CN117386854A - 一种半导体用大小流量切换阀及其使用方法 - Google Patents

Abstract

本发明属于流量阀技术领域，具体涉及一种半导体用大小流量切换阀及其使用方法，本半导体用大小流量切换阀包括：阀体、第一驱动机构、第一胶塞、第二驱动组件和第二胶塞；当第一活动腔内为正压时，正压将第一胶塞的第一环边压紧在第一活动腔与第一切换室之间第一密封槽内；当第二活动腔内为正压时，正压将第二胶塞的第二环边压紧在第二活动腔与第二切换室之间第二密封槽内；本发明通过第一驱动机构、第二驱动机构分别向第一胶塞的第一环边、第二胶塞的第二环边施加压力，能够克服大小流量切换阀内密封件松动的问题，同时无论密封件为动态使用还是静态使用，通过正压进行压紧，能够变相提高密封件的使用寿命。

Description

一种半导体用大小流量切换阀及其使用方法

技术领域

本发明属于流量阀技术领域，具体涉及一种半导体用大小流量切换阀及其使用方法。

背景技术

半导体制备工艺中需要用到腐蚀性溶液，并且通过大小流量切换阀对流量进行调节，由于腐蚀性溶液具有挥发性和腐蚀性，对于大小流量切换阀的密封性要求会非常高。

而常规的大小流量切换阀需要频繁动作，会导致大小流量切换阀内密封件松动，不仅影响大小流量切换阀整体的密封性，还会降低密封件的使用寿命，并且即使密封件长期静态使用，密封件也会存在老化、硬化问题，导致大小流量切换阀的密封性降低。

因此，亟需开发一种新的半导体用大小流量切换阀及其使用方法，以解决上述问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种半导体用大小流量切换阀及其使用方法。

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种半导体用大小流量切换阀，其包括：阀体、第一驱动机构、第一胶塞、第二驱动组件和第二胶塞；其中所述阀体内开设有第一活动腔、第二活动腔、第一切换室、第二切换室、第一流道、第二流道和第三流道，所述第一驱动机构与第一胶塞相连，所述第二驱动机构与第二胶塞相连，所述第一驱动机构活动安装在第一活动腔内，所述第一胶塞安装在第一切换室内，所述第二驱动机构活动安装在第二活动腔内，所述第二胶塞安装在第二切换室内；所述第一胶塞隔断第一活动腔与第一切换室，所述第二胶塞隔断第二活动腔与第二切换室，所述第一切换室通过第三流道与第二切换室连通，所述第二切换室与第二流道连通；所述第一驱动机构带动第一胶塞在第一切换室内动作，以使所述第一流道与第一切换室连通或截断；所述第二驱动机构带动第二胶塞在第一切换室内动作，以使所述第一流道与第二切换室连通或截断；当所述第一活动腔内为正压时，正压将所述第一胶塞的第一环边压紧在第一活动腔与第一切换室之间第一密封槽内；当所述第二活动腔内为正压时，正压将所述第二胶塞的第二环边压紧在第二活动腔与第二切换室之间第二密封槽内。

进一步，所述第一驱动机构包括：第一活动体、第一上气泵和第一下气泵；所述第一活动体的第一分隔部紧贴第一活动腔，以将所述第一活动腔分为第一上活动腔和第一下活动腔；所述第一活动体的第一连接部与第一胶塞相连；所述阀体上设置有连通第一上活动腔的第一上气口，所述第一上气口与第一上气泵相连；所述阀体上设置有连通第一下活动腔的第一下气口，所述第一下气口与第一下气泵相连。

进一步，所述阀体内设置有第一限位部，所述第一限位部位于第一密封槽内；所述第一限位部挤压第一环边，以使所述第一胶塞隔断第一活动腔与第一切换室。

进一步，所述第一限位部呈环状设置，所述第一限位部的横截面呈V形或三角形设置。

进一步，所述第一胶塞分为第一塞体、第一柔性部、第一环边；所述第一塞体与第一活动体的第一连接部相连，所述第一塞体通过第一柔性部连接第一环边，所述第一环边通过第一限位部卡装在第一密封槽内；所述第一环边上开设有第一凹槽，所述阀体内设置有第一气道，所述第一气道连通第一下活动腔与第一凹槽；当所述第一下活动腔中充气时，所述第一下活动腔通过第一气道向第一凹槽施加压力，以使所述第一环边贴紧在第一密封槽内。

进一步，所述第一凹槽的深度小于第一限位部的高度。

进一步，所述第一凹槽呈环状设置，且所述第一凹槽的横截面呈方形或倒梯形设置。

进一步，所述第一活动体通过第一弹簧设置在第一活动腔内。

进一步，所述第一连接部与第一胶塞通过螺纹配合进行连接。

进一步，所述第二驱动机构包括：第二活动体、第二上气泵和第二下气泵；所述第二活动体的第二分隔部紧贴第二活动腔，以将所述第二活动腔分为第二上活动腔和第二下活动腔；所述第二活动体的第二连接部与第二胶塞相连；所述阀体上设置有连通第二上活动腔的第二上气口，所述第二上气口与第二上气泵相连；所述阀体上设置有连通第二下活动腔的第二下气口，所述第二下气口与第二下气泵相连。

进一步，所述阀体内设置有第二限位部，所述第二限位部位于第二密封槽内；所述第二限位部挤压第二环边，以使所述第二胶塞隔断第二活动腔与第二切换室。

进一步，所述第二限位部呈环状设置，所述第二限位部的横截面呈V形或三角形设置。

进一步，所述第二胶塞分为第二塞体、第二柔性部、第二环边；所述第二塞体与第二活动体的第二连接部相连，所述第二塞体通过第二柔性部连接第二环边，所述第二环边通过第二限位部卡装在第二密封槽内；所述第二环边上开设有第二凹槽，所述阀体内设置有第二气道，所述第二气道连通第二下活动腔与第二凹槽；当所述第二下活动腔中充气时，所述第二下活动腔通过第二气道向第二凹槽施加压力，以使所述第二环边贴紧在第二密封槽内。

进一步，所述第二凹槽的深度小于第二限位部的高度。

进一步，所述第二凹槽呈环状设置，且所述第二凹槽的横截面呈方形或倒梯形设置。

另一方面，本发明提供一种采用如上述的半导体用大小流量切换阀的使用方法，其包括：通过第一驱动机构带动第一胶塞在第一切换室内动作，以使第一流道与第一切换室连通或截断；通过第二驱动机构带动第二胶塞在第一切换室内动作，以使第一流道与第二切换室连通或截断；当第一活动腔内为正压时，正压将第一胶塞的第一环边压紧在第一活动腔与第一切换室之间第一密封槽内；当第二活动腔内为正压时，正压将第二胶塞的第二环边压紧在第二活动腔与第二切换室之间第二密封槽内。

本发明的有益效果是，本发明通过第一驱动机构、第二驱动机构分别向第一胶塞的第一环边、第二胶塞的第二环边施加压力，能够克服大小流量切换阀内密封件松动的问题，同时无论密封件为动态使用还是静态使用，通过正压进行压紧，能够变相提高密封件的使用寿命。

本发明的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。

为使本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明的半导体用大小流量切换阀的结构图；

图2是本发明的半导体用大小流量切换阀的剖视图；

图3是本发明的第一驱动机构的结构图；

图4是本发明的第一胶塞的结构图；

图5是本发明的第一胶塞的剖视图；

图6是本发明的第一限位部的结构图；

图7是本发明的图2中A处的局部放大图；

图8是本发明的第一环边压紧在第一密封槽内的示意图；

图9是本发明的第一凹槽通过第一气道连通第一下活动腔的结构图；

图10是本发明的半导体用大小流量切换阀的另一种可选实施方式的结构图。

图中：

1、阀体；11、第一活动腔；111、第一上气口；112、第一下气口；12、第二活动腔；121、第二上气口；122、第二下气口；13、第一切换室；14、第二切换室；15、第一流道；151、第一接口；16、第二流道；161、第二接口；17、第三流道；18、第一限位部；19、第一气道；

2、第一驱动机构；21、第一活动体；211、第一分隔部；212、第一连接部；213、第一弹簧；

3、第一胶塞；31、第一塞体；32、第一柔性部；33、第一环边；331、第一凹槽；

4、第二驱动组件；

5、第二胶塞；

6、螺帽；

7、调速杆；

8、连接杆。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例1，在本实施例中，如图1至图9所示，本实施例提供了一种半导体用大小流量切换阀，其包括：阀体1、第一驱动机构2、第一胶塞3、第二驱动组件4和第二胶塞5；其中所述阀体1内开设有第一活动腔11、第二活动腔12、第一切换室13、第二切换室14、第一流道15、第二流道16和第三流道17，所述第一驱动机构2与第一胶塞3相连，所述第二驱动机构与第二胶塞5相连，所述第一驱动机构2活动安装在第一活动腔11内，所述第一胶塞3安装在第一切换室13内，所述第二驱动机构活动安装在第二活动腔12内，所述第二胶塞5安装在第二切换室14内；所述第一胶塞3隔断第一活动腔11与第一切换室13，所述第二胶塞5隔断第二活动腔12与第二切换室14，所述第一切换室13通过第三流道17与第二切换室14连通，所述第二切换室14与第二流道16连通；所述第一驱动机构2带动第一胶塞3在第一切换室13内动作，以使所述第一流道15与第一切换室13连通或截断；所述第二驱动机构带动第二胶塞5在第一切换室13内动作，以使所述第一流道15与第二切换室14连通或截断；当所述第一活动腔11内为正压时，正压将所述第一胶塞3的第一环边33压紧在第一活动腔11与第一切换室13之间第一密封槽内；当所述第二活动腔12内为正压时，正压将所述第二胶塞5的第二环边压紧在第二活动腔12与第二切换室14之间第二密封槽内。

具体地，正压指的是比常压（大气压）的气体压力高的气体状态。

具体地，阀体1上开设有第一接口151、第二接口161，第一接口151连接第一流道15与相应管道，第二接口161连接第二流道16与相应管道。

在本实施例中，本实施例通过第一驱动机构2、第二驱动机构分别向第一胶塞3的第一环边33、第二胶塞5的第二环边施加压力，能够克服大小流量切换阀内密封件松动的问题，同时无论密封件为动态使用还是静态使用，通过正压进行压紧，能够变相提高密封件的使用寿命。

在本实施例中，所述第一驱动机构2包括：第一活动体21、第一上气泵和第一下气泵；所述第一活动体21的第一分隔部211紧贴第一活动腔11，以将所述第一活动腔11分为第一上活动腔和第一下活动腔；所述第一活动体21的第一连接部212与第一胶塞3相连；所述阀体1上设置有连通第一上活动腔的第一上气口111，所述第一上气口111与第一上气泵相连；所述阀体1上设置有连通第一下活动腔的第一下气口112，所述第一下气口112与第一下气泵相连。

具体地，第一上气泵通过第一上气口111能够向第一上活动腔内充气或抽气，第一下气泵通过第一下气口112能够向第一下活动腔内充气或抽气，而本实施例中，为了保证能将第一环边33压紧在第一密封槽内，第一下气口112作为进气口或排气口，能够保证第一下活动腔内为正压。

在本实施例中，所述阀体1内设置有第一限位部18，所述第一限位部18位于第一密封槽内；所述第一限位部18挤压第一环边33，以使所述第一胶塞3隔断第一活动腔11与第一切换室13。

具体地，第一限位部18在第一密封槽内硬挤压第一环边33，使得第一环边33变形与第一密封槽完全紧贴，实现将第一下活动腔与第一切换室13隔断。

在本实施例中，所述第一限位部18呈环状设置，所述第一限位部18的横截面呈V形或三角形设置。

具体地，将第一限位部18设置成尖角形状，便于挤压第一环边33，同时能够避免第一环边33在第一密封槽内移位，起到提高密封性的作用。

在本实施例中，所述第一胶塞3分为第一塞体31、第一柔性部32、第一环边33；所述第一塞体31与第一活动体21的第一连接部212相连，所述第一塞体31通过第一柔性部32连接第一环边33，所述第一环边33通过第一限位部18卡装在第一密封槽内；所述第一环边33上开设有第一凹槽331，所述阀体1内设置有第一气道19，所述第一气道19连通第一下活动腔与第一凹槽331；当所述第一下活动腔中充气时，所述第一下活动腔通过第一气道19向第一凹槽331施加压力，以使所述第一环边33贴紧在第一密封槽内。

具体地，当第一上活动腔内压力大于第一下活动腔内压力时，能够向第一分隔部211施加向下压力，进而推动第一连接部212、第一塞体31向下移动，直至第一塞体31将第一流道15与第一切换室13截断，当第一上活动腔内压力小于第一下活动腔内压力时，能够向第一分隔部211施加向上压力，进而推动第一连接部212、第一塞体31向上移动，使第一流道15与第一切换室13连通。

具体地，第一塞体31能够通过第一柔性部32向上或向下移动，在第一塞体31向上运动的过程中，会给到第一环边33一个向上的作用力，而本实施例中，通过在第一环边33上开设第一凹槽331，并且在阀体1中开设第一气道19连通第一凹槽331与第一下活动腔，第一下活动腔中正压会对第一环边33施加向下的作用力，进而避免第一环边33会被上拉导致第一环边33与第一密封槽之间产生缝隙，能够保证第一环边33在第一密封槽内处于稳定姿态，提高半导体用大小流量切换阀的密封性。

具体地，即使第一胶塞3长期静态使用也存在老化、硬化问题，但是由于第一下活动腔中正压会对第一环边33施加向下的作用力，同时配合第一限位部18形成翘板状，保证第一环边33完全紧贴第一密封槽将其堵住，相当于增加第一胶塞3的使用寿命。

在本实施例中，所述第一凹槽331的深度小于第一限位部18的高度。

具体地，由于第一凹槽331的深度小于第一限位部18的高度，正压向第一凹槽331施加压力，压力通过第一环边33传递到第一限位部18的侧面，实现第一环边33与第一限位部18紧贴，使得第一凹槽331与第一限位部18将第一环边33夹住，进一步提高第一胶塞3的密封性。

在本实施例中，所述第一凹槽331呈环状设置，且所述第一凹槽331的横截面呈方形或倒梯形设置。

具体地，当第一凹槽331的横截面成倒梯形设置时，第一凹槽331受力面积更大，第一凹槽331与第一限位部18对第一环边33的夹紧力更好。

在本实施例中，所述第一活动体21通过第一弹簧213设置在第一活动腔11内。

在本实施例中，所述第一连接部212与第一胶塞3通过螺纹配合进行连接。

在本实施例中，所述第二驱动机构包括：第二活动体、第二上气泵和第二下气泵；所述第二活动体的第二分隔部紧贴第二活动腔12，以将所述第二活动腔12分为第二上活动腔和第二下活动腔；所述第二活动体的第二连接部与第二胶塞5相连；所述阀体1上设置有连通第二上活动腔的第二上气口121，所述第二上气口121与第二上气泵相连；所述阀体1上设置有连通第二下活动腔的第二下气口122，所述第二下气口122与第二下气泵相连。

具体地，第二上气泵通过第二上气口121能够向第二上活动腔内充气或抽气，第二下气泵通过第二下气口122能够向第二下活动腔内充气或抽气，而本实施例中，为了保证能将第二环边压紧在第二密封槽内，第二下气口122作为进气口或排气口，能够保证第二下活动腔内为正压。

在本实施例中，所述阀体1内设置有第二限位部，所述第二限位部位于第二密封槽内；所述第二限位部挤压第二环边，以使所述第二胶塞5隔断第二活动腔12与第二切换室14。

具体地，第二限位部在第二密封槽内硬挤压第二环边，使得第二环边变形与第二密封槽完全紧贴，实现将第二下活动腔与第二切换室14隔断。

在本实施例中，所述第二限位部呈环状设置，所述第二限位部的横截面呈V形或三角形设置。

具体地，将第二限位部设置成尖角形状，便于挤压第二环边，同时能够避免第二环边在第二密封槽内移位，起到提高密封性的作用。

在本实施例中，所述第二胶塞5分为第二塞体、第二柔性部、第二环边；所述第二塞体与第二活动体的第二连接部相连，所述第二塞体通过第二柔性部连接第二环边，所述第二环边通过第二限位部卡装在第二密封槽内；所述第二环边上开设有第二凹槽，所述阀体1内设置有第二气道，所述第二气道连通第二下活动腔与第二凹槽；当所述第二下活动腔中充气时，所述第二下活动腔通过第二气道向第二凹槽施加压力，以使所述第二环边贴紧在第二密封槽内。

具体地，当第二上活动腔内压力大于第二下活动腔内压力时，能够向第二分隔部施加向下压力，进而推动第二连接部、第二塞体向下移动，直至第二塞体将第一流道15与第二切换室14截断，当第二上活动腔内压力小于第二下活动腔内压力时，能够向第二分隔部施加向上压力，进而推动第二连接部、第二塞体向上移动，使第一流道15与第二切换室14连通。

具体地，第二塞体能够通过第二柔性部向上或向下移动，在第二塞体向上运动的过程中，会给到第二环边一个向上的作用力，而本实施例中，通过在第二环边上开设第二凹槽，并且在阀体1中开设第二气道连通第二凹槽与第二下活动腔，第二下活动腔中正压会对第二环边施加向下的作用力，进而避免第二环边会被上拉导致第二环边与第二密封槽之间产生缝隙，能够保证第二环边在第二密封槽内处于稳定姿态，提高半导体用大小流量切换阀的密封性。

具体地，即使第二胶塞5长期静态使用也存在老化、硬化问题，但是由于第二下活动腔中正压会对第二环边施加向下的作用力，同时配合第二限位部形成翘板状，保证第二环边完全紧贴第二密封槽将其堵住，相当于增加第二胶塞5的使用寿命。

在本实施例中，所述第二凹槽的深度小于第二限位部的高度。

具体地，由于第二凹槽的深度小于第二限位部的高度，正压向第二凹槽施加压力，压力通过第二环边传递到第二限位部的侧面，实现第二环边与第二限位部紧贴，使得第二凹槽与第二限位部将第二环边夹住，进一步提高第二胶塞5的密封性。

在本实施例中，所述第二凹槽呈环状设置，且所述第二凹槽的横截面呈方形或倒梯形设置。

具体地，当第二凹槽的横截面成倒梯形设置时，第二凹槽受力面积更大，第二凹槽与第二限位部对第二环边的夹紧力更好。

在本实施例中，所述第二活动体通过第二弹簧设置在第二活动腔12内。

在本实施例中，所述第二连接部与第二胶塞5通过螺纹配合进行连接。

工作原理

当第一胶塞3、第二胶塞5处于动态工况时，无论第一下活动腔内充气或排气，在第一下活动腔内形成正压，正压向第一环边33施加向下作用力，能够克服第一塞体31在运动时对第一环边33的作用力，避免第一环边33在第一密封槽内移位、松动，起到增强密封性的作用。

当第一胶塞3、第二胶塞5处于静态工况时，同时向第一上活动腔、第一下活动腔内充气，在第一下活动腔内形成正压，正压向第一环边33施加向下作用力，使得第一环边33紧贴第一密封槽，能够克服第一胶塞3因老化、硬化与第一密封槽产生缝隙的问题，一方面起到增强密封性的作用，另一方面能够增加第一胶塞3、第二胶塞5的使用寿命。

实施例2，在实施例1的基础上，本实施例提供一种采用如实施例1所提供的半导体用大小流量切换阀的使用方法，其包括：通过第一驱动机构2带动第一胶塞3在第一切换室13内动作，以使第一流道15与第一切换室13连通或截断；通过第二驱动机构带动第二胶塞5在第一切换室13内动作，以使第一流道15与第二切换室14连通或截断；当第一活动腔11内为正压时，正压将第一胶塞3的第一环边33压紧在第一活动腔11与第一切换室13之间第一密封槽内；当第二活动腔12内为正压时，正压将第二胶塞5的第二环边压紧在第二活动腔12与第二切换室14之间第二密封槽内。

实施例3，在上述实施例的基础上，如图10所示，本实施例提供了一种半导体用大小流量切换阀，其包括：阀体1、第一驱动机构2、第一胶塞3、第二驱动组件4和第二胶塞5；其中所述阀体1内开设有第一活动腔11、第二活动腔12、第一切换室13、第二切换室14、第一流道15、第二流道16和第三流道17，所述第一驱动机构2与第一胶塞3相连，所述第二驱动机构与第二胶塞5相连，所述第一驱动机构2活动安装在第一活动腔11内，所述第一胶塞3安装在第一切换室13内，所述第二驱动机构活动安装在第二活动腔12内，所述第二胶塞5安装在第二切换室14内；所述第一胶塞3隔断第一活动腔11与第一切换室13，所述第二胶塞5隔断第二活动腔12与第二切换室14，所述第一切换室13通过第三流道17与第二切换室14连通，所述第二切换室14与第二流道16连通；所述第一驱动机构2带动第一胶塞3在第一切换室13内动作，以使所述第一流道15与第一切换室13连通或截断；所述第二驱动机构带动第二胶塞5在第一切换室13内动作，以使所述第一流道15与第二切换室14连通或截断。

本实施例与实施例1的区别在于，本实施例中第一胶塞3、第二胶塞5为标准胶塞。

在本实施例中，半导体用大小流量切换阀还包括：螺帽6、调速杆7、连接杆8；螺帽6与调速杆7螺纹连接，调速杆7与连接杆8螺纹连接，连接杆8与第一活动体21固定连接，连接杆8只能上下移动而无法旋转，并且螺帽6与调速杆7之间的螺距与调速杆7与连接杆8之间的螺距不同，通过螺距差实现螺纹减速及高度微调。

综上所述，本发明通过第一驱动机构、第二驱动机构分别向第一胶塞的第一环边、第二胶塞的第二环边施加压力，能够克服大小流量切换阀内密封件松动的问题，同时无论密封件为动态使用还是静态使用，通过正压进行压紧，能够变相提高密封件的使用寿命。

本申请中选用的各个器件（未说明具体结构的部件）均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。

在本发明实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本申请所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的系统、装置和方法，可以通过其它的方式实现。以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，例如，所述单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，又例如，多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些通信接口，装置或单元的间接耦合或通信连接，可以是电性，机械或其它的形式。

所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。

另外，在本发明各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理单元中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中。

以上述依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (11)

1.一种半导体用大小流量切换阀，其特征在于，包括：

阀体、第一驱动机构、第一胶塞、第二驱动组件和第二胶塞；其中

所述阀体内开设有第一活动腔、第二活动腔、第一切换室、第二切换室、第一流道、第二流道和第三流道，所述第一驱动机构与第一胶塞相连，所述第二驱动机构与第二胶塞相连，所述第一驱动机构活动安装在第一活动腔内，所述第一胶塞安装在第一切换室内，所述第二驱动机构活动安装在第二活动腔内，所述第二胶塞安装在第二切换室内；

所述第一胶塞隔断第一活动腔与第一切换室，所述第二胶塞隔断第二活动腔与第二切换室，所述第一切换室通过第三流道与第二切换室连通，所述第二切换室与第二流道连通；

所述第一驱动机构带动第一胶塞在第一切换室内动作，以使所述第一流道与第一切换室连通或截断；

所述第二驱动机构带动第二胶塞在第一切换室内动作，以使所述第一流道与第二切换室连通或截断；

当所述第一活动腔内为正压时，正压将所述第一胶塞的第一环边压紧在第一活动腔与第一切换室之间第一密封槽内；

当所述第二活动腔内为正压时，正压将所述第二胶塞的第二环边压紧在第二活动腔与第二切换室之间第二密封槽内。

2.如权利要求1所述的半导体用大小流量切换阀，其特征在于，

所述第一驱动机构包括：第一活动体、第一上气泵和第一下气泵；

所述第一活动体的第一分隔部紧贴第一活动腔，以将所述第一活动腔分为第一上活动腔和第一下活动腔；

所述第一活动体的第一连接部与第一胶塞相连；

所述阀体上设置有连通第一上活动腔的第一上气口，所述第一上气口与第一上气泵相连；

所述阀体上设置有连通第一下活动腔的第一下气口，所述第一下气口与第一下气泵相连。

3.如权利要求2所述的半导体用大小流量切换阀，其特征在于，

所述阀体内设置有第一限位部，所述第一限位部位于第一密封槽内；

所述第一限位部挤压第一环边，以使所述第一胶塞隔断第一活动腔与第一切换室；

所述第一限位部呈环状设置，所述第一限位部的横截面呈V形或三角形设置。

4.如权利要求3所述的半导体用大小流量切换阀，其特征在于，

所述第一胶塞分为第一塞体、第一柔性部、第一环边；

所述第一塞体与第一活动体的第一连接部相连，所述第一塞体通过第一柔性部连接第一环边，所述第一环边通过第一限位部卡装在第一密封槽内；

所述第一环边上开设有第一凹槽，所述阀体内设置有第一气道，所述第一气道连通第一下活动腔与第一凹槽；

当所述第一下活动腔中充气时，所述第一下活动腔通过第一气道向第一凹槽施加压力，以使所述第一环边贴紧在第一密封槽内；

所述第一凹槽的深度小于第一限位部的高度；

所述第一凹槽呈环状设置，且所述第一凹槽的横截面呈方形或倒梯形设置。

5.如权利要求2所述的半导体用大小流量切换阀，其特征在于，

所述第一活动体通过第一弹簧设置在第一活动腔内。

6.如权利要求2所述的半导体用大小流量切换阀，其特征在于，

所述第一连接部与第一胶塞通过螺纹配合进行连接。

7.如权利要求1所述的半导体用大小流量切换阀，其特征在于，

所述第二驱动机构包括：第二活动体、第二上气泵和第二下气泵；

所述第二活动体的第二分隔部紧贴第二活动腔，以将所述第二活动腔分为第二上活动腔和第二下活动腔；

所述第二活动体的第二连接部与第二胶塞相连；

所述阀体上设置有连通第二上活动腔的第二上气口，所述第二上气口与第二上气泵相连；

所述阀体上设置有连通第二下活动腔的第二下气口，所述第二下气口与第二下气泵相连。

8.如权利要求7所述的半导体用大小流量切换阀，其特征在于，

所述阀体内设置有第二限位部，所述第二限位部位于第二密封槽内；

所述第二限位部挤压第二环边，以使所述第二胶塞隔断第二活动腔与第二切换室；

所述第二限位部呈环状设置，所述第二限位部的横截面呈V形或三角形设置。

9.如权利要求8所述的半导体用大小流量切换阀，其特征在于，

所述第二胶塞分为第二塞体、第二柔性部、第二环边；

所述第二塞体与第二活动体的第二连接部相连，所述第二塞体通过第二柔性部连接第二环边，所述第二环边通过第二限位部卡装在第二密封槽内；

所述第二环边上开设有第二凹槽，所述阀体内设置有第二气道，所述第二气道连通第二下活动腔与第二凹槽；

当所述第二下活动腔中充气时，所述第二下活动腔通过第二气道向第二凹槽施加压力，以使所述第二环边贴紧在第二密封槽内。

10.如权利要求9所述的半导体用大小流量切换阀，其特征在于，

所述第二凹槽的深度小于第二限位部的高度；

所述第二凹槽呈环状设置，且所述第二凹槽的横截面呈方形或倒梯形设置。

11.一种采用如权利要求1-10任一项所述的半导体用大小流量切换阀的使用方法，其特征在于，包括：

通过第一驱动机构带动第一胶塞在第一切换室内动作，以使第一流道与第一切换室连通或截断；

通过第二驱动机构带动第二胶塞在第一切换室内动作，以使第一流道与第二切换室连通或截断；

当第一活动腔内为正压时，正压将第一胶塞的第一环边压紧在第一活动腔与第一切换室之间第一密封槽内；

当第二活动腔内为正压时，正压将第二胶塞的第二环边压紧在第二活动腔与第二切换室之间第二密封槽内。