CN116981506A - 供与真空泵一起使用的过滤模块 - Google Patents

Abstract

一种供与真空泵一起使用的过滤模块(100)，其包括分离器(108)和过滤元件(104)。分离器(108)包括入口孔口(110)、出口孔口(112)和二者之间的分离器件(224)。入口孔口(110)用于接收流体混合物，分离器件(224)被构造成从流体混合物中分离出组成部分以提供分离后的流体，并且出口孔口(112)用于排放分离后的流体。过滤元件(104)包括限定内部容积(124)的过滤壁(122)、以及穿过过滤壁(122)的另外的入口孔口(126)。分离器(108)布置成将分离后的流体排放到内部容积(124)中。过滤壁(122)被构造成允许分离后的流体流动通过其，由此对分离后的流体进行过滤。

Description

供与真空泵一起使用的过滤模块

技术领域

本发明涉及供与泵一起使用的过滤器，泵包括但不限于旋转叶片泵，诸如，油封式旋转叶片泵。

背景技术

在各种技术过程中使用真空泵来为相应过程产生真空。

旋转叶片泵是真空泵的常见类型。旋转叶片泵的示例包括单级和两级旋转叶片泵。通常，旋转叶片泵包括偏心地定位在泵送室内的转子。当转子旋转时，安装到转子的叶片滑入和滑出转子，使得叶片的径向外边缘接触泵送室的内壁，从而产生密封的叶片容积。在旋转叶片泵的吸入侧上，叶片容积随着转子旋转而容积增大，由此经由入口将流体吸取到泵送室中。在旋转叶片泵的排放侧上，叶片容积随着转子旋转而容积减小，由此迫使流体经由出口从泵送室中出来。

通常，油被用来润滑旋转叶片泵的活动零件以及用于密封和冷却。在泵的泵送室中，被泵送流体和油进行混合。对该混合物进行过滤以去除油(油可呈油雾的形式)，由此产生不含油的流体输出。这样的过滤可在泵的外部执行，或者由位于泵的罩壳内的排出过滤器执行。

发明内容

在一方面，提供了一种供与真空泵一起使用的过滤模块。过滤模块包括分离器(其可被认为是“预分离器”、“分离器模块”或“分离器元件”)和过滤元件。分离器包括第一入口孔口、第一出口孔口、以及在第一入口孔口和第一出口孔口之间的分离器件，第一入口孔口用于接收流体混合物，分离器件被构造成从流体混合物中分离出并去除至少一些组成部分(component part)，由此提供分离后的流体，并且第一出口孔口用于排放分离后的流体。过滤元件包括至少部分地限定内部容积的过滤壁、以及穿过该过滤壁的第二入口孔口。第一出口孔口连接到第二入口孔口，使得分离器布置成经由第二入口孔口将分离后的流体排放到过滤元件的内部容积中。过滤壁被构造成允许分离后的流体从内部容积流动通过过滤壁到达过滤元件的外部，由此对分离后的流体进行过滤。

分离器可包括选自由以下各者组成的分离器组的一个或多个分离器：旋风分离器、曲径(labyrinth)分离器、叶片分离器和迷宫(maze)分离器。

分离器和过滤元件可一体地形成。分离器和过滤元件可借助于粘合剂或者一个或多个螺栓或紧固件附接在一起。

过滤元件可以是细长元件，其具有第一端以及与第一端相对的第二端。第一端可以是封闭端。第二端可包括第二入口孔口。过滤壁可在第一端和第二端之间延伸。

在另外的方面，提供了一种真空泵，其包括前述方面中任一项的过滤模块，该过滤模块布置成处理真空泵中的流体的流动。真空泵可还包括：泵送室，其用于泵送流体；以及泵送出口孔口，其用于从真空泵排放被泵送流体。过滤模块可设置在泵送室和出口孔口之间，使得从泵送室泵送的流体在经由出口孔口从真空泵排放之前由过滤模块进行过滤。

真空泵可还包括罩壳，该罩壳具有罩壳入口孔口和罩壳出口孔口。分离器可与罩壳的入口孔口密封地接合。过滤元件可从罩壳的入口孔口朝向罩壳出口孔口延伸。过滤元件和罩壳可限定用于使离开过滤元件的流体从过滤元件流到罩壳出口孔口的流体流动路径。

过滤模块可以可移除地安装到真空泵的罩壳。

分离器可还包括第一凸缘，该第一凸缘与真空泵的罩壳密封地接合。分离器可还包括第二凸缘，该第二凸缘与真空泵的罩壳密封地接合，例如在与第一凸缘与罩壳密封地接合所在的位置不同的位置处。

真空泵可以是选自由以下组成的泵组的泵：正排量泵、旋转叶片泵、单级旋转叶片泵和两级旋转叶片泵。

在另外的方面，提供了一种从真空泵移除过滤模块的方法，该真空泵包括罩壳，该罩壳具有第一侧和与第一侧相对的第二侧，第一侧包括排出出口，该排出出口布置成沿第一方向从真空泵排放排出流体。该方法包括：将过滤模块与罩壳解除联接；以及将过滤模块从罩壳的第二侧沿第二方向远离罩壳移动，该第二方向与第一方向相反。

过滤模块可以是根据任一前述方面的过滤模块。

将过滤模块与罩壳解除联接可包括将分离器与罩壳解除联接。

该方法可还包括：用另外的过滤模块来替换被移除的过滤模块。该另外的过滤模块可以是根据前述方面中任一项的过滤模块。替换可包括：在罩壳的第二侧处将另外的过滤模块插入到罩壳中，包括沿第一方向移动另外的过滤模块；以及将另外的过滤模块联接到罩壳。

在另外的方面，提供了一种处理真空泵中的流体混合物的方法。该方法包括：由分离器接收流体混合物；由分离器分离流体混合物，由此提供分离后的流体；由分离器将分离后的流体排放到过滤元件的内部容积中，该内部容积至少部分地由过滤元件的过滤壁限定；以及引起分离后的流体横穿过滤壁到达过滤元件的外部，由此对分离后的流体进行过滤。

附图说明

图1是示出过滤模块的分解透视图的示意性图示(未按比例)；图2是其中实施有过滤模块的真空泵的截面的示意性图示(未按比例)；

图3是示意性图示(未按比例)，其示出了真空泵的一部分并且图示了过滤模块到真空泵的罩壳的附接；以及

图4是穿过过滤模块的分离器的截面的示意性图示(未按比例)。

具体实施方式

将了解，本文中使用诸如上方和下方、水平和竖直、顶部和底部、前部和后部等的相对术语仅仅是为了便于参考附图，并且这些术语本身并不具有限制性，并且可实施任何两个不同的方向或位置等，而不是真正地上方和下方、水平和竖直、顶部和底部等。

图1是示出供与真空泵一起使用的过滤模块100的分解透视图的示意性图示(未按比例)。

过滤模块包括入口连接器102、过滤元件104和盖106。

尽管在图1中(即，在分解图中)被示为间隔开，但是本领域技术人员将了解，入口连接器102、过滤元件104和盖106附接在一起以形成供与真空泵一起使用的单个物品、模块或筒。

入口连接器102、过滤元件104和盖106可以以任何适当的方式附接在一起，包括但不限于通过粘合剂或通过螺栓/紧固件。在一些实施例中，入口连接器102、过滤元件104和盖106中的至少一些一体地形成。

稍后在下文参考图2至图4来更详细描述入口连接器102。入口连接器102包括所谓的预分离器108、第一入口孔口110、第一出口孔口112、第一凸缘114和第二凸缘116。

第一入口孔口110被构造成在使用中接收正由真空泵泵送的一种或多种流体，如稍后在下文参考图2更详细描述的。在该实施例中，第一入口孔口110位于预分离器108的底部上。第一入口孔口110是预分离器108的入口。

第一出口孔口112被构造成在使用中排放已流动通过预分离器108的一种或多种流体，如稍后在下文参考图2更详细描述的。在该实施例中，第一出口孔口112位于预分离器108的第一侧上、被引导朝向过滤元件104。第一出口孔口112是预分离器108的出口。

预分离器108是被构造成分离在第一入口孔口110和第一出口孔口112之间流动的流体混合物的分离器，如稍后在下文将更详细描述的。使用术语“预分离器”是因为该元件在流体由过滤元件104进行过滤之前分离流体混合物，即，预过滤。预分离器108包括设置在第一入口孔口110和第一出口孔口112之间的分离器件(图1中未示出)。

第一凸缘114位于预分离器108的第一侧处，并且包围第一出口孔口112。

第二凸缘116位于预分离器108的第二侧处，预分离器108的第二侧与预分离器108的第一侧相对。第二凸缘116由位于预分离器108的第二侧处的板117或盖形成。

入口连接器102由金属或合金(例如，铝)、塑料、或复合材料(诸如，碳纤维复合材料，其可以是其中嵌入有碳纤维的塑料材料)制成。

过滤元件104是细长元件，其具有第一端118以及与该第一端相对的第二端120。过滤元件104包括在第一端118和第二端120之间延伸的过滤壁122。过滤壁122至少部分地限定内部容积124。过滤元件104包括位于第二端120处的第二入口孔口126、以及位于第一端118处的第二出口孔口128。(如下文所描述的，第二出口孔口128不是用于排出流体的出口，因为它被盖106密封，且因此在下文将被称为“第二孔口”128。)

第二入口孔口126是至内部容积124的入口。第二入口孔口126可被认为是穿过过滤壁122的孔口。第二入口孔口126联接或附接到第一出口孔口112，使得分离器布置成经由第二入口孔口126将流体排放到过滤元件104的内部容积124中。

在该实施例中，过滤壁122是基本上圆柱形的管。过滤壁122可包括任何适当的过滤材料介质，包括但不限于网(诸如，金属网)、纸膜或纸过滤器、非编织过滤器、编织过滤器或其任何组合。

盖106附接到过滤元件104的第一端118，由此密封第二孔口128。盖106可被认为是端盖、封闭件、盘或板。盖106可包括阀，该阀可被认为是安全阀，该阀被构造成在内部容积124内的压力超过阈值压力的情况下打开，由此允许排出流体通过并降低内部容积124内的压力。盖106可由任何适当的材料制成，包括但不限于金属或合金(例如，铝)、塑料、或复合材料，诸如，碳纤维复合材料，其可以是其中嵌入有碳纤维的塑料材料。

图2是其中实施有过滤模块100的真空泵200的油罩壳的截面的示意性图示(未按比例)。

在该实施例中，真空泵200是正排量泵。更具体地，真空泵200是旋转叶片泵，诸如单级旋转叶片泵或两级旋转叶片泵。

真空泵200包括罩壳202、排出或出口孔口(下文中称为“罩壳出口孔口”204)、泵送室出口206、以及其中接收有过滤模块100的孔口(下文中称为“模块接收孔口”208)和用于将过滤模块100安装到罩壳202的两个凸缘(下文中称为“第一安装凸缘”210和“第二安装凸缘”212)。

罩壳202包括第一侧214以及与第一侧214相对的第二侧216。

罩壳出口孔口204是穿过罩壳202的出口，在使用中，排出流体经由该出口被排放，如稍后在下文将更详细描述的。罩壳出口孔口204位于罩壳202的第一侧214上。罩壳出口孔口204布置成沿第一方向217远离罩壳202排放排出流体。(第一方向217由图2中的箭头指示。)在操作中，罩壳出口孔口204可联接到用于输送排出流体远离真空泵200的管道。

泵送室出口206是真空泵200的泵送室(图中未示出)的出口。

模块接收孔口208是罩壳202中的孔口。模块接收孔口208被构造成接收过滤模块100，由此允许过滤模块100插入到罩壳202内的内部容积中以及从该内部容积移除，如稍后在下文将参考图3更详细描述的。模块接收孔口208位于罩壳202的第二侧216上。

第一安装凸缘210外接模块接收孔口208。

第二安装凸缘212在罩壳202的内部容积内位于模块接收孔口208和罩壳出口孔口204之间。

第一安装凸缘210和第二安装凸缘212用于在罩壳202的内部容积内将过滤模块100可替换地安装到罩壳202，如稍后在下文参考图3更详细描述的。

在该实施例中，第二安装凸缘212外接罩壳202内的内部孔口。过滤模块100的过滤元件104穿过该内部孔口定位。该内部孔口可被认为是至罩壳202内的室或容积的入口孔口，该室被限定在第二安装凸缘212、罩壳202、过滤元件104和盖106之间并且与罩壳出口孔口204流体连通。

现在将参考图3描述过滤模块100在罩壳202内的安装的进一步细节。

图3是示意性图示(未按比例)，其示出了真空泵200的一部分并且图示了过滤模块100到罩壳202的附接。

在该实施例中，过滤模块100穿过模块接收孔口208定位，使得入口连接器102的第一凸缘114邻接或接合第二安装凸缘212，并且使得入口连接器102的第二凸缘116邻接或者接合第一安装凸缘210。

形成第二凸缘116的板117密封或封闭模块接收孔口208。

第一O形环型密封件300设置在第一凸缘114和第二安装凸缘212之间，由此在第一凸缘114和第二安装凸缘212之间提供气密密封。这有利地倾向于在使用中阻止或阻碍绕过过滤元件104的流体流动路径。

第二O形环型密封件302设置在第二凸缘116和第一安装凸缘210之间，由此在第二凸缘116和第一安装凸缘210之间提供气密密封。这有利地倾向于阻止或阻碍被泵送流体经由模块接收孔口208从真空泵200泄漏，并且维持压差，由此确保泵的有效工作。

在该实施例中，过滤模块100通过一个或多个紧固件(图中未示出)固定到罩壳202，所述一个或多个紧固件穿过第二凸缘116和第一安装凸缘210并将那些凸缘116、210牢固地紧固在一起。因此，过滤模块100在罩壳202的第二侧216处紧固到罩壳202。

在该实施例中，过滤模块100可移除地附接到罩壳202。过滤模块100可从罩壳202移除以便修理或维护(诸如，清洁)过滤模块100和/或罩壳202。过滤模块100可从罩壳202移除(例如，当已使用或用完时)并替换为新的替换过滤模块100。也许有可能回收或修复已使用或用过已废的过滤模块100。

为了从罩壳202移除过滤模块100，首先移除将过滤模块100紧固到罩壳202的任何紧固件(例如，穿过第二凸缘116和第一安装凸缘210)。然后，经由模块接收孔口208将过滤模块100移出(例如，滑出或拉出)罩壳202。换句话说，将过滤模块100沿第二方向304远离罩壳202的第二侧216移动。第二方向304(由图2和图3中的箭头指示)基本上与第一方向217相反。以这种方式，过滤模块100可从罩壳202移除，而不必拆卸附接到罩壳出口孔口204的任何连接器或管道系统。这有利地倾向于促进过滤模块100和/或罩壳202的修理或维护(诸如，清洁)、以及已使用或用过已废的过滤模块100的替换。

在一些实施例中，替代地或附加地，一个或多个紧固件可穿过第一凸缘114和第二安装凸缘212定位，以将那些凸缘114、212牢固地紧固在一起。

现在返回到图2的描述，现在将描述一种过程，通过该过程，过滤模块100处理由真空泵200泵送的流体。

在操作中，在真空泵200的泵送室中，被泵送流体和被用来润滑泵200的活动零件的油混合在一起，由此形成混合物。该混合物经由泵送室出口206被泵送出泵送室，如图2中由箭头和附图标记220指示的。

然后，该混合物经由第一入口孔口110被泵送到入口连接器102中，如图2中由箭头和附图标记222指示的。然后，该混合物被泵送通过预分离器108的分离器件224。该混合物从第一入口孔口110被泵送通过分离器件224而到达第一出口孔口112。

分离器件224分离流动通过其的流体混合物。稍后在下文参考图4更详细描述由分离器件224对流体进行的这种分离。在该实施例中，分离器件224分离油和被泵送气体，并且从流动通过分离器件224的混合物中去除至少一些油。

在已通过分离器件224从其中去除了至少一些油之后，流体混合物然后经由第一出口孔口112被泵送出入口连接器102，如图2中由箭头和附图标记226指示的。由入口连接器102输出的这种流体可被称为分离后的流体，因为它已通过入口连接器102经历了分离过程。分离后的流体(即，已去除了至少一些油的流体混合物)被泵送出第一出口孔口112并且经由第二入口孔口126直接进入过滤元件104的内部容积124中。

然后，分离后的流体沿着内部容积124从过滤元件104的第二端120被引导到过滤元件104的第一端118。

由于第一端118(即，第二孔口128)被盖106密封，因此分离后的流体然后被迫从内部容积124穿过过滤壁122到达过滤元件的外部。该流体的流动在图2中由箭头和附图标记228指示。过滤壁122对穿过其的分离后的流体进行过滤，由此对分离后的流体进行过滤。更具体地，过滤壁122进一步从流动通过过滤壁122的流体混合物中去除油。离开过滤元件104的流体可基本上不含油。由过滤元件104输出的这种流体可被称为过滤后的流体，因为它已经历了由过滤元件104进行的过滤过程。

在经由过滤壁122离开过滤元件104时，过滤后的流体进入室，该室被限定在第二安装凸缘212、罩壳202、过滤元件104和盖106之间并且与罩壳出口孔口204流体连通。

然后，过滤后的流体经由罩壳出口孔口204被泵送出罩壳202，如图2中由箭头和附图标记230指示的。过滤后的流体基本上沿第一方向217从罩壳202排放。

因此，提供了一种过程，通过该过程，过滤模块100处理由真空泵200泵送的流体。

图4是穿过该实施例的入口连接器102的预分离器108的截面的示意性图示(未按比例)。

在该实施例中，预分离器108是旋风分离器。预分离器108的分离器件224在第一入口孔口110和第一出口孔口112之间限定了用于流体的螺旋形流动路径。

预分离器108使用惯性原理来从流动通过其的流体混合物中去除油和相对较重的组分。

更具体地，在操作中，从泵送室输出的油和泵送流体的混合物经由第一入口孔口110进入预分离器108，如由箭头222指示的。混合物围绕分离器件224的螺旋形路径从第一入口孔口110朝向第一出口孔口112流动，如图4中由箭头和附图标记400指示的。

混合物的相对较轻的组分(例如，泵送流体)具有比混合物的相对较重的组分(例如，分散在混合物中的油滴)小的惯性。因而，在操作中，混合物的相对较轻的组分遵循分离器件224的螺旋形路径，并且经由第一出口孔口112从预分离器108排放。相比之下，混合物的相对较重的组分往往具有太大的惯性而无法遵循螺旋形路径的曲线，且因此撞击分离器件224的壁。混合物的相对较重的组分(包括油)倾向于积聚在分离器件224的表面上，并且经由第一入口孔口110或排泄孔402(经由重力)从预分离器108中掉落出来，如图4中由虚线箭头和附图标记404指示的。

因此，在操作中，预分离器108分离接收到的流体混合物并从该流体混合物中去除至少一些组成部分，由此提供分离后的流体。

预分离器可被认为是“预分离器”，因为它布置成执行混合物的分离、以及在混合物由过滤元件进行过滤之前从混合物中去除至少一些油。这种预分离(包括在过滤之前去除至少一些油)有利地倾向于延长过滤元件的寿命，例如因为对于给定量的被过滤气体来说，趋向存在较少的油。

此外，预分离器可降低流体流入和流动通过过滤元件的流速。这可增加流体横穿过滤壁所花费的时间，由此倾向于提高过滤效率。

而且，上述过滤模块有利地倾向于提高油雾分离效率，并且倾向于减少排出流体中的油含量。

上述过滤模块及其到真空泵的罩壳的安装有利地倾向于促进过滤模块和泵的维修、维护和修理，并且还倾向于促进过滤模块的替换。例如，倾向于避免为了替换过滤模块而拆卸罩壳出口孔口处的罩壳排出凸缘。

在以上实施例中，预分离器是旋风分离器。然而，在其他实施例中，预分离器是除旋风分离器之外的不同类型的分离器。适当的分离器的示例包括但不限于曲径分离器、迷宫分离器和叶片分离器。

在以上实施例中，真空泵是旋转叶片泵，诸如单级旋转叶片泵或两级旋转叶片泵。然而，在其他实施例中，真空泵是不同类型的泵，诸如不同类型的正排量泵。

在以上实施例中，预分离器、过滤元件和盖中的至少一些可一体地形成在一起。尽管过滤模块被实现为单件是优选的，但是本领域技术人员将了解，在不脱离本发明的范围的情况下其他变体是可能的，以便组装过滤模块的不同构成部分，其涉及它们所实现的不同技术功能。例如，过滤模块可被提供为可以以任何合适的方式组装在一起的多个独立件。此外，过滤模块的任何组成部分都可具有与图中所示出和上文所描述的几何形状不同的几何形状。

附图标记说明

100–过滤模块

102–入口连接器

104–过滤元件

106–盖

108–预分离器

110–入口孔口

112–第一出口孔口

114–第一凸缘

116–第二凸缘

117–板

118–第一端

120–第二端

122–过滤壁

124–内部容积

126–第二入口孔口

128–第二孔口

200–真空泵

202–罩壳

204–罩壳出口孔口

206–泵送室出口

208–模块接收孔口

210–第一安装凸缘

212–第二安装凸缘

214–第一侧

216–第二侧

217–第一方向

222、224、226、228、300、400–流动方向

300–第一O形环型密封件

302–第二O形环型密封件

304–第二方向

402–排泄孔

404–油排泄方向

Claims (15)

1.一种供与真空泵一起使用的过滤模块，所述过滤模块包括：

分离器；以及

过滤元件；其中，

所述分离器包括第一入口孔口、第一出口孔口、以及在所述第一入口孔口和所述第一出口孔口之间的分离器件，所述第一入口孔口用于接收流体混合物，所述分离器件被构造成从所述流体混合物中分离出并去除至少一些组成部分，由此提供分离后的流体，并且所述第一出口孔口用于排放所述分离后的流体；

所述过滤元件包括至少部分地限定内部容积的过滤壁、以及穿过所述过滤壁的第二入口孔口；

所述第一出口孔口连接到所述第二入口孔口，使得所述分离器布置成经由所述第二入口孔口将所述分离后的流体排放到所述过滤元件的所述内部容积中；并且

所述过滤壁被构造成允许所述分离后的流体从所述内部容积流动通过所述过滤壁到达所述过滤元件的外部，由此对所述分离后的流体进行过滤。

2.根据权利要求1所述的过滤模块，其中，所述分离器包括选自由以下各者组成的分离器组的一个或多个分离器：旋风分离器、曲径分离器、叶片分离器和迷宫分离器。

3.根据权利要求1或2所述的过滤模块，其中，所述分离器和所述过滤元件一体地形成。

4.根据权利要求1或2所述的过滤模块，其中，所述分离器和所述过滤元件借助于粘合剂或者一个或多个螺栓或紧固件附接在一起。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的过滤模块，其中：

所述过滤元件是细长元件，其具有第一端以及与所述第一端相对的第二端；

所述第一端是封闭端；

所述第二端包括第二入口孔口；并且

所述过滤壁在所述第一端和所述第二端之间延伸。

6.一种真空泵，其包括：

根据权利要求1至5中任一项所述的过滤模块，其布置成处理所述真空泵中的流体的流动。

7.根据权利要求6所述的真空泵，其还包括：

泵送室，其用于泵送所述流体；以及

泵送出口孔口，其用于从所述真空泵排放被泵送流体；其中，

所述过滤模块设置在所述泵送室和所述出口孔口之间，使得从所述泵送室泵送的流体在经由所述出口孔口从所述真空泵排放之前由所述过滤模块进行过滤。

8.根据权利要求6或7所述的真空泵，其还包括：

罩壳，其具有罩壳入口孔口和罩壳出口孔口；

所述分离器与所述罩壳的所述入口孔口密封地接合；

所述过滤元件从所述罩壳的所述入口孔口朝向所述罩壳出口孔口延伸；

所述过滤元件和所述罩壳限定用于使离开所述过滤元件的流体从所述过滤元件流到所述罩壳出口孔口的流体流动路径。

9.根据权利要求6至8中任一项所述的真空泵，其中，所述过滤模块可移除地安装到所述真空泵的罩壳。

10.根据权利要求6至9中任一项所述的真空泵，其中，所述分离器还包括第一凸缘和第二凸缘，所述第一凸缘和所述第二凸缘与所述真空泵的罩壳的不同相应部分密封地接合。

11.根据权利要求6至10中任一项所述的真空泵，其中，所述真空泵是选自由以下组成的泵组的泵：正排量泵、旋转叶片泵、单级旋转叶片泵和两级旋转叶片泵。

12.一种从真空泵移除过滤模块的方法，所述真空泵包括罩壳，所述罩壳具有第一侧和与所述第一侧相对的第二侧，所述第一侧包括排出出口，所述排出出口布置成沿第一方向从所述真空泵排放排出流体，所述方法包括：

将所述过滤模块与所述罩壳解除联接；以及

将所述过滤模块从所述罩壳的所述第二侧沿第二方向远离所述罩壳移动，所述第二方向与所述第一方向相反。

13.根据权利要求12所述的方法，其中，所述过滤模块是根据权利要求1至5中任一项所述的过滤模块，并且将所述过滤模块与所述罩壳解除联接包括将所述分离器与所述罩壳解除联接。

14.根据权利要求12或13所述的方法，其还包括：用另外的过滤模块来替换被移除的过滤模块，所述另外的过滤模块是根据权利要求1至5中任一项所述的过滤模块，其中，所述替换包括：

在所述罩壳的所述第二侧处将所述另外的过滤模块插入到所述罩壳中，包括沿第一方向移动所述另外的过滤模块；以及

将所述另外的过滤模块联接到所述罩壳。

15.一种处理真空泵中的流体混合物的方法，所述方法包括：

由分离器接收所述流体混合物；

由所述分离器分离所述流体混合物，由此提供分离后的流体；

由所述分离器将所述分离后的流体排放到过滤元件的内部容积中，所述内部容积至少部分地由所述过滤元件的过滤壁限定；以及

引起所述分离后的流体横穿所述过滤壁到达所述过滤元件的外部，由此对所述分离后的流体进行过滤。