CN116952456A - 一种单晶硅压力传感器性能检测装置 - Google Patents

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CN116952456A CN202311002305.1A CN202311002305A CN116952456A CN 116952456 A CN116952456 A CN 116952456A CN 202311002305 A CN202311002305 A CN 202311002305A CN 116952456 A CN116952456 A CN 116952456A
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史硕朝
杜永春
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    • GPHYSICS
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Abstract

本发明涉及单晶硅压力传感器性能检测技术领域,具体为一种单晶硅压力传感器性能检测装置,包括输送单元与检测单元,本发明通过输送单元对传感器进行输送,控制其运动轨迹,使其顺利进入检测单元,通过输送单元与检测单元的配合,对传感器进行防摔性能或防压性能的检测,使通过防摔性能检测的传感器迅速进行防压性能的检测,不通过防摔性能检测的传感器直接被收集,通过对数据的改变,以便于检测出传感器防摔性能与防压性能,整个检测过程中在一个装置上完成,降低检测成本,无需另外准备装置对传感器进行移动,提高检测装置的效率,同时降低检测装置的成本。

Description

一种单晶硅压力传感器性能检测装置
技术领域
本发明涉及单晶硅压力传感器性能检测技术领域,具体为一种单晶硅压力传感器性能检测装置。
背景技术
单晶硅压力传感器是一种常见的单晶硅压力传感器类型,广泛应用于各种领域,包括工业、医疗、汽车等。在使用单晶硅压力传感器时,良好的防摔和防压性能可以确保可靠性和准确性、提高安全性、降低维修和更换成本与提高产品品质,总之,对单晶硅压力传感器的防摔和防压性能进行检测是非常重要的。
传统的检测装置仅可以针对防摔性能或防压性能进行检测,但单晶硅压力传感器在使用过程中既可能发生摔落也可能受到较大的压力,从而损坏单晶硅压力传感器结构或影响其工作性能,导致输出数据不准确或无法正常工作,因此仅对单晶硅压力传感器进行单一的防摔性能或防压性能检测,无法确保单晶硅压力传感器是否可以在恶劣环境中正常工作,影响单晶硅压力传感器的正常使用,从而需要频繁进行维修或更换,导致维修和更换成本增大,若将单晶硅压力传感器经过防摔性能检测后,再次另外进行防压性能检测,需要另外设置装置对其进行移动,增加检测时间,导致检测装置的效率较低,且提高了检测装置的成本。
发明内容
鉴于上述问题,本申请实施例提供一种单晶硅压力传感器性能检测装置,以解决相关技术中单晶硅压力传感器仅可以进行防摔性能或防压性能的检测,从而对单晶硅压力传感器是否可以在恶劣环境中正常工作判断失误,影响单晶硅压力传感器正常使用且检测装置的效率较低以及成本较高的技术问题。为了实现上述目的,本申请实施例提供如下技术方案。
本申请实施例的第一方面提供一种单晶硅压力传感器性能检测装置,包括输送单元与检测单元,检测单元设于输送单元上,用于对单晶硅压力传感器的性能进行检测;所述输送单元包括工作台,工作台上端开设有圆柱槽,圆柱槽内固定安装有电动推杆,圆柱槽的深度与收缩后的电动推杆长度相同,电动推杆伸缩端固定安装有定位板,定位板上设置有对单晶硅压力传感器进行输送的输送架,定位板中部设置有对单晶硅压力传感器进行限位导向的限位架,工作台上端固定安装有对经过防摔性能检测的单晶硅压力传感器进行推动的推件架;所述检测单元包括直角支架,工作台上端固定安装有直角支架,直角支架下端固定安装有施压气缸,施压气缸伸缩端固定安装有对单晶硅压力传感器进行防压性能检测的施压架,直角支架竖直段前端固定安装有对施压架表面进行清理的清理架,工作台上端且位于施压架左右两侧分别设置有对经过防摔性能检测的单晶硅压力传感器以及经过防压性能检测的单晶硅压力传感器表面进行检测的破裂检测架。
根据本发明的实施例,所述工作台上端前后对称固定安装有防脱板,防脱板相对端固定安装有防护橡胶,后侧的防脱板上端与直角支架固定连接。
根据本发明的实施例,所述定位板下端固定安装有金属尺,工作台上固定安装有涡卷弹簧,涡卷弹簧末端与金属尺末端固定连接,金属尺上端为零刻度线起始端。
根据本发明的实施例,所述输送架包括链轮柱,定位板左右对称转动连接有链轮柱,链轮柱通过齿链带传动连接,齿链带表面固定安装有支撑板,支撑板之间通过销轴转动连接,定位板前端通过电机座固定安装有电机一,电机一输出轴通过联轴器与左侧的链轮柱固定连接。
根据本发明的实施例,所述限位架包括双向螺杆,双向螺杆前后对称以螺纹连接的方式连接有圆形块,圆形块外端固定安装有椭圆环,椭圆环内环壁以滑动配合的方式连接有由多个限位块通过销轴转动连接构成的挤压带,限位块与相邻的支撑板之间以滑动配合的方式相连接。
根据本发明的实施例,所述推件架包括矩形块,工作台上端固定安装有矩形块,矩形块右端固定安装有电动伸缩杆一,电动伸缩杆一伸缩端固定安装有梯形推动块,工作台右端固定安装有收集盒。
根据本发明的实施例,所述施压架包括圆台块,施压气缸伸缩端固定安装有圆台块,施压气缸前端固定安装有压力显示仪,压力显示仪前端固定安装有摄像机。
根据本发明的实施例,所述清理架包括电动伸缩杆二,直角支架竖直段前端固定安装有电动伸缩杆二,电动伸缩杆二伸缩端固定安装有清理刷。
根据本发明的实施例,所述破裂检测架包括检测平台板,工作台上端且位于施压架左右两侧均设置有检测平台板,两个防脱板上端且位于检测平台板正上方共同固定安装有分别与检测平台板对应的水平板,水平板下端固定安装有超声波检测仪器。
从以上技术方案可以看出,本发明具有以下优点:1、本发明中,通过防脱板防止单晶硅压力传感器摔落至工作台表面由于受到冲击而飞出工作台,通过防护橡胶防止单晶硅压力传感器飞至防脱板表面再次受到冲击,影响检测结果,从而保证防摔性能检测的准确性,且单晶硅压力传感器不会飞出工作台,从而增加工人的后续拾取收集工序,提高检测装置的检测效率。
2、本发明中,通过金属尺与涡卷弹簧相配合,使金属尺对定位板与工作台之间的距离进行测量,便于准确的调整定位板与工作台之间的距离,便于快速准确的得知防摔性能检测的数据,且成本较低。
3、本发明中,通过转动双向螺杆,使前后两侧的圆形块相向移动,带动椭圆环相向转动,使挤压带对单晶硅压力传感器进行限位的同时不会干涉单晶硅压力传感器的移动,从而对单晶硅压力传感器进行导向,使单晶硅压力传感器沿着规划的路线移动。
4、本发明中,通过电动伸缩杆一带动梯形推动块移动,从而推动单晶硅压力传感器移动,并利用惯性使单晶硅压力传感器移动至梯形推动块中部,以便于进行防压性能的检测,使通过防摔性能的单晶硅压力传感器可以迅速进行防压性能的检测,通过收集盒对经过防摔试验与防压试验的单晶硅压力传感器进行收集。
除了上面所描述的本申请实施例解决的技术问题、构成技术方案的技术特征以及由这些技术方案的技术特征所带来的有益效果外,本申请实施例提供的基于一种单晶硅压力传感器性能检测装置所能解决的其他技术问题、技术方案中包含的其他技术特征以及这些技术特征带来的有益效果,将在具体实施方式中作出进一步的详细说明。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据提供的附图获得其他的附图。
图1示出了根据本发明实施例提供的主视立体结构示意图。
图2示出了根据本发明实施例提供的主视剖视平面结构示意图。
图3示出了根据本发明实施例提供的主视平面结构示意图。
图4示出了图3的A-A向的剖视图。
图5示出了图3的B-B向的剖视图。
图6示出了图3的C-C向的剖视图。
其中,上述附图包括以下附图标记:
1、输送单元;11、工作台;111、防脱板;112、防护橡胶;12、圆柱槽;13、电动推杆;14、定位板;141、金属尺;142、涡卷弹簧;15、输送架;151、链轮柱;152、齿链带;153、支撑板;154、电机一;16、限位架;161、双向螺杆;162、圆形块;163、椭圆环;164、挤压带;17、推件架;171、矩形块;172、电动伸缩杆一;173、梯形推动块;174、收集盒;2、检测单元;21、直角支架;22、施压气缸;23、施压架;231、圆台块;232、压力显示仪;233、摄像机;24、清理架;241、电动伸缩杆二;242、清理刷;25、破裂检测架;251、检测平台板;252、水平板;253、超声波检测仪器。
具体实施方式
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施,本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似改进,因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。
参阅图1,一种单晶硅压力传感器性能检测装置,包括输送单元1与检测单元2,检测单元2设于输送单元1上,用于对单晶硅压力传感器的性能进行检测;所述输送单元1包括工作台11,工作台11上端开设有圆柱槽12,圆柱槽12内固定安装有电动推杆13,圆柱槽12的深度与收缩后的电动推杆13长度相同,电动推杆13伸缩端固定安装有定位板14,定位板14上设置有对单晶硅压力传感器进行输送的输送架15,定位板14中部设置有对单晶硅压力传感器进行限位导向的限位架16,工作台11上端固定安装有对经过防摔性能检测的单晶硅压力传感器进行推动的推件架17;所述检测单元2包括直角支架21,工作台11上端固定安装有直角支架21,直角支架21下端固定安装有施压气缸22,施压气缸22伸缩端固定安装有对单晶硅压力传感器进行防压性能检测的施压架23,直角支架21竖直段前端固定安装有对施压架23表面进行清理的清理架24,工作台11上端且位于施压架23左右两侧分别设置有对经过防摔性能检测的单晶硅压力传感器以及经过防压性能检测的单晶硅压力传感器表面进行检测的破裂检测架25;首先通过电动推杆13带动定位板14向上运动,调整输送架15与工作台11之间的距离,然后通过输送架15对单晶硅压力传感器进行输送,当单晶硅压力传感器运输至输送架15右侧时,输送架15继续运动,单晶硅压力传感器向下掉落,通过推件架17对掉落后的单晶硅压力传感器向右推动,使其运动至左侧的破裂检测架25下方进行检测,检测后,若破裂,则记录高度后,将输送架15与工作台11之间的距离变小,若未破裂,则通过将输送架15与工作台11之间的距离变大,然后通过推件架17继续对单晶硅压力传感器向右推动,使其运动至施压架23正下方,通过施压气缸22带动施压架23对单晶硅压力传感器进行施压,通过推件架17继续对经过施压后的单晶硅压力传感器向右推动,直至其运动至右侧的的破裂检测架25下方进行检测,检测后,若破裂,则记录施压气缸22的压力后,将施压气缸22的压力减小,检测后,若未破裂,则记录施压气缸22的压力后,将施压气缸22的压力增大,若仅检测防摔性能,则将电动推杆13收缩至最短,使单晶硅压力传感器从输送架15掉落至工作台11上时不受到冲击,若仅检测防压性能,则不需要使用施压气缸22与右侧的破裂检测架25。
参阅图4,所述工作台11上端前后对称固定安装有防脱板111,防脱板111相对端固定安装有防护橡胶112,后侧的防脱板111上端与直角支架21固定连接;通过防脱板111防止单晶硅压力传感器摔落至工作台11表面由于受到冲击而飞出工作台11,通过防护橡胶112防止单晶硅压力传感器飞至防脱板111表面再次受到冲击,影响检测结果。
参阅图2,所述定位板14下端固定安装有金属尺141,工作台11上固定安装有涡卷弹簧142,涡卷弹簧142末端与金属尺141末端固定连接,金属尺141上端为零刻度线起始端;通过金属尺141与涡卷弹簧142相配合,使金属尺141对定位板14与工作台11之间的距离进行测量,便于准确的调整定位板14与工作台11之间的距离。
参阅图2与图3,所述输送架15包括链轮柱151,定位板14左右对称转动连接有链轮柱151,链轮柱151通过齿链带152传动连接,齿链带152表面固定安装有支撑板153,支撑板153之间通过销轴转动连接,定位板14前端通过电机座固定安装有电机一154,电机一154输出轴通过联轴器与左侧的链轮柱151固定连接;通过电机一154带动链轮柱151转动,从而带动齿链带152运动,通过支撑板153对单晶硅压力传感器进行支撑。
参阅图2与图4,所述限位架16包括双向螺杆161,双向螺杆161前后对称以螺纹连接的方式连接有圆形块162,圆形块162外端固定安装有椭圆环163,椭圆环163内环壁以滑动配合的方式连接有由多个限位块通过销轴转动连接构成的挤压带164,限位块与相邻的支撑板153之间以滑动配合的方式相连接;通过转动双向螺杆161,使前后两侧的圆形块162相向移动,带动椭圆环163相向转动,使挤压带164对单晶硅压力传感器进行限位的同时不会干涉单晶硅压力传感器的移动。
参阅图5,所述推件架17包括矩形块171,工作台11上端固定安装有矩形块171,矩形块171右端固定安装有电动伸缩杆一172,电动伸缩杆一172伸缩端固定安装有梯形推动块173,工作台11右端固定安装有收集盒174;通过电动伸缩杆一172带动梯形推动块173移动,从而推动单晶硅压力传感器移动,并利用惯性使单晶硅压力传感器移动至梯形推动块173中部,通过收集盒174对经过防摔试验与防压试验的单晶硅压力传感器进行收集。
参阅图3与图6,所述施压架23包括圆台块231,施压气缸22伸缩端固定安装有圆台块231,施压气缸22前端固定安装有压力显示仪232,压力显示仪232前端固定安装有摄像机233;通过圆台块231对单晶硅压力传感器进行施压,通过压力显示仪232将施压气缸22施加的压力显示出来,通过摄像机233将压力显示仪232显示的数值进行记录,便于后续进行数据的记录。
参阅图1,所述清理架24包括电动伸缩杆二241,直角支架21竖直段前端固定安装有电动伸缩杆二241,电动伸缩杆二241伸缩端固定安装有清理刷242;通过电动伸缩杆二241带动清理刷242对圆台块231下端面附着的杂质进行清理。
参阅图2,所述破裂检测架25包括检测平台板251,工作台11上端且位于施压架23左右两侧均设置有检测平台板251,两个防脱板111上端且位于检测平台板251正上方共同固定安装有分别与检测平台板251对应的水平板252,水平板252下端固定安装有超声波检测仪器253;通过检测平台板251对单晶硅压力传感器进行支撑,通过水平板252上的超声波检测仪器253对单晶硅压力传感器的状态进行检测。
本发明工作原理:第一步:首先通过电动推杆13带动定位板14向上运动,调整输送架15与工作台11之间的距离,然后通过输送架15对单晶硅压力传感器进行输送,当单晶硅压力传感器运输至输送架15右侧时,输送架15继续运动,单晶硅压力传感器向下掉落,通过推件架17对掉落后的单晶硅压力传感器向右推动,使其运动至左侧的破裂检测架25下方进行检测。
第二步:检测后,若破裂,则记录高度后,将输送架15与工作台11之间的距离变小,若未破裂,则通过将输送架15与工作台11之间的距离变大,然后通过推件架17继续对单晶硅压力传感器向右推动,使其运动至施压架23正下方,通过施压气缸22带动施压架23对单晶硅压力传感器进行施压,通过推件架17继续对经过施压后的单晶硅压力传感器向右推动,直至其运动至右侧的的破裂检测架25下方进行检测。
第三步:检测后,若破裂,则记录施压气缸22的压力后,将施压气缸22的压力减小,检测后,若未破裂,则记录施压气缸22的压力后,将施压气缸22的压力增大,若仅检测防摔性能,则将电动推杆13收缩至最短,使单晶硅压力传感器从输送架15掉落至工作台11上时不受到冲击,若仅检测防压性能,则不需要使用施压气缸22与右侧的破裂检测架25。
在本发明的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“中部”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“末端”、“轴向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明以及简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。
此外,术语“第一”、“第二”、“一号”、“二号”、“一”、“二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。在本发明的描述中,"多个"的含义是至少两个,例如两个,三个等,除非另有明确具体的限定。
在本发明的描述中,还需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“设置”、“相连”、“安装”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接、滑动连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
本具体实施方式的实施例均为本发明的较佳实施例,并非依此限制本发明的保护范围,故:凡依据本发明的结构、形状、原理所做的等效变化,均应涵盖于本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种单晶硅压力传感器性能检测装置,其特征在于:包括输送单元(1)与检测单元(2),检测单元(2)设于输送单元(1)上,用于对单晶硅压力传感器的性能进行检测;
所述输送单元(1)包括工作台(11),工作台(11)上端开设有圆柱槽(12),圆柱槽(12)内固定安装有电动推杆(13),圆柱槽(12)的深度与收缩后的电动推杆(13)长度相同,电动推杆(13)伸缩端固定安装有定位板(14),定位板(14)上设置有对单晶硅压力传感器进行输送的输送架(15),定位板(14)中部设置有对单晶硅压力传感器进行限位导向的限位架(16),工作台(11)上端固定安装有对经过防摔性能检测的单晶硅压力传感器进行推动的推件架(17);
所述检测单元(2)包括直角支架(21),工作台(11)上端固定安装有直角支架(21),直角支架(21)下端固定安装有施压气缸(22),施压气缸(22)伸缩端固定安装有对单晶硅压力传感器进行防压性能检测的施压架(23),直角支架(21)竖直段前端固定安装有对施压架(23)表面进行清理的清理架(24),工作台(11)上端且位于施压架(23)左右两侧分别设置有对经过防摔性能检测的单晶硅压力传感器以及经过防压性能检测的单晶硅压力传感器表面进行检测的破裂检测架(25)。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅压力传感器性能检测装置,其特征在于:所述工作台(11)上端前后对称固定安装有防脱板(111),防脱板(111)相对端固定安装有防护橡胶(112),后侧的防脱板(111)上端与直角支架(21)固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种单晶硅压力传感器性能检测装置,其特征在于:所述定位板(14)下端固定安装有金属尺(141),工作台(11)上固定安装有涡卷弹簧(142),涡卷弹簧(142)末端与金属尺(141)末端固定连接,金属尺(141)上端为零刻度线起始端。
4.根据权利要求1所述的一种单晶硅压力传感器性能检测装置,其特征在于:所述输送架(15)包括链轮柱(151),定位板(14)左右对称转动连接有链轮柱(151),链轮柱(151)通过齿链带(152)传动连接,齿链带(152)表面固定安装有支撑板(153),支撑板(153)之间通过销轴转动连接,定位板(14)前端通过电机座固定安装有电机一(154),电机一(154)输出轴通过联轴器与左侧的链轮柱(151)固定连接。
5.根据权利要求4所述的一种单晶硅压力传感器性能检测装置,其特征在于:所述限位架(16)包括双向螺杆(161),双向螺杆(161)前后对称以螺纹连接的方式连接有圆形块(162),圆形块(162)外端固定安装有椭圆环(163),椭圆环(163)内环壁以滑动配合的方式连接有由多个限位块通过销轴转动连接构成的挤压带(164),限位块与相邻的支撑板(153)之间以滑动配合的方式相连接。
6.根据权利要求1所述的一种单晶硅压力传感器性能检测装置,其特征在于:所述推件架(17)包括矩形块(171),工作台(11)上端固定安装有矩形块(171),矩形块(171)右端固定安装有电动伸缩杆一(172),电动伸缩杆一(172)伸缩端固定安装有梯形推动块(173),工作台(11)右端固定安装有收集盒(174)。
7.根据权利要求1所述的一种单晶硅压力传感器性能检测装置,其特征在于:所述施压架(23)包括圆台块(231),施压气缸(22)伸缩端固定安装有圆台块(231),施压气缸(22)前端固定安装有压力显示仪(232),压力显示仪(232)前端固定安装有摄像机(233)。
8.根据权利要求1所述的一种单晶硅压力传感器性能检测装置,其特征在于:所述清理架(24)包括电动伸缩杆二(241),直角支架(21)竖直段前端固定安装有电动伸缩杆二(241),电动伸缩杆二(241)伸缩端固定安装有清理刷(242)。
9.根据权利要求2所述的一种单晶硅压力传感器性能检测装置,其特征在于:所述破裂检测架(25)包括检测平台板(251),工作台(11)上端且位于施压架(23)左右两侧均设置有检测平台板(251),两个防脱板(111)上端且位于检测平台板(251)正上方共同固定安装有分别与检测平台板(251)对应的水平板(252),水平板(252)下端固定安装有超声波检测仪器(253)。
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