CN116714127B - 一种晶体多线切割装置 - Google Patents
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- 238000005520 cutting process Methods 0.000 title claims abstract description 145
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims abstract description 47
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 99
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 13
- 230000008569 process Effects 0.000 claims abstract description 8
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 18
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 17
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 10
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 abstract description 2
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 17
- 238000013461 design Methods 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 230000009471 action Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 3
- 238000010924 continuous production Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
- B28D5/045—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by cutting with wires or closed-loop blades
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B27/00—Other grinding machines or devices
- B24B27/06—Grinders for cutting-off
- B24B27/0633—Grinders for cutting-off using a cutting wire
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B27/00—Other grinding machines or devices
- B24B27/06—Grinders for cutting-off
- B24B27/0683—Accessories therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B41/00—Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
- B24B41/005—Feeding or manipulating devices specially adapted to grinding machines
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/0082—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for supporting, holding, feeding, conveying or discharging work
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/10—Greenhouse gas [GHG] capture, material saving, heat recovery or other energy efficient measures, e.g. motor control, characterised by manufacturing processes, e.g. for rolling metal or metal working
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Abstract
本发明公开一种晶体多线切割装置,涉及晶体切割技术领域,包括:底座;装卸机构,置于所述底座一端,使所述晶体多线切割装置能够同时对多个工件进行上料和加工,其中,装卸机构包括平衡减荷机构,一端固定在所述拖板上,另一端与所述上卸料装置的连接板连接,可实现多条切割线同时切割,提高切割效率,提高了切割效率和生产能力,通过设置装卸机构,同时对多个晶体工件进行上料、切割和下料的操作,提高了生产效率,满足了大批量生产的需求;通过采用平衡减荷机构减轻丝杆负载,延长使用寿命,提高了切割精度和质量,设置导轨组件和多个电机,精确控制和定位上卸料装置,提高了切割精度及切割效率。
Description
技术领域
本发明涉及晶体切割技术领域,具体涉及到了一种晶体多线切割装置。
背景技术
随着光学、电子技术和空间技术的发展,对高质量的单晶材料的需求量越来越大,切割技术作为单晶生长后的关键加工技术,其自动化、连续化生产水平的提高,成为限制单晶应用的重要因素。目前,晶体切割主要采用线切割技术,CN113458518A公开了一种晶体线切割设备,包括架体、以及设置在架体上的操作台,操作台上设置有夹具;架体上位于操作台的上方设置有支撑平台,支撑平台上设置有线切割组件,线切割组件包括转动设置于支撑平台上方的绕线轴,绕线轴的轴向和转动轴线方向均平行于架体的宽度方向,绕线轴上沿自身轴向依次绕设有金刚砂线;线切割组件还包括平行于绕线轴并转动设置于支撑平台的下方的放线轴和收线轴,放线轴和收线轴分别位于绕线轴水平径向的两侧;金刚砂线依次绕至绕线轴、放线轴和收线轴上;架体上设置有用于驱动绕线轴转动的第一驱动组件;架体上还设置有用于驱动绕线轴沿自身轴线往返运动的第二驱动组件,具有提升晶体线切割过程稳定性的效果。
但诸如此类现有的晶体线切割设备虽然解决了晶体的切割问题,但是这些现有的晶体切割设备依然存在诸多的问题:1、线切割设备采用单线切割,每次只能对一个晶体工件进行上料、切割和下料的操作,无法同时处理多个晶体工件,导致生产效率低下,无法满足大批量生产的需求,每次切割周期较长,难以实现高速连续生产;
2、线切割设备定位机构简单,定位精度较低,难以精确定位,导致切割效果差,切割线易偏移,影响切割质量,尤其对小尺寸和形状复杂的晶体工件,几乎无法实现高质量切割;
3、线切割设备难以实现多条切割线同时工作,最多只能实现2-3条切割线同时切割,切割效率较低;多条切割线同时工作会增加丝杆负载,加速丝杆损耗,导致丝杆承重大,长时间工作后易发生变形和断裂,使用寿命较短。而且丝杆变形会导致切割线偏移,影响切割质量;
4、线切割设备结构简单,机械误差较大,导致定位和切割精度难以提高,维护要求高。
因此,亟需本领域技术人员设计出一种新型的晶体线切割装置以解决上述技术问题。
发明内容
本发明要解决的问题是一种可实现多条切割线同时切割,提高切割效率,提高了切割效率和生产能力,通过设置装卸机构,同时对多个晶体工件进行上料、切割和下料的操作,提高了生产效率,满足了大批量生产的需求;通过采用平衡减荷机构减轻丝杆负载,延长使用寿命,提高了切割精度和质量,设置导轨组件和多个电机,精确控制和定位上卸料装置,提高了切割精度及切割效率的晶体多线切割装置。
为了解决上述问题,本发明提供了一种晶体多线切割装置,包括:
底座;
装卸机构,置于所述底座一端,使所述晶体多线切割装置能够同时对多个工件进行上料和加工,其中,装卸机构包括:
移动机构,位于所述底座上,用于移动所述装卸机构;
拖板,与所述移动机构连接;
立柱,固定在所述拖板上;
上卸料装置,安装在所述立柱上,用于上料、卸料和调整工件位置;
平衡减荷机构,一端固定在所述拖板上,另一端与所述上卸料装置的连接板连接,用于保证所述上卸料装置的平衡和减轻丝杆负荷;
切割机构,可移动地位于所述底座上,用于对工件进行切割,其包括:
弓形部件,置于所述底座上,用于引导切割线;
转向部件,固定安装在底座上,并固定在弓形部件与运丝部件之间;用于改变切割线的方向;
运丝部件,所述运丝部件安装在底座上;切割线从所述运丝部件的一侧引出,经过所述转向部件和所述弓形部件,由所述运丝部件的另一侧收丝。
作为优选地,所述移动机构包括丝杆一、导轨组一和电机一,所述电机一带动丝杆一拖动装卸机构整体在导轨组一内沿着底座x轴方向移动,初步调整装卸机构在加工区的位置。
作为优选地,所述上卸料装置包括:
丝杆组,所述丝杆组包括丝杆二、丝杆三和丝杆四;
导轨组件,所述导轨组件包括导轨组二和导轨组三;
电机组,所述电机组包括电机二、电机三、电机四、电机五和电机六;电机二驱动带动丝杆二拖动上卸料装置沿立柱Y轴方向移动,调整上卸料装置加工件在加工区内的位置;电机三驱动与丝杆三上的丝母座连接的承重台一沿立柱Y轴方向移动,调整承重台一上工件的位置;
连接板,所述丝杆二、导轨组二固定在立柱上,导轨组二上的滑块与连接板连接,连接板的另一端固定有丝杆三、丝杆四以及导轨组三;
承重台,所述承重台包括承重台一、承重台二、承重台三、承重台四、承重台五,所述丝杆三、丝杆四以及导轨组三固定连接连接板和承重台;所述电机四驱动承重台二、电机五驱动承重台四、电机六驱动承重台五沿立柱Y轴方向移动调整工件的位置,所述承重台三固定在连接板上。
旋转组件,所述承重台上安装旋转组件,所述旋转组件包括电机七、花键轴、齿轮组;所述齿轮组至少2组,所述齿轮组包括一个大齿轮、一个小齿轮;电机七驱动花键轴,带动小齿轮旋转,小齿轮旋转带动大齿轮旋转;
吸盘,所述吸盘包括至少两个吸盘,所述旋转组件上固定安装吸盘,所述吸盘吸附固定在吸盘上的工件。
作为优选地,平衡减荷机构包括:气缸,所述拖板上固定有多个气缸,所述气缸一端固定在所述拖板上,另一端与所述上卸料装置的连接板连接,所述气缸用于保证所述上卸料装置的平衡和减轻丝杆负荷。
作为优选地,所述弓形部件包括:
罗拉支撑座组,置于所述底座上;
罗拉组件,所述罗拉组件置于所述罗拉支撑座组上,用于引导切割线;
所述转向部件包括:
导轮支撑座组,所述导轮支撑座组固定安装在底座上,并固定在罗拉支撑座组与运丝部件之间;
导轮支撑板;所述导轮支撑板固定安装在导轮支撑座组上;
导轮组件,所述导轮组件置于所述导轮支撑板上,用于引导所述切割线。
作为优选地,所述罗拉支撑座组包括置于底座上的罗拉支撑座一、罗拉支撑座二、罗拉支撑座三;
所述罗拉组件至少四个罗拉,所述罗拉组件包括罗拉一、罗拉二、罗拉三、罗拉四,所述罗拉一、罗拉二置于罗拉支撑座一上,所述罗拉三置于罗拉支撑座二上,所述罗拉四置于罗拉支撑座三上,所述罗拉三、罗拉四分别置于运丝部件的两边;
所述罗拉上开有罗拉槽,所述每个罗拉上至少开2个罗拉槽。
作为优选地,所述导轮支撑座组包括导轮支撑座一、导轮支撑座二,导轮支撑座一固定在在罗拉支撑座二和丝筒之间,导轮支撑座二固定在罗拉支撑座三和另一丝筒之间,所述导轮组件包括四个导轮。
作为优选地,所述的运丝部件包括电机和丝筒;所述丝筒上切割线单向缠绕,丝筒安装在丝杆上,丝筒在丝杆的驱动下沿底座X轴方向移动,丝杆由电机驱动,丝筒被电机驱动自转的同时沿直线移动,切割线从一侧的运丝部件引出经过导轮、罗拉组件后由另一侧的运丝部件收丝,电机驱动实现收丝,采用丝杆与丝筒组合的设计,通过将丝筒安装在丝杆上,丝杆可由电机驱动,使丝线保持理想的放线或收线状态,从而避免断丝和乱丝现象的发生。
作为优选地,所述切割机构还包括切割电机,所述切割电机驱动罗拉组件转动,通过罗拉支撑座组、罗拉组件、导轮支撑座组、导轮支撑板、导轮组件、运丝部件、移动机构、切割电机、切割线等多个部分的组合设计,实现了对晶体的多线切割,可以提高切割效率和精度,减少浪费。
作为优选地,所述切割机构还包括移动机构,用于移动所述切割机构,所述移动机构包括丝杆和丝母,所述丝杆可转动地连接所述底座,所述丝母连接所述拖板,所述丝杆与所述丝母啮合,所述丝杆的转动带动所述丝母和所述工作台沿所述丝杆的轴向移动。
作为优选地,所述拖板包括与移动机构连接的下拖板、固定在下拖板上的旋转机构,旋转机构上固定连接有上拖板,上拖板上固定设置有立柱,立柱上安装有上卸料装置,所述上卸料装置有两个,包括上卸料装置一、上卸料装置二,所述上卸料装置一、上卸料装置二对称分布在立柱的两端,通过所述旋转机构旋转带动上卸料装置一、上卸料装置二旋转。
作为优选地,切割线采用螺旋绕线法,螺旋升角的角度由各个罗拉之间的距离和罗拉槽之间的槽距决定,使切割线保持水平并和工件保持平衡关系,从而提高切割精度和效率。
采用上述结构,其有益效果在于:
本发明的晶体多线切割装置可实现多条切割线同时切割,提高切割效率,提高了切割效率和生产能力,通过设置装卸机构,位于底座一端,使装置能够同时对多个工件进行上料和加工,每个装卸机构包括移动机构、拖板、立柱和上卸料装置,能够同时对多个晶体工件进行上料、切割和下料的操作,提高了生产效率,满足了大批量生产的需求。
本发明的晶体多线切割装置通过采用平衡减荷机构减轻丝杆负载,延长使用寿命,提高了切割精度和质量,通过设置平衡减荷机构,连接拖板和上卸料装置的连接板,用于保证上卸料装置的平衡和减轻丝杆负荷;设置导轨组件和多个电机,精确控制和定位上卸料装置,提高了切割精度。
本发明的晶体多线切割装置实现多条切割线同时工作,设置弓形部件,用于引导切割线;设置转向部件,用于改变切割线方向;设置运丝部件,切割线从一侧引出,经过转向部件和弓形部件,由另一侧收丝,实现多条切割线同时工作,提高了切割效率。
本发明的晶体多线切割装置简化了结构,提高了定位和切割精度,降低了维护要求,设置底座,切割机构可移动地设置在底座上,简化了结构;设置多个电机和丝杆精确驱动和控制各个机构,提高了定位和切割精度;机电一体化结构,降低了维护要求。
附图说明
图1为本发明晶体多线切割装置第一实施例的结构示意图。
图2为本发明晶体多线切割装置第一实施例的另一视角的结构示意图。
图3为本发明晶体多线切割装置第一实施例的俯视图。
图4为本发明晶体多线切割装置第一实施例的右视图。
图5为本发明晶体多线切割装置第一实施例的主视图。
图6为本发明晶体多线切割装置第一实施例的左视图。
图7为本发明晶体多线切割装置第一实施例的上卸料装置的结构示意图。
图8为承重台与旋转组件的结构示意图。
图9为本发明晶体多线切割装置第二实施例的结构示意图。
图10为本发明晶体多线切割装置第二实施例的旋转机构的结构示意图。
图中:
底座1;
装卸机构2;移动机构201;拖板202;立柱203;上卸料装置204;平衡减荷机构205;连接板206;丝杆组207;丝杆一208;丝杆二209;丝杆三210;丝杆四211;导轨组件212;导轨组一213;导轨组二214;导轨组三215;电机组216;电机一217;电机二218;电机三219;电机四220;电机五221;电机六222;承重台223;承重台一224;承重台二225;承重台三226;承重台四227;承重台五228;旋转组件229;电机七230;花键轴231;齿轮组232;大齿轮233;小齿轮234;吸盘235;气缸236;下拖板237;上拖板238;旋转机构239;旋转电机240;旋转台241;滑块242;丝母座243;上卸料装置一244;上卸料装置二245;
切割机构3;弓形部件301;转向部件302;运丝部件303;切割线304;罗拉支撑座组305;罗拉组件306;导轮支撑座组307;导轮支撑板308;导轮组件309;罗拉支撑座一310;罗拉支撑座二311;罗拉支撑座三312;罗拉一313;罗拉二314;罗拉三315;罗拉四316;罗拉槽317;导轮支撑座一318;导轮支撑座二319;电机320;丝筒321;丝筒一322;丝筒二323;切割电机324;
加工区4;
加工件5。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步的解释说明。
实施例一:如图1-图8所示,一种晶体多线切割装置,包括:底座1、一个装卸机构2,装卸机构2置于所述底座1一端,使所述晶体多线切割装置能够同时对多个工件进行上料和加工,其中,装卸机构2包括:
移动机构201,位于所述底座上,用于移动所述装卸机构;拖板202,与所述移动机构201连接,移动机构201上固定拖板202,立柱203,固定在所述拖板202上;上卸料装置204,安装在所述立柱203上,用于上料、卸料和调整工件位置;平衡减荷机构205,一端固定在所述拖板202上,另一端与所述上卸料装置204的连接板206连接,用于保证所述上卸料装置204的平衡和减轻丝杆负荷。
所述移动机构201包括丝杆一208、导轨组一213和电机一217,导轨组一213上的滑块242与拖板202连接,所述电机一217带动丝杆一208拖动装卸机构整体在导轨组一213内沿着底座x轴方向移动,初步调整装卸机构在加工区4的位置。
所述上卸料装置204包括丝杆组207;所述丝杆组包括丝杆二209、丝杆三210和丝杆四211;导轨组件212;所述导轨组件包括导轨组二214和导轨组三215;电机组216;所述电机组包括电机二218、电机三219、电机四220、电机五221和电机六222;电机二218驱动带动丝杆二209拖动上卸料装置204沿立柱203的Y轴方向移动,调整上卸料装置204及加工件5在加工区4内的位置;电机三219驱动与丝杆三210上的丝母座243连接的承重台一沿立柱203的Y轴方向移动,调整承重台一上工件的位置;连接板206;所述丝杆二209、导轨组二214固定在立柱203上,导轨组二214上的滑块与连接板206连接,连接板206的另一端固定有丝杆三210、丝杆四211以及导轨组三215,丝杆上的丝母座、导轨上的滑块与承重台223连接;承重台223;所述承重台包括承重台一224、承重台二225、承重台三226、承重台四227、承重台五228,所述丝杆三210、丝杆四211以及导轨组三215固定连接连接板206和承重台223;所述电机四2202驱动承重台二225、电机五221驱动承重台四227、电机六222驱动承重台五228沿立柱203的Y轴方向移动调整工件的位置,所述承重台三226固定在连接板上。旋转组件229;所述承重台223上安装旋转组件229,所述旋转组件229包括电机七230、花键轴231、齿轮组232;所述齿轮组232至少2组,所述齿轮组包括一个大齿轮233、一个小齿轮234;电机七230驱动花键轴231,带动小齿轮234旋转,小齿轮234旋转带动大齿轮233旋转;吸盘235,所述吸盘包括至少两个吸盘,所述旋转组件229上固定安装吸盘235,所述吸盘235吸附固定在吸盘上的工件。
平衡减荷机构205包括:气缸236,所述拖板202上固定有多个气缸,所述气缸一端固定在所述拖板202上,另一端与所述上卸料装置204的连接板连接,所述气缸236用于保证所述上卸料装置204的平衡和减轻丝杆负荷。
装置还包括切割机构3,可移动地位于所述底座1上,用于对工件进行切割,其包括:弓形部件301,置于所述底座1上,用于引导切割线;转向部件302,固定安装在底座1上,并固定在弓形部件301与运丝部件303之间;用于改变切割线的方向;运丝部件303,所述运丝部件安装在底座1上;切割线304从所述运丝部件303的一侧引出,经过所述转向部件302和所述弓形部件301,由所述运丝部件303的另一侧收丝;导轮组件309,所述导轮组件309置于所述导轮支撑板308上,用于引导所述切割线304。
所述弓形部件301包括:罗拉支撑座组305,置于所述底座1上;罗拉组件306,所述罗拉组件306置于所述罗拉支撑座组305上,用于引导切割线304;所述转向部件302包括:导轮支撑座组307,所述导轮支撑座组307固定安装在底座1上,并固定在罗拉支撑座组305与运丝部件303之间;导轮支撑板308;所述导轮支撑板308固定安装在导轮支撑座组307上;
所述罗拉支撑座组305包括置于底座上的罗拉支撑座一310、罗拉支撑座二311、罗拉支撑座三312;
所述罗拉组件306至少四个罗拉,所述罗拉组件包括罗拉一313、罗拉二314、罗拉三315、罗拉四316,所述罗拉一313、罗拉二314置于罗拉支撑座一310上,所述罗拉三315置于罗拉支撑座二311上,所述罗拉四316置于罗拉支撑座三312上,所述罗拉三315、罗拉四316分别置于运丝部件303的两边;所述罗拉上开有罗拉槽317,所述每个罗拉上至少开2个罗拉槽。
所述导轮支撑座组307包括导轮支撑座一318、导轮支撑座二319,导轮支撑座一318固定在在罗拉支撑座二311和丝筒一322之间,导轮支撑座二319固定在罗拉支撑座三312和丝筒二323之间,所述导轮组件309包括四个导轮。
所述的运丝部件303包括电机320和丝筒321;所述丝筒包括丝筒一322、丝筒二323;
所述丝筒321上切割线304单向缠绕,丝筒321安装在丝杆上,丝筒321在丝杆的驱动下沿底座X轴方向移动,丝杆由电机驱动,丝筒321被驱动电机328驱动自转的同时沿直线移动,切割线304从一侧的运丝部件303引出经过导轮、罗拉组件306后由另一侧的运丝部件303收丝,电机驱动实现收丝,采用丝杆与丝筒组合的设计,通过将丝筒安装在丝杆上,丝杆可由电机驱动,使丝线保持理想的放线或收线状态,从而避免断丝和乱丝现象的发生。
所述切割机构3还包括切割电机324,所述切割电机324驱动罗拉组件306转动,通过罗拉支撑座组305、罗拉组件306、导轮支撑座组307、导轮支撑板308、导轮组件309、运丝部件303、移动机构、切割电机、切割线等多个部分的组合设计,实现了对晶体的多线切割,可以提高切割效率和精度,减少浪费。
所述切割机构还包括移动机构,用于移动所述切割机构,所述移动机构包括丝杆和丝母,所述丝杆可转动地连接所述底座,所述丝母连接所述拖板,所述丝杆与所述丝母啮合,所述丝杆的转动带动所述丝母和所述工作台沿所述丝杆的轴向移动。
切割线304采用螺旋绕线法,螺旋升角的角度由各个罗拉之间的距离和罗拉槽之间的槽距决定,使切割线保持水平并和工件保持平衡关系,从而提高切割精度和效率,切割线之间呈螺旋上升,螺旋上升的角度是螺旋升角,所述螺旋升角的角度由各个罗拉之间的距离和罗拉槽之间的槽距决定。所述螺旋升角越小越好。
实施例以五个工件同时切割为例,工作时,装卸机构2的移动机构201的电机一217带动丝杆一208拖动装卸机构2在导轨组一213内沿着底座x轴方向移动,初步调整装卸机构在加工区的位置,上卸料装置204的电机组216的电机二218驱动上卸料装置204沿立柱203的Y轴方向移动,调整上卸料装置加工件在加工区内的位置,旋转组件229的电机七223驱动花键轴231,带动齿轮组232的小齿轮234旋转,小齿轮234旋转带动大齿轮233旋转,固定在大齿轮233上的吸盘235带动吸附固定在吸盘235上的工件旋转,电机三219驱动,与丝杆组207的丝杆三210上的丝母座连接的承重台一224沿立柱203Y轴方向移动,调整承重台223上工件一的位置,依次类推电机四220驱动承重台二225、电机五221驱动承重台四227、电机六222驱动承重台五228沿立柱Y轴方向移动调整工件的位置,承重台三226固定在连接板206上,其它承重台在电机驱动下移动时,承重台223保持不动。
实施例二:如图9-10所示,所述装卸机构2包括位于底座上的移动机构201、与移动机构201连接的下拖板237、固定在下拖板上的旋转机构239,旋转机构上固定连接有上拖板238,上拖板238上固定设置有立柱203,立柱203上安装有上卸料装置204。
所述旋转机构239包括旋转电机240、旋转台241,旋转电机240驱动旋转台241,旋转台241上固定设置有上拖板238。
所述上卸料装置有两个,包括上卸料装置一、上卸料装置二,所述上卸料装置一244、上卸料装置二245对称分布在立柱203的两端,在旋转电机240的推动下旋转机构239旋转带动上卸料装置一、上卸料装置二旋转。
工作时,装卸机构2的移动机构201的电机一217带动丝杆一208拖动装卸机构2在导轨组一213内沿着底座x轴方向移动,初步调整装卸机构在加工区的位置,上卸料装置204的电机组216的电机二218驱动上卸料装置204沿立柱203的Y轴方向移动,调整上卸料装置加工件在加工区内的位置,旋转机构239的旋转电机240驱动旋转台241带动上拖板238旋转,上拖板238带动上卸料装置204旋转,上卸料装置一244进入加工区工作时,上卸料装置二245旋转到非加工区,上料或者卸料,加工区内的上卸料装置完成工件切割后,旋转电机驱动上卸料装置204旋转,上卸料装置一离开加工区,卸料后上料。同时上卸料装置二进入加工区,进行切割,上卸料装置一和上卸料装置二交替工作,节约上卸料的准备工时,提高了加工效率。
在本发明的描述中,需要说明的是,术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
需要说明的是,在本发明中,诸如“第一”和“第二”等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下,由语句“包括一个……”限定的要素,并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
以上所述仅是本发明的具体实施方式,使本领域技术人员能够理解或实现本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的技术人员来说将是显而易见的,本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下,在其它实施例中实现。因此,本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例,而是要符合与本文所述发明的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
Claims (8)
1.一种晶体多线切割装置,其特征在于,包括:
底座;
装卸机构,置于所述底座一端,使所述晶体多线切割装置能够同时对多个工件进行上料和加工,其中,装卸机构包括:
移动机构,位于所述底座上,用于移动所述装卸机构;
拖板,与所述移动机构连接;
立柱,固定在所述拖板上;
上卸料装置,安装在所述立柱上,用于上料、卸料和调整工件位置;
平衡减荷机构,一端固定在所述拖板上,另一端与所述上卸料装置的连接板连接,用于保证所述上卸料装置的平衡和减轻丝杆负荷;
切割机构,可移动地位于所述底座上,用于对工件进行切割,其包括:
弓形部件,置于所述底座上,用于引导切割线;
转向部件,固定安装在底座上,并固定在弓形部件与运丝部件之间;用于改变切割线的方向;
运丝部件,所述运丝部件安装在底座上;切割线从所述运丝部件的一侧引出,经过所述转向部件和所述弓形部件,由所述运丝部件的另一侧收丝;
所述移动机构包括丝杆一、导轨组一和电机一,导轨组一上的滑块与拖板连接,所述电机一带动丝杆一拖动装卸机构整体在导轨组一内沿着底座x轴方向移动,初步调整装卸机构在加工区的位置;
所述上卸料装置包括:
丝杆组,所述丝杆组包括丝杆二、丝杆三和丝杆四;
导轨组件,所述导轨组件包括导轨组二和导轨组三;
电机组,所述电机组包括电机二、电机三、电机四、电机五和电机六;电机二驱动带动丝杆二拖动上卸料装置沿立柱Y轴方向移动,调整上卸料装置加工件在加工区内的位置;电机三驱动与丝杆三上的丝母座连接的承重台一沿立柱Y轴方向移动,调整承重台一上工件的位置;
连接板,所述丝杆二、导轨组二固定在立柱上,导轨组二上的滑块与连接板连接,连接板的另一端固定有丝杆三、丝杆四以及导轨组三;
承重台,所述承重台包括承重台一、承重台二、承重台三、承重台四、承重台五,所述丝杆三、丝杆四以及导轨组三固定连接连接板和承重台;所述电机四驱动承重台二、电机五驱动承重台四、电机六驱动承重台五沿立柱Y轴方向移动调整工件的位置,所述承重台三固定在连接板上;
旋转组件,所述承重台上安装旋转组件,所述旋转组件包括电机七、花键轴、齿轮组;所述齿轮组至少2组,所述齿轮组包括一个大齿轮、一个小齿轮;电机七驱动花键轴,带动小齿轮旋转,小齿轮旋转带动大齿轮旋转;
吸盘,所述吸盘包括至少两个吸盘,所述旋转组件上固定安装吸盘,所述吸盘吸附固定在吸盘上的工件。
2.根据权利要求1所述的晶体多线切割装置,其特征在于:平衡减荷机构包括:气缸,所述拖板上固定有多个气缸,所述气缸一端固定在所述拖板上,另一端与所述上卸料装置的连接板连接,所述气缸用于保证所述上卸料装置的平衡和减轻丝杆负荷。
3.根据权利要求1所述的晶体多线切割装置,其特征在于:所述弓形部件包括:
罗拉支撑座组,置于所述底座上;
罗拉组件,所述罗拉组件置于所述罗拉支撑座组上,用于引导切割线;
所述转向部件包括:
导轮支撑座组,所述导轮支撑座组固定安装在底座上,并固定在罗拉支撑座组与运丝部件之间;
导轮支撑板,所述导轮支撑板固定安装在导轮支撑座组上;
导轮组件,所述导轮组件置于所述导轮支撑板上,用于引导所述切割线。
4.根据权利要求3所述的晶体多线切割装置,其特征在于:所述罗拉支撑座组包括置于底座上的罗拉支撑座一、罗拉支撑座二、罗拉支撑座三;
所述罗拉组件包括至少四个罗拉,所述罗拉组件包括罗拉一、罗拉二、罗拉三、罗拉四,所述罗拉一、罗拉二置于罗拉支撑座一上,所述罗拉三置于罗拉支撑座二上,所述罗拉四置于罗拉支撑座三上,所述罗拉三、罗拉四分别置于运丝部件的两边;
所述罗拉上开有罗拉槽,所述每个罗拉上至少开2个罗拉槽。
5.根据权利要求4所述的晶体多线切割装置,其特征在于:所述导轮支撑座组包括导轮支撑座一、导轮支撑座二,导轮支撑座一固定在在罗拉支撑座二和丝筒之间,导轮支撑座二固定在罗拉支撑座三和另一丝筒之间,所述导轮组件包括四个导轮。
6.根据权利要求5所述的晶体多线切割装置,其特征在于:所述的运丝部件包括电机和丝筒;所述丝筒上切割线单向缠绕,丝筒安装在丝杆上,丝筒在丝杆的驱动下沿底座X轴方向移动,丝杆由电机驱动,丝筒被电机驱动自转的同时沿直线移动,切割线从一侧的运丝部件引出经过导轮、罗拉组件后由另一侧的运丝部件收丝,电机驱动实现收丝。
7.根据权利要求6所述的晶体多线切割装置,其特征在于:所述切割机构还包括切割电机,所述切割电机驱动罗拉组件转动。
8.根据权利要求1所述的晶体多线切割装置,其特征在于:所述拖板包括与移动机构连接的下拖板、固定在下拖板上的旋转机构,旋转机构上固定连接有上拖板,上拖板上固定设置有立柱,立柱上安装有上卸料装置,所述上卸料装置有两个,包括上卸料装置一、上卸料装置二,所述上卸料装置一、上卸料装置二对称分布在立柱的两端,通过所述旋转机构旋转带动上卸料装置一、上卸料装置二旋转。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202311005458.1A CN116714127B (zh) | 2023-08-10 | 2023-08-10 | 一种晶体多线切割装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202311005458.1A CN116714127B (zh) | 2023-08-10 | 2023-08-10 | 一种晶体多线切割装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN116714127A CN116714127A (zh) | 2023-09-08 |
CN116714127B true CN116714127B (zh) | 2023-11-07 |
Family
ID=87872023
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202311005458.1A Active CN116714127B (zh) | 2023-08-10 | 2023-08-10 | 一种晶体多线切割装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN116714127B (zh) |
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