CN116249848A - 高压气体密封 - Google Patents

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Abstract

一种气体处理系统包括限定了用于处理气体的腔体(106)的容器(102)。所述容器包括用于以输入压力接纳工艺气体的工艺气体入口(108)和用于以输出压力排出工艺气体的工艺气体出口(110)。所述气体处理系统还包括：轴(122)，所述轴(122)被联接到所述容器；以及多级密封系统(114)，所述多级密封系统(114)包括沿着所述轴隔开的多个密封件(136)。所述轴被构造为向所述容器中的气体传递机械能或者从所述容器中的气体传递机械能。密封件的每个相邻对在其中间限定了对应的压力空间。一个所述压力空间是经由流线(116)与所述工艺气体入口液压连通的平衡压力空间(144a)，使得在运行中，所述平衡压力空间中的压力相对于所述工艺气体入口中的压力被维持在平衡压力下。

Description

高压气体密封
技术领域
本发明涉及尤其用逐级密封系统对诸如压缩机的高压气体处理设备的轴进行密封。
背景技术
当将要诸如在大气与动轴延伸到其中的高压腔体之间维持高差压时，通常采用逐级或多级密封系统。有效可靠的密封常常需要这样的密封系统，其中压力在各级中沿着轴降低，或者沿着止漏环逐级降低。压缩行业努力提高如升高的客户规格所要求的最大允许的工作压力和系统速度。然而，提高差压通常使得更难以在系统内包含气体并且还可能在相关密封元件上施加更多的应力，从而增加系统内的压力脉动、对润滑油的消耗和不希望的气体到大气的排放。
发明内容
本发明的一个方面特征在于一种带有容器的气体处理系统，所述容器限定了用于处理气体的腔体，并且具有用于以输入压力接纳工艺气体的工艺气体入口和用于以输出压力排出工艺气体的工艺气体出口。轴被联接到所述容器并且构造为向所述容器中的气体传递机械能或者从所述容器中的气体传递机械能。所述系统具有逐级密封系统，所述逐级密封系统在所述腔体与大气之间限定了位于沿着所述轴隔开的相邻密封件之间的中间压力空间。所述中间压力空间中的最大压力低于所述输入压力和所述输出压力中的较大者，而高于大气压力。我用“逐级”意味着所述密封系统在高压点与低压点之间有多个密封构件。在许多情况下，此类系统逐级降低所述高压点与所述低压点之间的各级中的压力。值得注意的是，所述中间压力空间能够经由与所述轴隔开的流线与所述工艺气体入口液压连通。我用“液压”不意在暗示涉及液体。
在一些情况下，诸如在气体压缩机系统中，所述输出压力大于所述输入压力。
在一些示例中，所述密封系统限定了位于沿着所述轴隔开的相邻密封件之间的多个压力空间，包括所述中间压力空间和第二空间，所述第二空间在运行中达到低于所述中间压力空间中的最大压力而高于大气压力的最大压力。
一些实施例还具有吹扫气体源，所述吹扫气体源与所述第二压力空间液压连通并且在足够的压力下使吹扫气体从所述吹扫气体源流动到所述密封系统中并且沿着所述轴远离所述容器。所述多个压力空间可以包括例如通气压力空间，所述通气压力空间与用于排出所述吹扫气体中的至少一些的通气口液压连通。
在一些示例中，所述密封系统具有限定了三个压力空间的一系列四个密封件。一些示例具有界定离散压力空间的甚至更大数量的密封件。所述多个压力空间可以包括与加压的润滑油源液压连通的压力空间。
在一些实施例中，所述中间压力空间与所述工艺气体入口直接液压连通。我用“直接”意味着在流路与压缩机入口之间没有通过对所述气体做功或者从所述气体中去除功来主动地对所述工艺气体做功的系统部件。
优选地，对于许多应用，所述中间压力空间中的压力被维持在所述输入压力的30％内。
在许多应用中，所述流线是除了沿着轴表面以外在运行中进入或离开所述中间压力空间的唯一入口或出口。
在一些实施例中，所述容器包括所述轴在其中往复运动的气缸，所述轴在所述密封系统内往复运动。例如，容器可以是压缩机气缸。
在一些其他实施例中，在所述轴与所述容器内的工艺气体之间传递能量期间所述轴相对于所述容器旋转，所述轴在所述密封系统内旋转。在一些此类实施例中，所述相邻密封件是连续迷宫式密封件的相邻部分，所述中间压力空间是穿过所述密封件的迷宫式流路的中间部分。
在一些示例中，所述流路限定了节流孔口，所述节流孔口可以是可调节的和/或可控制的，以影响沿着所述流路的流动。
在一些情况下，所述流路包括单向阀，所述单向阀限制沿着所述流路朝向所述中间压力空间的流动，诸如以抑制工艺气体从所述入口流动到所述密封系统中。
在一些实施例中，每一个所述密封件被安装在沿着所述轴联接在一起的多个密封件壳体中的相应密封件壳体中。所述流线可以部分地由多个密封件壳体中对准的孔径限定。
在一些实施例中，所述容器、所述轴和所述密封系统是第一气体处理级的部件，所述气体处理系统还包括第二气体处理级，所述第二气体处理级具有第二容器、第二轴和第二多级密封系统。所述第一气体处理级和所述第二气体处理级被连接为使得所述第一气体处理级的输出端连接到所述第二气体处理级的输入端。所述第二多级密封系统限定了第二中间压力空间，所述第二中间压力空间经由第二流线与所述第一气体处理级的所述容器的所述工艺气体入口液压连通。
本发明的另一方面特征在于一种修改逐级密封系统的方法，所述逐级密封系统具有一系列密封件，所述一系列密封件被保持在一堆密封件壳体中，所述一堆密封件壳体被对准以借此接纳轴。所述方法包括：抵靠着所述一堆密封件壳体的远端面放置端口壳体，所述端口限定了被调整大小以容纳所述轴的中央孔径，并且放置与所述中央孔径液压连通的端口。所述端口壳体还容纳端部密封件，所述端部密封件被构造为在所述密封系统被安装的情况下限制沿着所述轴的流动，其中所述端部密封件和所述一系列密封件中的最近的一个密封件在其中间限定了与所述端口液压连通的中间压力空间。在安装到气体处理系统的容器期间，所述端口通过流线连接到所述气体处理系统的入口。
在一些实施例中，所述端口壳体具有两个可分离的壳体部分，包括限定了所述中央孔径的第一部分和包含所述端部密封件的第二部分。
在一些情况下，所述端部密封件是迷宫式密封件。
本发明的另一方面特征在于一种对气体处理容器的轴进行密封的方法，所述气体处理容器具有在不同压力下运行的出口和入口。所述方法包括：沿着所述轴定位多个密封件，所述密封件限定了位于相邻密封件之间的至少一个中间压力空间；以及在所述气体处理容器的运行期间，将从所述容器泄漏到所述中间压力空间中的工艺气体直接地路由回到所述气体处理容器的入口，被路由的工艺气体由于所述中间压力空间与所述容器的入口之间的压力差而流动。
本发明在具有轴和多级轴密封系统的带有高压容器的气体处理系统(诸如压缩机)的背景下具有特定效用。在许多示例中，本发明特点是将经过至少一个密封件泄漏的工艺气体再循环到容器的工艺气体入口。泄漏的工艺气体的这种内部再循环能够有效地降低各种密封件之间的压力以及跨密封件的压力差。压力差的降低能够减少密封件处的接触压力和发热，同时通过气体的膨胀沿着密封系统提供冷却效果。本文公开的改进还能够延长密封件寿命并且减少工艺气体的压力脉动和损失以及润滑油的消耗。
本公开的主题的一个或更多个实施例的细节在附图和说明书中被阐述。根据说明书、附图和权利要求书，主题的其他特征、方面和优点将变得显而易见。
附图说明
图1示意性地表示具有多级密封系统的单级气体处理系统。
图2是往复式轴压缩机的一部分的立体图。
图3是图2的压缩机部分的端视图。
图4和图5是都沿着图3中的线4/5-4/5截取的横截面视图，示出了轴位于其行程的相对端。
图6是沿着图3中的线6-6截取的部分横截面视图。
图7是沿着图3中的线7-7截取的横截面视图。
图8是沿着图3中的线8-8截取的多级密封系统的放大横截面视图。
图9是图2的压缩机部分的分解图。
图10示意性地表示具有两个压缩机的多级气体处理系统，每个压缩机具有多级密封系统。
图11是具有综合压力平衡的旋转式多级密封系统的横截面视图。
图12是被适配为添加压力平衡的旋转式多级密封系统的横截面视图。
图13是用于往复轴的标准多级密封系统和用于添加压力平衡的适配器的横截面视图。
图14示出了图13的联接在一起以形成具有压力平衡的密封系统的密封系统和适配器。
在不同图中相同的附图标记指示类似的元件。
具体实施方式
首先参照图1，气体处理系统100包括压缩机102，该压缩机102具有容器104，该容器104限定了具有工艺气体入口108和工艺气体出口110的腔体106。例如，压缩机102可以是正排量压缩机(例如，诸如叶式压缩机、螺杆式压缩机、涡旋式压缩机或叶片式压缩机的旋转式压缩机，或诸如双作用压缩机的往复式压缩机)或动态压缩机(例如，离心式或轴向式压缩机)。被构造为包含工艺气体的容器104在工作中联接至延伸到压缩机中的轴。这里由沿着轴的一系列框符表示的多级密封系统114抑制沿着轴的工艺气体泄漏。轴将机械能传递到容器104中的工艺气体(例如，通过绕其纵轴旋转或者沿着其纵轴平移)，并且穿过多级密封系统114延伸到腔体106中。在一个示例中，轴驱动容器104内部的压缩机轮，以相对于入口108处的压力大大增加了出口110处的压力。例如，工艺气体可以以约800psig的压力进入工艺气体入口108，并且经由工艺气体出口110以约1500psig的压力被排出。优选地，压缩机的压缩比是至少1.5:1。如图所示，流路116将泄漏的工艺气体从在多级密封系统114的两个密封件之间转移到进入入口108的气体流。如图所示，流路116直接地连接到压缩机入口。直接地在此上下文中意味着在流路与压缩机入口之间没有通过对气体做功或者从气体中去除功来主动地对工艺气体做功的系统部件。流路116可以包括节流孔口117，该节流孔口117可以是固定的、可调节的或可主动控制的，以针对特定运行条件优化沿着路径116的流动。对于一些应用，可以沿着流路设置单向止回阀119，以防止从入口108流向密封系统。
接下来参照图2，压缩机102的气缸具有壳体118和端板120，该端板120用螺栓固定到该壳体并且轴122穿过该端板120延伸。压缩机气缸102属于具有两个入口108和两个出口110的线性往复式压缩机。导管124形成流路(图1的116)的将泄漏的工艺气体馈送回到两个入口中的一个入口的部分。
如图3所示，此特定端板120具有与压缩机的多级密封系统连通的四个端口。这些端口包括压力平衡端口126、吹扫气体端口128、润滑油端口130和通气口端口132。在一些示例中，存在更少或更多的端口。
接下来参照图4和图5，多级密封系统114绕轴122设置，并且在此示例中包括沿着轴隔开的五个密封件136以及压力切断杆环138。每个密封件可以包括在轴上紧密堆叠在一起的多个密封元件或杆环，以与轴形成一系列紧密的密封界面。杆环138是形成多级密封系统的第一道密封的单元件密封件并且控制泄漏，以调节在吸气行程期间进入气缸的回流并且以避免损坏环并使其与杆脱开。压力断路器还减少在排气行程时离开气缸的气体流量。如在下面所讨论的，可以修改杆环138以提供与预期从杆环后面返回到入口的流量有关的最佳有效孔口。术语“密封”不暗示在轴表面处间隙为零，或者暗示跨越密封件没有泄漏。如将由在高压气体机械领域中工作的那些人所理解的那样，一些泄漏将被预期经过高压力差密封件，并且可能甚至是必要的以避免高摩擦和过早的密封失效。密封件与轴表面之间的气体的膨胀可能产生对轴的有益冷却，从而导致较低的密封件磨损。
压缩机气缸的入口108和出口110各自特征在于单向阀，该单向阀允许流要么进入压缩机气缸(入口)要么离开压缩机气缸(出口)，同时抑制相反方向上的流动。每个阀可以具有平行的多个流孔径。入口和出口成对运行，每个对在轴的相应行程方向上运行。例如，在活塞从右到左的行程期间，在行程期间的不同点将存在右入口108和左出口110的开口。类似地，在从左到右的返回行程期间，在行程期间的不同点将存在左入口108和右出口110的开口，同时右入口和左出口保持关闭。在从左到右的此返回行程期间，气缸的密封端部将经受压力上升到至少压缩机的出口压力。此高压力将从压力切断杆环138开始穿过各个级沿着轴逐级降低。在从右到左的行程期间，压力切断杆环处的瞬时压力将有时低于压缩机入口或吸入压力，并且导管124中的流动可以是朝向密封系统在相反方向上。因此，密封系统不仅需要承受高压力，而且还必须适应可能非常迅速地波动的极端压力波或周期。
如这些横截面所示，多级密封系统包括沿着轴堆叠并设置在壳体118的孔内的多个密封件壳体140。最里面的密封件壳体通过鼻垫圈141抵靠着气缸壳体的面而被密封。在一些情况下，壳体118分为两件，其中铸铁件形成主气缸，而钢闷头被用螺栓固定到气缸的端部以包含密封系统。每个密封件壳体140包含各自的密封件136，其中最外面的密封件(双作用环)被包含在端板120内。如本领域中理解的那样，每个密封件136可以是多个元件的堆叠，诸如夹在支持密封功能的两个其他环之间的密封环。密封件壳体都通过拧入包含压力切断杆环的远端密封件壳体的拉杆142轴向地连接到端板120，以将密封件壳体的堆叠保持在一起以便运输和组装。拉杆142还可以提供对准功能。密封件壳体具有将端板的端口与密封件之间的特定空间连接的对准的通路。例如，这些横截面示出了润滑油端口130与沿着轴的第二密封件和第三密封件之间的空间连通，使得通过端口130引入的润滑油到达那两个密封件之间的轴表面并且使密封系统的至少一些密封界面润滑。应注意的是，在第三密封件壳体中从左起存在与润滑油端口不连通的盲通路。它毫无用处而是将相同的密封件壳体设计用于组件的多个密封件壳体的结果。如图6所见，通气口端口132与两个最外面的密封件之间的空间连通并且用来收集可能已经经过前四个密封件泄漏的任何残余工艺气体，使得它能够被安全地收集或销毁而不到达大气。
接下来参照图7和图8，多级密封系统沿着轴表面限定了由各种密封件界定的压力空间。从密封系统的高压端向大气压端移动，经过压力切断杆环泄漏的高压工艺气体首先到达压力切断杆环138与第一密封件136a之间的中间压力空间144a，该中间压力空间144a由三个堆叠的密封元件或杆环146构成。正是压力平衡端口126与其连通的此压力空间144a，将进入此第一空间的一些泄漏的工艺气体馈送回到压缩机的低压入口。气体以例如800psig从压力空间144a回到压缩机入口的这种转移可能导致空间144a内的运行压力仅为800psig。换句话说，跨越第一道密封(压力切断杆环138)可能存在约700psig的压力差，或者跨越多级密封系统可能介于总压力差的40％与60％之间。从中间压力空间144a经过密封件136a泄漏的工艺气体以例如约600psig的压力进入压力空间144b。经过密封件136b的进一步泄漏到达压力空间144c，该压力空间144c可能处于例如约500psig的压力。如这些横截面图所示，吹扫气体端口128与压力空间144c连通，所述压力空间144c是润滑油端口与其连通的相同空间。因此，在运行中多级密封系统限定了沿着轴处于逐渐降低的压力下的一系列压力空间，其中每个密封件在两个压力空间之间产生差压。经过密封件的运行泄漏量和跨越密封件的压力差是相互关联的。一般而言，跨越密封件的压力差越高，密封件的运行摩擦力越大并且密封件处的发热越大。如上面指出的，经由压力平衡端口126使压力空间144a处的压力平衡沿着多级密封系统产生1500-800-600-500-200-50-0psig的压力剖面。在没有这种压力平衡的情况下，类似运行条件下的压力剖面可以是1500-1200-1000-600-250-50-0psig。经由压力平衡端口126提供的压力平衡还能够减少密封系统内的压力脉冲。
在一些情况下，吹扫气体(例如，诸如氮气的惰性气体)被以比压力空间144b中的压力高的压力引入到压力空间144c，以使密封件136b处的任何泄漏朝向压缩机移动。在这样的情况下，压力剖面可以是1500-800-600-620-400-200-0psig，并且转移回到压缩机入口的气体可以是工艺气体和吹扫气体的混合物。在一些情况下，省略了吹扫气体端口。在一些情况下，吹扫气体端口和通气口都被省略。
如在图8中最好地看到的那样，压力平衡端口126与空间144a(暴露于轴表面)之间的液压连通是经由堆叠的密封件壳体140中对准的通道148，从而通向密封件136a后面的凹部150。此凹部在密封件的前缘向压力空间136a开放。凹部和对准的通道148形成流路(图1中的116)的回到压缩机入口的部分。从压力空间144a回到压缩机入口的流可以由沿着流路的孔口被动地控制，或者由根据压力信号控制的阀主动地控制，以在压力空间144a中维持期望的运行压力。在此类情况下，压力空间144a将处于比压缩机入口稍微更高的压力，但是仍然处于比在没有任何压力平衡的情况下低的压力。应该注意的是，虽然压力平衡端口126被示出为与压力切断杆环138与密封件136a之间的压力空间144a连通，但是它可能替选地与密封件136a和密封件136b之间的压力空间144b连通，在这种情况下，压力剖面可以是1500-1200-800-600-400-200-0psig。
接下来参照图9，端板120及其连接的通过拉杆142对准并保持在一起的一堆密封件壳体140被插入到压缩机壳体118的孔中并且通过壳体螺栓152保持在适当的地方。
参照图10，对于一些应用，压缩机102可以串联联接以产生更高的工作压力。在此示例中，多级压缩系统154由串联联接的两个压缩机102构成，使得第一压缩级的输出端110a供给第二级的输入端108b。第一压缩级如上面所讨论的，其中流路116a将来自第一多级密封系统中的密封件之间的指定空间的气体馈送回到压缩机入口108a。在系统154中，流路116b也将来自第二多级密封系统中的密封件之间的指定空间的气体馈送到第一级压缩机的入口108a。考虑到输出端110b处的压力显著地大于输出端110a处的压力，必要时可以对路径116b进行节流以为第二压缩级提供所期望的压力剖面。
已经针对其中轴功率对工艺气体做功以产生能够在系统中别处投入使用的高压气流的往复式压缩机描述了上述系统。相同的密封原理能够被应用于使用高压气体流来以往复式方式来回地驱动轴的线性往复式气体发动机。
还可以在旋转式轴密封系统中采用相同的压力平衡原理。参照图11，旋转式多级轴密封系统160被采用来密封从高压容器(未示出)延伸的旋转轴162，其中密封系统的左端部被暴露于高容器压力164。在密封系统的高压端，迷宫式密封件166在沿着其长度的多个点处啮合密封件，从而在高容器压力与第一压力空间168之间沿着止漏环的宽度有效地逐级降低压力。第一级滑动密封界面170使压力空间168与第二压力空间172分离。第二级滑动密封界面174使压力空间172与第三压力空间176分离，所述第三压力空间176在密封系统的低压端被暴露于轴密封件178。吹扫气体端口180使得加压的吹扫气体(诸如氮气)被递送到第一压力空间168，而通气口端口182使得泄漏的工艺气体和吹扫气体的混合物被从系统中去除以供收集或处置/销毁。可选的次级通气口端口184使得残余气体从压力空间176被排出。如上面所讨论的，压力平衡是通过将平衡压力端口186连接到压缩机的低压(输入)侧来提供的。这样的连接有效地增加沿着迷宫式密封件的压力降低，降低了压力空间168中的压力，从而降低必须由滑动密封界面170和174维持的压力差。
在上述示例中，压力平衡端口和相关通道已经被集成到密封系统中。然而，通过提供适当的改装硬件，能够将上面讨论的原理应用于现有的多级密封系统。例如，图12所示的系统包括典型的旋转式轴多级密封系统188和压力平衡适配器190，所述压力平衡适配器190绕轴162用螺栓固定或以其他方式附于在密封系统的高压端。适配器190包括适配器壳体192，该适配器壳体192被构造为机械地固定到现有的密封系统壳体，而且包括压力切断杆环138并且限定了压力平衡端口。在所示出的示例中，适配器壳体是两个板的堆叠，一个板限定了压力平衡端口，而另一个板容纳杆环。在适配器被安装到预先存在的密封系统的情况下，在压力切断杆环138与迷宫式密封件166之间限定了新的压力空间194。因此，压力空间194中的压力由压力平衡系统调节，从而降低迷宫式密封件的高压侧的压力。
接下来参照图13和图14，通过添加如上所述的螺栓紧固适配器190，可以修改用于往复式轴压缩机的现有的多级密封系统196以提供上述压力平衡的好处。当被组装时，修改后的多级密封系统(图14)在压力切断杆密封件138与密封件136a之间限定了新的压力空间144a，并且端口186提供这个新的压力空间144a与相关压缩机的入口之间的连通。修改后的系统以与上面关于图8描述的系统类似的方式发挥作用。
已经描述了主题的特定实施例。所描述的实施例的其他实施例、变更和置换如对本领域的技术人员而言将显而易见的在以下权利要求书的范围内。虽然在附图或权利要求书中以特定次序描绘操作，但是这不应当被理解为要求以所示特定次序或以顺序次序执行此类操作，或者要求执行所有图示的操作(一些操作可以被认为是可选的)，以实现所希望的结果。
因此，先前描述的示例实施例不限定或者约束本公开。在不背离本公开的精神和范围的情况下，其他改变、替换和变更也是可能的。

Claims (26)

1.一种气体处理系统，所述气体处理系统包括：
容器(102)，所述容器(102)限定了用于处理气体的腔体(106)，并且包括用于以输入压力接纳工艺气体的工艺气体入口(108)和用于以输出压力排出工艺气体的工艺气体出口(110)；
轴(122)，所述轴(122)被联接到所述容器并且构造为向所述容器中的气体传递机械能或者从所述容器中的气体传递机械能；以及
逐级密封系统(114)，所述逐级密封系统(114)在所述腔体与大气之间限定了位于沿着所述轴隔开的相邻密封件(136)之间的中间压力空间，
其中，所述中间压力空间(144a)经由与所述轴隔开的流线(116)与所述工艺气体入口液压连通，并且
其中，所述气体处理系统被构造为使得在运行中，所述中间压力空间中的最大压力低于所述输入压力和所述输出压力中的较大者，而高于大气压力。
2.根据权利要求1所述的气体处理系统，其中，所述输出压力大于所述输入压力。
3.根据权利要求1或权利要求2所述的气体处理系统，其中，所述密封系统限定了位于沿着所述轴隔开的相邻密封件(136)之间的多个压力空间，包括所述中间压力空间(144a)和第二空间，所述第二空间在运行中达到低于所述中间压力空间(144a)中的最大压力而高于大气压力的最大压力。
4.根据权利要求3所述的气体处理系统，所述气体处理系统还包括吹扫气体源(128)，所述吹扫气体源(128)与所述第二压力空间(144c)液压连通并且在足够的压力下使吹扫气体从所述吹扫气体源流动到所述密封系统中并且沿着所述轴远离所述容器。
5.根据权利要求4所述的气体处理系统，其中，所述多个压力空间包括通气压力空间(144e)，所述通气压力空间(144e)与用于排出所述吹扫气体中的至少一些的通气口(132)液压连通。
6.根据权利要求3所述的气体处理系统，其中，所述密封系统包括限定了三个压力空间(144)的一系列四个密封件(136)。
7.根据权利要求3所述的气体处理系统，其中，所述多个压力空间包括与加压的润滑油源(130)液压连通的压力空间(144c)。
8.根据上述权利要求中的任一项所述的气体处理系统，其中，所述中间压力空间与所述工艺气体入口(108)直接液压连通。
9.根据上述权利要求中的任一项所述的气体处理系统，所述气体处理系统被构造为使得在运行中，所述中间压力空间(144a)中的压力被维持在所述输入压力的30％内。
10.根据上述权利要求中的任一项所述的气体处理系统，其中，所述流线(148)是除了沿着所述轴(122)的表面以外在运行中进入或离开所述中间压力空间(144a)的唯一入口或出口。
11.根据上述权利要求中的任一项所述的气体处理系统，其中，所述容器包括所述轴在其中往复运动的气缸，所述轴在所述密封系统内往复运动。
12.根据权利要求11所述的气体处理系统，其中，所述容器是压缩机气缸。
13.根据权利要求1至10中的任一项所述的气体处理系统，其中，在所述轴与所述容器内的工艺气体之间传递能量期间所述轴相对于所述容器旋转，所述轴在所述密封系统内旋转。
14.根据权利要求13所述的气体处理系统，其中，所述相邻密封件是连续迷宫式密封件的相邻部分，所述中间压力空间是穿过所述密封件的迷宫式流路的中间部分。
15.根据上述权利要求中的任一项所述的气体处理系统，其中，所述流路限定了节流孔口(117)。
16.根据权利要求15所述的气体处理系统，其中，所述节流孔口是可调节的和/或可控制的。
17.根据上述权利要求中的任一项所述的气体处理系统，其中，所述流路限定了单向阀(119)，所述单向阀(119)限制沿着所述流路朝向所述中间压力空间的流动。
18.根据上述权利要求中的任一项所述的气体处理系统，其中，每一个所述密封件被安装在沿着所述轴(122)联接在一起的多个密封件壳体(140)中的相应密封件壳体中。
19.根据权利要求18所述的气体处理系统，其中，所述流线(116)部分地由多个密封件壳体(140)中对准的孔径(148)限定。
20.根据上述权利要求中的任一项所述的气体处理系统，其中，所述容器、所述轴和所述密封系统是第一气体处理级的部件，所述气体处理系统还包括第二气体处理级，所述第二气体处理级具有第二容器、第二轴和第二多级密封系统，所述第一气体处理级和所述第二气体处理级被连接为使得所述第一气体处理级的输出端连接到所述第二气体处理级的输入端，并且其中，所述第二多级密封系统限定了第二中间压力空间，所述第二中间压力空间经由第二流线与所述第一气体处理级的所述容器的所述工艺气体入口液压连通。
21.一种修改逐级密封系统的方法，所述逐级密封系统具有一系列密封件，所述一系列密封件被保持在一堆密封件壳体中，所述一堆密封件壳体被对准以借此接纳轴，所述方法包括
抵靠着所述一堆密封件壳体的远端面放置端口壳体，所述端口限定了被调整大小以容纳所述轴的中央孔径，并且放置与所述中央孔径液压连通的端口，所述端口壳体容纳端部密封件，所述端部密封件被构造为在所述密封系统被安装的情况下限制沿着所述轴的流动，其中所述端部密封件和所述一系列密封件中的最近的一个密封件在其中间限定了与所述端口液压连通的中间压力空间；以及
在安装到气体处理系统的容器期间，将所述端口连接到所述气体处理系统的入口。
22.根据权利要求21所述的方法，其中，所述端口壳体包括两个可分离的壳体部分，包括限定了所述中央孔径的第一部分和包含所述端部密封件的第二部分。
23.根据权利要求21或权利要求22所述的方法，其中，所述端部密封件是迷宫式密封件。
24.根据权利要求21至23中的任一项所述的方法，其中，修改后的逐级密封系统属于根据权利要求1至20中的任一项所述的系统。
25.一种对气体处理容器的轴进行密封的方法，所述气体处理容器具有在不同压力下运行的出口和入口，所述方法包括：
沿着所述轴定位多个密封件，所述密封件限定了位于相邻密封件之间的至少一个中间压力空间；
在所述气体处理容器的运行期间，将从所述容器泄漏到所述中间压力空间中的工艺气体直接地路由回到所述气体处理容器的入口，被路由的工艺气体由于所述中间压力空间与所述容器的入口之间的压力差而流动。
26.根据权利要求25所述的方法，其中，所述气体处理容器属于根据权利要求1至20中的任一项所述的系统。
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