CN116529669A - 金属网格、薄膜传感器及掩膜板 - Google Patents

Abstract

一种金属网格，包括：多条延伸方向交叉设置的第一金属线(11)和第二金属线(12)；各第一金属线(11)沿第一方向并排设置，且沿第二方向延伸；各第二金属线(12)沿第一方向并排设置，且沿第三方向延伸；其中，第一金属线(11)包括沿第二方向依次连接的多个第一子线段，第二金属线(12)包括沿第三方向依次连接的多个第二子线段；一个第一子线段与一个第二子线段的中点重合，且中点重合的第一子线段和第二子线段构成一个交叉结构(10)，并限定出相对设置的两个第一夹角(θ1)和两个第二夹角(θ2)；第一夹角(θ1)的角度不大于第二夹角(θ2)的角度。还提供一种薄膜传感器及一种掩膜版。

Description

金属网格、薄膜传感器及掩膜板 技术领域

本发明属于传感器技术领域，具体涉及一种金属网格、薄膜传感器及掩膜板。

背景技术

目前，玻璃基半导体产业常用的微纳加工工艺线宽在5μm以下。而某些薄膜显示及传感器件对微纳加工的线宽提出了更高的要求，比如透明天线或射频器件等。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种金属网格及薄膜传感器。

第一方面，本公开实施例提供一种金属网格，其包括：多条延伸方向交叉设置的第一金属线和第二金属线；各所述第一金属线沿第一方向并排设置，且沿第二方向延伸；各所述第二金属线沿所述第一方向并排设置，且沿第三方向延伸；其中，所述第一金属线包括沿第二方向依次连接的多个第一子线段，所述第二金属线包括沿第三方向依次连接的多个第二子线段；一个所述第一子线段与一个所述第二子线段的中点重合，且中点重合的所述第一子线段和所述第二子线段构成一个交叉结构，并限定出相对设置的两个第一夹角和两个第二夹角；所述第一夹角的角度不大于所述第二夹角的角度；

所述交叉结构划分为第一虚拟四边形和第二虚拟四边形；所述第一虚拟四边形内设置所述第一子线段，且所述第一虚拟四边形的宽度为所述第一子线段的最大宽度，长度为所述第一子线段的长度；所述第二虚拟四边形内设置所述第二子线段，且所述第二虚拟四边形的宽度为所述第二子线段的最大宽度，长度为所述第二子线段的最大长度；

对于任一所述交叉结构，限定出所述第一夹角的两条侧边分别为第一侧边和第二侧边，所述第一侧边上的点S1与所述第二侧边上的点S2连线的长 度为所述第一侧边和所述第二侧边之间的最大距离L1；所述S1和所述S2的连线与所述第一虚拟四边的侧边的交点为S3，与所述第二虚拟四边形的侧边的交点为S4，所述S3和所述S4连线的长度为L2；所述L1大于所述L2。

其中，所述交叉结构中的所述第一子线段包括两个第一分支，以及设置在两个所述第一分支之间且将二者连接的第一连接部；所述第二子线段包括两个第二分支，以及设置在两个所述第二分支之间且将二者连接的第二连接部；所述第一连接部和所述第二连接部交叉设置；所述第一分支和第二分支的最大宽度均为a，所述第一侧边和所述侧边的长度均为b，所述第一连接部和所述第二连接部的宽度均为c；3a＜b＜5a；0.6a＜c＜0.8a。

其中，所述第一分支与所述第一连接部连接所形成的二面角不小于90°。

其中，所述第一子线段以贯穿其最大宽度中点且沿第二方向延伸的直线为对称轴呈轴对称图形；所述第二子线段以贯穿其最大宽度中点且沿第三方向延伸的直线为对称轴呈轴对称图形。

其中，所述第一夹角包括平倒角或者圆倒角；在所述交叉结构中，所述第一侧边和所述第二侧边的延长线的交点与所述第一夹角顶点之间的距离L3，所述第一侧边和所述第二侧边的延长线的交点与所述第一子线段和所述第二子线段交叉区域中心之间的距离为L4；L3:L4＝1:10～1:2。

其中，对于任一所述交叉结构，限定出所述第二夹角的两条侧边分别为第三侧边和第四侧边，所述第三侧边上的点S5与所述第四侧边上的点S6连线的长度为所述第三侧边和所述第四侧边之间的最大距离L5；所述S5和所述S6的连线与所述第一虚拟四边的侧边的交点为S7，与所述第二虚拟四边形的侧边的交点为S8，所述S7和所述S8连线的长度为L6；所述L6大于所述L5。

其中，所述S1和所述S2的连线与所述第一子线段和第二子线段所限定出的面积为A，所述S5和所述S6的连线与所述第一子线段和所述第二子线 段所限定出的面积为B；所述第一子线段和苏搜狐第二子线段交叉区域的面积为C；(A+B)：C≤1:2。

其中，所述第二夹角包括圆倒角或者平倒角。

其中，两个第二夹角的顶点的连线与所述第一方向存在一定的夹角。

其中，所述交叉结构中的第一子线段包括两个第一分支，所述第二子线段包括两个第二分支；所述交叉结构还包括设置在两个所述第一分支和两个所述第二分支四者之间第一环形连接部；在所述交叉结构中，两个所述第一分支和两个所述第二分支与所述第一环形连接部的连接节点均不同。

其中，开口相对的两相邻的第二夹角之间连接一第一桥接部。

第二方面，本公开实施例提供一种薄膜传感器，其包括上述的金属网格。

第三方面，本公开实施例提供一种掩膜板，其包括：遮光部和透光部；其中，所述遮光部包括交叉设置的多条第一遮光条和多条第二遮光条；所述多条第一遮光条沿第二方向延伸，且沿第一方向并排设置；所述多条第二遮光条沿第三方向延伸，且沿所述第一方向并排设置；

所述第一遮光条的最大宽度为第一宽度，所述第二遮光条的最大宽度为第二宽度；

每条所述第一遮光条包括沿所述第二方向设置的多条第一子遮光条，各所述第一子遮光条均沿所述第二方向延伸，且各所述第一子遮光条宽度均与所述第一宽度相同；每条所述第二遮光条包括沿所述第三方向设置的多条第二子遮光条，各所述第二子遮光条均沿第三方向延伸，且各所述第二子遮光条宽度均与所述第二宽度相同；

其中，对于任一所述第一遮光条上相邻设置的第一子遮光条之间存在一定的间距；且任意相邻两条所述第一子遮光条构成一第一子遮光部，所述第一子遮光部具有相对设置的第一端和第二端；对于任一所述第二遮光条上相邻设置的第二子遮光条之间存在一定的间距；且任意相邻两条所述第二子遮光条构成一第二子遮光部，所述第二子遮光部具有相对设置的第三端和第四端；

其中，所述遮光部还包括至少一个第一遮光单元，每个所述第一遮光单元包括交叉设置的第一子遮光部和第二子遮光部；所述第一端和所述第二端相对于第一对称点中心对称；且所述第一遮光单元中，两条所述的第二子遮光条包括相对设置的第三端和第四端，所述第三端和所述第四端相对于第二对称点中心对称。

其中，每个所述第一遮光单元中的所述第一对称点与所述第二对称点重合。

其中，还包括连接在沿所述第二方向相邻设置的所述第一子遮光条之间的第三连接部，以及连接在沿所述第三方向相邻设置的第二子遮光条之间的第四连接部；每个所述第一遮光单元中的所述第三连接部和所述第四连接部交叉设置；

所述第一子遮光条的宽度为a2，所述第三连接部的长度为b2，所述第三连接部的宽度为c2；1.5a2<b2<2.5a2；0.6a2<c2<0.8a2；

所述第二子遮光条的宽度为d2，所述第四连接部的长度为e2，所述第四连接部的宽度为f2；1.5d2<e2<2.5d2；0.6d2<f2<0.8d2。

其中，所述第一子遮光条的宽度a2等于第二子遮光条的宽度d2；所述第三连接部的长度b2等于所述第四连接部的长度e2；所述第三连接部的宽度c2等于述第四连接部的宽度f2。

其中，所述第一子遮光条与所述第三连接部连接所形成的二面角不小于90°；所述第二子遮光条与所述第四连接部连接所形成的二面角不小于90°。

其中，每个所述第一遮光单元中还设置有一个第二环形连接部；且所述第二环形连接部连接在该第一遮光单元中的两个所述第一子遮光条和两个所述第二子遮光条之间，两个所述第一子遮光条和两个所述第二子遮光条与所述第二环形连接部的连接交点不同。

其中，每个所述第一遮光单元中，所述第二环形连接部连接在该第一遮光单元中的两个所述第一子遮光条和两个所述第二子遮光条之间，并限定出 相对两设置的第三夹角和两相对设置的第四夹角，且所述第三夹角不大于所述第四夹角，在两相对设置的所述第四夹角之间连接有第二桥接部。

附图说明

图1为一种示例性的薄膜传感器的结构示意图。

图2为图1所示的薄膜传感器沿A-A＇方向上的截面结构示意图。

图3为本公开实施例的一种金属网格的俯视图。

图4为本公开实施例的一个交叉结构的示意图。

图5为图4的局部放大图。

图6为本公开实施例的另一个交叉结构的示意图。

图7为本公开实施例的另一个交叉结构的示意图。

图8为本公开实施例中另一种交叉结构的示意图。

图9为图8的局部放大图。

图10为本公开实施例的另一种交叉结构的示意图。

图11为本公开实施例的另一种金属网格的俯视图。

图12为本公开实施例的另一种交叉结构的示意图。

图13为本公开实施例的一种掩膜板的示意图。

图14为本公开实施例的一种掩膜板的第一遮光单元的示意图。

图15为图14的放大示意图。

图16为本公开实施例的另一种掩膜板的第一遮光单元的示意图。

图17为本公开实施例的另一种掩膜板的第一遮光单元的示意图。

图18为本公开实施例的另一种掩膜板的第一遮光单元的示意图。

图19为本公开实施例的另一种掩膜板的第一遮光单元的示意图。

图20为本公开实施例的另一种掩膜板的示意图。

具体实施方式

为使本领域技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细描述。

除非另外定义，本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”、“一”或者“该”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。

图1为一种示例性的薄膜传感器的结构示意图；图2为图1所示的薄膜传感器沿A-A＇方向上的截面结构示意图，如图1和图2所示，该薄膜传感器包括：衬底基板100，衬底基板100具有相对设置的第一表面和第二表面，即上表面和下表面；第一导电层101和第二导电层102分别位于衬底基板100的第一表面和第二表面。以薄膜传感器为透明天线为例，其中，第一导电层101可以为辐射层，第二导电层102可以为接地层。其中，辐射层可作为天线结构的接收单元，也可用于天线结构发射单元。

为了保证第一导电层101和第二导电层102具有良好的光线透过率，第一导电层101和第二导电层102需进行图案化处理，例如，第一导电层101可以采用金属材料制成的网格线构成，第二导电层102也可以采用金属材料制成的网格线构成。可以理解的是，第一导电层101和第二导电层102还可以采用其他图案的结构构成，例如，菱形、三角形等图案的块状电极，在此不再一一列举。由图1可以看出，在衬底基板100的两个表面上并非整面均设置有第一导电层101和第二导电层102，即网格线。对于任一网格线则是由电连接的金属网格构成。由于薄膜传感器的透过率要求，通常金属网格的线宽在5μm以下。对于5μm以下线宽的金属网格可以通过金属膜光刻法 制作。例如：通过溅射工艺在衬底基板100上形成一层金属膜，再通过光刻胶涂布、曝光、显影刻蚀和剥离工艺获得精细的金属网格。但是发明人发现，当金属网格的线宽在5μm以下时，在金属网格的交叉位置处所形成的较小的夹角(锐角)位置，由于在显影和刻蚀中所用的药液比较难进入金属网格锐角位置，因此导致在交叉位置的面积较大，从而影响薄膜传感器的光学透明度。

在此还需要说明的是，上述的金属网格也不局限于应用在天线结构中，还可以用于触控面板中，作为触控电极。当然，金属网格还可以用于各种金属线中，在此不再一一列举。

为解决上述技术问题，在本公实施例中提供如下技术方案。

第一方面，图3为本公开实施例的一种金属网格的俯视图；如图3所示，本公开实施例提供一种金属网格，其包括多条延伸方向交叉设置的第一金属线11和第二金属线12。各第一金属线11沿第一方向并排设置，且均沿第二方向延伸；各第二金属线12同样沿第一方向并排设置，且均沿第三方向延伸。其中，第二方向和第三方向相交，且均与第一方向存在一定的夹角。

继续参照图3，第一金属线11包括沿第二方向依次连接的多个第一子线段，且每个第一子线段的延伸方向均为第二方向。其中，每条第一金属线11中的相邻设置的两个第一子线段一半的结构共用。第二金属线12包括沿第三方向依次连接的多个第二子线段，且每个第二子线段的延伸方向均为第三方向。其中，每条第二金属线12中的相邻设置的两个第二子线段一半的结构共用。图4为本公开实施例的一个交叉结构10的示意图；如图3和4所示，一个第一子线段和一个第二子线段的中心重合，且中心重合的第一子线段和第二子线段构成一个交叉结构10，并限定出两个第一夹角θ1和两个第二夹角θ2。其中，第一夹角θ1的角度不大于第二夹角θ2的角度，在本公开实施例中以第一夹角θ1的角度小于第二夹角θ2的角度为例进行说明。

继续参照图4，交叉结构10划分为第一虚拟四边形和第二虚拟四边形；第一虚拟四边形内设置第一子线段，且第一虚拟四边形的宽度为第一子线段 的最大宽度，长度为第一子线段的长度；第二虚拟四边形内设置第二子线段，且第二虚拟四边形的宽度为第二子线段的最大宽度，长度为第二子线段的最大长度。对于任一交叉结构10，限定出第一夹角θ1的两条侧边分别为第一侧边和第二侧边，第一侧边上的点S1与第二侧边上的点S2连线的长度为第一侧边和第二侧边之间的最大距离L1；S1和S2的连线与第一虚拟四边的侧边的交点为S3，与第二虚拟四边形的侧边的交点为S4，S3和S4连线的长度为L2；L1＞L2。

可以理解的是，在现有技术中，第一金属线11的线宽是均匀的，例如第一金属线11各位置的线宽均与第一虚拟四边形的宽度相同。如图4所示，而在本申请中，通过改限定出的第一夹角θ1的两条侧边对应的第一子线段和第二子线段的线宽，以使第一子线段和第二子线段所形成的第一夹角θ1相对现有技术而言变大，从而有效的避免在第一子线段和第二子线段的交叉位置出现金属堆积而影响金属网格透过率的问题。

在一些示例中，对于每个交叉结构10而言，不仅两个限定两个第一夹角θ1的第一侧边和第二侧边相较于现有技术发生了改变，而且限定出两个第二夹角θ2的第三侧边和第四侧边相较于现有技术也发生了改变。第三侧边上的点S5与第四侧边上的点S6连线的长度为第三侧边和第四侧边之间的最大距离L5；S5和S6的连线与第一虚拟四边的侧边的交点为S7，与第二虚拟四边形的侧边的交点为S8，S7和S8连线的长度为L6；L6＞L5。在该种情况下，将交叉结构10的两个第二夹角θ2相较于现有技术而言进一步扩大，这样一来，同样可以有效的避免刻蚀液难以进入夹角区域，导致在第一子线段和第二子线段交叉位置处出现金属堆积的问题。

以下结合具体示例对本公开实施例中的金属网格进行说明。

在一个示例中，继续参照图4，该交叉结构10中的第一子线段包括两个第一分支111和连接在第一分支111之间的第一连接部112；第一分支111和第一连接部112均沿第二方向延伸。第二子线段包括两个第二分支121和连接在第二分支121之间的第二连接部122；第二分支121和第二连接部122均沿第三方向延伸。第一连接部112和第二连接部122交叉。由图4可以看 出，第一分支111和第二分支121线宽相同，第一连接部112和第二连接部122的线宽相同。而且第一分支111贯穿其宽度中点且沿第二方向延伸的直线与第一连接部112贯穿其宽度中点且沿第二方向延伸的直线重合；第二分支121贯穿其宽度中点且沿第三方向延伸的直线与第二连接部122贯穿其宽度中点且沿第三方向延伸的直线重合。也就是说，第一子线段以贯穿其最大宽度的中点且沿第二方向延伸的直线为对称轴呈轴对称图形；第二子线段以贯穿其最大宽度的中点且沿第三方向延伸的直线为对称轴呈轴对称图形。这样一来，不仅交叉结构10中的第一夹角θ1相较于现有结构有所拓展，而且第二夹角θ2相较于现有也有所拓展，从而可以尽可能的避免在第一子线段和第二子线段的交叉位置出现金属堆叠的问题。

在一些示例中，图5为图4的局部放大图；如图5所示，假若第一分支111和第二分支121的宽度均为a1，第一连接部112第二连接部122限定出第一夹角θ1的第一侧边和第二侧边的长度均为b1，第一连接部112和第二连接部122的宽度均为c1；3a1＜b1＜5a1；0.6a1＜c1＜0.8a1。通过合理设计第一连接部112和第二连接部122的线宽和线长，以优化金属网格的光学透过率。

在一些示例中，S1和S2的连线与第一子线段和第二子线段所限定出的面积为A，S5和所述S6的连线与第一子线段和第二子线段所限定出的面积为B；第一子线段和第二子线段交叉区域的面积为C；(A+B)：C≤1:2。通过合理里的第一子线段和第二子线段各个位置的线宽，以避免第一子线段和第二子线段交叉位置的面积较大，而导致光学性能降低的问题。

在另一个示例中，图6为本公开实施例的另一个交叉结构10的示意图；如图6所示，该种交叉结构10与图4所示的交叉结构10大致相同，区别仅在于，第一子线段的第一分支111与第一连接部112之间所形成的二面角θ3为钝角。之所以如此设置是因为，第一分支111和第一连接部112的线宽不同，而二者连接相当于在连接位置处引入夹角θ3，如果该夹角太小同样会导致在刻蚀的时刻蚀液难以进入，导致在第一分支111和第一连接部112连接位置出现金属堆积的问题。同理，第二分支121和第二连接部122之间所 形成的二面角θ4同样为钝角。原理与前述原理相同，故在此不再重复描述。

在另一个示例中，图7为本公开实施例的另一个交叉结构10的示意图；如图7所示，该交叉结构10中的第一夹角θ1和第二夹角θ2均为圆倒角。此时，第一侧边和第二侧边连接为一体结构，形成一段圆弧。形成第二夹角θ2的第三侧边和第四侧边同样连成一段圆弧。在该种情况下，第一夹角θ1和第二夹角θ2相对于现有技术而言由尖角变成了圆倒角，相当于角度展开，因此可以有效的避免交叉位置夹角太小导致在刻蚀的时刻蚀液难以进入，在第一分支111和第一连接部112连接位置出现金属堆积的问题。在此需要说明的是，在该示例中是以第一夹角θ1和第二夹角θ2均为圆倒角为例进行说明的，在实际产品中由于第一夹角θ1的角度小于第二夹角θ2的角度，因此只要第一夹角θ1采用圆倒角也是也可行的。

在一些示例中，参照图7，第一侧边和第二侧边的延长线的交点与第一夹角θ1顶点之间的距离L3，第一侧边和第二侧边的延长线的交点与第一子线段和第二子线段交叉区域中心之间的距离为L4；L3:L4＝1:10～1:2。如此设置可以保证第一连接部112和第二连接部122的线宽满足导电性能的同时提高金属网格的光学性能。

在此需要说明的是，第一侧边和第二侧边的延长线是指第一侧边和第二侧边之间距离最远的点S1和S2的切线的延伸长。

在一些示例中，交叉结构10中的交叉结构10交叉结构10，两个第一夹角θ1和两个第二夹角θ2均采用平倒角。在该种情况下，第一夹角θ1和第二夹角θ2相对于现有技术而言由尖角变成了平倒角，相当于角度展开，因此可以有效的避免交叉位置夹角太小导致在刻蚀的时刻蚀液难以进入，在第一分支111和第一连接部112连接位置出现金属堆积的问题。

在此需要说明的是，在该示例中是以第一夹角θ1和第二夹角θ2均为平倒角为例进行说明的，在实际产品中由于第一夹角θ1的角度小于第二夹角θ2的角度，因此只要第一夹角θ1采用圆倒角也是也可行的。

在另一个示例中，图8为本公开实施例中另一种交叉结构10的示意图； 如图8所示，该种交叉结构10与图4所示的交叉结构10大致相同，区别在于，该交叉结构10的第一连接部112和第二连接部122均为非均匀线宽的图形。而且两个第二夹角θ2的连线的延伸方向与第一方向存在一定夹角。也就是说，两个第二夹角θ2的并非严格意义上的正对，以此可以拉大两个第二夹角θ2之间的间距。在该种情况下，尽管将第一连接部112和第二连接部122的线宽的设计的较细，也可以有效的避免第一连接部112和第二连接部122交叉位置面积较小，而导致第一子线段和第二子线段无法很好的电连接。

在一些示例中，继续参照图8，交叉结构10中的第一夹角θ1和第二夹角θ2的形状可以不同，例如，两个第一夹角θ1采用尖角，两个第二夹角θ2采用圆倒角；当然还可以是第一夹角θ1采用圆倒角，第二夹角θ2采用尖角等等。对于第一夹角θ1和第二夹角θ2的具体形状，也可以根据产品的要求，对第一夹角θ1和第二夹角θ2进行具体设定。

在一些示例中，图9为图8的局部放大图，如图9所示，交叉结构10中的第一分支111和第二分支121的最大宽度均为a1，第一连接部112的最大宽度为d1，第二连接部122的最大宽度为e1，第一侧和第二侧边的长度均为f，第三侧边和第四侧边均为g；0.7a1<d1<0.9a1，0.65a1<f1<0.85a1，0.7d1<e1<0.9d1，0.2f<g<0.5f。在该种情况下，通过对限定出第一夹角θ1和第二夹角θ2的各个侧边的位置进行调整，从而有效的避免刻蚀液难以进入的问题。

在一些示例中，图10为本公开实施例的另一种交叉结构10的示意图；如图10所示，该交叉结构10的第一子线段包括两个第一分支111，以及连接在第一分支111之间的第一连接部112；第二子线段包括两个第二分支121，以及连接在第二分支121之间的第二连接部122；其中，第一连接部112和第二连接部122均包括依次连接第一部分、第二部分和第三部分，且第一连接部112的第二部分和第二连接部122的第二部分共用。一个第一分支111连接第一连接部112的第一部分，且二者的二面角为钝角，另一个第一分支111连接第一连接部112的第三部分，且二者的二面角为钝角。一个 第二分支121连接第二连接部122的第一部分，且二者的二面角为钝角，另一个第二分支121连接第二连接部122的第三部分，且二者的二面角为钝角。此时，该交叉结构10中的两个第一夹角θ1均为尖角且为钝角，两个第二夹角θ2则为平角。由于在该种交叉结构10中的各个夹角均较大，因此可以有效的避免在刻蚀时，刻蚀液难以进入夹角位置导致金属堆积而言影响金属网格的光学特性。

在一些示例中，继续参照图10，第一连接部112(第二连接部122)的第二部分的线长不小于线宽的两倍。通过合理的设置第二部分的线长，保证所形成的平倒角不会太小。

在另一个示例中，图11为本公开实施例的另一种金属网格的俯视图；图12为本公开实施例的另一种交叉结构10的示意图；如图11和12所示，金属网格中的交叉结构10包括交叉设置的第一子线段、第二子线段和第一环形连接部13；第一子线段包括沿第二方向断开设置的两个第一分支111，第二子线段包括沿第三方向断开设置两个第二分支121。第一环形连接部13连接在两个第一分支111和两个第二分支121断开的位置处，且与两个第一分支111和两个第二分支121连接。如图11可以看出的是，两个第一分支111和两个第二分支121与第一环形连接部13的连接节点均不同，也即相邻设置的第一分支111和第二分支121之间存在一定的间距，因此可以有效的避免在刻蚀时，刻蚀液难以进入夹角位置导致金属堆积而言影响金属网格的光学特性。

在一些示例中，继续参照图12，本公开实施例中的金属网格的第一金属线11和第二金属线12交叉设置形成多个网格结构，且在网格结构中两个相对设置且夹角较大的夹角(第二夹角θ2)之间连接有第一桥接部14。第一桥接部14具体连接在两个相邻的第一环形连接部13上。通过设置第一桥接部14以增强金属网格的韧性。

在一些示例中，第一环形连接部13可以为圆第一环形连接部13，采用圆第一环形连接部13可以尽量减少尖角的形成，从而有效的避免刻蚀液难以进入的问题。当然，在本公开实施例第一环形连接部13还可以是矩形环 连接部等等。在本公开实施例中并不对第一环形连接部13的具体形状进行限制。

在一些示例中，本公开实施例中的第一环形连接部13为圆第一环形连接部13，其内径范围为45μm-65μm；其外径范围为65μm-80μm，线宽为10μm-25μm。

例如：具有圆第一环形连接部13的金属网格时，所采用的掩膜板的形状与金属网格形状相同，当掩膜板中的圆环遮光部的外径为80μm，内径为60m时，通过刻蚀工艺，所形成第一环形连接部13的外径为72μm，内径为58μm，线宽为14μm。经过实验验证在第一分支111、第二分支121和第一环形连接部13的连接位置处基本刻蚀干净，没有金属的堆积。

例如：具有圆第一环形连接部13的金属网格时，所采用的掩膜板的形状与金属网格形状相同，当掩膜板中的圆环遮光部的外径为85μm，内径为65μm时，通过刻蚀工艺，所形成第一环形连接部13的外径为77μm，内径为62μm，线宽为15μm。经过实验验证在第一分支111、第二分支121和第一环形连接部13的连接位置处基本刻蚀干净，没有金属的堆积。

第二方面，本公开实施例提供一种薄膜传感器，其包括上述的金属网格。由于该薄膜传感器包括上述的金属网格，故其光学特性较好。

本公开实施例中的薄膜传感器可以是透明天线，还可以触控基板等结构。

第三方面，图13为本公开实施例的一种掩膜板的示意图；如图13所示，本公开实施例提供一种掩膜板，该掩膜板可用于制备上述的任一金属网格。该掩膜板包括遮光部和透光部；其中，遮光部包括交叉设置的多条第一遮光条011和多条第二遮光条012；多条第一遮光条011沿第二方向延伸，且沿第一方向并排设置；多条第二遮光条012沿第三方向延伸，且沿第一方向并排设置；第一遮光条011的最大宽度为第一宽度，第二遮光条012的最大宽度为第二宽度；每条第一遮光条011包括沿第二方向设置的多条第一子遮光条0111，各第一子遮光条0111均沿第二方向延伸，且各第一子遮光条0111 宽度均与第一宽度相同；每条第二遮光条012包括沿第三方向设置的多条第二子遮光条0121，各第二子遮光条0121均沿第三方向延伸，且各第二子遮光条0121宽度均与第二宽度相同；其中，对于任一第一遮光条011上相邻设置的第一子遮光条0111之间存在一定的间距；且任意相邻两条第一子遮光条0111构成一第一子遮光部1110，第一子遮光部1110具有相对设置的第一端和第二端；对于任一第二遮光条012上相邻设置的第二子遮光条0121之间存在一定的间距；且任意相邻两条第二子遮光条0121构成一第二子遮光部1210，第二子遮光部1210具有相对设置的第三端和第四端；其中，遮光部还包括至少一个第一遮光单元010，每个第一遮光单元010包括交叉设置的第一子遮光部1110和第二子遮光部1210；第一端和第二端相对于第一对称点中心对称；且第一遮光单元010中，两条的第二子遮光条0121包括相对设置的第三端和第四端，第三端和第四端相对于第二对称点中心对称。

本公开实施例中所提供的掩膜板，对于其中任一第一遮光条011上相邻设置的第一子遮光条0111之间存在一定的间距；且任意相邻两条第一子遮光条0111构成一第一子遮光部1110，第一子遮光部1110具有相对设置的第一端和第二端；对于任一第二遮光条012上相邻设置的第二子遮光条0121之间存在一定的间距；且任意相邻两条第二子遮光条0121构成一第二子遮光部1210，第二子遮光部1210具有相对设置的第三端和第四端；掩膜板的遮光部还包括至少一个第一遮光单元010，每个第一遮光单元010包括交叉设置的第一子遮光部1110和第二子遮光部1210；第一端和第二端相对于第一对称点中心对称；且第一遮光单元010中，两条的第二子遮光条0121包括相对设置的第三端和第四端，第三端和第四端相对于第二对称点中心对称。通过该种结构的掩膜板可以使得所形成的金属网格的交叉位置的金属不再出现堆积的现象。

以下结合具体示例进行说明。

在一个示例中，图14为本公开实施例的一种掩膜板的第一遮光单元的示意图，图15为图14的放大示意图；如图14和15所示，该掩膜板可以用于制备图4所示的金属网格。该掩膜板中的第一遮光条011不仅包括沿第二 方向设置的多个第一子遮光条0111，还包括连接在相邻设置的第一子遮光条0111之间的第三连接部0112；第二遮光条012不仅包括沿第三方向设置的第二子遮光条0121，还包括连接在相邻设置的第二子遮光条0121之间的第四连接部0122。每个第一遮光单元010中的所述第三连接部0112和所述第四连接部0122交叉设置；第一子遮光条0111的宽度为a2，第三连接部0112的长度为b2，第三连接部0112的宽度为c2；1.5a2<b2<2.5a2；0.6a2<c2<0.8a2；第二子遮光条0121的宽度为d2，第四连接部0122的长度为e2，第四连接部0122的宽度为f2；1.5d2<e2<2.5d2；0.6d2<f2<0.8d2。其中，第一子遮光条0111的宽度a2等于第二子遮光条0121的宽度d2；第三连接部0112的长度b2等于第四连接部0122的长度e2；第三连接部0112的宽度c2等于述第四连接部0122的宽度f2。

需要说明的是，前述的宽度均是指该结构的最大宽度，长度均是指该结构的最大长度。其中，第一子遮光条0111与图4中形成的第一分支对应，第二子遮光条0121与图4中形成第二分支对应，第三连接部0112与图4中所形成第一连接部对应，第四连接部0122与图4中所形成第二连接部对应。

在另一个示例中，图16为本公开实施例的另一种掩膜板的第一遮光单元的示意图，如图16所示，该掩膜板可以用于制备图6所示的金属网格。区别仅在于，第一子遮光条0111与第三连接部0112之间所形成的二面角为钝角θ7。之所以如此设置是因为，第一子遮光条0111与第三连接部0112的线宽不同，而二者连接相当于在连接位置处引入夹角，如果该夹角太小同样会导致在刻蚀的时刻蚀液难以进入，导致在第一子遮光条0111与第三连接部0112连接位置出现金属堆积的问题。同理，第二子遮光条0121与第四连接部0122之间所形成的二面角θ8同样为钝角。原理与前述原理相同，故在此不再重复描述。

在另一个示例中，图17为本公开实施例的另一种掩膜板的第一遮光单元010的示意图，如图17所示，该掩膜板可以用于制备图7所示的金属网格。该第一遮光单元010中的第一遮光部和第二遮光部交叉设置，限定出两个相对设置的第三夹角θ5和两个第四夹角θ6，且第三夹角θ5不大于第四 夹角θ6，且二者均为圆倒角。在该种情况下，第三夹角θ5和第四夹角θ6相对于现有技术而言由尖角变成了圆倒角，相当于角度展开，因此可以有效的避免交叉位置夹角太小导致在刻蚀的时刻蚀液难以进入，导致所形成在第一分支和第一连接部连接位置出现金属堆积的问题。在此需要说明的是，在该示例中是以第三夹角θ5和第四夹角θ6均为圆倒角为例进行说明的，在实际产品中由于第三夹角θ5的角度小于第四夹角θ6的角度，因此只要第三夹角θ5采用圆倒角也是也可行的。

在另一个示例中，图18为本公开实施例的另一种掩膜板的第一遮光单元的示意图，如图18所示，该掩膜板可以用于制备图8所示的金属网格；如图8和18所示，该种第一遮光单元010与图17所示的第一遮光单元010大致相同，区别在于，该第一遮光单元010的第三连接部0112和第三连接部0112均为非均匀线宽的图形。而且两个第四夹角θ6的连线的延伸方向与第二方向存在一定夹角。也就是说，两个第四夹角θ6的并非严格意义上的正对，以此可以拉大两个第四夹角θ6之间的间距，也即增大所形成交叉单元中的拉大两个第二夹角之间的间距。在该种情况下，尽管将第三连接部0112和第四连接部0122的线宽的设计的较细，而影响所形成的金属网格的导电性能。

在另一个示例中，图19为本公开实施例的另一种掩膜板的第一遮光单元010的示意图，如图19所示，该掩膜板可以用于制备图10所示的金属网格，如图10和19所示，该第一遮光单元010的第一子遮光部1110包括两个第一子遮光条0111，以及连接在两个第一子遮光条0111之间的第三连接部0112；第二子遮光部1210包括两个第二子遮光条0121，以及连接在两个第二子遮光条0121之间的第四连接部0122；其中，第三连接部0112和第四连接部0122均包括依次连接第一部分、第二部分和第三部分，且第三连接部0112的第二部分和第四连接部0122的第二部分共用。一个第一子遮光条0111连接第三连接部0112的第一部分，且二者的二面角为钝角，另一个第一子遮光条0111连接第三连接部0112的第三部分，且二者的二面角为钝角。一个第二子遮光条0121连接第四连接部0122的第一部分，且二者的二 面角为钝角，另一个第二子遮光条0121连接第四连接部0122的第三部分，且二者的二面角为钝角。此时，第一遮光单元010中的两个第三夹角θ5均为尖角且为钝角，两个第四夹角θ6则为平角。由于在该种第一遮光单元010中的各个夹角均较大，因此可以有效的避免在刻蚀时，刻蚀液难以进入夹角位置导致金属堆积而言影响金属网格的光学特性。

在一些示例中，继续参照图19，第三连接部0112(第四连接部0122)的第二部分的线长不小于线宽的两倍。通过合理的设置第二部分的线长，保证所形成的平倒角不会太小。

在另一个示例中，图20为本公开实施例的另一种掩膜板的示意图，如图20所示，该掩膜板可以用于制备图11所示的金属网格，如图11和20所示，该掩膜板中的第一遮光单元010中交叉设置的第一子遮光部1110、第二子遮光部1210和第二环形连接部013；第一子遮光部1110包括沿第二方向断开设置的两个第一子遮光条0111，第二子遮光部1210包括沿第三方向断开设置两个第二子遮光条0121。第二环形连接部013连接在两个第一子遮光条0111和两个第二子遮光条0121断开的位置处，且与两个第一子遮光条0111和两个第二子遮光条0121连接。如图20可以看出的是，两个第一子遮光条0111和两个第二子遮光条0121与第二环形连接部013的连接节点均不同，也即相邻设置的第一子遮光条0111和第二子遮光条0121之间存在一定的间距，因此可以有效的避免在刻蚀时，刻蚀液难以进入夹角位置导致金属堆积而言影响金属网格的光学特性。

如图20所示，第二环形连接部013可以为圆环形连接部，采用圆环形连接部可以尽量减少尖角的形成，从而有效的避免刻蚀液难以进入的问题。当然，在本公开实施例第二环形连接部013还可以是矩形环连接部等等。在本公开实施例中并不对第二环形连接部013的具体形状进行限制。

在一些示例中，如图20所示，每个所述第一遮光单元010中，所述第二环形连接部013连接在该第一遮光单元010中的两个所述第一子遮光条0111和两个所述第二子遮光条0121之间，并限定出相对两设置的第三夹角θ5和两相对设置的第四夹角θ6，且所述第三夹角θ5不大于所述第四夹角 θ6，在两相对设置的所述第四夹角θ6之间连接有第二桥接部014。该第二桥接部014和图11所示的第一桥接部对应，以此增强所形成的金属网格的韧性。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (19)

1. 一种金属网格，其包括：多条延伸方向交叉设置的第一金属线和第二金属线；各所述第一金属线沿第一方向并排设置，且沿第二方向延伸；各所述第二金属线沿所述第一方向并排设置，且沿第三方向延伸；其中，所述第一金属线包括沿第二方向依次连接的多个第一子线段，所述第二金属线包括沿第三方向依次连接的多个第二子线段；一个所述第一子线段与一个所述第二子线段的中点重合，且中点重合的所述第一子线段和所述第二子线段构成一个交叉结构，并限定出相对设置的两个第一夹角和两个第二夹角；所述第一夹角的角度不大于所述第二夹角的角度；

   所述交叉结构划分为第一虚拟四边形和第二虚拟四边形；所述第一虚拟四边形内设置所述第一子线段，且所述第一虚拟四边形的宽度为所述第一子线段的最大宽度，长度为所述第一子线段的长度；所述第二虚拟四边形内设置所述第二子线段，且所述第二虚拟四边形的宽度为所述第二子线段的最大宽度，长度为所述第二子线段的最大长度；

   对于任一所述交叉结构，限定出所述第一夹角的两条侧边分别为第一侧边和第二侧边，所述第一侧边上的点S1与所述第二侧边上的点S2连线的长度为所述第一侧边和所述第二侧边之间的最大距离L1；所述S1和所述S2的连线与所述第一虚拟四边的侧边的交点为S3，与所述第二虚拟四边形的侧边的交点为S4，所述S3和所述S4连线的长度为L2；所述L1大于所述L2。
2. 根据权利要求1所述的金属网格，其中，所述交叉结构中的所述第一子线段包括两个第一分支，以及设置在两个所述第一分支之间且将二者连接的第一连接部；所述第二子线段包括两个第二分支，以及设置在两个所述第二分支之间且将二者连接的第二连接部；所述第一连接部和所述第二连接部交叉设置；所述第一分支和第二分支的最大宽度均为a1，所述第一侧边和所述侧边的长度均为b1，所述第一连接部和所述第二连接部的宽度均为c1；3a1＜b1＜5a1；0.6a1＜c1＜0.8a1。
3. 根据权利要求1所述的金属网格，其中，所述第一分支与所述第一 连接部连接所形成的二面角不小于90°。
4. 根据权利要求1-3中任一项所述的金属网格，其中，所述第一子线段以贯穿其最大宽度中点且沿第二方向延伸的直线为对称轴呈轴对称图形；所述第二子线段以贯穿其最大宽度中点且沿第三方向延伸的直线为对称轴呈轴对称图形。
5. 根据权利要求1所述的金属网格，其中，所述第一夹角包括平倒角或者圆倒角；在所述交叉结构中，所述第一侧边和所述第二侧边的延长线的交点与所述第一夹角顶点之间的距离L3，所述第一侧边和所述第二侧边的延长线的交点与所述第一子线段和所述第二子线段交叉区域中心之间的距离为L4；L3:L4＝1:10～1:2。
6. 根据权利要求1所述的金属网格，其中，对于任一所述交叉结构，限定出所述第二夹角的两条侧边分别为第三侧边和第四侧边，所述第三侧边上的点S5与所述第四侧边上的点S6连线的长度为所述第三侧边和所述第四侧边之间的最大距离L5；所述S5和所述S6的连线与所述第一虚拟四边的侧边的交点为S7，与所述第二虚拟四边形的侧边的交点为S8，所述S7和所述S8连线的长度为L6；所述L6大于所述L5。
7. 根据权利要求6所述的金属网格，其中，所述S1和所述S2的连线与所述第一子线段和第二子线段所限定出的面积为A，所述S5和所述S6的连线与所述第一子线段和所述第二子线段所限定出的面积为B；所述第一子线段和苏搜狐第二子线段交叉区域的面积为C；(A+B)：C≤1:2。
8. 根据权利要求1-7中任一项所述的金属网格，其中，所述第二夹角包括圆倒角或者平倒角。
9. 根据权利要求1-7中任一项所述的金属网格，其中，两个所述第二夹角的顶点的连线与所述第一方向存在一定的夹角。
10. 根据权利要求1所述的金属网格，其中，所述交叉结构中的第一子线段包括两个第一分支，所述第二子线段包括两个第二分支；所述交叉结构还包括设置在两个所述第一分支和两个所述第二分支四者之间第一环形连 接部；在所述交叉结构中，两个所述第一分支和两个所述第二分支与所述第一环形连接部的连接节点均不同。
11. 根据权利要求10所述的金属网格，其中，开口相对的两相邻的所述第二夹角之间连接一第一桥接部。
12. 一种薄膜传感器，其包括权利要求1-11中任一项所述的金属网格。
13. 一种掩膜板，其包括：遮光部和透光部；其中，所述遮光部包括交叉设置的多条第一遮光条和多条第二遮光条；所述多条第一遮光条沿第二方向延伸，且沿第一方向并排设置；所述多条第二遮光条沿第三方向延伸，且沿所述第一方向并排设置；

    所述第一遮光条的最大宽度为第一宽度，所述第二遮光条的最大宽度为第二宽度；

    每条所述第一遮光条包括沿所述第二方向设置的多条第一子遮光条，各所述第一子遮光条均沿所述第二方向延伸，且各所述第一子遮光条宽度均与所述第一宽度相同；每条所述第二遮光条包括沿所述第三方向设置的多条第二子遮光条，各所述第二子遮光条均沿第三方向延伸，且各所述第二子遮光条宽度均与所述第二宽度相同；

    其中，对于任一所述第一遮光条上相邻设置的第一子遮光条之间存在一定的间距；且任意相邻两条所述第一子遮光条构成一第一子遮光部，所述第一子遮光部具有相对设置的第一端和第二端；对于任一所述第二遮光条上相邻设置的第二子遮光条之间存在一定的间距；且任意相邻两条所述第二子遮光条构成一第二子遮光部，所述第二子遮光部具有相对设置的第三端和第四端；

    其中，所述遮光部还包括至少一个第一遮光单元，每个所述第一遮光单元包括交叉设置的第一子遮光部和第二子遮光部；所述第一端和所述第二端相对于第一对称点中心对称；且所述第一遮光单元中，两条所述的第二子遮光条包括相对设置的第三端和第四端，所述第三端和所述第四端相对于第二对称点中心对称。
14. 根据权利要求13所述的掩膜板，其中，每个所述第一遮光单元中的所述第一对称点与所述第二对称点重合。
15. 根据权利要求13所述的掩膜板，其中，还包括连接在沿所述第二方向相邻设置的所述第一子遮光条之间的第三连接部，以及连接在沿所述第三方向相邻设置的第二子遮光条之间的第四连接部；每个所述第一遮光单元中的所述第三连接部和所述第四连接部交叉设置；

    所述第一子遮光条的宽度为a2，所述第三连接部的长度为b2，所述第三连接部的宽度为c2；1.5a2<b2<2.5a2；0.6a2<c2<0.8a2；

    所述第二子遮光条的宽度为d2，所述第四连接部的长度为e2，所述第四连接部的宽度为f2；1.5d2<e2<2.5d2；0.6d2<f2<0.8d2。
16. 根据权利要求15所述的掩膜板，其中，所述第一子遮光条的宽度a2等于第二子遮光条的宽度d2；所述第三连接部的长度b2等于所述第四连接部的长度e2；所述第三连接部的宽度c2等于述第四连接部的宽度f2。
17. 根据权利要求15所述的掩膜板，其中，所述第一子遮光条与所述第三连接部连接所形成的二面角不小于90°；所述第二子遮光条与所述第四连接部连接所形成的二面角不小于90°。
18. 根据权利要求13所述的掩膜板，其中，每个所述第一遮光单元中还设置有一个第二环形连接部；且所述第二环形连接部连接在该第一遮光单元中的两个所述第一子遮光条和两个所述第二子遮光条之间，两个所述第一子遮光条和两个所述第二子遮光条与所述第二环形连接部的连接交点不同。
19. 根据权利要求13所述的掩膜板，其中，每个所述第一遮光单元中，所述第二环形连接部连接在该第一遮光单元中的两个所述第一子遮光条和两个所述第二子遮光条之间，并限定出相对两设置的第三夹角和两相对设置的第四夹角，且所述第三夹角不大于所述第四夹角，在两相对设置的所述第四夹角之间连接有第二桥接部。