CN116447766A - 一种废气处理系统和方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种废气处理系统和方法。该废气处理系统包括压缩机、气液分离器、集液罐、冷凝器、吸附单元、控温加热器、分层槽。由主线烘干箱引出废气送至压缩机，压缩机连接气液分离器和集液罐收集溶剂，气液分离器连接冷凝器冷凝挥发气，冷凝器连接吸附单元吸附尾气、排出洁净气，吸附单元由蒸汽脱附、干燥气干燥再生，分层槽分离溶剂和废水。本发明所提供的废气处理系统和方法，采用0℃以上的挥发气冷凝温度，可获得极高的能效比；以冷凝后的尾气输入主线烘干箱增浓，提高压缩冷凝的效果；采用真空泵抽出热风的形式，干燥脱附后的碳纤维滤芯并再生，避免箱体内部存留二氯甲烷溶剂。

Description

一种废气处理系统和方法

技术领域

本发明涉及一种废气处理系统，同时也涉及相应的废气处理方法，属于有机废气处理技术领域。

背景技术

二氯甲烷作为一种常用的有机溶剂，广泛用于医药、胶片、工业制冷、工业萃取等领域中。常规的含二氯甲烷废气回收技术，主要有冷凝法、吸附法、溶剂吸收法等。

冷凝法的工艺简单，操作方便，但由于二氯甲烷的常压沸点仅有39.8℃，即使温度达到0℃时，二氯甲烷的气体饱和分压仍有约19.3kPa，体积浓度仍有约20%。为了进一步降低气体当中的二氯甲烷浓度并提高回收率，有些厂家采用－15℃甚至－35℃的深冷装置进行冷冻处理。一方面，深冷工艺的用电量大，低温时的能效比差，增加了成本。另一方面，冷凝装置极易因为水汽凝结成冰，导致设备失效。

吸附法是利用具有微孔结构的活性炭或大孔树脂等吸附剂，吸附废气中的二氯甲烷分子，再利用水蒸气或热空气等，对二氯甲烷进行脱附回收，同时吸附剂再生回用。吸附法多适用于有机物含量1％以下的低浓度有机废气的回收和环保治理工况，高浓度废气极易导致吸附剂的“失活”。

溶剂吸收法是利用比二氯甲烷沸点高的溶剂来吸收废气中的二氯甲烷，再通过蒸馏分离二氯甲烷和溶剂。吸收剂的选择和蒸馏分离技术是技术性能的关键，一般的蒸馏塔或减压蒸馏由于操作温度高，影响吸收剂的使用寿命。

在申请号为201810018769.4的中国专利申请中，公开了一种高浓度二氯甲烷废气回收再利用方法及系统。该技术方案通过集气管和风机对二氯甲烷废气进行收集，并送入压缩机进行压缩后进行冷凝回收，经冷凝后的废气返回至废气产生系统。待压缩冷凝回收量变小至一定值后，集气管的管路切换至高效变压吸附解析装置，将系统内的剩余二氯甲烷进行变压吸附处理后排放，冷凝回收回来的二氯甲烷则可直接或经过处理后回用于生产。但是，该技术方案要求密闭的二氯甲烷产生系统，不适用于不密闭的使用环境。并且，该技术方案的深冷工艺存在冰堵失效问题，无法做到设备的即开即用。

发明内容

本发明所要解决的首要技术问题在于提供一种废气处理系统。

本发明所要解决的另一技术问题在于提供一种废气处理方法。

为实现上述技术目的，本发明采用以下的技术方案：

根据本发明实施例的第一方面，提供一种废气处理系统，包括压缩冷凝模块和吸附回收模块；其中，所述压缩冷凝模块包括废气送出风机、压缩机、气液分离器、集液罐、冷凝器；所述吸附回收模块包括吸附单元、第二控温加热器；

其中，所述废气送出风机连接所述压缩机，用于从主线烘干箱引出废气送至所述压缩机；

所述气液分离器的输入端连接所述压缩机的输出端，所述气液分离器的液相输出端连接所述集液罐的输入端，所述气液分离器的气相输出端连接所述冷凝器的介质输入端；

所述冷凝器的液相介质输出端连接所述集液罐的输入端；所述集液罐的输出端排出溶剂；

所述冷凝器的气相介质输出端连接所述吸附单元的吸附气输入端；所述吸附单元的洁净气输出端排出洁净气，所述吸附单元的脱附气输入端连接蒸汽源，引入蒸汽，所述吸附单元的干燥气输入端连接所述第二控温加热器，引入外部空气。

其中较优地，所述废气处理系统还包括第一控温加热器：

所述第一控温加热器的输入端，连接所述冷凝器的气相介质输出端；所述第一控温加热器的输出端，连接主线烘干箱的尾气输入端。

其中较优地，所述冷凝器包括预冷器、一级冷凝器、二级冷凝器；

所述预冷器的介质输入端连接所述气液分离器的气相输出端，所述预冷器的介质输出端依次连接所述一级冷凝器和所述二级冷凝器的介质管路；

所述二级冷凝器的液相介质输出端，连接所述集液罐的输入端；

所述二级冷凝器的气相介质输出端，连接所述预冷器的冷源工质管路，

所述预冷器的冷源工质管路的气相介质输出端，连接所述第一控温加热器的输入端和所述吸附单元的吸附气输入端；

其中较优地，所述冷凝器还包括一级冷源、二级冷源；所述一级冷凝器的冷凝工质管路连接所述一级冷源；所述二级冷凝器的冷凝工质管路连接所述二级冷源；所述一级冷凝器和所述二级冷凝器的冷凝工质温度，均在0℃以上。

其中较优地，所述废气处理系统还包括冷却器；所述冷却器的输入端，连接所述气液分离器的液相输出端，所述冷却器的输出端，连接所述压缩机的冷却液输入端。

其中较优地，所述吸附单元的吸附形式为碳纤维吸附。

其中较优地，所述吸附单元的数量为多个，各所述吸附单元之间为并联连接。

其中较优地，所述废气处理系统还包括分层槽；所述分层槽的输入端，连接所述吸附单元的凝液输出端；所述分层槽的废水输出端排出废水；所述分层槽的溶剂输出端排出溶剂。

其中较优地，所述废气处理系统还包括高效冷凝器；所述高效冷凝器的输入端，连接所述吸附单元的脱附气输出端；所述高效冷凝器的液相介质输出端，连接所述分层槽的输入端；所述高效冷凝器的气相介质输出端，连接所述压缩机的输入端。

其中较优地，所述废气处理系统还包括第二气液分离器；所述第二气液分离器的输入端，连接所述吸附单元的干燥气输出端；所述第二气液分离器的液相介质输出端,连接所述分层槽的输入端。

根据本发明实施例的第二方面，提供一种废气处理方法，包括以下步骤：

S1：对来自主线烘干箱的废气进行压缩升压，并经气液分离器分离为凝液和未凝结的挥发气，以对已凝结为液体的二氯甲烷进行凝液回收；

S2：对尾气中一部分经减压后反馈至主线烘干箱，另一部分经减压后，送入吸附单元进行尾气吸附，以得到洁净气排出，并且对脱附形成的凝液进行凝液回收，对不凝气反馈至压缩机输入端；

S3：对脱附后的吸附单元的碳纤维进行干燥，得到的洁净气排出，对得到的凝液进行凝液回收。

其中较优地，步骤S1中包括以下子步骤：

S10：对来自主线烘干箱的废气进行压缩升压，并经气液分离器分离为凝液和未凝结的挥发气，以对已凝结为液体的二氯甲烷进行凝液回收，并排出挥发气；

或者，步骤S1中包括以下子步骤：

S11：对来自主线烘干箱的废气进行压缩升压，并经气液分离器分离为凝液和挥发气；

S12：对挥发气进行冷凝，以对已凝结为液体的二氯甲烷进行凝液回收，并排出仍未凝结的尾气。

与现有技术相比较，本发明具有以下的技术特点：

（1）以二氯甲烷尾气取代原来需引入主线烘干箱的空气，主线烘干箱不需要完全密封，仍可以补充少部分空气，保证总的进气量可以将主线烘干箱内产生的二氯甲烷带出即可。与不引入二氯甲烷尾气的方案相比，由于新鲜空气被冷凝后的尾气替换，其总的二氯甲烷浓度是提高的，更有利于压缩冷凝的效果。

（2）采用“压缩与冷凝相结合”工艺，二氯甲烷冷凝温度提高到0℃以上，避免冷凝过程中挥发气中的水气介质结晶，不会发生冰堵失效。因此采用单冷凝器即可，无需设置除霜环节和双通道冷凝装置，可以实现系统的即开即用。并且，采用0℃以上的冷凝温度，可获得极高的能效比，例如用1kW电力即可产生平均3kW制冷量，即能效比1∶3。

（3）纤维吸附设备采用真空泵抽出热风形式，实现脱附后的碳纤维滤芯干燥及再生，可以避免箱体内部死角存留二氯甲烷溶剂，同时也可以加快干燥及再生的速度。

附图说明

图1为本发明实施例提供的一种废气处理系统的示意图；

图2为本发明实施例提供的一种废气处理方法的流程示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明的技术内容进行详细具体的说明。

本发明的整体技术构思在于使用“循环增浓、压缩冷凝、纤维吸附相结合”的方法回收废气中的二氯甲烷，使用“蒸汽脱附与热空气干燥相结合”的方法恢复碳纤维滤芯的吸附能力。其中，主线烘干箱的二氯甲烷产生系统不需要完全密封；“压缩冷凝”的末级冷源温度为2～5℃，不会发生冰堵失效，可以实现系统的即开即用。

如图1所示，本发明实施例首先提供一种废气处理系统，包括压缩冷凝模块200和吸附回收模块300。

压缩冷凝模块200，包括废气送出风机201、压缩机202、气液分离器203、集液罐204、冷却器205、预冷器206、冷凝器。

吸附回收模块300，包括吸附单元30、分层槽303、高效冷凝器304、第二控温加热器305、第二气液分离器306和真空泵307。其中，吸附单元30的数量为多个，本发明实施例中以两个吸附单元30举例，即第一吸附单元301和第二吸附单元302。

废气送出风机201的输入端，连接主线烘干箱100的废气输出端。废气送出风机201的输出端，依次连接第一节点1和压缩机202的输入端连接。在本发明的一个实施例中，压缩机202采用喷液螺杆压缩机，但是并不限于此，也可以是其他压缩机。压缩机202的介质输出端，连接气液分离器203的输入端。

气液分离器203，在本发明实施例中采用丝网气液分离器，但本发明并不限定为此，也可以是其他类型的气液分离器。气液分离器203的液相输出端分为两路，一路连接集液罐204的输入端，另一路依次连接冷却器205和压缩机202的冷却液输入端。

气液分离器203的气相输出端，依次连接预冷器206、一级冷凝器207、二级冷凝器208的介质管路。二级冷凝器208的液相介质输出端连接集液罐204的输入端，气相介质输出端依次连接预冷器206的冷源工质管路和第二节点2。一级冷凝器207的冷凝工质管路连接一级冷源209。二级冷凝器208的冷凝工质管路连接二级冷源210。

集液罐204中的集液作为溶剂，由输出端排出。

在本发明的一个实施例中，冷凝器包括一级冷凝器207和二级冷凝器208，也可以只包括一级冷凝器207，或者包括更多级冷凝器。更优的是，本发明实施例中还可以包括一级冷源209和二级冷源210。但是可以理解，本发明也可以不包含冷源，而是根据实际应用场景外接冷源（例如与工厂已有的冷源连接）。一级冷源209和二级冷源210可以有多种形式，例如冷量回收的低温工质、冷冻机或热泵等，本发明实施例对此不进行限定。

预冷器206的冷源工质管路在第二节点2处分为两路。一路减压后连接第一控温加热器211的输入端，第一控温加热器211的输出端连接主线烘干箱100的尾气输入端。另一路减压后在第三节点3处再次分为两路，分别连接第一吸附单元301和第二吸附单元302的吸附气进气端。

第一节点1与第三节点3之间，另有独立管路连通。

吸附单元30的吸附形式为碳纤维吸附，各吸附单元30之间为并联连接。

吸附单元30的凝液输出端连接分层槽303的输入端，脱附气输入端连接蒸汽源，脱附气输出端连接高效冷凝器304的输入端，干燥气输入端连接第二控温加热器305，干燥气输出端连接第二气液分离器306的输入端。

高效冷凝器304的液相介质输出端连接分层槽303的输入端，气相介质输出端连接第一节点1。

第二气液分离器306的液相介质输出端连接分层槽303的输入端，气相介质输出端连接真空泵307的输入端。

在上述废气处理系统的基础上，本发明实施例进一步提供一种相应的废气处理方法。如图2所示，该废气处理方法至少包括以下步骤：

S1：对来自主线烘干箱的废气进行压缩升压，并经气液分离器分离为凝液和未凝结的挥发气，以对已凝结为液体的二氯甲烷进行凝液回收。

作为可选的低成本方案，步骤S1中包括以下子步骤：

S10：对来自主线烘干箱的废气进行压缩升压，并经气液分离器分离为凝液和未凝结的挥发气，以对已凝结为液体的二氯甲烷进行凝液回收；并排出挥发气。

主线烘干箱100中的含二氯甲烷废气，经废气送出风机201引出，送至压缩机202升压至1.2MPa(G)，升压后的含二氯甲烷废气，由气液分离器203分离为冷凝液和挥发气，一路冷凝液作为溶剂收集至集液罐204，另一路冷凝液作为冷却液输入压缩机202的冷却液输入端。

作为替代方案，步骤S1中还包括以下子步骤：

S11：对来自主线烘干箱的废气进行压缩升压，并经气液分离器分离为凝液和挥发气；

S12：对挥发气进行冷凝，以对已凝结为液体的二氯甲烷进行凝液回收，并排出仍未凝结的尾气。

气液分离器203分离出的挥发气，由预冷器206预冷，由一级冷凝器207、二级冷凝器208冷凝，凝结为液体的二氯甲烷作为溶剂收集至集液罐204。

未凝结的挥发气为尾气，作为预冷器206的冷源，通过预冷器206后升温，输送至第二节点2。本发明实施例中，为了避免使用换热面积大、冷凝工质管道长和工质温度获取难度大的单级冷凝器，采用两级冷凝器保证换热效率并兼顾系统成本，一级冷凝器207的冷凝工质温度为7～12℃，二级冷凝器208的冷凝工质温度为2～5℃。

挥发性有机物含量在1％以下的废气，为低浓度有机废气。

S2：对尾气中一部分经减压后反馈至主线烘干箱，另一部分经减压后，送入吸附单元进行尾气吸附，以得到洁净气排出，并且对脱附形成的凝液进行凝液回收，对不凝气反馈至压缩机输入端。

第二节点2处的尾气分为两路。一路减压后，经第一控温加热器211加热，输入主线干燥箱100烘干主线，并将干燥箱内产生的含二氯甲烷废气增浓后带出，重新进入压缩机压缩冷凝。通过调节管路阀门，主线烘干箱100内呈微负压状态。另一路尾气经减压后，经过第三节点3输入吸附单元30。

吸附时，吸附单元30只输入尾气，尾气中的二氯甲烷被碳纤维吸附，形成的凝液输入分层槽303中。吸附后产生的洁净气，由吸附单元30的洁净气输出端排出。

脱附时，吸附单元30只输入蒸汽将二氯甲烷从碳纤维上脱附，脱附形成的凝液输入分层槽303中，脱附形成的脱附气输入高效冷凝器304进行冷凝。高效冷凝器304冷凝形成的液相介质输入分层槽303，形成的气相介质输入第一节点1，重新进入压缩机202压缩冷凝。

S3：对脱附后的吸附单元30中的碳纤维进行干燥，对得到的洁净气排出，对得到的凝液进行凝液回收。

干燥时，吸附单元30以真空泵307为动力，只输入经第二控温加热器305加热的空气，热空气干燥碳纤维，形成的凝液输入分层槽303中。完成干燥的干燥混合气输出至第二气液分离器306，分离出的凝液输入分层槽303中，分离出的气体由真空泵307排出。分层槽303的废水由废水输出端排出，溶剂由溶剂输出端排出。

在本发明的一个实施例中，可以包括多个吸附单元30。各吸附单元30可分别处于“吸附”工况和“脱附及干燥”工况，并相应切换以接入经第二控温加热器305加热的空气，从而实现本发明的废气处理系统不停机连续工作。

在本发明的另一个实施例中，以第二节点2处的二氯甲烷尾气取代原来需引入主线烘干箱100的空气，主线烘干箱100不需要完全密封，仍可以补充少部分空气，保证总的进气量可以将主线烘干箱内产生的二氯甲烷带出即可。对比只用空气带出废气的现有技术，经尾气循环增浓后的废气的二氯甲烷浓度会提高。提高二氯甲烷浓度，一方面有利于提高压缩冷凝模块200的回收量，另一方面可以减小后端吸附单元30的负荷，因此可以选用更小型号的纤维吸附设备，进一步实现节能降耗。

压缩机202是适合废气压缩工艺的特种压缩机,压缩机202的排气温度小于50℃，处于安全的温度范围。本发明实施例采用二氯甲烷作为压缩机202的冷却液，用以润滑、密封和降温，并且可以提高废气中的二氯甲烷浓度。

本发明实施例采用的“压缩与冷凝相结合”方法，冷凝温度在0℃以上，可以避免挥发气中的水气介质结晶，并可以获得极高的能效比。例如，用1kW电力即可产生平均3kW制冷量，即能效比1∶3。因此，本发明实施例采用单通道冷凝器即可，无需设置除霜设备和双通道冷凝器，彻底解决了由于冰堵引起的设备失效，可以即开即用。

一级冷凝器207的冷源温度为7～12℃，二级冷凝器208的冷源温度为2～5℃。挥发气中凝结为液体的二氯甲烷作为溶剂回收，未凝结的挥发气为尾气，作为预冷器206的冷源工质，经预冷器206升温后输入吸附回收模块300和主线烘干箱100。

吸附回收模块300由多个吸附单元30并联组成，吸附单元30的吸附形式为碳纤维吸附，本发明实施例以两个碳纤维吸附的吸附单元30举例。两个吸附单元30通过管路阀门的调节，使其中一个处于“吸附”状态时，另一个处于“脱附＋干燥”状态，“吸附”和“脱附＋干燥”交替进行，实现装置连续工作。经吸附后的尾气，作为洁净气排出。

因为第一节点1、第三节点3可由独立管路连通，所以根据运行负荷需要，可以只开启压缩冷凝模块200，或只开启吸附回收模块300，也可以一同开启。

进一步的，本发明实施例中的吸附单元30采用蒸汽脱附，采用真空泵307驱动热空气进行干燥。

脱附过程，是在吸附单元内通入蒸汽，脱附碳纤维吸附的二氯甲烷，形成二氯甲烷脱附凝液和脱附混合气。脱附凝液进入分层槽303，依靠二氯甲烷和水的不溶性实现分层，下层的二氯甲烷作为溶剂回收，上层的水作为废水排出。脱附混合气进入高效冷凝器304冷凝，形成凝结的液体和不凝结的尾气。凝结的液体进入分层槽303。不凝结的尾气重新进入压缩机202压缩冷凝。

干燥过程，是由真空泵307向吸附单元30引入热空气，干燥碳纤维，形成干燥混合气。干燥混合气进入第二气液分离器306，分离出的气体作为洁净气排出，分离出的液体进入分层槽303，作为废水排出。

综上所述，本发明实施例提供的废气处理系统和方法，通过增浓、冷凝、吸附，回收废气中的二氯甲烷。在冷凝阶段采用0℃以上的冷凝工质，避免系统发生冰堵，并且提高了冷凝能效比，实现节能降耗。压缩冷凝流程中增加循环增浓系统，最大程度提高废气浓度，并降低进入吸附回收模块的尾气风量。采用碳纤维吸附、蒸汽脱附，用真空泵抽出热空气干燥再生碳纤维。

需要说明的是，上述实施例只是举例，多个实施例的技术方案之间可以进行组合，均在本发明的保护范围内。

需要说明的是，本发明的步骤顺序可以根据实际需要而改变，步骤之间的先后顺序可以改变，串行处理也可以改变为并行处理，不限定于实施例中列举的步骤顺序。

此外，术语“第一”“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

上面对本发明所提供的废气处理系统和方法进行了详细的说明。对本领域的一般技术人员而言，在不背离本发明实质内容的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都将构成对本发明专利权的侵犯，将承担相应的法律责任。

Claims (13)

1.一种废气处理系统，其特征在于包括压缩冷凝模块和吸附回收模块；其中，所述压缩冷凝模块包括废气送出风机、压缩机、气液分离器、集液罐、冷凝器；所述吸附回收模块包括吸附单元、第二控温加热器；

所述废气送出风机连接所述压缩机，用于从主线烘干箱引出废气送至所述压缩机；

所述气液分离器的输入端连接所述压缩机的输出端，所述气液分离器的液相输出端连接所述集液罐的输入端，所述气液分离器的气相输出端连接所述冷凝器的介质输入端；

所述冷凝器的液相介质输出端连接所述集液罐的输入端；所述集液罐的输出端排出溶剂；

所述冷凝器的气相介质输出端连接所述吸附单元的吸附气输入端；所述吸附单元的洁净气输出端排出洁净气，所述吸附单元的脱附气输入端连接蒸汽源，引入蒸汽，所述吸附单元的干燥气输入端连接所述第二控温加热器，引入外部空气。

2.如权利要求1所述的废气处理系统，其特征在于还包括第一控温加热器；

所述第一控温加热器的输入端，连接所述冷凝器的气相介质输出端；

所述第一控温加热器的输出端，连接主线烘干箱的尾气输入端。

3.如权利要求2所述的废气处理系统，其特征在于所述冷凝器包括预冷器、一级冷凝器、二级冷凝器；

所述预冷器的介质输入端连接所述气液分离器的气相输出端，所述预冷器的介质输出端依次连接所述一级冷凝器和所述二级冷凝器的介质管路；

所述二级冷凝器的液相介质输出端，连接所述集液罐的输入端；所述二级冷凝器的气相介质输出端，连接所述预冷器的冷源工质管路，

所述预冷器的冷源工质管路的气相介质输出端，连接所述第一控温加热器的输入端和所述吸附单元的吸附气输入端。

4.如权利要求3所述的废气处理系统，其特征在于所述冷凝器还包括一级冷源、二级冷源；

所述一级冷凝器的冷凝工质管路连接所述一级冷源；所述二级冷凝器的冷凝工质管路连接所述二级冷源；

所述一级冷凝器和所述二级冷凝器的冷凝工质温度，均在0℃以上。

5.如权利要求1所述的废气处理系统，其特征在于还包括冷却器；

所述冷却器的输入端，连接所述气液分离器的液相输出端；所述冷却器的输出端，连接所述压缩机的冷却液输入端。

6.如权利要求1所述的废气处理系统，其特征在于：

所述吸附单元的吸附形式为碳纤维吸附。

7.如权利要求1所述的废气处理系统，其特征在于：

所述吸附单元的数量为多个，各所述吸附单元之间为并联连接。

8.如权利要求1所述的废气处理系统，其特征在于还包括分层槽；

所述分层槽的输入端，连接所述吸附单元的凝液输出端；

所述分层槽的废水输出端排出废水；

所述分层槽的溶剂输出端排出溶剂。

9.如权利要求8所述的废气处理系统，其特征在于还包括高效冷凝器；

所述高效冷凝器的输入端，连接所述吸附单元的脱附气输出端；

所述高效冷凝器的液相介质输出端，连接所述分层槽的输入端；

所述高效冷凝器的气相介质输出端，连接所述压缩机的输入端。

10.如权利要求9所述的废气处理系统，其特征在于还包括第二气液分离器；

所述第二气液分离器的输入端，连接所述吸附单元的干燥气输出端；所述第二气液分离器的液相介质输出端,连接所述分层槽的输入端。

11.一种废气处理方法，基于权利要求1～10中任意一项所述的废气处理系统实现，其特征在于包括以下步骤：

S1：对来自主线烘干箱的废气进行压缩升压，并经气液分离器分离为凝液和未凝结的挥发气，以对已凝结为液体的二氯甲烷进行凝液回收；

S2：对尾气中一部分经减压后反馈至主线烘干箱，另一部分经减压后，送入吸附单元进行尾气吸附，以得到洁净气排出，并且对脱附形成的凝液进行凝液回收，对不凝气反馈至压缩机输入端；

S3：对脱附后的吸附单元的碳纤维进行干燥，得到的洁净气排出，对得到的凝液进行凝液回收。

12.如权利要求11所述的废气处理方法，其特征在于所述步骤S1中包括以下子步骤：

S10：对来自主线烘干箱的废气进行压缩升压，并经气液分离器分离为凝液和未凝结的挥发气，以对已凝结为液体的二氯甲烷进行凝液回收，并排出挥发气。

13.如权利要求11所述的废气处理方法，其特征在于所述步骤S1中包括以下子步骤：

S11：对来自主线烘干箱的废气进行压缩升压，并经气液分离器分离为凝液和挥发气；

S12：对挥发气进行冷凝，以对已凝结为液体的二氯甲烷进行凝液回收，并排出仍未凝结的尾气。