CN115956189A - 玻璃板的制造方法以及制造装置 - Google Patents

玻璃板的制造方法以及制造装置 Download PDF

Info

Publication number
CN115956189A
CN115956189A CN202180050297.0A CN202180050297A CN115956189A CN 115956189 A CN115956189 A CN 115956189A CN 202180050297 A CN202180050297 A CN 202180050297A CN 115956189 A CN115956189 A CN 115956189A
Authority
CN
China
Prior art keywords
glass
plate
original plate
thickness
sheet
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202180050297.0A
Other languages
English (en)
Inventor
大庭直树
桥本基
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Electric Glass Co Ltd
Original Assignee
Nippon Electric Glass Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Electric Glass Co Ltd filed Critical Nippon Electric Glass Co Ltd
Publication of CN115956189A publication Critical patent/CN115956189A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B17/00Forming molten glass by flowing-out, pushing-out, extruding or drawing downwardly or laterally from forming slits or by overflowing over lips
    • C03B17/06Forming glass sheets
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

一种玻璃板的制造方法,包括将具有有效部(Gy)以及比有效部(Gy)厚的耳部(Gx)的玻璃原板(G1)作为对象并对耳部(Gx)的板厚进行测定的第一测定工序(P2),其中,在第一测定工序(P2)中,利用吸收方式的测定器即第一测定装置(3)(红外线厚度计)对耳部(Gx)的板厚进行测定。

Description

玻璃板的制造方法以及制造装置
技术领域
本发明涉及玻璃板的制造方法以及制造装置。
背景技术
如公知的那样,在以液晶显示器、有机EL显示器等为代表的显示器中使用玻璃板。
在玻璃板的制造工序中,首先,利用下拉法(例如溢流下拉法)、浮法,从熔融玻璃连续地成形玻璃带。接下来,将玻璃带按照规定的长度沿着宽度方向切断。由此,将在宽度方向的两端具有厚壁的耳部的玻璃原板从玻璃带切出。接下来,通过从玻璃原板分割两端的耳部,从而从玻璃原板得到玻璃板。之后,对玻璃板实施检查等。
作为检查的一例,可以举出专利文献1中公开的那样的板厚的测定。在该文献公开的测定的方式中,在将玻璃板悬吊支承的状态下搬运的同时进行测定。并且,在板厚的测定中使用对玻璃板的下部面(位于下端的端面)的高度的变化进行检测的第一CCD相机、对下部面的图像进行拍摄的第二CCD相机、根据下部面的高度的变化而使第二CCD相机升降的升降机构、处理下部面的图像而求出板厚的控制部等。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2002-228422号公报
发明内容
发明要解决的课题
另外,将玻璃板的品质管理作为目的,有时需要掌握玻璃原板的耳部的板厚。然而,在专利文献1所公开的那样的方式中,自身并未设想对耳部的板厚进行测定,因此期待确立用于实现这种测定的机构。
鉴于以上的事情,应该解决的技术课题在于,在制造玻璃板时,能够对具有厚壁的耳部的玻璃原板进行耳部的板厚的测定。
用于解决课题的方案
用于解决上述的课题的玻璃板的制造方法包括将具有有效部以及比有效部厚的耳部的玻璃原板作为对象并对耳部的板厚进行测定的第一测定工序,玻璃板的制造方法的特征在于,在第一测定工序中,利用吸收方式的测定器对耳部的板厚进行测定。
在本方法中,在执行第一测定工序时使用吸收方式的测定器。吸收方式的测定器由于能够测定的板厚的范围较大,因此能够没有问题地测定玻璃原板的厚壁的耳部的板厚。
在上述的方法中,优选的是,玻璃原板将有效部夹在中间而在两端具有耳部,在将连结两端的耳部的方向设为宽度方向时,在第一测定工序中,通过沿着宽度方向从玻璃原板的一端到另一端对板厚进行测定,从而得到玻璃原板的板厚分布,基于玻璃原板的板厚分布,取得宽度方向上的玻璃原板的长度。
如此一来,基于玻璃原板的板厚分布,取得宽度方向上的玻璃原板的长度(以下,记作原板宽度),从而能够适当进行从玻璃原板得到的玻璃板的品质管理。例如,在防止伴随着原板宽度的增减而玻璃板的品质变动的目的下,关于从玻璃带切出的多张玻璃原板,容易进行将这些玻璃原板的原板宽度设为相同的管理。
在上述的方法中,优选的是,包括将玻璃原板以悬吊支承的状态沿宽度方向搬运的第一搬运工序,在执行第一搬运工序的同时,利用在玻璃原板的搬运路径配置的吸收方式的测定器执行第一测定工序,并且在玻璃原板的上部对板厚进行测定。
如此一来,在玻璃原板的上部、换句话说是悬吊支承的部位的附近测定板厚。因此,即使伴随着第一搬运工序的执行而搬运中的玻璃原板产生摆动,由于测定摆动的振幅小的部位,因此也能够尽量减小摆动对测定结果带来的影响。因而,能够准确地得到玻璃原板的板厚分布。
在上述的方法中,优选的是,包括:分割工序,从玻璃原板分割耳部,从而从玻璃原板得到由有效部形成的玻璃板;以及第二测定工序,将玻璃板作为对象,利用分光干涉方式的测定器沿着宽度方向从玻璃板的一端到另一端对板厚进行测定,从而得到玻璃板的板厚分布。
如此一来,在执行得到玻璃板的板厚分布的第二测定工序时,使用与吸收方式相比能够进行高分辨率的测定的分光干涉方式的测定器,从而能够得到精细的玻璃板的板厚分布。
在上述的方法中,优选的是,基于玻璃板的板厚分布,取得宽度方向上的玻璃板的长度。
如此一来,基于玻璃板的板厚分布,取得宽度方向上的玻璃板的长度,从而能够进一步适当进行玻璃板的品质管理。
在上述的方法中,优选的是,包括将玻璃板以悬吊支承的状态沿宽度方向搬运的第二搬运工序,在执行第二搬运工序的同时,利用在玻璃板的搬运路径配置的分光干涉方式的测定器执行第二测定工序,并且在玻璃板的上部对板厚进行测定。
如此一来,即使伴随着第二搬运工序的执行而搬运中的玻璃板产生摆动,也能够尽量减小摆动对测定结果带来的影响。因而,能够更准确地得到玻璃板的板厚分布。
另外,用于解决上述的课题的玻璃板的制造装置具备将具有有效部以及比有效部厚的耳部的玻璃原板作为对象并对耳部的板厚进行测定的测定器,玻璃板的制造装置的特征在于,测定器为吸收方式的测定器。
根据本装置,能够同样得到针对上述的玻璃板的制造方法已叙述的作用、效果。
发明效果
根据本发明的玻璃板的制造方法以及制造装置,在板制玻璃造时,能够对具有厚壁的耳部的玻璃原板进行耳部的板厚的测定。
附图说明
图1是示出玻璃板的制造方法以及制造装置的俯视图。
图2是示出玻璃板的制造方法以及制造装置的主视图。
图3是示出玻璃原板的板厚分布的图。
图4是示出玻璃板的板厚分布的图。
具体实施方式
以下,参照附图对实施方式的玻璃板的制造方法以及制造装置进行说明。需要说明的是,在图1以及图2中表示的X方向、Y方向以及Z方向为相互正交的方向。X方向等于玻璃原板G1以及玻璃板G2的宽度方向,Y方向等于玻璃原板G1以及玻璃板G2的厚度方向。另外,Z方向为上下方向。
<玻璃板的制造装置>
首先,从玻璃板的制造装置1(以下,仅记作制造装置1)起进行说明。
图1以及图2所示的制造装置1具备:多个搬运装置2,它们用于将纵置姿态的玻璃原板G1或者玻璃板G2以悬吊支承的状态沿宽度方向(X方向)搬运;第一测定装置3,其用于沿着宽度方向从玻璃原板G1的一端G1a到另一端G1b测定板厚;切断装置(省略图示),其用于通过从玻璃原板G1分割耳部Gx从而从玻璃原板G1得到由有效部Gy形成的玻璃板G2;以及第二测定装置4,其用于沿着宽度方向从玻璃板G2的一端G2a到另一端G2b测定板厚。
这里,对玻璃原板G1以及玻璃板G2进行说明。
玻璃原板G1是通过将利用下拉法(例如溢流下拉法)、浮法从熔融玻璃连续地成形的玻璃带按照规定的长度沿着宽度方向切断从而从玻璃带切出的玻璃原版。玻璃原板G1具有在后成为玻璃板G2的有效部Gy以及比有效部Gy厚的耳部Gx,将有效部Gy夹在中间而在宽度方向的两端形成有耳部Gx。玻璃板G2由被切断装置与耳部Gx分割之后的有效部Gy形成。玻璃板G2(有效部Gy)的厚度t1作为一例为30μm~1100μm,耳部Gx的厚度t2作为一例为1200μm~3000μm。厚度的比例(t2/t1)作为一例为3~8。
在沿着X方向延伸的玻璃原板G1(玻璃板G2)的搬运路径(在图1以及图2中右侧为上游侧,左侧为下游侧)被分割为多个区间,在各区间各配置有一台搬运装置2。即,本制造装置1具备与区间的数量相同的数量的搬运装置2。各搬运装置2能够沿着X方向进行往复动作,且能够在所属的区间内在上游端与下游端之间移动。
各搬运装置2在所属的区间的上游端接收玻璃原板G1或者玻璃板G2。各搬运装置2在将接收到的玻璃原板G1或者玻璃板G2搬运到区间的下游端之后,向属于相邻的区间的搬运装置2交接玻璃原板G1或者玻璃板G2。交接了玻璃原板G1或者玻璃板G2之后的各搬运装置2为了接收接下来的玻璃原板G1或者玻璃板G2而向所属的区间的上游端回归。
在本制造装置1中,利用多个搬运装置2,将从上游工序移送来的多张玻璃原板G1依次向切断装置搬入,并且将从这些玻璃原板G1切出的多张玻璃板G2依次从切断装置搬出并向下游工序移送。
各搬运装置2具备作为能够支承(把持)玻璃原板G1或者玻璃板G2的上边部的支承构件的夹头5。利用该夹头5悬吊玻璃原板G1或者玻璃板G2。夹头5在上述的玻璃原板G1或者玻璃板G2的接收以及交接时,通过使在该夹头5设置的爪开闭,从而进行上边部的支承以及支承的解除。
这里,作为本实施方式的变形例,也可以是,制造装置1代替多个搬运装置2而具备能够沿着玻璃原板G1(玻璃板G2)的搬运路径往复动作的单一搬运装置。即,也可以利用单一的搬运装置搬运玻璃原板G1以及玻璃板G2。另外,作为本实施方式的另一变形例,也可以是,搬运装置2具备能够吸附玻璃原板G1或者玻璃板G2的上边部的吸附垫来作为代替夹头5的支承构件。
第一测定装置3配置于玻璃原板G1的搬运路径。该第一测定装置3是作为吸收方式的测定器的红外线厚度计。第一测定装置3具备投光器6与受光器7。投光器6与受光器7将伴随着搬运而玻璃原板G1所通过的路径线夹在中间地对置。投光器6与受光器7这两者在上下方向(Z方向)上配置于相同的高度位置。投光器6能够对玻璃原板G1的表面G1s垂直地发出红外线8。
在由第一测定装置3进行玻璃原板G1的板厚的测定时,使投光器6发出的红外线8透过(从表面G1s侧向背面G1t侧透过)玻璃原板G1而到达受光器7。通过将此时衰减了的红外线8作为电信号检测出并转换为电流值,从而测定玻璃原板G1的板厚。
第一测定装置3以在玻璃原板G1的上部测定板厚的方式调节其高度位置(Z方向上的位置)。该目的在于尽可能减小伴随着玻璃原板G1的搬运而在该玻璃原板G1产生的摆动(沿着Y方向的摆动)对测定结果带来的影响。关于第一测定装置3的高度位置,更详细地进行说明的话,以在玻璃原板G1的上部中的比被夹头5支承(把持)的部位靠下方且没有与夹头5的支承(把持)相伴的玻璃原板G1的变形的部位处测定板厚的方式调节第一测定装置3的高度位置。作为第一测定装置3(板厚测定部位)的高度位置的一例,是从玻璃原板G1的上边(上侧的边缘)向下方分离100mm~300mm的距离的位置。
第一测定装置3使玻璃原板G1横穿投光器6与受光器7之间,从而从玻璃原板G1的一端G1a到另一端G1b连续地测定板厚(例如以1mm间距进行测定)。由此,沿着在图2中由双点划线表示的线9从该图的左侧朝向右侧进行板厚的测定。这里,作为第一测定装置3能够测定的板厚的范围一例,为超过0μm且3200μm以下。另外,作为第一测定装置3的分辨率一例,为大约2μm。
这里,作为本实施方式的变形例,也可以将红外线厚度计以外的吸收方式的测定器作为第一测定装置3。
切断装置(省略图示)在玻璃原板G1(玻璃板G2)的搬运路径上配置于比第一测定装置3靠下游侧且比第二测定装置4靠上游侧的位置。作为切断装置,只要能够从玻璃原板G1分割耳部Gx,就能够采用任意的装置。作为一例,能够采用具备对处于悬吊支承的状态的玻璃原板G1沿着耳部Gx与有效部Gy的边界线10形成刻划线的机构以及沿着刻划线将玻璃原板G1折断而切断的机构的装置。此外,也可以将利用激光割断、激光熔断沿着边界线10切断玻璃原板G1的装置作为切断装置。
第二测定装置4配置于玻璃板G2的搬运路径。该第二测定装置4具备作为分光干涉方式的测定器的分光干涉仪11以及镜盘12。分光干涉仪11与镜盘12将伴随着搬运而玻璃板G2所通过的路径线夹在中间地对置。分光干涉仪11与镜盘12这两者在上下方向(Z方向)上配置于相同的高度位置。分光干涉仪11能够对玻璃板G2的表面G2s垂直地发出激光13,并且能够接受反射光。镜盘12具有平坦的反射面12a,并且配置为反射面12a与玻璃板G2的表面G2s以及背面G2t平行。
在由第二测定装置4进行玻璃板G2的板厚的测定时,使分光干涉仪11发出的激光13中的在玻璃板G2的表面G2s反射了的一部分光与在背面G2t反射了的一部分光一起被分光干涉仪11接受。而且,分光干涉仪11发出的激光13中的透过(从表面G2s侧向背面G2t侧透过)玻璃板G2而在镜盘12的反射面12a反射之后再次透过(从背面G2t侧向表面G2s侧透过)玻璃板G2的一部分光被分光干涉仪11接受。基于此时的光的干涉,测定玻璃板G2的板厚。
第二测定装置4(分光干涉仪11以及镜盘12)根据与第一测定装置3相同的理由以在玻璃板G2的上部测定板厚的方式调节其高度位置(Z方向上的位置)。详细而言,以在玻璃板G2的上部中的比被夹头5支承(把持)的部位靠下方且没有与夹头5的支承(把持)相伴的玻璃板G2的变形的部位处测定板厚的方式调节第二测定装置4的高度位置。在本实施方式中,第一测定装置3与第二测定装置4位于相同的高度位置。然而,并不限于此,两装置3、4也可以位于不同的高度位置。
第二测定装置4使玻璃板G2横穿分光干涉仪11与镜盘12之间,从而从玻璃板G2的一端G2a到另一端G2b连续地测定板厚(例如以1mm间距进行测定)。由此,沿着在图2中由双点划线表示的线14从该图的左侧朝向右侧进行板厚的测定。这里,第二测定装置4能够测定的板厚的范围作为一例为0.05μm~800μm。另外,第二测定装置4的分辨率作为一例为0.01μm以下。如此,第二测定装置4在与第一测定装置3的比较中,能够测定的板厚的范围较小,而另一方面,测定的分辨率较高。
这里,作为本实施方式的变形例,也可以从第二测定装置4省略镜盘12。在该情况下,分光干涉仪11发出的激光13中的在玻璃板G2的表面G2s反射了的一部分光与在背面G2t反射了的一部分光一起被分光干涉仪11接受。基于此时的光的干涉,测定玻璃板G2的板厚。
<玻璃板的制造方法>
以下,对使用了上述的制造装置1的玻璃板的制造方法(以下,仅记作制造方法)进行说明。
如图1以及如图2所示,本制造方法包括:第一搬运工序P1,使用搬运装置2搬运从玻璃带(省略图示)切出的玻璃原板G1;第一测定工序P2,使用第一测定装置3测定玻璃原板G1的板厚,从而得到玻璃原板G1的板厚分布(参照图3);分割工序P3,使用切断装置从经过了第一测定工序P2的玻璃原板G1分割耳部Gx而得到玻璃板G2;第二搬运工序P4,使用搬运装置2搬运玻璃板G2;以及第二测定工序P5,使用第二测定装置4测定玻璃板G2的板厚,从而得到玻璃板G2的板厚分布(参照图4)。
第一测定工序P2在执行第一搬运工序P1的同时进行。当第一测定工序P2完成时,得到图3所示那样的玻璃原板G1的板厚分布。在玻璃原板G1的板厚分布中包含耳部Gx的板厚分布以及有效部Gy的板厚分布。并且,能够基于玻璃原板G1的板厚分布取得宽度方向上的玻璃原板G1的长度L1。而且,也能够根据玻璃原板G1的板厚分布掌握耳部Gx的宽度(沿着宽度方向的长度)。
分割工序P3在使由搬运装置2进行的搬运(玻璃原板G1的搬运)暂时停止的状态下进行。当从玻璃原板G1分割耳部Gx而得到玻璃板G2时,使由搬运装置2进行的搬运(玻璃板G2的搬运)再次开始。
第二测定工序P5在执行第二搬运工序P4的同时进行。当第二测定工序P5完成时,得到如图4所示那样的玻璃板G2的板厚分布。在玻璃板G2的板厚分布中不包含耳部Gx的板厚分布,仅包含玻璃板G2(有效部Gy)的板厚分布。需要说明的是,图4所示的玻璃板G2的板厚分布相当于在图3中被四边形A包围的部位的板厚分布,但与图3的板厚分布相比较精细。并且,能够基于玻璃板G2的板厚分布取得宽度方向上的玻璃板G2的长度L2。
第二测定工序P5后的玻璃板G2在经过了板厚的测定以外的检查等之后,应对出厂、保管等而在例如托盘上被捆包。如以上那样,制造玻璃板G2。
以下,对上述的制造装置1以及制造方法的主要作用、效果进行说明。
在上述的制造装置1以及制造方法中,在测定玻璃原板G1的耳部Gx的厚度时,使用吸收方式的测定器即第一测定装置3(红外线厚度计)。由于吸收方式的测定器能够测定的板厚的范围较大,因此能够没有问题地测定玻璃原板G1的厚壁的耳部Gx的板厚。
附图标记说明
1 玻璃板的制造装置
3 第一测定装置(红外线厚度计)
11 分光干涉仪
G1 玻璃原板
G1a 玻璃原板的一端
G1b 玻璃原板的另一端
G2 玻璃板
G2a 玻璃板的一端
G2b 玻璃板的另一端
Gx 耳部
Gy 有效部
L1 玻璃原板的长度
L2 玻璃板的长度
P1 第一搬运工序
P2 第一测定工序
P3 分割工序
P4 第二搬运工序
P5 第二测定工序。

Claims (7)

1.一种玻璃板的制造方法,包括将具有有效部以及比所述有效部厚的耳部的玻璃原板作为对象并对所述耳部的板厚进行测定的第一测定工序,
所述玻璃板的制造方法的特征在于,
在所述第一测定工序中,利用吸收方式的测定器对所述耳部的板厚进行测定。
2.根据权利要求1所述的玻璃板的制造方法,其特征在于,
所述玻璃原板将所述有效部夹在中间而在两端具有所述耳部,
在将连结所述两端的耳部的方向设为宽度方向时,
在所述第一测定工序中,通过沿着所述宽度方向从所述玻璃原板的一端到另一端对板厚进行测定,从而得到所述玻璃原板的板厚分布,
基于所述玻璃原板的板厚分布,取得所述宽度方向上的所述玻璃原板的长度。
3.根据权利要求2所述的玻璃板的制造方法,其特征在于,
所述玻璃板的制造方法包括将所述玻璃原板以悬吊支承的状态沿所述宽度方向搬运的第一搬运工序,
在执行所述第一搬运工序的同时,利用在所述玻璃原板的搬运路径配置的所述吸收方式的测定器执行所述第一测定工序,并且在所述玻璃原板的上部对板厚进行测定。
4.根据权利要求2或3所述的玻璃板的制造方法,其特征在于,
所述玻璃板的制造方法包括:
分割工序,从所述玻璃原板分割所述耳部,从而从所述玻璃原板得到由所述有效部形成的玻璃板;以及
第二测定工序,将所述玻璃板作为对象,利用分光干涉方式的测定器沿着所述宽度方向从所述玻璃板的一端到另一端对板厚进行测定,从而得到所述玻璃板的板厚分布。
5.根据权利要求4所述的玻璃板的制造方法,其特征在于,
基于所述玻璃板的板厚分布,取得所述宽度方向上的所述玻璃板的长度。
6.根据权利要求4或5所述的玻璃板的制造方法,其特征在于,
所述玻璃板的制造方法包括将所述玻璃板以悬吊支承的状态沿所述宽度方向搬运的第二搬运工序,
在执行所述第二搬运工序的同时,利用在所述玻璃板的搬运路径配置的所述分光干涉方式的测定器执行所述第二测定工序,并且在所述玻璃板的上部对板厚进行测定。
7.一种玻璃板的制造装置,具备将具有有效部以及比所述有效部厚的耳部的玻璃原板作为对象并对所述耳部的板厚进行测定的测定器,
所述玻璃板的制造装置的特征在于,
所述测定器为吸收方式的测定器。
CN202180050297.0A 2020-09-25 2021-09-01 玻璃板的制造方法以及制造装置 Pending CN115956189A (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020-160346 2020-09-25
JP2020160346A JP7498429B2 (ja) 2020-09-25 2020-09-25 ガラス板の製造方法および製造装置
PCT/JP2021/032189 WO2022064988A1 (ja) 2020-09-25 2021-09-01 ガラス板の製造方法および製造装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN115956189A true CN115956189A (zh) 2023-04-11

Family

ID=80846492

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202180050297.0A Pending CN115956189A (zh) 2020-09-25 2021-09-01 玻璃板的制造方法以及制造装置

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP7498429B2 (zh)
KR (1) KR20230072456A (zh)
CN (1) CN115956189A (zh)
WO (1) WO2022064988A1 (zh)

Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101007107B1 (ko) * 2010-08-16 2011-01-10 서승환 Led 모듈의 검사 장치
JP2013227169A (ja) * 2012-04-25 2013-11-07 Asahi Glass Co Ltd ガラス板の製造方法およびガラス板の製造装置
CN204039250U (zh) * 2014-08-15 2014-12-24 旭硝子株式会社 玻璃板制造装置
CN104470862A (zh) * 2012-02-29 2015-03-25 康宁股份有限公司 玻璃制造设备和方法
JP2015145825A (ja) * 2014-02-03 2015-08-13 日本特殊陶業株式会社 シート厚み計測装置及びシート厚み計測方法
CN106477858A (zh) * 2015-08-31 2017-03-08 安瀚视特控股株式会社 玻璃基板的制造方法及玻璃基板的制造装置
CN106537085A (zh) * 2014-06-04 2017-03-22 康宁股份有限公司 用于测量玻璃制品厚度的方法和系统
JP2017090151A (ja) * 2015-11-06 2017-05-25 旭硝子株式会社 厚さ測定方法、厚さ測定装置及びガラス基板の製造方法
CN108698876A (zh) * 2016-05-12 2018-10-23 日本电气硝子株式会社 玻璃板的制造装置以及玻璃板的制造方法
JP2020066548A (ja) * 2018-10-24 2020-04-30 Agc株式会社 解析装置、フロートガラス製造装置、解析方法及びフロートガラス製造方法
CN111356659A (zh) * 2017-11-15 2020-06-30 日本电气硝子株式会社 玻璃板的制造方法及其制造装置
US20210053858A1 (en) * 2018-03-06 2021-02-25 Corning Incorporated Apparatus and method for controlling substrate thickness

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100652948B1 (ko) 2000-12-08 2006-12-01 삼성코닝 주식회사 액정표시장치용 유리기판의 두께 측정 시스템 및 방법
JP2010143800A (ja) 2008-12-19 2010-07-01 Nippon Electric Glass Co Ltd ガラス板製造装置
JP5582446B2 (ja) * 2009-07-10 2014-09-03 日本電気硝子株式会社 フィルム状ガラスの製造方法及び製造装置
DE102017101808A1 (de) 2016-02-04 2017-08-10 Schott Ag Verfahren zur Dickenkontrolle eines Substrates
DE102018111543A1 (de) 2017-05-22 2018-11-22 Schott Ag Verfahren und Vorrichtung zur Dickenkontrolle eines Materialbands

Patent Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101007107B1 (ko) * 2010-08-16 2011-01-10 서승환 Led 모듈의 검사 장치
CN104470862A (zh) * 2012-02-29 2015-03-25 康宁股份有限公司 玻璃制造设备和方法
JP2013227169A (ja) * 2012-04-25 2013-11-07 Asahi Glass Co Ltd ガラス板の製造方法およびガラス板の製造装置
JP2015145825A (ja) * 2014-02-03 2015-08-13 日本特殊陶業株式会社 シート厚み計測装置及びシート厚み計測方法
CN106537085A (zh) * 2014-06-04 2017-03-22 康宁股份有限公司 用于测量玻璃制品厚度的方法和系统
CN204039250U (zh) * 2014-08-15 2014-12-24 旭硝子株式会社 玻璃板制造装置
CN106477858A (zh) * 2015-08-31 2017-03-08 安瀚视特控股株式会社 玻璃基板的制造方法及玻璃基板的制造装置
JP2017090151A (ja) * 2015-11-06 2017-05-25 旭硝子株式会社 厚さ測定方法、厚さ測定装置及びガラス基板の製造方法
CN108698876A (zh) * 2016-05-12 2018-10-23 日本电气硝子株式会社 玻璃板的制造装置以及玻璃板的制造方法
CN111356659A (zh) * 2017-11-15 2020-06-30 日本电气硝子株式会社 玻璃板的制造方法及其制造装置
US20210053858A1 (en) * 2018-03-06 2021-02-25 Corning Incorporated Apparatus and method for controlling substrate thickness
JP2020066548A (ja) * 2018-10-24 2020-04-30 Agc株式会社 解析装置、フロートガラス製造装置、解析方法及びフロートガラス製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP7498429B2 (ja) 2024-06-12
JP2022053621A (ja) 2022-04-06
KR20230072456A (ko) 2023-05-24
WO2022064988A1 (ja) 2022-03-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5403389B2 (ja) ガラス基板検査装置およびガラス基板検査方法
CN113195182B (zh) 玻璃板制造方法以及玻璃板制造装置
US20040195530A1 (en) Apparatus for measuring gap between mask and substrate using laser displacement sensor, and method thereof
KR101365097B1 (ko) 기판검사장치
KR20120019649A (ko) 레이저 스크라이빙 장치 및 그의 스크라이빙 방법
KR102638514B1 (ko) 유리 기판군 및 그 제조 방법
KR100927956B1 (ko) 유리기판의 파단 검사장치
CN115956189A (zh) 玻璃板的制造方法以及制造装置
KR20090031852A (ko) 대면적 유리 기판의 두께 측정 장치 및 방법
JPH0199286A (ja) スクリーン印刷方法
EP2901127B1 (en) Method for automated in-line determination of center thickness of an ophthalmic lens
KR20160040454A (ko) 시트 부재 반송 장치, 시트 부재 지지 장치, 시트 부재 검사 장치, 및 시트 부재 반송 방법
US6992493B2 (en) Device and method for substrate displacement detection
CN114981218A (zh) 玻璃板制造方法及其制造装置
JP7157927B2 (ja) 梱包体の製造方法及び製造装置
CN102077103B (zh) 半导体测定装置以及方法
KR101785075B1 (ko) 이송용 기준 미러를 사용한 웨이퍼 형상 변화값을 검출하는 장치
TW201643529A (zh) 光配向用偏振光照射裝置
CN110998298B (zh) 板状玻璃的制造方法
KR100755546B1 (ko) 곡률 측정 장비
WO2023100695A1 (ja) ガラス物品の製造方法
JP2001203254A (ja) 基板搬送装置およびこれを備える露光装置
JP5198924B2 (ja) 基板高度測定システムおよび電子部品実装機および基板高度測定方法
CN109079315B (zh) 一种导光板检验装置及方法
CN118265679A (zh) 玻璃物品的制造方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination