CN116031125A - 一种离子植入机及晶圆固定板的角度确定方法 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种离子植入机及晶圆固定板的角度确定方法，包括晶圆固定板，用于固定晶圆；驱动组件，与晶圆固定板固定连接，通过控制驱动组件转动以改变晶圆固定板与竖直方向之间的角度；驱动组件具有与晶圆固定板平行的目标表面；位于离子植入机内侧壁上的激光发射器；激光发射器用于发射激光；位于目标表面上的至少一个反射镜；反射镜用于对从激光发射器发出的激光进行反射；位于离子植入机内侧壁上的激光接收器；激光接收器用于接收经过反射镜反射的激光，激光接收器接收到激光的目标位置用于确定晶圆固定板与竖直方向之间的角度。通过测量目标位置的变化可以确定出晶圆固定板的角度变化，操作方便且准确度较高，可实时检测晶圆固定板的角度。

Description

一种离子植入机及晶圆固定板的角度确定方法

技术领域

本申请涉及半导体技术领域，特别涉及一种离子植入机及晶圆固定板的角度确定方法。

背景技术

目前，离子植入机广泛应用于半导体器件的生产制造，晶圆固定在晶圆固定板(platen)上，离子植入机通过离子源结构产生特定价态的等离子体，并形成离子束，离子束经过选择和加速最终轰击到晶圆上，从而实现离子的植入。

随着芯片设计的线宽越来越小，对离子植入的精确度也提出更高的要求。在离子植入过程中，离子植入机机台根据程序设定，将晶圆固定板倾斜到特定角度，以此达到对离子束与晶圆之间夹角的准确控制。离子束的空间角度是通过机台前端的窄缝实现物理控制，因此，晶圆固定板倾斜的角度的精确性直接关系到离子植入的角度的精确性。然而，现有的离子植入机无法精确地确定晶圆固定板的倾斜角度，降低了离子植入的准确性。

发明内容

有鉴于此，本申请的目的在于提供一种离子植入机及晶圆固定板的角度确定方法，可以提高晶圆固定板角度检测的准确性，以及可以在离子植入过程中实时检测。其具体方案如下：

第一方面，本申请提供了一种离子植入机，包括：

晶圆固定板，用于固定晶圆；

驱动组件，与所述晶圆固定板固定连接，通过控制所述驱动组件转动以改变所述晶圆固定板与竖直方向之间的角度；所述驱动组件具有目标表面，所述目标表面与所述晶圆固定板平行；

位于所述离子植入机内侧壁上的激光发射器；所述激光发射器用于发射激光；

位于所述目标表面上的至少一个反射镜；所述反射镜用于对从所述激光发射器发出的激光进行反射；

位于所述离子植入机内侧壁上的激光接收器；所述激光接收器用于接收经过所述反射镜反射的激光，所述激光接收器接收到激光的目标位置用于确定所述晶圆固定板与竖直方向之间的角度。

第二方面，本申请实施例还提供了一种晶圆固定板的角度确定方法，包括：

获取所述的离子植入机的激光接收器接收到激光的目标位置；

根据所述目标位置相对于预设位置的变化量，确定所述晶圆固定板与竖直方向之间的角度；所述预设位置为所述晶圆固定板与竖直方向之间的角度为基准角度时，所述激光接收器接收到所述激光的位置。

第三方面，本申请实施例还提供了一种离子植入系统，包括所述的离子植入机和控制器，所述控制器用于执行所述的晶圆固定板的角度确定方法。

本申请实施例提供了一种离子植入机及晶圆固定板的角度确定方法，离子植入机包括晶圆固定板、驱动组件、激光发射器、至少一个反射镜和激光接收器，晶圆固定板用于固定晶圆，驱动组件与晶圆固定板固定连接，通过控制驱动组件转动以改变晶圆固定板与竖直方向之间的角度，驱动组件具有目标表面，目标表面与晶圆固定板平行，激光发射器位于离子植入机内侧壁上，用于发射激光，在驱动组件的目标表面上具有至少一个反射镜，反射镜用于对从激光发射器发出的激光进行反射，激光接收器位于离子植入机内侧壁上，用于接收经过反射镜反射的激光，激光接收器接收到激光的目标位置用于确定晶圆固定板与竖直方向之间的角度。这样，通过在与晶圆固定板平行的目标表面上设置至少一个反射镜，对激光进行反射，在晶圆固定板与竖直方向之间的角度发生变化时，激光接收器接收到激光的目标位置也会发生更加明显的变化，利用光学原理将角度变化进行放大，转变为更直观的位置变化，通过测量目标位置的变化可以确定出晶圆固定板的角度变化，操作方便且准确度较高，而且，反射镜位于驱动组件上，不影响晶圆的离子植入，可以在离子植入过程中实时地检测晶圆固定板的角度。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1示出了本申请实施例提供的一种离子植入机的结构示意图；

图2示出了本申请实施例提供的一种离子植入机的局部示意图；

图3示出了本申请实施例提供的另一种离子植入机的结构示意图；

图4示出了本申请实施例提供的一种晶圆固定板的角度确定方法的流程示意图；

图5示出了本申请实施例提供的一种激光光路示意图；

图6示出了本申请实施例提供的一种角度变化和位置变化之间的线性关系示意图；

图7为本申请实施例提供的一种离子植入系统的示意图。

具体实施方式

为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请，但是本申请还可以采用其它不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似推广，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。

其次，本申请结合示意图进行详细描述，在详述本申请实施例时，为便于说明，表示器件结构的剖面图会不依一般比例作局部放大，而且所述示意图只是示例，其在此不应限制本申请保护的范围。此外，在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空间尺寸。

正如背景技术中的描述，现有的离子植入机无法精确的确定晶圆固定板的倾斜角度，降低了离子植入的准确性。在现有技术中具有以下两种方式测量晶圆固定板的角度，一种方式为间接测量，由于晶圆固定板倾斜的角度是由伺服电机驱动齿轮或者皮带组件控制，通过伺服电机连接的编码器所反馈的数据，可以间接实时检测platen角度是否正常，但这无法检测到齿轮或皮带等传动组件异常导致的platen角度异常，测量精度较低。另一种方式为直接测量，可以使用多片控片以不同角度进行离子植入，比如在-1°、-0.5°、0、0.5°、1°角度植入，通过结果拟合曲线求取对称中心的方式，来验证platen角度是否正常，但是这种量测方式需要占用机台工作时间，且流程复杂，完成一次量测至少需要1小时，浪费时间。

基于以上技术问题，本申请实施例提供了一种离子植入机及晶圆固定板的角度确定方法，离子植入机包括晶圆固定板、驱动组件、激光发射器、至少一个反射镜和激光接收器，晶圆固定板用于固定晶圆，驱动组件与晶圆固定板固定连接，通过控制驱动组件转动以改变晶圆固定板与竖直方向之间的角度，驱动组件具有目标表面，目标表面与晶圆固定板平行，激光发射器位于离子植入机内侧壁上，用于发射激光，在驱动组件的目标表面上具有至少一个反射镜，反射镜用于对从激光发射器发出的激光进行反射，激光接收器位于离子植入机内侧壁上，用于接收经过反射镜反射的激光，激光接收器接收到激光的目标位置用于确定晶圆固定板与竖直方向之间的角度。这样，通过在与晶圆固定板平行的目标表面上设置至少一个反射镜，对激光进行反射，在晶圆固定板与竖直方向之间的角度发生变化时，激光接收器接收到激光的目标位置也会发生更加明显的变化，利用光学原理将角度变化进行放大，转变为更直观的位置变化，通过测量目标位置的变化可以确定出晶圆固定板的角度变化，操作方便且准确度较高，而且，反射镜位于驱动组件上，不影响晶圆的离子植入，可以在离子植入过程中实时地检测晶圆固定板的角度。

为了便于理解，下面结合附图对本申请实施例提供的一种离子植入机及晶圆固定板的角度确定方法进行详细的说明。

参考图1所示，为本申请实施例提供的一种离子植入机的结构示意图，参考图2所示，为本申请实施例提供的一种离子植入机的局部示意图，离子植入机100包括晶圆固定板101、驱动组件102和俯仰轴驱动106。

晶圆固定板101用于固定晶圆，以便平行离子束(Parallel beam)入射到晶圆上进行离子植入，驱动组件102与晶圆固定板101通过连接部件固定连接，通过俯仰轴驱动(Tiltaxis drive)控制驱动组件102转动以改变晶圆固定板101与竖直方向之间的角度，也就是说，在驱动组件102转动过程中，会带动晶圆固定板101一起转动，从而改变晶圆固定板101与竖直方向之间的角度，夹角如图2中箭头所示。驱动组件102具有目标表面1021，目标表面1021与晶圆固定板101平行，这样晶圆固定板101与竖直方向之间的夹角也就是驱动组件102的目标表面1021与竖直方向之间的夹角。驱动组件102可以具体为线性扫描驱动组件(Linear scanning drive kits)。可以理解的是，由于驱动组件102的目标表面1021与晶圆固定板101平行，在图1中未示出晶圆固定板101。

激光发射器103位于离子植入机内侧壁上，激光发射器103用于发射激光。在驱动组件102的目标表面上具有至少一个反射镜104，反射镜104用于对从激光发射器103发出的激光进行反射，位于目标表面上的反射镜104的数量可以小于或等于5个，既能实现对激光的反射，还可以避免反射镜104数量过多造成浪费。

激光接收器105位于离子植入机内侧壁上，激光接收器105用于接收经过反射镜104反射的激光，在晶圆固定板101的角度发生变化时，接收到激光的目标位置也会上移或下移，激光接收器105接收到激光的目标位置用于确定晶圆固定板101与竖直方向之间的角度。

这样，通过在与晶圆固定板101平行的目标表面上设置至少一个反射镜104，对激光进行反射，在晶圆固定板101与竖直方向之间的角度发生变化时，激光接收器105接收到激光的目标位置也会发生更加明显的变化，利用光学原理将角度变化进行放大，转变为更直观的位置变化，通过测量目标位置的变化可以确定出晶圆固定板101的角度变化，操作方便且准确度较高，而且，反射镜104位于驱动组件102上，不影响晶圆的离子植入，可以在离子植入过程中实时地检测晶圆固定板101的角度。

具体地，可以根据目标位置相对于预设位置的变化量以及线性关系，确定晶圆固定板101与竖直方向之间的角度，预设位置为晶圆固定板101与竖直方向之间的角度为基准角度时，激光接收器105接收到激光的位置，线性关系为目标位置相对于预设位置的变化量，与晶圆固定板101与竖直方向之间的角度相对于基准角度的变化量之间的关系。线性关系可以通过仿真等方式计算得到，根据线性关系和测量得到的目标位置，可以得到晶圆固定板101的角度相对于基准角度的变化量，进而得到该目标位置下的晶圆固定板101的角度大小。

在一种可能的实现方式中，在驱动组件102的目标表面上可以设置一个反射镜104，这样激光发射器103发出的激光经过一次反射之后被激光接收器105接收，通过测量目标位置的变化可以确定出晶圆固定板101的角度变化，在精确测量晶圆固定板101角度的同时，还可以减少反射镜104的数量，简化光路，降低离子植入机的成本。参考图1所示，在驱动组件102的目标表面上具有一个反射镜104，激光从激光发射器103发出之后，经过反射镜104的一次反射，被激光接收器105在目标位置处接收。

在另一种可能的实现方式中，在驱动组件102的目标表面上可以具有多个反射镜104，在离子植入机内侧壁上具有至少一个反射镜104，位于内侧壁上的反射镜104可以对由位于目标表面上的反射镜104反射的激光进行反射，增加激光的反射次数，激光经过多个反射镜104的多次反射被激光接收器105接收，通过多次反射可以放大由于晶圆角度变化引起的激光接收器105接收到的目标位置的变化，在晶圆固定板101的角度变化量一定时，相比于一次反射，经过多次反射后接收到激光的目标位置的上移距离或下移距离更大，能够提高确定晶圆角度的准确性。

参考图3所示，为本申请实施例提供的另一种离子植入机的结构示意图，在驱动组件102的目标表面上设置2个反射镜104，从激光发射器103发出的激光经过目标表面上的2个反射镜104和内壁上的1个反射镜104反射之后，被激光接收器105接收。

具体地，位于目标表面上的反射镜的数量可以记为M个，M大于1，位于离子植入机内侧壁上的反射镜的数量可以记为N个，其中M＝N+1，在反射镜数量一定的情况下，通过合理设置位于目标表面上的反射镜数量和位于离子植入机内侧壁上的反射镜数量，可以最大程度的增加激光的反射次数，提高测量的准确性。

具体地，位于离子植入机内侧壁上的反射镜104与竖直方向之间可以具有夹角，夹角可以小于或等于15°，在夹角为常用的15°时可以使位于离子植入机内侧壁上的反射镜104与目标表面接近平行，便于模拟激光光路，便于仿真计算目标位置相对于预设位置的变化量，与晶圆固定板101与竖直方向之间的角度相对于基准角度的变化量之间的线性关系。

参考图2中，位于目标表面上的两个反射镜104之间的距离可以为50cm，驱动组件102与离子植入机内侧壁之间的距离可以为100cm，这两种距离可以根据实际需求进行设置，在此不做具体限定。

本申请实施例提供了一种离子植入机，离子植入机包括晶圆固定板101、驱动组件102、激光发射器103、至少一个反射镜104和激光接收器105，晶圆固定板101用于固定晶圆，驱动组件102与晶圆固定板101固定连接，通过控制驱动组件102转动以改变晶圆固定板101与竖直方向之间的角度，驱动组件102具有目标表面，目标表面与晶圆固定板101平行，激光发射器103位于离子植入机内侧壁上，用于发射激光，在驱动组件102的目标表面上具有至少一个反射镜104，反射镜104用于对从激光发射器103发出的激光进行反射，激光接收器105位于离子植入机内侧壁上，用于接收经过反射镜104反射的激光，激光接收器105接收到激光的目标位置用于确定晶圆固定板101与竖直方向之间的角度。这样，通过在与晶圆固定板101平行的目标表面上设置至少一个反射镜104，对激光进行反射，在晶圆固定板101与竖直方向之间的角度发生变化时，激光接收器105接收到激光的目标位置也会发生更加明显的变化，利用光学原理将角度变化进行放大，转变为更直观的位置变化，通过测量目标位置的变化可以确定出晶圆固定板101的角度变化，操作方便且准确度较高，而且，反射镜104位于驱动组件102上，不影响晶圆的离子植入，可以在离子植入过程中实时地检测晶圆固定板101的角度。

基于以上离子刻蚀机，本申请实施例还提供了一种晶圆固定板的角度确定方法，参考图4所示，为本申请实施例提供的一种晶圆固定板的角度确定方法的流程示意图，该方法可以包括以下步骤。

S101，获取离子植入机的激光接收器接收到激光的目标位置。

S102，根据目标位置相对于预设位置的变化量，确定晶圆固定板与竖直方向之间的角度。

在本申请实施例中，预设位置为晶圆固定板101与竖直方向之间的角度为基准角度时，激光接收器105接收到激光的位置，比如在晶圆固定板101与竖直方向之间的基准角度为15°时，激光接收器105接收到激光的位置为预设位置，在获取到目标位置之后，可以计算出目标位置相对于预设位置的变化量，根据目标位置相对于预设位置的变化量，可以确定出晶圆固定板101的角度相对于基准角度的变化量，进而确定晶圆固定板101与竖直方向之间的角度。

通过在与晶圆固定板101平行的目标表面上设置至少一个反射镜104，对激光进行反射，在晶圆固定板101与竖直方向之间的角度发生变化时，激光接收器105接收到激光的目标位置也会发生更加明显的变化，利用光学原理将角度变化进行放大，转变为更直观的位置变化，通过测量目标位置的变化可以确定出晶圆固定板101的角度变化，操作方便且准确度较高，而且，反射镜104位于驱动组件102上，不影响晶圆的离子植入，可以在离子植入过程中实时地检测晶圆固定板101的角度。

在一种可能的实现方式中，根据目标位置相对于预设位置的变化量，确定晶圆固定板101与竖直方向之间的角度，可以具体为，根据目标位置相对于预设位置的变化量以及线性关系，确定晶圆固定板101与竖直方向之间的角度；线性关系为目标位置相对于预设位置的变化量，与晶圆固定板101与竖直方向之间的角度相对于基准角度的变化量之间的关系。线性关系可以通过仿真等方式计算得到，根据线性关系和测量得到的目标位置，可以得到晶圆固定板101的角度相对于基准角度的变化量，进而得到该目标位置下的晶圆固定板101的角度大小。

具体地，可以在目标表面上设置一个反射镜104，在晶圆固定板101角度发生变化时，激光经过反射镜104后反射激光的角度变化是晶圆固定板101角度变化的2倍，进而结合反射镜104和离子植入机内侧壁之间的距离，可以计算得到目标位置的变化量。线性关系可以具体为Δy＝L×sin2Δθ，其中，Δy为目标位置相对于预设位置的变化量，L为反射镜104与离子植入机的内侧壁之间的距离，Δθ为晶圆固定板101与竖直方向之间的角度相对于基准角度的变化量。

当晶圆固定板101角度在基准角度基础上变化0.1°，反射镜104与离子植入机的内侧壁之间的距离为1000mm时，目标位置相对于预设位置的变化量为3.49mm，而激光自身斑点半径约2～3mm，3.49mm的位置变化可满足0.1°检测要求。

具体地，若要提高检测精度，可以提高激光的反射次数，增加反射路径，来提高对晶圆固定板101角度变化的放大倍数，可以在目标表面上设置多个反射镜104。

通过对激光的光路进行仿真模拟，可以计算得到不同晶圆固定板101与竖直方向之间的夹角时，激光接收器105接收到的不同位置处的目标位置。参考图5所示，为本申请实施例提供的一种激光光路示意图，以驱动组件102的中心为原点建立X-Y坐标系，将目标表面所在位置用y＝k₁x+b₁表示，位于离子植入机内侧壁上的反射镜104所在位置用y＝k₂x+b₂表示，从激光发射器103到位于目标表面上的反射镜104之间的激光路径用y＝Kx+B表示，从位于目标表面上的反射镜104到位于内侧壁上的反射镜104的激光路径用y＝K₁x+B₁表示，从位于内侧壁上的反射镜104到位于目标表面上的另一个反射镜104之间的激光路径用y＝K₂x+B₂表示，从位于目标表面上的另一个反射镜104到激光接收器105之间的位置用y＝K₃x+B₃表示，将驱动组件102的目标表面与竖直方向之间的夹角记为angle，激光接收器105接收到激光的目标位置记为位置Y，通过仿真模拟可以计算得到不同angle对应的不同位置Y。

参考表1和表2所示，为本申请实施例提供的一种对激光光路仿真的计算结果，在目标表面与竖直方向之间的夹角angle为15°时，位置Y为-316.987mm，在目标表面与竖直方向之间的夹角angle为15.02°时，位置Y为-314.201mm，也就是说，在angle变化0.02°时，位置Y变化2.786mm，而激光自身斑点半径约2～3mm，近似于激光斑点大小，恰好可以区分出两个激光斑点，检测精度可以达到0.02°。在目标表面与竖直方向之间的夹角angle为15.1°时，位置Y为-303.06mm，即在angle变化0.1°时，位置Y变化13.927mm，是单次反射的4倍，能够更加精确的确定出晶圆固定板和竖直方向之间的夹角。

表1

表2

在本申请实施例中，目标位置相对于预设位置的变化量与反射镜104总数量具有正相关性，反射镜104总数量为位于目标表面上的反射镜104数量与位于离子植入机内侧壁上的反射镜104数量之和，反射镜104的总数量越多，激光的反射次数越多，反射路径变长，在晶圆固定板101变化的角度变化量一定时，相比于一次反射，经过多次反射后接收到激光的目标位置的上移距离或下移距离更大，能够提高确定晶圆固定板角度的准确性，降低激光光斑自身大小对测量的影响。

在另一种可能的实现方式中，在目标表面上设置多个反射镜104时，离子植入机内侧壁上具有至少一个反射镜104，根据目标位置相对于预设位置的变化量，确定晶圆固定板101与竖直方向之间的角度，可以具体为，获取目标位置相对于预设位置的变化量，与晶圆固定板101与竖直方向之间的角度相对于基准角度的变化量之间的线性关系，根据目标位置相对于预设位置的变化量以及线性关系，确定晶圆固定板101与竖直方向之间的角度。

具体地，根据表1和表2的仿真结果可以计算出目标表面的角度变化，以及激光接收器105接收到激光的位置变化，参考表3所示，为本申请实施例提供的一种角度变化和对应的位置变化，以15°为基准角度，在角度变化0.2时，位置变化均为2.79mm，根据角度变化和位置变化可计算出二者之间的线性关系。参考图6所示，为本申请实施例提供的一种角度变化和位置变化之间的线性关系示意图，在激光经过3次反射时，线性关系可以为Δy＝4L×sin2Δθ，其中，Δy为目标位置相对于预设位置的变化量，L为反射镜104与离子植入机的内侧壁之间的距离，Δθ为晶圆固定板101与竖直方向之间的角度相对于基准角度的变化量。

表3

本申请实施例提供了一种晶圆固定板的角度确定方法，通过在与晶圆固定板平行的目标表面上设置至少一个反射镜，对激光进行反射，在晶圆固定板与竖直方向之间的角度发生变化时，激光接收器接收到激光的目标位置也会发生更加明显的变化，利用光学原理将角度变化进行放大，转变为更直观的位置变化，通过测量目标位置的变化可以确定出晶圆固定板的角度变化，操作方便且准确度较高，而且，反射镜位于驱动组件上，不影响晶圆的离子植入，可以在离子植入过程中实时地检测晶圆固定板的角度。

本申请实施例还提供了一种离子植入系统，参考图7所示，为本申请实施例提供的一种离子植入系统的示意图，离子植入系统300包括离子植入机100和控制器200，控制器200用于执行晶圆固定板的角度确定方法。

本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例重点说明的都是与其它实施例的不同之处。尤其，对于装置实施例而言，由于其基本相似于方法实施例，所以描述得比较简单，相关之处参见方法实施例的部分说明即可。

以上所述仅是本申请的优选实施方式，虽然本申请已以较佳实施例披露如上，然而并非用以限定本申请。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本申请技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和技术内容对本申请技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本申请技术方案的内容，依据本申请的技术实质对以上实施例所做的任何的简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本申请技术方案保护的范围内。

Claims (10)

1.一种离子植入机，其特征在于，包括：

晶圆固定板，用于固定晶圆；

驱动组件，与所述晶圆固定板固定连接，通过控制所述驱动组件转动以改变所述晶圆固定板与竖直方向之间的角度；所述驱动组件具有目标表面，所述目标表面与所述晶圆固定板平行；

位于所述离子植入机内侧壁上的激光发射器；所述激光发射器用于发射激光；

位于所述目标表面上的至少一个反射镜；所述反射镜用于对从所述激光发射器发出的激光进行反射；

位于所述离子植入机内侧壁上的激光接收器；所述激光接收器用于接收经过所述反射镜反射的激光，所述激光接收器接收到激光的目标位置用于确定所述晶圆固定板与竖直方向之间的角度。

2.根据权利要求1所述的离子植入机，其特征在于，位于所述目标表面上的反射镜的数量为M个，所述M大于1，所述离子植入机还包括：

位于所述离子植入机内侧壁上的至少一个反射镜，用于对由位于所述目标表面上的反射镜反射的激光进行反射，位于所述离子植入机内侧壁上的反射镜的数量为N个，其中M＝N+1。

3.根据权利要求2所述的离子植入机，其特征在于，位于所述离子植入机内侧壁上的反射镜与竖直方向之间的夹角小于或等于15°。

4.根据权利要求1-3任意一项所述的方法，其特征在于，位于所述目标表面上的反射镜的数量小于或等于5个。

5.一种晶圆固定板的角度确定方法，其特征在于，包括：

获取如权利要求1-4任意一项所述的离子植入机的激光接收器接收到激光的目标位置；

根据所述目标位置相对于预设位置的变化量，确定所述晶圆固定板与竖直方向之间的角度；所述预设位置为所述晶圆固定板与竖直方向之间的角度为基准角度时，所述激光接收器接收到所述激光的位置。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述根据所述目标位置相对于预设位置的变化量，确定所述晶圆固定板与竖直方向之间的角度，包括：

根据所述目标位置相对于预设位置的变化量以及线性关系，确定所述晶圆固定板与竖直方向之间的角度；所述线性关系为所述目标位置相对于预设位置的变化量，与所述晶圆固定板与竖直方向之间的角度相对于所述基准角度的变化量之间的关系。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，在所述目标表面上设置一个反射镜时，所述线性关系具体为：

Δy＝L×sin 2Δθ

其中，所述Δy为所述目标位置相对于预设位置的变化量，所述L为所述反射镜与所述离子植入机的内侧壁之间的距离，所述Δθ为所述晶圆固定板与竖直方向之间的角度相对于所述基准角度的变化量。

8.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，在所述目标表面上设置多个反射镜时，所述离子植入机内侧壁上具有至少一个反射镜，所述根据所述目标位置相对于预设位置的变化量，确定所述晶圆固定板与竖直方向之间的角度，包括：

获取所述目标位置相对于预设位置的变化量，与所述晶圆固定板与竖直方向之间的角度相对于所述基准角度的变化量之间的线性关系；

根据所述目标位置相对于预设位置的变化量以及所述线性关系，确定所述晶圆固定板与竖直方向之间的角度。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述目标位置相对于预设位置的变化量与反射镜总数量具有正相关性；所述反射镜总数量为位于所述目标表面上的反射镜数量与位于所述离子植入机内侧壁上的反射镜数量之和。

10.一种离子植入系统，包括如权利要求1-4任意一项所述的离子植入机和控制器，所述控制器用于执行如权利要求5-9任意一项所述的晶圆固定板的角度确定方法。

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