CN115959499A - 一种半导体材料收卷装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种半导体材料收卷装置，其包括传动组件和控制组件，所述传动组件包括活动筒、方杆、主动轴、主动齿轮、从动齿轮和辊轴，所述活动筒一端固定连接方杆一端，主动轴上设有容纳腔和容纳槽，活动筒滑动连接容纳腔内壁，方杆滑动连接容纳槽内壁，主动轴外壁固定连接主动齿轮，主动齿轮啮合连接从动齿轮，从动齿轮固定连接辊轴本发明通过活动块通过支撑块带动固定杆和锁紧块向下移动，锁紧块与从动齿轮啮合，对从动齿轮进行锁定，此时从动齿轮不能转动，能够防止在半导体材料的张力作用下会使辊轴出现倒转，导致收卷好的半导体材料变的松弛，造成收卷不整齐，影响收卷成品的质量。
Description
技术领域
本发明涉及半导体器件技术领域，特别是一种半导体材料收卷装置。
背景技术
半导体器件生产时，需要对半导体柔性材料进行收卷处理，以便于半导体材料的运输以及存放。
目前，对于半导体柔性材料的收卷大多是依靠电动机带动收卷辊轴转动实现，即利用收卷辊轴的转动，以对半导体柔性材料卷绕在收卷辊轴上，然而在实际的收卷过程中，受到设备制造精度以及装配精度的影响，半导体柔性材料容易发生跑偏现象，使得半导体柔性材料的收卷不够整齐，需要关闭电动机停下收卷辊轴，对半导体材料的位置进行调节，由于半导体材料张力较大，关闭电动机后，收卷辊轴失去驱动力，在半导体材料的张力作用下会使收卷辊轴出现倒转，缠绕在收卷辊轴的半导体材料就会变的松弛，造成收卷不整齐，影响收卷成品的质量，而且由于倒转不受控制，可能对收卷辊轴附近的作业人员容易造成人身伤害，存在安全隐患。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是：于半导体材料张力较大，关闭电动机后，收卷辊轴失去驱动力，在半导体材料的张力作用下会使收卷辊轴出现倒转，缠绕在收卷辊轴的半导体材料就会变的松弛，造成收卷不整齐。
为解决上述技术问题，本发明提供如下技术方案：一种半导体材料收卷装置，其包括传动组件和控制组件，所述传动组件包括活动筒、方杆、主动轴、主动齿轮、从动齿轮和辊轴，所述活动筒一端固定连接方杆一端，主动轴上设有容纳腔和容纳槽，活动筒滑动连接容纳腔内壁，方杆滑动连接容纳槽内壁，主动轴外壁固定连接主动齿轮，主动齿轮啮合连接从动齿轮，从动齿轮固定连接辊轴；所述控制组件包括活动杆、卡块、活动块、支撑块、固定杆和锁紧块，所述活动杆一端固定连接方杆另一端，活动杆滑动穿过主动轴，活动杆另一端固定连接卡块一侧，卡块另一侧设置有倾斜面，并且卡块滑动连接活动块上设置的卡槽，活动块顶部固定连接支撑块，支撑块固定连接固定杆一端，固定杆另一端固定连接锁紧块，锁紧块设置于上从动齿轮上方，并且锁紧块上对应从动齿轮设置有齿。
作为本发明所述半导体材料收卷装置的一种优选方案，其中：还包括驱动组件，所述驱动组件包括电动机、驱动杆、驱动轴、限位轴和第一弹簧，所述电动机固定连接驱动杆一端，驱动杆另一端固定连接驱动轴，驱动轴上设置有安装孔，安装孔内端壁固定连接第一弹簧一端，第一弹簧另一端固定连接驱动轴，并且驱动轴滑动连接安装孔内壁，驱动轴滑动连接活动筒内壁，活动筒内壁设置有引导槽，限位轴滑动连接引导槽内壁。
作为本发明所述半导体材料收卷装置的一种优选方案，其中：还包括支撑组件，所述支撑组件包括底板、第一支撑板、第二支撑板和滚筒，所述底板上表面固定连接第一支撑板和第二支撑板，滚筒设置于第一支撑板和第二支撑板之间，辊轴远离从动齿轮一端转动连接第一支撑板，并且辊轴插入滚筒。
作为本发明所述半导体材料收卷装置的一种优选方案，其中：所述第一支撑板一侧固定连接固定板，固定板上表面固定连接支撑座和电机座，所述支撑座顶部转动连接主动轴外壁，电机座顶部固定安装有电动机。
作为本发明所述半导体材料收卷装置的一种优选方案，其中：所述固定板上表面固定连接伸缩杆底端，伸缩杆顶端固定连接活动块下表面，伸缩杆上套设有第二弹簧，并且第二弹簧两端分别固定连接活动块下表面或固定板上表面。
作为本发明所述半导体材料收卷装置的一种优选方案，其中：所述支撑块上设置有通槽，并且辊轴滑动连接通槽内壁。
作为本发明所述半导体材料收卷装置的一种优选方案，其中：所述辊轴上设置有限位环，通槽内壁对应限位环设置有限位槽，限位环转动连接限位槽内壁。
作为本发明所述半导体材料收卷装置的一种优选方案，其中：所述方杆横截面为方形，并且容纳槽内壁内壁对应方杆设置。
作为本发明所述半导体材料收卷装置的一种优选方案，其中：所述方杆上套设有第三弹簧，并且第三弹簧一端抵在活动筒外端壁上，第三弹簧另一端抵在容纳腔内端壁上。
本发明的有益效果：本发明通过活动块通过支撑块带动固定杆和锁紧块向下移动，锁紧块与从动齿轮啮合，对从动齿轮进行锁定，此时从动齿轮不能转动，能够防止在半导体材料的张力作用下会使辊轴出现倒转，导致收卷好的半导体材料变的松弛，造成收卷不整齐，影响收卷成品的质量，同时能够防止对附近的作业人员容易造成人身伤害，消除安全隐患，能够自动完成对辊轴的锁定，在启动电动机时自动完成辊轴的解锁，使用控制更加方便。
附图说明
图1为本公开实施例中的整体结构示意图。
图2为本公开实施例中的传动组件和控制组件结构示意图。
图3为本公开实施例中的活动块剖视图。
图4为本公开实施例中的活动筒剖视图。
图5为本公开实施例中的活动筒和主动轴剖视图。
图6为本公开实施例中的驱动轴装配示意图。
图7为本公开实施例中的支撑块剖视图。
图8为本公开实施例中的控制组件装配示意图。
图中：传动组件100，活动筒101，方杆102，主动轴103，主动齿轮104，从动齿轮105，辊轴106，引导槽101a，容纳腔103a，容纳槽103b，限位环106a，第三弹簧107，控制组件200，活动杆201，卡块202，活动块203，支撑块204，固定杆205，锁紧块206，卡槽203a，通槽204a，限位槽204b，驱动组件300，电动机301，驱动杆302，驱动轴303，限位轴304，第一弹簧305，安装孔303a内壁，支撑组件400，底板401，第一支撑板402，第二支撑板403，滚筒404，固定板402a，支撑座402b，电机座402c，伸缩杆402a-1，第二弹簧402a-2。
具体实施方式
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合说明书附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。
实施例1
参照图1至图5，为本发明第一个实施例，该实施例提供了一种半导体材料收卷装置，包括传动组件100和控制组件200，传动组件100包括活动筒101、方杆102、主动轴103、主动齿轮104、从动齿轮105和辊轴106，活动筒101一端固定连接方杆102一端，主动轴103上设有容纳腔103a和容纳槽103b，活动筒101滑动连接容纳腔103a内壁，方杆102滑动连接容纳槽103b内壁，主动轴103外壁固定连接主动齿轮104，主动齿轮104啮合连接从动齿轮105，从动齿轮105固定连接辊轴106。
本实施例中优选的，活动筒101转动时能够带动方杆102转动，活动筒101能够在容纳腔103a内转动，并且能够沿容纳腔103a长度方向移动，当方杆102插入容纳槽103b中，方杆102转动能够带动主动轴103转动，主动轴103带动主动齿轮104转动，主动齿轮104带动从动齿轮105转动，从动齿轮105带动辊轴106带动收卷半导体材料的滚筒转动，对半导体材料进行收卷。
控制组件200包括活动杆201、卡块202、活动块203、支撑块204、固定杆205和锁紧块206，活动杆201一端固定连接方杆102另一端，活动杆201滑动穿过主动轴103，活动杆201另一端固定连接卡块202一侧，卡块202另一侧设置有倾斜面，并且卡块202滑动连接活动块203上设置的卡槽203a，活动块203顶部固定连接支撑块204，支撑块204固定连接固定杆205一端，固定杆205另一端固定连接锁紧块206，锁紧块206设置于上从动齿轮105上方，并且锁紧块206上对应从动齿轮105设置有齿。
本实施例中优选的，活动筒101在容纳腔103a内部向靠近活动块203的方向移动时，能够通过方杆102推动活动杆201移动，活动杆201推动卡块202移动，卡块202在与卡槽203a斜面的作用下，带动活动块203向上移动，活动块203通过支撑块204带动固定杆205和锁紧块206向上移动，锁紧块206脱离从动齿轮105，对从动齿轮105进行解锁，此时从动齿轮105能够转动。
当活动筒101在容纳腔103a内部向远离活动块203的方向移动时，能够通过方杆102拉动活动杆201移动，活动杆201带动卡块202移动，卡块202不在对活动块203支撑，活动块203在重力作用下下降，活动块203通过支撑块204带动固定杆205和锁紧块206向下移动，锁紧块206与从动齿轮105啮合，对从动齿轮105进行锁定，此时从动齿轮105不能转动，能够防止在半导体材料的张力作用下会使辊轴106出现倒转，导致收卷好的半导体材料变的松弛，造成收卷不整齐，影响收卷成品的质量，同时能够防止对附近的作业人员容易造成人身伤害，消除安全隐患。
实施例2
参照图1至图8，为本发明第二个实施例，该实施例基于上一个实施例，与上一个实施例不同之处在于。
参照图1、图2和图4，还包括驱动组件300，驱动组件300包括电动机301、驱动杆302、驱动轴303、限位轴304和第一弹簧305，电动机301固定连接驱动杆302一端，驱动杆302另一端固定连接驱动轴303，驱动轴303上设置有安装孔303a，安装孔303a内端壁固定连接第一弹簧305一端，第一弹簧305另一端固定连接驱动轴303，并且驱动轴303滑动连接安装孔303a内壁，驱动轴303滑动连接活动筒101内壁，活动筒101内壁设置有引导槽101a，限位轴304滑动连接引导槽101a内壁。
本实施例中优选的，驱动组件300用于提供动力，电动机301工作时能够带动驱动杆302转动，驱动杆302带动驱动轴303转动，驱动轴303能够在活动筒101内壁转动，并且活动筒101能够沿驱动轴303长度方向移动。驱动轴303转动时在限位轴304和引导槽101a的作用下，能够推动活动筒101沿驱动轴303长度方向移动，当活动筒101向靠近卡块202的方向移动时，活动筒101将方杆102插入容纳槽103b内壁，当限位轴304移动到引导槽101a内最靠近电动机301的位置时，此时活动筒101的位置为移动行程中离电动机301的最远距离，此时驱动轴303转动，通过限位轴304拨动引导槽101a带动活动筒101转动，活动筒101转动时带动方杆102转动，方杆102转动带动主动轴103转动，主动轴103带动主动齿轮104转动，主动齿轮104带动从动齿轮105转动，从动齿轮105带动辊轴106带动收卷半导体材料的滚筒转动，对半导体材料进行收卷。
当电动机301反向转动时，限位轴304移动到引导槽101a内最远离电动机301的位置，此时活动筒101的位置为移动行程中离电动机301的最近距离，此时活动筒101通过方杆102拉动活动杆201移动，活动杆201带动卡块202移动，卡块202不在对活动块203支撑，活动块203在重力作用下下降，活动块203通过支撑块204带动固定杆205和锁紧块206向下移动，锁紧块206与从动齿轮105啮合，对从动齿轮105进行锁定，此时从动齿轮105不能转动，能够防止在半导体材料的张力作用下会使辊轴106出现倒转，导致收卷好的半导体材料变的松弛，造成收卷不整齐，影响收卷成品的质量，同时能够防止对附近的作业人员容易造成人身伤害，消除安全隐患。
参照图1，还包括支撑组件400，支撑组件400包括底板401、第一支撑板402、第二支撑板403和滚筒404，底板401上表面固定连接第一支撑板402和第二支撑板403，滚筒404设置于第一支撑板402和第二支撑板403之间，辊轴106远离从动齿轮105一端转动连接第一支撑板402，并且辊轴106插入滚筒404。
本实施例中优选的，底板401能够对第一支撑板402和第二支撑板403起到支撑作用，辊轴106能够在第一支撑板402内壁转动；本实施例优选实施方式中，可以将辊轴106远离远离从动齿轮105一端，穿过第一支撑板402后转动连接第二支撑板403，有利于提高辊轴106转动时的稳定性；辊轴106转动能够带动滚筒404转动完成对半导体材料的收卷。
参照图1和图2，第一支撑板402一侧固定连接固定板402a，固定板402a上表面固定连接支撑座402b和电机座402c，支撑座402b顶部转动连接主动轴103外壁，电机座402c顶部固定安装有电动机301。
本实施例中优选的，固定板402a能够对支撑座402b和电机座402c起到支撑作用，通过支撑座402b有利于提高主动轴103转动时稳定性，同时防止主动轴103径向移动；本实施例优选实施方式中，可以将可以通过在支撑座402b两侧的主动轴103上固定安装固定环，防止主动轴103径向移动。电机座402c能够对电动机301起到固定支撑作用。
参照图2，固定板402a上表面固定连接伸缩杆402a-1底端，伸缩杆402a-1顶端固定连接活动块203下表面，伸缩杆402a-1上套设有第二弹簧402a-2，并且第二弹簧402a-2两端分别固定连接活动块203下表面或固定板402a上表面。
本实施例中优选的，在第二弹簧402a-2拉力的作用下，能够拉动活动块203向下移动，使活动块203下降，活动块203通过支撑块204带动固定杆205和锁紧块206向下移动，锁紧块206与从动齿轮105啮合，对从动齿轮105进行锁定，此时从动齿轮105不能转动，能够防止在半导体材料的张力作用下会使辊轴106出现倒转，导致收卷好的半导体材料变的松弛，造成收卷不整齐，影响收卷成品的质量，同时能够防止对附近的作业人员容易造成人身伤害，消除安全隐患。伸缩杆402a-1能够对第二弹簧402a-2起到限位作用，防止其散乱。
参照图2，支撑块204上设置有通槽204a，并且辊轴106滑动连接通槽204a内壁。
本实施例中优选的，活动块203带动支撑块204上下移动时，辊轴106能够在通槽204a内壁滑动，同时辊轴106能够在通槽204a内壁转动。
参照图2和图7，辊轴106上设置有限位环106a，通槽204a内壁对应限位环设置有限位槽204b，限位环106a转动连接限位槽204b内壁。
本实施例中优选的，辊轴106转动时带动限位环106a在限位槽204b内壁转动。通过限位环106a与限位槽204b的配合，有利于提高辊轴106转动时稳定性。
参照图3和图4，方杆102横截面为方形，并且容纳槽103b内壁内壁对应方杆102设置。
本实施例中优选的，能够保证方杆102插入容纳槽103b内壁后，方杆102转动能够带动主动轴103转动。
参照图5和图8，方杆102上套设有第三弹簧107，并且第三弹簧107一端抵在活动筒101外端壁上，第三弹簧107另一端抵在容纳腔103a内端壁上。
本实施例中优选的，第三弹簧107在弹力作用下能够为活动筒101施加一个向靠近电动机301方向移动的力。需要对半导体材料的位置进行调节时，关闭电动机301，此时活动筒101失去动力，活动筒101在第三弹簧107作用下靠近电动机301方向移动，活动筒101通过方杆102拉动活动杆201移动，活动杆201带动卡块202移动，卡块202不在对活动块203支撑，活动块203在重力作用下下降，活动块203通过支撑块204带动固定杆205和锁紧块206向下移动，锁紧块206与从动齿轮105啮合，对从动齿轮105进行锁定，此时从动齿轮105不能转动，能够防止在半导体材料的张力作用下会使辊轴106出现倒转，导致收卷好的半导体材料变的松弛，造成收卷不整齐，影响收卷成品的质量，同时能够防止对附近的作业人员容易造成人身伤害，消除安全隐患。
使用时，电动机301工作时带动驱动杆302转动，驱动杆302带动驱动轴303转动，在限位轴304和引导槽101a的作用下，能够推动活动筒101沿驱动轴303长度方向移动，当活动筒101向靠近卡块202的方向移动时，活动筒101将方杆102插入容纳槽103b内壁，当限位轴304移动到引导槽101a内最靠近电动机301的位置时，此时活动筒101的位置为移动行程中离电动机301的最远距离。
同时方杆102推动活动杆201移动，活动杆201推动卡块202移动，卡块202在与卡槽203a斜面的作用下，带动活动块203向上移动，活动块203通过支撑块204带动固定杆205和锁紧块206向上移动，锁紧块206脱离从动齿轮105，对从动齿轮105进行解锁，此时从动齿轮105能够转动，从动齿轮105在锁定状态下也会锁定主动齿轮104和主动轴103，使主动齿轮104和主动轴103不能转动，也就是在锁定状态时方杆102和活动筒101不能转动，方杆102和活动筒101只能轴向滑动。
此时驱动轴303转动，驱动轴303通过限位轴304拨动引导槽101a带动活动筒101转动，活动筒101转动时带动方杆102转动，方杆102转动带动主动轴103转动，主动轴103带动主动齿轮104转动，主动齿轮104带动从动齿轮105转动，从动齿轮105带动辊轴106带动收卷半导体材料的滚筒转动，对半导体材料进行收卷。
需要对半导体材料的位置进行调节时，关闭电动机301，此时活动筒101失去动力，活动筒101在第三弹簧107作用下靠近电动机301方向移动，活动筒101通过方杆102拉动活动杆201移动，活动杆201带动卡块202移动，卡块202不在对活动块203支撑，活动块203在重力作用下下降，活动块203通过支撑块204带动固定杆205和锁紧块206向下移动，锁紧块206与从动齿轮105啮合，对从动齿轮105进行锁定，此时从动齿轮105不能转动，能够防止在半导体材料的张力作用下会使辊轴106出现倒转，导致收卷好的半导体材料变的松弛，造成收卷不整齐，影响收卷成品的质量，同时能够防止对附近的作业人员容易造成人身伤害，消除安全隐患，能够在关闭电动机301时自动完成对辊轴106的锁定，在启动电动机301时自动完成辊轴106的解锁，使用控制更加方便。本实施例中方杆102也可以不脱离容纳槽103b内壁，因为在在锁定状态时方杆102和活动筒101不能转动，方杆102和活动筒101只能轴向滑动，以提高装置的稳定性。。
另一种补充控制方法是，控制电动机301反向转动，限位轴304移动到引导槽101a内最远离电动机301的位置，此时活动筒101的位置为移动行程中离电动机301的最近距离，此时活动筒101通过方杆102拉动活动杆201移动，活动杆201带动卡块202移动，卡块202不在对活动块203支撑，活动块203在重力作用下下降，活动块203通过支撑块204带动固定杆205和锁紧块206向下移动，锁紧块206与从动齿轮105啮合，对从动齿轮105进行锁定，此时从动齿轮105不能转动，能够防止在半导体材料的张力作用下会使辊轴106出现倒转，导致收卷好的半导体材料变的松弛，造成收卷不整齐，影响收卷成品的质量，同时能够防止对附近的作业人员容易造成人身伤害，消除安全隐患，使用更加安全。
Claims (9)
1.一种半导体材料收卷装置，其特征在于：包括
传动组件(100)，所述传动组件(100)包括活动筒(101)、方杆(102)、主动轴(103)、主动齿轮(104)、从动齿轮(105)和辊轴(106)，所述活动筒(101)一端固定连接方杆(102)一端，主动轴(103)上设有容纳腔(103a)和容纳槽(103b)，活动筒(101)滑动连接容纳腔(103a)内壁，方杆(102)滑动连接容纳槽(103b)内壁，主动轴(103)外壁固定连接主动齿轮(104)，主动齿轮(104)啮合连接从动齿轮(105)，从动齿轮(105)固定连接辊轴(106)；
控制组件(200)，所述控制组件(200)包括活动杆(201)、卡块(202)、活动块(203)、支撑块(204)、固定杆(205)和锁紧块(206)，所述活动杆(201)一端固定连接方杆(102)另一端，活动杆(201)滑动穿过主动轴(103)，活动杆(201)另一端固定连接卡块(202)一侧，卡块(202)另一侧设置有倾斜面，并且卡块(202)滑动连接活动块(203)上设置的卡槽(203a)，活动块(203)顶部固定连接支撑块(204)，支撑块(204)固定连接固定杆(205)一端，固定杆(205)另一端固定连接锁紧块(206)，锁紧块(206)设置于上从动齿轮(105)上方，并且锁紧块(206)上对应从动齿轮(105)设置有齿。
2.如权利要求1所述的半导体材料收卷装置，其特征在于：还包括驱动组件(300)，所述驱动组件(300)包括电动机(301)、驱动杆(302)、驱动轴(303)、限位轴(304)和第一弹簧(305)，所述电动机(301)固定连接驱动杆(302)一端，驱动杆(302)另一端固定连接驱动轴(303)，驱动轴(303)上设置有安装孔(303a)，安装孔(303a)内端壁固定连接第一弹簧(305)一端，第一弹簧(305)另一端固定连接驱动轴(303)，并且驱动轴(303)滑动连接安装孔(303a)内壁，驱动轴(303)滑动连接活动筒(101)内壁，活动筒(101)内壁设置有引导槽(101a)，限位轴(304)滑动连接引导槽(101a)内壁。
3.如权利要求1所述的半导体材料收卷装置，其特征在于：还包括支撑组件(400)，所述支撑组件(400)包括底板(401)、第一支撑板(402)、第二支撑板(403)和滚筒(404)，所述底板(401)上表面固定连接第一支撑板(402)和第二支撑板(403)，滚筒(404)设置于第一支撑板(402)和第二支撑板(403)之间，辊轴(106)远离从动齿轮(105)一端转动连接第一支撑板(402)，并且辊轴(106)插入滚筒(404)。
4.如权利要求3所述的半导体材料收卷装置，其特征在于：所述第一支撑板(402)一侧固定连接固定板(402a)，固定板(402a)上表面固定连接支撑座(402b)和电机座(402c)，所述支撑座(402b)顶部转动连接主动轴(103)外壁，电机座(402c)顶部固定安装有电动机(301)。
5.如权利要求4所述的半导体材料收卷装置，其特征在于：所述固定板(402a)上表面固定连接伸缩杆(402a-1)底端，伸缩杆(402a-1)顶端固定连接活动块(203)下表面，伸缩杆(402a-1)上套设有第二弹簧(402a-2)，并且第二弹簧(402a-2)两端分别固定连接活动块(203)下表面或固定板(402a)上表面。
6.如权利要求1所述的半导体材料收卷装置，其特征在于：所述支撑块(204)上设置有通槽(204a)，并且辊轴(106)滑动连接通槽(204a)内壁。
7.如权利要求1所述的半导体材料收卷装置，其特征在于：所述辊轴(106)上设置有限位环(106a)，通槽(204a)内壁对应限位环设置有限位槽(204b)，限位环(106a)转动连接限位槽(204b)内壁。
8.如权利要求1所述的半导体材料收卷装置，其特征在于：所述方杆(102)横截面为方形，并且容纳槽(103b)内壁内壁对应方杆(102)设置。
9.如权利要求1所述的半导体材料收卷装置，其特征在于：所述方杆(102)上套设有第三弹簧(107)，并且第三弹簧(107)一端抵在活动筒(101)外端壁上，第三弹簧(107)另一端抵在容纳腔(103a)内端壁上。
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