CN116167390A - 载板识别方法和pvd镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本发明涉及镀膜技术领域，具体而言，涉及一种载板识别方法和PVD镀膜设备。载板识别方法包括：接收识别组件感应PVD镀膜设备的上料端处的载板输出的第一感应信号，根据第一感应信号确定处于上料端的载板的第一数据信息；接收识别组件感应PVD镀膜设备的下料端处的载板输出的第二感应信号，根据第二感应信号确定处于下料端的载板的第二数据信息；根据第一数据信息及第二数据信息确定PVD镀膜设备的运行状态数据，以及载板的运行状态数据。载板识别方法能够实现对载板的精确识别，并对载板运行进行记录，以便于对载板及PVD镀膜设备的运行状态进行分析，从而便于对载板进行清洁、更换以及追溯。

Description

载板识别方法和PVD镀膜设备

技术领域

本发明涉及镀膜技术领域，具体而言，涉及一种载板识别方法和PVD镀膜设备。

背景技术

在进行太阳能电池片生产工序中，需要将硅片通过载具传输至PVD设备中进行镀膜，如蒸发镀膜、磁控溅射或离子束镀膜等，为了对应区分载板，需要对载板信息识别，用于工艺生产中出现问题或者进行其他工序进行追溯。而现有的PVD载板识别，是采用人工进行标记或者使用二维码的方式，这样的识别方式不能满足PVD设备进行镀膜的工艺要求，而且存在浪费靶材和电池片良品率降低等风险。

发明内容

本发明的目的包括，例如，提供了一种载板识别方法和PVD镀膜设备，其能够满足镀膜的工艺要求，而且能够避免出现浪费靶材和电池片良品率降低的情况，还能够提高识别的效率以及识别的精确度。

本发明的实施例可以这样实现：

第一方面，本发明提供一种载板识别方法，包括：

接收识别组件感应PVD镀膜设备的上料端处的载板输出的第一感应信号，根据第一感应信号确定处于上料端的载板的第一数据信息；

接收识别组件感应PVD镀膜设备的下料端处的载板输出的第二感应信号，根据第二感应信号确定处于下料端的载板的第二数据信息；

根据第一数据信息及第二数据信息确定PVD镀膜设备的运行状态数据，以及载板的运行状态数据。

本申请的载板识别方法能够实现对载板的精确识别，并对载板运行进行记录，以便于对载板及PVD镀膜设备的运行状态进行分析，从而便于对载板进行清洁、更换以及追溯。

在可选的实施方式中，第一数据信息包括载板的I D信息、载板运输的硅片数量以及载板的运行时间中的一个或多个；第二数据信息包括载板的I D信息、载板运输的硅片数量、载板的运行时间及载板完成出料的时间中的一个或多个；

PVD镀膜设备的运行状态数据包括PVD镀膜设备的产能信息，载板的运行状态数据包括载板的使用次数、清洁及寿命信息。

本申请通过对第一数据信息及第二数据信息的整理分析，便可以得到PVD镀膜设备的运行状态数据包括PVD镀膜设备的产能信息，进而能够分析得到PVD镀膜设备在某一时间段内的硅片镀膜数量，并得到PVD镀膜设备的镀膜效率等，以便于对载板及PVD镀膜设备的运行状态进行分析，从而便于对载板进行清洁、更换以及追溯。

在可选的实施方式中，根据第一感应信号确定处于上料端的载板的第一数据信息的步骤包括：根据第一感应信号生成第一二进制编码信号，根据第一二进制编码信号确定处于上料端的载板的第一数据信息；

根据第二感应信号确定处于下料端的载板的第二数据信息的步骤包括：根据第二感应信号生成第二二进制编码信号，根据第二二进制编码信号确定处于下料端的载板的第二数据信息。

本申请通过将第一感应信号生成第一二进制编码信号以及将第二感应信号生成第二二进制编码信号，便可以获得每个载板在运输组件中的不同位置的数据信息，从而便于掌握载板的工作状态。

第二方面，本发明提供一种PVD镀膜设备，用于实施上述的载板识别方法，PVD镀膜设备包括运输组件、识别组件及多个载板；

运输组件用于沿预设方向输送其中一个或多个载板，所有的载板均用于装载硅片，且每个载板均设置有多个识别通孔，其中一个或多个识别通孔共同限定识别部；

识别组件用于感应识别部。

本申请的PVD镀膜设备能够适应载板在不同状态下的识别需求，更能满足不同的装载状态，而且能够满足镀膜的工艺要求，避免出现浪费靶材和电池片良品率降低等情况，还能够提高识别的效率以及识别的精确度。

在可选的实施方式中，PVD镀膜设备还包括多个挡块；每个识别部均对应连接有至少一个挡块；每个挡块均配置有移动腔、多个感应通孔以及多个滑动拨片；

移动腔与多个感应通孔连通，多个滑动拨片均可滑动地设置于移动腔内；每个感应通孔均对应一个识别通孔；每个滑动拨片均对应一个感应通孔，且每个滑动拨片均用于使得感应通孔与对应的识别通孔导通或阻断。

本申请可通过操作滑动拨片，使得滑动拨片在移动腔内滑动，进而使得对应的感应通孔与对应的识别通孔导通或阻断。

在可选的实施方式中，识别组件包括多个识别单元，多个识别单元沿预设方向间隔地与运输组件连接；每个识别单元均用于感应位于识别单元与运输组件连接处的载板的识别部；

沿预设方向，运输组件包括上料端和下料端，上料端和下料端均连接有识别单元。

本申请通过多个识别单元能够在不同的检测位置对载板进行多次识别，从而能够获取载板在不同位置下的状态数据，以便于对载板的数据进行分析处理。

在可选的实施方式中，每个识别单元均包括多个光电传感器，每个光电传感器均与一个识别通孔对应，且用于感应对应的识别通孔。

本申请通过多个光电传感器的光电感应信号生成二进制编码信号，随后，便可基于获取的二进制编码信号进行解码或转译，进而能够确定载板的数据信息。

在可选的实施方式中，多个识别通孔排布为两列，两列识别通孔分别形成第一识别部及第二识别部。

本申请设置第一识别部及第二识别部，便可使得第一识别部及第二识别部分别对应于载板的信息及装载于载板上的硅片的信息，进而在对载板进行识别以获取载板的数据信息时，获得的数据信息包括载板的信息，以及装载于载板上的硅片的信息。

在可选的实施方式中，沿预设方向，第一识别部及第二识别部分布于载板的两侧。

本申请通过将第一识别部及第二识别部设置于载板的两侧，从而避免感应过程中，感应第一识别部的识别单元与感应识别单元第二识别部的识别单元出现干涉。

在可选的实施方式中，运输组件包括机架、同步带以及多个同步轮；多个同步轮与机架连接，且通过同步带传动连接，并用于驱动载板沿预设方向运动；识别组件与机架连接，且位于载板的下方。

本申请通过这样的设置方式，能够在载板运行至识别组件的上方时，便可通过识别组件对其进行识别。

本发明实施例的有益效果包括：

该载板识别方法包括：接收识别组件感应PVD镀膜设备的上料端处的载板输出的第一感应信号，根据第一感应信号确定处于上料端的载板的第一数据信息；接收识别组件感应PVD镀膜设备的下料端处的载板输出的第二感应信号，根据第二感应信号确定处于下料端的载板的第二数据信息；根据第一数据信息及第二数据信息确定PVD镀膜设备的运行状态数据，以及载板的运行状态数据。载板识别方法能够实现对载板的精确识别，并对载板运行进行记录，以便于对载板及PVD镀膜设备的运行状态进行分析，从而便于对载板进行清洁、更换以及追溯。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本发明实施例中载板识别方法的步骤图；

图2为本发明实施例中PVD镀膜设备的结构示意图；

图3为图2中D处的局部示意图；

图4为本发明实施例中载板的结构示意图；

图5为图4中E处的局部示意图；

图6为本发明实施例中运输组件的结构示意图；

图7为图6中F处的局部示意图；

图8为本发明实施例中挡块的结构示意图。

图标：100-PVD镀膜设备；110-运输组件；120-识别组件；130-载板；131-识别通孔；132-识别部；121-识别单元；122-光电传感器；111-机架；112-盖板；140-挡块；141-移动腔；142-感应通孔；143-滑动拨片。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本发明的描述中，需要说明的是，若出现术语“上”、“下”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，若出现术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明的实施例中的特征可以相互结合。

请参考图1-图3，本实施例提供了一种载板识别方法，包括：

接收识别组件120感应PVD镀膜设备100的上料端处的载板130输出的第一感应信号，根据第一感应信号确定处于上料端的载板130的第一数据信息；

接收识别组件120感应PVD镀膜设备100的下料端处的载板130输出的第二感应信号，根据第二感应信号确定处于下料端的载板130的第二数据信息；

根据第一数据信息及第二数据信息确定PVD镀膜设备100的运行状态数据，以及载板130的运行状态数据。

请参考图1-图3，该载板识别方法的工作原理是：

该载板识别方法采用在PVD镀膜设备100的上料端及PVD镀膜设备100的下料端对载板130进行识别，从而获取载板130在上料端及下料端的运行状态数据；

由此，通过对载板130运行过程中进行多点识别，从而能够在对载板130进行精确识别的基础上，对载板130的运行状态进行记录，进而能够在采集到足够多的载板130的数据信息后，通过对数据整理分析，其包括对采集到的载板130运输的硅片数量以及硅片的上下料的时间进行分析统计，对载板130由上料端运行至下料端的时间进行分析统计，对载板130的单次循环时间进行分析统计，以及对载板130循环次数进行分析统计，便可以得到PVD镀膜设备100在某一时间段内的硅片镀膜数量，并得到PVD镀膜设备100的镀膜效率等，以便于对载板130及PVD镀膜设备100的运行状态进行分析，从而便于对载板130进行清洁、更换以及追溯。

进一步地，在本实施例中，第一数据信息包括载板130的I D信息、载板130运输的硅片数量以及载板130的运行时间中的一个或多个；第二数据信息包括载板130的I D信息、载板130运输的硅片数量、载板130的运行时间及载板130完成出料的时间中的一个或多个；为便于对载板130及PVD镀膜设备100的运行状态进行分析，故，PVD镀膜设备100的运行状态数据包括PVD镀膜设备100的产能信息，载板130的运行状态数据包括载板130的使用次数、清洁及寿命信息。而在本发明的其他实施例中，载板130的运行状态数据还可以包括载板130的运输时间、上料时间、下料时间以及循环次数等数据。

而且在上述内容中，在对载板130进行识别以获取载板130的数据信息的过程中，本实施例采用的方式如下，具体的，根据第一感应信号确定处于上料端的载板130的第一数据信息的步骤包括：根据第一感应信号生成第一二进制编码信号，根据第一二进制编码信号确定处于上料端的载板130的第一数据信息；

根据第二感应信号确定处于下料端的载板130的第二数据信息的步骤包括：根据第二感应信号生成第二二进制编码信号，根据第二二进制编码信号确定处于下料端的载板130的第二数据信息。

基于上述内容，请参考图2-图8，并结合图1，本发明还提供一种PVD镀膜设备100，用于实施上述的载板识别方法，PVD镀膜设备100包括运输组件110、识别组件120及多个载板130；

运输组件110用于沿预设方向输送其中一个或多个载板130，所有的载板130均用于装载硅片，且每个载板130均设置有多个识别通孔131，其中一个或多个识别通孔131共同限定识别部132；

识别组件120与运输组件110连接，且用于感应识别部132。

请参考图1-图8，该PVD镀膜设备100的工作原理是：

该PVD镀膜设备100包括运输组件110、识别组件120以及多个载板130；

其中，运输组件110用于沿预设方向输送其中一个或多个载板130，而所有的载板130均用于装载硅片，而且每个载板130均设置有多个识别通孔131，其中一个或多个识别通孔131共同限定识别部132；而识别组件120与运输组件110连接，且用于感应识别部132。

由此，当载板130在运输组件110的作用下沿预设方向输送的过程中，便可以通过识别组件120感应载板130上的识别部132的方式，进而能够对载板130进行识别，同时得到载板130的数据信息；在形成识别部132时，由于采用的是在载板130上设置识别通孔131的方式，便可基于载板130的信息以及装载于载板130上的硅片的信息对识别通孔131的个数以及识别通孔131的导通状态进行调整，以便于识别组件120在感应识别部132的过程中，便可获取载板130的数据信息；

而且通过识别通孔131的设置方式，相对于现有技术中的设置标记或者使用二维码的方式，其使用更加灵活，更能适应载板130在不同状态下的识别需求，更能满足不同的装载状态，而且这样的设置方式，还能够满足镀膜的工艺要求，避免出现浪费靶材和电池片良品率降低等情况，还能够提高识别的效率以及识别的精确度。

需要说明的是，在设置识别通孔131时，多个识别通孔131经过统一加工生成；以载板130上设置有八个识别通孔131为例，当载板130运输全部硅片时，通孔通过光电传感器122编码可以为11111111；当载板130未运输硅片时，通孔通过光电传感器122检测编码可以为00000000；更近一步的，通孔可根据是否放置硅片(数量或者重量)，最佳的为在载板130下方设置有遮挡识别通孔131的结构，由于受到压力或其他作用，载板130下方的遮挡识别通孔131的结构遮挡对应通孔，进行信息记录和反馈，由此，多个识别通孔131的状态可以通过人工或结构件对其进行封堵的方式进行调整。

而在本实施例中，请参考图1-图8，PVD镀膜设备100还包括多个挡块140；每个识别部132均对应连接有至少一个挡块140；每个挡块140均配置有移动腔141、多个感应通孔142以及多个滑动拨片143；移动腔141与多个感应通孔142连通，多个滑动拨片143均可滑动地设置于移动腔141内；每个感应通孔142均对应一个识别通孔131；每个滑动拨片143均对应一个感应通孔142，且每个滑动拨片143均用于使得感应通孔142与对应的识别通孔131导通或阻断。

通过这样的设置方式，便可通过操作滑动拨片143，使得滑动拨片143在移动腔141内滑动，进而使得对应的感应通孔142与对应的识别通孔131导通或阻断；需要说明的是，在设置多个滑动拨片143时，多个滑动拨片143在移动腔141内的滑动均相互独立，其目的是使得相邻的两个识别通孔131的遮挡动作互不干涉。

更为具体的，本申请的载板130为8*10规格，以8排为例，在每一排设定反馈装置如位置感应器，当放置硅片时反馈信号给PLC，PLC根据硅片放置的位置对应控制识别通孔131位置处的滑动件如滑动拨片143，通过滑动拨片143遮挡对应孔位，结合光电传感器122编码可以为10111111；或根据每一排设定的反馈装置如重量感应器，当每一排放置完成硅片后，根据载板承载130的硅片重量，反馈信号给PLC，PLC根据载板130放置的重量对应控制识别通孔131位置处的滑动件如滑动拨片143，通过滑动拨片143遮挡对应孔位，此时每一个滑动件代表某一个硅片重量范围，如(滑动件)滑动拨片143的1-8分别代表重量为40-50、50-60克、60-70克……当载板所承受硅片重量为60-70克，则结合代表3的滑动拨片143进行遮挡，光电传感器122编码可以为11011111，在此不做具体限定。

需要说明的是，基于上述的载板识别方法的内容可知，载板识别方法是采用在PVD镀膜设备100的上料端及PVD镀膜设备100的下料端对载板130进行识别，从而获取载板130在上料端及下料端的运行状态数据的方式，由此，在设置识别组件120时，需要识别组件120在PVD镀膜设备100的上料端及PVD镀膜设备100的下料端对载板130进行感应识别；由此，在本实施例中，在设置识别组件120时，识别组件120包括多个识别单元121，多个识别单元121沿预设方向间隔地与运输组件110连接；每个识别单元121均用于感应位于识别单元121与运输组件110连接处的载板130的识别部132。

通过这样的设置方式，便可以通过调整识别单元121相对于运输组件110的安装位置，进而能够在运输组件110中的不同位置对载板130进行识别；需要说明的是，在设置识别单元121时，其采用的是与运输组件110固定连接的方式，由此，识别组件120是对运输至其与运输组件110连接处的载板130的识别部132进行识别，即，当载板130在运输组件110的作用下沿预设方向输送的过程中，在其经过其中一个识别单元121时，识别单元121便可对载板130进行识别，这样的设置方式，使得识别组件120中的多个识别单元121能够在不同的检测位置对载板130进行多次识别，从而能够获取载板130在不同位置下的状态数据，以便于对载板130的数据进行分析处理。比如：在本实施例中，采用的是沿预设方向，运输组件110包括上料端和下料端，上料端和下料端均连接有识别单元121的方式，即，通过这样的设置方式，能够对装载有硅片的载板130进行识别，以及对移出硅片后的载板130进行识别；而在本发明的其他实施例中，还可以根据使用的需求获取更多的载板130运行数据，进而能够在上述内容的基础上，增加识别单元121的数量，从而通过识别组件120对PVD镀膜设备100中其他位置的载板130进行感应识别，获取更多位置的载板130的数据信息。

在设置识别单元121时，本实施例采用的是每个识别单元121均包括多个光电传感器122，每个光电传感器122均与一个识别通孔131对应，且用于感应对应的识别通孔131。即，通过这样的设置方式，便可以基于多个光电传感器122的光电感应信号生成二进制编码信号，随后，便可基于获取的二进制编码信号进行解码或转译，进而能够确定载板130的数据信息。

需要说明的是，在基于多个光电传感器122的感应信号生成二进制编码信号的过程中，是以单个识别单元121的多个光电感应信号为一组，进而能够通过这样的设置方式，获得多个二进制编码信号，每个二进制编码信号均对应于一个位置的检测识别；由此，便可以通过这样的方式获得每个载板130在运输组件110中的不同位置的数据信息，从而便于掌握载板130的工作状态。

基于上述的结构设置，以载板130上设置有八个识别通孔131为例，八个识别通孔131共同形成一个识别部132，且在载板130上连接有一个挡块140，挡块140上设置有八个感应通孔142以及八个滑动拨片143；八个识别通孔131、八个感应通孔142以及八个滑动拨片143一一对应；与之适应的是识别单元121设置有八个光电传感器122，由此，识别得到二进制编码信号为八位数，比如：载板130为00100101，载板130为00100111，载板130为00101111，以此类推。

基于此，便可通过调整其中一个或多个滑动拨片143，使调整对应的识别通孔131及感应通孔142之间的导通状态，进而便可对载板130进行编码设计。

进一步地，请参考图1-图8，在本实施例中，基于上述的结构设置，在对载板130进行识别以获取载板130的数据信息时，获得的数据信息包括载板130的信息，以及装载于载板130上的硅片的信息，由此，为使得两组信息独立，故，多个识别通孔131排布为两列，两列识别通孔131分别形成第一识别部132及第二识别部132；而且沿预设方向，第一识别部132及第二识别部132分布于载板130的两侧，从而避免感应过程中，分别对应于第一识别部132及第二识别部132的识别单元121出现干涉。

其中，第一识别部132及第二识别部132分别对应于载板130的信息及装载于载板130上的硅片的信息，而且，与第一识别部132及第二识别部132相适应的是，第一识别部132及第二识别部132在同一位置下，可以由同一个识别单元121进行识别，也可以采用在同一位置装备两个识别单元121，两个识别单元121分别对第一识别部132及第二识别部132进行识别。

进一步地，在本实施例中，运输组件110包括机架111、同步带以及多个同步轮；多个同步轮与机架111连接，且通过同步带传动连接，并用于驱动载板130沿预设方向运动；识别组件120与机架111连接，且位于载板130的下方。其外，机架111上还连接有盖板112，其作用是形成真空的镀膜腔室，以形成符合镀膜工艺的真空腔室，使得载板130能够在PVD镀膜设备100中完成镀膜工作。

由此，通过这样的设置方式，能够在载板130运行至识别组件120的上方时，便可通过识别组件120对其进行识别。而且在配置同步带以及多个同步轮时，同步带以及多个同步轮沿预设方向位于机架的两侧，即，位于PVD镀膜设备100的镀膜腔室的两侧；而且需要说明的是，由上述内容可知，由于识别组件120与机架连接，故，在载板130沿预设方向运动时，识别组件120的位置保持不变，即，在上料端及下料端均设置有识别单元121的前提下，随着载板130不断的从上料端输入及下料端输出，故，位于上料端及下料端的识别单元121能够不断的对载板130进行识别。

综上，请参考图1-图8，以其中一个载板130在该PVD镀膜设备100中的工作过程如下：

载板130运送至PVD镀膜设备100的上料端，将硅片放入载板130，并通过设置于上料端的识别单元121的多个光电传感器122对载板130上的多个识别通孔131进行第一次识别，得到第一感应信号，基于第一感应信号获得第一数据信息，第一数据信息中可以包含载板130的I D信息、载板130运输的硅片数量以及载板130的运行时间等信息；

上料端识别完成后，载板130在运输组件110的作用下，输送至镀膜位置进行镀膜；

镀膜完成后，PVD镀膜设备100将载板130上的硅片进行下料，同时，通过设置于下料端的识别单元121的多个光电传感器122对载板130上的多个识别通孔131进行第二次识别，得到第二感应信号，基于第二感应信号获得第二数据信息，且第二数据信息中可以包含载板130的I D信息、载板130运输的硅片数量、载板130的运行时间及载板130完成出料的时间等信息；

在下料完成后，通过换层提升机构将空载的载板130换层至下方，将空载的载板130进行回流至上料端，以此进行载板130循环。

更为具体的是，本申请的载板130为8*10规格，以及应用本申请载板130和载板识别方法的PVD镀膜设备100为采取自动化的镀膜设备，该镀膜设备通过花篮和机械手配合，实现硅片在载板130上的自动上下料，然后通过换层提升机构进行载板130的循环使用，保证硅片或载板130出现问题可追溯，不仅满足PVD镀膜设备100自动化需求，还可实现PVD镀膜产能的提升。

由此，基于上述的处理流程，在采集到足够多的载板130的运行数据信息后，PVD镀膜设备100的控制系统便可根据多个载板130在运行过程中采集到的第一数据信息和第二数据信息进行载板130镀膜工艺以及载板130运输产能的评估；同时，根据每个载板130的第一数据信息和第二数据信息还可以进行载板130的使用次数、清洁以及寿命的评估。

需要说明的是，基于上述的结构设置，还可以在运输组件110上安装接近传感器，从而能够通过接近传感器进行载板130的位置判断，以便于后续工序进行评估。

基于上述内容，请参考图1-图8，该PVD镀膜设备100能够实现对载板130进行准确识别，并能够对载板130运行进行记录，便于后续工艺中进行载板130的清洁、更换以及追溯；而且该PVD镀膜设备100采用的是感应识别通孔131的感应识别方式，相对于现有技术中的设置标记或者使用二维码的方式，其使用更加灵活，更能适应载板130在不同状态下的识别需求，更能满足不同的装载状态，而且这样的设置方式，还能够满足镀膜的工艺要求，避免出现浪费靶材和电池片良品率降低等情况，还能够提高识别的效率以及识别的精确度。

以上，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种载板识别方法，其特征在于，包括：

接收识别组件感应PVD镀膜设备的上料端处的载板输出的第一感应信号，根据所述第一感应信号确定处于所述上料端的所述载板的第一数据信息；

接收所述识别组件感应所述PVD镀膜设备的下料端处的所述载板输出的第二感应信号，根据所述第二感应信号确定处于所述下料端的所述载板的第二数据信息；

根据所述第一数据信息及所述第二数据信息确定所述PVD镀膜设备的运行状态数据，以及所述载板的运行状态数据。

2.根据权利要求1所述的载板识别方法，其特征在于：

所述第一数据信息包括所述载板的ID信息、所述载板运输的硅片数量以及所述载板的运行时间中的一个或多个；所述第二数据信息包括所述载板的ID信息、所述载板运输的硅片数量、所述载板的运行时间及所述载板完成出料的时间中的一个或多个；

所述PVD镀膜设备的运行状态数据包括所述PVD镀膜设备的产能信息，所述载板的运行状态数据包括所述载板的使用次数、清洁及寿命信息。

3.根据权利要求1所述的载板识别方法，其特征在于：

所述根据所述第一感应信号确定处于所述上料端的所述载板的第一数据信息的步骤包括：根据所述第一感应信号生成第一二进制编码信号，根据所述第一二进制编码信号确定处于所述上料端的所述载板的第一数据信息；

所述根据所述第二感应信号确定处于所述下料端的所述载板的第二数据信息的步骤包括：根据所述第二感应信号生成第二二进制编码信号，根据所述第二二进制编码信号确定处于所述下料端的所述载板的第二数据信息。

4.一种PVD镀膜设备，用于实施如权利要求1-3中任意一项所述的载板识别方法，其特征在于：

所述PVD镀膜设备包括运输组件、识别组件及多个载板；

所述运输组件用于沿预设方向输送其中一个或多个载板，所有的所述载板均用于装载硅片，且每个所述载板均设置有多个识别通孔，其中一个或多个所述识别通孔共同限定识别部；

所述识别组件用于感应所述识别部。

5.根据权利要求4所述的PVD镀膜设备，其特征在于：

所述PVD镀膜设备还包括多个挡块；每个所述识别部均对应连接有至少一个所述挡块；每个所述挡块均配置有移动腔、多个感应通孔以及多个滑动拨片；

所述移动腔与多个所述感应通孔连通，多个所述滑动拨片均可滑动地设置于所述移动腔内；每个所述感应通孔均对应一个所述识别通孔；每个所述滑动拨片均对应一个所述感应通孔，且每个所述滑动拨片均用于使得所述感应通孔与对应的所述识别通孔导通或阻断。

6.根据权利要求4所述的PVD镀膜设备，其特征在于：

所述识别组件包括多个识别单元，多个识别单元沿所述预设方向间隔地与所述运输组件连接；每个所述识别单元均用于感应位于所述识别单元与所述运输组件连接处的所述载板的所述识别部；

沿所述预设方向，所述运输组件包括上料端和下料端，所述上料端和所述下料端均连接有所述识别单元。

7.根据权利要求6所述的PVD镀膜设备，其特征在于：

每个所述识别单元均包括多个光电传感器，每个所述光电传感器均与一个所述识别通孔对应，且用于感应对应的所述识别通孔。

8.根据权利要求4所述的PVD镀膜设备，其特征在于：

多个所述识别通孔排布为两列，两列所述识别通孔分别形成第一识别部及第二识别部。

9.根据权利要求8所述的PVD镀膜设备，其特征在于：

沿所述预设方向，第一识别部及第二识别部分布于所述载板的两侧。

10.根据权利要求4-9中任意一项所述的PVD镀膜设备，其特征在于：

所述运输组件包括机架、同步带以及多个同步轮；多个所述同步轮与所述机架连接，且通过所述同步带传动连接，并用于驱动所述载板沿所述预设方向运动；所述识别组件与所述机架连接，且位于所述载板的下方。

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