CN116532374A - 一种全自动半导体检测设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种全自动半导体检测设备，包括机柜，机柜上部设有检测位，检测位上设有旋转台，旋转台上设有多个工位，且其一侧布设有上料机构和下料机构，另一侧周围布设有多个检测机构，上料机构的内侧设有上料搬运机构，下料机构内侧设有下料搬运机构，上料机构移送物料到上料搬运机构处，上料搬运机构将产品移动到工位上，旋转台旋转，带动工位移动经过检测机构，并到达下料搬运机构处，所述下料搬运机构将产品分拣到下料机构上，所述下料机构将产品移送到设备外。本发明提供的全自动半导体检测设备具有旋转台、上料机构、下料机构、上料搬运机构、下料搬运机构，能够自动上下料、自动分拣，实现全自动检测。

Description

一种全自动半导体检测设备

技术领域

本发明涉及产品瑕疵检测设备技术领域，具体为一种全自动半导体检测设备。

背景技术

小尺寸产品由于个体尺寸小，检测时移动和定位困难，所以如何实现精准高效的检测，一直是生产者的追求，例如半导体检测。半导体产品的外观瑕疵检测一直是大家非常注重的，但目前行业中所采用的检测设备大部分为皮带线在线检测，或者搭配玻璃转盘来实现一些规则产品的检测。

上述检测方式的弊端在于，首先，不能对产品进行全方位检测，如公开(公告)号：CN110702695A公开的半导体硅晶圆表面瑕疵多视角视觉检查治具以及公开(公告)号：CN110779931A公开的半导体瑕疵检测设备。其次，检测效率比较低，无法持续自动上下料。

发明内容

本发明针对上述现有技术存在的问题，提供一种全自动半导体检测设备。

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：

一种全自动半导体检测设备，包括机柜所述机柜上部设有检测位，所述检测位上设有旋转台，所述旋转台上设有多个工位，且其一侧布设有上料机构和下料机构，另一侧周围布设有多个检测机构，所述上料机构的内侧设有上料搬运机构，所述下料机构内侧设有下料搬运机构，所述上料机构移送物料到上料搬运机构处，所述上料搬运机构将产品移动到工位上，所述旋转台旋转，带动工位移动经过检测机构，并到达下料搬运机构处，所述下料搬运机构将产品分拣到下料机构上，所述下料机构将产品移送到设备外。

进一步地，所述旋转台包括旋转座，所述旋转座的上部设有第一环形安装盘，下部设有第二环形安装盘，所述旋转座下方设有第一驱动器，所述第一驱动器驱动旋转座转动，所述旋转座带动第一环形安装盘和第二环形安装盘转动，所述工位设置在第一环形安装盘和第二环形安装盘上。

进一步地，所述工位包括多个托座，多个所述托座安装在第一环形安装盘上，所述第二环形安装盘上设有驱动系统，所述托座和驱动系统连接，所述驱动系统驱动托座旋转。

进一步地，托座上还设有产品托盘，所述产品托盘和托座可拆卸连接。

进一步地，所述驱动系统包括依次布设的多个驱动单体，相邻驱动单体之间设有导向轮，所述驱动单体和导向轮通过传动皮带依次传动连接，任一驱动单体和第二驱动器连接，第二驱动器驱动其带动传动皮带移动，传动皮带带动剩余驱动单体自转。

进一步地，所述下料机构包括合格品下料通道和次品下料通道，所述包括上料机构合格品下料通道、次品下料通道均包括固定架，固定架上设有传送带组件，传送带组件的一侧设有驱动轮组件，驱动轮组件和第三驱动器连接。

进一步地，上料搬运机构和下料搬运机构均包括支撑架一，所述支撑架一上设有面板，所述面板上开设有倒置的U形滑槽，所述U形滑槽的下方设有滑台，悬臂滑动式设置在滑台上，其上端滑动式设置在U形滑槽中，所述悬臂的下端还连接有拾取组件，第四驱动器通过连接板和悬臂上端连接，并通过驱动连接板带动悬臂上端在U形滑槽中滑动，进而使得悬臂同时升降和水平移动。

进一步地，所述上料搬运机构的下方还设有底部检测机构，所述底部检测机构包括检测台，所述检测台的下方设有检测器，所述检测器的检测端朝向检测台。

进一步地，所述检测机构包括支撑架二，所述支撑架二的上部设有连接块，所述连接块上转动式设有连接杆，所述连接杆的其中一端设有锁扣另一端设有托板，所述托板上设有检测器。

进一步地，所述检测器包括检测相机，所述检测相机的下端连接有镜筒，所述镜筒的下方设有光源。

本发明的有益效果：

本发明提供的全自动半导体检测设备本设备具有旋转台、上料机构、下料机构、上料搬运机构、下料搬运机构，能够自动上下料、自动分拣，实现全自动检测，大大提高了检测效率。此外，通过在上料搬运机构出设置底部检测机构，以及工位自转，从而可以对产品整体形状进行无死角拍照检测，使得设备通用性更强，达到一机多用的特点。

附图说明

图1为本发明全自动半导体检测设备的结构示意图；

图2为本发明全自动半导体检测设备的内部结构示意图；

图3为本发明旋转台和工位的结构示意图一；

图4为本发明旋转台和工位的结构示意图二；

图5为本发明工位的结构示意图；

图6为本发明上料机构的结构示意图；

图7为本发明下料机构的结构示意图；

图8为本发明上料搬运机构的结构示意图；

图9为本发明下料搬运机构的结构示意图；

图10为本发明检测机构的结构示意图。

图中：1-机柜，11-检测位，12-检测腔，13-安装腔，14-进料口，15-出料口，2-触控屏，3-操作按钮，4-观察窗，5-操作台面，6-侧门，7-旋转台，71-旋转座，72-第一环形安装盘，73-第二环形安装盘，8-工位，81-托座，811-座体，812-法兰一，813-转轴，814-法兰二，82-驱动系统，821-驱动单体，8211-连接座，8212-安装支架，8213-驱动轴，8214-传动轮，8215-轴承，822-导向轮，823-传动皮带，83-产品托盘，9-上料机构，10-下料机构，101-合格品下料通道，102-次品下料通道，16-检测机构，161-支撑架二，162-连接块，163-连接杆，164-锁扣，165-托板，17-上料搬运机构，171-支撑架一，172-面板，173-U形滑槽，174-滑台，175-悬臂，176-驱动端，177-拾取组件，178-第四驱动器，18-下料搬运机构，19-底部检测机构，191-检测台，1911-台面框架，1912-透明置物板，1913-限位块，192-检测器，1921-检测相机，1922-镜筒，1923-光源。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

在本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、 “上”、 “下”、 “左”、 “右”、 “竖直”、 “水平”、 “内”、 “外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了 便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、 以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、 “第二”、 “第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

请参考图1-10，为本发明提供的一种全自动半导体检测设备，包括机柜1，机柜1包括柜体，柜体中设有检测位11，检测位11为一隔板，将柜体分隔成两部分，上部为检测腔12，下部为安装腔13。检测腔12的正面设有触控屏2，触控屏2的下方设有操作按钮3，操作按钮3的下方设有操作台面5，触控屏2的一侧设有观察窗4。检测腔12的背面和两侧均设有侧门6。检测腔12的其中一侧开设有进料口14，另一侧开设有出料口15。

请参考图1-4，检测位11表面开设有安装孔，旋转台7的下端安装在安装孔中。旋转台7包括旋转座71，旋转座71的上部设有第一环形安装盘72，第一环形安装盘72的下方设有第二环形安装盘73，第一环形安装盘72和第二环形安装盘73均和旋转座71固定连接。旋转座71下方，位于安装腔13内部设有第一驱动器（图未示），第一驱动器由电机和谐波减速机构成，为现有技术，不做详细描述。第一驱动器驱动旋转座71转动，旋转座71带动第一环形安装盘72和第二环形安装盘73转动。

工位8用于放置检测的工件，包括依次布设在第一环形安装盘72上的多个托座81和驱动系统82，驱动系统82安装在第二环形安装盘73上，驱动系统82和多个托座81连接，并驱动托座81自转。托座81上还设有产品托盘83，产品托盘83和托座81可拆卸连接。

请参考图3和图5，托座81包括座体811，座体811通过法兰一812安装在第一环形安装盘72上，第一环形安装盘72下方设有转轴813，转轴813和座体811连接，并通过法兰二814固定在第一环形安装盘72下表面。

驱动系统82包括依次布设的多个驱动单体821，相邻驱动单体821之间设有导向轮822，且导向轮822设置在驱动单体821内侧，驱动单体821和导向轮822通过传动皮带823依次传动连接，任一驱动单体821和第二驱动器（图未示）连接，第二驱动器驱动其带动传动皮带823移动，传动皮带823带动剩余驱动单体821自转。

具体而言，驱动单体821包括连接座8211，连接座8211通过安装支架8212安装在第二环形安装盘73上。连接座8211的下部设有驱动轴8213，驱动轴8213的下端穿过安装支架8212上设置的轴承8215和传动轮8214连接，传动轮8214转动式设置在第二环形安装盘73上。传动轮8214和导向轮822通过传动皮带823传动连接。

请参考图2、图6、图7，旋转台7的一侧设有上料机构9和下料机构10，另一侧周围布设有多个检测机构16，上料机构9的下料端和下料机构10的上料端相对设置。上料机构9包括固定架91，固定架91上设有传送带组件92，传送带组件92的一侧设有驱动轮组件93，驱动轮组件93和第三驱动器（图未示）连接。第三驱动器为驱动电机，驱动电机驱动驱动轮组件93转动，驱动轮组件93带动传送带组件92传动，进而将产品从传送地组件92的上料端传送到下料端。下料机构10包括合格品下料通道101和次品下料通道102，合格品下料通道101和次品下料通道102的结构和上料机构9的结构相同，不再赘述。

请参考图2、图8、图9，上料机构9的内侧设有上料搬运机构17，下料机构10内侧设有下料搬运机构18，上料搬运机构17将上料机构9传送过来的物料移动到工位8上，下料搬运机构18用于将位于工位8上的合格品和次品分别移动到合格品下料通道101和次品下料通道102上。

上料搬运机构17包括支撑架一171，支撑架一171上设有面板172，面板172上开设有倒置的U形滑槽173，U形滑槽173的下方设有滑台174，悬臂175滑动式设置在滑台174上，其上端滑动式设置在U形滑槽173中。面板172的背面设有第四驱动器178，第四驱动器178的驱动端176穿过面板172设置，并且通过连接板（图未示）和悬臂175的上端连接。第四驱动器178为驱动电机，该驱动电机驱动连接板转动，进而带动悬臂175的上端在U形滑槽173中滑动，最终使得悬臂175同时升降和水平移动。悬臂175的下端连接有拾取组件177，拾取组件177拾取产品。下料搬运机构18的结构和上料搬运机构17的结构以及工作原理相同，仅仅在安装位置和拾取组件177的吸取嘴数量不同，因此不对其结构进行详细描述。

请参考图2和图8，上料搬运机构17的下方还设有底部检测机构19，底部检测机构19包括检测台191，检测台191的下方设有检测器192，检测器192的检测端朝向检测台191，对放置在检测台191上的产品进行检测。检测台191包括台面框架1911和设置在台面框架1911上的透明置物板1912，透明置物板1912的周围设有多个限位块1913。

请参考图2和图10，检测机构16包括支撑架二161，支撑架二161上部设有连接块162，连接块162上旋转式设有连接杆163，连接杆163的一端连接有锁扣164，锁扣164将连接杆163锁定在连接块162上。连接杆163上设有托板165，托板165上安装有检测器192。通过转动连接杆163可以调节检测器192的倾斜角度，进而实现检测器192检测角度的调节。

检测器192包括检测相机1921，检测相机1921的下端连接有镜筒1922，所述镜筒1922的下方设有光源1923，光源1923和镜筒1922之间具有一定距离，该距离根据实际需要进行调节。

工作原理：检测时，首先将待检测产品按照次序放置在上料机构9的上料端，上料机构9将上料端的产品持续移送到下料端。上料搬运机构17位于下料端上方，上料搬运机构17反复拾取位于下料端的待检测产品，并将其先放置在底部检测机构19上进行底部检测，底部检测结束后依次放置在工位8上。旋转台7旋转，使工位8依次经过上料搬运机构17，接收产品，经过检测机构16进行瑕疵检测，最后到达下料搬运机构18处，下料搬运机构18将产品分拣到合格品下料通道101和次品下料通道102。此外，在检测过程中，工位8自转，便于全方位检测。

以上内容是结合具体的优选实施方式对本发明所作的进一步详细说明，不能认定本发明的具体实施只局限于这些说明。对于本发明所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本发明的保护范围。

Claims (9)

1.一种全自动半导体检测设备，其特征在于：包括机柜（1），所述机柜（1）上部设有检测位（11），所述检测位（11）上设有旋转台（7），所述旋转台（7）上设有多个工位（8），且所述旋转台（7）一侧布设有上料机构（9）和下料机构（10），另一侧周围布设有多个检测机构（16），所述上料机构（9）的内侧设有上料搬运机构（17），所述下料机构（10）内侧设有下料搬运机构（18），所述上料机构（9）移送物料到上料搬运机构（17）处，所述上料搬运机构（17）将产品移动到工位（8）上，所述旋转台（7）旋转，带动工位移动经过检测机构（16），并到达下料搬运机构（18）处，所述下料搬运机构（18）将产品分拣到下料机构（10）上，所述下料机构（10）将产品移送到设备外，所述上料搬运机构（17）的下方还设有底部检测机构（19），所述底部检测机构（19）包括检测台（191），所述检测台（191）的下方设有检测器（192），所述检测器（192）的检测端朝向检测台（191），所述检测机构（16）倾斜设置。

2.根据权利要求1所述的全自动半导体检测设备，其特征在于：所述旋转台（7）包括旋转座（71），所述旋转座（71）的上部设有第一环形安装盘（72），下部设有第二环形安装盘（73），所述旋转座（71）下方设有第一驱动器，所述第一驱动器驱动旋转座（71）转动，所述旋转座（71）带动第一环形安装盘（72）和第二环形安装盘（73）转动，所述工位（8）设置在第一环形安装盘（72）和第二环形安装盘（73）上。

3.根据权利要求2所述的全自动半导体检测设备，其特征在于：所述工位（8）包括多个托座（81），多个所述托座（81）安装在第一环形安装盘（72）上，所述第二环形安装盘（73）上设有驱动系统（82），所述托座（81）和驱动系统（82）连接，所述驱动系统（82）驱动托座（81）旋转。

4.根据权利要求3所述的全自动半导体检测设备，其特征在于：托座（81）上还设有产品托盘（83），所述产品托盘（83）和托座（81）可拆卸连接。

5.根据权利要求3所述的全自动半导体检测设备，其特征在于：所述驱动系统（82）包括依次布设的多个驱动单体（821），相邻驱动单体（821）之间设有导向轮（822），所述驱动单体（821）和导向轮（822）通过传动皮带（823）依次传动连接，任一驱动单体（821）和第二驱动器连接，第二驱动器驱动其带动传动皮带（823）移动，传动皮带（823）带动剩余驱动单体（821）自转。

6.根据权利要求1所述的全自动半导体检测设备，其特征在于：所述下料机构（10）包括合格品下料通道（101）和次品下料通道（102），上料机构（9）、合格品下料通道（101）、次品下料通道（102）均包括固定架（91），固定架（91）上设有传送带组件（92），传送带组件（92）的一侧设有驱动轮组件（93），驱动轮组件（93）和第三驱动器连接。

7.根据权利要求1所述的全自动半导体检测设备，其特征在于：上料搬运机构（17）和下料搬运机构（18）均包括支撑架一（171），所述支撑架一（171）上设有面板（172），所述面板（172）上开设有倒置的U形滑槽（173），所述U形滑槽（173）的下方设有滑台（174），悬臂（175）滑动式设置在滑台（174）上，其上端滑动式设置在U形滑槽（173）中，所述悬臂（175）的下端还连接有拾取组件（177），第四驱动器（178）通过连接板和悬臂（175）上端连接，并通过驱动连接板带动悬臂（175）上端在U形滑槽（173）中滑动，进而使得悬臂（175）同时升降和水平移动。

8.根据权利要求1所述的全自动半导体检测设备，其特征在于：所述检测机构（16）包括支撑架二（161），所述支撑架二（161）的上部设有连接块（162），所述连接块（162）上转动式设有连接杆（163），所述连接杆（163）的其中一端设有锁扣（164），另一端设有托板（165），所述托板（165）上设有检测器（192）。

9.根据权利要求8所述的全自动半导体检测设备，其特征在于：所述检测器（192）包括检测相机（1921），所述检测相机（1921）的下端连接有镜筒（1922），所述镜筒（1922）的下方设有光源（1923）。