CN116835580B - 一种单层石墨导热膜的制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种单层石墨导热膜的制备方法，包括如下步骤：步骤1：聚酰亚胺厚膜按既定宽度分条后，一次复卷；步骤2：料卷放置于石墨工装上，并送入碳化炉内进行碳化，以得到碳化膜料卷；步骤3：碳化膜料卷取出碳化炉，冷却至室温后，观察碳化膜料卷表面碳化情况，剔除不合格品后，吊装入石墨化炉内进行石墨化，以得到石墨化膜料卷；步骤4：石墨化膜料卷取出石墨化炉，冷却至室温后，自石墨工装上取出每个石墨化膜料卷，二次复卷每个料卷过程中，进行视检，剔除不合格品；步骤5：对二次复卷的石墨化膜料卷进行压延，以得到厚度65‑70μm、90‑100μm、140‑150μm的单层石墨导热膜。
Description
技术领域
本发明涉及导热膜制备技术领域，具体地说，涉及一种单层石墨导热膜的制备方法。
背景技术
传统的散热材料是铜、银、铝之类的高导热的金属，但是随着电子元器件发热量的提高，已无法满足微电子产品的需要。目前，电子元器件的散热是通过散热片贴合于发热元器件表面，该散热片的制作方式是人工石墨通过多层堆叠达到一定厚度，涂胶，覆膜，加工过程有很多的不良导致。
发明内容
为达到上述目的，本发明公开了一种单层石墨导热膜的制备方法，包括如下步骤：
步骤1：聚酰亚胺厚膜按既定宽度分条后，一次复卷；
步骤2：料卷放置于石墨工装上，并送入碳化炉内进行碳化，以得到碳化膜料卷；
步骤3：碳化膜料卷取出碳化炉，冷却至室温后，观察碳化膜料卷表面碳化情况，剔除不合格品后，吊装入石墨化炉内进行石墨化，以得到石墨化膜料卷；
步骤4：石墨化膜料卷取出石墨化炉，冷却至室温后，自石墨工装上取出每个石墨化膜料卷，二次复卷每个料卷过程中，进行视检，剔除不合格品；
步骤5：对二次复卷的石墨化膜料卷进行压延，以得到厚度65-70μm、90-100μm、140-150μm的单层石墨导热膜。
优选的，所述步骤2中：控制特定时间段的升温速率，促使排焦顺畅无残留，保证碳化膜料卷内相邻的碳化膜之间间隙均匀，以防止色差异色粘连。
优选的，所述步骤3中：控制特定时间段的升温速率，延缓晶核发育，以防止发泡偏厚、表面颗粒、粗糙气泡异常的发生。
优选的，所述步骤3中：石墨工装1上自上而下设有多层料卷放置腔，每层料卷放置腔内放置有呈阵列分布的多个碳化膜料卷，冷却单元自上而下对每层料卷放置腔内碳化膜料卷进行降温。
优选的，所述冷却单元包括：
移动座，所述移动座顶端设有放置槽，石墨工装底端放置于放置槽内；
环形送风座，所述环形送风座位于移动座上方，所述环形送风座内环端周向设置有多个可翻转动作的送风喷头；
升降组件，所述升降组件连接于移动座和环形冷区座之间，所述升降组件用于完成环形送风座的升降运动。
优选的，所述升降组件包括：
升降箱，所述升降箱固定安装于环形送风座侧端；
花键套、螺纹套，所述花键套和螺纹套安装于升降箱上，所述花键套上安装有传动齿轮，所述螺纹套上转动安装有与传动齿轮啮合的转动齿盘，所述转动齿盘用于实现送风喷头的翻转动作；
动作室，所述动作室位于移动座内，花键轴和螺杆底端均转动安装于动作室内，花键套套设于花键轴上，螺纹套套设于所述螺杆上；
升降电机，所述升降电机位于动作室内底部，花键轴安装于所述升降电机输出端；
间歇动作组件，所述间歇动作组件位于动作室内，并传动连接于花键轴和螺杆之间。
优选的，所述间歇动作组件包括：
固定转盘、限位转盘，所述固定转盘和限位转盘同轴安装于花键轴上，所述限位转盘设为带有缺口的圆盘状结构，拨杆偏心安装于固定转盘上，并靠近限位转盘的缺口设置；
拨动转盘，所述拨动转盘设为方盘状结构，所述拨动转盘四面设有适配限位转盘的内凹弧面，所述拨动转盘边角位置开设于指向拨动转盘中心端的拨动槽，所述拨动转盘安装于螺杆上。
优选的，所述环形送风座内环向设有下翻转室，所述下翻转室连通于环形送风座内环端，转动环转动安装于下翻转室内，所述转动环外环端嵌设安装有与转动齿盘啮合的传动齿圈，等数量于送风喷头的转动套周向分布于下翻转室内，并套设于转动环上，送风喷头安装于转动套上，所述转动套外表面贴设于下翻转室内壁上，所述转动套内圈开设有驱动斜槽，所述转动环内环端等间距安装有多个适配驱动斜槽的驱动杆，限位槽开设于所述下翻转室内壁上，限位块滑动连接于限位槽内，并与转动套连接，限位杆安装于限位槽内，限位块和复位弹簧套设于限位杆，复位弹簧抵设于限位块和限位槽内壁之间。
优选的，所述环形送风座内环向设有位于下翻转室上方的上送风室，多个出风筒周向安装于所述上送风室内底部，多个进风口周向开设于出风筒侧端，过滤筒位于出风筒内，所述过滤筒内壁上安装有吸湿棉，出风软管连通于出风筒筒底端和送风喷头之间，湿度传感器安装于上送风室内壁上，并伸入其中一个进风口内，记忆金属条连接于上送风室内顶部和过滤筒之间，送风泵安装于环形送风座顶端，并连通于上送风室内，上送风室内顶部安装有电阻加热丝。
优选的，所述放置槽槽底端安装有摆动板，对向的所述摆动板侧端通过安装弹簧连接于放置槽内壁上，石墨工装底端放置于摆动板上，往复齿条安装于摆动板侧端，并伸入动作室内，两个对向设置的扇形齿盘组成的上转动齿盘位于动作室内，并安装于螺杆上，所述上转动齿盘与往复齿条啮合。
附图说明
为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明的流程示意图；
图2为本发明的冷却单元结构示意图；
图3为本发明的冷却单元剖视图；
图4为图3中标号A放大图；
图5为本发明的出风筒和过滤筒结构示意图；
图6为本发明的冷却单元俯视图；
图7为本发明的转动环结构示意图；
图8为本发明的间歇动作组件结构示意图；
图9为本发明的上转动齿盘结构示意图。
图中：1.石墨工装；11.传动齿轮；12.转动齿盘；13.下翻转室；14.转动环；15.传动齿圈；16.转动套；17.驱动杆；18.限位槽；19.限位块；10.送风喷头；21.移动座；22.放置槽；23.环形送风座；24.升降组件；25.升降箱；26.动作室；27.花键轴；28.螺杆；29.升降电机；20.固定转盘；31.限位转盘；32.拨杆；33.拨动转盘；34.内凹弧面；35.拨动槽；36.限位杆；37.上送风室；38.出风筒；39.过滤筒；30.出风软管；41.湿度传感器；42.记忆金属条；43.送风泵；44.摆动板；45.往复齿条；46.扇形齿盘。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例
下面将结合附图对本发明做进一步描述。
如图1至图9所示，本实施例提供的一种单层石墨导热膜的制备方法，包括如下步骤：
步骤1：聚酰亚胺厚膜按既定宽度分条后，一次复卷；
步骤2：料卷放置于石墨工装1上，并送入碳化炉内进行碳化，以得到碳化膜料卷；
步骤3：碳化膜料卷取出碳化炉，冷却至室温后，观察碳化膜料卷表面碳化情况，剔除不合格品后，吊装入石墨化炉内进行石墨化，以得到石墨化膜料卷；
步骤4：石墨化膜料卷取出石墨化炉，冷却至室温后，自石墨工装1上取出每个石墨化膜料卷，二次复卷每个料卷过程中，进行视检，剔除不合格品；
步骤5：对二次复卷的石墨化膜料卷进行压延，以得到厚度65-70μm、90-100μm、140-150μm的单层石墨导热膜。
上述技术方案的工作原理和有益效果为：
本发明提供一种单层石墨导热膜的制备方法，以超厚聚酰亚胺为原材，经过分条、一次复卷后，料卷放置于石墨工装1上，碳化膜料卷经过碳化、石墨化、压延得到单层超高功率石墨，经过LFA-467导热测试仪测试，厚度65-70μm热扩散达到960mm2/s以上，导热达到1800w/m.k以上；厚度90-100μm热扩散达到930mm2/s以上，导热达到1600w/m.k以上；厚度140-150μm热扩散达到900mm2/s以上，导热达到1500w/m.k以上。本发明公开的一种单层石墨导热膜的制备方法，提高热扩散和导热的同时，控制了发泡厚度，解决了目前采取的多层石墨堆叠，胶体涂覆影响散热效果的难题，单层就可替代多层堆叠，不仅简化工艺，节约成本，而且提高效率，散热效果更佳。
在一个实施例中，所述步骤2中：控制特定时间段的升温速率，促使排焦顺畅无残留，保证碳化膜料卷内相邻的碳化膜之间间隙均匀，以防止色差异色粘连。
在一个实施例中，所述步骤3中：控制特定时间段的升温速率，延缓晶核发育，以防止发泡偏厚、表面颗粒、粗糙气泡异常的发生。
在一个实施例中，所述步骤3中：石墨工装1上自上而下设有多层料卷放置腔，每层料卷放置腔内放置有呈阵列分布的多个碳化膜料卷，冷却单元自上而下对每层料卷放置腔内碳化膜料卷进行降温。
上述技术方案的工作原理和有益效果为：
该石墨工装1为中国专利CN216245582U公开的石墨导热膜碳化和石墨化烧制通用石墨工装治具，石墨工装1上自上而下设有多层料卷放置腔，每层料卷放置腔内放置有呈阵列分布的多个碳化膜料卷，冷却单元自上而下对每层料卷放置腔内碳化膜料卷进行快速降温，以观察碳化膜料卷表面碳化情况，剔除不合格品。
在一个实施例中，所述冷却单元包括：
移动座21，所述移动座21顶端设有放置槽22，石墨工装1底端放置于放置槽22内；
环形送风座23，所述环形送风座23位于移动座21上方，所述环形送风座23内环端周向设置有多个可翻转动作的送风喷头10；
升降组件24，所述升降组件24连接于移动座21和环形冷区座23之间，所述升降组件24用于完成环形送风座23的升降运动。
上述技术方案的工作原理和有益效果为：
碳化结束后，将碳化膜料卷取出碳化炉，并吊装在移动座21上，石墨工装1底端放入放置槽22中，升降组件24工作，从而带动环形送风座23顺着石墨工装1高度方向做升降运动，送风喷头10吹出风，以完成对每层料卷放置腔内碳化膜料卷的快速降温。
在一个实施例中，所述升降组件24包括：
升降箱25，所述升降箱25固定安装于环形送风座23侧端；
花键套、螺纹套，所述花键套和螺纹套安装于升降箱25上，所述花键套上安装有传动齿轮11，所述螺纹套上转动安装有与传动齿轮11啮合的转动齿盘12，所述转动齿盘12用于实现送风喷头10的翻转动作；
动作室26，所述动作室26位于移动座21内，花键轴27和螺杆28底端均转动安装于动作室26内，花键套套设于花键轴27上，螺纹套套设于所述螺杆28上；
升降电机29，所述升降电机29位于动作室26内底部，花键轴27安装于所述升降电机29输出端；
间歇动作组件，所述间歇动作组件位于动作室26内，并传动连接于花键轴27和螺杆28之间。
上述技术方案的工作原理和有益效果为：
位于动作室26内的升降电机29工作，从而带动安装于升降电机29输出端的花键轴27转动，花键轴27通过间歇动作组件带动螺杆28间歇式转动，从而带动套设于螺杆28上的螺纹套、与螺纹套连接的升降箱25顺着花键轴27方向做间歇式升降运动，进而带动与升降箱25连接的环形送风座23做间歇式升降运动，这样通过环形送风座23完成对碳化膜料卷降温的同时，环形送风座23间歇式的停靠在每层料卷放置腔内，从而完成对每层料卷放置腔内碳化膜料卷的快速降温。升降电机29正反向的工作，以带动环形送风座23做升降式的动作，这样在环形送风座23在升降过程中，都能每次短暂停靠在每层料卷放置腔位置，从而完成对每层料卷放置腔内碳化膜料卷的快速降温。
在一个实施例中，所述间歇动作组件包括：
固定转盘20、限位转盘31，所述固定转盘20和限位转盘31同轴安装于花键轴27上，所述限位转盘31设为带有缺口的圆盘状结构，拨杆32偏心安装于固定转盘20上，并靠近限位转盘31的缺口设置；
拨动转盘33，所述拨动转盘33设为方盘状结构，所述拨动转盘33四面设有适配限位转盘31的内凹弧面34，所述拨动转盘33边角位置开设于指向拨动转盘33中心端的拨动槽35，所述拨动转盘33安装于螺杆28上。
上述技术方案的工作原理和有益效果为：
安装于升降电机29输出端的花键轴27转动，从而带动同轴安装于花键轴27上的固定转盘20和限位转盘31转动，当位于限位转盘31缺口位置的拨杆32转动并送入拨动槽35内时，带动拨动转盘33转动，此时限位转盘31缺口位置也转动到靠近拨动转盘33，拨动转盘33转动过程中，拨动转盘33边角位置转入到限位转盘31缺口内，限位转盘31缺口很好的对拨动转盘33边角位置完成避让，随着固定转盘20的持续转动，拨杆32脱离拨动槽35后，内凹弧面34贴靠于限位转盘31远离缺口位置，从而只有在拨杆32送入拨动槽35内时，才能带动拨动转盘33转动，进而实现了拨动转盘33的间歇式转动，进而实现了与拨动转盘33连接的螺杆28的间歇式转动，螺杆28间歇式转动，从而带动环形送风座23做间歇式升降运动。
在一个实施例中，所述环形送风座23内环向设有下翻转室13，所述下翻转室13连通于环形送风座23内环端，转动环14转动安装于下翻转室13内，所述转动环14外环端嵌设安装有与转动齿盘12啮合的传动齿圈15，等数量于送风喷头10的转动套16周向分布于下翻转室13内，并套设于转动环14上，送风喷头10安装于转动套16上，所述转动套16外表面贴设于下翻转室13内壁上，所述转动套16内圈开设有驱动斜槽，所述转动环14内环端等间距安装有多个适配驱动斜槽的驱动杆17，限位槽18开设于所述下翻转室13内壁上，限位块19滑动连接于限位槽18内，并与转动套16连接，限位杆36安装于限位槽内，限位块19和复位弹簧套设于限位杆36，复位弹簧抵设于限位块19和限位槽18内壁之间。
上述技术方案的工作原理和有益效果为：
安装于升降电机29输出端的花键轴27转动，从而带动套设于花键轴27上的花键套在升降箱25内转动，安装于花键套上的传动齿轮11转动，从而带动与传动齿轮11啮合的转动齿盘12在螺纹套上转动，转动齿盘12带动与其连接的传动齿圈15转动，从而带动转动环14在下翻转室13内转动，安装于转动环14内环端的驱动杆17送入转动套16的驱动斜槽内，从而带动套设于转动环14上的转动套16做翻转运动，从而带动安装于转动套16上的送风喷头10做俯仰动作，进而提高了送风喷头10的送风面积。
具体地，当花键轴27正向转动，从而带动环形送风座23抬升时，转动环14在下翻转室13内正向转动，从而带动转动套16、安装于转动套16上的送风喷头10做周期性下俯式动作，而当花键轴27反向转动，从而带动环形送风座23下降时，转动环14在下翻转室13内反向转动，从而带动转动套16、安装于转动套16上的送风喷头10做周期性上抬式动作。这样在环形送风座23每次短暂停靠在每层料卷放置腔时，送风喷头10做俯仰动作，提高了对每层料卷放置腔内碳化膜料卷的送风面积。
在一个实施例中，所述环形送风座23内环向设有位于下翻转室13上方的上送风室37，多个出风筒38周向安装于所述上送风室37内底部，多个进风口周向开设于出风筒38侧端，过滤筒39位于出风筒38内，所述过滤筒39内壁上安装有吸湿棉，出风软管30连通于出风筒38筒底端和送风喷头10之间，湿度传感器41安装于上送风室37内壁上，并伸入其中一个进风口内，记忆金属条42连接于上送风室37内顶部和过滤筒39之间，送风泵43安装于环形送风座23顶端，并连通于上送风室37内，上送风室37内顶部安装有电阻加热丝。
上述技术方案的工作原理和有益效果为：
安装于环形送风座23上的送风泵43工作，从而将风送入上送风室37内，送通过进风口依次穿过出风筒38和过滤筒39，从而自与出风筒38连通的出风软管30送入送风喷头10内，过滤筒39用来过滤风中的颗粒物，从而减少颗粒物吹在碳化膜料卷上的风险，当车间内空气有一定湿度时，安装于过滤筒39内壁的吸湿棉吸附并过滤湿气，湿度传感器41检测到湿气后，向电阻加热丝发出工作指令，电阻加热丝产生热量，从而烘烤上送风室37内的空气，记忆金属条42受热后，呈蜷缩状收缩，从而带动过滤筒39在出风筒38内向记忆金属条42蜷缩方向运动，过滤筒39不脱离进风口，这样在保证过滤筒39过滤功能时，上送风室37内热量逐渐烘干吸湿棉，湿度传感器41检测不到湿气后，向电阻加热丝发出停止工作指令，电阻加热丝停止工作，上送风室37内热量逐渐降低，记忆金属条冷却后，恢复为笔直状，过滤筒39逐渐沉入出风筒38内，电阻加热丝产生的热量仅能烘烤上送风室37内湿气，送风喷头10送出的带热量风，并不足以使碳化膜料卷表面快速升温。
在一个实施例中，所述放置槽22槽底端安装有摆动板44，对向的所述摆动板44侧端通过安装弹簧连接于放置槽22内壁上，石墨工装1底端放置于摆动板44上，往复齿条45安装于摆动板44侧端，并伸入动作室26内，两个对向设置的扇形齿盘46组成的上转动齿盘位于动作室26内，并安装于螺杆28上，所述上转动齿盘与往复齿条45啮合。
上述技术方案的工作原理和有益效果为：
石墨工装1底端放置于摆动板44上，拨动转盘33带动螺杆28间歇式转动时，带动同轴安装于螺杆28上的上转动齿盘在动作室26内间歇式转动，上转动齿盘由两个对向设置的扇形齿盘46组成，扇形齿盘46接触往复齿条45后，带动与往复齿条45连接的摆动板44在放置槽22内左右移动，而在扇形齿条46解除对往复齿条45的接触后，安装弹簧带动摆动板44在放置槽22内复位，进而实现了放置于摆动板44上石墨工装1的小幅度颤动，从而有利于碳化膜料卷表面沾附的碳化颗粒的快速脱落。具体地，当环形送风座23每次短暂停靠在每层料卷放置腔时，扇形齿条46解除对往复齿条45的接触。即只有在环形送风座23升降的过程中，石墨工装1发生小幅度颤动，而当环形送风座23每次短暂停靠在每层料卷放置腔时，石墨工装1不发生小幅度颤动。
显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。
Claims (3)
1.一种单层石墨导热膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤1：聚酰亚胺厚膜按既定宽度分条后，一次复卷；
步骤2：料卷放置于石墨工装（1）上，并送入碳化炉内进行碳化，以得到碳化膜料卷；
步骤3：碳化膜料卷取出碳化炉，冷却至室温后，观察碳化膜料卷表面碳化情况，剔除不合格品后，吊装入石墨化炉内进行石墨化，以得到石墨化膜料卷；
步骤4：石墨化膜料卷取出石墨化炉，冷却至室温后，自石墨工装（1）上取出每个石墨化膜料卷，二次复卷每个料卷过程中，进行视检，剔除不合格品；
步骤5：对二次复卷的石墨化膜料卷进行压延，以得到厚度65-70μm、90-100μm、140-150μm的单层石墨导热膜；
所述步骤3中：石墨工装（1）上自上而下设有多层料卷放置腔，每层料卷放置腔内放置有呈阵列分布的多个碳化膜料卷，冷却单元自上而下对每层料卷放置腔内碳化膜料卷进行降温；
所述冷却单元包括：移动座（21），所述移动座（21）顶端设有放置槽（22），石墨工装（1）底端放置于放置槽（22）内，环形送风座（23）位于移动座（21）上方，所述环形送风座（23）内环端周向设置有多个可翻转动作的送风喷头（10），升降组件（24）连接于移动座（21）和环形送风座（23）之间，所述升降组件（24）用于完成环形送风座（23）的升降运动；
升降组件（24）包括：固定安装于环形送风座（23）侧端的升降箱（25），花键套和螺纹套安装于升降箱（25）上，花键套上安装有传动齿轮（11），螺纹套上转动安装有与传动齿轮（11）啮合的转动齿盘（12），转动齿盘（12）用于实现送风喷头（10）的翻转动作，动作室（26）位于移动座（21）内，花键轴（27）和螺杆（28）底端均转动安装于动作室（26）内，花键套套设于花键轴（27）上，螺纹套套设于所述螺杆（28）上，升降电机（29）位于动作室（26）内底部，花键轴（27）安装于所述升降电机（29）输出端，间歇动作组件位于动作室（26）内，并传动连接于花键轴（27）和螺杆（28）之间；
所述间歇动作组件包括：同轴安装于花键轴（27）上的固定转盘（20）和限位转盘（31），限位转盘（31）设为带有缺口的圆盘状结构，拨杆（32）偏心安装于固定转盘（20）上，并靠近限位转盘（31）的缺口设置，拨动转盘（33）设为方盘状结构，拨动转盘（33）四面设有适配限位转盘（31）的内凹弧面（34），拨动转盘（33）边角位置开设于指向拨动转盘（33）中心端的拨动槽（35），拨动转盘（33）安装于螺杆（28）上；
环形送风座（23）内环向设有下翻转室（13），下翻转室（13）连通于环形送风座（23）内环端，转动环（14）转动安装于下翻转室（13）内，转动环（14）外环端嵌设安装有与转动齿盘（12）啮合的传动齿圈（15），等数量于送风喷头（10）的转动套（16）周向分布于下翻转室（13）内，并套设于转动环（14）上，送风喷头（10）安装于转动套（16）上，转动套（16）外表面贴设于下翻转室（13）内壁上，转动套（16）内圈开设有驱动斜槽，转动环（14）内环端等间距安装有多个适配驱动斜槽的驱动杆（17），限位槽（18）开设于下翻转室（13）内壁上，限位块（19）滑动连接于限位槽（18）内，并与转动套（16）连接，限位杆（36）安装于限位槽内，限位块（19）和复位弹簧套设于限位杆（36），复位弹簧抵设于限位块（19）和限位槽（18）内壁之间。
2.根据权利要求1所述的一种单层石墨导热膜的制备方法，其特征在于，环形送风座（23）内环向设有位于下翻转室（13）上方的上送风室（37），多个出风筒（38）周向安装于上送风室（37）内底部，多个进风口周向开设于出风筒（38）侧端，过滤筒（39）位于出风筒（38）内，过滤筒（39）内壁上安装有吸湿棉，出风软管（30）连通于出风筒（38）筒底端和送风喷头（10）之间，湿度传感器（41）安装于上送风室（37）内壁上，并伸入其中一个进风口内，记忆金属条（42）连接于上送风室（37）内顶部和过滤筒（39）之间，送风泵（43）安装于环形送风座（23）顶端，并连通于上送风室（37）内，上送风室（37）内顶部安装有电阻加热丝。
3.根据权利要求1所述的一种单层石墨导热膜的制备方法，其特征在于，放置槽（22）槽底端安装有摆动板（44），对向的摆动板（44）侧端通过安装弹簧连接于放置槽（22）内壁上，石墨工装（1）底端放置于摆动板（44）上，往复齿条（45）安装于摆动板（44）侧端，并伸入动作室（26）内，两个对向设置的扇形齿盘（46）组成的上转动齿盘位于动作室（26）内，并安装于螺杆（28）上，上转动齿盘与往复齿条（45）啮合。
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