CN116417389A - 晶圆盒搬运装置及方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种晶圆盒搬运装置及方法，其中，晶圆盒搬运装置包括在驱动机构作用下沿导轨移动的行走机构，驱动机构上设有用以检测行走机构位移量的第一位移检测部；还包括同步移动机构，同步移动机构包括啮合传动的齿轮、齿条，齿条固接在导轨上，齿轮安装在浮动机构上，浮动机构安装在行走机构上并能与行走机构同步移动；浮动机构能带动齿轮相对于齿条产生浮动，齿轮上设有用以检测其位移量的第二位移检测部；同步移动机构包括用以校验齿轮是否跳齿的校验部；位移修正机构，位移修正机构用以根据校验部的校验结果修正第一位移检测部或第二位移检测部的位移量。本发明的晶圆盒搬运装置及方法能对行走位移进行校验修正，以保证行走位移的精确度。

Description

晶圆盒搬运装置及方法

技术领域

本发明涉及半导体传输系统技术领域，尤其涉及一种晶圆盒搬运装置及方法。

背景技术

晶圆盒搬运装置的行走机构在导轨上是采用行走轮与导轨摩擦的驱动方式运动，在行走轮在导轨上行进时，驱动行走轮行进的驱动机构能计算出行走轮的行走位移，进而为搬运装置的机械手提供取放晶圆盒的位置参数。但在行走轮行进的过程中，行走轮有可能会出现打滑现象，导致驱动机构计算出的行走位移出现偏差，进而影响机械手对晶圆盒的取放位置的准确性，进而造成晶圆盒及其内部的晶片损坏。

发明内容

为克服上述缺点，本发明的目的在于提供一种晶圆盒搬运装置及方法，能对行走位移进行校验修正，以保证行走位移的精确度。

为了达到以上目的，本发明采用的技术方案之一是：一种晶圆盒搬运装置，包括在驱动机构作用下沿导轨移动的行走机构，驱动机构上设有用以检测行走机构位移量的第一位移检测部；还包括

同步移动机构，同步移动机构包括啮合传动的齿轮、齿条，齿条固接在导轨上，齿轮安装在浮动机构上，浮动机构安装在行走机构上并能与行走机构同步移动；浮动机构能带动齿轮相对于齿条产生浮动，齿轮上设有用以检测其位移量的第二位移检测部；同步移动机构还包括用以校验齿轮是否跳齿的校验部；

位移修正机构，位移修正机构用以根据校验部的校验结果修正第一位移检测部或第二位移检测部的位移量。

本发明晶圆盒搬运装置的有益效果在于：

1、通过同步移动机构的设置能间接测量出行走机构的位移量，进而能与第一位移检测部测量出的位移量进行相互校验，以判断位移量测量的准确性；当第一位移检测部或同步移动机构的第二位移检测部测得的位移量不准时，再通过位移修正机构来进行修正，以保证第一位移检测部、第二位移检测部测得的位移量的精准度；

2、在同步移动机构中，将齿条固接在导轨上，齿轮安装在行走机构上，并通过齿轮与齿条的啮合传动，使得齿轮能随行走机构同步（直线）移动；再通过第二位移检测部对齿轮位移量的检测间接的测量出行走机构的位移量；再通过校验部的设置以校验齿轮是否出现跳齿现象，进而便于校验第一位移检测部、第二位移检测部测得的位移量是否准确；

3、在同步移动机构中，通过浮动机构的设置便于实现齿轮与齿条的无间隙啮合，同时能配合校验部以校验第一位移检测部、第二位移检测部测量的位移量是否准确；

当行走机构出现打滑现象时，行走机构相对于导轨静止不动，齿轮齿条也相对静止，此时，齿轮能在浮动机构的作用下保持与齿条的啮合状态，因而不会出现跳齿的现象，也就是说齿轮的跳齿现象仅会在行走机构正常行走的过程中出现；

当齿轮未出现跳齿现象时，齿轮始终与齿条啮合传动，此时，第二位移检测部测量的位移量即为齿轮（或行走机构）的实际位移量；当齿轮出现跳齿现象时，行走机构正常行走，第一位移检测部测量的位移量即为行走机构的实际位移量。

进一步来说，校验部包括配合使用的测距基板、测距传感器，测距基板固接在齿条上，测距传感器安装在浮动机构上，用以测量浮动机构与测距基板之间的高度差。将测距传感器安装在浮动机构上使得测距传感器能与齿轮保持同步浮动的状态，进而能通过测距传感器测量出的高度差变化判断出齿轮的浮动量，以便于判断齿轮是否出现跳齿现象。

进一步来说，测距基板呈平板型或L型结构，其一端与齿条固接，另一端沿水平方向延伸至测距传感器的上方。

设置时，将测距基板的长度设置为不小于齿条的长度，以保证测距传感器在随齿轮行进过程中，测距基板始终位于测距传感器的上方，保证测距传感器的正常使用；而将测距基板的一端沿水平方向延伸至测距传感器的上方也能降低因测距基板自身的问题（如倾斜放置）导致的对测量值的影响。

进一步来说，浮动机构包括固定板、导柱、浮动部。浮动部套装在导柱上，且浮动部上安装有齿轮；导柱的上端通过固定板与行走机构固接。通过浮动机构的设置能实现齿轮与齿条的无间隙啮合，同时能在齿条自身精度不高或安装精度不高的情况下使齿轮自适应齿条的结构。

进一步来说，浮动部包括浮动板、弹簧；浮动板套装在导柱上，其上固接有导向套；弹簧套装在导柱上，其两端分别抵接在导向套、导柱上。通过导向套的设置能降低浮动板沿导柱移动的摩擦力，通过弹簧带动浮动板上下浮动，进而使得安装在浮动板上的齿轮在出现跳齿现象时能自动复位。在设置时，可在弹簧自然状态或具有一定预紧压缩力的状态下，使齿轮与齿条无间隙啮合。

进一步来说，导柱沿竖直方向布设，其下端设有供弹簧抵接的抵接凸台。

进一步来说，行走机构包括支撑框架，支撑框架上安装有能沿导轨移动的行走轮，行走轮与驱动机构连接。

本发明采用的技术方案之二是：一种晶圆盒搬运方法，适用于上述任一的晶圆盒搬运装置；包括如下步骤：

A1、实时获取第一位移检测部测得位移量S1、第二位移检测部测得的位移量S2及浮动机构浮动的距离变化量d；

A2、将变化值d的绝对值与预设的变化阈值h进行差值计算，并根据差值计算结果判断出齿轮是否出现跳齿现象，进而判断出行走机构的实际位移量；

A3、根据步骤A2的判断结果修正第一位移检测部或第二位移检测部，以对与实际位移量不符的位移量S1或S2进行修正。

本发明晶圆盒搬运方法的有益效果在于：

1、首先通过步骤A1获取位移量S1、位移量S2及距离变化量d，然后通过步骤A2中的差值计算判断出齿轮是否跳齿，进而根据跳齿现象判断出行走机构的实际位移量，最后通过步骤A3对第一位移检测部或第二位移检测部的位移量进行修正，以保证第一位移检测部、第二位移检测部测得的位移量的准确度；

2、步骤A2中，通过变化值d的绝对值与预设的变化阈值h之间的差值计算，能及时判断出齿轮是否出现跳齿现象，进而能快速验证出第一位移检测部、第二位移检测部测量的位移量是否准确，以为后续的位移量修正提供依据；

3、通过步骤A3能在行走机构行进的过程中对测量出错的位移量进行修正，既保证了第一位移检测部、第二位移检测部测量的准确度，又能保证行走机构的正常行进，继而保证晶圆盒搬运装置整体的传输效率。

进一步来说，在步骤A2中，

当|d| ＜h时，齿轮未出现跳齿现象，此时，第二位移检测部测得的位移量S2即为行走机构的实际位移量；

当|d| ≥h时，齿轮出现跳齿现象，此时，第一位移检测部测得的位移量S1即为行走机构的实际位移量。

当齿轮未出现跳齿现象时（即齿轮、齿条正常啮合），齿轮始终与齿条啮合传动，此时，第二位移检测部测量的位移量即为齿轮（或行走机构）的实际位移量；当齿轮出现跳齿现象时，若此时行走机构同时出现打滑现象，行走机构相对于导轨静止不动，齿轮齿条也相对静止，此时，齿轮能在浮动机构的作用下保持与齿条的啮合状态（这与跳齿相矛盾），因此，当行走机构出现打滑现象时，不会出现跳齿的现象，也就是说齿轮的跳齿现象仅会在行走机构正常行走的过程中出现，此时，第一位移检测部测量的位移量即为行走机构的实际位移量。

需要注意的是，因浮动机构的作用，齿轮与齿条之间能实现无间隙的啮合，当齿轮跳齿时，齿轮相对于齿条的高度变化为齿轮啮合在齿条内的齿的高度（默认为齿全高）；因此，变化阈值h可设定为齿轮的齿全高或略小于齿轮的齿全高。

进一步来说，在步骤A1中，距离变化量d的获取步骤如下：

在齿条上安装测距基板，在浮动机构上安装用以测量其与测距基板之间高度差的测距传感器；

设定标准距离d’，标准距离d’为齿轮、齿条相对静止时测距传感器输出的距离；

测距传感器输出实时距离d，将实时距离d与标准距离d’进行差值计算，以获得距离变化量d。

附图说明

图1为本发明实施例的晶圆盒搬运装置的立体结构示意图；

图2为本发明实施例晶圆盒搬运装置的同步移动机构及位移修正机构的结构示意图；

图3为图2中A部位的局部放大图；

图4为本发明实施例的同步移动机构的结构示意图；

图5为本发明实施例的晶圆盒搬运方法的流程原理图。

图中：

1-驱动机构；11-驱动电机；

2-行走机构；21-支撑框架；22-行走轮；

31-上轨道；32-下轨道；

4-机械手；

51-齿轮；52-齿条；53-编码器；54-测距基板；55-测距传感器；56-固定板；57-导柱；571-抵接凸台；58-浮动板；581-导向套；582-安装板；59-弹簧；

6-位移修正机构。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的较佳实施例进行详细阐述，以使本发明的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本发明的保护范围做出更为清楚明确的界定。

实施例

现有技术中，晶圆盒搬运装置包括在驱动机构1作用下能沿导轨移动的行走机构2，其中，导轨包括平行布设的上轨道31、下轨道32，行走机构2位于上轨道31、下轨道32之间，行走机构2包括支撑框架21，支撑框架21的下端设有能沿下轨道32移动的行走轮22，上端设有能沿上轨道31移动的从动轮，支撑框架21上还安装有能上下移动的机械手4，机械手4用以抓取晶圆盒搬运装置两侧存储架上的晶圆盒（图中未示出）。其中，行走轮22与安装在支撑框架21上的驱动机构1的驱动电机11连接，驱动电机11用以驱动行走轮22沿下轨道32移动。

为了给机械手4提供取放晶圆盒的坐标信息，驱动电机11通过旋转输出脉冲能换算出行走机构2的行走位移（行走位移是指行走轮22沿下轨道移动的距离）。而行走轮22与下轨道32之间的相对移动是通过行走轮22与下轨道32之间的滚动摩擦力产生的，但行走轮22有可能会因下轨道32上沾有油渍等情况而出现行走打滑现象，此时，驱动电机11仍会输出旋转脉冲，但行走轮22并未发生行走位移，也就是说根据驱动电机11旋转输送脉冲换算出的行走位移会大于行走轮22实际的行走位移。而在这种情况下，以驱动电机11计算出的行走位移来预估机械手4取放晶圆盒的坐标信息就会出现偏差。

基于此，本实施例对现有的晶圆盒搬运装置进行了改进。具体的，参见附图1-2所示，一种晶圆盒搬运装置，包括在驱动机构1作用下沿导轨移动的行走机构，驱动机构1上设有用以检测行走机构2位移量的第一位移检测部。晶圆盒搬运装置还包括同步移动机构、位移修正机构6。

参见附图3-4所示，同步移动机构包括啮合传动的齿轮51、齿条52，齿条52固接在导轨上，齿轮51安装在浮动机构上，浮动机构安装在行走机构2上并能与行走机构2同步移动；浮动机构能带动齿轮相对于所述齿条产生浮动。齿轮51上设有用以检测其位移量的第二位移检测部。同步移动机构还包括用以校验齿轮是否跳齿的校验部。位移修正机构用以根据校验部的校验结果修正第一位移检测部或第二位移检测部的位移量。通过同步移动机构的设置能间接测量出行走机构2的位移量，进而能与第一位移检测部测量出的位移量进行相互校验，以判断位移量测量的准确性；当第一位移检测部或同步移动机构的第二位移检测部测得的位移量不准时，再通过位移修正机构来进行修正，以保证第一位移检测部、第二位移检测部测得的位移量的精准度。

其中，在同步移动机构中，将齿条52固接在导轨上，齿轮51安装在行走机构2上，并通过齿轮51与齿条52的啮合传动，使得齿轮51能随行走机构2同步（直线）移动，再通过第二位移检测部对齿轮位移量的检测间接的测量出行走机构2的位移量；且齿轮51与齿条52的运动模式（啮合传动）、行走轮22与导轨的运动模式（滚动摩擦）不同，因此，两种运动模式导致测量偏差的问题点是不同的（齿轮51与齿条52传动时可能会出现跳齿的问题，但不会出现打滑的问题，而行走轮22与导轨传动时可能会出现打滑的问题，但不会出现跳齿的问题），因此，通过两种不同运动模式下的第一位移检测部、第二位移检测部对行走机构2行走位移的测量能有效避免因同种测量偏差问题点导致的第一位移检测部、第二位移检测部同时测量有误的问题。

而在同步移动机构中设置校验齿轮51是否跳齿的校验部又能验证第二位移检测部测得的位移量是否准确，再配合浮动机构以验证第一位移检测部测得的位移量是否准确，进而为位移修正机构6的修正提供依据。

当行走机构2出现打滑现象时，行走机构2相对于导轨静止不动，齿轮51、齿条52也相对静止，此时，齿轮51能在浮动机构的作用下保持与齿条52的啮合状态，因而不会出现跳齿的现象，也就是说齿轮51的跳齿现象仅会在行走机构2正常行走的过程中出现；因此，通过校验部对齿轮51跳齿现象的校验即可判断出第一位移检测部、第二位移检测部的测量是否准确。

当齿轮51未出现跳齿现象时，齿轮51始终与齿条52啮合传动，此时，第二位移检测部测量的位移量即为齿轮51（或行走机构2）的实际位移量；当齿轮51出现跳齿现象时，行走机构2正常行走，第一位移检测部测量的位移量即为行走机构2的实际位移量。

需要注意的是，其中，第一位移检测部用以检测驱动电机11的旋转输出脉冲，并能将驱动电机11的旋转输出脉冲换算为行走轮22的行走位移。第二位移检测部用以检测齿轮51的旋转输出脉冲，并能将齿轮51的旋转输出脉冲换算为齿轮51的行走位移，由于齿轮51是安装在行走机构2上的，因此，齿轮51的行走位移与行走机构2的行走位移保持一致。对于旋转输出脉冲的检测，第一位移检测部是通过驱动电机11自行检测的，第二位移检测部则是通过在齿轮51的轴端连接编码器53来检测的。

此外，齿条52与下轨道32平行设置，并固接在下轨道32不与行走轮22接触的一侧，齿轮51安装在行走机构2的支撑框架21上。

在一些实施例中，参见附图3-4所示，校验部包括配合使用的测距基板54、测距传感器55，测距基板54固接在齿条52上，测距传感器55安装在浮动机构上，用以测量浮动机构与测距基板54之间的高度差。将测距传感器55安装在浮动机构上使得测距传感器55能与齿轮保持同步浮动的状态，进而能通过测距传感器55测量出的高度差变化判断出浮动机构及齿轮51的浮动量，以便于判断齿轮51是否出现跳齿现象。

更进一步地，参见附图4所示，测距基板54呈平板型或L型结构，其一端与齿条52固接，另一端沿水平方向延伸至测距传感器55的上方。设置时，将测距基板54的长度设置为不小于齿条52的长度，以保证测距传感器55在随浮动机构行进过程中，测距传感器55的上端始终能朝向测距基板54，以保证测距传感器55对其自身与测距基板54之间的高度的检测；而将测距基板54的一端沿水平方向延伸至测距传感器55的上方也能降低因测距基板54自身的问题（如倾斜放置）导致的对测量值的影响。

在一些实施例中，浮动机构包括固定板56、导柱57、浮动部。浮动部套装在导柱57上，且浮动部上安装有齿轮51。导柱57的上端通过固定板56与行走机构2的支撑框架21固接。通过浮动机构的设置能实现齿轮51与齿条52的无间隙啮合，同时能在齿条52自身精度不高或安装精度不高的情况下使齿轮51自适应齿条52的结构。

具体的，浮动部包括浮动板58、弹簧59。浮动板58套装在导柱57上，其上固接有导向套581。弹簧59沿竖直方向套装在导柱57上，其两端分别抵接在导向套581、导柱57上。通过导向套581的设置能降低浮动板58沿导柱57移动的摩擦力，通过弹簧59带动浮动板58上下浮动，进而使得安装在浮动部上的齿轮51在出现跳齿现象时能自动复位。

在一些实施例中，导柱57沿竖直方向布设，其下端设有供弹簧59抵接的抵接凸台571。抵接凸台571与导柱57同轴设置，且其外径大于导柱57的外径。

更进一步地，浮动板58上还固接有安装板582，齿轮51的齿轮轴沿水平方向穿设在安装板582上，其一端与固接在安装板582上的编码器53连接，另一端设有与齿条52啮合的齿轮51。

在设置时，可在弹簧59自然状态或具有一定预紧压缩力的状态下，使齿轮51与齿条52无间隙啮合。当齿轮51出现跳齿现象时，弹簧59能带动浮动板58及安装板582浮动，进而带动齿轮51与编码器53同步浮动，以使齿轮51复位至与齿条52啮合。

驱动机构1驱动行走轮22行走时发生打滑现象时，会导致第一位移检测部测量的行走位移不准确；当齿轮51、齿条52传动时齿轮51发生跳齿现象时，同样会导致第二位移检测部测量的行走位移不准确。因此，需要采集第一位移检测部、第二位移检测部的测量数据，并根据校验部的校验结果来判断是哪个位移检测部的测量数据出了问题，并对出错的位移数据进行修正。在本实施例中，位移修正机构6实际上是一种控制机构，其包括计数模组、处理模组、控制模组。其中，计数模组用以对第一位移检测部（驱动电机本身）、第二位移检测部（编码器）及测距传感器测得的数据进行采集，处理模组用以分析处理计数模组采集的数据，控制模组用以控制修正第一位移检测部、第二位移检测部的测量数据。

基于此，参见附图5所示，本发明的一种晶圆盒搬运方法，包括如下步骤：

A1、实时获取第一位移检测部测得的位移量S1、第二位移检测部测得的位移量S2及浮动机构浮动的距离变化量d；

A2、将变化值d的绝对值与预设的变化阈值h进行差值计算，并根据差值计算结果判断出齿轮是否出现跳齿现象，进而判断出行走机构的实际位移量；

A3、根据步骤A2的判断结果修正第一位移检测部或第二位移检测部，以对与实际位移量不符的位移量S1或S2进行修正。

具体的，在步骤A1中，位移量S1的获取步骤为：驱动电机11旋转输出脉冲，并计算出其对应的位移量。位移量S2的获取步骤为：编码器53旋转输出脉冲，并计算出其对应的位移量。距离变化量d的获取步骤为：设定标准距离d’，标准距离d’为齿轮51、齿条52相对静止时测距传感器55输出的距离；测距传感器55输出实时距离d，将实时距离d与标准距离d’进行差值计算，以获得距离变化量d。

需要注意的是，对位移量S1、位移量S2及距离变化量d的计算是通过计数模组实现的。

在步骤A2中，跳齿及实际位移量的判断方法如下：

当|d| ＜h时，齿轮51、齿条52正常啮合，齿轮51未出现跳齿现象，此时，第二位移检测部测量的位移量S2即为行走机构2的实际位移量；

当|d| ≥h时，齿轮51出现跳齿现象，若此时行走机构2同时出现打滑现象，行走机构2相对于导轨静止不动，齿轮51、齿条52也相对静止，此时，齿轮51能在浮动机构的作用下保持与齿条52的啮合状态（这与跳齿相矛盾），因此，当行走机构2出现打滑现象时，不会出现跳齿的现象，也就是说齿轮51的跳齿现象仅会在行走机构2正常行走的过程中出现，此时，第一位移检测部测量的位移量S1即为行走机构2的实际位移量。

需要注意的是，因浮动机构的作用，齿轮51与齿条52之间能实现无间隙的啮合，当齿轮51跳齿时，齿轮51相对于齿条52的高度变化为齿轮51啮合在齿条内的齿的高度（默认为齿全高）。也就是说，变化阈值h为齿轮51与齿条52脱离时齿轮51相对于齿条52高度变化的临界值。在实际应用时，变化阈值h可设定为齿轮51的齿全高或略小于齿轮51的齿全高。在本实施例中，变化阈值h设定为齿全高。

在步骤A3中，位移量修正方法如下：

当|d| ＜h，实际位移量为S2时，

若行走轮22出现打滑现象，因齿轮51无法自行驱动，齿轮51与齿条52会相对静止，而驱动电机11旋转圈数不变，因而，驱动电机11旋转输出脉冲计算出的位移量S1大于实际位移量S2，此时，应以实际位移量S2为修正基准，并将驱动电机11的位移量S1修正为S2，并使驱动电机11以位移量S2开始继续测量；

若行走轮22未出现打滑现象，驱动电机11旋转输出脉冲计算出的位移量S1应与实际位移量S2相同，此时，无需修正。

当|d| ≥h，实际位移量为S1时，行走轮22未出现打滑现象，齿轮51因跳齿而出现旋转滞后，编码器53测得的位移量S2小于实际位移量S1；因此，需以实际位移量S1作为修正基准，将编码器53的位移量S2修正为S1，并使编码器53以位移量S1开始继续测量。

本发明的晶圆盒搬运方法在行走机构行进的过程中对测量出错的位移量进行修正，既保证了第一位移检测部、第二位移检测部测量的准确度，又能保证行走机构的正常行进，继而保证晶圆盒搬运装置整体的传输效率。

以上实施方式只为说明本发明的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人了解本发明的内容并加以实施，并不能以此限制本发明的保护范围，凡根据本发明精神实质所做的等效变化或修饰，都应涵盖在本发明的保护范围内。

Claims (10)

1.一种晶圆盒搬运装置，其特征在于，包括在驱动机构作用下沿导轨移动的行走机构，所述驱动机构上设有用以检测行走机构位移量的第一位移检测部；还包括

同步移动机构，所述同步移动机构包括啮合传动的齿轮、齿条，所述齿条固接在导轨上，所述齿轮安装在浮动机构上，所述浮动机构安装在所述行走机构上并能与所述行走机构同步移动；所述浮动机构能带动所述齿轮相对于所述齿条产生浮动，所述齿轮上设有用以检测其位移量的第二位移检测部；所述同步移动机构还包括用以校验齿轮是否跳齿的校验部；

位移修正机构，所述位移修正机构用以根据所述校验部的校验结果修正所述第一位移检测部或第二位移检测部的位移量。

2.根据权利要求1所述的晶圆盒搬运装置，其特征在于，所述校验部包括配合使用的测距基板、测距传感器，所述测距基板固接在所述齿条上，所述测距传感器安装在所述浮动机构上，用以测量所述浮动机构与测距基板之间的高度差。

3.根据权利要求2所述的晶圆盒搬运装置，其特征在于，所述测距基板呈平板型或L型结构，其一端与所述齿条固接，另一端沿水平方向延伸至所述测距传感器的上方。

4.根据权利要求2所述的晶圆盒搬运装置，其特征在于，所述浮动机构包括固定板、导柱、浮动部；所述浮动部套装在所述导柱上，且所述浮动部上安装有所述齿轮；所述导柱的上端通过固定板与所述行走机构固接。

5.根据权利要求4所述的晶圆盒搬运装置，其特征在于，所述浮动部包括浮动板、弹簧；所述浮动板套装在所述导柱上，其上固接有导向套；所述弹簧套装在所述导柱上，其两端分别抵接在所述导向套、导柱上。

6.根据权利要求5所述的晶圆盒搬运装置，其特征在于，所述导柱沿竖直方向布设，其下端设有供弹簧抵接的抵接凸台。

7.根据权利要求1所述的晶圆盒搬运装置，其特征在于，所述行走机构包括支撑框架，所述支撑框架上安装有能沿导轨移动的行走轮，所述行走轮与所述驱动机构连接。

8.一种晶圆盒搬运方法，适用于权利要求1-7任一所述的晶圆盒搬运装置；其特征在于，包括如下步骤：

A1、实时获取第一位移检测部测得位移量S1、第二位移检测部测得的位移量S2及浮动机构浮动的距离变化量d；

A2、将变化值d的绝对值与预设的变化阈值h进行差值计算，并根据差值计算结果判断出齿轮是否出现跳齿现象，进而判断出行走机构的实际位移量；

A3、根据步骤A2的判断结果修正第一位移检测部或第二位移检测部，以对与实际位移量不符的位移量S1或S2进行修正。

9.根据权利要求8所述的晶圆盒搬运方法，其特征在于，在步骤A2中，

当|d| ＜h时，齿轮未出现跳齿现象，此时，第二位移检测部测得的位移量S2即为行走机构的实际位移量；

当|d| ≥h时，齿轮出现跳齿现象，此时，第一位移检测部测得的位移量S1即为行走机构的实际位移量。

10.根据权利要求8所述的晶圆盒搬运方法，其特征在于，在步骤A1中，距离变化量d的获取步骤如下：

在所述齿条上安装测距基板，在所述浮动机构上安装用以测量其与测距基板之间高度差的测距传感器；

设定标准距离d’，标准距离d’为齿轮、齿条相对静止时，所述测距传感器输出的距离；

所述测距传感器输出实时距离d，将实时距离d与标准距离d’进行差值计算，以获得距离变化量d。

Images