CN115929941A - 零死水的超纯管路t型隔膜阀 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种零死水的超纯管路T型隔膜阀，包括阀体组件、隔膜组件和活塞组件；阀体组件包括阀体，阀体是呈T型的三通型阀体，阀体设有左右贯通的呈管状的循环水通道以及位于前侧的取水管道；阀体的内腔中央底部设有阻挡隔膜的左右向设置的凸起，该凸起将循环水通道与取水管道阻隔，并且在循环水通道与取水管道之间形成纵截面呈倒U形的过水通道；阀体1还设有开口向上的用于安装隔膜及阀体螺帽的上颈部；隔膜组件包括隔膜片；隔膜片架设在阀体的凸起的正上方；活塞组件与隔膜片传动连接而能控制隔膜片上下运动启闭。该零死水的超纯管路T型隔膜阀耐腐蚀且能彻底解决管路系统中的死水区域。

Description

零死水的超纯管路T型隔膜阀

技术领域

本发明涉及阀门领域，特别涉及一种用于半导体制造的T型隔膜阀。

背景技术

目前国内半导体及光伏领域正在高速发展，而硅片是光伏发电的主要材料，半导体硅材料是最主要的元素半导体材料，因此光伏属于泛半导体行业。而半导体行业的不断发展使得各种强酸、强碱、强氧化性等介质的应用不断提高，而目前现有大部分隔膜阀产品为不锈钢材质，不锈钢材质无法运用到强酸，强碱，强氧化性的介质中。另外在半导体制造中，需要非常高频率的使用超纯水，而超纯水在输送时，为避免细菌滋生，一般是采用大循环，超纯水一直在循环输送，永远是活水，主管道上开口，需要时去取水；主管道开口后需要接一段直管再接上阀门，阀门控制支管用水的通断，这样在支管直管到阀门这一段还是会存在死水导致细菌滋生，而半导体制造的纯度要求极其高，死水会影响整个制造流程和效率。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种耐腐蚀且能彻底解决管路系统中的死水区域的超纯管路T型隔膜阀。

实现本发明目的的技术方案是提供一种零死水的超纯管路T型隔膜阀，包括阀体组件、隔膜组件和活塞组件；阀体组件包括阀体，阀体是呈T型的三通型阀体，阀体设有左右贯通的呈管状的循环水通道以及位于前侧的取水管道；阀体的内腔中央底部设有阻挡隔膜的左右向设置的凸起，该凸起将循环水通道与取水管道阻隔，并且在循环水通道与取水管道之间形成纵截面呈倒U形的过水通道；阀体1还设有开口向上的用于安装隔膜及阀体螺帽的上颈部；

隔膜组件包括隔膜片；隔膜片架设在阀体的凸起的正上方；活塞组件与隔膜片传动连接而能控制隔膜片上下运动启闭。

进一步的，隔膜组件还包括隔膜片封、外六角螺栓和阀瓣嵌件，其中隔膜片的下方中央设有左右向设置向下凸起的辅助封水条，隔膜片的顶部中央凸出并嵌有一个杆部向上露出的外六角螺栓；隔膜片通过导向凸缘插入阀体的内壁的导向凹槽中并架在阀体的凸起的上方，辅助封水条正对凸起最高处。阀瓣嵌件呈下方由边缘向中间逐渐凸起的柱状，阀瓣嵌件设有上下贯通的四段式轴向通孔，上述四段式通孔从上到下依次三段变小再增大，阀瓣嵌件的最下方的孔段与隔膜片顶部凸出部对应；阀瓣嵌件的周向设有轴向设置的导向条；阀瓣嵌件设置在隔膜片的上方，且由其最下方的孔段套在隔膜片顶部凸出部上。隔膜片封包括呈开口向上的筒形的上壳部和连接在上壳部下方中央的片封部；片封部的外周大小与阀体组件的内腔大小对应，片封部设有与上壳部内腔贯通的上小下大的两段式中央通孔，其下端孔部的直径与阀瓣嵌件的外径对应，片封部的外周上部设有环形的限位圈槽；上壳部的内腔上部周壁设有内螺纹。隔膜片封由其片封部插入阀体组件的内腔内架在隔膜片的上方。

进一步的，阀体组件还包括阀体螺帽，阀体螺帽套在阀体的上颈部上，阀体螺帽与阀体通过螺纹连接，阀体螺帽设有开口向上的通孔。

隔膜组件还包括片封限位圈和第一密封圈；隔膜片封由其片封部的下端面设有的环形槽套在隔膜片的上端面周向边缘设有的环形凸起上限位，隔膜片封由其片封部的外周设有的榫块嵌入阀体的内壁设有的方槽中周向限位，并在片封部与阀体的内腔上部之间设置第一密封圈。片封限位圈呈开口的环形，片封限位圈设置在隔膜片封的片封部的限位圈槽中、阀体螺帽的内上端与隔膜片封之间而对隔膜片封在轴向上限位。隔膜片封的上壳部外周还设有与上壳部内腔贯通的上下设置的两个通气端，其中位于上方的为开阀泄压端，位于下方的为开阀进气端。隔膜片封的上壳部内腔底部边缘设有环形的用于充气的第一充气槽。

进一步的，活塞组件包括活塞、第二密封圈、第三密封圈和弹簧。活塞包括杆部和连接在杆部中央的盘状的限位部，活塞的杆部的外径与隔膜片封的片封部的中央通孔的上段内径对应；活塞21的杆部的下端头与阀瓣嵌件的四段式轴向通孔的上三段形状对应，活塞21的杆部的下端面中央设有内螺孔；活塞21的杆部的上中部和下中部均设有环形的第二密封圈槽；活塞的限位部的外径与隔膜片封的内腔直径对应，活塞的限位部的周向外壁设有环形的第三密封圈槽，活塞的限位部的上端面径向中部设有环形的弹簧槽，活塞的限位部的下端面边缘设有环形的第二充气槽。活塞由其下端头穿过隔膜片封的片封部的上段中央通孔后插入阀瓣嵌件内并由其内螺孔旋合在外六角螺栓上而与隔膜片上下传动连接，并且活塞位于最低位时，第一充气槽与第二充气槽形成充气空间并与开阀进气端贯通。弹簧套在活塞的上部且其底部架在活塞的限位部的弹簧槽内。2个第二密封圈分别设置在第二密封圈槽内，第三密封圈设置在第三密封圈槽内。

进一步的，上述的零死水的超纯管路T型隔膜阀还包括上盖组件；上盖组件包括上盖和第四密封圈。上盖呈周向具有外螺纹的柱形，其外周最上部呈上大下小的阶梯状，并在连接处设有环形的第四密封圈槽；上盖设有上下贯通的中央通孔，且中央通孔的直径与活塞的杆部的直径对应；上盖还设有向下开口的环形的弹簧限位槽，弹簧限位槽的内径与弹簧的内径对应。上盖由其外螺纹旋合在隔膜片封的上壳部的开口处的内螺纹上而旋合连接，且由其中央通孔套在活塞的杆部上，第四密封圈设置在第四密封圈槽以密封；弹簧位于弹簧限位槽内，且套在上盖位于弹簧限位槽处的轴向内壁上而被辅助限位。上盖的弹簧限位槽与活塞的限位部形成的空间与隔膜片封的开阀泄压端贯通。

进一步的，上述阀体、阀体螺帽和活塞均采用PVDF材料制成，隔膜片采用EPDM+PTEF材料制成，隔膜片封、外六角螺栓、阀瓣嵌件、片封限位圈和上盖均采用PPS材料制成，第一密封圈、第二密封圈、第三密封圈和第四密封圈均采用EPDM材料制成，弹簧采用表面喷涂铁氟龙的钢制弹簧。

进一步的，上述零死水的超纯管路T型隔膜阀处于开阀状态时，循环水通道与取水管道通过过水通道贯通，介质由循环水通道因液压流入取水管道，当实施闭阀操作后，开阀进气端泄压，活塞受弹簧弹开的驱动而向下运动，从而向下压迫隔膜片的中部向下运动而抵至阀体的凸起上而切断过水通道，直至活塞的限位部的下方抵至隔膜片封的上壳部的内腔底面，活塞与阀瓣嵌件一起压住隔膜片而关闭阀门；当实施开阀操作后，开阀泄压端泄压，开阀进气端充气，气体率先由开阀进气端进入第一充气槽和第二充气槽，而向上推动活塞向上运动，压缩弹簧，隔膜片31随之向上运动打开，循环水通道与取水管道通过过水通道再次贯通，直至活塞向上运动至活塞的限位部的上端面抵至上盖的中央通孔处的孔壁下端面上。

本发明具有积极的效果：（1）本发明的零死水的超纯管路T型隔膜阀通过阀体设有左右贯通的呈管状的循环水通道以及位于前侧的取水管道，阀体的内腔中央底部设有阻挡隔膜的左右向设置的凸起，该凸起将循环水通道与取水管道阻隔，并且在循环水通道与取水管道之间形成纵截面呈倒U形的过水通道，使得该T型隔膜阀同时具备三通接头与阀门通断的两种功能，通过隔膜片与阀体的凸起的配合使用，彻底解决的死水的存在，为半导体超纯水的水质提升带来了质的变化，减少了超纯水的浪费。

（2）本发明的零死水的超纯管路T型隔膜阀的阀体、阀体螺帽和活塞均采用超纯PVDF材料，具有优良的耐腐蚀性、抗老化性和耐高低温性能，主要适用于对纯度要求比较高，同时需要抗溶剂及酸碱腐蚀的场合，比如半导体行业、制药业以及国防工业等。由于采用具有耐腐蚀高强度的PVDF阀体和耐腐蚀的隔膜片，无填料函结构，截流元件为弹性隔膜片，阀体流道平滑，因此具有阻力小，流量大，无外漏和方便可靠、防火防爆等优点，广泛应用于半导体或者制药行业自动化系统中的超纯水、强酸、强碱、强腐蚀、高粘度、含纤维以及有毒和不允许污染的介质的流量调节。

（3）本发明的零死水的超纯管路T型隔膜阀的隔膜片封包括呈开口向上的筒形的上壳部和连接在上壳部下方中央的片封部；隔膜片封的上壳部外周还设有与上壳部内腔贯通的上下设置的两个通气端，其中位于上方的为开阀泄压端，位于下方的为开阀进气端。隔膜片封的上壳部内腔底部边缘设有环形的用于充气的第一充气槽。活塞位于最低位时，第一充气槽与第二充气槽形成充气空间并与开阀进气端贯通。弹簧套在活塞的上部且其底部架在活塞的限位部的弹簧槽内。2个第二密封圈分别设置在第二密封圈槽内，第三密封圈设置在第三密封圈槽内。活塞上的三道密封圈将活塞的上下空间分为两个密闭的空间，通过弹簧配合气源的控制方式较为稳定，且震动较小，又保证了密封性，极其适用于半导体制造的应用。

附图说明

图1为本发明的零死水的超纯管路T型隔膜阀的一种结构示意图（主视图）；

图2为图1的俯视图；

图3为图1的A-A面剖视图；

图4为本发明的零死水的超纯管路T型隔膜阀的一种立体结构示意图。

上述附图中的标记如下：

阀体11，凸起11-1，循环水通道h1，取水管道h2，过水通道h3，阀体螺帽12，

隔膜片21，辅助封水条21-1，隔膜片封22，开阀进气端22-1，开阀泄压端22-2，外六角螺栓23，阀瓣嵌件24，片封限位圈25，第一密封圈26，第一充气槽h4，

活塞31，第二密封圈32，第三密封圈33，弹簧34，第二充气槽h5，

上盖41，第四密封圈42。

具体实施方式

（实施例1）

见图1至图4，本实施例的零死水的超纯管路T型隔膜阀包括阀体组件、隔膜组件、活塞组件和上盖组件。

阀体组件包括阀体11和阀体螺帽12，阀体11是呈T型的三通型阀体，阀体11设有左右贯通的呈管状的循环水通道h1以及位于前侧的取水管道h2；阀体11的内腔中央底部设有阻挡隔膜的左右向设置的凸起11-1，该凸起将循环水通道h1与取水管道h2阻隔，并且在循环水通道h1与取水管道h2之间形成纵截面呈倒U形的过水通道h3。阀体1还设有开口向上的用于安装隔膜及阀体螺帽的上颈部。阀体螺帽12套在阀体11的上颈部上，阀体螺帽12与阀体11通过螺纹连接，阀体螺帽12设有开口向上的通孔。

隔膜组件包括隔膜片21、隔膜片封22、外六角螺栓23、阀瓣嵌件24、片封限位圈25和第一密封圈26，其中隔膜片21的下方中央设有左右向设置向下凸起的辅助封水条21-1，隔膜片21的顶部中央凸出并嵌有一个杆部向上露出的外六角螺栓23；隔膜片21通过导向凸缘插入阀体11的内壁的导向凹槽中并架在阀体11的凸起11-1的上方，辅助封水条21-1正对凸起11-1最高处。阀瓣嵌件24呈下方由边缘向中间逐渐凸起的柱状，阀瓣嵌件24设有上下贯通的四段式轴向通孔，上述四段式通孔从上到下依次三段变小再增大，阀瓣嵌件24的最下方的孔段与隔膜片21顶部凸出部对应；阀瓣嵌件24的周向设有轴向设置的导向条；阀瓣嵌件24设置在隔膜片21的上方，且由其最下方的孔段套在隔膜片21顶部凸出部上。隔膜片封22包括呈开口向上的筒形的上壳部和连接在上壳部下方中央的片封部；片封部的外周大小与阀体组件的内腔大小对应，片封部设有与上壳部内腔贯通的上小下大的两段式中央通孔，其下端孔部的直径与阀瓣嵌件24的外径对应，片封部的外周上部设有环形的限位圈槽；上壳部的内腔上部周壁设有内螺纹。隔膜片封22由其片封部插入阀体组件的内腔内架在隔膜片21的上方，具体来讲，隔膜片封22由其片封部的下端面设有的环形槽套在隔膜片21的上端面周向边缘设有的环形凸起上限位，隔膜片封22由其片封部的外周设有的榫块嵌入阀体11的内壁设有的方槽中周向限位，并在片封部与阀体11的内腔上部之间设置第一密封圈26以密封。片封限位圈25呈开口的环形，片封限位圈25设置在隔膜片封22的片封部的限位圈槽中、阀体螺帽12的内上端与隔膜片封22之间而对隔膜片封22在轴向上限位。隔膜片封22的上壳部外周还设有与上壳部内腔贯通的上下设置的两个通气端，其中位于上方的为开阀泄压端22-2，位于下方的为开阀进气端22-1。隔膜片封22的上壳部内腔底部边缘设有环形的用于充气的第一充气槽h4。

活塞组件包括活塞31、第二密封圈32、第三密封圈33和弹簧34。活塞31包括杆部和连接在杆部中央的盘状的限位部，活塞31的杆部的外径与隔膜片封22的片封部的中央通孔的上段内径对应；活塞21的杆部的下端头与阀瓣嵌件24的四段式轴向通孔的上三段形状对应，活塞21的杆部的下端面中央设有内螺孔；活塞21的杆部的上中部和下中部均设有环形的第二密封圈槽；活塞31的限位部的外径与隔膜片封22的内腔直径对应，活塞31的限位部的周向外壁设有环形的第三密封圈槽，活塞31的限位部的上端面径向中部设有环形的弹簧槽，活塞31的限位部的下端面边缘设有环形的第二充气槽h5。活塞31由其下端头穿过隔膜片封22的片封部的上段中央通孔后插入阀瓣嵌件24内并由其内螺孔旋合在外六角螺栓23上而与隔膜片21上下传动连接，并且活塞31位于最低位时，第一充气槽h4与第二充气槽h5形成充气空间并与开阀进气端22-1贯通。弹簧34套在活塞31的上部且其底部架在活塞31的限位部的弹簧槽内。2个第二密封圈32分别设置在第二密封圈槽内，第三密封圈33设置在第三密封圈槽内。

上盖组件包括上盖41和第四密封圈42。上盖41呈周向具有外螺纹的柱形，其外周最上部呈上大下小的阶梯状，并在连接处设有环形的第四密封圈槽；上盖41设有上下贯通的中央通孔，且中央通孔的直径与活塞31的杆部的直径对应；上盖41还设有向下开口的环形的弹簧限位槽，弹簧限位槽的内径与弹簧的内径对应。上盖41由其外螺纹旋合在隔膜片封22的上壳部的开口处的内螺纹上而旋合连接，且由其中央通孔套在活塞31的杆部上，第四密封圈42设置在第四密封圈槽以密封；弹簧34位于弹簧限位槽内，且套在上盖41位于弹簧限位槽处的轴向内壁上而被辅助限位。上盖41的弹簧限位槽与活塞31的限位部形成的空间与隔膜片封22的开阀泄压端22-2贯通。

上述阀体11、阀体螺帽12和活塞均采用PVDF材料制成，隔膜片21采用EPDM+PTEF材料制成，隔膜片封22、外六角螺栓23、阀瓣嵌件24、片封限位圈25和上盖41均采用PPS材料制成，第一密封圈26、第二密封圈32、第三密封圈33和第四密封圈42均采用EPDM材料制成，弹簧34采用表面喷涂铁氟龙的钢制弹簧。

本实施例的零死水的超纯管路T型隔膜阀使用时，开阀进气端22-1与气源连接，开阀泄压端22-2与电磁阀连接，如图4处于开阀状态，循环水通道h1与取水管道h2通过过水通道h3贯通，介质可以由循环水通道h1因液压流入取水管道h2，当实施闭阀操作后，开阀进气端22-1泄压，活塞31受弹簧34弹开的驱动而向下运动，从而向下压迫隔膜片21的中部向下运动而抵至阀体11的凸起11-1上而切断过水通道h3，直至活塞31的限位部的下方抵至隔膜片封22的上壳部的内腔底面，活塞31与阀瓣嵌件24一起压住隔膜片21而关闭阀门；当实施开阀操作后，开阀泄压端22-2泄压，开阀进气端22-1充气，气体率先由开阀进气端22-1进入第一充气槽h4和第二充气槽h5，而向上推动活塞31向上运动，压缩弹簧34，隔膜片31随之向上运动打开，循环水通道h1与取水管道h2通过过水通道h3再次贯通，直至活塞31向上运动至活塞31的限位部的上端面抵至上盖41的中央通孔处的孔壁下端面上，开阀操作完成。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而这些属于本发明的精神所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明的保护范围之中。

Claims (7)

1.一种零死水的超纯管路T型隔膜阀，其特征在于：包括阀体组件、隔膜组件和活塞组件；阀体组件包括阀体（11），阀体（11）是呈T型的三通型阀体，阀体（11）设有左右贯通的呈管状的循环水通道（h1）以及位于前侧的取水管道（h2）；阀体（11）的内腔中央底部设有阻挡隔膜的左右向设置的凸起（11-1），该凸起将循环水通道（h1）与取水管道（h2）阻隔，并且在循环水通道（h1）与取水管道（h2）之间形成纵截面呈倒U形的过水通道（h3）；阀体1还设有开口向上的用于安装隔膜及阀体螺帽的上颈部；

隔膜组件包括隔膜片（21）；隔膜片（21）架设在阀体（11）的凸起（11-1）的正上方；活塞组件与隔膜片（21）传动连接而能控制隔膜片（21）上下运动启闭。

2.根据权利要求1所述的零死水的超纯管路T型隔膜阀，其特征在于：隔膜组件还包括隔膜片封（22）、外六角螺栓（23）和阀瓣嵌件（24），其中隔膜片（21）的下方中央设有左右向设置向下凸起的辅助封水条（21-1），隔膜片（21）的顶部中央凸出并嵌有一个杆部向上露出的外六角螺栓（23）；隔膜片（21）通过导向凸缘插入阀体（11）的内壁的导向凹槽中并架在阀体（11）的凸起（11-1）的上方，辅助封水条（21-1）正对凸起（11-1）最高处；阀瓣嵌件（24）呈下方由边缘向中间逐渐凸起的柱状，阀瓣嵌件（24）设有上下贯通的四段式轴向通孔，上述四段式通孔从上到下依次三段变小再增大，阀瓣嵌件（24）的最下方的孔段与隔膜片（21）顶部凸出部对应；阀瓣嵌件（24）的周向设有轴向设置的导向条；阀瓣嵌件（24）设置在隔膜片（21）的上方，且由其最下方的孔段套在隔膜片（21）顶部凸出部上；隔膜片封（22）包括呈开口向上的筒形的上壳部和连接在上壳部下方中央的片封部；片封部的外周大小与阀体组件的内腔大小对应，片封部设有与上壳部内腔贯通的上小下大的两段式中央通孔，其下端孔部的直径与阀瓣嵌件（24）的外径对应，片封部的外周上部设有环形的限位圈槽；上壳部的内腔上部周壁设有内螺纹；隔膜片封（22）由其片封部插入阀体组件的内腔内架在隔膜片（21）的上方。

3.根据权利要求2所述的零死水的超纯管路T型隔膜阀，其特征在于：阀体组件还包括阀体螺帽（12），阀体螺帽（12）套在阀体（11）的上颈部上，阀体螺帽（12）与阀体（11）通过螺纹连接，阀体螺帽（12）设有开口向上的通孔；

隔膜组件还包括片封限位圈（25）和第一密封圈（26）；隔膜片封（22）由其片封部的下端面设有的环形槽套在隔膜片（21）的上端面周向边缘设有的环形凸起上限位，隔膜片封（22）由其片封部的外周设有的榫块嵌入阀体（11）的内壁设有的方槽中周向限位，并在片封部与阀体（11）的内腔上部之间设置第一密封圈（26）；片封限位圈（25）呈开口的环形，片封限位圈（25）设置在隔膜片封（22）的片封部的限位圈槽中、阀体螺帽（12）的内上端与隔膜片封（22）之间而对隔膜片封（22）在轴向上限位；隔膜片封（22）的上壳部外周还设有与上壳部内腔贯通的上下设置的两个通气端，其中位于上方的为开阀泄压端（22-2），位于下方的为开阀进气端（22-1）；隔膜片封（22）的上壳部内腔底部边缘设有环形的用于充气的第一充气槽（h4）。

4.根据权利要求2或3所述的零死水的超纯管路T型隔膜阀，其特征在于：活塞组件包括活塞（31）、第二密封圈（32）、第三密封圈（33）和弹簧（34）；活塞（31）包括杆部和连接在杆部中央的盘状的限位部，活塞（31）的杆部的外径与隔膜片封（22）的片封部的中央通孔的上段内径对应；活塞21的杆部的下端头与阀瓣嵌件（24）的四段式轴向通孔的上三段形状对应，活塞21的杆部的下端面中央设有内螺孔；活塞21的杆部的上中部和下中部均设有环形的第二密封圈槽；活塞（31）的限位部的外径与隔膜片封（22）的内腔直径对应，活塞（31）的限位部的周向外壁设有环形的第三密封圈槽，活塞（31）的限位部的上端面径向中部设有环形的弹簧槽，活塞（31）的限位部的下端面边缘设有环形的第二充气槽（h5）；活塞（31）由其下端头穿过隔膜片封（22）的片封部的上段中央通孔后插入阀瓣嵌件（24）内并由其内螺孔旋合在外六角螺栓（23）上而与隔膜片（21）上下传动连接，并且活塞（31）位于最低位时，第一充气槽（h4）与第二充气槽（h5）形成充气空间并与开阀进气端（22-1）贯通；弹簧（34）套在活塞（31）的上部且其底部架在活塞（31）的限位部的弹簧槽内；2个第二密封圈（32）分别设置在第二密封圈槽内，第三密封圈（33）设置在第三密封圈槽内。

5.根据权利要求4所述的零死水的超纯管路T型隔膜阀，其特征在于：还包括上盖组件；上盖组件包括上盖（41）和第四密封圈（42）；上盖（41）呈周向具有外螺纹的柱形，其外周最上部呈上大下小的阶梯状，并在连接处设有环形的第四密封圈槽；上盖（41）设有上下贯通的中央通孔，且中央通孔的直径与活塞（31）的杆部的直径对应；上盖（41）还设有向下开口的环形的弹簧限位槽，弹簧限位槽的内径与弹簧的内径对应；上盖（41）由其外螺纹旋合在隔膜片封（22）的上壳部的开口处的内螺纹上而旋合连接，且由其中央通孔套在活塞（31）的杆部上，第四密封圈（42）设置在第四密封圈槽以密封；弹簧（34）位于弹簧限位槽内，且套在上盖（41）位于弹簧限位槽处的轴向内壁上而被辅助限位；上盖（41）的弹簧限位槽与活塞（31）的限位部形成的空间与隔膜片封（22）的开阀泄压端（22-2）贯通。

6.根据权利要求5所述的零死水的超纯管路T型隔膜阀，其特征在于：所述阀体（11）、阀体螺帽（12）和活塞均采用PVDF材料制成，隔膜片（21）采用EPDM+PTEF材料制成，隔膜片封（22）、外六角螺栓（23）、阀瓣嵌件（24）、片封限位圈（25）和上盖（41）均采用PPS材料制成，第一密封圈（26）、第二密封圈（32）、第三密封圈（33）和第四密封圈（42）均采用EPDM材料制成，弹簧（34）采用表面喷涂铁氟龙的钢制弹簧。

7.根据权利要求5所述的零死水的超纯管路T型隔膜阀，其特征在于：所述零死水的超纯管路T型隔膜阀处于开阀状态时，循环水通道（h1）与取水管道（h2）通过过水通道（h3）贯通，介质由循环水通道（h1）因液压流入取水管道（h2），当实施闭阀操作后，开阀进气端（22-1）泄压，活塞（31）受弹簧（34）弹开的驱动而向下运动，从而向下压迫隔膜片（21）的中部向下运动而抵至阀体（11）的凸起（11-1）上而切断过水通道（h3），直至活塞（31）的限位部的下方抵至隔膜片封（22）的上壳部的内腔底面，活塞（31）与阀瓣嵌件（24）一起压住隔膜片（21）而关闭阀门；当实施开阀操作后，开阀泄压端（22-2）泄压，开阀进气端（22-1）充气，气体率先由开阀进气端（22-1）进入第一充气槽（h4）和第二充气槽（h5），而向上推动活塞（31）向上运动，压缩弹簧（34），隔膜片31随之向上运动打开，循环水通道（h1）与取水管道（h2）通过过水通道（h3）再次贯通，直至活塞（31）向上运动至活塞（31）的限位部的上端面抵至上盖（41）的中央通孔处的孔壁下端面上。

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