CN116519997A - 自动化植针系统 - Google Patents
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Abstract
本申请提供一种自动化植针系统，涉及半导体设备领域，其包括探针上料机构、植针机构、植针盘上料机构及纠偏机构；探针上料机构包括上料输送组件及探针上料载盘；植针盘上料机构包括植针盘输送组件以及设置有植针孔的植针盘；植针机构包括夹持组件以及夹持运输组件；夹持组件用于夹持预设上料工位的探针，将探针调节成竖直状态，将调节成竖直状态的探针植入植针孔；夹持输送组件用于在预设上料工位和预设植针工位之间往返输送夹持组件；纠偏机构包括第一纠偏组件和第二纠偏组件。通过设置探针上料机构、植针机构、植针盘上料机构及纠偏机构，实现来料检测、植针以及植针效果检测的自动化，并保证高密度垂直探针卡具有较高的良品率。
Description
技术领域
本申请涉及半导体设备领域，具体涉及一种自动化植针系统。
背景技术
植针是高密度垂直探针卡组装的核心工序之一，它包括来料检测、植针和植针效果检测三个步骤。
来料检测步骤分为人工目检和影像测量检测，因为探针卡是一种安装探针良率必须为100％的特殊产品，在当前探针卡探针数已上升到万级的客观条件下，需要投入大量人力和影像测量设备来针对探针的外形尺寸和陶瓷基板上的植针孔尺寸和位置度进行来料检测，需要投入较高的成本。
植针步骤当前主要依靠人工操作完成，高密度垂直探针卡使用的探针都非常微小，直径在30μm到50μm之间，操作人员需要依靠光学显微镜进行极高精度的手工操作，这对于操作人员的经验以及操作状态较为依赖，且人工操作的效率、良品率均难以保障，一旦出现废针或者废卡，会造成较大的成本损失。
植针效果检测步骤当前主要由人工完成，也分为人工目检和影像测量检测，同来料检测一样，需要投入足够的人员和设备。
因此，需要一种新的自动化植针系统，能够实现来料检测步骤、植针步骤以及植针效果检测步骤的自动化，同时还能够保证高密度垂直探针卡具有较高的良品率。
发明内容
有鉴于此，本说明书实施例提供一种自动化植针系统，能够实现来料检测步骤、植针步骤以及植针效果检测步骤的自动化，同时还能够保证高密度垂直探针卡具有较高的良品率。
本说明书实施例提供以下技术方案：
本说明书实施例提供一种自动化植针系统，包括探针上料机构、植针机构、植针盘上料机构及纠偏机构；
探针上料机构包括上料输送组件以及用于承载探针的探针上料载盘；上料输送组件被配置为：带动探针上料载盘移动，以使探针上料载盘承载的探针移动至预设上料工位；
植针盘上料机构包括植针盘输送组件以及设置有植针孔的植针盘；植针盘输送组件被配置为：带动植针盘移动，以使植针盘上的植针孔移动至预设植针工位；
植针机构包括夹持组件以及夹持运输组件；
夹持组件被配置为：夹持预设上料工位的探针，将探针调节成竖直状态，将调节成竖直状态的探针植入预设植针工位上的植针孔；夹持输送组件被配置为：在预设上料工位和预设植针工位之间往返输送夹持组件；
纠偏机构包括第一纠偏组件和第二纠偏组件；
第一纠偏组件被配置为：获取探针上料载盘上探针的尺寸信息及探针相对预设上料工位的位置信息，输出第一反馈信息；上料输送组件还被配置为：根据第一反馈信息，调节探针的位置状态；
第二纠偏组件被配置为：获取植针孔的尺寸信息、植针孔相对预设植针工位的位置信息以及植针孔的植针状态信息，根据植针孔的尺寸信息以及植针孔相对预设植针工位的位置信息，输出第二反馈信息；植针盘输送组件还被配置为：根据第二反馈信息，调节植针孔的位置状态。
优选的，第一纠偏组件被配置为：获取探针上料载盘上探针的尺寸、探针相对预设上料工位的位置偏移量，输出第一反馈信息；上料输送组件还被配置为：根据第一反馈信息，调节探针的位移量。
优选的，第一纠偏组件被配置为：获取探针上料载盘上探针的尺寸、探针相对预设上料工位的位置偏移量及角度偏移量，输出第一反馈信息；上料输送组件还被配置为：根据第一反馈信息，调节探针的位移量及角度偏移量。
优选的，上料输送组件包括X轴上料驱动件、Y轴上料驱动件以及上料角度调节驱动件；
X轴上料驱动件被配置为：在X轴方向上带动探针上料载盘移动；
Y轴上料驱动件被配置为：在Y轴方向上带动探针上料载盘移动；
上料角度调节驱动件被配置为：在水平方向上调节探针上料载盘的角度。
优选的，纠偏机构还包括植针X方向纠偏相机和植针Y方向纠偏相机；
植针X方向纠偏相机被配置为：获取预设植针工位上探针在X轴方向上的位置偏移量以及角度偏移量，输出第三反馈信息；
植针Y方向纠偏相机被配置为：获取预设植针工位上探针的Y轴方向上的位置偏移量以及角度偏移量，输出第四反馈信息；
夹持运输组件和夹持组件相互配合，根据第三反馈信息和第四反馈信息，调节预设植针工位上探针的位移量和角度偏移量。
优选的，预设上料工位和预设植针工位在X轴方向依次分布；
夹持运输组件包括X轴夹持驱动件、Z轴夹持驱动件；
X轴夹持驱动件被配置为：在预设上料工位和预设植针工位之间往返输送夹持组件；
Z轴夹持驱动件被配置为：在竖直方向上带动夹持组件位移；
夹持组件包括夹持件、第一夹持角度调节件以及第二夹持角度调节件，夹持件用于夹持探针；
第一夹持角度调节件和第二夹持角度调节件相互配合，调节探针在水平方向和竖直方向上的角度偏移量。
优选的，植针盘输送组件包括X轴植针盘移动调节件以及Y轴植针盘移动调节件；
X轴植针盘移动调节件被配置为：在X轴方向上带动植针盘位移；
Y轴植针盘移动调节件被配置为：在Y轴方向上带动植针盘位移。
优选的，第一纠偏组件为相机，且第一纠偏组件连接有微调滑台，微调滑台用于调节第一纠偏组件的焦点。
优选的，Z轴夹持驱动件为直线电机。
优选的，第二夹持角度调节件为直接驱动电机。
与现有技术相比，本说明书实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到的有益效果至少包括：
1、通过探针上料机构和第一纠偏组件的配合，实现对探针上料以及探针来料检测的自动化；
2、通过植针机构对探针的夹取、转运以及植针，实现植针步骤的自动化；
3、通过第二纠偏组件对植针孔上植针状态信息的检测，实现植针效果检测的自动化；
4、第一纠偏组件通过对探针位置信息、尺寸信息的检测，能够实时给予上料输送组件反馈，及时调整探针的位置状态，使得每一根移动至预设上料工位的探针，均能够保持相同的姿态，以方便夹持组件的夹持，提高探针夹持的准确率，进而也能够提高植针步骤中每根探针姿态的一致性，与第二纠偏组件以及植针盘输送组件配合，相比于人工操作，更能够有效保证高密度垂直探针卡的良品率。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
图1是本申请实施例中整体结构的俯视图；
图2是本申请实施例中整体结构的示意图；
图3是本申请实施例中整体结构的另一示意图。
附图标记：1、基座；2、传输基台；3、X轴夹持驱动件；4、Z轴夹持驱动件；5、第一夹持角度调节件；6、第二夹持角度调节件；7、夹持件；8、XYθ组合轴；9、探针上料底座；10、探针上料载盘；11、第一纠偏支架；12、第一纠偏组件；13、XY组合轴；14、植针盘上料底座；15、植针盘；16、植针X方向纠偏支架；17、植针X方向纠偏相机；18、植针Y方向纠偏支架；19、植针Y方向纠偏相机；20、第二纠偏支架；21、第二纠偏组件。
具体实施方式
下面结合附图对本申请实施例进行详细描述。
以下通过特定的具体实例说明本申请的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本申请的其他优点与功效。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。本申请还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本申请的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
要说明的是，下文描述在所附权利要求书的范围内的实施例的各种方面。应显而易见，本文中所描述的方面可体现于广泛多种形式中，且本文中所描述的任何特定结构及/或功能仅为说明性的。基于本申请，所属领域的技术人员应了解，本文中所描述的一个方面可与任何其它方面独立地实施，且可以各种方式组合这些方面中的两者或两者以上。举例来说，可使用本文中所阐述的任何数目和方面来实施设备及/或实践方法。另外，可使用除了本文中所阐述的方面中的一或多者之外的其它结构及/或功能性实施此设备及/或实践此方法。
还需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本申请的基本构想，图式中仅显示与本申请中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
另外，在以下描述中，提供具体细节是为了便于透彻理解实例。然而，所属领域的技术人员将理解，可在没有这些特定细节的情况下实践。
有鉴于此，发明人对高密度垂直探针卡的生产组装环节，进行深入研究及改进探索，发现高密度垂直探针卡组装环节中的来料检测步骤、植针步骤以及植针效果检测步骤主要依靠人工操作或者需要投入较大的设备成本，且高密度垂直探针卡的生产效率不高，良品率低。
基于此，本说明书实施例提出了一种自动植针系统：如图1所示，包括探针上料机构、植针机构、植针盘上料机构及纠偏机构。探针上料机构能够完成探针的自动上料以及来料检测，植针机构能够实现探针的自动夹取、自动转运以及自动植针，植针盘上料机构能够配合植针机构，输送植针盘上的植针孔至预设植针工位进行植针操作，纠偏机构能够检测探针、植针孔以及植针孔完成植针后的状态，实现植针效果检测、上料环节及植针环节的反馈。
以下结合附图，说明本申请各实施例提供的技术方案。
如图1至图3所示，本说明书实施例提供一种自动化植针系统，包括基座1，基座1上设置有探针上料机构、植针机构、植针盘上料机构及纠偏机构。
探针上料机构包括上料输送组件、探针上料底座9及探针上料载盘10。上料输送组件安装于基座1的上端面，探针上料底座9于上料输送组件的上方安装固定，探针上料载盘10安装于探针上料底座9的上端，探针上料载盘10的上表面用于承载探针。上料输送组件被配置为：带动探针上料底座9移动，通过探针上料底座9带动探针上料载盘10移动，以使探针上料载盘10承载的探针移动至预设上料工位。预设上料工位为设置在基座1上表面的固定工位。
植针盘上料机构包括植针盘输送组件、植针盘上料底座14及设置有植针孔的植针盘15。植针盘输送组件安装于基座1的上端面，植针盘上料底座14于植针盘输送组件的上方安装固定，植针盘15安装于植针盘上料底座14的上端。植针盘输送组件被配置为：带动植针盘上料底座14移动，通过植针盘上料底座14带动植针盘15移动，以使植针盘15上的若干植针孔一一移动至预设植针工位。
预设植针工位为设置在基座1上表面的固定工位，且预设植针工位和预设上料工位于基座1上依次平行分布。以预设植针工位和预设上料工位的分布方向为X轴方向，水平方向上垂直于X轴方向的为Y轴方向，竖直方向为Z轴方向。
基座1的上表面固定有传输基台2，植针机构于传输基台2上设置。植针机构包括夹持组件以及夹持运输组件。
夹持组件被配置为：夹持移动至预设上料工位的探针，将探针调节成竖直状态，将调节成竖直状态的探针植入预设植针工位上的植针孔。
夹持运输组件被配置为：在预设上料工位和预设植针工位之间沿X轴方向往返输送夹持组件，将探针从预设上料工位输送至预设植针工位。
上料输送组件包括X轴上料驱动件、Y轴上料驱动件以及上料角度调节驱动件。X轴上料驱动件被配置为：在X轴方向上带动探针上料载盘10移动。Y轴上料驱动件被配置为：在Y轴方向上带动探针上料载盘10移动。上料角度调节驱动件被配置为：带动探针上料载盘10在水平方向上绕Z轴方向转动，以调节探针上料载盘10相对于预设上料工位的角度。
在本实施例中，X轴上料驱动件和Y轴上料驱动件均为直线电机，上料角度调节驱动件为直接驱动电机。X轴上料驱动件、Y轴上料驱动件以及上料角度调节驱动件相互组合配置成XYθ组合轴8，以调节探针上料载盘10沿X轴方向、Y轴方向的位移以及绕Z轴于水平方向上的转动。实际使用时，探针上料载盘10上的探针相对于预设上料工位的位移量、角度偏移量均能够通过XYθ组合轴8调节，使得每一根运输到预设上料工位上的探针，均能够保持相同的姿态，等待夹持组件的夹持。
在其它实施例中，X轴上料驱动件和Y轴上料驱动件还可以为直线模组，或者，还可以为丝杆加驱动电机的组合。上料角度调节驱动件可以为旋转气缸，也可以为电机加减速机的组合。
在其它实施例中，在不需要调节探针上料载盘10上探针相对于预设上料工位的角度偏移量的前提下，上料输送组件可以仅设置X轴上料驱动件和Y轴上料驱动件，仅调节探针上料载盘10于水平方向上相对于预设上料工位的位移量。
植针盘输送组件包括X轴植针盘移动调节件以及Y轴植针盘移动调节件。
X轴植针盘移动调节件被配置为：在X轴方向上带动植针盘15位移。
Y轴植针盘移动调节件被配置为：在Y轴方向上带动植针盘15位移。
在本实施例中，X轴植针盘移动调节件及Y轴植针盘移动调节件均为直线电机。X轴植针盘移动调节件及Y轴植针盘移动调节件相互组合配置成XY组合轴13，以调节植针盘15于X轴方向及Y轴方向的位移量。实际使用时，植针盘15的植针孔相对于预设植针工位的位移量通过XY组合轴13调节，使得植针盘15的植针孔一一对应移动至预设植针工位。
在其它实施例中，X轴植针盘移动调节件和Y轴植针盘移动调节件还可以为直线模组，或者，还可以为丝杆加电机的组合。
夹持运输组件包括X轴夹持驱动件3、Z轴夹持驱动件4。
X轴夹持驱动件3被配置为：在预设上料工位和预设植针工位之间往返输送夹持组件。
Z轴夹持驱动件4被配置为：在竖直方向上带动夹持组件位移。
在本实施例中，X轴夹持驱动件3和Z轴夹持驱动件4均为直线电机。
在其它实施例中，X轴夹持驱动件3和Z轴夹持驱动件4还可以为直线模组，或者，还可以为丝杆加电机的组合。
夹持组件包括夹持件7、第一夹持角度调节件5以及第二夹持角度调节件6。夹持件7为夹爪，夹持件7用于夹持探针。第一夹持角度调节件5以及第二夹持角度调节件6均为直接驱动电机，第一夹持角度调节件5和第二夹持角度调节件6相互配合，调节夹持件7在水平方向上和竖直方向上的角度偏移量，以调节探针在水平方向和竖直方向上的角度偏移量，使得探针能够调节成竖直状态，以竖直的姿态植入植针孔内。
在其它实施例中，第一夹持角度调节件5以及第二夹持角度调节件6还可以为旋转气缸或者伺服电机。夹持件7还可以为真空吸盘。
纠偏机构包括第一纠偏组件12、第二纠偏组件21、植针X方向纠偏相机17和植针Y方向纠偏相机19。基座1上固定有第一纠偏支架11、第二纠偏支架20、植针X方向纠偏支架16、植针Y方向纠偏支架18。第一纠偏组件12、第二纠偏组件21、植针X方向纠偏相机17和植针Y方向纠偏相机19分别于第一纠偏支架11、第二纠偏支架20、植针X方向纠偏支架16及植针Y方向纠偏支架18上安装固定。
第一纠偏组件12为相机，第一纠偏组件12被配置为：获取探针上料载盘10上探针的尺寸信息及探针相对预设上料工位的位置信息，输出第一反馈信息。探针相对预设上料工位的位置信息包括：在水平方向上，探针相对预设上料工位的位置偏移量以及角度偏移量。
实际使用时，上料输送组件根据第一纠偏组件12给出的第一反馈信息，实时调节探针上料载盘10相对预设上料工位的位移量以及角度偏移量，以确保移动至预设上料工位上的探针均能够保持相同的姿态，等待夹持组件的夹持。
第二纠偏组件21为相机，第二纠偏组件21被配置为：获取植针孔的尺寸信息、植针孔相对预设植针工位的位置信息以及植针孔的植针状态信息，根据植针孔的尺寸信息以及植针孔相对预设植针工位的位置信息，输出第二反馈信息。植针孔相对预设植针工位的位置信息包括植针孔相对预设植针工位于水平方向上的位移量。
实际使用时，植针盘输送组件根据第二纠偏组件21给出的第二反馈信息，实时调节植针盘15相对预设植针工位的位移量，将植针孔一一移动至预设植针工位，以供探针进行植针操作。
植针X方向纠偏相机17被配置为：获取预设植针工位上探针在X轴方向上的位置偏移量以及角度偏移量，输出第三反馈信息。
植针Y方向纠偏相机19被配置为：获取预设植针工位上探针的Y轴方向上的位置偏移量以及角度偏移量，输出第四反馈信息。
实际使用时，夹持运输组件和夹持组件相互配合，根据第三反馈信息和第四反馈信息，调节预设植针工位上探针的位移量和角度偏移量，确保预设植针工位上的探针呈竖直状态，且探针与预设植针工位上的植针孔对齐，以便于后续的植针操作。
第一纠偏组件12、第二纠偏组件21、植针X方向纠偏相机17以及植针Y方向纠偏相机19均连接有微调滑台，微调滑台用于调节相机的焦点，以适应于不同尺寸的探针和植针孔，提高适应能力。
实际使用时，具体步骤如下：
S1，XYθ组合轴8对探针上料载盘10进行水平方向上的位置调节，将探针上料载盘10上的间隔平放的探针移动至第一纠偏组件12的检测位下方。
S2，第一纠偏组件12获取探针的尺寸信息以及位置信息，输出第一反馈信息。
S3，XYθ组合轴8根据第一反馈信息，调节探针上料载盘10的位移量以及角度偏移量，将探针输送至预设上料工位。
S4，Z轴夹持驱动件4带动夹持件7下移，夹持件7夹持预设上料工位上的探针。
S5，Z轴夹持驱动件4带动夹持件7上移，第一夹持角度调节件5和第二夹持角度调节件6相互配合，将探针调节呈竖直状态。
S6，XY组合轴13对植针盘15进行水平方向上的位置调节，将植针盘15上的植针孔移动至第二纠偏组件21的检测位下方。
S7，第二纠偏组件21获取植针孔的尺寸信息及位置信息，输出第二反馈信息。
S8，XY组合轴13根据第二反馈信息，调节植针盘15于水平方向上的位移量，将植针孔移动至预设植针工位。
S9，X轴夹持驱动件3带动探针移动至预设植针工位上方。
S10，植针X方向纠偏相机17和植针Y方向纠偏相机19获取预设植针工位上探针在X轴方向和Y轴方向上的位置偏移量以及角度偏移量，输出第三反馈信息和第四反馈信息。
S11，夹持运输组件和夹持组件相互配合，根据第三反馈信息和第四反馈信息，调节预设植针工位上探针的位移量和角度偏移量，确保探针在植针孔的正上方，且呈竖直状态。
S12，Z轴夹持驱动件4带动夹持件7下移，将探针植入植针孔。
S13，Z轴夹持驱动件4带动夹持件7下移，X轴夹持驱动件3带动夹持件7移动至预设上料工位上方。
S14，第二纠偏组件21检测植针效果。
重复S1-S14，直至完成所有探针的植针。
通过探针上料机构和第一纠偏组件12的配合，实现对探针上料以及探针来料检测的自动化。通过植针机构对探针的夹取、转运以及植针，实现植针步骤的自动化。通过第二纠偏组件21对植针孔上植针状态信息的检测，实现植针效果检测的自动化。第一纠偏组件12通过对探针位置信息、尺寸信息的检测，能够实时给予上料输送组件反馈，及时调整探针的位置状态，使得每一根移动至预设上料工位的探针，均能够保持相同的姿态，以方便夹持组件的夹持，提高探针夹持的准确率，进而也能够提高植针步骤中每根探针姿态的一致性，与第二纠偏组件21以及植针盘输送组件配合，相比于人工操作，更能够有效保证高密度垂直探针卡的良品率。
需要说明的是，第一纠偏组件、第二纠偏组件、植针X方向纠偏相机和植针Y方向纠偏相机均参与图像存档。
本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例侧重说明的都是与其他实施例的不同之处。尤其，对于后面说明的产品实施例而言，由于其与方法是对应的，描述比较简单，相关之处参见系统实施例的部分说明即可。
以上所述，仅为本申请的具体实施方式，但本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本申请的保护范围之内。因此，本申请的保护范围应以权利要求的保护范围为准。
Claims (10)
1.一种自动化植针系统，其特征在于，包括探针上料机构、植针机构、植针盘上料机构及纠偏机构；
所述探针上料机构包括上料输送组件以及用于承载探针的探针上料载盘(10)；所述上料输送组件被配置为：带动探针上料载盘(10)移动，以使探针上料载盘(10)承载的探针移动至预设上料工位；
所述植针盘上料机构包括植针盘输送组件以及设置有植针孔的植针盘(15)；所述植针盘输送组件被配置为：带动植针盘(15)移动，以使植针盘(15)上的植针孔移动至预设植针工位；
所述植针机构包括夹持组件以及夹持运输组件；
所述夹持组件被配置为：夹持预设上料工位的探针，将探针调节成竖直状态，将调节成竖直状态的探针植入预设植针工位上的植针孔；所述夹持输送组件被配置为：在预设上料工位和预设植针工位之间往返输送夹持组件；
所述纠偏机构包括第一纠偏组件(12)和第二纠偏组件(21)；
所述第一纠偏组件(12)被配置为：获取探针上料载盘(10)上探针的尺寸信息及探针相对预设上料工位的位置信息，输出第一反馈信息；所述上料输送组件还被配置为：根据第一反馈信息，调节探针的位置状态；
所述第二纠偏组件(21)被配置为：获取植针孔的尺寸信息、植针孔相对预设植针工位的位置信息以及植针孔的植针状态信息，根据植针孔的尺寸信息以及植针孔相对预设植针工位的位置信息，输出第二反馈信息；所述植针盘输送组件还被配置为：根据第二反馈信息，调节植针孔的位置状态。
2.根据权利要求1所述的自动化植针系统，其特征在于，所述第一纠偏组件(12)被配置为：获取探针上料载盘(10)上探针的尺寸、探针相对预设上料工位的位置偏移量，输出第一反馈信息；所述上料输送组件还被配置为：根据第一反馈信息，调节探针的位移量。
3.根据权利要求2所述的自动化植针系统，其特征在于，所述第一纠偏组件(12)被配置为：获取探针上料载盘(10)上探针的尺寸、探针相对预设上料工位的位置偏移量及角度偏移量，输出第一反馈信息；所述上料输送组件还被配置为：根据第一反馈信息，调节探针的位移量及角度偏移量。
4.根据权利要求3所述的自动化植针系统，其特征在于，所述上料输送组件包括X轴上料驱动件、Y轴上料驱动件以及上料角度调节驱动件；
所述X轴上料驱动件被配置为：在X轴方向上带动探针上料载盘(10)移动；
所述Y轴上料驱动件被配置为：在Y轴方向上带动探针上料载盘(10)移动；
所述上料角度调节驱动件被配置为：在水平方向上调节探针上料载盘(10)的角度。
5.根据权利要求1所述的自动化植针系统，其特征在于，所述纠偏机构还包括植针X方向纠偏相机(17)和植针Y方向纠偏相机(19)；
所述植针X方向纠偏相机(17)被配置为：获取预设植针工位上探针在X轴方向上的位置偏移量以及角度偏移量，输出第三反馈信息；
所述植针Y方向纠偏相机(19)被配置为：获取预设植针工位上探针的Y轴方向上的位置偏移量以及角度偏移量，输出第四反馈信息；
所述夹持运输组件和夹持组件相互配合，根据第三反馈信息和第四反馈信息，调节预设植针工位上探针的位移量和角度偏移量。
6.根据权利要求5所述的自动化植针系统，其特征在于，所述预设上料工位和预设植针工位在X轴方向依次分布；
所述夹持运输组件包括X轴夹持驱动件(3)、Z轴夹持驱动件(4)；
所述X轴夹持驱动件(3)被配置为：在预设上料工位和预设植针工位之间往返输送夹持组件；
所述Z轴夹持驱动件(4)被配置为：在竖直方向上带动夹持组件位移；
所述夹持组件包括夹持件(7)、第一夹持角度调节件(5)以及第二夹持角度调节件(6)，所述夹持件(7)用于夹持探针；
所述第一夹持角度调节件(5)和第二夹持角度调节件(6)相互配合，调节探针在水平方向和竖直方向上的角度偏移量。
7.根据权利要求1所述的自动化植针系统，其特征在于，所述植针盘输送组件包括X轴植针盘移动调节件以及Y轴植针盘移动调节件；
所述X轴植针盘移动调节件被配置为：在X轴方向上带动植针盘(15)位移；
所述Y轴植针盘移动调节件被配置为：在Y轴方向上带动植针盘(15)位移。
8.根据权利要求1所述的自动化植针系统，其特征在于，所述第一纠偏组件(12)为相机，且所述第一纠偏组件(12)连接有微调滑台，所述微调滑台用于调节第一纠偏组件(12)的焦点。
9.根据权利要求6所述的自动化植针系统，其特征在于，所述Z轴夹持驱动件(4)为直线电机。
10.根据权利要求6所述的自动化植针系统，其特征在于，第二夹持角度调节件(6)为直接驱动电机。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (1)
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| CN116953590A (zh) * | 2023-09-21 | 2023-10-27 | 上海泽丰半导体科技有限公司 | 一种探针全方位测量装置及方法 |
| CN116990563A (zh) * | 2023-09-27 | 2023-11-03 | 武汉精毅通电子技术有限公司 | 一种悬臂针自动植针系统及其方法 |
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