CN116870649A - 一种单晶硅生产废气处理系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供的一种单晶硅生产废气处理系统，属于废气处理技术领域，包括干式除尘器和湿式除尘器，干式除尘器开设有出气腔和进气腔，进气腔开设有多个与出气腔相连通的进气口，出气腔开设有出气口，干式除尘器还设有多个除尘机构，除尘机构上设有过滤袋，湿式除尘器设于干式除尘器一侧，湿式除尘器开设有上下依次设置的除尘腔和排水腔，除尘腔开设有第一排气口，湿式除尘器还包括进气管、多个除尘管、储水箱及多个搅拌组件。本发明提供的单晶硅生产废气处理系统，借助干式除尘器对废气进行一次除尘，之后利用湿式除尘器对废气进行二次除尘，并利用搅拌组件对被气泡包裹的废气进行搅拌，不断地打碎气泡，使废气中的灰尘溶于水中，提高除尘效果。

Description

一种单晶硅生产废气处理系统

技术领域

本发明属于废气处理技术领域，具体涉及一种单晶硅生产废气处理系统。

背景技术

目前单晶硅通过直拉法生产。最常用的直拉法生产单晶硅工艺是采用减压拉晶工艺；减压工艺是在硅单晶拉制过程中，连续均匀地向单晶炉炉膛内通入高纯度氩气，同时真空泵不断地从炉膛向外抽送氩气，保持炉膛内真空度稳定。氩气携带单晶拉制过程中由于高温而产生的硅氧化物和杂质挥发物，并通过真空泵的抽送排放到大气；现有技术在对生产单晶硅所产生的废气进行工艺处理时，最先是进行除尘处理，然后再进行其他处理，而目前在除尘处理中，直接通过粉尘过滤器对废气进行除尘，对废气的除尘效果较低，导致后续排放时，仍存在一些灰尘，对环境造成污染。

发明内容

本发明实施例提供一种单晶硅生产废气处理系统，以解决现有技术中存在的废气除尘效果较低的技术问题。

为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：提供一种单晶硅生产废气处理系统，包括：

干式除尘器，开设有上下依次设置的出气腔和进气腔，所述进气腔开设有多个与所述出气腔相连通的进气口，所述出气腔开设有出气口；所述干式除尘器还设有多个除尘机构，所述除尘机构与所述进气口相连通，所述除尘机构上设有过滤袋，所述过滤袋用于阻隔灰尘自所述除尘机构进入所述出气腔中；

湿式除尘器，设于所述干式除尘器一侧；所述湿式除尘器开设有上下依次设置的除尘腔和排水腔；所述除尘腔开设有第一排气口；所述湿式除尘器还包括进气管、多个除尘管、储水箱及多个搅拌组件；所述进气管一端与所述出气口连通，另一端伸入所述除尘腔内；所述储水箱设于所述排水腔内，多个所述除尘管上端与所述进气管连通，下端伸入所述储水箱内，且下端开设有排气孔；多个所述搅拌组件分别设于相邻的两个所述除尘管之间，所述储水箱开设有多个与所述除尘腔相连通的第二排气口。

在一种可能的实现方式中，所述搅拌组件包括驱动器、转动轴和多个设于所述转动轴上的搅拌叶；所述驱动器安装于所述排水腔内；所述转动轴呈竖向与所述驱动器传动连接，且所述转动轴伸入至所述储水箱内；所述搅拌叶的横截面为V型面，所述V型面开口方向与所述转动轴的转动方向相反。

在一种可能的实现方式中，所述搅拌组件还设有位于所述搅拌叶下方的支撑板、三个并排啮合布置的齿轮及两个搅拌轴；所述支撑板的两端分别与相邻的两个所述除尘管固定连接；三个所述齿轮设于所述支撑板上，且分别与所述支撑板转动连接，位于两侧的两个所述齿轮分别与相邻的两个所述除尘管相对应，所述转动轴与位于中间的所述齿轮固定连接；两个所述搅拌轴呈竖向分别固设于位于所述转动轴两侧的所述齿轮上，两个所述搅拌轴上设有多个所述搅拌叶。

在一种可能的实现方式中，所述除尘机构还设有骨架及振动组件；所述骨架设于所述进气口上方，所述过滤袋套设于所述骨架上，且所述过滤袋的袋口与所述进气口相连通；所述振动组件设于所述骨架内侧，用于振动所述骨架并清除灰尘。

在一种可能的实现方式中，所述骨架包括多个呈竖向串连布置的支撑件；所述支撑件包括自上而下依次设置的第一限位杆、第二限位杆和第三限位杆及两个对称设于所述第一限位杆和所述第二限位杆之间的第一伸缩杆和两个对称设于所述第二限位杆和所述第三限位杆之间的第二伸缩杆，所述第一伸缩杆上端与所述第一限位杆滑动连接，下端与所述第二限位杆转动连接；所述第二伸缩杆上端与所述第二限位杆滑动连接，下端与所述第三限位杆转动连接；所述第一限位杆、所述第二限位杆、所述第三限位杆的长度方向均开设有滑槽和设于所述滑槽内的弹簧，所述第一伸缩杆和所述第二伸缩杆在对应的所述滑槽内滑动，所述弹簧一端与对应的所述第一伸缩杆和所述第二伸缩杆连接，另一端与所述滑槽内壁连接；所述振动组件数量为多个，且与所述支撑件一一对应。

在一种可能的实现方式中，所述振动组件包括滑杆、两个固定块及分别对称设于对应的所述固定块上的两个第一连接杆及两个第二连接杆；所述滑杆呈竖向贯穿所述第一限位杆、所述第二限位杆与所述第三限位杆，且与所述第一限位杆、所述第二限位杆与所述第三限位杆滑动连接；两个所述固定块固设于所述滑杆上，且分别位于所述第二限位杆两侧；两个所述第一连接杆一端与对应的所述固定块铰接，一端与对应的所述第一限位杆铰接；两个所述第二连接杆一端对应的所述固定块铰接，一端与对应的所述第二限位杆铰接。

在一种可能的实现方式中，所述干式除尘器还设有位于所述出气腔上方的水道；所述储水箱底部为锥形，且开设有出水口，所述出水口处设有阀门，用于控制所述出水口的开关；所述单晶硅生产废气处理系统还设有进水管、出水管及多个水泵；所述进水管一端与所述水道靠近所述湿式除尘器的一端连通，另一端与所述储水箱连通；所述出水管一端与所述水道远离所述湿式除尘器的一端连通，另一端与所述排水腔连通；多个所述水泵分别设于所述进水管和所述出水管上，用于驱动水循环。

在一种可能的实现方式中，多个所述滑杆一体成型；所述除尘机构还设有动力组件，用于驱动所述振动组件振动，所述动力组件设于所述水道内；所述动力组件包括扇叶、固定杆、转动杆及凸轮；所述固定杆固设于所述水道内，所述转动杆横向设于所述固定杆上，且与所述固定杆转动连接，所述扇叶与所述转动杆一端固定连接，所述凸轮与所述转动杆另一端固定连接，所述凸轮的突出部位于所述滑杆上方，且与所述滑杆相接触。

在一种可能的实现方式中，所述单晶硅生产废气处理系统还包括过滤器，所述过滤器设于所述排水腔内，且与所述出水口连通，用于过滤污水。

在一种可能的实现方式中，所述过滤器包括通水管、过滤筒及电机；所述通水管上端与所述出水口相连通，下端与所述过滤筒相连通，且下端与所述过滤筒转动连接；所述电机设于所述排水腔底部，且自由端与所述过滤筒传动连接，用于驱动所述过滤筒旋转。

本发明提供的一种单晶硅生产废气处理系统的有益效果在于：与现有技术相比，本发明的单晶硅生产废气处理系统，使用时，先将生产单晶硅所产生的废气通入干式除尘器的进气腔内，废气通过进气口进入到除尘机构中，并通入除尘机构中的过滤袋内，使过滤袋阻碍灰尘自除尘机构进入到出气腔内，经过过滤袋过滤的废气进入到出气腔后，从出气口流出并借助进气管进入到湿式除尘器内，之后废气进入到与进气管相连通的除尘管内，由于除尘管下端开设有排气孔，且下端伸入储水箱内，因此经过过滤袋过滤的废气通过排气孔进入到储水箱内，形成一个个气泡，此时启动搅拌组件，将气泡打碎成更小的气泡，同时搅拌组件在水中不断旋转的同时，气泡会不断地被打碎，在打碎气泡的过程中废气中的灰尘会溶于水中，从而对废气进行过滤，大大地提高了废气的除尘效果；通过这种方式，借助干式除尘器对废气进行第一次除尘，之后利用湿式除尘器对废气进行第二次除尘，同时借助搅拌组件对被气泡包裹的废气进行搅拌，不断地打碎气泡，使废气中的灰尘溶于水中，提高除尘效果。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例所提供的单晶硅生产废气处理系统的结构示意图；

图2为本发明实施例所提供的干式除尘器的结构示意图；

图3为本发明实施例所提供的湿式除尘器的结构示意图；

图4为图3中A处的放大图；

图5为本发明实施例所提供的支撑件的结构示意图；

图6为图5中B处的放大图；

图7为本发明实施例所提供的动力组件的主视图；

图8为本发明实施例所提供的动力组件的侧视图；

图9为本发明实施例所提供的搅拌组件的结构示意图；

图10为图9中C-C处的剖视图；

图11为本发明实施例所提供的过滤器的结构示意图。

其中，图中各附图标记：

1、干式除尘器；11、出气腔；12、进气腔；13、进气口；14、出气口；15、水道；2、除尘机构；21、骨架；22、过滤袋；23、振动组件；231、滑杆；232、固定块；233、第一连接杆；234、第二连接杆；24、支撑件；241、第一限位杆；242、第二限位杆；243、第三限位杆；244、第一伸缩杆；245、第二伸缩杆；25、动力组件；251、扇叶；252、固定杆；253、转动杆；254、凸轮；3、湿式除尘器；31、除尘腔；311、第一排气口；32、排水腔；33、进气管；34、除尘管；341、排气孔；35、储水箱；351、第二排气口；36、搅拌组件；361、驱动器；362、转动轴；363、搅拌叶；364、支撑板；365、齿轮；366、搅拌轴；4、进水管；5、出水管；6、水泵；7、气泵；8、过滤器；81、通水管；82、过滤筒；83、电机；84、保护架。

具体实施方式

为了使本发明所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

请参阅图1至图11，现对本发明提供的单晶硅生产废气处理系统进行说明。一种单晶硅生产废气处理系统，包括干式除尘器1和湿式除尘器3，干式除尘器1开设有上下依次设置的出气腔11和进气腔12，进气腔12开设有多个与出气腔11相连通的进气口13，出气腔11开设有出气口14，干式除尘器1还设有多个除尘机构2，除尘机构2与进气口13相连通，除尘机构2上设有过滤袋22，过滤袋22用于阻隔灰尘自除尘机构2进入出气腔11中，湿式除尘器3设于干式除尘器1一侧，湿式除尘器3开设有上下依次设置的除尘腔31和排水腔32，除尘腔31开设有第一排气口311，湿式除尘器3还包括进气管33、多个除尘管34、储水箱35及多个搅拌组件36，进气管33一端与出气口14连通，另一端伸入除尘腔31内，储水箱35设于排水腔32内，多个除尘管34上端与进气管33连通，下端伸入储水箱35内，且下端开设有排气孔341，多个搅拌组件36分别设于相邻的两个除尘管34之间，储水箱35开设有多个与除尘腔31相连通的第二排气口351。

本实施例提供的单晶硅生产废气处理系统，与现有技术相比，本发明的单晶硅生产废气处理系统，使用时，先将生产单晶硅所产生的废气通入干式除尘器1的进气腔12内，废气通过进气口13进入到除尘机构2中，并通入除尘机构2中的过滤袋22内，使过滤袋22阻碍灰尘自除尘机构2进入到出气腔11内，经过过滤袋22过滤的废气进入到出气腔11后，从出气口14流出并借助进气管33进入到湿式除尘器3内，之后废气进入到与进气管33相连通的除尘管34内，由于除尘管34下端开设有排气孔341，且下端伸入储水箱35内，因此经过过滤袋22过滤的废气通过排气孔341进入到储水箱35内，形成一个个气泡，此时启动搅拌组件36，将气泡打碎成更小的气泡，同时搅拌组件36在水中不断旋转的同时，气泡会不断地被打碎，在打碎气泡的过程中废气中的灰尘会溶于水中，从而对废气进行过滤，大大地提高了废气的除尘效果；通过这种方式，借助干式除尘器1对废气进行第一次除尘，之后利用湿式除尘器3对废气进行第二次除尘，同时借助搅拌组件36对被气泡包裹的废气进行搅拌，不断地打碎气泡，使废气中的灰尘溶于水中，提高除尘效果。

进气管33上还设有气泵7，用于将干式除尘器1内的废气泵7入湿式除尘器3内。

请参阅图3、图4、图9和图10，作为本发明提供的单晶硅生产废气处理系统的一种具体实施方式，搅拌组件36包括驱动器361、转动轴362和多个设于转动轴362上的搅拌叶363，驱动器361安装于排水腔32内，转动轴362呈竖向与驱动器361传动连接，且转动轴362伸入至储水箱35内，搅拌叶363的横截面为V型面，V型面开口方向与转动轴362的转动方向相反；启动搅拌组件36后，驱动器361驱动转动轴362转动，并带动搅拌叶363转动，同时带动储水箱35内的水转动，在搅拌叶363转动的同时，废气在储水箱35内形成的气泡会被打碎；由于搅拌叶363的横截面为V型面，且V型面的开口方向与转动轴362的转动方向相反，使得搅拌叶363在转动时，受到的阻力更小，转动更快，可以打碎更多的气泡，提高除尘效果；驱动器361可为电机，电机的自由端与转动轴362传动连接。

请参阅图3、图4和图9，作为本发明提供的单晶硅生产废气处理系统的一种具体实施方式，搅拌组件36还设有位于搅拌叶363下方的支撑板364、三个并排啮合布置的齿轮365及两个搅拌轴366，支撑板364的两端分别与相邻的两个除尘管34固定连接，三个齿轮365设于支撑板364上，且分别与支撑板364转动连接，位于两侧的两个齿轮365分别与相邻的两个除尘管34相对应，转动轴362与位于中间的齿轮365固定连接，两个搅拌轴366呈竖向分别固设于位于转动轴362两侧的齿轮365上，两个搅拌轴366上设有多个搅拌叶363；由于转动轴362下端与齿轮365固定连接，且齿轮365与支撑板364转动连接，因此在转动轴362带动搅拌叶363转动时，位于中间的齿轮365同样转动，由于三个齿轮365并排布置且啮合连接，因此，位于中间的齿轮365带动两侧的齿轮365转动，进而带动与两侧齿轮365固定连接的搅拌轴366和设于搅拌轴366上的搅拌叶363转动；当废气从排气孔341处与水接触形成气泡时，由于位于两侧的两个齿轮365分别与相邻的两个除尘管34相对应，因此气泡会被位于搅拌轴366上的搅拌叶363打碎，并形成小气泡，使气泡中一部分灰尘溶于水中；由于搅拌轴366是竖向设置的，且借助齿轮365的啮合进行转动，因此转动轴362的旋转方向与搅拌轴366的旋转方向是相反的，因此转动轴362旋转和搅拌轴366旋转形成的漩涡的旋向相反，这就会使水的流动方向更为混乱，同时气泡也会被混乱的水流冲破，从而提高除尘效果；当气泡上升至设于转动轴362上的搅拌叶363处时，再次被打碎，从而使一部分灰尘溶于水中，当气泡上升至水面时，由于转动轴362带动搅拌叶363转动，使水面形成漩涡，气泡会再次被打碎，并且废气会上升至储水箱35上方，通过第二排气孔341进入到除尘腔31内，之后从第一排气孔341排出，而气泡破碎之后灰尘则是溶于水中；通过多次对气泡进行打碎，使一部分灰尘提前溶于水中，进而提高除尘效果。

请参阅图2、图5和图6，作为本发明提供的单晶硅生产废气处理系统的一种具体实施方式，除尘机构2还设有骨架21及振动组件23，骨架21设于进气口13上方，过滤袋22套设于骨架21上，且过滤袋22的袋口与进气口13相连通，振动组件23设于骨架21内侧，用于振动骨架21并清除灰尘；当废气从进气腔12的进气口13进入到过滤袋22内时，借助过滤袋22将废气与灰尘隔离，使废气进入到出气腔11内，而灰尘则遗留在过滤袋22内；在需要清除过滤袋22内的灰尘时，停止向干式除尘器1中通入废气，启动振动组件23，振动组件23带动骨架21振动，同时带动过滤袋22振动，从而将骨架21上和过滤袋22内侧的灰尘振动下来，使其下落到进气腔12内，保证过滤袋22的清洁，防止过滤袋22被堵塞，从而降低除尘效率。

请参阅图2、图5和图6，作为本发明提供的单晶硅生产废气处理系统的一种具体实施方式，骨架21包括多个呈竖向串连布置的支撑件24，支撑件24包括自上而下依次设置的第一限位杆241、第二限位杆242和第三限位杆243及两个对称设于第一限位杆241和第二限位杆242之间的第一伸缩杆244和两个对称设于第二限位杆242和第三限位杆243之间的第二伸缩杆245，第一伸缩杆244上端与第一限位杆241滑动连接，下端与第二限位杆242转动连接，第二伸缩杆245上端与第二限位杆242滑动连接，下端与第三限位杆243转动连接，第一限位杆241、第二限位杆242、第三限位杆243的长度方向均开设有滑槽和设于滑槽内的弹簧，第一伸缩杆244和第二伸缩杆245在对应的滑槽内滑动，弹簧一端与对应的第一伸缩杆244和第二伸缩杆245连接，另一端与滑槽内壁连接，振动组件23数量为多个，且与支撑件24一一对应；借助第一限位杆241、第二限位杆242、第三限位杆243、两个第一伸缩杆244和两个第二伸缩杆245形成一个支撑件24，多个支撑件24呈竖向串联成骨架21，使得过滤袋22能够套设在骨架21上；第一伸缩杆244上端与第一限位杆241滑动连接，下端与第二限位杆242转动连接，第二伸缩杆245上端与第二限位杆242滑动连接，下端与第三限位杆243转动连接，使得振动组件23能够带动骨架21和过滤袋22振动；在第一限位杆241、第二限位杆242、第三限位杆243的长度方向均开设有滑槽，使第一伸缩杆244和第二伸缩杆245在对应的滑槽内滑动更为稳定，在滑槽内设置弹簧，使弹簧一端与对应的第一伸缩杆244和第二伸缩杆245连接，另一端与滑槽内壁连接，借助弹簧的弹力，使得振动效果更好。

滑槽内还设有导向杆，弹簧套设于导向杆上，导向杆沿滑槽的长度方向设置，且两端分别与滑槽内壁固定连接，第一伸缩杆244和第二伸缩杆245上端均开设有滑孔，导向杆贯穿对应的滑孔，且与对应的滑孔滑动连接；在第一伸缩杆244和第二伸缩杆245在滑槽内滑动并挤压弹簧时，为了防止弹簧、第一伸缩杆244及第二伸缩杆245在移动过程中偏移出滑槽，导致振动效果不好，因此设置导向杆，防止发生偏移。

请参阅图2、图4和图6，作为本发明提供的单晶硅生产废气处理系统的一种具体实施方式，振动组件23包括滑杆231、两个固定块232及分别对称设于对应的固定块232上的两个第一连接杆233及两个第二连接杆234，滑杆231呈竖向贯穿第一限位杆241、第二限位杆242与第三限位杆243，且与第一限位杆241、第二限位杆242与第三限位杆243滑动连接，两个固定块232固设于滑杆231上，且分别位于第二限位杆242两侧，两个第一连接杆233一端与对应的固定块232铰接，一端与对应的第一限位杆241铰接，两个第二连接杆234一端对应的固定块232铰接，一端与对应的第二限位杆242铰接，多个滑杆231一体成型；启动振动组件23后，滑杆231开始上下滑动，同时带动固定块232上下移动，由于固定块232分别与对应的第一连接杆233和第二连接杆234铰接，且第一连接杆233和第二连接杆234与对应的第一伸缩杆244和第二伸缩杆245铰接，通过这种方式，固定块232上下移动的同时，带动第一连接杆233和第二连接杆234上下移动，且拉动和推动对应的第一伸缩杆244和第二伸缩杆245，使两者在滑槽内往复滑动，以此来带动骨架21和过滤袋22振动。

请参阅图1至图3，作为本发明提供的单晶硅生产废气处理系统的一种具体实施方式，干式除尘器1还设有位于出气腔11上方的水道15，储水箱35底部为锥形，且开设有出水口，出水口处设有阀门，用于控制出水口的开关，单晶硅生产废气处理系统还设有进水管4、出水管5及多个水泵6，进水管4一端与水道15靠近湿式除尘器3的一端连通，另一端与储水箱35连通，出水管5一端与水道15远离湿式除尘器3的一端连通，另一端与排水腔32连通，出水管5内设有多个过滤网，多个水泵6分别设于进水管4与出水管5上，用于驱动水循环；打开阀门之后，沾染灰尘的污水进入到排水腔32内，并通过出水管5和设于出水管5上的水泵6进入到水道15内，同时经过设于出水管5内的过滤网，将灰尘与水隔离，达到清洁污水的效果，之后流经水道15进入到进水管4之内，最后由设置在进水管4上的水泵6将清洁之后的水泵入到储水箱35内，以此来完成水循环，往复多次利用水循环清除废气中的灰尘，避免造成水浪费。

请参阅图2、图7和图8，作为本发明提供的单晶硅生产废气处理系统的一种具体实施方式，多个滑杆231一体成型，除尘机构2还设有动力组件25，用于驱动振动组件23振动，动力组件25设于水道15内，动力组件25包括扇叶251、固定杆252、转动杆253及凸轮254，固定杆252固设于水道15内，转动杆253横向设于固定杆252上，且与固定杆252转动连接，扇叶251与转动杆253一端固定连接，凸轮254与转动杆253另一端固定连接，凸轮254的突出部位于滑杆231上方，且与滑杆231相接触；在清洁过滤袋22中的灰尘时，停止向干式除尘器1中通入废气，由于扇叶251与转动杆253固定连接，凸轮254与转动杆253固定连接，且固定杆252与转动杆253转动连接，因此当清洁之后的水在水道15内流动时，会带动扇叶251转动，凸轮254跟随扇叶251转动，同时凸轮254的突出部位于滑杆231上方，且与滑杆231相接触，且多个滑杆231一体成型，因此凸轮254的突出部在转动时挤压滑杆231向下移动，当突出部转动到滑杆231另一侧时，借助滑槽内被挤压的弹簧的弹力，滑杆231复位，以此来完成滑杆231的上下移动；通过这种方式，利用水循环带动凸轮254旋转，完成滑杆231的往复上下移动，同时带动第一伸缩杆244和第二伸缩杆245振动，以清除骨架21上和过滤袋22内的灰尘。

请参阅图3和图11，作为本发明提供的单晶硅生产废气处理系统的一种具体实施方式，单晶硅生产废气处理系统还包括过滤器8，过滤器8设于排水腔32内，且与出水口连通，用于过滤污水；打开阀门之后，借助过滤器8将污水进行清洁，再借助进水管4内的过滤网，多次清洁污水，最后利用水循环将清洁之后的水泵入到储水箱35内，多次循环使用。

请参阅图3和图11，作为本发明提供的单晶硅生产废气处理系统的一种具体实施方式，过滤器8包括通水管81、过滤筒82及电机83，通水管81上端与出水口相连通，下端与过滤筒82相连通，且下端与过滤筒82转动连接，电机83设于排水腔32底部，且自由端与过滤筒82传动连接，用于驱动过滤筒82旋转；打开阀门之后，污水通过通水管81进入到过滤筒82内，此时启动电机83，由于通水管81与过滤筒82转动连接，因此电机83带动过滤筒82转动，快速地将污水中的水与灰尘分离，并将分离的水甩进排水腔32内；通过这种方式，过滤筒82通过电机83不断地进行旋转，使得污水中的灰尘更快地与水分离；过滤器8还设有位于排水腔32底部的保护架84，电机83设于保护架84内，且自由端伸出保护架84，用于保护电机83。

以上仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种单晶硅生产废气处理系统，其特征在于，包括：

干式除尘器，开设有上下依次设置的出气腔和进气腔，所述进气腔开设有多个与所述出气腔相连通的进气口，所述出气腔开设有出气口；所述干式除尘器还设有多个除尘机构，所述除尘机构与所述进气口相连通，所述除尘机构上设有过滤袋，所述过滤袋用于阻隔灰尘自所述除尘机构进入所述出气腔中；

湿式除尘器，设于所述干式除尘器一侧；所述湿式除尘器开设有上下依次设置的除尘腔和排水腔；所述除尘腔开设有第一排气口；所述湿式除尘器还包括进气管、多个除尘管、储水箱及多个搅拌组件；所述进气管一端与所述出气口连通，另一端伸入所述除尘腔内；所述储水箱设于所述排水腔内，多个所述除尘管上端与所述进气管连通，下端伸入所述储水箱内，且下端开设有排气孔；多个所述搅拌组件分别设于相邻的两个所述除尘管之间，所述储水箱开设有多个与所述除尘腔相连通的第二排气口。

2.如权利要求1所述的一种单晶硅生产废气处理系统，其特征在于，所述搅拌组件包括驱动器、转动轴和多个设于所述转动轴上的搅拌叶；所述驱动器安装于所述排水腔内；所述转动轴呈竖向与所述驱动器传动连接，且所述转动轴伸入至所述储水箱内；所述搅拌叶的横截面为V型面，所述V型面开口方向与所述转动轴的转动方向相反。

3.如权利要求2所述的一种单晶硅生产废气处理系统，其特征在于，所述搅拌组件还设有位于所述搅拌叶下方的支撑板、三个并排啮合布置的齿轮及两个搅拌轴；所述支撑板的两端分别与相邻的两个所述除尘管固定连接；三个所述齿轮设于所述支撑板上，且分别与所述支撑板转动连接，位于两侧的两个所述齿轮分别与相邻的两个所述除尘管相对应，所述转动轴与位于中间的所述齿轮固定连接；两个所述搅拌轴呈竖向分别固设于位于所述转动轴两侧的所述齿轮上，两个所述搅拌轴上设有多个所述搅拌叶。

4.如权利要求1所述的一种单晶硅生产废气处理系统，其特征在于，所述除尘机构还设有骨架及振动组件；所述骨架设于所述进气口上方，所述过滤袋套设于所述骨架上，且所述过滤袋的袋口与所述进气口相连通；所述振动组件设于所述骨架内侧，用于振动所述骨架并清除灰尘。

5.如权利要求4所述的一种单晶硅生产废气处理系统，其特征在于，所述骨架包括多个呈竖向串连布置的支撑件；所述支撑件包括自上而下依次设置的第一限位杆、第二限位杆和第三限位杆及两个对称设于所述第一限位杆和所述第二限位杆之间的第一伸缩杆和两个对称设于所述第二限位杆和所述第三限位杆之间的第二伸缩杆，所述第一伸缩杆上端与所述第一限位杆滑动连接，下端与所述第二限位杆转动连接；所述第二伸缩杆上端与所述第二限位杆滑动连接，下端与所述第三限位杆转动连接；所述第一限位杆、所述第二限位杆、所述第三限位杆的长度方向均开设有滑槽和设于所述滑槽内的弹簧，所述第一伸缩杆和所述第二伸缩杆在对应的所述滑槽内滑动，所述弹簧一端与对应的所述第一伸缩杆和所述第二伸缩杆连接，另一端与所述滑槽内壁连接；所述振动组件数量为多个，且与所述支撑件一一对应。

6.如权利要求5所述的一种单晶硅生产废气处理系统，其特征在于，所述振动组件包括滑杆、两个固定块及分别对称设于对应的所述固定块上的两个第一连接杆及两个第二连接杆；所述滑杆呈竖向贯穿所述第一限位杆、所述第二限位杆与所述第三限位杆，且与所述第一限位杆、所述第二限位杆与所述第三限位杆滑动连接；两个所述固定块固设于所述滑杆上，且分别位于所述第二限位杆两侧；两个所述第一连接杆一端与对应的所述固定块铰接，一端与对应的所述第一限位杆铰接；两个所述第二连接杆一端对应的所述固定块铰接，一端与对应的所述第二限位杆铰接。

7.如权利要求6所述的一种单晶硅生产废气处理系统，其特征在于，所述干式除尘器还设有位于所述出气腔上方的水道；所述储水箱底部为锥形，且开设有出水口，所述出水口处设有阀门，用于控制所述出水口的开关；所述单晶硅生产废气处理系统还设有进水管、出水管及多个水泵；所述进水管一端与所述水道靠近所述湿式除尘器的一端连通，另一端与所述储水箱连通；所述出水管一端与所述水道远离所述湿式除尘器的一端连通，另一端与所述排水腔连通；多个所述水泵分别设于所述进水管和所述出水管上，用于驱动水循环。

8.如权利要求7所述的一种单晶硅生产废气处理系统，其特征在于，多个所述滑杆一体成型；所述除尘机构还设有动力组件，用于驱动所述振动组件振动，所述动力组件设于所述水道内；所述动力组件包括扇叶、固定杆、转动杆及凸轮；所述固定杆固设于所述水道内，所述转动杆横向设于所述固定杆上，且与所述固定杆转动连接，所述扇叶与所述转动杆一端固定连接，所述凸轮与所述转动杆另一端固定连接，所述凸轮的突出部位于所述滑杆上方，且与所述滑杆相接触。

9.如权利要求7所述的一种单晶硅生产废气处理系统，其特征在于，所述单晶硅生产废气处理系统还包括过滤器，所述过滤器设于所述排水腔内，且与所述出水口连通，用于过滤污水。

10.如权利要求9所述的一种单晶硅生产废气处理系统，其特征在于，所述过滤器包括通水管、过滤筒及电机；所述通水管上端与所述出水口相连通，下端与所述过滤筒相连通，且下端与所述过滤筒转动连接；所述电机设于所述排水腔底部，且自由端与所述过滤筒传动连接，用于驱动所述过滤筒旋转。