CN1161825C - 清洗电子元件的方法 - Google Patents
清洗电子元件的方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN1161825C CN1161825C CNB001008919A CN00100891A CN1161825C CN 1161825 C CN1161825 C CN 1161825C CN B001008919 A CNB001008919 A CN B001008919A CN 00100891 A CN00100891 A CN 00100891A CN 1161825 C CN1161825 C CN 1161825C
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- cleaning
- silicon base
- water
- naked silicon
- naked
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 135
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 76
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 69
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 69
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 69
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 29
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims abstract description 22
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims abstract description 22
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 62
- 239000002585 base Substances 0.000 claims description 50
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 28
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 28
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 27
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 25
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 24
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 20
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 claims description 13
- 239000003513 alkali Substances 0.000 claims description 11
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 6
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 15
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 abstract description 13
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 5
- 238000011109 contamination Methods 0.000 abstract 2
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 34
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 16
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 12
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 11
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 7
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 7
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 6
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 5
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 5
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000010306 acid treatment Methods 0.000 description 4
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 4
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 4
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 4
- 230000005660 hydrophilic surface Effects 0.000 description 4
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 4
- SUKJFIGYRHOWBL-UHFFFAOYSA-N sodium hypochlorite Chemical compound [Na+].Cl[O-] SUKJFIGYRHOWBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 235000011114 ammonium hydroxide Nutrition 0.000 description 3
- 238000007865 diluting Methods 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 230000005661 hydrophobic surface Effects 0.000 description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 3
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 3
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 3
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 3
- IKHGUXGNUITLKF-UHFFFAOYSA-N Acetaldehyde Chemical compound CC=O IKHGUXGNUITLKF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XTEGARKTQYYJKE-UHFFFAOYSA-M Chlorate Chemical compound [O-]Cl(=O)=O XTEGARKTQYYJKE-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N Hydrazine Chemical compound NN OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XYXNTHIYBIDHGM-UHFFFAOYSA-N ammonium thiosulfate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[O-]S([O-])(=O)=S XYXNTHIYBIDHGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- WQYVRQLZKVEZGA-UHFFFAOYSA-N hypochlorite Chemical compound Cl[O-] WQYVRQLZKVEZGA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N methanoic acid Natural products OC=O BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 2
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 2
- GEHJYWRUCIMESM-UHFFFAOYSA-L sodium sulfite Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]S([O-])=O GEHJYWRUCIMESM-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 description 2
- AOSFMYBATFLTAQ-UHFFFAOYSA-N 1-amino-3-(benzimidazol-1-yl)propan-2-ol Chemical compound C1=CC=C2N(CC(O)CN)C=NC2=C1 AOSFMYBATFLTAQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BZSXEZOLBIJVQK-UHFFFAOYSA-N 2-methylsulfonylbenzoic acid Chemical compound CS(=O)(=O)C1=CC=CC=C1C(O)=O BZSXEZOLBIJVQK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 4-(3-methoxyphenyl)aniline Chemical compound COC1=CC=CC(C=2C=CC(N)=CC=2)=C1 OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DDFHBQSCUXNBSA-UHFFFAOYSA-N 5-(5-carboxythiophen-2-yl)thiophene-2-carboxylic acid Chemical compound S1C(C(=O)O)=CC=C1C1=CC=C(C(O)=O)S1 DDFHBQSCUXNBSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O Ammonium Chemical compound [NH4+] QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- ZKQDCIXGCQPQNV-UHFFFAOYSA-N Calcium hypochlorite Chemical compound [Ca+2].Cl[O-].Cl[O-] ZKQDCIXGCQPQNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JPVYNHNXODAKFH-UHFFFAOYSA-N Cu2+ Chemical compound [Cu+2] JPVYNHNXODAKFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PQUCIEFHOVEZAU-UHFFFAOYSA-N Diammonium sulfite Chemical compound [NH4+].[NH4+].[O-]S([O-])=O PQUCIEFHOVEZAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-N Dihydrogen sulfide Chemical compound S RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IOVCWXUNBOPUCH-UHFFFAOYSA-M Nitrite anion Chemical compound [O-]N=O IOVCWXUNBOPUCH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- KEAYESYHFKHZAL-UHFFFAOYSA-N Sodium Chemical compound [Na] KEAYESYHFKHZAL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DWAQJAXMDSEUJJ-UHFFFAOYSA-M Sodium bisulfite Chemical compound [Na+].OS([O-])=O DWAQJAXMDSEUJJ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-N Sulfurous acid Chemical class OS(O)=O LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000441 X-ray spectroscopy Methods 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- KHPLPBHMTCTCHA-UHFFFAOYSA-N ammonium chlorate Chemical compound N.OCl(=O)=O KHPLPBHMTCTCHA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003139 buffering effect Effects 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 229910001919 chlorite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052619 chlorite group Inorganic materials 0.000 description 1
- QBWCMBCROVPCKQ-UHFFFAOYSA-N chlorous acid Chemical compound OCl=O QBWCMBCROVPCKQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 description 1
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 235000019253 formic acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000008187 granular material Substances 0.000 description 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 1
- 229910000037 hydrogen sulfide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 1
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 1
- VISKNDGJUCDNMS-UHFFFAOYSA-M potassium;chlorite Chemical compound [K+].[O-]Cl=O VISKNDGJUCDNMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 238000007788 roughening Methods 0.000 description 1
- 238000000790 scattering method Methods 0.000 description 1
- 230000002000 scavenging effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 150000003376 silicon Chemical class 0.000 description 1
- UKLNMMHNWFDKNT-UHFFFAOYSA-M sodium chlorite Chemical compound [Na+].[O-]Cl=O UKLNMMHNWFDKNT-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229960002218 sodium chlorite Drugs 0.000 description 1
- 229940079827 sodium hydrogen sulfite Drugs 0.000 description 1
- 235000010267 sodium hydrogen sulphite Nutrition 0.000 description 1
- 235000010265 sodium sulphite Nutrition 0.000 description 1
- AKHNMLFCWUSKQB-UHFFFAOYSA-L sodium thiosulfate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]S([O-])(=O)=S AKHNMLFCWUSKQB-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 235000019345 sodium thiosulphate Nutrition 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-L sulfite Chemical compound [O-]S([O-])=O LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- DHCDFWKWKRSZHF-UHFFFAOYSA-N sulfurothioic S-acid Chemical compound OS(O)(=O)=S DHCDFWKWKRSZHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002195 synergetic effect Effects 0.000 description 1
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
- H01L21/304—Mechanical treatment, e.g. grinding, polishing, cutting
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02041—Cleaning
- H01L21/02043—Cleaning before device manufacture, i.e. Begin-Of-Line process
- H01L21/02052—Wet cleaning only
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Detergent Compositions (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
为了提供一种能够去除电子元件表面上的金属、有机物和细小颗粒污物,尤其是硅基底上的污物,并且在清洗过程中抑制基底表面粗糙度以原子量级增大。一种清洗电子元件的方法,其是用氧化清洗液清洗,之后用还原清洗液清洗并施加超声振动。
Description
技术领域
本发明涉及一种清洗电子元件的方法。尤其涉及一种用在工业的湿法清洗过程中能够有效地除去粘附在表面的污物如细小颗粒而不使表面粗糙的清洗电子元件的方法,在工业中这种电子元件作为半导体硅基底处理。
背景技术
这些如用于半导体的硅基底和液晶的玻璃基底等元件传统地采用RCA清洗,其是一种加热清洗法,利用浓缩的过氧化氢化学溶液(硫酸+过氧化氢水溶液,盐酸+过氧化氢水溶液+水,氨水+过氧化氢水溶液+水)。但是,湿法清洗近年来由于环保和资源保护的原因而开始受到注意。
在这种情况下,本发明人等先提出了一种用氧化清洗液如臭氧水除去主要金属和有机污物的清洗方法,以及另一种利用还原清洗液如氢水,基本上除去细小颗粒的清洗方法。
毋庸置疑,单独使用这两种方法均可以收到高度清洗的效果。但是,从来没有彻底地检查过这两种方法结合的协同效果。
发明内容
本发明人等发现在基底清洗中,如果同时使用超声波和还原清洗液微粒清除可达到一个很高的水平。但是这种用在裸露的硅表面剥离氧化膜的方法有一个缺点在于,当超声波的强度或清洗时间不合适时,基底表面的粗糙度增大。如用还原清洗水进行较长时间的清洗时,需要大量的超声波。特别是当使用碱性还原的清洗液时,粗糙度增大的趋势变得显著。
在硅基底表面的实际清洗中,以原子量级降低硅表面或硅/氧化硅膜界面的粗糙度和完全除去杂质一样重要。
本发明旨在提出一种简单易行的清洗方法,能够去除电子元件表面的金属、有机物和细小颗粒等污物,特别是硅基底,还可以在清洗过程中控制以原子量级降低基底表面粗糙度的增大。
本发明人等揭示的方法几乎没有因使用还原清洗液体的超声波清洗而导致表面粗糙度增大的可能,在这种方法中加入了化学溶液,只要硅基底表面在清洗之前被氧化,以避免在超声波清洗中,使用还原清洗液过强或过长时间地超声清洗而增加基底表面的粗糙度和降低硅基底的质量。对在硅基底的功能中起重要作用的硅和氧化硅膜之间的界面没有损害。本发明是以这些事实为基础而完成。
具体地说本发明组成如下。
(1)一种清洗裸硅基底的方法,其特点是用氧化清洗液清洗之后,在使裸硅基底经受超声振动的同时用还原清洗液清洗。
(2)一种根据(1)所述的清洗裸硅基底的方法,其特点是裸硅基底是用于半导体的裸硅基底。
(3)一种根据(1)所述的清洗裸硅基底的方法,其特点是氧化清洗液是臭氧水或加入了酸性或碱性化学试剂的臭氧水。
(4)一种根据(1)所述的清洗裸硅基底的方法,其特点是氧化液是氧水或加入了酸性或碱性化学试剂的氧水。
(5)一种根据(1)所述的清洗裸硅基底的方法,其特点是氧化清洗液是一种包含过氧化氢的液体。
(6)一种根据(1)所述的清洗裸硅基底的方法,其特点是还原清洗液是一种氢水或加入了酸性或碱性化学试剂的氢水。
(7)一种根据(1)所述的清洗裸硅基底的方法,其特点是超声振动的频率范围在400KHz和3MHz之间。
(8)一种根据(3)所述的清洗裸硅基底的方法,其特点是清洗液中臭氧的浓度不低于0.1毫克/升。
(9)一种根据(5)所述的清洗裸硅基底的方法,其特点是清洗液中过氧化氢的浓度不低于200毫克/升。
(10)一种根据(6)所述的清洗裸硅基底的方法,其特点是清洗液中氢气的浓度不低于0.7毫克/升。
具体实施方式
本发明是一种清洗电子元件的方法,在超声振动的情况下使用还原清洗液,随后用氧化清洗液清洗,并且引入这样一个清洗过程,在超声振动的情况下使用还原清洗液,再直接接着进行采用氧化清洗液或通过超纯净水淋洗过程的清洗过程。
本发明的清洗过程尤其适合于严格要求表面粗糙精确度的电子元件,如用于半导体的硅基底和用于液晶的玻璃基底。
特别是,用于本发明中作为半导体的硅基底可以有一个表面上有氧化膜的亲水表面涂层,或有一个没有氧化膜的亲水表面涂层。本发明的清洗方法特别适于半导体的裸硅基底并抑制基底表面的粗糙化的发生。
本发明中,在超声振动的情况下使用还原清洗液的清洗过程之前,用氧化清洗液初步处理氧化的硅基底表面。为此,在第二清洗过程中不会损坏硅/氧化硅膜的界面。所以清洗处理后不会增加电子元件(硅基底)表面的粗糙度。
本发明的氧化清洗液是一种溶解了氧化物的水溶液。
对用于氧化清洗液的氧化物没有特别的限制。例如,氧化物可以是:过氧化氢(H2O2),臭氧(O3)和氧(O2);次氯酸盐可以是次氯酸钠(NaClO)和次氯酸钙;亚氯酸盐可以是亚氯酸钠(NaClO2)和亚氯酸钾;氯酸盐可以是氯酸钠(NaClO3)和氯酸铵。这些氧化物即可以是单质也可以是两个或多个的化合物。
在这些氧化物当中,优选过氧化氢和臭氧,因为这两种物质比较容易处理,容易以较低的浓度达到很好的清洗效果,并且在清洗后只有少量的部分需要漂洗。使用过氧化氢时,希望清洗水中过氧化氢的浓度不低于200毫克/升,最好不低于1,000毫克/升。使用臭氧时,清洗水中臭氧的浓度不应低于0.1毫克/升,最好不低于1毫克/升。
另外,可以使用包含这些氧化物并补充有酸性或碱性化学试剂的液体。特别是包含加入了酸性或碱性化学试剂的臭氧水的液体,以及包含加入了酸性或碱性化学试剂的氧水的液体最适合。
用在本发明中的还原清洗液是溶解了还原物的液体。这里对于还原物没有特别的限定。例如,还原气体包括氢气;硫代硫酸盐可以是硫代硫酸钠(Na2S2O4)和硫代硫酸铵;亚硫酸盐可以是亚硫酸钠(Na2SO3)和亚硫酸铵;亚硫酸氢盐可以是亚硫酸氢钠(NaHSO3)和亚硫酸氢铵;亚硝酸盐可以是亚硝酸钠(NaNO2)和亚硝酸铵;联氨;无机还原物可以是硫化氢;有机还原物可以是甲酸和乙醛。这些还原物可以是单体或两种或多种的化合物。优选溶解了氢气的氢水,因为它以较低的浓度就可以达到很好的清洗效果并且在清洗之后只有很小的部分需要漂洗。希望本发明中用于清洗电子元件的水中的氢气浓度不低于0.7毫克/升,不低于1毫克/升更好。
可以在溶解了还原物的水溶液中加入酸性或碱性化学试剂,作为用在本发明中的还原清洗液。
本发明用氢水清洗效果显著,而该氢水中加入了能有效去除细小颗粒的碱性化学试剂并且和超声波协同作用。
在本发明中,溶解了还原物或氧化物的水的纯净度可以设置到能满足待清洗制品所要求的表面清洁度。换言之,本发明每个清洗过程所用的清洗水通过在水中溶解一种或数种还原物,或一种或数种氧化物,其中水的纯净度相对于待清洗制品表面清洁度的水平为无污染。该水溶液用在通过使水溶液与待清洗制品接触而除去制品表面上污物的过程。
因此,在待清洗制品是一个对清洁度水平不作严格要求的简单元件的情况下,溶解了工业用还原物和氧化物的自来水可以用作清洗电子元件的水。
然而,当清洗的电子元件表面是诸如用于半导体的硅基底,用于液晶的玻璃基底,用于光掩膜的石英基底和其它精密的电子元件时,希望采用具有高纯净度的超纯水,并溶解高纯度的还原物或高纯度的氧化物。希望超纯净水具有在25℃时不低于18MΩ·cm的电阻率,并且包含不大于10μg/l的有机碳,以及每升不大于10,000个颗粒。另外,如果需要,还可以通过过滤器除去用于电子元件的清洗水中的微小杂质颗粒。
在本发明利用还原清洗液的清洗过程中,为了便于清洗,向还原清洗液施加超声波。作为一种辅助的清洗工具,超声振动是最好的,因为它们不会损伤电子元件的表面。
本发明对向还原清洗液施加超声波的方法没有特别的限制。例如,在批量清洗中,超声振动可以传输到存放电子元件清洗液的箱上。在旋转清洗中,超声振动可以传输到喷嘴,电子元件的清洗液从喷嘴中喷出。
施加到本发明超声波清洗过程的超声波频率处于20KHz和3MHz之间较好,优选处于400KHz和3MHz之间。低于20KHz以下的超声波频率可以导致从污染了细小颗粒的电子元件上不适当地去除细小颗粒。超过3MHz的频率不能产生与高频相匹配的改善的效果。
作为用氧化清洗液进行处理的结果,有机和金属污物可以从电子元件表面清除,并且在电子元件的表面形成一层氧化膜。在随后利用还原清洗液的清洗中,黏附在电子元件表面的细小颗粒被除去。采用氧化清洗液和还原清洗液进行一系列清洗过程的结果是所有的污物,包括有机物质、金属和细小颗粒都被除去。
在清除黏附到裸硅上的颗粒的过程中,用氧化液并再用还原清洗液预处理元件之后,不会发生原材料的裸硅和硅基底之间表面粗糙度的增大,这与传统使用的清洗方法不同,传统方法元件直接用还原清洗液清洗。
因此,清洗过程如下:通过用氢氟酸化学试剂如稀释的氢氟酸(DHF)清洗液进行清洗;用缓冲的氢氟酸(稀释氢氟酸和氟化氨);或用脱水氢氟酸气体进行的干燥处理,把一个具有氧化膜的硅制备成裸硅基底的清洗过程时,本发明的清洗在第一次清洗后进行。
如果需要,可以给硅一个剥离了氧化膜的疏水表面涂层,其中硅是通过本发明的清洗方法,用化学试剂如能够溶解一种硅氧化膜的DHF化学溶液清洗的,按与原材料硅相同的原子量级测量,硅表面保持较低的粗糙度
另一方面,如果希望有一个带氧化膜的亲水表面涂层,则可以使用由本发明的清洗方法处理的硅而无需再进一步处理。另外,氧化膜再被DHF溶解一次之后还可以通过用臭氧水等进行的氧化处理而获得低粗糙度的硅氧化膜表面,该表面反映原材料硅表面的粗糙度。
下面结合实施例对本发明作进一步详细的描述。但本发明并不局限于这些实施例。
在空白试验、实施例和比较例中,使用下列方法评估清洗效果。
(1)待清洗的制品
直径为15.24cm的裸硅基底浸入包含直径不大于1μm的铝颗粒和二价铜离子的超纯净水中3分钟,用超纯净水漂洗以产生被污染的硅基底。制备的这些硅基底被用作待清洗的制品。
污染的硅基底每单位基底有20,000和25,000个颗粒,并黏附1E+14个原子/cm2。
(2)清洗操作
用0.5%的稀释氢氟酸清洗污染的硅基底之后,在使用由喷嘴产生的超声振动的情况下用浓度为5ppm的臭氧水作为氧化清洗水清洗,并且再用浓度为1.2ppm的氢水清洗,其中喷嘴振动频率为1.6MHz。
所有的清洗操作以500rpm的旋转速度执行旋转清洗。
用于该试验的清洗水以0.8升/分钟的速度供给。
实施例和比较例中每个过程的处理时间如下:
用稀释的氢氟酸(0.5%)处理的过程:1分钟
用臭氧水(5ppm)处理的过程:1分钟
用氢水(1.2ppm)处理的过程:0.2或2分钟
为了使表面的损伤效果更易于浮现,把氢水处理过程的时间设置得长于普通清洗所需要的时间。
每个步骤以及最后一个步骤之后,用纯净水漂洗10秒钟。
进行下列空白试验为测试评估提供临界值:
空白试验1:仅用臭氧水清洗
空白试验2:臭氧水清洗+稀释的氢氟酸处理
空白试验3:氢水清洗(0.2分钟)----(A)
加入氨水的氢水清洗(0.2分钟)----(B)
空白试验4:氢水清洗(2分钟)----(A)
加入氨水的氢水清洗(2分钟)----(B)
(3)评估
(3-1)细小颗粒的去除率
利用通过激光散射法的基底表面杂质颗粒测试设备测试细小颗粒。通过比较清洗之前及之后的颗粒数来计算颗粒去除率。
(3-2)铜去除率
表面上的铜浓度通过用全反射荧光X射线谱测量。铜的去除率根据清洗之前和之后铜的浓度来计算。
(3-3)表面粗糙度(在原子水平不规则性增大)
截取样品10mm2。在样品中央5μ2×5μ2中的最大高度/深度通过AFM(原子显微镜)测量。标准的未处理裸硅的值处于23nm和25nm之间。那些清洗后的值不大于27nm的裸硅被测得“粗糙度没有增大”。而那些清洗后的值超过27nm的裸硅被测得“粗糙度增大”。
实施例1
在经过上述1分钟的稀释氢氟酸处理过程和1分钟的臭氧水处理过程之后,在使用超声波的状态下,用氢水(1.2ppm)清洗0.2分钟上述的裸硅基底即待测制品(A),用加入了1ppm氨的氢水(1.2ppm)清洗0.2分钟(B)。
用上述的测试方法评估清洗的制品。
实施例2
除了把用氢水处理的时间改变到2分钟以外,本实施例在与实施例1相同的状态下清洗基底。
实施例3
按与实施例2相同的方式清洗的硅基底用稀释的氢氟酸处理以得到疏水表面涂层,并评估。
实施例4
将在实施例3中用稀释的氢氟酸清洗并处理以得到疏水表面涂层的硅基底用臭氧水处理,产生一个亲水表面涂层,并评估。
比较例1
改变实施例1中清洗过程的顺序,1分钟的稀释氢氟酸处理之后首先进行0.2分钟的氢水处理,然后进行1分钟的臭氧水处理。
每个处理过程的条件保持与实施例1的相同。
比较例2
改变实施例2中清洗过程的顺序,1分钟的稀释氢氟酸处理之后首先进行2分钟的氢水处理,然后进行1分钟的臭氧水处理。
每个处理过程的条件保持与实施例2的相同。
比较例3
改变实施例3中清洗过程的顺序,1分钟的稀释氢氟酸处理之后首先进行2分钟的氢水处理,然后进行1分钟的臭氧水处理。另外,再给予一次稀释的氢氟酸处理。
每个处理过程的条件保持与实施例3的相同。
比较例4
改变实施例4中清洗过程的顺序,1分钟的稀释氢氟酸处理之后首先进行2分钟的氢水处理,然后进行1分钟的臭氧水处理。另外,再给予一次稀释的氢氟酸处理,之后进行1分钟的臭氧水处理。
每个处理过程的条件保持与实施例4的相同。
表1表示在各自的处理条件下对上述空白试验、实施例和比较例中硅基底清洗结果的测试总结。
表1
表面涂层 | 细小颗粒去除率(%) | 铜去除率(%) | 粗糙度以原子水平增加 | ||
空白试验1 | 亲水 | 10 | 99< | 无 | |
空白试验2 | 疏水 | 50 | 99< | 无 | |
空白试验3 | A | 亲水 | 85 | <10 | 无 |
B | 亲水 | 96 | <10 | 无 | |
空白试验4 | A | 亲水 | 99 | <10 | 无 |
B | 亲水 | 100 | <10 | 无 | |
实施例1 | A | 亲水 | 89 | 99< | 无 |
B | 亲水 | 97 | 99< | 无 | |
实施例2 | A | 亲水 | 99 | 99< | 无 |
B | 亲水 | 100 | 99< | 无 | |
实施例3 | A | 疏水 | 99 | 99< | 无 |
B | 疏水 | 100 | 99< | 无 | |
实施例4 | A | 亲水 | 99 | 99< | 无 |
B | 亲水 | 100 | 99< | 无 | |
比较例1 | A | 亲水 | 84 | 99< | 无 |
B | 亲水 | 93 | 99< | 无 | |
比较例2 | A | 亲水 | 99 | 99< | 增加(32nm) |
B | 亲水 | 99 | 99< | 增加(43nm) | |
比较例3 | A | 疏水 | 99 | 99< | 增加(33nm) |
B | 疏水 | 99 | 99< | 增加(44nm) | |
比较例4 | A | 亲水 | 99 | 99< | 增加(32nm) |
B | 亲水 | 100 | 99< | 增加(41nm) |
根据该表的结果,在氢水超声清洗之前给予的氧化处理确保了防治基底表面粗糙度以原子量级的增大。
本发明的清洗方法不仅可以实现对金属、有机物和细小颗粒的优良清洗效果,而且能够把粗糙度维持在原子量级上的低水平。
Claims (10)
1.一种清洗裸硅基底的方法,其特征在于用氧化清洗液清洗之后,在使裸硅基底经受超声振动的同时用还原清洗液清洗。
2.根据权利要求1所述的清洗裸硅基底的方法,其特征在于所述裸硅基底是用于半导体的裸硅基底。
3.根据权利要求1所述的清洗裸硅基底的方法,其特征在于所述氧化清洗液即可以是臭氧水,也可以是加入了酸性或碱性化学试剂的臭氧水。
4.根据权利要求1所述的清洗裸硅基底的方法,其特征在于所述氧化清洗液即可以是氧水,也可以是加入了酸性或碱性化学试剂的氧水。
5.根据权利要求1所述的清洗裸硅基底的方法,其特征在于所述氧化清洗液是一种包含过氧化氢的溶液。
6.根据权利要求1所述的清洗裸硅基底的方法,其特征在于所述还原清洗液即可以是氢水,也可以是加入了酸性或碱性化学试剂的氢水。
7.根据权利要求1所述的清洗裸硅基底的方法,其特征在于所述超声振动具有400KHz和3MHz之间的频率。
8.根据权利要求3所述的清洗裸硅基底的方法,其特征在于所述清洗液中臭氧浓度不低于0.1毫克/升。
9.根据权利要求5所述的清洗裸硅基底的方法,其特征在于所述清洗液中过氧化氢的浓度不低于200毫克/升。
10.根据权利要求6所述的清洗裸硅基底的方法,其特征在于所述清洗液中氢气的浓度不低于0.7毫克/升。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10291027A JP2000117208A (ja) | 1998-10-13 | 1998-10-13 | 電子材料の洗浄方法 |
TW088117521A TW440945B (en) | 1998-10-13 | 1999-10-11 | Cleaning method for electronic material |
KR1019990043734A KR100629095B1 (ko) | 1998-10-13 | 1999-10-11 | 전자 재료의 세정 방법 |
US09/415,488 US6431186B1 (en) | 1998-10-13 | 1999-10-12 | Method of cleaning electronic components |
EP99308039A EP0994505A3 (en) | 1998-10-13 | 1999-10-12 | Method of cleaning substrates |
SG200000583A SG86371A1 (en) | 1998-10-13 | 2000-02-02 | Method of cleaning electronic components |
CNB001008919A CN1161825C (zh) | 1998-10-13 | 2000-02-14 | 清洗电子元件的方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10291027A JP2000117208A (ja) | 1998-10-13 | 1998-10-13 | 電子材料の洗浄方法 |
SG200000583A SG86371A1 (en) | 1998-10-13 | 2000-02-02 | Method of cleaning electronic components |
CNB001008919A CN1161825C (zh) | 1998-10-13 | 2000-02-14 | 清洗电子元件的方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN1309417A CN1309417A (zh) | 2001-08-22 |
CN1161825C true CN1161825C (zh) | 2004-08-11 |
Family
ID=27178723
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CNB001008919A Expired - Lifetime CN1161825C (zh) | 1998-10-13 | 2000-02-14 | 清洗电子元件的方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6431186B1 (zh) |
EP (1) | EP0994505A3 (zh) |
JP (1) | JP2000117208A (zh) |
KR (1) | KR100629095B1 (zh) |
CN (1) | CN1161825C (zh) |
SG (1) | SG86371A1 (zh) |
TW (1) | TW440945B (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111584342A (zh) * | 2020-05-07 | 2020-08-25 | 如皋市协创能源科技有限公司 | 双多晶电容工艺中清洗元件的方法 |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6982006B1 (en) | 1999-10-19 | 2006-01-03 | Boyers David G | Method and apparatus for treating a substrate with an ozone-solvent solution |
JP2002009035A (ja) | 2000-06-26 | 2002-01-11 | Toshiba Corp | 基板洗浄方法及び基板洗浄装置 |
JP3603764B2 (ja) * | 2000-08-30 | 2004-12-22 | 松下電器産業株式会社 | ガラスの洗浄方法 |
US20020121286A1 (en) * | 2001-01-04 | 2002-09-05 | Applied Materials, Inc. | Rinsing solution and rinsing and drying methods for the prevention of watermark formation on a surface |
JP4752117B2 (ja) * | 2001-02-08 | 2011-08-17 | 日本テキサス・インスツルメンツ株式会社 | 半導体ウェハ上の粒子を除去する方法 |
JP2002261062A (ja) * | 2001-03-05 | 2002-09-13 | Texas Instr Japan Ltd | 半導体ウェハ上の粒子を除去する方法及び装置 |
JP4000247B2 (ja) * | 2001-04-18 | 2007-10-31 | 株式会社ルネサステクノロジ | フォトマスクの洗浄方法 |
US7192886B2 (en) * | 2002-10-25 | 2007-03-20 | Intersurface Dynamics, Inc. | Method for using additives in the caustic etching of silicon for obtaining improved surface characteristics |
JP5087839B2 (ja) * | 2005-12-19 | 2012-12-05 | 栗田工業株式会社 | 水質評価方法、該方法を用いる超純水評価装置及び超純水製造システム |
KR100682538B1 (ko) * | 2006-02-07 | 2007-02-15 | 삼성전자주식회사 | 반도체 웨이퍼 세정설비 및 세정방법 |
CN101152652B (zh) * | 2006-09-29 | 2011-02-16 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 一种阳极氧化零件表面的清洗方法 |
KR100779399B1 (ko) | 2006-12-26 | 2007-11-23 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 반도체 소자의 제조방법 |
US7955440B2 (en) * | 2007-12-07 | 2011-06-07 | Sumco Corporation | Method for cleaning silicon wafer and apparatus for cleaning the silicon wafer |
KR20100007461A (ko) * | 2008-07-14 | 2010-01-22 | 삼성전자주식회사 | 석영 부품용 세정액 및 이를 이용한 석영 부품 세정방법 |
JP2011205058A (ja) * | 2009-12-17 | 2011-10-13 | Rohm & Haas Electronic Materials Llc | 半導体基体をテクスチャ化する改良された方法 |
CN102671890A (zh) * | 2012-04-28 | 2012-09-19 | 鞍山市联达电子有限公司 | 一种晶闸管芯片的化学清洗方法 |
WO2014002825A1 (ja) * | 2012-06-29 | 2014-01-03 | コニカミノルタ株式会社 | 情報記録媒体用ガラス基板および情報記録媒体用ガラス基板の製造方法 |
CN110942975A (zh) * | 2018-09-25 | 2020-03-31 | 君泰创新(北京)科技有限公司 | 硅片清洗方法 |
CN111229685B (zh) * | 2020-01-08 | 2021-06-01 | 长江存储科技有限责任公司 | 一种集成电路铝焊盘晶体缺陷的去除方法 |
CN113410341A (zh) * | 2021-06-21 | 2021-09-17 | 吉林师范大学 | 一种氧化硅钝化层的制备方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0674026B1 (en) * | 1994-03-25 | 2004-07-14 | NEC Electronics Corporation | Electrolytic processing apparatus |
JP2743823B2 (ja) * | 1994-03-25 | 1998-04-22 | 日本電気株式会社 | 半導体基板のウエット処理方法 |
JP3590470B2 (ja) * | 1996-03-27 | 2004-11-17 | アルプス電気株式会社 | 洗浄水生成方法および洗浄方法ならびに洗浄水生成装置および洗浄装置 |
US5919311A (en) * | 1996-11-15 | 1999-07-06 | Memc Electronic Materials, Inc. | Control of SiO2 etch rate using dilute chemical etchants in the presence of a megasonic field |
JPH10261687A (ja) * | 1997-03-18 | 1998-09-29 | Furontetsuku:Kk | 半導体等製造装置 |
JP3662111B2 (ja) * | 1997-06-24 | 2005-06-22 | アルプス電気株式会社 | 洗浄液の製造方法およびそのための装置 |
-
1998
- 1998-10-13 JP JP10291027A patent/JP2000117208A/ja active Pending
-
1999
- 1999-10-11 KR KR1019990043734A patent/KR100629095B1/ko active IP Right Grant
- 1999-10-11 TW TW088117521A patent/TW440945B/zh not_active IP Right Cessation
- 1999-10-12 EP EP99308039A patent/EP0994505A3/en not_active Withdrawn
- 1999-10-12 US US09/415,488 patent/US6431186B1/en not_active Expired - Lifetime
-
2000
- 2000-02-02 SG SG200000583A patent/SG86371A1/en unknown
- 2000-02-14 CN CNB001008919A patent/CN1161825C/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111584342A (zh) * | 2020-05-07 | 2020-08-25 | 如皋市协创能源科技有限公司 | 双多晶电容工艺中清洗元件的方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1309417A (zh) | 2001-08-22 |
KR100629095B1 (ko) | 2006-09-28 |
SG86371A1 (en) | 2002-02-19 |
US6431186B1 (en) | 2002-08-13 |
KR20000028975A (ko) | 2000-05-25 |
TW440945B (en) | 2001-06-16 |
JP2000117208A (ja) | 2000-04-25 |
EP0994505A2 (en) | 2000-04-19 |
EP0994505A3 (en) | 2000-07-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN1161825C (zh) | 清洗电子元件的方法 | |
JP2857042B2 (ja) | シリコン半導体およびシリコン酸化物の洗浄液 | |
CN1082246C (zh) | 清洁处理基片的方法 | |
US20080156349A1 (en) | Method for cleaning silicon wafer | |
JP3046208B2 (ja) | シリコンウェハおよびシリコン酸化物の洗浄液 | |
KR100437429B1 (ko) | 전자재료용 세정수 및 전자재료의 세정방법 | |
CN1444259A (zh) | 半导体器件的制造方法 | |
CN1168194A (zh) | 基片的洗涤方法 | |
CN101029288A (zh) | 用于除去杂质的清洗液组合物及除去杂质的方法 | |
CN1214535A (zh) | 半导体基片的处理系统及处理方法 | |
CN1770404A (zh) | 清洗溶液和使用该溶液清洗半导体器件的方法 | |
JP4744228B2 (ja) | 半導体基板洗浄液及び半導体基板洗浄方法 | |
CN113675073A (zh) | 一种晶片的清洗方法 | |
CN1303518A (zh) | 腐蚀后碱处理方法 | |
JP4933071B2 (ja) | シリコンウエハの洗浄方法 | |
CN1127121C (zh) | 用于半导体器件或液晶器件生产过程的清洁剂 | |
JP3957264B2 (ja) | 半導体基板の洗浄方法 | |
TW201325744A (zh) | 具有氧化釔包覆層的工件的污染物的處理方法 | |
JP2007214412A (ja) | 半導体基板洗浄方法 | |
JP2003218085A (ja) | 半導体基板の洗浄方法 | |
CN1577764A (zh) | 半导体晶片的湿化学表面处理方法 | |
CN1352703A (zh) | 具有含铜表面的电子元器件的湿法处理方法 | |
JP4051693B2 (ja) | 電子材料の洗浄方法 | |
JP2001326209A (ja) | シリコン基板の表面処理方法 | |
CN1546627A (zh) | 解决湿法剥离氮化硅薄膜新的清洗溶液 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CX01 | Expiry of patent term |
Granted publication date: 20040811 |
|
CX01 | Expiry of patent term |