CN112882338A - 菲林片、金属网格制备方法及金属网格 - Google Patents

菲林片、金属网格制备方法及金属网格 Download PDF

Info

Publication number
CN112882338A
CN112882338A CN202110100686.1A CN202110100686A CN112882338A CN 112882338 A CN112882338 A CN 112882338A CN 202110100686 A CN202110100686 A CN 202110100686A CN 112882338 A CN112882338 A CN 112882338A
Authority
CN
China
Prior art keywords
line
film
metal
grid
edge
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202110100686.1A
Other languages
English (en)
Inventor
苏伟
叶宗和
王海峰
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Micron Optoelectronics Co., Ltd.
Original Assignee
Micron Optoelectronics Co., Ltd.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Micron Optoelectronics Co., Ltd. filed Critical Micron Optoelectronics Co., Ltd.
Priority to CN202110100686.1A priority Critical patent/CN112882338A/zh
Publication of CN112882338A publication Critical patent/CN112882338A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/03Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
    • G06F3/041Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)

Abstract

本发明涉及一种菲林片、金属网格制备方法及金属网格,其中,菲林片,包括:菲林片本体;网格层,包括设于所述菲林片本体表面的线路部分和网格部分,所述线路部分包括多条沿第一方向延伸的第一线路、及多条沿第二方向延伸的第二线路;当所述第一线路与所述第二线路之间的夹角为二十度至一百六十度时,所述线路部分还包括以所述第一线路的边缘与所述第二线路的边缘相交的交点为圆心设置的挖空部,所述第一线路的宽度等于所述第二线路的宽度,所述挖空部的半径等于所述第一线路投影的边缘与由所述菲林片制成线路投影的边缘之间差值的预设倍数。本发明技术方案能提升触摸屏的透光率、降低金属线的可视性。

Description

菲林片、金属网格制备方法及金属网格
技术领域
本发明涉及金属网格技术领域,尤其涉及一种菲林片、金属网格制备方法及金属网格。
背景技术
由于金属材质具有低电阻和高延展性,现有采用金属网格作触摸电极的金属网格触摸屏,金属网格包括多条沿第一方向延伸的第一金属线、和多条沿第二方向延伸的第二金属线,第一金属线与第二金属线相交。
现有技术中,使用菲林工艺制作金属网格,当要制作的金属网格的金属线的直径小于九微米时,如图1所示,第一金属线与第二金属线之间相交处会出现节点尺寸大于金属线宽度的节点,导致触摸屏的透光率下降,金属线的可视性提升。
发明内容
本发明提供一种菲林片、金属网格制备方法及金属网格,旨在提升触摸屏的透光率、降低金属线的可视性。
为实现上述目的,本发明提供一种菲林片,包括:
菲林片本体;
网格层,包括设于所述菲林片本体表面的线路部分和网格部分,所述线路部分包括多条沿第一方向延伸的第一线路、及多条沿第二方向延伸的第二线路;
当所述第一线路与所述第二线路之间的夹角为二十度至一百六十度时,所述线路部分还包括以所述第一线路的边缘与所述第二线路的边缘相交的交点为圆心设置的挖空部,所述第一线路的宽度等于所述第二线路的宽度,所述挖空部的半径等于所述第一线路投影的边缘与由所述菲林片制成线路投影的边缘之间差值的预设倍数。
可选的,所述第一线路与所述第二线路之间的夹角为二十度至九十度时,所述预设倍数为五分之一至二分之一。
可选的,所述第一线路与所述第二线路之间的夹角为二十度至四十五度时,所述预设倍数为五分之一至四分之一。
可选的,所述第一线路与所述第二线路之间的夹角为四十五度至六十度时,所述预设倍数为四分之一至三分之一。
可选的,所述第一线路与所述第二线路之间的夹角为六十度至九十度时,所述预设倍数为三分之一至二分之一。
可选的,所述第一线路与所述第二线路之间的夹角为九十度至一百六十度时,所述预设倍数为零。
此外,为实现上述目的,本发明还提供一种金属网格制备方法,包括:
在所述金属片表面涂布感光材料形成感光层;
将所述金属片贴附至如上述任一项所述的菲林片上,进行曝光;
对所述金属片使用显影药水;
对所述金属片使用蚀刻液;
去除所述金属片表面留下的所述感光层,得到完成图案化的产品。
可选的,当所述感光材料为负性光阻或干膜时,所述菲林片的线路部分透光;
当所述感光材料为正性光阻时,所述菲林片的网格部分透光。
可选的,所述在所述金属片表面涂布感光材料形成感光层的步骤之前或之后还包括:
对所述金属片进行裁切。
此外,为实现上述目的,本发明还提供一种金属网格,由上述任一项所述的方法制成,包括:
多条沿第一方向延伸的第一金属线、及多条沿第二方向延伸的第二金属线。
本发明技术方案通过在菲林片本体表面设置网格层,并在网格层上的第一线路与第二线路之间的夹角在二十度至一百六十度时,在第一线路的边缘和第二线路的边缘的交点处设置挖空部,以用于在制作金属网格时,使用该菲林片进行曝光,在金属片的表面形成与所述网格层结构相同的防蚀刻层,在对金属片蚀刻时,蚀刻液进入到防蚀刻层的挖空部内,相比现有的金属网格,本发明技术方案制得的金属网格的节点面积减小了,提升了触摸屏的透光性,降低金属线的可视性。
附图说明
图1是现有技术中金属网格的交点的示意图;
图2是本发明一实施例中的菲林片上的线路与金属线在菲林片上投影的示意图;
图3是本发明一实施例中的菲林片上的线路的结构示意图;
图4是本发明一实施例中菲林片上第一线路和第二线路之间夹角的示意图;
图5是使用本发明的菲林片进行曝光作业后得到的金属网格的交点示意图;
图6是本发明金属网格制备方法一实施例的流程示意图。
附图标号说明:
标号 名称 标号 名称
100 菲林片 20 第二线路
10 第一线路 30 挖空部
本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例,参照附图做进一步说明。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
需要说明,若本发明实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……),则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等,如果该特定姿态发生改变时,则该方向性指示也相应地随之改变。
另外,若本发明实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述,则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外,各个实施例之间的技术方案可以相互结合,但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础,当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在,也不在本发明要求的保护范围之内。
本发明实施例提供了一种菲林片100。
在本发明实施例中,如图2-图4所示,该菲林片100,包括:
菲林片本体;
网格层,包括设于所述菲林片本体表面的线路部分和网格部分,所述线路部分包括多条沿第一方向延伸的第一线路10、及多条沿第二方向延伸的第二线路20;
当所述第一线路10与所述第二线路20之间的夹角为二十度至一百六十度时,所述线路部分还包括以所述第一线路10的边缘与所述第二线路20的边缘相交的交点为圆心设置的挖空部30,所述第一线路10的宽度等于所述第二线路20的宽度,所述挖空部30的半径等于所述第一线路10投影的边缘与由所述菲林片100制成线路投影的边缘之间差值的预设倍数。
如图2和图3中所示,第一线路10宽度为a,第二线路20宽度为b,挖空部30的半径为r,第一线路10投影的边缘与由所述菲林片100制成线路投影的边缘之间差值为L。
本实施例中,菲林片本体是透光的,网格层中,线路部分和网格部分其中一个透光,另一个不透光,在生产中,根据感光材料的属性选择使用线路部分透光或是网格部分透光的菲林片100。
本实施例中,第一线路10和第二线路20均与挖空部30求差,即第一线路10和第二线路20部减去挖空部30,形成线路部分;第一线路10和第二线路20围合形成多个网格,网格与挖空部30求和,即网格加上挖空部30形成网格部分。
第一线路10或第二线路20在线路的延伸方向上会有多个挖空部30,第一线路10或第二线路20的宽度等于在线宽方向上,两个挖空部30中心的距离。
如图4中所示,第一线路10与第二线路20的夹角为θ。
本发明技术方案通过在菲林片本体表面设置网格层,并在网格层上的第一线路10与第二线路20之间的夹角在二十度至一百六十度时,在第一线路10的边缘和第二线路20的边缘的交点处设置挖空部30,以用于在制作金属网格时,使用该菲林片100进行曝光,在金属片的表面形成与所述菲林片100上的所述网格层结构相同的防蚀刻层,在对金属片蚀刻时,将蚀刻液倒在金属片的表面,有防蚀刻层的位置不会被蚀刻,能保留下来,没有防蚀刻层的位置会被蚀刻液蚀刻,最终形成网格状,在蚀刻过程中,蚀刻液进入到防蚀刻层的挖空部30内,相当于增大了节点处被蚀刻的面积,所以,相比现有的金属网格,本发明技术方案制得的金属网格的节点面积减小了,提升了触摸屏的透光性,降低金属线的可视性。
当第一线路10和第二线路20之间的夹角小于二十度时,由菲林片100曝光制得的金属网格图案与LCM(液晶模块)的RGB图案易产生摩尔纹,所以菲林片100上不会让第一线路10和第二线路20之间的夹角小于二十度。
进一步的,如图2-图4所示,所述第一线路10与所述第二线路20之间的夹角为二十度至九十度时,所述预设倍数为五分之一至二分之一。
进一步的,如图2-图4所示,所述第一线路10与所述第二线路20之间的夹角为二十度至四十五度时,所述预设倍数为五分之一至四分之一。
进一步的,如图2-图4所示,所述第一线路10与所述第二线路20之间的夹角为四十五度至六十度时,所述预设倍数为四分之一至三分之一。
进一步的,如图2-图4所示,所述第一线路10与所述第二线路20之间的夹角为六十度至九十度时,所述预设倍数为三分之一至二分之一。
进一步的,如图2-图4所示,所述第一线路10与所述第二线路20之间的夹角为九十度至一百六十度时,所述预设倍数为零。
具体的,预设倍数为零,即是当所述第一线路10与所述第二线路20之间的夹角大于九十度时,所述第一线路10的边缘与所述第二线路20的边缘相交的交点处不设置挖空部30。
如图5所示,本发明还提出一种金属网格的制备方法,该方法包括:
步骤S101:在所述金属片表面涂布感光材料形成感光层;
步骤S102:将所述金属片贴附至菲林片100上,进行曝光;
步骤S103:对所述金属片使用显影药水;
步骤S104:对所述金属片使用蚀刻液;
步骤S105:去除所述金属片表面留下的所述感光层,得到完成图案化的产品。
菲林片100的具体结构参考上述实施例。
具体的,所述金属片为铜膜。
所述在所述金属片表面涂布感光材料形成感光层,包括:准备铜膜和感光材料,在铜膜表面涂布感光材料,形成感光层。
感光材料包括负性光阻、正性光阻或干膜等。
所述将所述金属片贴附至菲林片100上,进行曝光,包括:将涂布有感光层的铜膜贴附至菲林片100上。
菲林片100没有网格层的一层贴附于铜膜上附着有感光层的一面,进行曝光作业。
在曝光中,紫外光从铜膜贴附有菲林片100的一侧照向铜膜。
所述对所述金属片使用显影药水,包括:使用碱性药水去除掉感光层上经曝光后未固化的区域,留下固化的区域作为防蚀刻层。
所述对所述金属片使用蚀刻液,包括:使用蚀刻液去除铜膜,得到网格状的铜膜。
铜膜上附着有防蚀刻层的位置不会被蚀刻,会被保留,铜膜上没有防蚀刻层的位置会被蚀刻液蚀刻,最终,片状的铜膜蚀刻成网格状的铜膜。
所述去除所述金属片表面留下的所述感光层,得到完成图案化的产品,包括:将铜膜上被曝光固化的防蚀刻层去除掉,留下完成图案化的网格状铜膜。
进一步的,当所述感光材料为负性光阻或干膜时,所述菲林片100的线路部分透光;
当所述感光材料为正性光阻时,所述菲林片100的网格部分透光。
具体的,负性光阻和干膜都是经曝光后,被光照的区域会固化,固化后的部分不溶于显影液,所以,当所述感光材料为负性光阻或干膜时,所述菲林片100的线路部分透光,铜膜上的感光层才能形成网格状的防蚀刻层。
正性光阻是本身不溶于显影液,但经曝光后,被光照的部分会被显影液溶解,所以,当所述感光材料为正性光阻时,所述菲林片100的网格部分透光,铜膜上的感光层才能形成网格状的防蚀刻层。
进一步的,所述在所述金属片表面涂布感光材料形成感光层的步骤之前或之后还包括:
对所述金属片进行裁切。
具体的,在生产中需要根据生产的需要对金属片进行裁切,方便金属网格制备。
本发明还提出一种金属网格,制备方法参考上述实施例所述的方法,包括:
多条沿第一方向延伸的第一金属线、及多条沿第二方向延伸的第二金属线。
具体的,第一方向与第二方向不平行,第一金属线与第二金属线相交形成有多个交点。
如图6中所示,使用上述实施例中所述的金属网格制备方法制成的金属网格,其中第一金属线与第二金属线相交的交点处,交点尺寸大于金属线的线宽的情况已经消失。
需要说明的是,在本文中,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者系统不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者系统所固有的要素。在没有更多限制的情况下,由语句“包括一个……”限定的要素,并不排除在包括该要素的过程、方法、物品或者系统中还存在另外的相同要素。
上述本发明实施例序号仅仅为了描述,不代表实施例的优劣。
以上所述仅为本发明的优选实施例,并非因此限制本发明的专利范围,凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或流程变换,或直接或间接运用在其它相关的技术领域,均同理包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种菲林片,其特征在于,包括:
菲林片本体;
网格层,包括设于所述菲林片本体表面的线路部分和网格部分,所述线路部分包括多条沿第一方向延伸的第一线路、及多条沿第二方向延伸的第二线路;
当所述第一线路与所述第二线路之间的夹角为二十度至一百六十度时,所述线路部分还包括以所述第一线路的边缘与所述第二线路的边缘相交的交点为圆心设置的挖空部,所述第一线路的宽度等于所述第二线路的宽度,所述挖空部的半径等于所述第一线路投影的边缘与由所述菲林片制成线路投影的边缘之间差值的预设倍数。
2.根据权利要求1所述的菲林片,其特征在于,所述第一线路与所述第二线路之间的夹角为二十度至九十度时,所述预设倍数为五分之一至二分之一。
3.根据权利要求2所述的菲林片,其特征在于,所述第一线路与所述第二线路之间的夹角为二十度至四十五度时,所述预设倍数为五分之一至四分之一。
4.根据权利要求2所述的菲林片,其特征在于,所述第一线路与所述第二线路之间的夹角为四十五度至六十度时,所述预设倍数为四分之一至三分之一。
5.根据权利要求2所述的菲林片,其特征在于,所述第一线路与所述第二线路之间的夹角为六十度至九十度时,所述预设倍数为三分之一至二分之一。
6.根据权利要求1所述的菲林片,其特征在于,所述第一线路与所述第二线路之间的夹角为九十度至一百六十度时,所述预设倍数为零。
7.一种金属网格制备方法,其特征在于,包括:
在所述金属片表面涂布感光材料形成感光层;
将所述金属片贴附至如权利要求1-6任一项所述的菲林片上,进行曝光;
对所述金属片使用显影药水;
对所述金属片使用蚀刻液;
去除所述金属片表面留下的所述感光层,得到完成图案化的产品。
8.根据权利要求7所述的方法,其特征在于,当所述感光材料为负性光阻或干膜时,所述菲林片的线路部分透光;
当所述感光材料为正性光阻时,所述菲林片的网格部分透光。
9.根据权利要求7所述的方法,其特征在于,所述在所述金属片表面涂布感光材料形成感光层的步骤之前或之后还包括:
对所述金属片进行裁切。
10.一种金属网格,由权利要求7-9任一项所述的方法制成,其特征在于,包括:
多条沿第一方向延伸的第一金属线、及多条沿第二方向延伸的第二金属线。
CN202110100686.1A 2021-01-25 2021-01-25 菲林片、金属网格制备方法及金属网格 Pending CN112882338A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110100686.1A CN112882338A (zh) 2021-01-25 2021-01-25 菲林片、金属网格制备方法及金属网格

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110100686.1A CN112882338A (zh) 2021-01-25 2021-01-25 菲林片、金属网格制备方法及金属网格

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN112882338A true CN112882338A (zh) 2021-06-01

Family

ID=76051821

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202110100686.1A Pending CN112882338A (zh) 2021-01-25 2021-01-25 菲林片、金属网格制备方法及金属网格

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN112882338A (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114914252A (zh) * 2022-04-29 2022-08-16 无锡变格新材料科技有限公司 光罩、触控模组、显示模组、网格导电结构及其制备方法
WO2022267053A1 (zh) * 2021-06-25 2022-12-29 京东方科技集团股份有限公司 金属网格、薄膜传感器及掩膜板

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1605936A (zh) * 2003-10-06 2005-04-13 松下电器产业株式会社 光掩模及图案形成方法
CN103377754A (zh) * 2012-04-19 2013-10-30 深圳欧菲光科技股份有限公司 导电薄膜及其制备方法
CN104281000A (zh) * 2014-10-23 2015-01-14 京东方科技集团股份有限公司 一种掩膜板
JP2015106264A (ja) * 2013-11-29 2015-06-08 凸版印刷株式会社 配線フィルム製造用フォトマスク及び配線フィルムの製造方法
CN104777939A (zh) * 2015-04-24 2015-07-15 昆山龙腾光电有限公司 触控面板
JP2016115152A (ja) * 2014-12-15 2016-06-23 大日本印刷株式会社 タッチパネルセンサおよびタッチパネルセンサの製造方法およびタッチ位置検出機能付き表示装置
CN111413846A (zh) * 2020-04-21 2020-07-14 Tcl华星光电技术有限公司 一种掩膜板、显示面板及其制备方法

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1605936A (zh) * 2003-10-06 2005-04-13 松下电器产业株式会社 光掩模及图案形成方法
CN103377754A (zh) * 2012-04-19 2013-10-30 深圳欧菲光科技股份有限公司 导电薄膜及其制备方法
JP2015106264A (ja) * 2013-11-29 2015-06-08 凸版印刷株式会社 配線フィルム製造用フォトマスク及び配線フィルムの製造方法
CN104281000A (zh) * 2014-10-23 2015-01-14 京东方科技集团股份有限公司 一种掩膜板
JP2016115152A (ja) * 2014-12-15 2016-06-23 大日本印刷株式会社 タッチパネルセンサおよびタッチパネルセンサの製造方法およびタッチ位置検出機能付き表示装置
CN104777939A (zh) * 2015-04-24 2015-07-15 昆山龙腾光电有限公司 触控面板
CN111413846A (zh) * 2020-04-21 2020-07-14 Tcl华星光电技术有限公司 一种掩膜板、显示面板及其制备方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2022267053A1 (zh) * 2021-06-25 2022-12-29 京东方科技集团股份有限公司 金属网格、薄膜传感器及掩膜板
CN116529669A (zh) * 2021-06-25 2023-08-01 京东方科技集团股份有限公司 金属网格、薄膜传感器及掩膜板
CN114914252A (zh) * 2022-04-29 2022-08-16 无锡变格新材料科技有限公司 光罩、触控模组、显示模组、网格导电结构及其制备方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN112882338A (zh) 菲林片、金属网格制备方法及金属网格
CN109752930B (zh) 掩模版的形成方法及掩模版
CN110824847B (zh) 提高套刻精度的刻蚀方法
JP2005183153A (ja) 蒸着用マスクの製造方法
CN215006242U (zh) 菲林片
CN113176702B (zh) 菲林片、金属网格制备方法及金属网格
CN110690197A (zh) 一种半导体对位结构及半导体基板
US5945238A (en) Method of making a reusable photolithography mask
KR19990045535A (ko) 마스크 블랭크와 마스크의 제조 방법
JPH05326358A (ja) 微細パターン形成方法
CN109935515A (zh) 形成图形的方法
US6033812A (en) Mask manufacturing method for forming an electron beam drawing pattern
CN112071823A (zh) 一种对位标记及其制备方法
JPS59192248A (ja) レテイクル
JP4720021B2 (ja) 荷電ビーム投影露光用マスクの製造方法
CN114914252A (zh) 光罩、触控模组、显示模组、网格导电结构及其制备方法
CN220040958U (zh) 用于监测曝光图形位置准确度的图形结构
CN111508825B (zh) 一种器件偏移监测方法、半导体器件及其制作方法
CN113299607B (zh) 阵列基板制备方法
CN117008411A (zh) 掩膜版、涂胶方法及显示面板
CN114927533A (zh) 网格导电结构及其制备方法、触控模组及显示模组
CN117255489A (zh) 一种改善刻蚀节点过大的金属线路制备方法
CN117008413A (zh) 光刻胶底切形貌的制作方法
JP3529967B2 (ja) アライメントマーク付きフォトマスク用ブランクスの製造方法
CN116959962A (zh) 用于承载压印材料的基板、其制造方法以及压印方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
CB03 Change of inventor or designer information

Inventor after: Su Wei

Inventor after: Ye Zonghe

Inventor before: Su Wei

Inventor before: Ye Zonghe

Inventor before: Wang Haifeng

CB03 Change of inventor or designer information
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination