第一管道；903、第二管道；1001、电机箱；1002、驱动电机；1003、第一带轮；1004、第一锥齿轮；1005、第二锥齿轮；1006、第一转轴；1007、第二带轮；1008、第一皮带；1009、第二转轴；1010、第三带轮；1011、第二皮带；1012、半齿轮；1013、矩形框；1014、第一齿条；1015、第二齿条。
如图所示，为了能明确实现本发明的实施例的结构，在图中标注了特定的结构和器件，但这仅为示意需要，并非意图将本发明限定在该特定结构、器件和环境中，根据具体需要，本领域的普通技术人员可以将这些器件和环境进行调整或者修改，所进行的调整或者修改仍然包括在后附的权利要求的范围中。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明提供的一种多晶硅生产用尾气处理设备及工艺进行详细描述。同时在这里做以说明的是，为了使实施例更加详尽，下面的实施例为最佳、优选实施例，对于一些公知技术本领域技术人员也可采用其他替代方式而进行实施；而且附图部分仅是为了更具体的描述实施例，而并不旨在对本发明进行具体的限定。
需要指出的是，在说明书中提到“一个实施例”、“实施例”、“示例性实施例”、“一些实施例”等指示所述的实施例可以包括特定特征、结构或特性，但未必每个实施例都包括该特定特征、结构或特性。另外，在结合实施例描述特定特征、结构或特性时，结合其它实施例(无论是否明确描述)实现这种特征、结构或特性应在相关领域技术人员的知识范围内。
通常，可以至少部分从上下文中的使用来理解术语。例如，至少部分取决于上下文，本文中使用的术语“一个或多个”可以用于描述单数意义的任何特征、结构或特性，或者可以用于描述复数意义的特征、结构或特性的组合。另外，术语“基于”可以被理解为不一定旨在传达一组排他性的因素，而是可以替代地，至少部分地取决于上下文，允许存在不一定明确描述的其他因素。
可以理解的是，本公开中的“在……上”、“在……之上”和“在……上方”的含义应当以最宽方式被解读，以使得“在……上”不仅表示“直接在”某物“上”而且还包括在某物“上”且其间有居间特征或层的含义，并且“在……之上”或“在……上方”不仅表示“在”某物“之上”或“上方”的含义，而且还可以包括其“在”某物“之上”或“上方”且其间没有居间特征或层的含义。
此外，诸如“在…之下”、“在…下方”、“下部”、“在…之上”、“上部”等空间相关术语在本文中为了描述方便可以用于描述一个元件或特征与另一个或多个元件或特征的关系，如在附图中示出的。空间相关术语旨在涵盖除了在附图所描绘的取向之外的在设备使用或操作中的不同取向。设备可以以另外的方式被定向，并且本文中使用的空间相关描述词可以类似地被相应解释。
如图1-7所示的，本发明的实施例提供一种多晶硅生产用尾气处理设备，包括处理箱1和过滤箱14，处理箱1的上表面固定连接有出气筒2，处理箱1内顶部的左右两侧活动连接有两个活动块3，两个活动块3之间设置有尾气淋洗组件4，处理箱1的内底部转动连接有锥形筒5，锥形筒5上开设有多个滤水孔6，锥形筒5的内壁设置有清理组件7，锥形筒5与处理箱1的内底部之间形成有储液腔8，处理箱1的右侧设置有循环组件9，循环组件9用于将储液腔8内的水送入尾气淋洗组件4，处理箱1的右侧设置有驱动组件10，驱动组件10用于使尾气淋洗组件4前后摆动并使锥形筒5旋转，过滤箱14的左侧底端固定连接有进气管11，过滤箱14的内部安装有过滤网12，过滤箱14的右侧顶端通过连接管13与处理箱1相连通。
如图1和图2所示，在本实施例中，处理箱1和过滤箱14的下表面固定连接有底板15，锥形筒5的底端密封转动连接有排污管16，排污管16贯穿处理箱1的左侧。
这样设置刮除的残渣混合液输送到锥形筒5的底部，从而能够方便的从排污管16排出。
如图3和图4所示，在本实施例中，处理箱1的前后两侧内壁均固定连接有导向杆101，导向杆101贯穿活动块3并与处理箱1的背面内壁固定连接，导向杆101与活动块3滑动连接，尾气淋洗组件4的内壁中部固定连接有挡圈102。
这样设置活动块3只能沿着导向杆101前后滑动，使尾气淋洗组件4前后摆动更加的稳定。
如图3和图6所示，在本实施例中，尾气淋洗组件4包括两个固定管401，固定管401与活动块3固定连接，两个固定管401之间固定连接有多个喷淋管402，喷淋管402的下表面安装有多个喷淋嘴403，右侧固定管401的上表面固定连接有连接软管404。
这样设置液体第二管道903送入连接软管404、固定管401和喷淋管402，然后从多个喷淋嘴403喷出，此时气体在上升的过程中与喷出的水雾充分接触，从而对尾气进行进行喷淋处理。
如图3图5和图7所示，在本实施例中，清理组件7包括固定连接在处理箱1右侧内壁的倾斜杆701，倾斜杆701的底端固定连接有安装板702，安装板702的右侧固定连接有刮板703，刮板703与锥形筒5的内壁相接触，安装板702的正面设置有输送组件。
这样设置由于刮板703固定不动，此时锥形筒5在旋转的过程中通过刮板703将剩余的残渣混合液刮除。
如图3和图7所示，在本实施例中，输送组件包括固定连接在安装板702正面的固定座704，固定座704上通过轴承转动连接有旋转杆705，旋转杆705的顶端固定连接有橡胶轮706，橡胶轮706与锥形筒5的内壁相接触，旋转杆705的底端外表面固定连接有螺旋叶片707。
这样设置锥形筒5在旋转的过程中橡胶轮706沿着锥形筒5旋转并带动旋转杆705和螺旋叶片707转动，螺旋叶片707在转动的过程中将刮除的残渣输送到底部。
如图1和图3所示，在本实施例中，循环组件9包括固定连接在底板15上表面右侧的泵体901，泵体901的输入端通过第一管道902与储液腔8相连通，泵体901的输出端通过第二管道903与连接软管404相连通。
这样设置启动泵体901通过第一管道902将储液腔8内的液体抽出，随后通过第二管道903送入尾气淋洗组件4。
如图2和图3所示，在本实施例中，驱动组件10包括固定连接在处理箱1右侧的电机箱1001，电机箱1001的左侧内壁固定连接有驱动电机1002，驱动电机1002的输出端固定连接有第一带轮1003，锥形筒5的外表面固定连接有第一锥齿轮1004，第一锥齿轮1004啮合连接有第二锥齿轮1005，第二锥齿轮1005的右侧固定连接有第一转轴1006，第一转轴1006的右端贯穿处理箱1和电机箱1001并固定连接有第二带轮1007，第一带轮1003通过第一皮带1008与第二带轮1007传动连接，第一转轴1006通过轴承与处理箱1转动连接，处理箱1的右侧顶端通过轴承转动连接有第二转轴1009，第二转轴1009的右侧位于电机箱1001的内部并固定连接有第三带轮1010，第三带轮1010通过第二皮带1011与第一带轮1003传动连接，第二转轴1009的左端设置有传动组件。
这样设置启动驱动电机1002带动第一带轮1003旋转，第一带轮1003在旋转的过程中通过第一皮带1008带动第二带轮1007、第一转轴1006和第二锥齿轮1005旋转，第二锥齿轮1005在旋转的过程中与第一锥齿轮1004配合能够带动锥形筒5旋转。
如图3和图4所示，在本实施例中，传动组件包括固定连接在第二转轴1009左端的半齿轮1012，右侧活动块3的下表面固定连接有矩形框1013，矩形框1013的上下两侧内壁分别固定连接有第一齿条1014和第二齿条1015，半齿轮1012位于第一齿条1014和第二齿条1015之间并与第一齿条1014啮合连接。
这样设置第一带轮1003在旋转的过程中通过第二皮带1011带动第三带轮1010、第二转轴1009和半齿轮1012旋转，半齿轮1012旋转到上侧时与第一齿条1014配合带动矩形框1013、活动块3和尾气淋洗组件4向前移动，半齿轮1012旋转到下侧时与第二齿条1015配合带动矩形框1013、活动块3和尾气淋洗组件4向后移动，从而使尾气淋洗组件4在喷洒的同时前后摆动，更好的使尾气与喷洒液充分混合。
一种多晶硅生产用尾气的处理工艺，包括如下步骤：
步骤一、尾气从进气管11进入过滤箱14内，然后经过过滤网12将大颗粒物质过滤，过滤后的尾气从连接管13进入处理箱1内，然后尾气在处理箱1内上升。
步骤二、启动泵体901通过第一管道902将储液腔8内的液体抽出，随后通过第二管道903送入连接软管404、固定管401和喷淋管402，然后从多个喷淋嘴403喷出，此时气体在上升的过程中与喷出的水雾充分接触，从而对尾气进行进行喷淋处理，混合液落入下侧的锥形筒5内进行过滤，过滤的液体从滤水孔6流到储液腔8重新使用。
步骤三、同时启动驱动电机1002带动第一带轮1003旋转，第一带轮1003在旋转的过程中通过第一皮带1008带动第二带轮1007、第一转轴1006和第二锥齿轮1005旋转，第二锥齿轮1005在旋转的过程中与第一锥齿轮1004配合能够带动锥形筒5旋转，由于刮板703固定不动，此时锥形筒5在旋转的过程中通过刮板703将剩余的残渣混合液刮除，同时橡胶轮706沿着锥形筒5旋转并带动旋转杆705和螺旋叶片707转动，螺旋叶片707在转动的过程中将刮除的残渣输送到底部从排污管16排出。
步骤四、同时第一带轮1003在旋转的过程中通过第二皮带1011带动第三带轮1010、第二转轴1009和半齿轮1012旋转，半齿轮1012旋转到上侧时与第一齿条1014配合带动矩形框1013、活动块3和尾气淋洗组件4向前移动，半齿轮1012旋转到下侧时与第二齿条1015配合带动矩形框1013、活动块3和尾气淋洗组件4向后移动，从而使尾气淋洗组件4在喷洒的同时前后摆动，更好的使尾气与喷洒液充分混合。
本发明涵盖任何在本发明的精髓和范围上做的替代、修改、等效方法以及方案。为了使公众对本发明有彻底的了解，在以下本发明优选实施例中详细说明了具体的细节，而对本领域技术人员来说没有这些细节的描述也可以完全理解本发明。另外，为了避免对本发明的实质造成不必要的混淆，并没有详细说明众所周知的方法、过程、流程、元件和电路等。
本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例方法中的全部或部分步骤是可以通过程序来指令相关的硬件来完成，该程序可以存储于计算机可读取存储介质中，如：ROM/RAM、磁碟、光盘等。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
Claims (10)
1.一种多晶硅生产用尾气处理设备，其特征在于，包括处理箱(1)和过滤箱(14)，所述处理箱(1)的上表面固定连接有出气筒(2)，所述处理箱(1)内顶部的左右两侧活动连接有两个活动块(3)，两个所述活动块(3)之间设置有尾气淋洗组件(4)，所述处理箱(1)的内底部转动连接有锥形筒(5)，所述锥形筒(5)上开设有多个滤水孔(6)，所述锥形筒(5)的内壁设置有清理组件(7)，所述锥形筒(5)与处理箱(1)的内底部之间形成有储液腔(8)，所述处理箱(1)的右侧设置有循环组件(9)，所述循环组件(9)用于将储液腔(8)内的水送入尾气淋洗组件(4)，所述处理箱(1)的右侧设置有驱动组件(10)，所述驱动组件(10)用于使尾气淋洗组件(4)前后摆动并使锥形筒(5)旋转；
所述过滤箱(14)的左侧底端固定连接有进气管(11)，所述过滤箱(14)的内部安装有过滤网(12)，所述过滤箱(14)的右侧顶端通过连接管(13)与处理箱(1)相连通。
2.根据权利要求1所述的多晶硅生产用尾气处理设备，其特征在于，所述处理箱(1)和过滤箱(14)的下表面固定连接有底板(15)，所述锥形筒(5)的底端密封转动连接有排污管(16)，所述排污管(16)贯穿处理箱(1)的左侧。
3.根据权利要求2所述的多晶硅生产用尾气处理设备，其特征在于，所述处理箱(1)的前后两侧内壁均固定连接有导向杆(101)，所述导向杆(101)贯穿活动块(3)并与处理箱(1)的背面内壁固定连接，所述导向杆(101)与活动块(3)滑动连接，所述尾气淋洗组件(4)的内壁中部固定连接有挡圈(102)。
4.根据权利要求3所述的多晶硅生产用尾气处理设备，其特征在于，所述尾气淋洗组件(4)包括两个固定管(401)，所述固定管(401)与活动块(3)固定连接，两个所述固定管(401)之间固定连接有多个喷淋管(402)，所述喷淋管(402)的下表面安装有多个喷淋嘴(403)，右侧所述固定管(401)的上表面固定连接有连接软管(404)。
5.根据权利要求4所述的多晶硅生产用尾气处理设备，其特征在于，所述清理组件(7)包括固定连接在处理箱(1)右侧内壁的倾斜杆(701)，所述倾斜杆(701)的底端固定连接有安装板(702)，所述安装板(702)的右侧固定连接有刮板(703)，所述刮板(703)与锥形筒(5)的内壁相接触，所述安装板(702)的正面设置有输送组件。
6.根据权利要求5所述的多晶硅生产用尾气处理设备，其特征在于，所述输送组件包括固定连接在安装板(702)正面的固定座(704)，所述固定座(704)上通过轴承转动连接有旋转杆(705)，所述旋转杆(705)的顶端固定连接有橡胶轮(706)，所述橡胶轮(706)与锥形筒(5)的内壁相接触，所述旋转杆(705)的底端外表面固定连接有螺旋叶片(707)。
7.根据权利要求6所述的多晶硅生产用尾气处理设备，其特征在于，所述循环组件(9)包括固定连接在底板(15)上表面右侧的泵体(901)，所述泵体(901)的输入端通过第一管道(902)与储液腔(8)相连通，所述泵体(901)的输出端通过第二管道(903)与连接软管(404)相连通。
8.根据权利要求7所述的多晶硅生产用尾气处理设备，其特征在于，所述驱动组件(10)包括固定连接在处理箱(1)右侧的电机箱(1001)，所述电机箱(1001)的左侧内壁固定连接有驱动电机(1002)，所述驱动电机(1002)的输出端固定连接有第一带轮(1003)，所述锥形筒(5)的外表面固定连接有第一锥齿轮(1004)，所述第一锥齿轮(1004)啮合连接有第二锥齿轮(1005)，所述第二锥齿轮(1005)的右侧固定连接有第一转轴(1006)，所述第一转轴(1006)的右端贯穿处理箱(1)和电机箱(1001)并固定连接有第二带轮(1007)，所述第一带轮(1003)通过第一皮带(1008)与第二带轮(1007)传动连接，所述第一转轴(1006)通过轴承与处理箱(1)转动连接，所述处理箱(1)的右侧顶端通过轴承转动连接有第二转轴(1009)，所述第二转轴(1009)的右侧位于电机箱(1001)的内部并固定连接有第三带轮(1010)，所述第三带轮(1010)通过第二皮带(1011)与第一带轮(1003)传动连接，所述第二转轴(1009)的左端设置有传动组件。
9.根据权利要求8所述的多晶硅生产用尾气处理设备，其特征在于，所述传动组件包括固定连接在第二转轴(1009)左端的半齿轮(1012)，右侧所述活动块(3)的下表面固定连接有矩形框(1013)，所述矩形框(1013)的上下两侧内壁分别固定连接有第一齿条(1014)和第二齿条(1015)，所述半齿轮(1012)位于第一齿条(1014)和第二齿条(1015)之间并与第一齿条(1014)啮合连接。
10.根据权利要求1-9任一项所述的多晶硅生产用尾气的处理工艺，其特征在于，包括如下步骤：
步骤一、尾气从进气管(11)进入过滤箱(14)内，然后经过过滤网(12)将大颗粒物质过滤，过滤后的尾气从连接管(13)进入处理箱(1)内，然后尾气在处理箱(1)内上升。
步骤二、启动泵体(901)通过第一管道(902)将储液腔(8)内的液体抽出，随后通过第二管道(903)送入连接软管(404)、固定管(401)和喷淋管(402)，然后从多个喷淋嘴(403)喷出，此时气体在上升的过程中与喷出的水雾充分接触，从而对尾气进行进行喷淋处理，混合液落入下侧的锥形筒(5)内进行过滤，过滤的液体从滤水孔(6)流到储液腔(8)重新使用。
步骤三、同时启动驱动电机(1002)带动第一带轮(1003)旋转，第一带轮(1003)在旋转的过程中通过第一皮带(1008)带动第二带轮(1007)、第一转轴(1006)和第二锥齿轮(1005)旋转，第二锥齿轮(1005)在旋转的过程中与第一锥齿轮(1004)配合能够带动锥形筒(5)旋转，由于刮板(703)固定不动，此时锥形筒(5)在旋转的过程中通过刮板(703)将剩余的残渣混合液刮除，同时橡胶轮(706)沿着锥形筒(5)旋转并带动旋转杆(705)和螺旋叶片(707)转动，螺旋叶片(707)在转动的过程中将刮除的残渣输送到底部从排污管(16)排出。
步骤四、同时第一带轮(1003)在旋转的过程中通过第二皮带(1011)带动第三带轮(1010)、第二转轴(1009)和半齿轮(1012)旋转，半齿轮(1012)旋转到上侧时与第一齿条(1014)配合带动矩形框(1013)、活动块(3)和尾气淋洗组件(4)向前移动，半齿轮(1012)旋转到下侧时与第二齿条(1015)配合带动矩形框(1013)、活动块(3)和尾气淋洗组件(4)向后移动，从而使尾气淋洗组件(4)在喷洒的同时前后摆动，更好的使尾气与喷洒液充分混合。
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Citations (5)
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| CN210097256U (zh) * | 2019-05-24 | 2020-02-21 | 广州市泰和混凝土有限公司 | 一种喷淋降尘装置 |
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| CN114225600A (zh) * | 2021-12-28 | 2022-03-25 | 康利达装饰股份有限公司 | 一种装修施工过程中的抑尘装置 |
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| CN218306817U (zh) * | 2022-08-17 | 2023-01-17 | 曲阳县鼎琨环保设备有限公司 | 锅炉烟气用循环流化床cfb脱硫装置 |
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2023
- 2023-08-18 CN CN202311046065.5A patent/CN116983778A/zh active Pending
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