CN116575109A - 一种红外非线性材料BaGa4Se7的单晶生长方法 - Google Patents
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- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 16
- 238000002109 crystal growth method Methods 0.000 title claims abstract description 11
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 126
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 59
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims abstract description 35
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 35
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 35
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 33
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims abstract description 31
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims abstract description 30
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 18
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims abstract description 18
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 claims abstract description 18
- 238000011049 filling Methods 0.000 claims abstract description 12
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 12
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 11
- 238000005303 weighing Methods 0.000 claims abstract description 11
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 238000000227 grinding Methods 0.000 claims abstract description 5
- 238000011068 loading method Methods 0.000 claims abstract description 5
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 29
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 29
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims description 23
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 claims description 17
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 claims description 17
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 14
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 12
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 12
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 11
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 9
- 239000004570 mortar (masonry) Substances 0.000 claims description 7
- 238000002791 soaking Methods 0.000 claims description 7
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 claims description 4
- 239000010959 steel Substances 0.000 claims description 4
- 238000003756 stirring Methods 0.000 claims description 4
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 4
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 3
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 3
- RECVMTHOQWMYFX-UHFFFAOYSA-N oxygen(1+) dihydride Chemical compound [OH2+] RECVMTHOQWMYFX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 claims description 2
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 abstract description 5
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 abstract description 3
- 238000004880 explosion Methods 0.000 abstract description 2
- 238000000197 pyrolysis Methods 0.000 abstract description 2
- 239000011669 selenium Substances 0.000 description 38
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 22
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 10
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 7
- 239000000306 component Substances 0.000 description 5
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 4
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 4
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 4
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 3
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 3
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 2
- 238000002083 X-ray spectrum Methods 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N Selenium Chemical compound [Se] BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000008358 core component Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000003745 diagnosis Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B11/00—Single-crystal growth by normal freezing or freezing under temperature gradient, e.g. Bridgman-Stockbarger method
- C30B11/006—Controlling or regulating
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B11/00—Single-crystal growth by normal freezing or freezing under temperature gradient, e.g. Bridgman-Stockbarger method
- C30B11/003—Heating or cooling of the melt or the crystallised material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B27/00—Single-crystal growth under a protective fluid
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B28/00—Production of homogeneous polycrystalline material with defined structure
- C30B28/04—Production of homogeneous polycrystalline material with defined structure from liquids
- C30B28/06—Production of homogeneous polycrystalline material with defined structure from liquids by normal freezing or freezing under temperature gradient
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
- C30B29/10—Inorganic compounds or compositions
- C30B29/46—Sulfur-, selenium- or tellurium-containing compounds
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/35—Non-linear optics
- G02F1/355—Non-linear optics characterised by the materials used
- G02F1/3551—Crystals
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
本发明公开一种红外非线性材料BaGa4Se7的单晶生长方法,包括合成坩埚准备,按化学计量比称取单质Ba,Ga和Se元素,并另外再富Se,置入合成坩埚;合成坩埚密封,将合成坩埚放入镍基高压合成炉中,合成多晶原料;生长坩埚准备,生长坩埚底部带有籽晶袋;选择特定晶向的BaGa4Se7晶块加工成籽晶,装入籽晶袋;将多晶原料,磨碎,装入生长坩埚;生长坩埚密封;生长坩埚置于生长炉中;采用坩埚下降方式进行单晶生长;冷却,放压并取出晶棒。本发明通过向生长坩埚内充入适量惰性气体,抑制BGSe化合物高温分解、组分偏离;通过向生长坩埚外部充压平衡坩埚内部蒸气高压,避免石英坩埚高压炸裂,安全制备高品质BGSe单晶。
Description
技术领域
本发明涉及一种红外非线性材料BaGa4Se7的单晶生长方法,属于无机非金属晶体生长技术领域。
背景技术
3-5,8-12μm波段是两个重要的“大气窗口”,同时覆盖了多种分子的吸收特征指纹(Fingerprint)谱线。该波段激光在环境监测、医疗诊断以及红外对抗等领域均有重要应用。通过光学非线性频率变换技术(倍频SHG、和频SFG、差频DFG、参量振荡OPO等)可以输出中长波红外激光,其中红外非线性晶体是核心部件。
BaGa4Se7(硒镓钡,简写BGSe)是一种新型的红外非线性晶体。它具有(1)透光波段宽(0.47μm-18μm);(2)抗损伤阈值高(570MW/cm2,1.06μm);(3)双折射适宜(0.07-0.11,满足1-2μm泵浦相位匹配条件)等优点。2μm泵浦下能实现非临界相位匹配(NCPM),通过光参量产生(OPG)与光参量放大(OPA)等非线性光学频率变换技术,可输出3-5μm、8-12μm中长波红外激光,极具应用前景。
国内外目前主要采用布里奇曼法(VB)或水平温度梯度冷凝法(HGF)生长BGSe晶体。2012年,俄罗斯国立库拜大学采用布里奇曼法首次生长出BGSe晶体,并初步拟合出晶体的色散方程;2018年,美国BAE system公司采用水平温度梯度冷凝法生长25×15×150mm3晶体。2016年,中科院理化所报道采用垂直布里奇曼法生长BGSe晶体。由于Se高温挥发、高蒸气压,布里奇曼法(VB)或水平温度梯度冷凝法(HGF)等方法存在化合物高温分解,导致晶体化学组分偏离,引入高密度缺陷,难以获得高品质晶体。根据化学反应平衡方程、道尔顿分压定律等理论,BGSe晶体熔点附近分解气体计量系数差正值条件下,平衡常数受充压压强影响较大,即化合物分解程度随充压压强的增加而降低。基于此,我们探索出一种红外非线性材料BGSe的单晶生长方法。
发明内容
本发明目的在于:提供一种红外非线性材料BaGa4Se7的单晶生长方法,它是通过在生长坩埚内充入适量惰性气体,抑制化合物高温分解;通过外部充压平衡坩埚内部蒸气高压,安全制备高品质BGSe单晶。
本发明中,所述的“高纯”指的是纯度99.9%以上。
本发明的技术方案如下:
一种红外非线性材料BaGa4Se7的单晶生长方法,包括如下步骤:
(1)合成坩埚准备:将石英材质的合成坩埚,去水离子清洗,烘干并内壁镀碳;
(2)单质原料称取:采用高纯单质Ba,Ga和Se元素,按化学计量比1:4:7称60-300g,并另外再富Se,置入合成坩埚,其中Se置于一端,Ba、Ga置于另一端;
(3)合成坩埚密封:将合成坩埚接入真空排气台,抽真空,密封;
(4)多晶原料合成:将合成坩埚放入镍基合金高压合成炉中,合成炉分为两个温区,Se位于第一温区,Ba、Ga位于第二温区;多晶合成控温程序如下:先将第一温区以50~100℃/h从室温升至650-750℃并恒温,同时将第二温区以50~100℃/h从室温升至1030-1060℃,并恒温;将第一温区以100~200℃/h升温至1040-1070℃;第一温区和第二温区共同恒温2-4小时,然后以50~100℃/h同步降温至室温,得到多晶原料;
(5)生长坩埚准备:将石英材质生长坩埚,去水离子清洗,烘干并内壁镀碳;生长坩埚底部带有籽晶袋;
(6)定向籽晶加工:选择定向BaGa4Se7晶块,加工成籽晶,装入籽晶袋;
(7)生长原料封装:将多晶原料从合成坩埚中取出,在研钵中磨碎并搅拌均匀,装入生长坩埚;
(8)生长坩埚密封:生长坩埚接入排气台,先抽真空再充入3-5atm高纯Ar气体后密封;将密封生长坩埚放入石英外套管中,再将石英外套管固定于单晶生长炉的梯形托块上,梯形托块固定于单晶生长炉升降电机的升降杆上;密封单晶生长炉的不锈钢炉壳上方的密封法兰B,单晶生长炉的炉腔B由第二连接管抽真空并充高纯Ar气,平衡生长坩埚内蒸气压;
(9)单晶生长:单晶生长炉分为三温区,高温区、梯度区和隔热区;单晶生长控温程序如下:以50~100℃/h将高温区温度升温至1030-1060℃,低温区至980-1010℃;调节高温区、梯度区温度以及生长坩埚位置,使梯度区温度保持10-20℃/cm,使籽晶部分熔化,恒温浸泡12-24小时;采用坩埚下降方式进行单晶生长,速率5-15mm/d;
(10)降温冷却:晶体生长完成后,整炉以10-30℃/h冷却至30℃,放压并取出晶棒。
进一步地,步骤(2)中,所述另外再富Se是指另外再添加Se 0.1mol、0.11mol、0.12mol、0.13mol、0.14mol、0.15mol、0.16mol、0.17mol、0.18mol、0.19mol、0.2mol、0.25mol或0.3mol。
进一步地,步骤(4)中,镍基合金高压合成炉,充入15~20atm高纯Ar气(例如15atm、16atm、17atm、18atm、19atm或20atm高纯Ar气)。
进一步地,步骤(8)中,单晶生长炉的炉腔B由第二连接管抽真空并充入15-22atm高纯Ar气。例如,单晶生长炉的炉腔B由第二连接管抽真空并充入15atm、16atm、17atm、18atm、19atm、20atm、21atm或22atm高纯Ar气。
进一步地,步骤(4)中,镍基合金高压合成炉,充入不低于15atm高纯Ar气。
具体地,本发明提供的一种红外非线性BGSe单晶生长的方法,其步骤如下:
1.合成坩埚准备。尺寸:φ(10-30)×(230-260)mm3,石英材质,去水离子清洗,烘干并内壁镀碳。
2.单质原料称取。采用高纯单质Ba,Ga,Se元素,按化学计量比1:4:7称60-300g,并富Se 0.1~0.3%mol,置入合成坩埚,其中Se置于一端,Ba、Ga置于另一端(图1)。
3.合成坩埚密封。将合成坩埚接入真空排气台,抽真空,氢氧焰密封。
4.多晶原料合成。将合成坩埚放入镍基合金高压合成炉2中,(见图1),合成炉分为两个温区,Se一端置于温区1,Ba、Ga置于温区2。合成炉膛由第一连接管8抽真空并充入不低于15atm高纯Ar气,充气完毕后旋转气压阀门A7密闭第一连接管8。多晶合成控温程序如下:先将温区1以50~100℃/h从室温升至650-750℃并恒温,同时将温区2以50~100℃/h从室温升至1030-1060℃,并恒温。将温区1以100~200℃/h升温至1040-1070℃;温区1、2共同恒温2-4小时,然后以50~100℃/h同步降温至室温,放压并取出合成坩埚。
5.生长坩埚准备。尺寸:φ(10-30)×(300-400)mm3,石英材质,去水离子清洗,烘干并内壁镀碳。生长坩埚底部带有籽晶袋,内径φ(5-8)mm。
6.定向籽晶加工。选择定向BaGa4Se7晶块,加工成籽晶,装入籽晶袋。
7.生长原料封装。将合成多晶原料从合成坩埚中取出,称取适量在研钵中磨碎并搅拌均匀,装入生长坩埚。
8.生长坩埚密封。生长坩埚接入排气台,先抽真空再充入3-5atm高纯Ar气体后密封。将密封生长坩埚放入石英外套管中(见图3(b)),再将石英外套管固定于梯形托块112上,梯形托块112固定于单晶生长炉升降电机115的升降杆上。密封不锈钢炉壳17上方的密封法兰B18,炉腔B由第二连接管111抽真空并充高纯Ar气,平衡生长坩埚内蒸气压,充压压强不低于生长坩埚内蒸气压强,一般20atm左右。旋转气压阀门B19密闭第二连接管111。
9.单晶生长。单晶生长炉分为三温区,高温区、梯度区和隔热区。单晶生长控温程序如下:以50~100℃/h将高温区温度升温至1030-1060℃,低温区至980-1010℃,隔热区由于隔热板114作用,温区略高室温。微调调高温区、梯度区温度以及生长坩埚位置,使梯度区温度保持10-20℃/cm,使籽晶部分熔化,恒温浸泡12-24小时。采用坩埚下降方式进行单晶生长,速率5-15mm/d。
10.降温冷却。晶体生长完成后,整炉以10-30℃/h缓慢冷却至30℃,放压并取出晶棒。
采用上述方法可获得BGSe晶体。调节生长参数(如调整配料量、采用合适尺寸坩埚、以及调整生长周期等),则可获得所需尺寸单晶。
本发明BGSe单晶的一种生长方法具有如下效果:
本发明实现了高品质BGSe单晶的生长。本生长方法设计了合成、生长技术方案以及单晶生长炉、探索了温控程序及参数,通过向生长坩埚内充入适量惰性气体,抑制BGSe化合物高温分解、组分偏离;通过向生长坩埚外部充压平衡坩埚内部蒸气高压,避免石英坩埚高压炸裂,安全制备高品质BGSe单晶。
附图说明
图1是本发明中多晶合成炉体及坩埚示意图;其中1-合成坩埚,2-镍基合金炉膛,3-热电阻丝A,4-合成炉外壳,5-密封法兰A,6-压力表A,7-气压阀门A,8-第一连接管。
图2是BGSe粉末X射线谱图。上图实验测试图谱,下图理论模拟图谱。
图3(a)为本发明中单晶生长的温场分布示意图;
图3(b)为本发明中单晶生长的炉体及坩埚示意图,其中11-籽晶,12-生长坩埚,13-高温熔体,14-石英外套管,15-热电阻丝B,16-炉壁,17-不锈钢炉壳,18-密封法兰B,19-气压阀门B,110-压力表B,111-第二连接管,112-梯形托块,113-支撑杆,114-隔热板,115-升降电机,116-电源和热偶线组,117-隔热腔区;
图4是生长BGSe晶棒;
图5制备BGSe晶体的红外透过率曲线。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本发明进行详细说明。
如图1所示,多晶合成炉体包括镍基合金炉膛2,镍基合金炉膛2外部套有合成炉外壳4,所述镍基合金炉膛2外部均匀缠绕有热电阻丝A3。热电阻丝A3位于镍基合金炉膛2和合成炉外壳4之间空腔。所述空腔内部有隔板,将所述空腔分成两个加热温区,即温区1和温区2。密封法兰A5打开,合成坩埚1可置入镍基合金炉膛2内部。合成坩埚1的一端放置Se,并且位于温区1中。合成坩埚1的另一端放置Ba、Ga,并且位于温区2中,密封法兰A5关闭,密封所述镍基合金炉膛2,所述镍基合金炉膛2另一端无开口。所述炉膛密封法兰A5附近出口设置有压力表A6。所述炉膛出口与第一连接管8相连,所述第一连接管8上设置有气压阀门A7。第一连接管8连接高纯Ar气钢瓶。
图3(b)为本发明中单晶生长炉的结构及坩埚示意图,如图3(b)所示,单晶生长炉包括不锈钢炉壳17和炉壁16。不锈钢炉壳17为圆柱形,不锈钢炉壳17内侧设置有炉壁16。炉壁16为圆柱形,炉壁16内部的空腔为炉腔B。炉壁16内部环绕贴附有热电阻丝B15。生长坩埚12为一体化结构,从上到下分为三段,即第一段、第二段和第三段。第一段和第三段均为圆柱形,且第一段的柱形直径大于第三段的柱形直径。第二段为锥形平滑过渡段。第三段为籽晶袋。籽晶11置于生长坩埚12的第三段中,生长坩埚12的第一段和第二段中盛放高温熔体13。生长坩埚12置于石英外套管14内部。炉腔B的下部设置隔热板114,将所述的炉腔B分成两部分:隔热腔区117和非隔热腔区。隔热腔区117内置有升降电机115。电源和热偶线组116将电源线和热偶线引入不锈钢炉壳17内部。升降电机115上连接有支撑杆113,所述支撑杆113穿过所述隔热板114并伸入到非隔热腔区。支撑杆113为升降杆。所述支撑杆113上放置有梯形托块112,石英外套管14位于梯形托块112上。不锈钢炉壳17顶部设置有密封法兰B18。密封法兰B18上连接有压力表B110和第二连接管111,所述第二连接管111连接高纯Ar气钢瓶。所述第二连接管111上设置有气压阀门B19。所述高温熔体13为熔融态的多晶原料。
本发明提供的一种红外非线性材料BaGa4Se7的单晶生长方法,其步骤如下:
1.合成坩埚准备。尺寸:φ(10-30)×(230-260)mm3,石英材质,去水离子清洗,烘干并内壁镀碳。
2.单质原料称取。采用高纯单质Ba,Ga,Se元素,按化学计量比1:4:7称60-300g,并富Se 0.1~0.3%mol,置入合成坩埚,其中Se置于一端,Ba、Ga置于另一端(图1)。
3.合成坩埚密封。将合成坩埚接入真空排气台,抽真空,氢氧焰密封。
4.多晶原料合成。将合成坩埚放入镍基合金高压合成炉的镍基合金炉膛2中,(见图1),合成炉分为两个温区,Se一端置于温区1,Ba、Ga置于温区2。镍基合金炉膛2由第一连接管8抽真空并充入不低于15atm高纯Ar气,充气完毕后旋转气压阀门A7密闭第一连接管8。多晶合成控温程序如下:先将温区1以50~100℃/h从室温升至650-750℃并恒温,同时将温区2以50~100℃/h从室温升至1030-1060℃,并恒温。将温区1以100~200℃/h升温至1040-1070℃;温区1、2共同恒温2-4小时,然后以50~100℃/h同步降温至室温,放压并取出合成坩埚。
5.生长坩埚准备。尺寸:φ(10-30)×(300-400)mm3,石英材质,去水离子清洗,烘干并内壁镀碳。生长坩埚12底部带有籽晶袋,内径φ(5-8)mm。
6.定向籽晶加工。选择特定晶向的BaGa4Se7晶块,加工成籽晶,装入籽晶袋。
7.生长原料封装。将合成多晶原料从合成坩埚中取出,称取适量在研钵中磨碎并搅拌均匀,装入生长坩埚。
8.生长坩埚密封。生长坩埚12接入排气台,先抽真空再充入3-5atm高纯Ar气体后密封。将密封生长坩埚12放入石英外套管14中(见图3(b)),再将石英外套管14固定于梯形托块112上,梯形托块112固定于单晶生长炉升降电机115的升降杆上。密封不锈钢炉壳17上方的密封法兰B18,炉腔B由第二连接管111抽真空并充高纯Ar气,平衡生长坩埚12内蒸气压,充压压强不低于生长坩埚12内蒸气压强,一般20atm左右。旋转气压阀门B19密闭第二连接管111。
9.单晶生长。如图3(a)所示,单晶生长炉依次分为三温区,高温熔体区、生长梯度区和隔热区。单晶生长控温程序如下:以50~100℃/h将高温熔体区温度升温至1030-1060℃,生长梯度区至980-1010℃,隔热区由于隔热板114作用,温区略高室温。微调调高温区、梯度区温度以及生长坩埚12位置,使梯度区温度保持10-20℃/cm,使籽晶部分熔化,恒温浸泡12-24小时。采用坩埚下降方式进行单晶生长,速率5-15mm/d。
10.降温冷却。晶体生长完成后,整炉以10-30℃/h缓慢冷却至30℃,放压并取出晶棒。
采用上述方法可获得BGSe晶体。调节生长参数(如调整配料量、采用合适尺寸坩埚、以及调整生长周期等),则可获得所需尺寸单晶。
实施例1
一种红外非线性材料BaGa4Se7的单晶生长方法,所述方法为内外加压平衡、抑制组分分解的BGSe单晶生长方法:
采用图1所示的装置,准备φ30×250mm3石英坩埚,去水离子清洗,烘干并内壁镀碳。采用单质Ba(99.9%),Ga(99.9999%),Se(99.9999%)元素,按BaGa4Se7化学计量比称共280g,并另外再富(这里“富”是指“过量”)Se 0.2mol,置入合成坩埚1,其中,Se置于一端,Ba、Ga置于另一端。将合成坩埚1接入真空排气台,抽真空,氢氧焰密封。将合成坩埚1放入镍基合金高压合成炉中,先将温区1以50℃/h从室温升至750℃并恒温,同时将温区2以50℃/h从室温升至1060℃,并恒温。将温区1以100℃/h升温至1070℃;温区1、2共同恒温4小时,然后以50℃/h速率同步降温至室温,得到合成多晶原料。
采用图3所示的装置,准备φ30×350mm3石英坩埚,去水离子清洗,烘干并内壁镀碳。生长坩埚籽晶袋内径φ8mm。加工<001>方向BGSe(BaGa4Se7)籽晶约10.4克并装入籽晶袋。将合成多晶原料取出,研钵磨碎并搅拌均匀,装入生长坩埚12。将生长坩埚12接入排气台,先抽真空再充入5atm高纯Ar(纯度99.9999%)气体后密封。将密封生长坩埚12放入石英外套管14中,再将石英外套管14固定于梯形托块112上,梯形托块112固定于单晶生长炉升降电机115的升降杆上。密封不锈钢炉壳17上方的密封法兰B18,炉腔B由第二连接管111抽真空并充入21atm高纯Ar气,平衡生长坩埚12内蒸气压,旋转气压阀门B19密闭第二连接管111。
以50℃/h将高温区温度升温至1060℃,生长梯度区至1010℃,隔热区由于隔热板114作用,温区略高室温。微调调高温区、梯度区温度以及生长坩埚12位置,使梯度区温度保持10℃/cm,使籽晶部分熔化,恒温浸泡24小时。采用坩埚下降方式进行单晶生长,坩埚下降速率5mm/d。
10.降温冷却。晶体生长完成后,整炉以10℃/h缓慢冷却至30℃,放压并取出晶棒。
图2是合成多晶粉末的X射线谱图。该衍射谱与理论模拟吻合,没有杂峰出现,为单相高纯多晶。图4是本实施例生长BGSe晶棒及元件;图5晶体的红外透过率曲线,晶体红外透光性良好,在2500cm-1(4μm)附近透过率为69.0%,接近透过极限69.7%。
实施例2
一种红外非线性材料BaGa4Se7的单晶生长方法,所述方法为内外加压平衡、抑制组分分解的BGSe单晶生长方法:
采用图1所示的装置,准备φ20×250mm3石英坩埚,去水离子清洗,烘干并内壁镀碳。采用单质Ba(99.9%),Ga(99.9999%),Se(99.9999%)元素,按化学计量比称共170g,并另外再富(这里“富”是指“过量”)Se 0.2mol,置入合成坩埚1,其中,Se置于一端,Ba、Ga置于另一端。将合成坩埚1接入真空排气台,抽真空,氢氧焰密封。将合成坩埚1放入镍基合金高压合成炉中,先将温区1以75℃/h从室温升至700℃并恒温,同时将温区2以75℃/h从室温升至1045℃,并恒温。将温区1以150℃/h升温至1065℃;温区1、2共同恒温3小时,然后以75℃/h速率同步降温至室温,得到合成多晶原料。
采用图3所示的装置,准备φ20×350mm3石英坩埚,去水离子清洗,烘干并内壁镀碳。生长坩埚籽晶袋内径φ6mm。加工<010>方向BGSe(BaGa4Se7)籽晶约5.8克并装入籽晶袋。将合成多晶原料取出,研钵磨碎并搅拌均匀,装入生长坩埚12。将生长坩埚12接入排气台,先抽真空再充入4atm高纯Ar气体后密封。将密封生长坩埚12放入石英外套管14中,再将石英外套管14固定于梯形托块112上,梯形托块112固定于单晶生长炉升降电机115的升降杆上。密封不锈钢炉壳17上方的密封法兰B18,炉腔B由第二连接管111抽真空并充入19atm高纯Ar气,平衡生长坩埚12内蒸气压,旋转气压阀门B19密闭第二连接管111。
以75℃/h将高温区温度升温至1045℃,低温区至1000℃,隔热区由于隔热板114作用,温区略高室温。微调调高温区、梯度区温度以及生长坩埚12位置,使梯度区温度保持15℃/cm,使籽晶部分熔化,恒温浸泡18小时。采用坩埚下降方式进行单晶生长,坩埚下降速率10mm/d。
10.降温冷却。晶体生长完成后,整炉以20℃/h缓慢冷却至30℃,放压并取出晶棒。
合成多晶粉末X射线衍射谱图与实施例1中测试结果基本一致,无其它杂质相的衍射峰出现,表明合成多晶为高纯、相单BGSe。生长单晶红外透过率与实施例1中样品测试结果图5中基本一致,在2500cm-1(4μm)附近透过率为69.1%,接近透过极限69.7%。
实施例3
一种红外非线性材料BaGa4Se7的单晶生长方法,所述方法为内外加压平衡、抑制组分分解的BGSe单晶生长方法
采用图1所示的装置,准备φ10×230mm3石英坩埚,去水离子清洗,烘干并内壁镀碳。采用单质Ba(99.9%),Ga(99.9999%),Se(99.9999%)元素,按化学计量比称共60g,并另外再富(这里“富”是指“过量”)Se 0.3mol,置入合成坩埚1,其中,Se置于一端,Ba、Ga置于另一端。将合成坩埚1接入真空排气台,抽真空,氢氧焰密封。将合成坩埚1放入镍基合金高压合成炉中,先将温区1以100℃/h从室温升至650℃并恒温,同时将温区2以100℃/h从室温升至1030℃,并恒温。将温区1以200℃/h升温至1040℃;温区1、2共同恒温2小时,然后以100℃/h速率同步降温至室温,得到合成多晶原料。
采用图3所示的装置,准备φ10×300mm3石英坩埚,去水离子清洗,烘干并内壁镀碳。生长坩埚籽晶袋内径φ5mm。加工<100>方向BGSe(BaGa4Se7)籽晶约4.1克并装入籽晶袋。将合成多晶原料取出,研钵磨碎并搅拌均匀,装入生长坩埚12。将生长坩埚12接入排气台,先抽真空再充入3atm高纯Ar气体后密封。将密封生长坩埚12放入石英外套管14中,再将石英外套管14固定于梯形托块112上,梯形托块112固定于单晶生长炉升降电机115的升降杆上。密封不锈钢炉壳17上方的密封法兰B18,炉腔B由第二连接管111抽真空并充入17atm高纯Ar气,平衡生长坩埚内蒸气压,旋转气压阀门B19密闭第二连接管111。
以100℃/h将高温区温度升温至1030℃,低温区至980℃,隔热区由于隔热板114作用,温区略高室温。微调调高温区、梯度区温度以及生长坩埚12位置,使梯度区温度保持20℃/cm,使籽晶部分熔化,恒温浸泡12小时。采用坩埚下降方式进行单晶生长,坩埚下降速率15mm/d。
10.降温冷却。晶体生长完成后,整炉以30℃/h缓慢冷却至30℃,放压并取出晶棒。
合成多晶粉末X射线衍射谱图与实施例1中测试结果基本一致,无其它杂质相的衍射峰出现,表明合成多晶为高纯、相单BGSe。生长单晶红外透过率与实施例1中样品测试结果图5中基本一致,在2500cm-1(4μm)附近透过率为68.9%,接近透过极限69.7%。
本发明未详细阐述部分属于本领域技术人员的公知技术。以上所述的实施例仅是对本发明的优选实施方式进行描述,优选实施例并没有详尽叙述所有的细节,也不限制该发明仅为所述的具体实施方式。在不脱离本发明设计精神的前提下,本领域普通技术人员对本发明的技术方案做出的各种变形和改进,均应落入本发明权利要求书确定的保护范围内。
Claims (7)
1.一种红外非线性材料BaGa4Se7的单晶生长方法,其特征在于,包括如下步骤:
(1)合成坩埚准备:将石英材质的合成坩埚,去水离子清洗,烘干并内壁镀碳;
(2)单质原料称取:采用高纯单质Ba,Ga和Se元素,按化学计量比1:4:7称60-300g,并另外再富Se,置入合成坩埚,其中Se置于一端,Ba、Ga置于另一端;
(3)合成坩埚密封:将合成坩埚接入真空排气台,抽真空,密封;
(4)多晶原料合成:将合成坩埚放入镍基合金高压合成炉中,合成炉分为两个温区,Se位于第一温区,Ba、Ga位于第二温区;多晶合成控温程序如下:先将第一温区以50~100℃/h从室温升至650-750℃并恒温,同时将第二温区以50~100℃/h从室温升至1030-1060℃,并恒温;将第一温区以100~200℃/h升温至1040-1070℃;第一温区和第二温区共同恒温2-4小时,然后以50~100℃/h同步降温至室温,得到多晶原料;
(5)生长坩埚准备:将石英材质生长坩埚,去水离子清洗,烘干并内壁镀碳;生长坩埚底部带有籽晶袋;
(6)定向籽晶加工:选择定向BaGa4Se7晶块,加工成籽晶,装入籽晶袋;
(7)生长原料封装:将多晶原料从合成坩埚中取出,在研钵中磨碎并搅拌均匀,装入生长坩埚;
(8)生长坩埚密封:生长坩埚接入排气台,先抽真空再充入3-5atm高纯Ar气体后密封;将密封生长坩埚放入石英外套管中,再将石英外套管固定于单晶生长炉的梯形托块上,梯形托块固定于单晶生长炉升降电机的升降杆上;密封单晶生长炉的不锈钢炉壳上方的密封法兰B,单晶生长炉的炉腔B由第二连接管抽真空并充高纯Ar气,平衡生长坩埚内蒸气压;
(9)单晶生长:单晶生长炉分为三温区,高温区、梯度区和隔热区;单晶生长控温程序如下:以50~100℃/h将高温区温度升温至1030-1060℃,低温区至980-1010℃;调节高温区、梯度区温度以及生长坩埚位置,使梯度区温度保持10-20℃/cm,使籽晶部分熔化,恒温浸泡12-24小时;采用坩埚下降方式进行单晶生长,速率5-15mm/d;
(10)降温冷却:晶体生长完成后,整炉以10-30℃/h冷却至30℃,放压并取出晶棒。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(2)中,所述另外再富Se是指另外再添加Se0.1~0.3mol。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(4)中,所述高压合成炉包括镍基合金炉膛(2),镍基合金炉膛(2)外部套有合成炉外壳(4),所述镍基合金炉膛(2)外部均匀缠绕有热电阻丝A(3);热电阻丝A(3)位于镍基合金炉膛(2)和合成炉外壳(4)之间空腔;所述空腔内部有隔板,将所述空腔分成两个加热温区,即第一温区和第二温区;密封法兰A(5)打开,合成坩埚(1)可置入镍基合金炉膛(2)内部;合成坩埚(1)的一端放置Se,并且位于第一温区中;合成坩埚(1)的另一端放置Ba、Ga,并且位于第二温区中,密封法兰A(5)关闭,密封所述镍基合金炉膛(2),所述镍基合金炉膛(2)另一端无开口;所述密封法兰A(5)处设置有压力表A(6);所述镍基合金炉膛(2)出口与第一连接管(8)相连,所述第一连接管(8)上设置有气压阀门A(7);第一连接管(8)连接高纯Ar气钢瓶。
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(4)中,镍基合金高压合成炉,充入不低于15atm高纯Ar气。
5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(4)中,镍基合金高压合成炉,充入15~20atm高纯Ar气。
6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(8)中,所述单晶生长炉包括不锈钢炉壳(17)和炉壁(16);不锈钢炉壳(17)内侧设置有炉壁(16);炉壁(16)内部的空腔为炉腔B;炉壁(16)内部环绕贴附有热电阻丝B(15);生长坩埚(12)为一体化结构,从上到下分为三段,即第一段、第二段和第三段;第一段和第三段均为圆柱形,且第一段的柱形直径大于第三段的柱形直径;第二段为锥形平滑过渡段;第三段为籽晶袋;生长坩埚(12)的第三段用于放置籽晶(11),生长坩埚(12)的第一段和第二段用于盛放高温熔体(13);生长坩埚(12)置于石英外套管(14)内部;炉腔B的下部设置隔热板(114),将所述的炉腔B分成两部分:隔热腔区(117)和非隔热腔区;隔热腔区(117)内置有升降电机(115);电源和热偶线组(116)将电源线和热偶线引入不锈钢炉壳(17)内部;升降电机(115)上连接有支撑杆(113),所述支撑杆(113)穿过所述隔热板(114)并伸入到非隔热腔区;支撑杆(113)为升降杆;所述支撑杆(113)上放置有梯形托块(112),石英外套管(14)位于梯形托块(112)上;不锈钢炉壳(17)顶部设置有密封法兰B(18);密封法兰B(18)上连接有压力表B(110)和第二连接管(111),所述第二连接管(111)连接高纯Ar气钢瓶;所述第二连接管(111)上设置有气压阀门B(19);所述高温熔体(13)为熔融态的多晶原料。
7.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(8)中,单晶生长炉的炉腔B由第二连接管抽真空并充入15-22atm高纯Ar气。
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Family
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