CN116086169B - 一种废料收集组件及硅片烘干机 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及硅片烘干机领域，具体公开了一种废料收集组件及硅片烘干机，包括：硅片烘干机主体的侧面设置有破碎箱，破碎箱的顶端的两侧设置有安装块；一号导料板设置于破碎箱的顶端，一号导料板的表面开设有伸缩孔，伸缩孔的内部插接有控制杆；二号导料板设置于破碎箱的顶端；有益效果为：将报废的硅片通入一号导料板与二号导料板之间，通过一号导料板与二号导料板将报废硅片竖直导入两组破碎辊之间，避免了硅片平铺在破碎辊的顶面无法破碎，破碎后的硅片落入集料盒的内部，可以充分利用集料盒内部的空间，减少了更换集料盒的次数，解决了废料收集箱中硅片与硅片相互支撑，浪费废料收集箱中的储存空间，导致需要频繁更换废料收集箱的问题。
Description
技术领域
本发明涉及硅片烘干机领域，具体为一种废料收集组件及硅片烘干机。
背景技术
半导体器件生产中硅片须经严格清洗，微量污染也会导致器件失效，在将硅片清洗完成后需要通过硅片烘干机对硅片进行烘干；
在对硅片烘干的过程中，会有部分硅片产生变形及破损，导致硅片报废，操作人员将从硅片烘干机中输送出来的硅片中的报废品挑出，丢入废料收集箱中；
但是硅片一般面积较大，丢入废料收集箱中时硅片与硅片相互支撑，使废料收集箱中产生架空空隙，从而浪费废料收集箱中的储存空间，导致需要频繁更换废料收集箱，影响工作的效率。
发明内容
本发明的目的在于提供一种废料收集组件及硅片烘干机，以解决上述背景技术中提出的废料收集箱中硅片与硅片相互支撑，浪费废料收集箱中的储存空间，导致需要频繁更换废料收集箱的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种废料收集组件，所述废料收集组件包括：
硅片烘干机主体，硅片烘干机主体的侧面设置有破碎箱，破碎箱一侧设置有驱动机构，破碎箱的内部设置有两组破碎辊，破碎箱的顶端的两侧设置有安装块，且破碎箱的顶端的两侧设置有定位板，破碎箱的下方设置有集料盒；
一号导料板，一号导料板设置于破碎箱的顶端，一号导料板的表面开设有伸缩孔，伸缩孔的内部插接有控制杆，一号导料板的两侧设置有一号连接块；
二号导料板，二号导料板设置于破碎箱的顶端，二号导料板的两侧设置有二号连接块。
优选的，所述破碎箱于硅片烘干机主体固定连接，破碎箱的底端设置有出料口，破碎箱与破碎辊转动连接，破碎辊的一端与驱动机构连接，通过驱动机构驱动两组破碎辊向中部转动。
优选的，所述安装块设置有六组，六组安装块对称设置于破碎箱的顶端的两侧，且靠近二号导料板的一侧的安装块的底面通过转轴转动连接有滑轮，同侧的安装块之间固定连接有导向杆，导向杆设置有四组，四组导向杆对称设置于破碎箱的顶端的两侧。
优选的，所述定位板呈方形板状结构，定位板设置有两组，定位板与破碎箱固定连接，定位板的侧面开设有定位槽，定位槽开设有多组，多组定位槽呈线性阵列分布。
优选的，所述一号导料板与破碎箱滑动设置，一号导料板远离二号导料板的一侧固定安装有盖板，盖板对一号导料板远离二号导料板的一侧与破碎箱之间的分析进行封闭，一号导料板的两侧延伸出破碎箱的两侧。
优选的，所述伸缩孔开设有两组，两组伸缩孔对称开设于一号导料板的两侧，伸缩孔的内壁与控制杆滑动设置。
优选的，所述控制杆的底端固定连接有定位块，定位块与定位槽的内壁滑动设置，定位块与定位槽相互配合可实现对一号导料板的位置限定，控制杆的顶端固定连接有压板，压板的顶端设置为球面，压板与一号导料板之间设置有一号压缩弹簧，一号压缩弹簧套设在控制杆的表面。
优选的，所述一号连接块呈方形柱体结构，一号连接块固定安装与一号导料板的两侧的底面，一号连接块的表面开设有一号导向孔，一号导向孔的尺寸与导向杆的尺寸相匹配，一号连接块通过一号导向孔滑动设置在导向杆的表面，一号连接块靠近二号导料板的一端的底面固定安装有一号牵引块，一号牵引块靠近二号导料板的一侧固定连接有牵引绳。
优选的，所述二号导料板远离一号导料板的一侧固定安装有盖板，盖板对二号导料板远离一号导料板的一侧与破碎箱之间的缝隙进行封闭，二号导料板的两侧延伸出破碎箱的两侧，二号导料板的两侧的底面与二号连接块固定连接，二号连接块的表开设有二号导向孔，二号连接块通过二号导向孔滑动设置于导向杆的表面，二号连接块与远离二号导料板的一侧的安装块之间设置有二号压缩弹簧，二号压缩弹簧套设在导向杆的表面，二号连接块远离一号导料板的一端的底面固定安装有二号牵引块，二号牵引块靠近滑轮的一侧与牵引绳固定连接，牵引绳绕过滑轮后一端与二号牵引块固定连接，另一端与一号牵引块固定连接。
一种硅片烘干机，包括上述的废料收集组件。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
本发明提出的一种废料收集组件，根据硅片的尺寸调节一号导料板与二号导料板的距离，将报废的硅片通入一号导料板与二号导料板之间，通过一号导料板与二号导料板将报废硅片竖直导入两组破碎辊之间，避免了硅片平铺在破碎辊的顶面无法破碎，破碎后的硅片落入集料盒的内部，由于破碎后的硅片体积较小，可以充分利用集料盒内部的空间，减少了更换集料盒的次数，解决了废料收集箱中硅片与硅片相互支撑，浪费废料收集箱中的储存空间，导致需要频繁更换废料收集箱的问题。
附图说明
图1为本发明结构示意图；
图2为本发明图1中A处放大结构示意图；
图3为本发明破碎箱仰视结构示意图；
图4为本发明破碎箱结构示意图；
图5为本发明破碎箱剖视结构示意图；
图6为本发明一号导料板结构示意图；
图7为本发明定位块结构示意图；
图8为本发明二号导料板结构示意图。
图中：硅片烘干机主体1、破碎箱2、驱动机构21、出料口22、安装块23、导向杆24、定位板25、定位槽26、集料盒3、一号导料板4、伸缩孔41、一号连接块42、一号导向孔43、一号牵引块44、二号导料板5、二号连接块51、二号导向孔52、二号牵引块53、破碎辊6、定位块7、控制杆71、压板72、滑轮8、牵引绳9、一号压缩弹簧10、二号压缩弹簧101、盖板11。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案进行清楚、完整地描述，及优点更加清楚明白，以下结合附图对本发明实施例进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例，仅仅用以解释本发明实施例，并不用于限定本发明实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“中”、“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“顶”、“底”、“侧”、“竖直”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“一”、“第一”、“第二”、“第三”、“第四”、“第五”、“第六”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
出于简明和说明的目的，实施例的原理主要通过参考例子来描述。在以下描述中，很多具体细节被提出用以提供对实施例的彻底理解。然而明显的是，对于本领域普通技术人员，这些实施例在实践中可以不限于这些具体细节。在一些实例中，没有详细地描述公知方法和结构，以避免无必要地使这些实施例变得难以理解。另外，所有实施例可以互相结合使用。
请参阅图1-图8，本发明提供一种技术方案：
实施例一：
一种废料收集组件，所述包括：硅片烘干机主体1，硅片烘干机主体1的侧面设置有破碎箱2，破碎箱2一侧设置有驱动机构21，破碎箱2的内部设置有两组破碎辊6，破碎箱2的顶端的两侧设置有安装块23，且破碎箱2的顶端的两侧设置有定位板25，破碎箱2的下方设置有集料盒3；一号导料板4，一号导料板4设置于破碎箱2的顶端，一号导料板4的表面开设有伸缩孔41，伸缩孔41的内部插接有控制杆71，一号导料板4的两侧设置有一号连接块42；二号导料板5，二号导料板5设置于破碎箱2的顶端，二号导料板5的两侧设置有二号连接块51；根据硅片的尺寸调节一号导料板4与二号导料板5的距离，将报废的硅片通入一号导料板4与二号导料板5之间，通过一号导料板4与二号导料板5将报废硅片竖直导入两组破碎辊6之间，避免了硅片平铺在破碎辊6的顶面无法破碎，破碎后的硅片落入集料盒3的内部，由于破碎后的硅片体积较小，可以充分利用集料盒3内部的空间，减少了更换集料盒3的次数。
实施例二：
在实施例一的基础上，为了实现一号导料板4与二号导料板5位置的联动滑动，破碎箱2于硅片烘干机主体1固定连接，破碎箱2的底端设置有出料口22，破碎箱2与破碎辊6转动连接，破碎辊6的一端与驱动机构21连接，通过驱动机构21驱动两组破碎辊6向中部转动；安装块23设置有六组，六组安装块23对称设置于破碎箱2的顶端的两侧，且靠近二号导料板5的一侧的安装块23的底面通过转轴转动连接有滑轮8，同侧的安装块23之间固定连接有导向杆24，导向杆24设置有四组，四组导向杆24对称设置于破碎箱2的顶端的两侧，一号导料板4与破碎箱2滑动设置，一号导料板4远离二号导料板5的一侧固定安装有盖板11，盖板11对一号导料板4远离二号导料板5的一侧与破碎箱2之间的分析进行封闭，一号导料板4的两侧延伸出破碎箱2的两侧；一号连接块42呈方形柱体结构，一号连接块42固定安装与一号导料板4的两侧的底面，一号连接块42的表面开设有一号导向孔43，一号导向孔43的尺寸与导向杆24的尺寸相匹配，一号连接块42通过一号导向孔43滑动设置在导向杆24的表面，一号连接块42靠近二号导料板5的一端的底面固定安装有一号牵引块44，一号牵引块44靠近二号导料板5的一侧固定连接有牵引绳9；二号导料板5远离一号导料板4的一侧固定安装有盖板11，盖板11对二号导料板5远离一号导料板4的一侧与破碎箱2之间的缝隙进行封闭，二号导料板5的两侧延伸出破碎箱2的两侧，二号导料板5的两侧的底面与二号连接块51固定连接，二号连接块51的表开设有二号导向孔52，二号连接块51通过二号导向孔52滑动设置于导向杆24的表面，二号连接块51与远离二号导料板5的一侧的安装块23之间设置有二号压缩弹簧101，二号压缩弹簧101套设在导向杆24的表面，二号连接块51远离一号导料板4的一端的底面固定安装有二号牵引块53，二号牵引块53靠近滑轮8的一侧与牵引绳9固定连接，牵引绳9绕过滑轮8后一端与二号牵引块53固定连接，另一端与一号牵引块44固定连接；一号导料板4通过一号连接块42和导向杆24与破碎箱2滑动连接，二号导料板5通过二号连接块51和导向杆24与破碎箱2滑动连接，一号导料板4通过一号牵引块44与牵引绳9的一端连接，二号导料板5通过二号牵引块53与牵引绳9的另一端连接，由于牵引绳9绕过滑轮8的表面，在拉动一号导料板4时，一号导料板4通过牵引绳9将二号导料板5向远离一号导料板4的方向拉动，在将一号导料板4向二号导料板5的方形移动时，在二号压缩弹簧101的回弹作用下二号导料板5同时向一号导料板4的方向移动，从而实现对一号导料板4与二号导料板5之间距离的调节。
实施例三：
在实施例二的基础上，为实现一号导料板4与二号导料板5位置的固定，定位板25呈方形板状结构，定位板25设置有两组，定位板25与破碎箱2固定连接，定位板25的侧面开设有定位槽26，定位槽26开设有多组，多组定位槽26呈线性阵列分布；伸缩孔41开设有两组，两组伸缩孔41对称开设于一号导料板4的两侧，伸缩孔41的内壁与控制杆71滑动设置；控制杆71的底端固定连接有定位块7，定位块7与定位槽26的内壁滑动设置，定位块7与定位槽26相互配合可实现对一号导料板4的位置限定，控制杆71的顶端固定连接有压板72，压板72的顶端设置为球面，压板72与一号导料板4之间设置有一号压缩弹簧10，一号压缩弹簧10套设在控制杆71的表面；通过按压压板72带动控制杆71将定位块7从定位槽26的内部顶出，此时可控制一号导料板4在导向杆24的表面滑动，同时一号导料板4带动二号导料板5同步滑动，将一号导料板4移动到指定位置时，松开压板72，在一号压缩弹簧10的回弹作用下，定位块7卡入一组定位槽26的内部，从而将一号导料板4的位置固定，同时对二号导料板5的位置固定。
一种硅片烘干机，包括上述的废料收集组件。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (2)
1.一种废料收集组件，其特征在于：所述废料收集组件包括：
硅片烘干机主体(1)，硅片烘干机主体(1)的侧面设置有破碎箱(2)，破碎箱(2)一侧设置有驱动机构(21)，破碎箱(2)的内部设置有两组破碎辊(6)，破碎箱(2)的顶端的两侧设置有安装块(23)，且破碎箱(2)的顶端的两侧设置有定位板(25)，破碎箱(2)的下方设置有集料盒(3)；
一号导料板(4)，一号导料板(4)设置于破碎箱(2)的顶端，一号导料板(4)的表面开设有伸缩孔(41)，伸缩孔(41)的内部插接有控制杆(71)，一号导料板(4)的两侧设置有一号连接块(42)；
二号导料板(5)，二号导料板(5)设置于破碎箱(2)的顶端，二号导料板(5)的两侧设置有二号连接块(51)；
所述破碎箱(2)于硅片烘干机主体(1)固定连接，破碎箱(2)的底端设置有出料口(22)，破碎箱(2)与破碎辊(6)转动连接，破碎辊(6)的一端与驱动机构(21)连接，通过驱动机构(21)驱动两组破碎辊(6)向中部转动；
所述安装块(23)设置有六组，六组安装块(23)对称设置于破碎箱(2)的顶端的两侧，且靠近二号导料板(5)的一侧的安装块(23)的底面通过转轴转动连接有滑轮(8)，同侧的安装块(23)之间固定连接有导向杆(24)，导向杆(24)设置有四组，四组导向杆(24)对称设置于破碎箱(2)的顶端的两侧；
所述定位板(25)呈方形板状结构，定位板(25)设置有两组，定位板(25)与破碎箱(2)固定连接，定位板(25)的侧面开设有定位槽(26)，定位槽(26)开设有多组，多组定位槽(26)呈线性阵列分布；
所述一号导料板(4)与破碎箱(2)滑动设置，一号导料板(4)远离二号导料板(5)的一侧固定安装有盖板(11)，盖板(11)对一号导料板(4)远离二号导料板(5)的一侧与破碎箱(2)之间的分析进行封闭，一号导料板(4)的两侧延伸出破碎箱(2)的两侧；
所述伸缩孔(41)开设有两组，两组伸缩孔(41)对称开设于一号导料板(4)的两侧，伸缩孔(41)的内壁与控制杆(71)滑动设置；
所述控制杆(71)的底端固定连接有定位块(7)，定位块(7)与定位槽(26)的内壁滑动设置，定位块(7)与定位槽(26)相互配合可实现对一号导料板(4)的位置限定，控制杆(71)的顶端固定连接有压板(72)，压板(72)的顶端设置为球面，压板(72)与一号导料板(4)之间设置有一号压缩弹簧(10)，一号压缩弹簧(10)套设在控制杆(71)的表面；
所述一号连接块(42)呈方形柱体结构，一号连接块(42)固定安装于一号导料板(4)的两侧的底面，一号连接块(42)的表面开设有一号导向孔(43)，一号导向孔(43)的尺寸与导向杆(24)的尺寸相匹配，一号连接块(42)通过一号导向孔(43)滑动设置在导向杆(24)的表面，一号连接块(42)靠近二号导料板(5)的一端的底面固定安装有一号牵引块(44)，一号牵引块(44)靠近二号导料板(5)的一侧固定连接有牵引绳(9)；
所述二号导料板(5)远离一号导料板(4)的一侧固定安装有盖板(11)，盖板(11)对二号导料板(5)远离一号导料板(4)的一侧与破碎箱(2)之间的缝隙进行封闭，二号导料板(5)的两侧延伸出破碎箱(2)的两侧，二号导料板(5)的两侧的底面与二号连接块(51)固定连接，二号连接块(51)的表开设有二号导向孔(52)，二号连接块(51)通过二号导向孔(52)滑动设置于导向杆(24)的表面，二号连接块(51)与远离二号导料板(5)的一侧的安装块(23)之间设置有二号压缩弹簧(101)，二号压缩弹簧(101)套设在导向杆(24)的表面，二号连接块(51)远离一号导料板(4)的一端的底面固定安装有二号牵引块(53)，二号牵引块(53)靠近滑轮(8)的一侧与牵引绳(9)固定连接，牵引绳(9)绕过滑轮(8)后一端与二号牵引块(53)固定连接，另一端与一号牵引块(44)固定连接。
2.一种硅片烘干机，其特征在于：包括上述权利要求1所述的废料收集组件。
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