CN116618190B - 一种制备六氟化钨的离心控制系统及控制方法 - Google Patents
一种制备六氟化钨的离心控制系统及控制方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN116618190B CN116618190B CN202310896060.5A CN202310896060A CN116618190B CN 116618190 B CN116618190 B CN 116618190B CN 202310896060 A CN202310896060 A CN 202310896060A CN 116618190 B CN116618190 B CN 116618190B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- tungsten hexafluoride
- gas
- concentration
- stirring paddle
- optimization model
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- NXHILIPIEUBEPD-UHFFFAOYSA-H tungsten hexafluoride Chemical compound F[W](F)(F)(F)(F)F NXHILIPIEUBEPD-UHFFFAOYSA-H 0.000 title claims abstract description 113
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 19
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 61
- 238000003756 stirring Methods 0.000 claims abstract description 40
- 238000005457 optimization Methods 0.000 claims abstract description 36
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 24
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims abstract description 14
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 32
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 claims description 13
- 239000012071 phase Substances 0.000 claims description 13
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 3
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims description 3
- QGHDLJAZIIFENW-UHFFFAOYSA-N 4-[1,1,1,3,3,3-hexafluoro-2-(4-hydroxy-3-prop-2-enylphenyl)propan-2-yl]-2-prop-2-enylphenol Chemical group C1=C(CC=C)C(O)=CC=C1C(C(F)(F)F)(C(F)(F)F)C1=CC=C(O)C(CC=C)=C1 QGHDLJAZIIFENW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- VVRQVWSVLMGPRN-UHFFFAOYSA-N oxotungsten Chemical compound [W]=O VVRQVWSVLMGPRN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims 1
- 229910001930 tungsten oxide Inorganic materials 0.000 claims 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 abstract description 3
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 7
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 4
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 4
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 3
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 3
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000005292 diamagnetic effect Effects 0.000 description 1
- 239000012025 fluorinating agent Substances 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 229910001512 metal fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- QKCGXXHCELUCKW-UHFFFAOYSA-N n-[4-[4-(dinaphthalen-2-ylamino)phenyl]phenyl]-n-naphthalen-2-ylnaphthalen-2-amine Chemical compound C1=CC=CC2=CC(N(C=3C=CC(=CC=3)C=3C=CC(=CC=3)N(C=3C=C4C=CC=CC4=CC=3)C=3C=C4C=CC=CC4=CC=3)C3=CC4=CC=CC=C4C=C3)=CC=C21 QKCGXXHCELUCKW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 239000002685 polymerization catalyst Substances 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N tungsten carbide Chemical compound [W+]#[C-] UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01G—COMPOUNDS CONTAINING METALS NOT COVERED BY SUBCLASSES C01D OR C01F
- C01G41/00—Compounds of tungsten
- C01G41/04—Halides
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B04—CENTRIFUGAL APPARATUS OR MACHINES FOR CARRYING-OUT PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES
- B04B—CENTRIFUGES
- B04B13/00—Control arrangements specially designed for centrifuges; Programme control of centrifuges
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B04—CENTRIFUGAL APPARATUS OR MACHINES FOR CARRYING-OUT PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES
- B04B—CENTRIFUGES
- B04B5/00—Other centrifuges
- B04B5/12—Centrifuges in which rotors other than bowls generate centrifugal effects in stationary containers
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Centrifugal Separators (AREA)
Abstract
本发明公开了一种制备六氟化钨的离心控制系统及控制方法。所述系统包括反应器、低温收集罐、气液分离器、压缩机，所述气液分离器包括控制器，所述控制器包括平衡模型建立模块、综合优化模型建立模块、转换优化模型建立模块、最优控制条件确定模块，所述控制器根据最优控制条件对气液分离器实施控制。本发明以逸散六氟化钨浓度、气液分离器搅拌桨转速作为寻优目标，确立最优控制条件，能够根据实际工况进行调节控制，提高气液分离的效率，并降低了能耗。
Description
技术领域
本发明属于自动控制技术领域，具体涉及一种制备六氟化钨的离心控制系统及控制方法。
背景技术
六氟化钨是唯一能稳定存在的钨的氟化物，其相对分子量为297.84，熔点2.3℃，沸点17.1℃，15 ℃时液体密度3441 kg/m3，气体密度12.7 kg/m3，20 ℃时蒸汽压为112.47kPa。在常温时六氟化钨的分子具有对称的正八面体结构，并具有抗磁性，能溶于多数有机溶剂，使它们着色。六氟化钨是主要用于金属钨化学气相沉积（CVD）工艺的原材料，通过CVD工艺沉积的钨具有低电阻率、对电迁移的高抵抗力以及填充小通孔时优异的平整性。六氟化钨还有许多非电子方面的应用, 例如通过CVD 技术使钨在钢的表面上生成坚硬的碳化钨可用来改善钢的表面性能。它还可用于制造某些钨制部件, 如钨管和坩埚等。此外, 六氟化钨还被广泛用作氟化剂、聚合催化剂及光学材料的原料。
现有技术常用固定床反应器对金属钨与氟气或三氟化氮直接反应的方法来进行六氟化钨的制备。例如，现有技术CN106976913A公开了一种一种六氟化钨的合成方法，是将钨粉与金属氟化物装入反应器中充分混合，在反应条件下通入氟气进行反应合成六氟化钨，未反应完的原料氟气与产物六氟化钨经过冷凝气液分离后，再返回反应器循环反应。
现有技术中，离心分离式气液分离器是运用强旋流产生的离心力场，使密度不同气体和液体的发生相对运动，液体附着在分离壁面上，由于重力作用而汇集到一起，从而进行气液分离。例如现有技术CN212854971U就公开了六氟化钨加工用气液分离器。但是，现有技术的气液分离器对原料氟气与产物六氟化钨进行冷凝气液分离时，其离心速度通常为恒定速度控制，并不会根据实际工况进行调节控制，这使得气液分离的效率较低，并且不利于降低能耗。因此，如何克服现有技术的缺陷，成为本技术领域亟待解决的课题。
发明内容
为克服上述现有技术的不足，本发明提供了一种制备六氟化钨的离心控制系统及控制方法，具体采用如下技术方案：
一种制备六氟化钨的离心控制系统，所述系统包括反应器、低温收集罐、气液分离器、压缩机，所述反应器用于合成六氟化钨，所述反应器排出的气体进入所述低温收集罐，所述低温收集罐排出尾气中未被冷凝的气体通过所述气液分离器进行气液分离，液体六氟化钨再次进入所述低温收集罐，其余气体经所述压缩机增压，再输送至所述反应器内进行反应;
所述气液分离器包括罐体、控制器、搅拌桨、搅拌桨驱动装置、气相出口、液相出口管道、出口六氟化钨浓度传感器、入口管道、入口流量传感器、入口六氟化钨浓度传感器、逸散六氟化钨浓度传感器、转速传感器；
所述罐体的顶部开设有所述气相出口；
所述入口管道包括彼此连通的水平部分和竖直部分，所述竖直部分位于所述罐体的内部，并且该竖直部分的上端开放，上端侧壁开设有多个通孔，所述竖直部分的下端穿出所述罐体的底壁，该下端内部安装所述搅拌桨；
所述搅拌桨与所述搅拌桨驱动装置连接，所述搅拌桨驱动装置用于驱动所述搅拌桨旋转。所述水平部分一端与所述竖直部分的侧壁连通，另一端穿出所述罐体的侧壁，与所述低温收集罐的出口连接；
所述液相出口管道设置在所述罐体的底部，与所述罐体的侧壁连通，用于将逐步冷凝成液体的六氟化钨排出所述气液分离器；
所述出口六氟化钨浓度传感器设置于所述液相出口管道内部，用于检测排出所述气液分离器的液体六氟化钨的浓度；
所述入口流量传感器、入口六氟化钨浓度传感器均设置于所述入口管道内部，分别用于检测进入所述气液分离器的液体六氟化钨的流量和浓度；
所述逸散六氟化钨浓度传感器设置于所述气相出口内部，用于检测逸散六氟化钨浓度；
所述转速传感器设置于所述搅拌桨驱动装置，用于检测所述搅拌桨的转速；
所述控制器连接所述出口六氟化钨浓度传感器、入口流量传感器、入口六氟化钨浓度传感器、逸散六氟化钨浓度传感器、转速传感器，用于接收检测数据；
所述控制器用于控制所述搅拌桨驱动装置以调节所述搅拌桨的转速;
所述控制器包括平衡模型建立模块、综合优化模型建立模块、转换优化模型建立模块、最优控制条件确定模块。
本发明还涉及一种制备六氟化钨的离心控制方法，所述方法用于如上所述的系统，具体包括下列步骤：
S1.建立六氟化钨平衡模型；
S2.基于上述六氟化钨平衡模型，将逸散六氟化钨浓度、转速/>作为寻优目标，建立目标函数，进而建立综合优化模型；
S3.对该综合优化模型进行转换，得到转换优化模型；
S4.对转换优化模型求解，获得最优控制条件；
S5.控制器2根据最优控制条件对气液分离器实施控制。
本发明的技术方案以逸散六氟化钨浓度、气液分离器搅拌桨转速作为寻优目标，确立最优控制条件，能够根据实际工况进行调节控制，提高气液分离的效率，并降低了能耗。
附图说明
图1为本发明的系统结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案，而不能以此来限制本发明的保护范围。应该指出，以下详细说明都是示例性的，旨在对本申请提供进一步的说明。
除非另有指明，本文使用的所有技术和科学术语具有与本申请所属技术领域的普通技术人员通常理解的相同含义。需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。
本发明的实施例1涉及一种制备六氟化钨的离心控制系统，所述系统包括反应器、低温收集罐、气液分离器、压缩机。
所述反应器用于合成六氟化钨，所述反应器排出的气体进入所述低温收集罐冷凝，气体中的六氟化钨在低于其沸点温度条件下逐步冷凝成液体被收集，所述低温收集罐排出尾气中未被冷凝的气体通过所述气液分离器进行气液分离，将液体六氟化钨再次收集，其余气体经所述压缩机增压，再输送至所述反应器内进行反应。
参见附图1所示，所述气液分离器包括罐体1、控制器2、搅拌桨3、搅拌桨驱动装置4、气相出口5、液相出口管道6、出口六氟化钨浓度传感器7、入口管道8、入口流量传感器9、入口六氟化钨浓度传感器10、逸散六氟化钨浓度传感器11、转速传感器12。
所述罐体1的顶部开设有所述气相出口5。所述入口管道8包括彼此连通的水平部分和竖直部分，所述竖直部分位于所述罐体1的内部，并且该竖直部分的上端开放，上端侧壁开设有多个通孔。所述竖直部分的下端穿出所述罐体1的底壁，该下端内部安装所述搅拌桨3，所述搅拌桨3与所述搅拌桨驱动装置4连接，所述搅拌桨驱动装置4用于驱动所述搅拌桨3旋转。所述水平部分一端与所述竖直部分的侧壁连通，另一端穿出所述罐体1的侧壁，与所述低温收集罐的出口连接。
所述液相出口管道6设置在所述罐体1的底部，与所述罐体1的侧壁连通，用于将逐步冷凝成液体的六氟化钨排出所述气液分离器。所述出口六氟化钨浓度传感器7设置于所述液相出口管道6内部，用于检测排出所述气液分离器的液体六氟化钨的浓度。所述入口流量传感器9、入口六氟化钨浓度传感器10均设置于所述入口管道8内部，分别用于检测进入所述气液分离器的液体六氟化钨的流量和浓度。所述逸散六氟化钨浓度传感器11设置于所述气相出口5内部，用于检测逸散六氟化钨浓度。所述转速传感器12设置于所述搅拌桨驱动装置4，用于检测所述搅拌桨3的转速。所述控制器2连接所述出口六氟化钨浓度传感器7、入口流量传感器9、入口六氟化钨浓度传感器10、逸散六氟化钨浓度传感器11、转速传感器12，用于接收检测数据。
所述控制器2用于控制所述搅拌桨驱动装置4以调节所述搅拌桨3的转速。
所述控制器2包括平衡模型建立模块、综合优化模型建立模块、转换优化模型建立模块、最优控制条件确定模块。
所述平衡模型建立模块用于建立六氟化钨平衡模型：
式中，为采样时刻，V为收集六氟化钨的体积，/>为液相出口管道6处测得的出口六氟化钨浓度，/>为入口管道8处测得的流量，/>为入口管道8处测得的入口六氟化钨浓度，K为表征搅拌桨3旋转转速与气液分离效率的关系常数，/>为搅拌桨3的转速，/>为气相出口5处测得的逸散六氟化钨浓度。
所述综合优化模型建立模块用于基于上述六氟化钨平衡模型，将逸散六氟化钨浓度、转速/>作为寻优目标，建立目标函数：
进而建立综合优化模型：
。
所述转换优化模型建立模块用于对该综合优化模型进行转换，得到转换优化模型：
其中，为优化结果，/>为转换中间量，
式中，T为控制参数，且T>0。
所述最优控制条件确定模块用于对转换优化模型求解，获得最优控制条件。
所述控制器2根据最优控制条件对气液分离器实施控制。
本发明的实施例2涉及一种制备六氟化钨的离心控制方法，所述方法包括下列步骤：
S1.建立六氟化钨平衡模型：
式中，为采样时刻，V为收集六氟化钨的体积，/>为液相出口管道6处测得的出口六氟化钨浓度，/>为入口管道8处测得的流量，/>为入口管道8处测得的入口六氟化钨浓度，K为表征搅拌桨3旋转转速与气液分离效率的关系常数，/>为搅拌桨3的转速，/>为气相出口5处测得的逸散六氟化钨浓度。
S2.基于上述六氟化钨平衡模型，将逸散六氟化钨浓度、转速/>作为寻优目标，建立目标函数：
进而建立综合优化模型：
。
S3.对该综合优化模型进行转换，得到转换优化模型：
其中，为优化结果，/>为转换中间量，
式中，T为控制参数，且T>0。
S4.对转换优化模型求解，获得最优控制条件，包括：
S41.使用全局和声算法计算，得到/>，其中k=0；
S42.使用全局和声算法计算，得到/>；
S43.若，则得到最优解/>；否则，执行步骤S42，直到得到最优解/>，其中/>为常数；
S44. 基于最优解，根据所述六氟化钨平衡模型获得最优控制条件。
S5.控制器2根据最优控制条件对气液分离器实施控制。
如上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变形，这些改进和变形也应视为本发明的保护范围。
Claims (8)
1.一种制备六氟化钨的离心控制系统，所述系统包括反应器、低温收集罐、气液分离器、压缩机，所述反应器用于合成六氟化钨，所述反应器排出的气体进入所述低温收集罐，所述低温收集罐排出尾气中未被冷凝的气体通过所述气液分离器进行气液分离，液体六氟化钨再次进入所述低温收集罐，其余气体经所述压缩机增压，再输送至所述反应器内进行反应，其特征在于：
所述气液分离器包括罐体（1）、控制器（2）、搅拌桨（3）、搅拌桨驱动装置（4）、气相出口（5）、液相出口管道（6）、出口六氟化钨浓度传感器（7）、入口管道（8）、入口流量传感器（9）、入口六氟化钨浓度传感器（10）、逸散六氟化钨浓度传感器（11）、转速传感器（12）；
所述罐体（1）的顶部开设有所述气相出口（5）；
所述入口管道（8）包括彼此连通的水平部分和竖直部分，所述竖直部分位于所述罐体（1）的内部，并且该竖直部分的上端开放，上端侧壁开设有多个通孔，所述竖直部分的下端穿出所述罐体（1）的底壁，该下端内部安装所述搅拌桨（3）；
所述搅拌桨（3）与所述搅拌桨驱动装置（4）连接，所述搅拌桨驱动装置（4）用于驱动所述搅拌桨（3）旋转；所述水平部分一端与所述竖直部分的侧壁连通，另一端穿出所述罐体（1）的侧壁，与所述低温收集罐的出口连接；
所述液相出口管道（6）设置在所述罐体（1）的底部，与所述罐体（1）的侧壁连通，用于将逐步冷凝成液体的六氟化钨排出所述气液分离器；
所述出口六氟化钨浓度传感器（7）设置于所述液相出口管道（6）内部，用于检测排出所述气液分离器的液体六氟化钨的浓度；
所述入口流量传感器（9）、入口六氟化钨浓度传感器（10）均设置于所述入口管道（8）内部，分别用于检测进入所述气液分离器的液体六氟化钨的流量和浓度；
所述逸散六氟化钨浓度传感器（11）设置于所述气相出口（5）内部，用于检测逸散六氟化钨浓度；
所述转速传感器（12）设置于所述搅拌桨驱动装置（4），用于检测所述搅拌桨（3）的转速；
所述控制器（2）连接所述出口六氟化钨浓度传感器（7）、入口流量传感器（9）、入口六氟化钨浓度传感器（10）、逸散六氟化钨浓度传感器（11）、转速传感器（12），用于接收检测数据；
所述控制器（2）用于控制所述搅拌桨驱动装置(4)以调节所述搅拌桨(3)的转速;
所述控制器（2）包括平衡模型建立模块、综合优化模型建立模块、转换优化模型建立模块、最优控制条件确定模块；所述平衡模型建立模块用于建立六氟化钨平衡模型：
；
式中，为采样时刻，V为收集六氟化钨的体积，/>为液相出口管道（6）处测得的出口六氟化钨浓度，/>为入口管道（8）处测得的流量，/>为入口管道（8）处测得的入口六氟化钨浓度，K为表征搅拌桨（3）旋转转速与气液分离效率的关系常数，/>为搅拌桨（3）的转速，/>为气相出口（5）处测得的逸散六氟化钨浓度。
2.根据权利要求1所述的一种制备六氟化钨的离心控制系统，其特征在于，所述综合优化模型建立模块用于基于上述六氟化钨平衡模型，将逸散六氟化钨浓度、转速/>作为寻优目标，建立目标函数：
；
；
进而建立综合优化模型：
。
3.根据权利要求1所述的一种制备六氟化钨的离心控制系统，其特征在于，所述转换优化模型建立模块用于对该综合优化模型进行转换，得到转换优化模型：
；
其中，为优化结果，/>为转换中间量，
；
式中，T为控制参数，且T>0。
4.根据权利要求1所述的一种制备六氟化钨的离心控制系统，其特征在于，所述最优控制条件确定模块用于对转换优化模型求解，获得最优控制条件。
5.根据权利要求4所述的一种制备六氟化钨的离心控制系统，其特征在于，所述控制器（2）根据最优控制条件对气液分离器实施控制。
6.一种制备六氟化钨的离心控制方法，所述方法用于如权利要求1-5任意一项所述的制备六氟化钨的离心控制系统，其特征在于，具体包括下列步骤：
S1.建立六氟化钨平衡模型, 所述六氟化钨平衡模型为：
；
式中，为采样时刻，V为收集六氟化钨的体积，/>为液相出口管道（6）处测得的出口六氟化钨浓度，/>为入口管道（8）处测得的流量，/>为入口管道（8）处测得的入口六氟化钨浓度，K为表征搅拌桨（3）旋转转速与气液分离效率的关系常数，/>为搅拌桨（3）的转速，/>为气相出口（5）处测得的逸散六氟化钨浓度；
S2.基于上述六氟化钨平衡模型，将逸散六氟化钨浓度、转速/>作为寻优目标，建立目标函数，进而建立综合优化模型；
S3.对该综合优化模型进行转换，得到转换优化模型；
S4.对转换优化模型求解，获得最优控制条件；
S5.控制器（2）根据最优控制条件对气液分离器实施控制。
7.根据权利要求6所述的一种制备六氟化钨的离心控制方法，其特征在于，基于上述六氟化钨平衡模型，将逸散六氟化钨浓度、转速/>作为寻优目标，建立目标函数，具体包括：
；
进而建立综合优化模型，具体包括：
；
对该综合优化模型进行转换，得到转换优化模型，具体包括：
；
其中，为优化结果，/>为转换中间量，
；；
式中，T为控制参数，且T>0。
8.根据权利要求6所述的一种制备六氟化钨的离心控制方法，其特征在于，所述对转换优化模型求解，获得最优控制条件，包括：
S41.使用全局和声算法计算，得到/>，其中k=0；
S42.使用全局和声算法计算，得到/>；
S43.若，则得到最优解/>；否则，执行步骤S42，直到得到最优解/>，其中/>为常数；
S44. 基于最优解，根据所述六氟化钨平衡模型获得最优控制条件；
并且，
所述控制器（2）根据最优控制条件对气液分离器实施控制。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202310896060.5A CN116618190B (zh) | 2023-07-21 | 2023-07-21 | 一种制备六氟化钨的离心控制系统及控制方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202310896060.5A CN116618190B (zh) | 2023-07-21 | 2023-07-21 | 一种制备六氟化钨的离心控制系统及控制方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN116618190A CN116618190A (zh) | 2023-08-22 |
| CN116618190B true CN116618190B (zh) | 2023-10-03 |
Family
ID=87602887
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202310896060.5A Active CN116618190B (zh) | 2023-07-21 | 2023-07-21 | 一种制备六氟化钨的离心控制系统及控制方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN116618190B (zh) |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TW442842B (en) * | 1996-12-31 | 2001-06-23 | Atmi Ecosys Corp | Effluent gas stream treatment system for oxidation treatment of semiconductor manufacturing effluent gases |
| RU2310608C2 (ru) * | 2003-03-28 | 2007-11-20 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Сибирский химический комбинат" Министерства Российской Федерации по атомной энергии | Способ получения гексафторида вольфрама |
| CN101460782A (zh) * | 2004-11-18 | 2009-06-17 | 应用材料股份有限公司 | 具有安全、监测及控制特征的热衰减反应装置 |
| CN204116074U (zh) * | 2014-10-15 | 2015-01-21 | 国网重庆市电力公司电力科学研究院 | 电气设备中六氟化硫固体分解产物取样装置 |
| CN106976913A (zh) * | 2017-05-19 | 2017-07-25 | 江苏和福特种气体有限公司 | 一种六氟化钨的合成方法 |
| RU2016121202A (ru) * | 2016-05-30 | 2017-12-05 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский Томский государственный университет" (ТГУ, НИ ТГУ) | Аддитивный способ получения сложных по пространственной конфигурации вольфрамовых изделий и устройство для его осуществления |
| CN109652816A (zh) * | 2019-01-08 | 2019-04-19 | 广东金光高科股份有限公司 | 金属钨做阳极电解熔融盐合成高纯六氟化钨 |
| CN212854971U (zh) * | 2020-07-06 | 2021-04-02 | 厚成新材料(南通)有限公司 | 一种安全高效的六氟化钨加工用气液分离器 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20100046708A (ko) * | 2008-10-28 | 2010-05-07 | (주)후성 | 유동화 반응기를 이용하는 육불화텅스텐의 제조방법 및 그 장치 |
| US20140196664A1 (en) * | 2013-01-17 | 2014-07-17 | Air Products And Chemicals, Inc. | System and method for tungsten hexafluoride recovery and reuse |
| WO2019123771A1 (ja) * | 2017-12-19 | 2019-06-27 | セントラル硝子株式会社 | 六フッ化タングステンの製造方法 |
| WO2020036026A1 (ja) * | 2018-08-17 | 2020-02-20 | セントラル硝子株式会社 | 六フッ化タングステンの製造方法 |
| WO2020196248A1 (ja) * | 2019-03-25 | 2020-10-01 | セントラル硝子株式会社 | 六フッ化タングステンの製造方法、その精製方法、および六フッ化タングステン |
-
2023
- 2023-07-21 CN CN202310896060.5A patent/CN116618190B/zh active Active
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TW442842B (en) * | 1996-12-31 | 2001-06-23 | Atmi Ecosys Corp | Effluent gas stream treatment system for oxidation treatment of semiconductor manufacturing effluent gases |
| RU2310608C2 (ru) * | 2003-03-28 | 2007-11-20 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Сибирский химический комбинат" Министерства Российской Федерации по атомной энергии | Способ получения гексафторида вольфрама |
| CN101460782A (zh) * | 2004-11-18 | 2009-06-17 | 应用材料股份有限公司 | 具有安全、监测及控制特征的热衰减反应装置 |
| CN204116074U (zh) * | 2014-10-15 | 2015-01-21 | 国网重庆市电力公司电力科学研究院 | 电气设备中六氟化硫固体分解产物取样装置 |
| RU2016121202A (ru) * | 2016-05-30 | 2017-12-05 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский Томский государственный университет" (ТГУ, НИ ТГУ) | Аддитивный способ получения сложных по пространственной конфигурации вольфрамовых изделий и устройство для его осуществления |
| CN106976913A (zh) * | 2017-05-19 | 2017-07-25 | 江苏和福特种气体有限公司 | 一种六氟化钨的合成方法 |
| CN109652816A (zh) * | 2019-01-08 | 2019-04-19 | 广东金光高科股份有限公司 | 金属钨做阳极电解熔融盐合成高纯六氟化钨 |
| CN212854971U (zh) * | 2020-07-06 | 2021-04-02 | 厚成新材料(南通)有限公司 | 一种安全高效的六氟化钨加工用气液分离器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN116618190A (zh) | 2023-08-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US11440805B2 (en) | System and method for producing silicon-containing product by utilizing silicon mud byproduct of cutting silicon material with diamond wire | |
| CN103897080B (zh) | 高等规聚丁烯的工业化生产方法及实施该方法的装置 | |
| BR112014013764B1 (pt) | Processo para a produção de polietileno bimodal na presença desse sistema de catalisador | |
| US9139442B2 (en) | Method for producing chloropolysilane and fluidized-bed reactor | |
| CN116618190B (zh) | 一种制备六氟化钨的离心控制系统及控制方法 | |
| CN108440392B (zh) | 一种合成2，2’-联吡啶的连续化生产装置及生产方法 | |
| CN109942536A (zh) | 一种反应精馏制备高纯度氯代碳酸乙烯酯的方法 | |
| EP2336201A1 (en) | Polyolefin manufacturing process | |
| CN101020728A (zh) | 高全同聚丁烯－1的本体沉淀合成方法 | |
| CN101407320B (zh) | 一种批量制备纳米碳纤维的立式反应装置 | |
| CN114057201B (zh) | 一种制备粉体氧化亚硅的装置及方法 | |
| CN105111100B (zh) | 环己酮肟的小试连续生产系统 | |
| CN109081778A (zh) | 一种酰氯产品生产系统及工艺 | |
| CN212864144U (zh) | 一种用于精硒脱除杂质金属碲的试验室高效精炼装置 | |
| CN109078598A (zh) | 聚酯多元醇合成系统及合成方法 | |
| CN114524413A (zh) | 一种制备锗烷的系统及其制备方法 | |
| JPH09268005A (ja) | 六フッ化リン酸リチウムの製造方法及びその製造装置 | |
| CN104084102B (zh) | 一种实现无水无氧操作的方法以及应用该方法的甲基环戊二烯基锰的环锰反应生产工艺 | |
| KR101101972B1 (ko) | 실란 제조용 수직형 반응기 및 이를 이용한 실란의 연속적 회수방법 | |
| CN104326443A (zh) | 一种五氟化碘的制备方法及生产设备 | |
| CN210104042U (zh) | 高纯砷氯化装置 | |
| CN1069652C (zh) | 丙烯聚合方法及聚合反应器 | |
| JP5440788B2 (ja) | フロー型反応器を用いたアルミノキサン組成物の製造方法 | |
| CN216351970U (zh) | 一种前驱体连续合成中的在线氨浓度控制系统 | |
| CN215464291U (zh) | 一种用于连续生产有机硅的反应塔 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |