CN116970918A - 双面同时镀膜的卷绕式镀膜机 - Google Patents
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Abstract
本申请涉及双面同时镀膜的卷绕式镀膜机，属于镀膜机技术领域，双面同时镀膜的卷绕式镀膜机包括真空室、放卷辊和收卷辊，所述放卷辊和收卷辊均转动设置在真空室内，所述真空室内转动设置有第一主辊和第二主辊，所述第一主辊和第二主辊相对设置，位于所述放卷辊和收卷辊之间的基材薄膜依次滑动搭接在第一主辊和第二主辊上，所述真空室内设置有过渡辊组，位于所述第一主辊和第二主辊之间的基材薄膜滑动搭接在过渡辊组上，所述过渡辊组用于在基材薄膜从第一主辊向第二主辊运动时使基材薄膜背离第一主辊的一面贴合在第二主辊上，所述第一主辊和第二主辊下方均分布有靶座组，所述靶座组设置在真空室内。本申请具有一定程度上保证产能的效果。
Description
技术领域
本申请涉及镀膜机技术领域，尤其是涉及双面同时镀膜的卷绕式镀膜机。
背景技术
卷绕式镀膜机是指一种在真空腔体内通过热蒸发或者磁控溅射等方法在卷料基材表面制备一层或者多层薄膜的设备。磁控溅射卷绕式镀膜机的工作原理主要是通过电子在电场的作用下加速飞向基材薄膜的过程中与溅射气体氩气碰撞，电离出大量的氩离子和电子，电子飞向基材薄膜的过程中不断地与氩原子碰撞，氩离子在电场的作用下加速轰击靶材，溅射出大量的靶材原子，呈中性的靶材原子(或分子)沉积在基材薄膜表面从而形成膜。
相关技术中，磁控溅射卷绕式镀膜机主要包括真空室，真空室内转动设置有放卷辊、主辊、收卷辊和多个过渡辊，基材薄膜绕设在放卷辊上，然后依次滑动搭接在过渡辊、主辊上，最后绕设在收卷辊上进行收卷，放卷辊、主辊、收卷辊和多个过渡辊均可通过电机驱使转动，真空室内设置有靶座，靶座位于主辊下方，靶座上安装有靶材。使用时，启动电机，放卷辊对待镀膜的基材薄膜进行放卷，基材薄膜通过过渡辊的传送，到达主辊处，启动靶材的工作程序，使靶材原子沉积在基材薄膜表面形成膜，接着基材薄膜传送至收卷辊处，进行收卷。
针对上述中的相关技术，靶座一次只能对基材薄膜的单面进行镀膜，当实际要求对基材薄膜的两面进行单层或多层镀膜时，需要打开真空室，重新将基材换方向，对基材的另外一面进行镀膜，产能较低。
发明内容
为有助于保证产能，本申请提供双面同时镀膜的卷绕式镀膜机。
本申请提供的双面同时镀膜的卷绕式镀膜机采用如下的技术方案：
双面同时镀膜的卷绕式镀膜机，包括真空室、放卷辊和收卷辊，所述放卷辊和收卷辊均转动设置在真空室内，所述真空室内转动设置有第一主辊和第二主辊，所述第一主辊和第二主辊相对设置，位于所述放卷辊和收卷辊之间的基材薄膜依次滑动搭接在第一主辊和第二主辊上，所述真空室内设置有过渡辊组，位于所述第一主辊和第二主辊之间的基材薄膜滑动搭接在过渡辊组上，所述过渡辊组用于在基材薄膜从第一主辊向第二主辊运动时使基材薄膜背离第一主辊的一面贴合在第二主辊上，所述第一主辊和第二主辊下方均分布有靶座组，所述靶座组设置在真空室内，所述靶座组用于安装靶材对基材薄膜进行磁控溅射。
优选的，所述真空室内设置有安装板，所述安装板与靶座组一一对应，所述靶座组包括转动设置在对应安装板上的多个靶座，所述靶座的转动轴线平行于第一主辊和第二主辊的转动轴线，所述靶座的纵截面为多边形，所述靶座的不同侧面用于安装不同靶材，所述安装板上设置有用于驱使对应的多个靶座同步转动或固定的转动组件。
优选的，所述靶座上设置有转轴，所述转轴转动在对应的安装板上，所述转动组件包括转杆、带轮、皮带和驱动源，所述转杆转动设置在安装板上，所述转杆的转动轴线平行于对应安装板上靶座的转动轴线，所述带轮分别套设在安装板上的转杆和转轴上，所述皮带绕设在多个带轮上，多个所述带轮通过皮带传动连接，所述驱动源用于驱使转杆转动。
优选的，所述驱动源包括转动设置在安装板上的蜗杆、套设在转杆上的蜗轮和设置在安装板上的电机，所述蜗杆与对应安装板上的蜗轮啮合，所述电机用于驱使蜗杆转动。
优选的，所述安装板滑动设置在真空室内，所述安装板的滑动方向垂直于第一主辊的转动轴线，所述真空室内设置有用于调节安装板带动靶座朝向靠近或远离基材薄膜的方向滑动的调节组件。
优选的，所述调节组件包括转动设置在安装板上的第一齿轮、设置在真空室内的齿条和设置在真空室内的推动件，所述第一齿轮的转动轴线平行于蜗杆的转动轴线，所述第一齿轮为不完全齿轮，所述第一齿轮与电机的输出轴同轴连接，所述齿条的长度方向平行于安装板的滑动方向，所述蜗杆上同轴连接有连接杆，所述连接杆上套设有第二齿轮，所述第一齿轮位于齿条和第二齿轮之间，所述第一齿轮用于和齿条啮合，所述第二齿轮用于和第一齿轮啮合，所述推动件用于推动安装板朝向靠近基材薄膜的方向滑动，当所述第一齿轮与齿条啮合时，所述第一齿轮与第二齿轮脱离。
优选的，所述推动件包括用于推动安装板朝向靠近基材薄膜的方向滑动的弹簧，所述弹簧的一端设置在真空室内壁上，另一端设置在安装板上。
优选的，所述安装板远离基材薄膜的一侧设置有滑杆，所述滑杆滑动在真空室内，所述滑杆上设置有摩擦块，所述真空室内设置有用于与摩擦块相对滑动的摩擦条，所述摩擦块和摩擦条之间的摩擦力小于弹簧的推力。
优选的，所述第一主辊和第二主辊位于放卷辊和收卷辊之间，所述过渡辊组包括转动在真空室内的多个第一过渡辊，所述第一过渡辊位于第一主辊和第二主辊上方，位于所述第一主辊和第二主辊之间的基材薄膜滑动搭接在第一过渡辊上方。
优选的，所述放卷辊和收卷辊位于第一主辊和第二主辊的同一侧，所述过渡辊组包括第二过渡辊、第三过渡辊和多个第四过渡辊，所述第二过渡辊、第三过渡辊和多个第四过渡辊均转动设置在真空室内，所述第二过渡辊、第三过渡辊和多个第四过渡辊均位于第一主辊和第二主辊上方，所述第四过渡辊位于收卷辊或放卷辊上方，位于所述第一主辊和第二主辊之间的基材薄膜依次滑动搭接在第二过渡辊、第四过渡辊和第三过渡辊上。
综上所述，本申请包括以下有益技术效果：
通过放卷辊转动对基材薄膜进行放卷，收卷辊转动对基材薄膜进行收卷，基材薄膜通过第一主辊时，第一主辊下方靶座组上的靶材对基材薄膜进行磁控溅射，实现基材薄膜的一面镀膜，第一主辊和第二主辊之间的基材薄膜在过渡辊组的换向下，使基材薄膜远离第一主辊的一面与第二主辊贴合，从而使之前没有镀膜的一面在第二主辊下方靶座组上的靶材作用下进行镀膜，进而实现了双面同时镀膜，无需工作人员打开真空室对基材薄膜进行换向，有助于保证产能。
附图说明
图1是本申请实施例1的整体结构剖视图。
图2是本申请实施例1另一深度的整体结构剖视图，主要用于展示转动组件的结构。
图3是图2中A部分的放大图。
图4是图2中B部分的放大图。
图5是本申请实施例2的整体结构剖视图。
附图标记说明：1、真空室；2、放卷辊；3、收卷辊；4、第一主辊；5、第二主辊；6、安装板；7、靶座；8、转动组件；81、转杆；82、带轮；83、皮带；84、驱动源；841、蜗杆；842、蜗轮；843、电机；9、转轴；10、第一齿轮；11、齿条；12、连接杆；13、第二齿轮；14、弹簧；15、滑杆；16、摩擦块；17、摩擦条；18、第一过渡辊；19、第二过渡辊；20、第三过渡辊；21、第四过渡辊；22、传动辊；23、滑筒；24、挡板；25、支板；26、滑槽。
具体实施方式
以下结合附图1-5对本申请作进一步详细说明。
实施例1：
本申请实施例公开双面同时镀膜的卷绕式镀膜机。参照图1，双面同时镀膜的卷绕式镀膜机包括真空室1、放卷辊2和收卷辊3，真空室1的纵截面为八边形，在其他实施例中，真空室1也可以为其他多边形腔体。放卷辊2和收卷辊3均转动设置在真空室1内，放卷辊2位于收卷辊3上方，放卷辊2和收卷辊3可以通过驱动电机驱动，属于现有技术不过多赘述。
参照图1，真空室1内转动设置有第一主辊4和第二主辊5，第一主辊4和第二主辊5对称设置，第一主辊4和第二主辊5从左往右依次沿水平方向排列，第一主辊4和第二主辊5的转动轴线平行于放卷辊2和收卷辊3的转动轴线，第一主辊4和第二主辊5位于放卷辊2和收卷辊3之间，放卷辊2位于第一主辊4上方，收卷辊3位于第一主辊4和第二主辊5下方且位于第一主辊4和第二主辊5之间，放卷辊2位于收卷辊3靠近第一主辊4的一侧，位于放卷辊2和收卷辊3之间的基材薄膜依次滑动搭接在第一主辊4和第二主辊5下侧。
参照图1，真空室1内设置有过渡辊组，位于第一主辊4和第二主辊5之间的基材薄膜滑动搭接在过渡辊组上，过渡辊组用于在基材薄膜从第一主辊4向第二主辊5运动时使基材薄膜背离第一主辊4的一面贴合在第二主辊5上；过渡辊组包括转动设置在真空室1内的多个第一过渡辊18，第一过渡辊18位于第一主辊4和第二主辊5上方且位于放卷辊2下方，在本实施例中，第一过渡辊18设置有两个，其中一个第一过渡辊18位于第一主辊4靠近第二主辊5的一侧，另一个第一过渡辊18位于第二主辊5上方，位于第一主辊4和第二主辊5之间的基材薄膜滑动搭接在两个第一过渡辊18上侧，真空室1内转动设置有传动辊22，传动辊22位于第二主辊5靠近第一主辊4的一侧，收卷辊3位于传动辊22下方且位于传动辊22远离第二主辊5的一侧，位于收卷辊3和第二主辊5之间的基材薄膜滑动搭接在传动辊22上侧。
参照图1和图2，第一主辊4和第二主辊5下方均分布有靶座组，靶座组包括多个靶座7，靶座7安装在真空室1内，靶座7用于安装靶材对基材薄膜进行磁控溅射，启动靶材上的程序对基材薄膜进行磁控溅射属于现有技术，在此不过多赘述。在本实施例中，第一主辊4下方靶座7上的靶材为银靶材，第二主辊5下方靶座7上的靶材为ITO靶材。
工作时，放卷辊2转动对基材薄膜进行放卷，收卷辊3转动对基材薄膜进行收卷，基材薄膜通过第一主辊4下侧面时，第一主辊4下方靶座7上的靶材启动程序对基材薄膜进行磁控溅射，从而实现一面镀膜，而基材薄膜远离第一主辊4的一面在经过两个第一过渡辊18的换向后与第二主辊5贴合，从而使之前没有镀膜的一面在第二主辊5下方的靶材的作用下进行镀膜，进而实现了双面同时镀膜，无需工作人员打开真空室1对基材薄膜进行单独换向，一定程度上能够保证产能。
参照图1和图2，真空室1内滑动设置有安装板6，安装板6与靶座组一一对应，安装板6为弧形板，安装板6位于第一主辊4和第二主辊5下方，靠近第一主辊4一侧的安装板6用于与第一主辊4同心设置，靠近第二主辊5一侧的安装板6用于与第二主辊5同心设置，安装板6沿竖直方向滑动，安装板6的滑动方向垂直于第一主辊4的转动轴线，安装板6底壁固定有滑杆15，滑杆15相对设置有两个，真空室1底壁上固定有滑筒23，滑筒23与滑杆15一一对应，滑杆15滑动穿设在对应的滑筒23内，有助于为安装板6的滑动进行导向。
参照图1和图2，靶座组的多个靶座7均同轴固定有转轴9，安装板6的相对两侧固定有挡板24，转轴9转动穿设在对应安装板6的挡板24上，靶座7的转动轴线平行于第一主辊4和第二主辊5的转动轴线，多个靶座7沿对应安装板6的周向依次排列，在本实施例中，靶座组中的靶座7设置为三个，在其他实施例中，靶座7的个数可根据需要进行设置。靶座7的纵截面为多边形，在本实施例中，靶座7的纵截面为六边形，靶座7的不同侧面用于安装不同靶材，安装板6上设置有用于驱使对应的多个靶座7同步转动或固定的转动组件8；真空室1内设置有用于调节安装板6带动靶座7朝向靠近或远离基材薄膜的方向滑动的调节组件。
当需要对基材薄膜表面镀其他材料时，通过调节组件调节安装板6带动多个靶座7朝向远离基材薄膜的方向滑动一定距离，接着通过转动组件8驱使安装板6上的多个靶座7旋转，此时靶座7将所需靶材转动至与基材薄膜对应并固定，有助于使靶座7转动时不易刮损基材薄膜；然后通过调节组件调节安装板6带动多个靶座7朝向靠近基材薄膜的方向滑动一定距离，使所需靶材靠近基材薄膜，然后启动对应靶材上的程序，从而能够实现在基材薄膜上镀多层不同材料的膜，镀膜效果好，无需将真空室1打开对靶材进行更换，进而有助于保证产能。
参照图2和图3，为便于驱使挡板24上的多个靶座7同步转动或固定，转动组件8包括转杆81、带轮82、皮带83和驱动源84，转杆81转动设置在一侧挡板24的外壁，转杆81的转动轴线平行于对应挡板24上靶座7的转动轴线，转杆81位于对应挡板24上转轴9的上方，带轮82分别固定套设在挡板24上的转杆81和转轴9上，四个带轮82的连线形成平行四边形，皮带83绕设在带轮82上，多个带轮82通过皮带83传动连接，驱动源84用于驱使转杆81转动。
参照图2和图3，为便于驱使转杆81转动，挡板24上固定有L形的支板25，支板25位于挡板24远离收卷辊3的一侧，驱动源84包括蜗杆841、蜗轮842和电机843，蜗轮842固定套设在转杆81上，蜗轮842位于带轮82远离挡板24的一侧，蜗杆841转动设置挡板24上，蜗杆841的转动轴线沿水平方向设置，蜗杆841的转动轴线垂直于靶座7（参照图1）的转动轴线，蜗杆841与对应挡板24上的蜗轮842啮合，电机843固定安装在支板25上，电机843为减速电机，电机843用于驱使蜗杆841转动。
当需要驱使挡板24上的靶座7转动时，启动电机843，电机843驱使蜗杆841转动，蜗杆841带动蜗轮842转动，使得蜗轮842带动转杆81旋转，通过带轮82与皮带83之间的传动，使多个转轴9带动靶座7旋转，从而可将靶座7上所需的靶材转动至靠近基材薄膜的位置，有助于对基材薄膜上镀不同材料的膜，无需打开真空室1对靶材进行更换，有助于保证产能。
参照图2和图3，为便于调节安装板6朝向靠近或远离基材薄膜的方向滑动，调节组件包括第一齿轮10、齿条11和推动件，第一齿轮10转动设置在挡板24上，第一齿轮10的转动轴线平行于蜗杆841的转动轴线，第一齿轮10为不完全齿轮，第一齿轮10与电机843的输出轴同轴固定，齿条11与第一齿轮10一一对应，齿条11固定连接在真空室1内壁上，齿条11的长度方向平行于安装板6的滑动方向，蜗杆841上同轴固定有连接杆12，连接杆12位于蜗杆841远离收卷辊3的一侧，连接杆12上固定套设有第二齿轮13，第一齿轮10位于对应的齿条11和第二齿轮13之间，第一齿轮10用于和齿条11啮合，第二齿轮13用于和第一齿轮10啮合，当第一齿轮10与齿条11啮合时，第一齿轮10与第二齿轮13脱离。电机843通过第一齿轮10和第二齿轮13的传动实现驱使蜗杆841转动。
参照图2和图4，推动件设置在真空室1内，推动件用于推动安装板6朝向靠近基材薄膜的方向滑动，推动件包括用于推动安装板6朝向靠近基材薄膜的方向滑动的弹簧14，弹簧14位于滑筒23内，弹簧14位于滑杆15下方，弹簧14的延伸方向平行于安装板6的滑动方向，弹簧14的一端固定设置在真空室1底壁上，另一端固定设置在滑杆15底壁上。
参照图2和图4，滑杆15的相对两侧固定设置有摩擦块16，滑筒23相对的两侧内壁开设有与摩擦块16滑动配合的滑槽26，滑槽26内壁上粘接有用于与摩擦块16相对滑动的摩擦条17，摩擦块16和摩擦条17之间的摩擦力小于弹簧14的推力，摩擦块16与摩擦条17可以为橡胶块、磨砂块等。
当靶材处于镀膜状态时，第一齿轮10与齿条11、第二齿轮13均为脱离状态。当需要驱使挡板24上的多个靶座7转动时，启动电机843，电机843驱使第一齿轮10上的齿朝向靠近齿条11的方向转动，使第一齿轮10逐渐与齿条11啮合，此时第一齿轮10会沿齿条11朝向远离基材薄膜的方向滚动，使第一齿轮10带动安装板6和靶座7朝向远离基材薄膜的方向移动，使得靶座7远离基材薄膜，弹簧14压缩，接着第一齿轮10与齿条11脱离逐渐与第二齿轮13啮合，带动第二齿轮13和连接杆12旋转，连接杆12带动蜗杆841转动，蜗杆841带动蜗轮842和转杆81转动，通过带轮82和皮带83的传动，实现转轴9带动靶座7同向旋转，由于第一齿轮10与齿条11脱离，在摩擦块16和摩擦条17的摩擦力下，弹簧14缓慢推动滑杆15带动安装板6朝向靠近基材薄膜的方向移动，有助于使靶座7旋转时不易刮损基材，从而有助于将所需的靶材转动至与基材薄膜对应靠近，能够实现靶材的更换，无需打开真空室1进行更换，有助于保证产能。
本申请实施例的实施原理为：工作时，放卷辊2转动对基材薄膜进行放卷，收卷辊3转动对基材薄膜进行收卷，基材薄膜通过第一主辊4时，第一主辊4下方靶座7上的靶材对基材薄膜进行磁控溅射，从而实现一面镀膜，接着基材薄膜远离第一主辊4的一面在经过两个第一过渡辊18的换向后与第二主辊5贴合，使之前没有镀膜的一面在第二主辊5下方的靶材作用下实现另一面镀膜，进而实现了双面同时镀膜，无需打开真空室1对基材薄膜进行单独换向，一定程度上能够保证产能。
当需要在基材薄膜上进行多层不同材料的镀膜时，启动电机843，电机843驱使第一齿轮10上的齿朝向靠近齿条11的方向转动，使第一齿轮10逐渐与齿条11啮合，第一齿轮10沿齿条11朝向远离基材薄膜的方向滚动，带动安装板6和靶座7朝向远离基材薄膜的方向移动，使得靶座7远离基材薄膜，接着第一齿轮10与齿条11脱离逐渐与第二齿轮13啮合，第一齿轮10带动第二齿轮13和连接杆12旋转，连接杆12带动蜗杆841转动，蜗杆841带动蜗轮842和转杆81转动，通过带轮82和皮带83的传动，实现转轴9带动靶座7同向旋转，由于安装板6处于远离基材薄膜的状态，使靶座7旋转时不易刮损基材，从而有助于将所需的靶材转动至对应基材薄膜的位置，然后弹簧14推动滑杆15使安装板6上的靶座7恢复靠近基材薄膜的状态，启动对应靶材上的程序，反向转动收卷辊3和放卷辊2，实现对基材薄膜镀不同的材料，无需打开真空室1进行更换，有助于进一步保证产能。
实施例2：
参照图5，本申请实施例与实施例1的不同之处在于，放卷辊2和收卷辊3位于第一主辊4和第二主辊5的同一侧，在本实施例中，放卷辊2与收卷辊3均位于第一主辊4和第二主辊5上方。
参照图5，过渡辊组包括第二过渡辊19、第三过渡辊20和多个第四过渡辊21，第二过渡辊19、第三过渡辊20和多个第四过渡辊21均转动在真空室1内，第二过渡辊19、第三过渡辊20和多个第四过渡辊21均位于第一主辊4和第二主辊5上方，第二过渡辊19位于第一主辊4靠近第二主辊5的一侧，第四过渡辊21位于收卷辊3或放卷辊2上方，在本实施例中，放卷辊2和收卷辊3从左往右依次沿水平方向设置，第四过渡辊21位于收卷辊3上方，第四过渡辊21相对设置有两个，收卷辊3位于两个第四过渡辊21之间；收卷辊3位于传动辊22上方，第三过渡辊20位于收卷辊3远离放卷辊2的一侧；位于第一主辊4和第二主辊5之间的基材薄膜依次滑动搭接在第二过渡辊19、两个第四过渡辊21以及第三过渡辊20上。
本申请实施例的实施原理为：工作时，放卷辊2转动对基材薄膜进行放卷，收卷辊3转动对基材薄膜进行收卷，基材薄膜通过第一主辊4时，第一主辊4下方靶座7上的靶材启动程序对基材薄膜进行磁控溅射，实现基材一面镀膜，接着基材薄膜远离第一主辊4的一面在经过第二过渡辊19、第四过渡辊21和第三过渡辊20的换向后与第二主辊5贴合，从而使之前没有镀膜的一面在第二主辊5下方的靶材作用下进行另一面镀膜，进而实现了双面同时镀膜，无需打开真空室1对基槽薄膜进行单独换向，一定程度上能够保证产能。
以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。
Claims (10)
1.双面同时镀膜的卷绕式镀膜机，包括真空室(1)、放卷辊(2)和收卷辊(3)，所述放卷辊(2)和收卷辊(3)均转动设置在真空室(1)内，其特征在于：所述真空室(1)内转动设置有第一主辊(4)和第二主辊(5)，所述第一主辊(4)和第二主辊(5)相对设置，位于所述放卷辊(2)和收卷辊(3)之间的基材薄膜依次滑动搭接在第一主辊(4)和第二主辊(5)上，所述真空室(1)内设置有过渡辊组，位于所述第一主辊(4)和第二主辊(5)之间的基材薄膜滑动搭接在过渡辊组上，所述过渡辊组用于在基材薄膜从第一主辊(4)向第二主辊(5)运动时使基材薄膜背离第一主辊(4)的一面贴合在第二主辊(5)上，所述第一主辊(4)和第二主辊(5)下方均分布有靶座组，所述靶座组设置在真空室(1)内，所述靶座组用于安装靶材对基材薄膜进行磁控溅射。
2.根据权利要求1所述的双面同时镀膜的卷绕式镀膜机，其特征在于：所述真空室(1)内设置有安装板(6)，所述安装板(6)与靶座组一一对应，所述靶座组包括转动设置在对应安装板(6)上的多个靶座(7)，所述靶座(7)的转动轴线平行于第一主辊(4)和第二主辊(5)的转动轴线，所述靶座(7)的纵截面为多边形，所述靶座(7)的不同侧面用于安装不同靶材，所述安装板(6)上设置有用于驱使对应的多个靶座(7)同步转动或固定的转动组件(8)。
3.根据权利要求2所述的双面同时镀膜的卷绕式镀膜机，其特征在于：所述靶座(7)上设置有转轴(9)，所述转轴(9)转动在对应的安装板(6)上，所述转动组件(8)包括转杆(81)、带轮(82)、皮带(83)和驱动源(84)，所述转杆(81)转动设置在安装板(6)上，所述转杆(81)的转动轴线平行于对应安装板(6)上靶座(7)的转动轴线，所述带轮(82)分别套设在安装板(6)上的转杆(81)和转轴(9)上，所述皮带(83)绕设在多个带轮(82)上，多个所述带轮(82)通过皮带(83)传动连接，所述驱动源(84)用于驱使转杆(81)转动。
4.根据权利要求3所述的双面同时镀膜的卷绕式镀膜机，其特征在于：所述驱动源(84)包括转动设置在安装板(6)上的蜗杆(841)、套设在转杆(81)上的蜗轮(842)和设置在安装板(6)上的电机(843)，所述蜗杆(841)与对应安装板(6)上的蜗轮(842)啮合，所述电机(843)用于驱使蜗杆(841)转动。
5.根据权利要求4所述的双面同时镀膜的卷绕式镀膜机，其特征在于：所述安装板(6)滑动设置在真空室(1)内，所述安装板(6)的滑动方向垂直于第一主辊(4)的转动轴线，所述真空室(1)内设置有用于调节安装板(6)带动靶座(7)朝向靠近或远离基材薄膜的方向滑动的调节组件。
6.根据权利要求5所述的双面同时镀膜的卷绕式镀膜机，其特征在于：所述调节组件包括转动设置在安装板(6)上的第一齿轮(10)、设置在真空室(1)内的齿条(11)和设置在真空室(1)内的推动件，所述第一齿轮(10)的转动轴线平行于蜗杆(841)的转动轴线，所述第一齿轮(10)为不完全齿轮，所述第一齿轮(10)与电机(843)的输出轴同轴连接，所述齿条(11)的长度方向平行于安装板(6)的滑动方向，所述蜗杆(841)上同轴连接有连接杆(12)，所述连接杆(12)上套设有第二齿轮(13)，所述第一齿轮(10)位于齿条(11)和第二齿轮(13)之间，所述第一齿轮(10)用于和齿条(11)啮合，所述第二齿轮(13)用于和第一齿轮(10)啮合，所述推动件用于推动安装板(6)朝向靠近基材薄膜的方向滑动，当所述第一齿轮(10)与齿条(11)啮合时，所述第一齿轮(10)与第二齿轮(13)脱离。
7.根据权利要求6所述的双面同时镀膜的卷绕式镀膜机，其特征在于：所述推动件包括用于推动安装板(6)朝向靠近基材薄膜的方向滑动的弹簧(14)，所述弹簧(14)的一端设置在真空室(1)内壁上，另一端设置在安装板(6)上。
8.根据权利要求5所述的双面同时镀膜的卷绕式镀膜机，其特征在于：所述安装板(6)远离基材薄膜的一侧设置有滑杆(15)，所述滑杆(15)滑动在真空室(1)内，所述滑杆(15)上设置有摩擦块(16)，所述真空室(1)内设置有用于与摩擦块(16)相对滑动的摩擦条(17)，所述摩擦块(16)和摩擦条(17)之间的摩擦力小于弹簧(14)的推力。
9.根据权利要求1所述的双面同时镀膜的卷绕式镀膜机，其特征在于：所述第一主辊(4)和第二主辊(5)位于放卷辊(2)和收卷辊(3)之间，所述过渡辊组包括转动在真空室(1)内的多个第一过渡辊(18)，所述第一过渡辊(18)位于第一主辊(4)和第二主辊(5)上方，位于所述第一主辊(4)和第二主辊(5)之间的基材薄膜滑动搭接在第一过渡辊(18)上方。
10.根据权利要求1所述的双面同时镀膜的卷绕式镀膜机，其特征在于：所述放卷辊(2)和收卷辊(3)位于第一主辊(4)和第二主辊(5)的同一侧，所述过渡辊组包括第二过渡辊(19)、第三过渡辊(20)和多个第四过渡辊(21)，所述第二过渡辊(19)、第三过渡辊(20)和多个第四过渡辊(21)均转动设置在真空室(1)内，所述第二过渡辊(19)、第三过渡辊(20)和多个第四过渡辊(21)均位于第一主辊(4)和第二主辊(5)上方，所述第四过渡辊(21)位于收卷辊(3)或放卷辊(2)上方，位于所述第一主辊(4)和第二主辊(5)之间的基材薄膜依次滑动搭接在第二过渡辊(19)、第四过渡辊(21)和第三过渡辊(20)上。
Priority Applications (1)
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| CN202310943688.6A CN116970918A (zh) | 2023-07-29 | 2023-07-29 | 双面同时镀膜的卷绕式镀膜机 |
Applications Claiming Priority (1)
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Family Applications (1)
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Country Status (1)
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2023
- 2023-07-29 CN CN202310943688.6A patent/CN116970918A/zh active Pending
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