CN116558270B - 烘烤设备盖盘及其控制方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及烘烤设备领域，且公开了烘烤设备盘盖及其控制方法，有效的解决了目前进入的气体扩散效果较差，使得烘烤效果不佳的问题，包括盖体，所述盖体的顶端安装有上盖板，上盖板的顶端安装有加热器，上盖板上安装有控制器，上盖板上安装有气体流通组件，气体流通组件包括安装于上盖板顶端安装盘盖分配块，盘盖分配块的底端贯穿至上盖板的下方，盘盖分配块的底端安装有下盖板，本发明，通过惰性气体进入储气槽内部后，被加热器进行加热，在圆形挡板与卡杆脱离卡接后，使得圆形挡板在气压作用下向下移动，使得储气槽与烘烤设备内部连通，由于进入烘烤设备内部的惰性气体温度较高，使得气体粒子活跃性较高，从而提高扩散效果。

Description

烘烤设备盖盘及其控制方法

技术领域

本发明属于烘烤设备领域，具体为烘烤设备盘盖及其控制方法。

背景技术

根据授权公告号为“CN114594665B”，发明名称为“盘盖及其控制方法和烘烤设备”的专利文件，其说明书中记载：盘盖包括导流件、进气通道、排气通道、第一盘盖件、第二盘盖件和排气导流板；所述第一盘盖件、所述第二盘盖件和所述排风导流板自上而下顺序排列；所述导流件包括相互独立的进气导流腔和排气导流腔；所述进气导流腔和所述排气导流腔均两端开口；所述第一盘盖件上设置有进气开口，所述第二盘盖件上设置有排气开口；所述排气导流板上设有凹槽，所述凹槽内设有若干通孔；所述第二盘盖件与所述第一盘盖件间留有间隙，相邻的表面之间形成进气腔体；所述第二盘盖件与所述排气导流板堆叠设置，所述凹槽的内壁与所述第二盘盖件的表面形成排气腔体；所述进气导流腔的一端通过所述进气开口与所述进气腔体内部相通，另一端与所述进气通道内部相通，使得气体经过所述进气通道、所述进气导流腔和所述进气腔体进入晶圆所在区域；所述排气导流腔的一端通过所述排气开口与所述排气腔体内部相通，另一端与所述排气通道内部相通，使得气体从晶圆所在区域经所述排气腔体、所述排气导流腔和所述排气通道排出；但仍存在以下缺陷：

在气体进入烘烤设备中时，由于第一盘盖件和第二盘盖件距离较近，第一盘盖件进行进气，第二盘盖件进行排气，使得进入的气体可能直接从第二盘盖件排出，使得气体扩散效果较差，从而使得烘烤效果不佳。

发明内容

针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本发明提供烘烤设备盘盖及其控制方法，有效的解决了目前进入的气体扩散效果较差，使得烘烤效果不佳的问题。

为实现上述目的，本发明实施例的第一方面提供一种烘烤设备盘盖，所述烘烤设备盘盖包括盖体，所述盖体的顶端安装有上盖板，上盖板的顶端安装有加热器，上盖板上安装有控制器，上盖板上安装有气体流通组件；

气体流通组件包括安装于上盖板顶端安装盘盖分配块，盘盖分配块的底端贯穿至上盖板的下方，盘盖分配块的底端安装有下盖板，下盖板与盖体之间留有间隙，上盖板的内部开设有储气槽，储气槽的底壁上均匀开设有进气孔，进气孔的内部安装有进气连通组件，下盖板上安装有排气盘，排气盘的内部开设有排气内槽，排气内槽的底壁上均匀开设有排气孔，排气孔朝向盘盖分配块中轴线一侧倾斜设置，排气内槽的顶端开设有排气顶孔。

优选的，所述盘盖分配块的内部开设有进气环槽，进气环槽的外侧等角度开设有进气槽，进气槽与储气槽相连通，进气环槽的一侧安装有进气管，盘盖分配块的内部开设有排气顶槽，进气环槽位于排气顶槽的外侧，排气顶槽的一侧安装有排气管，排气管位于进气环槽的上方，排气顶槽与排气顶孔相连通，排气顶槽的内部安装有排气缓速组件。

优选的，所述排气缓速组件包括活动安装于排气顶槽内部的压板，压板的底端安装有第一弹簧，第一弹簧的底端安装有挡块，挡块的外壁与排气顶槽的内壁紧贴，限位板的下方设有限位板，限位板位于排气管的下方，限位板的顶壁与挡块的底壁接触，挡块将排气管遮挡，盘盖分配块的顶端安装有顶筒，压板的顶端安装有连接杆，连接杆贯穿至顶筒的内部，连接杆的顶端安装有第一活动块，第一活动块滑动安装于顶筒的内部，第一活动块的顶端安装有第一磁块，盘盖分配块的顶端安装有第一电磁铁，第一电磁铁外接电源，第一电磁铁与第一磁块磁性连接，进气环槽的内部安装有进气调节单元。

优选的，所述进气调节单元包括安装于进气环槽外壁上的两个限位环，两个限位环对称安装于进气管的上下两侧，两个限位环之间安装有环形挡板，环形挡板与限位环转动连接，环形挡板的外壁与进气环槽的内壁紧贴，环形挡板上开设有通气槽，环形挡板的内壁上安装有内齿环，内齿环的内侧啮合连接有齿轮。

优选的，所述齿轮的顶端安装有第一限位转块，第一限位转块转动安装于第一限位转套的内部，第一限位转套固定安装于进气环槽的内顶壁上，排气顶槽的一侧开设有活动槽，活动槽位于挡块的上方，压板靠近活动槽的一侧安装有活动板，活动板滑动安装于活动槽的内部，活动槽的底端开设有杆槽，杆槽贯穿至第一限位转套的内部，活动板的底端安装有底杆，底杆位于杆槽的内部，底杆的外壁与杆槽的内壁紧贴，底杆的底端安装有螺杆，第一限位转块的顶端开设有螺槽，螺杆与螺槽螺纹连接。

优选的，所述进气连通组件包括活动安装于进气孔内部的挡柱，挡柱的外壁与进气孔的内壁紧贴，挡柱的顶端安装有顶部板，顶部板的底端等角度安装有第二弹簧，第二弹簧的底端与储气槽的内底壁固定连接，挡柱的内部安装有进气控制单元，挡柱的底端安装有进气加速单元。

优选的，所述进气控制单元包括开设于挡柱内部的第一内槽，第一内槽的顶端开设有第二内槽，第二内槽的内壁向上倾斜设置，第二内槽的顶端开设有第三内槽，第三内槽的顶端开设有顶部进槽，顶部进槽与储气槽内部相连通，顶部进槽的直径小于第三内槽的直径，第三内槽的内部安装有圆形挡板，圆形挡板的外壁与第三内槽的内壁紧贴，圆形挡板的底端安装有顶杆，第一内槽的内底壁上安装有固定筒，顶杆的底端安装有第二活动块，第二活动块活动安装于固定筒的内部，第二活动块的底端安装有第三弹簧，挡柱的底壁上等角度开设有进气底孔，进气底孔与第一内槽内部相连通，进气底孔等角度设于固定筒的外侧。

优选的，所述圆形挡板的一侧开设有卡槽，挡柱的内部开设有控制槽，控制槽的内部活动安装有第三活动块，第三活动块靠近第三内槽的一侧安装有卡杆，卡杆与卡槽卡接，第三活动块远离第三内槽的一侧安装有第四弹簧，第三活动块上安装有第二磁块，控制槽远离第三内槽一侧内壁上安装有第二电磁铁，第二电磁铁与第二磁块磁性连接，储气槽的内部安装有温度传感器。

优选的，所述进气加速单元包括安装有挡柱底端的第二限位转套，第二限位转套的内部转动安装有第二限位转块，第二限位转块的底端安装有转动杆，转动杆的外侧等角度安装有扇叶，扇叶位于进气底孔的下方，扇叶倾斜设置，转动杆的底端安装有底板，底板的订单安装有内筒，底板的顶端安装有外筒，外筒位于底板的外侧，外筒的顶端和内筒的顶端均与挡柱的底壁接触，进气底孔位于内筒的内侧，内筒与外筒之间安装有螺旋板，内筒上开设有通入槽，外筒上开设有排出槽。

在本发明实施例的第二方面提供了一种烘烤设备盘盖的控制方法，用于控制如上述第一方面的烘烤设备盘盖，所述方法包括：

从进气管将惰性气体通入储气槽中，加热器通电对储气槽内部惰性气体进行加热；

通过温度传感器对储气槽内惰性气体温度进行检测，当达到所需温度后，第二电磁铁通电，使得卡杆与圆形挡板脱离卡接，圆形挡板在气压作用下向下移动，使得惰性气体从第三内槽和进气底孔进入到烘烤设备中；

惰性气体从进气底孔排出时，推动底板转动，使得惰性气体加速并朝各个方向排出，方便扩散；

惰性气体进入烘烤设备中后，第一电磁铁通电，使得压板向下移动，使得第一弹簧压缩，减小挡块上移距离，使得排气面积减小，延长惰性气体在烘烤设备内部扩散时间，同时增大进气管的进气面积，保证惰性气体能够从储气槽进入烘烤设备；

在扩散结束后，断开第一电磁铁，使得压板回移，同时挡块向上移动，使得排气管正常排气，此时烘烤设备中的惰性气体通过排气孔、排气内槽、排气顶槽和排气管排出。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

（1）本发明通过惰性气体进入储气槽内部后，被加热器进行加热，储气槽内部设有温度传感器，用于检测储气槽内部惰性气体温度，当温度达到所需温度时，第二电磁铁通电，使得圆形挡板与卡杆脱离卡接，使得圆形挡板在气压作用下向下移动，使得储气槽与烘烤设备内部连通，由于进入烘烤设备内部的惰性气体温度较高，使得气体粒子活跃性较高，从而提高扩散效果；

（2）该发明通过惰性气体进入烘烤设备内部后，第一电磁铁通电使得压板向下移动，而挡块受到挡块的限位作用，使得挡块向上移动距离减小，从而使得排气管的排气面积减小，使得排气速度减小，从而延长惰性气体在烘烤设备内部扩散时间，从而提高扩散效果；

（3）该发明通过压板向下移动时，带动活动板向下移动，而活动板底端的螺杆与第一限位转块上的螺槽螺纹连接，使得压板下移带动齿轮转动，使得环形挡板转动，使得通气槽与进气管的重合面积增大，从而在排气速度减小后进气速度增大，保证储气槽内部气压大于烘烤设备内部气压，从而保证惰性气体不断通入，从而进一步提高惰性气体的扩散效果；

（4）该发明通过惰性气体从进气底孔进入到烘烤设备过程中，对扇叶产生向下的冲击力，带动转动杆转动，而惰性气体沿着螺旋板流通，使得流通时间增长，同时在转动离心力作用下，不断对惰性气体进行加速，从而使得惰性气体进入烘烤设备的速度增大，提高扩散距离，进一步提高扩散效果；

、该发明通过惰性气体从进气底孔进入到烘烤设备过程中，对扇叶产生向下的冲击力，带动转动杆转动，惰性气体经过加速从排出槽处排出，由于外筒随着转动杆转动，使得排出槽在转动中，惰性气体均匀向各个方向排出，提高扩散均匀性，进一步提高扩散效果。

附图说明

附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。

在附图中：

图1为本发明烘烤设备盘盖结构示意图；

图2为本发明上盖板内部结构示意图；

图3为本发明气体流通组件结构示意图；

图4为本发明图2中A处放大图；

图5为本发明齿轮结构示意图；

图6为本发明顶部板结构示意图；

图7为本发明进气连通组件结构示意图；

图8为本发明进气控制单元结构示意图；

图9为本发明图8中B处放大图；

图10为本发明进气加速单元结构示意图；

图中：1、盖体；2、上盖板；3、加热器；4、控制器；5、气体流通组件；501、盘盖分配块；502、储气槽；503、进气孔；504、进气环槽；505、进气管；506、进气槽；507、下盖板；508、排气盘；509、排气内槽；510、排气孔；511、排气顶孔；512、排气顶槽；513、排气管；6、排气缓速组件；601、压板；602、第一弹簧；603、挡块；604、限位板；605、顶筒；606、第一活动块；607、连接杆；608、第一磁块；609、进气调节单元；6091、活动槽；6092、杆槽；6093、限位环；6094、环形挡板；6095、通气槽；6096、内齿环；6097、第一限位转套；6098、第一限位转块；6099、齿轮；60910、活动板；60911、底杆；60912、螺杆；60913、螺槽；610、第一电磁铁；7、进气连通组件；701、顶部板；702、第二弹簧；703、挡柱；704、进气控制单元；7041、第一内槽；7042、第二内槽；7043、第三内槽；7044、顶部进槽；7045、固定筒；7046、第二活动块；7047、第三弹簧；7048、顶杆；7049、圆形挡板；70410、卡槽；70411、控制槽；70412、第三活动块；70413、卡杆；70414、第四弹簧；70415、第二磁块；70416、第二电磁铁；70417、进气底孔；705、进气加速单元；7051、第二限位转套；7052、第二限位转块；7053、转动杆；7054、扇叶；7055、底板；7056、内筒；7057、外筒；7058、螺旋板；7059、通入槽；70510、排出槽。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例；基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例一，由图1-图10给出，本发明包括盖体1，盖体1的顶端安装有上盖板2，上盖板2的顶端安装有加热器3，上盖板2上安装有控制器4，上盖板2上安装有气体流通组件5；

气体流通组件5包括安装于上盖板2顶端安装盘盖分配块501，盘盖分配块501的底端贯穿至上盖板2的下方，盘盖分配块501的底端安装有下盖板507，下盖板507与盖体1之间留有间隙，上盖板2的内部开设有储气槽502，储气槽502的底壁上均匀开设有进气孔503，进气孔503的内部安装有进气连通组件7，下盖板507上安装有排气盘508，排气盘508的内部开设有排气内槽509，排气内槽509的底壁上均匀开设有排气孔510，排气孔510朝向盘盖分配块501中轴线一侧倾斜设置，排气内槽509的顶端开设有排气顶孔511，盘盖分配块501的内部开设有进气环槽504，进气环槽504的外侧等角度开设有进气槽506，进气槽506与储气槽502相连通，进气环槽504的一侧安装有进气管505，盘盖分配块501的内部开设有排气顶槽512，进气环槽504位于排气顶槽512的外侧，排气顶槽512的一侧安装有排气管513，排气管513位于进气环槽504的上方，排气顶槽512与排气顶孔511相连通，排气顶槽512的内部安装有排气缓速组件6。

排气缓速组件6包括活动安装于排气顶槽512内部的压板601，压板601的底端安装有第一弹簧602，第一弹簧602的底端安装有挡块603，挡块603的外壁与排气顶槽512的内壁紧贴，限位板604的下方设有限位板604，限位板604位于排气管513的下方，限位板604的顶壁与挡块603的底壁接触，挡块603将排气管513遮挡，盘盖分配块501的顶端安装有顶筒605，压板601的顶端安装有连接杆607，连接杆607贯穿至顶筒605的内部，连接杆607的顶端安装有第一活动块606，第一活动块606滑动安装于顶筒605的内部，第一活动块606的顶端安装有第一磁块608，盘盖分配块501的顶端安装有第一电磁铁610，第一电磁铁610外接电源，第一电磁铁610与第一磁块608磁性连接，进气环槽504的内部安装有进气调节单元609，惰性气体进入烘烤设备内部后，第一电磁铁610通电使得压板601向下移动，而挡块603受到挡块603的限位作用，使得挡块603向上移动距离减小，从而使得排气管513的排气面积减小，使得排气速度减小，从而延长惰性气体在烘烤设备内部扩散时间，从而提高扩散效果。

进气调节单元609包括安装于进气环槽504外壁上的两个限位环6093，两个限位环6093对称安装于进气管505的上下两侧，两个限位环6093之间安装有环形挡板6094，环形挡板6094与限位环6093转动连接，环形挡板6094的外壁与进气环槽504的内壁紧贴，环形挡板6094上开设有通气槽6095，环形挡板6094的内壁上安装有内齿环6096，内齿环6096的内侧啮合连接有齿轮6099，齿轮6099的顶端安装有第一限位转块6098，第一限位转块6098转动安装于第一限位转套6097的内部，第一限位转套6097固定安装于进气环槽504的内顶壁上，排气顶槽512的一侧开设有活动槽6091，活动槽6091位于挡块603的上方，压板601靠近活动槽6091的一侧安装有活动板60910，活动板60910滑动安装于活动槽6091的内部，活动槽6091的底端开设有杆槽6092，杆槽6092贯穿至第一限位转套6097的内部，活动板60910的底端安装有底杆60911，底杆60911位于杆槽6092的内部，底杆60911的外壁与杆槽6092的内壁紧贴，底杆60911的底端安装有螺杆60912，第一限位转块6098的顶端开设有螺槽60913，螺杆60912与螺槽60913螺纹连接，压板601向下移动时，带动活动板60910向下移动，而活动板60910底端的螺杆60912与第一限位转块6098上的螺槽60913螺纹连接，使得压板601下移带动齿轮6099转动，使得环形挡板6094转动，使得通气槽6095与进气管505的重合面积增大，从而在排气速度减小后进气速度增大，保证储气槽502内部气压大于烘烤设备内部气压，从而保证惰性气体不断通入，从而进一步提高惰性气体的扩散效果。

进气连通组件7包括活动安装于进气孔503内部的挡柱703，挡柱703的外壁与进气孔503的内壁紧贴，挡柱703的顶端安装有顶部板701，顶部板701的底端等角度安装有第二弹簧702，第二弹簧702的底端与储气槽502的内底壁固定连接，挡柱703的内部安装有进气控制单元704，挡柱703的底端安装有进气加速单元705，进气控制单元704包括开设于挡柱703内部的第一内槽7041，第一内槽7041的顶端开设有第二内槽7042，第二内槽7042的内壁向上倾斜设置，第二内槽7042的顶端开设有第三内槽7043，第三内槽7043的顶端开设有顶部进槽7044，顶部进槽7044与储气槽502内部相连通，顶部进槽7044的直径小于第三内槽7043的直径，第三内槽7043的内部安装有圆形挡板7049，圆形挡板7049的外壁与第三内槽7043的内壁紧贴，圆形挡板7049的底端安装有顶杆7048，第一内槽7041的内底壁上安装有固定筒7045，顶杆7048的底端安装有第二活动块7046，第二活动块7046活动安装于固定筒7045的内部，第二活动块7046的底端安装有第三弹簧7047，挡柱703的底壁上等角度开设有进气底孔70417，进气底孔70417与第一内槽7041内部相连通，进气底孔70417等角度设于固定筒7045的外侧，圆形挡板7049的一侧开设有卡槽70410，挡柱703的内部开设有控制槽70411，控制槽70411的内部活动安装有第三活动块70412，第三活动块70412靠近第三内槽7043的一侧安装有卡杆70413，卡杆70413与卡槽70410卡接，第三活动块70412远离第三内槽7043的一侧安装有第四弹簧70414，第三活动块70412上安装有第二磁块70415，控制槽70411远离第三内槽7043一侧内壁上安装有第二电磁铁70416，第二电磁铁70416与第二磁块70415磁性连接，储气槽502的内部安装有温度传感器，惰性气体进入储气槽502内部后，被加热器3进行加热，储气槽502内部设有温度传感器，用于检测储气槽502内部惰性气体温度，当温度达到所需温度时，第二电磁铁70416通电，使得圆形挡板7049与卡杆70413脱离卡接，使得圆形挡板7049在气压作用下向下移动，使得储气槽502与烘烤设备内部连通，由于进入烘烤设备内部的惰性气体温度较高，使得气体粒子活跃性较高，从而提高扩散效果。

进气加速单元705包括安装有挡柱703底端的第二限位转套7051，第二限位转套7051的内部转动安装有第二限位转块7052，第二限位转块7052的底端安装有转动杆7053，转动杆7053的外侧等角度安装有扇叶7054，扇叶7054位于进气底孔70417的下方，扇叶7054倾斜设置，转动杆7053的底端安装有底板7055，底板7055的订单安装有内筒7056，底板7055的顶端安装有外筒7057，外筒7057位于底板7055的外侧，外筒7057的顶端和内筒7056的顶端均与挡柱703的底壁接触，进气底孔70417位于内筒7056的内侧，内筒7056与外筒7057之间安装有螺旋板7058，内筒7056上开设有通入槽7059，外筒7057上开设有排出槽70510，惰性气体从进气底孔70417进入到烘烤设备过程中，对扇叶7054产生向下的冲击力，带动转动杆7053转动，而惰性气体沿着螺旋板7058流通，使得流通时间增长，同时在转动离心力作用下，不断对惰性气体进行加速，从而使得惰性气体进入烘烤设备的速度增大，提高扩散距离，进一步提高扩散效果，惰性气体从进气底孔70417进入到烘烤设备过程中，对扇叶7054产生向下的冲击力，带动转动杆7053转动，惰性气体经过加速从排出槽70510处排出，由于外筒7057随着转动杆7053转动，使得排出槽70510在转动中，惰性气体均匀向各个方向排出，提高扩散均匀性，进一步提高扩散效果。

工作原理：在使用时，从进气管505通入惰性气体，在惰性气体通过进气环槽504和进气槽506进入到储气槽502内部，加热器3通电对储气槽502内部的惰性气体进行加热，储气槽502内部设有温度传感器，当惰性气体温度达到所需温度后，通过控制器4控制第二电磁铁70416通电，从而对第二磁块70415产生吸引力，从而使得卡杆70413移动至控制槽70411内部，使得卡杆70413与卡槽70410脱离卡接，在储气槽502内部气压作用下，使得圆形挡板7049向下移动离开第三内槽7043，使得惰性气体进入到第三内槽7043内部，并从进气底孔70417进入到烘烤设备内部，从而使得高温惰性气体进入烘烤设备，提高烘烤效率，且由于进入烘烤设备内部的惰性气体温度较高，使得气体粒子活跃性较高，从而提高扩散效果；

在惰性气体进入烘烤设备后，从排气孔510进入到排气内槽509内部，并从排气顶孔511、排气顶槽512和排气管513排出，在高温惰性气体进入烘烤设备中后，通过控制器4将第一电磁铁610通电对第一磁块608产生斥力，从而推动压板601向下移动，而挡块603受到限位板604的限位作用，从而使得第一弹簧602压缩，烘烤设备内部不断进入惰性气体，而由于第一弹簧602被压缩，使得挡块603向上移动距离减小，从而使得排气管513的排气面积减小，延长惰性气体在烘烤设备内部的时间，从而延长惰性气体的扩散时间，提高扩散效果；

在压板601向下移动时，带动活动板60910向下移动，而活动板60910底端的螺杆60912与第一限位转块6098上的螺槽60913螺纹连接，在活动板60910向下移动后，通过螺杆60912下移带动齿轮6099转动，而齿轮6099与环形挡板6094上的内齿环6096相啮合，从而带动环形挡板6094转动，使得通气槽6095与进气管505的重合面积增大，使得进气面积增大，从而保证储气槽502内部气压大于烘烤设备内部气压，从而保证圆形挡板7049不在第三内槽7043内部，从而保证惰性气体不断通入，从而进一步提高惰性气体的扩散效果；

在惰性气体从进气底孔70417进入到烘烤设备中后，对扇叶7054产生向下的冲击力，而扇叶7054倾斜设置，从而带动转动杆7053在第二限位转套7051内转动，而惰性气体进入到内筒7056内侧，并通过通入槽7059沿着螺旋板7058流通后从排出槽70510排出，在底板7055转动离心力作用下，惰性气体的流通速度不断增大，从而使得惰性气体从排出槽70510排出的速度增大，提高惰性气体扩散效果，且随着外筒7057转动，均匀向不同方向排出，进一步提高扩散均匀性。

Claims (4)

1.烘烤设备盘盖，包括盖体（1），其特征在于：所述盖体（1）的顶端安装有上盖板（2），上盖板（2）的顶端安装有加热器（3），上盖板（2）上安装有控制器（4），上盖板（2）上安装有气体流通组件（5）；

气体流通组件（5）包括安装于上盖板（2）顶端安装盘盖分配块（501），盘盖分配块（501）的底端贯穿至上盖板（2）的下方，盘盖分配块（501）的底端安装有下盖板（507），下盖板（507）与盖体（1）之间留有间隙，上盖板（2）的内部开设有储气槽（502），储气槽（502）的底壁上均匀开设有进气孔（503），进气孔（503）的内部安装有进气连通组件（7），下盖板（507）上安装有排气盘（508），排气盘（508）的内部开设有排气内槽（509），排气内槽（509）的底壁上均匀开设有排气孔（510），排气孔（510）朝向盘盖分配块（501）中轴线一侧倾斜设置，排气内槽（509）的顶端开设有排气顶孔（511）；

所述盘盖分配块（501）的内部开设有进气环槽（504），进气环槽（504）的外侧等角度开设有进气槽（506），进气槽（506）与储气槽（502）相连通，进气环槽（504）的一侧安装有进气管（505），盘盖分配块（501）的内部开设有排气顶槽（512），进气环槽（504）位于排气顶槽（512）的外侧，排气顶槽（512）的一侧安装有排气管（513），排气管（513）位于进气环槽（504）的上方，排气顶槽（512）与排气顶孔（511）相连通，排气顶槽（512）的内部安装有排气缓速组件（6）；

所述排气缓速组件（6）包括活动安装于排气顶槽（512）内部的压板（601），压板（601）的底端安装有第一弹簧（602），第一弹簧（602）的底端安装有挡块（603），挡块（603）的外壁与排气顶槽（512）的内壁紧贴，限位板（604）的下方设有限位板（604），限位板（604）位于排气管（513）的下方，限位板（604）的顶壁与挡块（603）的底壁接触，挡块（603）将排气管（513）遮挡，盘盖分配块（501）的顶端安装有顶筒（605），压板（601）的顶端安装有连接杆（607），连接杆（607）贯穿至顶筒（605）的内部，连接杆（607）的顶端安装有第一活动块（606），第一活动块（606）滑动安装于顶筒（605）的内部，第一活动块（606）的顶端安装有第一磁块（608），盘盖分配块（501）的顶端安装有第一电磁铁（610），第一电磁铁（610）外接电源，第一电磁铁（610）与第一磁块（608）磁性连接，进气环槽（504）的内部安装有进气调节单元（609）；

所述进气调节单元（609）包括安装于进气环槽（504）外壁上的两个限位环（6093），两个限位环（6093）对称安装于进气管（505）的上下两侧，两个限位环（6093）之间安装有环形挡板（6094），环形挡板（6094）与限位环（6093）转动连接，环形挡板（6094）的外壁与进气环槽（504）的内壁紧贴，环形挡板（6094）上开设有通气槽（6095），环形挡板（6094）的内壁上安装有内齿环（6096），内齿环（6096）的内侧啮合连接有齿轮（6099）；

所述进气连通组件（7）包括活动安装于进气孔（503）内部的挡柱（703），挡柱（703）的外壁与进气孔（503）的内壁紧贴，挡柱（703）的顶端安装有顶部板（701），顶部板（701）的底端等角度安装有第二弹簧（702），第二弹簧（702）的底端与储气槽（502）的内底壁固定连接，挡柱（703）的内部安装有进气控制单元（704），挡柱（703）的底端安装有进气加速单元（705）；

所述进气控制单元（704）包括开设于挡柱（703）内部的第一内槽（7041），第一内槽（7041）的顶端开设有第二内槽（7042），第二内槽（7042）的内壁向上倾斜设置，第二内槽（7042）的顶端开设有第三内槽（7043），第三内槽（7043）的顶端开设有顶部进槽（7044），顶部进槽（7044）与储气槽（502）内部相连通，顶部进槽（7044）的直径小于第三内槽（7043）的直径，第三内槽（7043）的内部安装有圆形挡板（7049），圆形挡板（7049）的外壁与第三内槽（7043）的内壁紧贴，圆形挡板（7049）的底端安装有顶杆（7048），第一内槽（7041）的内底壁上安装有固定筒（7045），顶杆（7048）的底端安装有第二活动块（7046），第二活动块（7046）活动安装于固定筒（7045）的内部，第二活动块（7046）的底端安装有第三弹簧（7047），挡柱（703）的底壁上等角度开设有进气底孔（70417），进气底孔（70417）与第一内槽（7041）内部相连通，进气底孔（70417）等角度设于固定筒（7045）的外侧；

所述进气加速单元（705）包括安装有挡柱（703）底端的第二限位转套（7051），第二限位转套（7051）的内部转动安装有第二限位转块（7052），第二限位转块（7052）的底端安装有转动杆（7053），转动杆（7053）的外侧等角度安装有扇叶（7054），扇叶（7054）位于进气底孔（70417）的下方，扇叶（7054）倾斜设置，转动杆（7053）的底端安装有底板（7055），底板（7055）的订单安装有内筒（7056），底板（7055）的顶端安装有外筒（7057），外筒（7057）位于底板（7055）的外侧，外筒（7057）的顶端和内筒（7056）的顶端均与挡柱（703）的底壁接触，进气底孔（70417）位于内筒（7056）的内侧，内筒（7056）与外筒（7057）之间安装有螺旋板（7058），内筒（7056）上开设有通入槽（7059），外筒（7057）上开设有排出槽（70510）。

2.根据权利要求1所述的烘烤设备盘盖，其特征在于：所述齿轮（6099）的顶端安装有第一限位转块（6098），第一限位转块（6098）转动安装于第一限位转套（6097）的内部，第一限位转套（6097）固定安装于进气环槽（504）的内顶壁上，排气顶槽（512）的一侧开设有活动槽（6091），活动槽（6091）位于挡块（603）的上方，压板（601）靠近活动槽（6091）的一侧安装有活动板（60910），活动板（60910）滑动安装于活动槽（6091）的内部，活动槽（6091）的底端开设有杆槽（6092），杆槽（6092）贯穿至第一限位转套（6097）的内部，活动板（60910）的底端安装有底杆（60911），底杆（60911）位于杆槽（6092）的内部，底杆（60911）的外壁与杆槽（6092）的内壁紧贴，底杆（60911）的底端安装有螺杆（60912），第一限位转块（6098）的顶端开设有螺槽（60913），螺杆（60912）与螺槽（60913）螺纹连接。

3.根据权利要求2所述的烘烤设备盘盖，其特征在于：所述圆形挡板（7049）的一侧开设有卡槽（70410），挡柱（703）的内部开设有控制槽（70411），控制槽（70411）的内部活动安装有第三活动块（70412），第三活动块（70412）靠近第三内槽（7043）的一侧安装有卡杆（70413），卡杆（70413）与卡槽（70410）卡接，第三活动块（70412）远离第三内槽（7043）的一侧安装有第四弹簧（70414），第三活动块（70412）上安装有第二磁块（70415），控制槽（70411）远离第三内槽（7043）一侧内壁上安装有第二电磁铁（70416），第二电磁铁（70416）与第二磁块（70415）磁性连接，储气槽（502）的内部安装有温度传感器。

4.一种烘烤设备盘盖的控制方法，用于控制如权利要求3所述的烘烤设备盘盖，其特征在于，所述方法包括：

从进气管（505）将惰性气体通入储气槽（502）中，加热器（3）通电对储气槽（502）内部惰性气体进行加热；

通过温度传感器对储气槽（502）内惰性气体温度进行检测，当达到所需温度后，第二电磁铁（70416）通电，使得卡杆（70413）与圆形挡板（7049）脱离卡接，圆形挡板（7049）在气压作用下向下移动，使得惰性气体从第三内槽（7043）和进气底孔（70417）进入到烘烤设备中；

惰性气体从进气底孔（70417）排出时，推动底板（7055）转动，使得惰性气体加速并朝各个方向排出，方便扩散；

惰性气体进入烘烤设备中后，第一电磁铁（610）通电，使得压板（601）向下移动，使得第一弹簧（602）压缩，减小挡块（603）上移距离，使得排气面积减小，延长惰性气体在烘烤设备内部扩散时间，同时增大进气管（505）的进气面积，保证惰性气体能够从储气槽（502）进入烘烤设备；

在扩散结束后，断开第一电磁铁（610），使得压板（601）回移，同时挡块（603）向上移动，使得排气管（513）正常排气，此时烘烤设备中的惰性气体通过排气孔（510）、排气内槽（509）、排气顶槽（512）和排气管（513）排出。