CN116920565B - 可减少深冷污氩排放量的污氩分离系统和方法 - Google Patents

Abstract

本申请公开可减少深冷污氩排放量的污氩分离系统，所述可减少深冷污氩排放量的污氩分离系统包括阀组、至少两吸附塔、与所述吸附塔至少数量相同的排污通道、进气构件以及至少一氩气回流构件，所述阀组包括一进气阀、一解析控制阀以及至少两排污阀，每个所述吸附塔的顶部具有一富氩出气口，并且每个所述吸附塔顶部的所述富氩出气口被相互连通，以形成一再生通道，每个所述吸附塔顶部的所述富氩出气口还被连通于一出富氩气通道。

Description

可减少深冷污氩排放量的污氩分离系统和方法

技术领域

本发明提供一种氩气回收的方法，尤其涉及一种可减少深冷污氩排放量的污氩分离系统和方法。

背景技术

目前，采用带前级脱氧脱碳工艺的低温精馏工艺，可解决现存光伏企业面临的缺氩、高能问题，并降低了光伏新能源的生产制造成本。深冷装置的氩气回收率一般在85%左右，还是有大量的污氩气排放至大气中，造成氩气的浪费。

相对于从含氩1%的大气中分离氩气提纯，以获得高纯氩来说，深冷污氩排放的气体中，氩气浓度10~80%的污氩气仍然是高价值气源。对冷污氩排放的气体进一步回收，以将污氩气提纯后再引入整体深冷氩气回收装置的入口可提高氩气回收装置的整体收率。

低温精馏工艺的污氩气含杂气主要为氮气、氢气或一氧化碳，受单晶硅炉回收原料气影响，含杂气中各组分的比例变化较大，如其中氮气浓度波动在90~20%，氢气浓度波动在1~4%，污氩气的压力与前级低温精馏工艺有关。

现有技术中，深冷污氩大多都是通过直接排放的方式排出，这样一来，就会导致深冷污氩中的氩气浪费。而深冷污氩排放气体中的氩气的浓度无法达到用户使用浓度的要求，尽管现有技术中有通过吸附塔过滤排放气体的工艺，但是经过吸附塔过滤后的气体分为高纯度的氩气和剩余气体，而剩余气体中还是会存在较多的氩气，且其浓度远高于大气中氩气的浓度。在现有技术中，剩余气体通常是被直接排放至大气中。如此一来，依旧造成了大量氩气的浪费。

发明内容

本发明的一个优势在于提供一种可减少深冷污氩排放量的污氩分离系统和方法，其中通过所述可减少深冷污氩排放量的方法，能够减少深冷污氩的氩气的排放，并且能够更高效地回收氩气。

本发明的另一个优势在于提供一种可减少深冷污氩排放量的污氩分离系统和方法，其中通过所述可减少深冷污氩排放量的方法，能够有效防止深冷污氩进入时，因含有氢气过多而发生危险事故。

本发明的另一个优势在于提供一种可减少深冷污氩排放量的污氩分离系统和方法，其中通过所述可减少深冷污氩排放量的方法，能够有效地防止因进入的污氩废气流速过快而穿透填料，换句话说，通过本方法能够使得污氩在被填料过滤时，能够缓慢地经过所述填料，从而保证气体能够充分地与吸附塔的吸附填料层接触，从而提高收集的氩气的纯度。

本发明的另一个优势在于提供一种可减少深冷污氩排放量的污氩分离系统和方法，其中通过所述可减少深冷污氩排放量的方法，能够使得污氩在被回收的同时能够通过多塔连通的方式，使得其中至少一个塔在进行过滤污氩的同时，而另一个塔在进行再生，再生后的吸附塔在过滤污氩时，之前在过滤污氩的吸附塔在再生，这样一来，能够有效地保证每个塔中吸附填料层的吸附能力，进而提高过滤后污氩的纯度。

本发明的另一个优势在于提供一种可减少深冷污氩排放量的污氩分离系统和方法，其中通过可减少深冷污氩排放量的方法，能够有效地减少深冷污氩的氩气的排放，从而提高污氩的利用率。

为达到本发明以上至少一个优势，本发明提供一种可减少深冷污氩排放量的污氩分离系统，所述可减少深冷污氩排放量的污氩分离系统包括：

阀组，所述阀组包括一进气阀、一解析控制阀以及至少两排污阀；

至少两吸附塔，每个所述吸附塔的顶部具有一富氩出气口，并且每个所述吸附塔顶部的所述富氩出气口被相互连通，以形成一再生通道，每个所述吸附塔顶部的所述富氩出气口还被连通于一出富氩气通道，其中所述解析控制阀被设置于所述再生通道，用以控制所述再生通道的通断，每个所述吸附塔的底部还具有至少一排污口；

与所述吸附塔至少数量相同的排污通道，每个所述排污通道的一端被连通于每个所述吸附塔的底部的所述排污口，而另一端形成一排出口，用以排出每个所述吸附塔底部的废气，其中每个所述排污通道设置至少一个所述排污阀；

进气构件，所述进气构件具有一进气口，并且所述进气构件包括与所述吸附塔数量一致的至少两个进气管路，其中每个所述进气管路上设置一所述进气阀，并且每个所述进气管路的两端分别连通于所述进气口和所述吸附塔的底部，以在所述进气阀被打开时，从所述进气口进入的污氩废气，能够经由所述进气管路进入对应的所述吸附塔中一进气口中，并随后被过滤，当与其中至少一个所述吸附塔连通的至少一个所述进气阀被打开时，与未打开的所述进气阀相连的其他所述吸附塔将处于解析状态，而对应的与对应打开的所述进气阀相连的所述吸附塔将处于吸附工作状态，而与处于吸附工作状态的所述吸附塔底部相连的所述排污阀则处于关闭状态，而与处于解析状态的所述吸附塔底部相连的所述排污阀则处于打开状态；

至少一氩气回流构件，所述氩气回流构件包括至少一均压罐和与所述吸附塔数量至少一致的第一均压通道，所述阀组包括一第一均压阀，其中所述第一均压阀被设置在每条所述第一均压通道上，每条所述第一均压通道的一端被连通于所述均压罐，而另一端被连通于一个所述吸附塔的顶部；

返流构件，其中所述返流构件包括一返流通道、一存污罐和以及一负压泵，所述返流通道一端连通于每个所述吸附塔的底部，而另一端被连通于所述存污罐，所述存污罐被连通于所述排污通道，所述负压泵被设置能够引导所述排污通道中的废氩流入所述存污罐，并且能够在后续引导所述存污罐中废氩通过所述返流通道从所述吸附塔的底部进入所述吸附塔。

根据本发明一实施例，所述氩气回流构件还包括一第二均压通道，所述阀组，还包括至少一第二均压阀，其中所述第二均压阀被设置于所述第二均压通道，并介于处于所述吸附工作状态的所述吸附塔和处于所述解析状态的所述吸附塔之间的所述第二均压通道，所述第二均压通道，被用以连通所述吸附塔的中上部。

根据本发明一实施例，所述氩气回流构件还包括与所述吸附塔数量至少相同数量的第三均压通道，所述阀组包括一第三均压阀，所述第三均压阀被设置于每条所述第三均压通道，所述第三均压通道的一端被连通于处于吸附工作状态下的所述吸附塔中上部，而另一端被连通于处于解析状态下的所述吸附塔的底部。

根据本发明一实施例，所述可减少深冷污氩排放量的污氩分离系统还包括一减流氩罐，其中所述减流氩罐中存储富氩气体，其中所述减流氩罐被设置与所述出富氩气通道的另一端连通。

根据本发明一实施例，所述进气构件还包括至少一稳压罐，其中所述稳压罐被设置在所述进气管路上，用以稳定从所述进气管路进入的深冷污氩废气。

根据本发明一实施例，所述进气构件还包括一惰性气体进气管路，其中所述惰性气体进气管路的一端被连通于所述进气管路，其中所述惰性气体进气管路的另一端被连同于一惰性气体存储罐，其中所述惰性气体进气管路设置至少一吹气控制阀。

根据本发明一实施例，所述氩气回流构件包括多条连通处于吸附工作状态的所述吸附塔和同时处于解析状态的所述吸附塔的所述第三均压通道。

根据本发明一实施例，所述惰性气体存储罐中存储的气体为氮气等惰性气体。

根据本发明一实施例，每条所述第三均压通道被设置为所述第一均压通道的之路，而所述第一均压阀和所述第三均压阀被设置为同一个阀，且被设置在之路上。

附图说明

图1示出了本发明可减少深冷污氩排放量的污氩分离系统的示意图。

图2示出了本发明可减少深冷污氩排放量的污氩分离系统的另一实施例的示意图。

图3示出了本发明可减少深冷污氩排放量的污氩分离系统的图2中部分结构的放大示意图。

实施方式

以下描述用于揭露本发明以使本领域技术人员能够实现本发明。以下描述中的优选实施例只作为举例，本领域技术人员可以想到其他显而易见的变型。在以下描述中界定的本发明的基本原理可以应用于其他实施方案、变形方案、改进方案、等同方案以及没有背离本发明的精神和范围的其他技术方案。

本领域技术人员应理解的是，在本发明的揭露中，术语“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系是基于附图所示的方位或位置关系，其仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此上述术语不能理解为对本发明的限制。

可以理解的是，术语“一”应理解为“至少一”或“一个或多个”，即在一个实施例中，一个元件的数量可以为一个，而在另外的实施例中，该元件的数量可以为多个，术语“一”不能理解为对数量的限制。

参考图1至图3，依本发明一较佳实施例的一可减少深冷污氩排放量的污氩分离系统将在以下被详细地阐述，其中所述可减少深冷污氩排放量的污氩分离系统能够对深冷污氩废气进行处理，并在处理时，减少最终排出的废气中污氩的含量，进而提高污氩的回收率。

具体地，所述可减少深冷污氩排放量的污氩分离系统包括一进气构件10、至少两个吸附塔20和一阀组40。

如图1所示，所述阀组40包括一进气阀41。所述进气构件10具有一进气口101，并且所述进气构件10包括与所述吸附塔20数量一致的至少两个进气管路11，其中每个所述进气管路11上设置一所述进气阀41，并且每个所述进气管路11的两端分别连通于所述进气口101和所述吸附塔20的底部，以在所述进气阀41被打开时，从所述进气口101进入的污氩废气，能够经由所述进气管路11进入对应的所述吸附塔20中一进气口101中，并随后被过滤。

值得一提的是，本领域技术人员能够理解的是，每个所述吸附塔20中设置有吸附填料层，其中所述吸附填料层被用以吸附废气中除了氩气以外的其他气体，如氢气等。如此一来，能够使得自下而上经过所述吸附塔20的废气被过滤后，可以得到富氩气体。

每个所述吸附塔20的顶部具有一富氩出气口202，并且每个所述吸附塔20顶部的所述富氩出气口202被相互连通，以形成一再生通道21。与此同时，每个所述吸附塔20顶部的所述富氩出气口202还被连通于一出富氩气通道50。

值得一提的是，所述阀组40还包括一解析控制阀42，其中所述解析控制阀42被设置于所述再生通道21，用以控制所述再生通道21的通断。

此外，每个所述吸附塔20的底部还具有至少一排污口203。相应地，所述可减少深冷污氩排放量的污氩分离系统还包括与所述吸附塔20至少数量相同的排污通道30。每个所述排污通道30的一端被连通于每个所述吸附塔20的底部的所述排污口203，而另一端形成一排出口，用以排出每个所述吸附塔20底部的废气。

所述阀组40还包括与所述吸附塔20至少数量相同的排污阀43，其中每个所述排污通道30设置至少一个所述排污阀43。

值得一提的是，当与其中至少一个所述吸附塔20连通的至少一个所述进气阀41被打开时，与未打开的所述进气阀41相连的其他所述吸附塔20将处于解析状态。而对应的与对应打开的所述进气阀41相连的所述吸附塔20将处于吸附工作状态。而与处于吸附工作状态的所述吸附塔20底部相连的所述排污阀43则处于关闭状态，而与处于解析状态的所述吸附塔20底部相连的所述排污阀43则处于打开状态。

本领域技术人员能够理解的是，通过这样的方式，就可以使得处于吸附工作状态的所述吸附塔20能够被用以过滤污氩废气的同时，经由处于吸附工作状态过滤而形成的一部分所述富氩气体同时能够经由所述再生通道21而以自上而下的方式流向其他处于解析状态的所述吸附塔20。这样一来，处于吸附工作状态的所述吸附塔20能够用以过滤深冷污氩废气，而处于解析状态的所述吸附塔20在被自上而下流经的所述富氩气体再生时，对应处于所述解析状态的所述吸附塔20中的所述吸附剂吸附的废气能够解析，并自上而下地从处于解析状态的所述吸附塔20底部经由所述排污通道30而排出。

如此一来，通过定时地切换处于解析状态和吸附状态的所述吸附塔20，变可以实现深冷污氩废气的过滤。

与此同时，还有一部分的富氩气体能够经由处于吸附工作状态的所述吸附塔20的顶部的所述富氩出气口202而经由所述出富氩气通道50而排出。排出的所述出富氩气通道50的所述富氩气体可以直接被用户使用，也可以被收集罐收集而存储。

具体地，比如如图2所示，当其中所述吸附塔20A对应的所述进气阀41被打开时，所述吸附塔20A将处于吸附工作状态。由于所述吸附塔20B对应的所述进气阀41被关闭，因此，所述吸附塔20B将处于解析状态。

优选地，所述可减少深冷污氩排放量的污氩分离系统还包括一减流氩罐70，其中所述减流氩罐70中存储富氩气体，其中所述减流氩罐70被设置与所述出富氩气通道50的另一端连通，以在一开始通过所述进气构件10向所述吸附塔20通入深冷污氩废气时，通过所述减流氩罐70中存储富氩气体对处于吸附工作状态的所述吸附塔20自上而下地对冲自下而上地从所述吸附塔20的所述进气口101进入的污氩废气。

如此一来，进入的所述深冷污氩废气能够缓慢地流经处于吸附工作状态的所述吸附塔20的吸附填料层，从而能够使得污氩废气能够有充分地与处于吸附工作状态的所述吸附塔20的吸附填料层接触，进而提高深冷污氩废气的过滤效果，从而提高过滤后的富氩气体中氩气的纯度。

同样作为优选地，所述进气构件10还包括至少一稳压罐12，其中所述稳压罐12被设置在所述进气管路11上，且位于所述进气口101和所述吸附塔20的底部之间，用以稳缓冲从所述进气管路11进入的深冷污氩废气。

更优选地，所述进气构件10还包括一惰性气体进气管路13，其中所述惰性气体进气管路13的一端被连通于所述进气管路11，其中所述惰性气体进气管路13的另一端被连同于一惰性气体存储罐，用以在通过所述进气管路11排入深冷污氩废气之前，先通过向所述进气管路11、所述吸附塔20中通入惰性气体，从而排尽所述进气管路11和所述吸附塔20中的空气，进而避免含有氢气等废气的深冷污氩废气进入所述进气管路11和所述吸附塔20后，因其内部氧气过多而与含有氢气等废气的深冷污氩废气混合后发生爆炸。

本领域技术人员能够理解的是，所述惰性气体存储罐中存储的气体为氮气等惰性气体。

更进一步地，所述可减少深冷污氩排放量的污氩分离系统还包括至少一氩气回流构件80。具体地，所述氩气回流构件80包括至少一均压罐81和与所述吸附塔20数量至少一致的第一均压通道82。所述阀组40包括一第一均压阀44，其中所述第一均压阀44被设置在每条所述第一均压通道82上。每条所述第一均压通道82的一端被连通于所述均压罐81，而另一端被连通于一个所述吸附塔20。在如图1所示的示例中，每条所述第一均压通道82的另一端被连通于一个所述吸附塔20顶部。在另一个实施例中，每条所述第一均压通道82的另一端被连通于一个所述吸附塔20底部，如图2所示。

与此同时，所述氩气回流构件80还包括一第二均压通道83，用以连通处于所述吸附工作状态的所述吸附塔20和处于所述解析状态的所述吸附塔20。所述阀组40还包括至少一第二均压阀45，其中所述第二均压阀45被设置于所述第二均压通道83。所述第二均压通道83被用以连通所述吸附塔20的中上部。

处于吸附工作状态的所述吸附塔20完成吸附后，处于解析状态的所述吸附塔20同时完成解析。相应地，所述进气阀41、所述排污阀43以及所述解析控制阀42都被关闭。

相应地，所述第一均压阀44和所述第二均压阀45被控制打开，从而使得刚完成吸附工作状态的所述吸附塔20中的富氩气体能够通过被均送至所述均压罐81和刚完成解析的另一个所述吸附塔20。

本领域技术人员能够理解的是，通过这样的方式，就能够使得滞留在刚完成吸附工作状态的所述吸附塔20中的气体的量减少，从而使得刚完成吸附工作的所述吸附塔20后续再切换至处于解析状态时，排出的废气的量减少，进而减少排出的废气中的氩气含量。这样一来，就可以提高氩气回收率。

更优选地，所述氩气回流构件80还包括与所述吸附塔20数量至少相同数量的第三均压通道84，相应地，所述阀组40包括一第三均压阀46。所述第三均压阀46被设置于每条所述第三均压通道84。所述第三均压通道84的一端被连通于处于吸附工作状态下的所述吸附塔20中上部，而另一端被连通于处于解析状态下的所述吸附塔20的底部。

值得一提的是，处于吸附工作状态的所述吸附塔20完成吸附后，处于解析状态的所述吸附塔20同时完成解析。相应地，所述进气阀41、所述排污阀43以及所述解析控制阀42都被关闭。

与刚完成吸附工作的所述吸附塔20连通的所述第三均压通道84上的所述第三均压阀46被打开，从而使得刚完成吸附工作的所述吸附塔20中的中上部品质相对较高的富氩气体能够自下而上地流向刚完成解析的所述吸附塔20。这样一来，流入刚完成解析的所述吸附塔20中的所述吸附填料层不仅能够进一步过滤较为富氩气体中的废气而得到富氩气体，还可以使刚完成吸附工作的所述吸附塔20底部更多的气体被转送至刚完成解析的所述吸附塔20中。如此一来，就能够使刚完成吸附工作的所述吸附塔20后续再切换至处于解析状态时，排出的废气的量减少，进而减少排出的废气中的氩气含量，从而就提高了深冷污氩的回收率，与此同时，还保证了最终得到的富氩气体的纯度。

优选地，所述氩气回流构件80还包括多条连通处于吸附工作状态的所述吸附塔20和同时处于解析状态的所述吸附塔的所述第三均压通道84。

如图2所示的一个优选实施例中，每条所述第三均压通道84被设置为所述第一均压通道82的之路，而所述第一均压阀44和所述第三均压阀46被设置为同一个阀，且被设置在之路上。如此一来，不仅能够实现污氩的多次回流，还能够减小管路设计的复杂度。

优选地，所述惰性气体进气管路设置至少一吹气控制阀47。

作为优选地，在本发明的第二个实施例中，所述可减少深冷污氩排放量的污氩分离系统还包括一返流构件90，其中所述返流构件90包括一返流通道91、一存污罐92和以及一负压泵93。

所述返流通道91一端连通于每个所述吸附塔20的底部，而另一端被连通于所述存污罐92。所述存污罐92被连通于所述排污通道30。所述负压泵93被设置能够引导所述排污通道30中的废氩流入所述存污罐92，并且能够在后续引导所述存污罐92中废氩通过所述返流通道91从所述吸附塔20的底部进入所述吸附塔20。进入的所述废氩经过所述吸附塔20吸附后，再次被提纯。如此一来，就能够有效地减少最终排出的废气中的氩气的含量，进而有效地提高氩气的回收率。值得一提的是，所述返流通道91上设置一控制阀48。同样值得一提的是，在处于吸附状态的所述吸附塔20完成吸附，并完成均压后，所述负压泵93和所述控制阀48被打开，从而能够使得所述存污罐92中废氩能够通过所述返流通道91从所述吸附塔20的底部进入所述吸附塔20。

如图2所示，作为优选地，所述返流通道91的一端通过连通于所述第一均压通道82的主路，这样一来，就能够借由所述第一均压通道82的之路，也即所述第三均压通道84而连通于所述吸附塔20。同样地，这样一来，不仅能够实现污氩的多次回流，还能够减小管路设计的复杂度。

本领域的技术人员应理解，上述描述及附图中所示的本发明的实施例只作为举例而并不限制本发明。本发明的优势已经完整并有效地实现。本发明的功能及结构原理已在实施例中展示和说明，在没有背离所述原理下，本发明的实施方式可以有任何变形或修改。

Claims (8)

1.可减少深冷污氩排放量的污氩分离系统，其特征在于，所述可减少深冷污氩排放量的污氩分离系统包括：

阀组，所述阀组包括一进气阀、一解析控制阀以及至少两排污阀；

至少两吸附塔，每个所述吸附塔的顶部具有一富氩出气口，并且每个所述吸附塔顶部的所述富氩出气口被相互连通，以形成一再生通道，每个所述吸附塔顶部的所述富氩出气口还被连通于一出富氩气通道，其中所述解析控制阀被设置于所述再生通道，用以控制所述再生通道的通断，每个所述吸附塔的底部还具有至少一排污口；

与所述吸附塔至少数量相同的排污通道，每个所述排污通道的一端被连通于每个所述吸附塔的底部的所述排污口，而另一端形成一排出口，用以排出每个所述吸附塔底部的废气，其中每个所述排污通道设置至少一个所述排污阀；

进气构件，所述进气构件具有一进气口，并且所述进气构件包括与所述吸附塔数量一致的至少两个进气管路，其中每个所述进气管路上设置一所述进气阀，并且每个所述进气管路的两端分别连通于所述进气口和所述吸附塔的底部，以在所述进气阀被打开时，从所述进气口进入的污氩废气，能够经由所述进气管路进入对应的所述吸附塔中一进气口中，并随后被过滤，当与其中至少一个所述吸附塔连通的至少一个所述进气阀被打开时，与未打开的所述进气阀相连的其他所述吸附塔将处于解析状态，而对应的与对应打开的所述进气阀相连的所述吸附塔将处于吸附工作状态，而与处于吸附工作状态的所述吸附塔底部相连的所述排污阀则处于关闭状态，而与处于解析状态的所述吸附塔底部相连的所述排污阀则处于打开状态；

至少一氩气回流构件，所述氩气回流构件包括至少一均压罐和与所述吸附塔数量至少一致的第一均压通道，所述阀组包括一第一均压阀，其中所述第一均压阀被设置在每条所述第一均压通道上，每条所述第一均压通道的一端被连通于所述均压罐，而另一端被连通于一个所述吸附塔的顶部；

返流构件，其中所述返流构件包括一返流通道、一存污罐和以及一负压泵，所述返流通道一端连通于每个所述吸附塔的底部，而另一端被连通于所述存污罐，所述存污罐被连通于所述排污通道，所述负压泵被设置能够引导所述排污通道中的废氩流入所述存污罐，并且能够在后续引导所述存污罐中废氩通过所述返流通道从所述吸附塔的底部进入所述吸附塔，所述氩气回流构件还包括一第二均压通道，所述阀组，还包括至少一第二均压阀，其中所述第二均压阀被设置于所述第二均压通道，并介于处于所述吸附工作状态的所述吸附塔和处于所述解析状态的所述吸附塔之间的所述第二均压通道，所述第二均压通道，被用以连通所述吸附塔的中上部；

所述可减少深冷污氩排放量的污氩分离系统还包括一减流氩罐，其中所述减流氩罐中存储富氩气体，其中所述减流氩罐被设置与所述出富氩气通道的另一端连通。

2.根据权利要求1所述可减少深冷污氩排放量的污氩分离系统，其特征在于，所述氩气回流构件还包括与所述吸附塔数量至少相同数量的第三均压通道，所述阀组包括一第三均压阀，所述第三均压阀被设置于每条所述第三均压通道，所述第三均压通道的一端被连通于处于吸附工作状态下的所述吸附塔中上部，而另一端被连通于处于解析状态下的所述吸附塔的底部。

3.根据权利要求1或2所述可减少深冷污氩排放量的污氩分离系统，其特征在于，所述进气构件还包括至少一稳压罐，其中所述稳压罐被设置在所述进气管路上，用以稳定从所述进气管路进入的深冷污氩废气。

4.根据权利要求1或2所述可减少深冷污氩排放量的污氩分离系统，其特征在于，所述进气构件还包括一惰性气体进气管路，其中所述惰性气体进气管路的一端被连通于所述进气管路，其中所述惰性气体进气管路的另一端被连同于一惰性气体存储罐。

5.根据权利要求2所述可减少深冷污氩排放量的污氩分离系统，其特征在于，所述氩气回流构件包括多条连通处于吸附工作状态的所述吸附塔和同时处于解析状态的所述吸附塔的所述第三均压通道。

6.根据权利要求4所述可减少深冷污氩排放量的污氩分离系统，其特征在于，所述惰性气体存储罐中存储的气体为氮气。

7.根据权利要求2所述可减少深冷污氩排放量的污氩分离系统，其特征在于，每条所述第三均压通道被设置为所述第一均压通道的支路，而所述第一均压阀和所述第三均压阀被设置为同一个阀，且被设置在支路上。

8.通过权利要求1至7中任一所述可减少深冷污氩排放量的污氩分离系统执行的可减少深冷污氩排放量的污氩分离方法。