CN116690279A - 一种功率器件芯片用于机床的机械手装置 - Google Patents

Abstract

本发明属于机械手技术领域，尤其是一种功率器件芯片用于机床的机械手装置，针对现有的用于异形结构的功率机械手都是采用硬性夹具容易将器件表面产生损坏的问题，现提出以下方案，包括整体呈开口向下的C形结构的安装配重座，安装配重座的上表面冲压有向下凹陷的斜滑槽，斜滑槽的底部设置有敲击震动装置，所述安装配重座的上表面位于其中一个拐角处通过螺栓固定有机械臂基座，所述机械臂基座上转动连接有主机械臂，主机械臂的操作端转动连接有旋转连接柱。本发明可以对异形结构的芯片结构进行抓取，而且充气夹爪本身为软性材料制成，其夹持力度加大也不会对芯片结构造成损伤，提高装配效率和抓取成功率。

Description

一种功率器件芯片用于机床的机械手装置

技术领域

本发明涉及机械手技术领域，尤其涉及一种功率器件芯片用于机床的机械手装置。

背景技术

诸多半导体工艺过程中都需要利用成品芯片传输装置来传送成品芯片。现有成品芯片传输装置均包括真空吸附机械手，其利用真空吸附的原理来吸附成品芯片以将成品芯片传送至所需位置，但是这种抓取方式有利有弊，它可以吸取摆放整齐并且其表面需要光滑才可以，在实际运用过程中，功率器件芯片元件并不都是表面平整的，而且摆放也不整齐，需要人为耗费大量时间整理。

经检索，现有的通过吸附式的机械手需要被抓取的物体表面光滑，并且有一个用来吸附的平面，但是现实生产中，这种情况的功率器件芯片很少，往往存在着各种方式摆放，以及有些功率器件芯片表面呈异形结构，因此就需要一种能够应对各种姿态摆放以及各种形状的机械手装置，以应对功率器件芯片的转移工作。

发明内容

为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：一种功率器件芯片用于机床的机械手装置，包括整体呈开口向下的C形结构的安装配重座，安装配重座的上表面冲压有向下凹陷的斜滑槽，斜滑槽的底部设置有敲击震动装置，所述安装配重座的上表面位于其中一个拐角处通过螺栓固定有机械臂基座，所述机械臂基座上转动连接有主机械臂，主机械臂的操作端转动连接有旋转连接柱，旋转连接柱远离主机械臂的一端设置有抓手机构，所述抓手机构包括转动连接在旋转连接柱侧面靠近底端的滑管座，滑管座的中间滑动连接有滑动管，滑动管的底端设置有充气夹爪，充气夹爪呈章鱼爪形结构，滑动管的顶端套接有软管，所述安装配重座的下表面设置有充气机构，且充气机构包括充气泵以及和充气泵相连通并控制充气泵充气和停止充气的阀门机构，阀门机构包括矩形箱，且矩形箱的上下两端分别开有同轴分布的圆孔，且顶端的圆孔中插接有进气管，进气管与软管之间连通有输送管；通过设置的带有敲击震动装置的斜滑槽，可以在抓取的时候只需每次控制抓手机构每次到达同样的位置，物料沿着斜滑槽可以自动补料，提高了上料效率，配合设置的章鱼爪形结构的充气夹爪，不仅可以对异形结构的芯片结构进行抓取，而且充气夹爪本身为软性材料制成，其夹持力度加大也不会对芯片结构造成损伤，提高装配效率和抓取成功率。

本发明进一步的设置在于，所述抓手机构还包括开设在旋转连接柱上的转孔，且转孔中转动连接有圆杆一，圆杆一的端部固定在滑管座的侧面，圆杆一远离滑管座的一端固定有转动齿轮，旋转连接柱的侧面靠近转动齿轮的上方开有轴孔，且轴孔中插接有圆杆二，圆杆二的端部固定有与转动齿轮互相啮合的转向齿轮，转向齿轮的表面固定有绳槽凸棱，通过设置的带绳槽凸棱的转向齿轮，在使用时需要对抓取过物体的滑管座进行转向的时候，只需控制转向齿轮转动一定的角度即可。

本发明进一步的设置在于，所述绳槽凸棱的圆周外壁套接有防滑拉绳，旋转连接柱的侧面与转向齿轮同侧处靠近顶端固定有伺服电机，且伺服电机的输出轴顶端固定有卷绳轮，防滑拉绳远离转向齿轮的一端套接在卷绳轮上，旋转连接柱的表面位于转向齿轮和伺服电机之间固定有定滑轮组，定滑轮组上设置有两个定滑轮，将防滑拉绳聚拢在一起，增加与转向齿轮上的绳槽凸棱之间的接触面积，提高防滑效果。

本发明进一步的设置在于，所述充气夹爪包括三个呈花瓣状的触手，且三个触手的背面均预留有与中心相连通的凸出，三个所述触手相对的一侧靠近端部均预留有防滑棱；通过设置的防滑棱可以在触手内部通气的时候产生向内卷的状态，继而将物体夹持，防滑棱可以提高触手对芯片边棱处的抓取效果。

本发明进一步的设置在于，所述旋转连接柱远离伺服电机的一侧开有竖直的暗槽，且输送管的一段嵌装于暗槽中，滑动管的圆周外壁靠近顶端固定有环形挡圈，且环形挡圈的下表面与滑管座之间固定有复位弹簧，滑管座的中间预留有通孔，且通孔的上下两端均开有轴承卡槽，两个轴承卡槽内均嵌装有滑动轴承；通过设置的环形挡圈和复位弹簧，使得抓手机构在抓取芯片的时候有一定的缓冲距离，避免充气夹爪直接撞击到物体上导致充气夹爪被撞变形失去抓取能力。

本发明进一步的设置在于，所述敲击震动装置包括固定在斜滑槽底部下表面靠近最低处的轴承架，且轴承架上铰接有向斜滑槽顶端延伸的敲击杆，敲击杆的中间与斜滑槽的下表面之间固定有同一个拉簧弹簧，敲击杆远离轴承架的一端固定有敲击锤，敲击杆靠近轴承架的一端固定有横向延伸的延伸轴，延伸轴的端部固定有回转齿轮；安装配重座的内壁靠近回转齿轮处固定有主电机，且主电机的输出轴顶端套接有与回转齿轮互相啮合的半齿轮一；通过设置的由半齿轮一带动旋转的回转齿轮，配合拉簧弹簧的设置，可以在半齿轮一转动的时候，不断地敲击斜滑槽的下表面，以辅助悬在斜滑槽半空中的物体快速滑下至槽底，便于抓取。

本发明进一步的设置在于，所述主电机的输出轴顶端通过联轴器固定有传动轴杆，且充气泵固定在传动轴杆的端部，且充气泵包括固定在安装配重座侧壁的泵体固定座，泵体固定座的上表面固定有内设空腔整体呈圆盘形结构的泵外壳，且泵外壳内转动连接有偏心转轮，偏心转轮的圆周外壁开有等距离呈中心对称分布的滑槽，且滑槽内均滑动连接有密封刮板，泵外壳的圆周外壁插接有两个互相对称的过滤进气筒和出气管，且出气管顶端插接在矩形箱下表面的圆孔中，传动轴杆穿过泵外壳固定在偏心转轮上；通过设置的偏心转轮和密封刮板，可以在使用时，不停的为矩形箱供气。

本发明进一步的设置在于，所述矩形箱的内部位于进气管的下方固定有托杆，且托杆的顶端固定有抵紧弹簧，抵紧弹簧的顶端固定有与进气管管径相适配的半球堵块，半球堵块的侧面固定有磁铁块一，且矩形箱的顶端位于磁铁块一的上方嵌装有电磁铁，电磁铁密封嵌装在矩形箱的顶部，半球堵块远离磁铁块一的一侧固定有竖直的导向杆，托杆上开有与导向杆直径相适配的滑孔，安装配重座的上表面开有与电磁铁外形相适配的矩形槽，且安装配重座的上表面靠近电磁铁处固定有控制器；电磁铁的电源通断开关通过信号线与控制器相连，伺服电机以及主电机的控制开关均通过信号线与控制器相连，通过设置的电磁铁，可以在使用时，当需要抓取物体的时候，将电磁铁通电，此时将进气管管口封堵的半球堵块被移开，即可向输送管进行通气，继而将高压气体输送至充气夹爪位置，使得三个触手开始内卷，从而将物体夹住。

本发明进一步的设置在于，所述矩形箱远离托杆的一侧开有安装孔，且安装孔的外侧固定连通有波纹气管，且波纹气管的内部固定有复位拉簧，复位拉簧的端部固定有弹簧卡板，弹簧卡板远离复位拉簧的一端固定在安装孔处，复位拉簧的一端固定在波纹气管的端部；所述矩形箱的底部还固定有安全阀；通过设置的波纹气管和安全阀，可以在充气的过程中先将波纹气管内部通气，确保波纹气管内始终充满一定压力的气体，待需要抓取的时候打开半球堵块即可持续的进行放出高压气体，提高抓取时的稳定性。

本发明进一步的设置在于，所述安全阀包括插接在矩形箱内的阀管，且阀管的顶端管口处固定有拉伸弹簧，拉伸弹簧的底端固定有密封底盖；通过设置的密封底盖和拉伸弹簧，可以在冲入的气体达到一定值时自动泄压。

本发明中的有益效果为：

1、通过设置的带有敲击震动装置的斜滑槽，可以在抓取的时候只需每次控制抓手机构每次到达同样的位置，物料沿着斜滑槽可以自动补料，提高了上料效率，配合设置的章鱼爪形结构的充气夹爪，不仅可以对异形结构的芯片结构进行抓取，而且充气夹爪本身为软性材料制成，其夹持力度加大也不会对芯片结构造成损伤，提高装配效率和抓取成功率。

2、通过设置的防滑棱可以在触手内部通气的时候产生向内卷的状态，继而将物体夹持，防滑棱可以提高触手对芯片边棱处的抓取效果。

3、通过设置的环形挡圈和复位弹簧，使得抓手机构在抓取芯片的时候有一定的缓冲距离，避免充气夹爪直接撞击到物体上导致充气夹爪被撞变形失去抓取能力。

4、通过设置的由半齿轮一带动旋转的回转齿轮，配合拉簧弹簧的设置，可以在半齿轮一转动的时候，不断地敲击斜滑槽的下表面，以辅助悬在斜滑槽半空中的物体快速滑下至槽底，便于抓取。

5、通过设置的波纹气管和安全阀，可以在充气的过程中先将波纹气管内部通气，确保波纹气管内始终充满一定压力的气体，待需要抓取的时候打开半球堵块即可持续的进行放出高压气体，提高抓取时的稳定性。

附图说明

图1为本发明提出的一种功率器件芯片用于机床的机械手装置的整体结构示意图。

图2为本发明提出的一种功率器件芯片用于机床的机械手装置的主视结构示意图。

图3为本发明提出的一种功率器件芯片用于机床的机械手装置的后视结构示意图。

图4为本发明提出的一种功率器件芯片用于机床的机械手装置的仰视结构示意图。

图5为本发明提出的一种功率器件芯片用于机床的机械手装置中安装配重座的爆炸结构示意图。

图6为本发明提出的一种功率器件芯片用于机床的机械手装置转动后的结构示意图。

图7为本发明提出的一种功率器件芯片用于机床的机械手装置中抓手机构的结构示意图。

图8为本发明提出的一种功率器件芯片用于机床的机械手装置中抓手机构旋转后的结构示意图。

图9为本发明提出的一种功率器件芯片用于机床的机械手装置充气机构的整体结构示意图。

图10为本发明提出的一种功率器件芯片用于机床的机械手装置中充气机构的局部剖视图。

图11为本发明提出的一种功率器件芯片用于机床的机械手装置中旋转连接柱的结构示意图。

图中：1、安装配重座；101、矩形槽；2、泵体固定座；201、过滤进气筒；202、出气管；3、充气泵；301、偏心转轮；302、密封刮板；4、充气机构；401、安全阀；402、磁铁块一；403、抵紧弹簧；404、进气管；405、半球堵块；406、导向杆；407、复位拉簧；5、波纹气管；6、电磁铁；7、斜滑槽；8、抓手机构；81、充气夹爪；82、滑动管；83、滑管座；84、环形挡圈；85、防滑棱；86、伺服电机；87、转向齿轮；88、转动齿轮；89、防滑拉绳；810、定滑轮组；811、复位弹簧；9、软管；10、旋转连接柱；1001、转孔；11、主机械臂；12、机械臂基座；13、输送管；14、控制器；15、回转齿轮；16、轴承架；17、敲击杆；18、敲击锤；19、主电机；20、传动轴杆；21、半齿轮一。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-图11，一种功率器件芯片用于机床的机械手装置，包括整体呈开口向下的C形结构的安装配重座1，安装配重座1的上表面冲压有向下凹陷的斜滑槽7，斜滑槽7的整体呈向下凹陷的棱台面形结构，斜滑槽7的底部设置有敲击震动装置，安装配重座1的上表面位于其中一个拐角处通过螺栓固定有机械臂基座12，机械臂基座12上转动连接有主机械臂11，主机械臂11的操作端转动连接有旋转连接柱10，旋转连接柱10远离主机械臂11的一端设置有抓手机构8，抓手机构8包括转动连接在旋转连接柱10侧面靠近底端的滑管座83，滑管座83的中间滑动连接有滑动管82，滑动管82的底端设置有充气夹爪81，充气夹爪81呈章鱼爪形结构，滑动管82的顶端套接有软管9，安装配重座1的下表面设置有充气机构4，且充气机构4包括充气泵3以及和充气泵3相连通并控制充气泵3充气和停止充气的阀门机构，阀门机构包括矩形箱，且矩形箱的上下两端分别开有同轴分布的圆孔，且顶端的圆孔中插接有进气管404，进气管404与软管9之间连通有输送管13，通过设置的带有敲击震动装置的斜滑槽7，可以在抓取的时候只需每次控制抓手机构8每次到达同样的位置，物料沿着斜滑槽7可以自动补料，提高了上料效率，配合设置的章鱼爪形结构的充气夹爪81，不仅可以对异形结构的芯片结构进行抓取，而且充气夹爪81本身为软性材料制成，其夹持力度加大也不会对芯片结构造成损伤，提高装配效率和抓取成功率。

本发明中，抓手机构8还包括开设在旋转连接柱10上的转孔1001，且转孔1001中转动连接有圆杆一，圆杆一的端部固定在滑管座83的侧面，圆杆一远离滑管座83的一端固定有转动齿轮88，旋转连接柱10的侧面靠近转动齿轮88的上方开有轴孔，且轴孔中插接有圆杆二，圆杆二的端部固定有与转动齿轮88互相啮合的转向齿轮87，转向齿轮87的表面固定有绳槽凸棱，通过设置带绳槽凸棱的转向齿轮87，在使用时需要对抓取过物体的滑管座83进行转向的时候，只需控制转向齿轮87转动一定的角度即可。

参照图7-图8，绳槽凸棱的圆周外壁套接有防滑拉绳89，旋转连接柱10的侧面与转向齿轮87同侧处靠近顶端固定有伺服电机86，且伺服电机86的输出轴顶端固定有卷绳轮，防滑拉绳89远离转向齿轮87的一端套接在卷绳轮上，旋转连接柱10的表面位于转向齿轮87和伺服电机86之间固定有定滑轮组810，定滑轮组810上设置有两个定滑轮，将防滑拉绳89聚拢在一起，增加与转向齿轮87上的绳槽凸棱之间的接触面积，提高防滑效果。

参照图6，充气夹爪81包括三个呈花瓣状的触手，且三个触手的背面均预留有与中心相连通的凸出，三个触手相对的一侧靠近端部均预留有防滑棱85；通过设置的防滑棱85可以在触手内部通气的时候产生向内卷的状态，继而将物体夹持，防滑棱85可以提高触手对芯片边棱处的抓取效果。

参照图1，旋转连接柱10远离伺服电机86的一侧开有竖直的暗槽，且输送管13的一段嵌装于暗槽中，滑动管82的圆周外壁靠近顶端固定有环形挡圈84，且环形挡圈84的下表面与滑管座83之间固定有复位弹簧811，滑管座83的中间预留有通孔，且通孔的上下两端均开有轴承卡槽，两个轴承卡槽内均嵌装有滑动轴承，通过设置的环形挡圈84和复位弹簧811，使得抓手机构8在抓取芯片的时候有一定的缓冲距离，避免充气夹爪81直接撞击到物体上导致充气夹爪81被撞变形失去抓取能力。

参照图1-图4，敲击震动装置包括固定在斜滑槽7底部下表面靠近最低处的轴承架16，且轴承架16上铰接有向斜滑槽7顶端延伸的敲击杆17，敲击杆17的中间与斜滑槽7的下表面之间固定有同一个拉簧弹簧，敲击杆17远离轴承架16的一端固定有敲击锤18，敲击杆17靠近轴承架16的一端固定有横向延伸的延伸轴，延伸轴的端部固定有回转齿轮15；安装配重座1的内壁靠近回转齿轮15处固定有主电机19，且主电机19的输出轴顶端套接有与回转齿轮15互相啮合的半齿轮一21；通过设置的由半齿轮一21带动旋转的回转齿轮15，配合拉簧弹簧的设置，可以在半齿轮一21转动的时候，不断地敲击斜滑槽7的下表面，以辅助悬在斜滑槽7半空中的物体快速滑下至槽底，便于抓取。

参照图1和图9，主电机19的输出轴顶端通过联轴器固定有传动轴杆20，且充气泵3固定在传动轴杆20的端部，且充气泵3包括固定在安装配重座1侧壁的泵体固定座2，泵体固定座2的上表面固定有内设空腔整体呈圆盘形结构的泵外壳，且泵外壳内转动连接有偏心转轮301，偏心转轮301的圆周外壁开有等距离呈中心对称分布的滑槽，且滑槽内均滑动连接有密封刮板302，泵外壳的圆周外壁插接有两个互相对称的过滤进气筒201和出气管202，且出气管202顶端插接在矩形箱下表面的圆孔中，传动轴杆20穿过泵外壳固定在偏心转轮301上；通过设置的偏心转轮301和密封刮板302，可以在使用时，不停的为矩形箱供气。

参照图1-10，矩形箱的内部位于进气管404的下方固定有托杆，且托杆的顶端固定有抵紧弹簧403，抵紧弹簧403的顶端固定有与进气管404管径相适配的半球堵块405，半球堵块405的侧面固定有磁铁块一402，且矩形箱的顶端位于磁铁块一402的上方嵌装有电磁铁6，电磁铁6密封嵌装在矩形箱的顶部，半球堵块405远离磁铁块一402的一侧固定有竖直的导向杆406，托杆上开有与导向杆406直径相适配的滑孔，安装配重座1的上表面开有与电磁铁6外形相适配的矩形槽101，且安装配重座1的上表面靠近电磁铁6处固定有控制器14；电磁铁6的电源通断开关通过信号线与控制器14相连，伺服电机86以及主电机19的控制开关均通过信号线与控制器14相连，通过设置的电磁铁6，可以在使用时，当需要抓取物体的时候，将电磁铁6通电，此时将进气管404管口封堵的半球堵块405被移开，即可向输送管13进行通气，继而将高压气体输送至充气夹爪81位置，使得三个触手开始内卷，从而将物体夹住。

参照图9-10，矩形箱远离托杆的一侧开有安装孔，且安装孔的外侧固定连通有波纹气管5，且波纹气管5的内部固定有复位拉簧407，复位拉簧407的端部固定有弹簧卡板，弹簧卡板远离复位拉簧407的一端固定在安装孔处，复位拉簧407的一端固定在波纹气管5的端部；矩形箱的底部还固定有安全阀401，通过设置的波纹气管5和安全阀401，可以在充气的过程中先将波纹气管5内部通气，确保波纹气管5内始终充满一定压力的气体，待需要抓取的时候打开半球堵块405即可持续的进行放出高压气体，提高抓取时的稳定性。

参照图10，安全阀401包括插接在矩形箱内的阀管，且阀管的顶端管口处固定有拉伸弹簧，拉伸弹簧的底端固定有密封底盖；通过设置的密封底盖和拉伸弹簧，可以在冲入的气体达到一定值时自动泄压。

本装置在使用前，先将待抓取的功率器件芯片倒入安装配重座1上方的斜滑槽7中，通过设置的由半齿轮一21带动旋转的回转齿轮15，配合拉簧弹簧的设置，在半齿轮一21转动的时候，不断地敲击斜滑槽7的下表面，以辅助悬在斜滑槽7半空中的物体快速滑下至槽底，便于抓取，在抓取的时候只需每次控制抓手机构8每次到达同样的位置，物料沿着斜滑槽7可以自动补料，提高了上料效率，配合设置的章鱼爪形结构的充气夹爪81，不仅能够对异形结构的芯片结构进行抓取，而且充气夹爪81本身为软性材料制成，其夹持力度加大也不会对芯片结构造成损伤，提高装配效率和抓取成功率；当需要抓取物体的时候，将电磁铁6通电，此时将进气管404管口封堵的半球堵块405被移开，即可向输送管13进行通气，继而将高压气体输送至充气夹爪81位置，使得三个触手开始内卷，从而将物体夹住；与此同时，矩形箱侧面的波纹气管5和安全阀401的综合设置，在充气的过程中先将波纹气管5内部通气，确保波纹气管5内始终充满一定压力的气体，待需要抓取的时候打开半球堵块405即可持续的进行放出高压气体，提高抓取时的稳定性。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种功率器件芯片用于机床的机械手装置，包括整体呈开口向下的C形结构的安装配重座（1），安装配重座（1）的上表面冲压有向下凹陷的斜滑槽（7），斜滑槽（7）的底部设置有敲击震动装置，所述安装配重座（1）的上表面位于其中一个拐角处通过螺栓固定有机械臂基座（12），所述机械臂基座（12）上转动连接有主机械臂（11），主机械臂（11）的操作端转动连接有旋转连接柱（10），旋转连接柱（10）远离主机械臂（11）的一端设置有抓手机构（8），其特征在于，所述抓手机构（8）包括转动连接在旋转连接柱（10）侧面靠近底端的滑管座（83），滑管座（83）的中间滑动连接有滑动管（82），滑动管（82）的底端设置有充气夹爪（81），充气夹爪（81）呈章鱼爪形结构，滑动管（82）的顶端套接有软管（9），所述安装配重座（1）的下表面设置有充气机构（4），且充气机构（4）包括充气泵（3）以及和充气泵（3）相连通并控制充气泵（3）充气和停止充气的阀门机构，阀门机构包括矩形箱，且矩形箱的上下两端分别开有同轴分布的圆孔，且顶端的圆孔中插接有进气管（404），进气管（404）与软管（9）之间连通有输送管（13）。

2.根据权利要求1所述的一种功率器件芯片用于机床的机械手装置，其特征在于，所述抓手机构（8）还包括开设在旋转连接柱（10）上的转孔（1001），且转孔（1001）中转动连接有圆杆一，圆杆一的端部固定在滑管座（83）的侧面，圆杆一远离滑管座（83）的一端固定有转动齿轮（88），旋转连接柱（10）的侧面靠近转动齿轮（88）的上方开有轴孔，且轴孔中插接有圆杆二，圆杆二的端部固定有与转动齿轮（88）互相啮合的转向齿轮（87），转向齿轮（87）的表面固定有绳槽凸棱。

3.根据权利要求2所述的一种功率器件芯片用于机床的机械手装置，其特征在于，所述绳槽凸棱的圆周外壁套接有防滑拉绳（89），旋转连接柱（10）的侧面与转向齿轮（87）同侧处靠近顶端固定有伺服电机（86），且伺服电机（86）的输出轴顶端固定有卷绳轮，防滑拉绳（89）远离转向齿轮（87）的一端套接在卷绳轮上，旋转连接柱（10）的表面位于转向齿轮（87）和伺服电机（86）之间固定有定滑轮组（810），定滑轮组（810）上设置有两个定滑轮。

4.根据权利要求1所述的一种功率器件芯片用于机床的机械手装置，其特征在于，所述充气夹爪（81）包括三个呈花瓣状的触手，且三个触手的背面均预留有与中心相连通的凸出，三个所述触手相对的一侧靠近端部均预留有防滑棱（85）。

5.根据权利要求4所述的一种功率器件芯片用于机床的机械手装置，其特征在于，所述旋转连接柱（10）远离伺服电机（86）的一侧开有竖直的暗槽，且输送管（13）的一段嵌装于暗槽中，滑动管（82）的圆周外壁靠近顶端固定有环形挡圈（84），且环形挡圈（84）的下表面与滑管座（83）之间固定有复位弹簧（811），滑管座（83）的中间预留有通孔，且通孔的上下两端均开有轴承卡槽，两个轴承卡槽内均嵌装有滑动轴承。

6.根据权利要求1所述的一种功率器件芯片用于机床的机械手装置，其特征在于，所述敲击震动装置包括固定在斜滑槽（7）底部下表面靠近最低处的轴承架（16），且轴承架（16）上铰接有向斜滑槽（7）顶端延伸的敲击杆（17），敲击杆（17）的中间与斜滑槽（7）的下表面之间固定有同一个拉簧弹簧，敲击杆（17）远离轴承架（16）的一端固定有敲击锤（18），敲击杆（17）靠近轴承架（16）的一端固定有横向延伸的延伸轴，延伸轴的端部固定有回转齿轮（15）；安装配重座（1）的内壁靠近回转齿轮（15）处固定有主电机（19），且主电机（19）的输出轴顶端套接有与回转齿轮（15）互相啮合的半齿轮一（21）。

7.根据权利要求6所述的一种功率器件芯片用于机床的机械手装置，其特征在于，所述主电机（19）的输出轴顶端通过联轴器固定有传动轴杆（20），且充气泵（3）固定在传动轴杆（20）的端部，且充气泵（3）包括固定在安装配重座（1）侧壁的泵体固定座（2），泵体固定座（2）的上表面固定有内设空腔整体呈圆盘形结构的泵外壳，且泵外壳内转动连接有偏心转轮（301），偏心转轮（301）的圆周外壁开有等距离呈中心对称分布的滑槽，且滑槽内均滑动连接有密封刮板（302），泵外壳的圆周外壁插接有两个互相对称的过滤进气筒（201）和出气管（202），且出气管（202）顶端插接在矩形箱下表面的圆孔中，传动轴杆（20）穿过泵外壳固定在偏心转轮（301）上。

8.根据权利要求7所述的一种功率器件芯片用于机床的机械手装置，其特征在于，所述矩形箱的内部位于进气管（404）的下方固定有托杆，且托杆的顶端固定有抵紧弹簧（403），抵紧弹簧（403）的顶端固定有与进气管（404）管径相适配的半球堵块（405），半球堵块（405）的侧面固定有磁铁块一（402），且矩形箱的顶端位于磁铁块一（402）的上方嵌装有电磁铁（6），电磁铁（6）密封嵌装在矩形箱的顶部，半球堵块（405）远离磁铁块一（402）的一侧固定有竖直的导向杆（406），托杆上开有与导向杆（406）直径相适配的滑孔，安装配重座（1）的上表面开有与电磁铁（6）外形相适配的矩形槽（101），且安装配重座（1）的上表面靠近电磁铁（6）处固定有控制器（14）；电磁铁（6）的电源通断开关通过信号线与控制器（14）相连，伺服电机（86）以及主电机（19）的控制开关均通过信号线与控制器（14）相连。

9.根据权利要求8所述的一种功率器件芯片用于机床的机械手装置，其特征在于，所述矩形箱远离托杆的一侧开有安装孔，且安装孔的外侧固定连通有波纹气管（5），且波纹气管（5）的内部固定有复位拉簧（407），复位拉簧（407）的端部固定有弹簧卡板，弹簧卡板远离复位拉簧（407）的一端固定在安装孔处，复位拉簧（407）的一端固定在波纹气管（5）的端部；所述矩形箱的底部还固定有安全阀（401）。

10.根据权利要求9所述的一种功率器件芯片用于机床的机械手装置，其特征在于，所述安全阀（401）包括插接在矩形箱内的阀管，且阀管的顶端管口处固定有拉伸弹簧，拉伸弹簧的底端固定有密封底盖；通过设置的密封底盖和拉伸弹簧，能够在冲入的气体达到一定值时自动泄压。