CN115879410B - 一种掩模版图违例自动修复方法、数据库训练方法、系统及计算机设备 - Google Patents

Abstract

本发明涉及集成电路设计与光刻制造模拟领域，特别涉及一种掩模版图违例自动修复方法、数据库训练方法、系统及计算机设备。本发明提供一种掩模版图违例自动修复方法，包括以下步骤：提供数据库，数据库包括预设违例图形和预设修复命令；获取初始掩模版图中的布线图形，将布线图形与数据库内的预设违例图形进行匹配以获取违例图形；基于预设修复命令对违例图形进行修复并输出最终掩模版图。本发明还提供一种掩模版图违例数据库训练方法、系统及计算机设备。解决了现有设计版图中违例无法自动进行修复的问题。

Description

一种掩模版图违例自动修复方法、数据库训练方法、系统及计 算机设备

【技术领域】

本发明涉及集成电路设计与光刻制造模拟领域，特别涉及一种掩模版图违例自动修复方法、数据库训练方法、系统及计算机设备。

【背景技术】

在现代超大规模集成电路芯片设计过程中，布线技术是最重要的环节之一，而布线设计需要达到的一个最终的主要目的是解决在其连线过程中产生的设计规则违例。

现有的设计规则是将基于文本的一维的参数描述的设计规则转变成了基于模式图形的二维的加强版设计规则。即在原有的文本设计规则的基础上，加入了对周围图形环境的考虑，从而对不同的周围图形环境下的设计规则赋予不同的设计约束参数。在周围环境更加严苛的情况下，设计规则的约束参数更为严苛，这样一来使得光刻制造成功率更高。

然而，对于基于模式的加强版设计规则，只能检测违例不能对违例进行自动修改。消除其违例还是需要通过人为地在设计工具中进行删改，这种非自动化的方式会导致设计过程反复迭代修改使得设计周期耗时长，并且这种人为地消除单个加强版设计规则违例的方式通常会带来图形移动，而可能导致其他的设计规则违例。

【发明内容】

为了解决现有设计版图中违例无法自动进行修复的问题，本发明提供一种掩模版图违例自动修复方法、数据库训练方法、系统及计算机设备。

本发明为解决上述技术问题，提供如下的技术方案：一种掩模版图违例自动修复方法，包括以下步骤：

提供数据库，数据库包括预设违例图形和与预设违例图形相对应的预设修复命令；

提供初始掩模版图，获取初始掩模版图中的布线图形，将布线图形与数据库内的预设违例图形进行匹配，若成功则该布线图形违例；

基于预设修复命令对该布线图形进行修复并输出最终掩模版图。

优选地，预设修复命令包括移动图形、缩放图形、增减图形中的一种命令或多种命令的组合。

优选地，基于预设修复命令对违例图形进行修复后进一步包括：

输出修复后的布线图形，基于布线工具判断该布线图形是否修复成功；

若修复失败，则将违例图形删除并在该违例图形所在区域重新布线生成修复图形；

将修复图形代入数据库，若无法匹配到违例图形则输出修复图形；若匹配到违例图形则基于修复命令对修复图形进行修复；

若修复图形无法修复则迭代上述重新布线过程；若修复图形成功修复则输出修复成功后的图形。

本发明为解决上述技术问题，提供又一技术方案如下：一种掩模版图违例数据库训练方法，应用于上述掩模版图违例自动修复方法，包括以下步骤：提供掩模版图作为样本，基于仿真工具对样本中的掩模图形进行成像处理以获得掩模图像；

获得掩模图像中的违例图像，并保存违例图像所对应的掩模图形；

将掩模图形导入布线工具中以生成预设违例图形；

将预设违例图形导入数据库内以完成对数据库进行训练。

优选地，保存违例图像所对应的掩模图形后进一步包括：基于预设分类规则对掩模图形进行分类以获得键值，其中键为分类索引，值为掩模图形的图形信息。

优选地，生成预设违例图形后还包括：提供新的掩模版图作为样本，获取该样本中的掩模图像；

若掩模图像中存在违例图像，则保存违例图像所对应的掩模图形并用该掩模图形更新数据库。

优选地，将掩模图形导入布线工具中以生成预设违例图形后进一步包括：

将每个预设违例图形基于图形信息进行拆分，并将拆分的结果保存至布线工具中以生成违例数据。

优选地，生成违例数据之后进一步包括：将每个布线图形基于图形信息进行拆分获得待检测数据，基于待检测数据与违例数据计算获得匹配系数，若匹配系数大于预设值，则界定该布线图形为违例图形。

本发明为解决上述技术问题，提供又一技术方案如下：一种掩模版图违例自动修复系统，应用于上述掩模版图违例自动修复方法，所述系统包括：

数据存储模块：用于存储预设违例图形和预设修复命令所形成的数据库；

识别模块：用于获取初始掩模版图中的布线图形；

图形匹配检测器：将布线图形与数据库内的预设违例图形进行匹配；

图形修复器：基于预设修复命令对违例图形进行修复；

输出模块：用于输出最终掩模版图。

本发明为解决上述技术问题，提供又一技术方案如下：一种计算机设备，应用于上述掩模版图违例自动修复方法，包括存储器、处理器及存储在存储器上的计算机程序，所述处理器执行上述计算机程序以实现所述掩模版图违例自动修复方法。

与现有技术相比，本发明所提供的一种掩模版图违例自动修复方法、数据库训练方法、系统及计算机设备，具有如下的有益效果：

1.本发明实施例提供的一种掩模版图违例自动修复方法，包括以下步骤：提供数据库，数据库包括预设违例图形和与预设违例图形相对应的预设修复命令；提供初始掩模版图，获取初始掩模版图中的布线图形，将布线图形与数据库内的预设违例图形进行匹配，若成功则该布线图形违例；基于预设修复命令对该布线图形进行修复并输出最终掩模版图。通过建立数据库，并将违例的掩模图形输出建立形成数据库，当对初始初始掩模版图进行修复时，获取到掩模版图中的布线图形，并将布线图形与数据库中的违例图形进行匹配，以获取到违例图形，基于修复命令对违例图形进行修复，无需人为地在设计工具中进行删改，缩减了违例修改周期中所需要耗费的时间，极大提升了违例修复的效率。

2.本发明实施例预设修复命令包括移动图形、缩放图形、增减图形中的一种命令或多种命令的组合。基于修复命令对违例图形进行修复，使得修复后的图形在掩模上进行成像后不会在掩模版上产生坏点，同时在数据库中不同违例图形对应不同修复命令，使得在违例修复过程中，极大地削减了修复所需要花费的时间，实现了自动化且提高了修复效率。

3.本发明实施例基于预设修复命令对违例图形进行修复后进一步包括：输出修复后的布线图形，基于布线工具判断该布线图形是否修复成功；若修复失败，则将违例图形删除并在该违例图形所在区域重新布线生成修复图形；将修复图形代入数据库，若无法匹配到违例图形则输出修复图形，若匹配到违例图形则基于修复命令对修复图形进行修复；若修复图形无法修复则迭代上述重新布线过程；若修复图形成功修复则输出修复成功后的图形。若无法修复违例，人为地消除单个加强版设计规则违例的方式通常会带来图形移动，而可能导致其他的设计规则违例。通过将无法修复的违例图形删除并进行重新布线，使得一些特殊的情况下出现的违例图形也能够得到完全修复，提升了违例自动修复系统应对特殊违例现象的修复能力。

4.一种掩模版图违例数据库训练方法，应用于上述掩模版图违例自动修复方法，包括以下步骤：提供掩模版图作为样本，提供掩模版图作为样本，基于仿真工具对样本中的掩模图形进行成像处理以获得掩模图像；获得掩模图像中的违例图像，并保存违例图像所对应的掩模图形；将掩模图形导入布线工具中以生成预设违例图形。通过将不同的预设违例图形导入至数据库中即可一个庞大的违例图形数据库。

5.本发明实施例保存违例图像所对应的掩模图形后进一步包括：基于预设分类规则对掩模图形进行分类以获得掩模图形所对应的键值，其中键为分类索引，值为掩模图形的图形信息。在后续对布线图形进行修复的过程中，将布线图形和违例图形进行匹配时，可先将布线图形按照预设分类规则进行分类，以获得布线图形所对应的键值，再通过键值中的索引部分将布线图形和违例图形进行一次匹配，再对违例图形值部分所对应的具体图形以及布线图形值部分所对应的图形信息进行二次匹配，提升了布线图形和违例图形之间的匹配效率。

6.本发明实施例输出违例数据形成数据库后还包括：提供新的掩模版图作为样本，基于仿真工具和布线工具对数据库进行更新。通过补充样本更新数据库，增加了数据库的范围且提升了数据库中数据的多样性。

7.本发明实施例对掩模图形进行分类以获得键值后进一步包括：将键值和掩模图形一同导入布线工具，所生成的预设违例图形基于键值中的图形信息进行拆分，并将拆分的结果保存至布线工具中以生成违例数据。图形信息指的是基本图形元素，即指图形中的点、线、圆(圆弧)、边数量等。将图形转换为数据，可以极大提升匹配过程中的效率。

8.本发明实施例生成违例数据之后进一步包括：将每个布线图形基于图形信息进行拆分获得待检测数据，基于待检测数据与违例数据计算获得匹配系数，若匹配系数大于预设值，则界定该布线图形为违例图形。通过将匹配系数与预设值进行比较，使得违例自动修复系统对布线图形是否违例判断更为精准。

9.本发明实施例还提供一种系统，具有与上述一种掩模版图违例自动修复方法相同的有益效果，在此不做赘述。

10.本发明实施例还提供一种计算机设备，具有与上述一种掩模版图违例自动修复方法相同的有益效果，在此不做赘述。

【附图说明】

图1是本发明实施例提供的一种掩模版图违例自动修复方法流程示意图。

图2是本发明实施例提供的一种掩模版图违例自动修复方法之掩模图形出现重叠现象违例示意图。

图3是本发明实施例提供的一种掩模版图违例自动修复方法之违例图形无法修复处理流程示意图。

图4是本发明实施例提供的一种掩模版图违例数据库训练方法流程示意图。

图5是本发明实施例提供的一种掩模版图违例自动修复系统结构示意图。

图6是本发明实施例提供的一种计算机设备结构示意图。

附图标识说明：

1、掩模版图违例自动修复系统；2、计算机设备；

11、仿真工具；12、图形驱动器；21、存储器；22、处理器；23、计算机程序；

121、数据存储模块；122、识别模块；123、图形匹配检测器；124、图形修复器；125、输出模块；126、布线模块。

【具体实施方式】

为了使本发明的目的，技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施实例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

在本发明所提供的实施例中，应理解，“与A对应的B”表示B与A相关联，根据A可以确定B。但还应理解，根据A确定B并不意味着仅仅根据A确定B，还可以根据A和/或其他信息确定B。

应理解，说明书通篇中提到的“一个实施例”或“一实施例”意味着与实施例有关的特定特征、结构或特性包括在本发明的至少一个实施例中。因此，在整个说明书各处出现的“在一个实施例中”或“在一实施例中”未必一定指相同的实施例。此外，这些特定特征、结构或特性可以任意适合的方式结合在一个或多个实施例中。本领域技术人员也应该知悉，说明书中所描述的实施例均属于可选实施例，所涉及的动作和模块并不一定是本发明所必需的。

在本发明的各种实施例中，应理解，上述各过程的序号的大小并不意味着执行顺序的必然先后，各过程的执行顺序应以其功能和内在逻辑确定，而不应对本发明实施例的实施过程构成任何限定。

在本发明的附图中的流程图和框图，图示了按照本申请各种实施例的系统、方法和计算机程序产品的可能实现的体系架构、功能和操作。在这点上，流程图或框图中的每个方框可以代表一个模块、程序段、或代码的一部分，该模块、程序段、或代码的一部分包含一个或多个用于实现规定的逻辑功能的可执行指令。也应当注意，在有些作为替换的实现方案中，方框中所标注的功能也可以不同于附图中所标注的顺序发生。例如，两个接连地表示的方框实际上可以基本并行的执行，它们有时也可以按相反的顺序执行，在此基于涉及的功能而确定。需要特别注意的是，框图和/或流程图中的每个方框、以及框图和/或流程图中的方框的组合，可以用执行规定的功能或操作的专用的基于硬件的系统来实现，或者可以用专用硬件与计算机指令的组合来实现。

光刻(Lithography)技术是指光刻胶在特殊波长光线或者电子束下发生化学变化，通过曝光、显影、刻蚀等工艺过程，将设计在掩模上的图形转移到衬底上的图形精细加工技术，其中掩模图形经过光刻成像后的图像成为掩模图像。

而设计掩模图形则需要进行全局布线，布线是指对整个芯片的走线做全局规划，布线设计需要达到的一个最终的主要目的是解决在其连线过程中产生的设计规则违例。

设计规则是由集成电路芯片制造厂商根据不同先进工艺技术节点下，对光刻过程中大概率会失败的图形规则的总结。随着集成电路技术节点不断缩小，目前器件和连线尺寸已经到了纳米级别，那么对于光刻的要求则变得极度严苛，所以即使在集成电路芯片设计方遵守了对应技术节点下的设计规则的情况下，仍然会由产生光刻失败的现象。这是由于每一条设计规则只规定了单个图形的形状以及规则参数，但是随着技术节点的缩小光刻情况变得尤其复杂，设计图形随着周围环境的不同，其光刻产生的效果也不同，不能仅仅用单个图形的规则一概而描述。虽然加强版设计规则的方式(DRC Plus:AugmentingStandard DRC with Pattern Matching on2D Geometries)加入了对周围图形环境的考虑，从而对不同的周围图形环境下的设计规则赋予不同的设计约束参数，但是在实际应用到消除违例的过程中时，仍然需要通过人为在设计工具中进行删改，这种非自动化的方式会导致设计过程反复迭代修改使得设计周期耗时长，并且这种人为地消除单个加强版设计规则违例的方式通常会带来图形移动，而可能导致其他的设计规则违例。

请参阅图1，本发明实施例提供一种掩模版图违例自动修复方法，包括以下步骤：

S1，提供数据库，数据库包括预设违例图形和与预设违例图形相对应的预设修复命令；

S2，提供初始掩模版图，获取初始掩模版图中的布线图形；

S 3，将布线图形与数据库内的预设违例图形进行匹配，若成功则该布线图形违例；

S 4，基于预设修复命令对该布线图形进行修复并输出最终掩模版图。

可以理解地，通过建立数据库，数据库中预存有大量的掩模图形违例样本，以及针对特定掩模图形违例样本的修复命令。若初始掩模版图中的布线图形不存在违例则直接输出初始掩模版图作为最终掩模版图。若初始掩模版图中的布线图形存在违例且用户需要对初始掩模版图中的布线图形进行违例修复时，只需将初始掩模版图导入预设违例自动修复系统中，违例自动修复系统将获取到初始掩模版图中的所有布线图形，并将布线图形与数据库中的预设违例图形进行匹配，直至筛选出布线图形中存在违例的部分以得到违例的布线图形。针对上述违例图形，违例自动修复系统基于数据库中的修复命令对违例图形进行自动修复，以获得修复成功的布线图形，最后将未违例的布线图形和修复成功的布线图形一同输出获得最终掩模版图。需要说明的是，修复命令和违例图形相对应，即不同的违例类型的违例图形分别对应着不同的修复命令。当布线图形和违例图形匹配成功后，可直接基于该违例图形所对应的修复命令对该布线图形进行修复，以提升修复过程的精确性。本实施例基于修复命令对违例图形进行修复，无需人为地在设计工具中进行删改，缩减了违例修改周期中所需要耗费的时间，极大提升了违例修复的效率。

需要说明的是，本申请中预设违例自动修复系统包括仿真工具和布线工具，仿真工具用于对掩模版图样本进行分析并将获取到的违例掩模图形和修复命令存储至数据库中。布线工具用于对输入的初始掩模版图上的违例图形进行修复并输出最终修复成功的违例图形以获得最终的掩模版图。即本掩模版图违例自动修复方法的修复过程是基于布线工具上进行的。

请一并参阅图2，图2展示了一种相邻两掩模图形在成像过程后，其掩模图像出现重叠的违例现象。可见，掩模图形P1和掩模图形P 2在成像过程后，其形成的掩模图像出现交叠重合的现象。导致的直接结果是交叠区域经过光刻机曝光后在衬底上形成的芯片电路容易发生短路或者断路的情况。因此图2所述的违例现象将作为违例图形保存在数据库中，同时针对图2所述的违例现象，数据库对应生成修复命令。

可选地，预设修复命令包括移动图形、缩放图形、增减图形中的一种命令或多种命令的组合。应理解，针对不同的违例图形，在修复过程中选用数据库中所保存的不同的修复命令。比如请继续参阅图2中，针对此类违例，数据库生成的修复命令为将掩模图形P1靠近掩模图形P 2的边进行上移，或，将掩模图形P 2靠近掩模图形P1的边进行下移。即当违例自动修复系统对布线图形进行匹配时，若在众多布线图形中出现某一布线图形匹配到数据库中类似图2的违例图形时，则违例自动修复系统将对该布线图形执行将布线图形中某条边进行上移或下移的修复命令，以使得该布线图形所产生的违例现象得到修复。基于修复命令对违例图形进行修复，使得修复后的图形在掩模上进行成像后不会在掩模版上产生坏点，同时在数据库中不同违例图形对应不同修复命令，使得在违例修复过程中，极大地削减了修复所需要花费的时间，实现了自动化且提高了修复效率。

需要说明的是，上述移动图形包括对图形进行上、下、左或右方向上进行平移，也包括对图形进行旋转或者翻转。上述缩放图形包括对图形进行整体缩小或者整体放大，也可以包括对图形局部进行缩小或者放大。上述增减图形包括在图形的特定部位进行增加或减小图形。其中在修复命令中，可能是单独地执行移动图形、缩放图形、增减图形中的一种命令，比如朝左移动预定距离。也可能是组合式地对移动图形、缩放图形、增减图形中多种命令进行组合执行，比如朝上移动图形预设距离，并在图形右侧增加预设面积大小的图形。应理解，上述预设距离和预设面积在程序中根据不同的违例图形对应生成，本实施例仅是提供一种可能实施的方式，对具体数值不做限制。

请结合图1和图3，在上述步骤S 4中，基于预设修复命令对违例图形进行修复后进一步包括：

S 40，输出修复后的布线图形，基于布线工具判断该布线图形是否修复成功；

S 41，若修复失败，则将违例图形删除并在该违例图形所在区域重新布线生成修复图形；

S 42，将修复图形与数据库中的违例图形进行匹配；

S 43，若无法匹配到违例图形则输出修复图形；

S 44，若匹配到违例图形则基于修复命令对修复图形进行修复；

S 441，若修复图形无法修复则迭代上述重新布线过程；

S 442，若修复图形成功修复则输出修复成功后的图形。

应理解，基于修复命令对违例图形进行修复的过程中通常会对图像进行移动。在一些特殊的情况下，移动某个违例图形可能会导致附近未违例的布线图形受该违例图形影响，且在修复命令下，无论如何都无法解决上述违例图形修复过程中所带来的影响、基于布线工具可判断出布线图形是否修复成功，若修复失败则违例自动修复系统会将该违例图形进行删除，并且在该违例图形所在区域重新布线生成修复图形。进一步地，生成修复图形后违例自动修复系统会将修复图形与数据库中的违例图形进行匹配，此时若无法匹配到违例图形，则表示该修复图形未发送违例，则直接输出修复图形。若匹配到了违例图形，即该修复图形仍然违例，进而基于修复命令对修复图形进行修复。若修复图形依然无法修复则迭代上述重新布线过程直至修复图形成功修复。通过对无法修复的违例图形进行删除以及重新布线形成修复图形，并将修复图形代入违例自动修复系统中进行迭代修复，直至修复图形修复成功，使得一些特殊的情况下出现的违例图形也能够得到完全修复，提升了违例自动修复系统应对特殊违例现象的修复能力。

请结合图1和图4，本发明实施例还提供一种掩模版图违例数据库训练方法，应用于上述掩模版图违例自动修复方法，包括以下步骤：

S11，提供掩模版图作为样本，基于仿真工具对样本中的掩模图形进行成像处理以获得掩模图像；

S12，获得掩模图像中的违例图像，并保存违例图像所对应的掩模图形；

S13，将掩模图形导入布线工具中以生成预设违例图形。

可选地，仿真工具不限为SPI C E、P SPI C E、EWB、M atl ab、S y stemVi ew或MMI C S AD等电子电路设计与仿真工具。仿真工具用于对掩模版图中的掩模图形进行仿真以获取到掩模图形成像后的光刻掩模图像。应理解，将掩模版图作为样本，通过仿真工具对样本中的掩模图形进行成像，并将成像后的掩模图像进行分析，再反过来获取到出现违例的掩模图像所对应的掩模图形。其中违例的掩模图像指的是相邻的掩模图像出现交叠重合的现象，或者是掩模图像出现缺失的现象，又或是掩模图像过大或过小不合实际的现象。

进一步地，当获得到违例图像所对应的掩模图形后，将掩模图形导入至布线工具中。可选地，布线工具不限于P l ac e&Ro ute、Enc o unter、PKS、S i l i c o n En semb l e、D e s i gn P l ann er、Enc ounter、PKS、S i l i c o n En s emb l e、D e si gn P l ann er中的任一种。通过布线工具将违例的掩模图形导入至布线工具中即可生成预设违例图形。应理解，通过将不同的预设违例图形导入至数据库中即可一个庞大的违例图形数据库。且通过对数据库的不断训练使得违例图形数据库内的违例信息更为丰富。

进一步地，在上述步骤S12中，保存违例图像所对应的掩模图形后进一步包括：基于预设分类规则对掩模图形进行分类以获得掩模图形所对应的键值，其中键为分类索引，值为掩模图形的图形信息。应理解，在保存违例图像所对应的掩模图形时，可以基于预设分类规则对掩模图形进行分类，例如预设分类规则可以按照掩模图形边的数量进行分类，比如四条边归为一个键，六条边归为另一个键。分类规则也可以按照掩模图形所对应的修复命令进行分类，比如修复命令为对掩模图形向左移动归为一个键，对掩模图形向选择归为另一个键。而值则对应掩模图形的具体图形信息，比如图形的边长，顶点坐标，图形的面积大小等。通过对掩模图形进行分类以获得键值，可以对违例的掩模图形做一个初步分类，在后续将掩模图形生成违例图形过程中，可以直接将键值中的图形信息作为辅助参数。在后续对布线图形进行修复的过程中，将布线图形和违例图形进行匹配时，可先将布线图形按照预设分类规则进行分类，以获得布线图形所对应的键值，再通过键值中的索引部分将布线图形和违例图形进行一次匹配，再对违例图形值部分所对应的具体图形以及布线图形值部分所对应的图形信息进行二次匹配，提升了布线图形和违例图形之间的匹配效率。

在上述步骤S13中，生成预设违例图形后还包括：提供新的掩模版图作为样本，获取该样本中的掩模图像；若掩模图像中存在违例图像，则保存违例图像所对应的掩模图形并用该掩模图形更新数据库。应理解，在数据库的形成过中，用户可以通过不断提供新的掩模版图作为样本，并不断将新的掩模版图中所违例的掩模图形通过仿真工具和布线工具中以形成新的预设违例图形以及新的修复命令，将新的违例图形以及新的修复命令导入数据库中以对数据库进行不断更新。通过补充样本更新数据库，增加了数据库的范围且提升了数据库中数据的多样性。

进一步地，在上述步骤S13中，对掩模图形进行分类以获得键值后进一步包括：将键值和掩模图形一同导入布线工具，所生成的预设违例图形基于键值中的图形信息进行拆分，并将拆分的结果保存至布线工具中以生成违例数据。

应理解，图形信息指的是图形基元，即基本图形元素，即指图形中的点、线、圆(圆弧)、边数量等。将图形转换为数据，可以极大提升匹配过程中的效率。将违例图形转换为违例数据，再将违例数据保存至数据库内，需要说明的是，不同违例图形所对应的修复命令随违例数据一同输出形成数据库。应理解，通过将违例图形转换为违例数据，使得违例自动修复系统无需保存大内存的图片，节省了大量的存储空间。

进一步地，生成违例数据之后进一步包括：将每个布线图形基于图形信息进行拆分获得待检测数据，基于待检测数据与违例数据计算获得匹配系数，若匹配系数大于预设值，则界定该布线图形为违例图形。应理解，当用户对初始掩模版图进行修复时，违例自动修复系统将布线图形转换为待检测数据，并基于待检测数据和数据库中违例数据进行计算获得匹配系数，通过将匹配系数与预设值进行比对以便于快速将与违例数据相接近的待检测数据筛选出来，而筛选出来的待检测数据所对应的布线图形则为违例图形。应理解在匹配过程中选择先将图形转换为数据，再对数据进行匹配可以极大缩减匹配筛选的过程，进一步提升了匹配过程的效率。

示例性地，预设值为0.9，将初始掩模版图导入预设违例自动修复系统中，违例自动修复系统将布线图形转换为待检测数据，并将待检测数据导入至数据库中与违例数据进行匹配并生成匹配系数，将匹配系数与预设值进行比较，若匹配系数大于预设值，则表示布线图形与违例图形相似度较高，即该布线图形违例。若匹配系数小于预设值，则表示布线图形与违例图形相似度较低，即该布线图形不违例。通过将匹配系数与预设值进行比较，使得违例自动修复系统对布线图形是否违例判断更为精准。需要说明的是上述预设值只是一个可能的实施方式，预设值具体的数据可根据用户的实施使用需求进行设置。

请结合图1和图5，本发明实施例还提供一种掩模版图违例自动修复系统1，应用于上述掩模版图违例自动修复方法，系统包括仿真工具11和图形驱动器12，仿真工具11用于对掩模图形样本进行仿真，并且保存违例图像所对应的掩模图形，以将掩模图形传输至图形驱动器12中，图形驱动器12包括：

数据存储模块121：用于存储预设违例图形和预设修复命令所形成的数据库；

识别模块122：用于获取初始掩模版图中的布线图形；

图形匹配检测器123：将布线图形与数据库内的预设违例图形进行匹配；

图形修复器124：基于预设修复命令对违例图形进行修复；

输出模块125：用于输出最终掩模版图。

请参阅图5，仿真工具11分别与数据存储模块121连接，数据存储模块121分别与图形匹配检测器123和图形修复器124连接，图形匹配检测器123分别与识别模块122、图形修复器124和输出模块125连接。应理解，仿真工具11将违例的掩模图形导入图形驱动器12后，违例的掩模图形将作为违例图形由图形转换为违例数据存储至数据存储模块121内，同时违例的掩模图形对应的修复命令将一并存储至数据存储模块121内待用。在掩模版图违例自动修复系统1对待修复掩模图形进行修复时，识别模块122获取到布线图形并将布线图形传输至图形匹配检测器123中，图形匹配检测器123将布线图形转换为待检测数据，并调用数据存储模块121内所存储的违例数据与待检测数据进行匹配。若匹配失败，则图形匹配检测器123直接输出该布线图形。若匹配成功，则该布线图形为违例图形，图形匹配检测器123向图形修复器124发送信号，图形修复器124调用数据存储模块121内所存储的修复命令对该违例图形进行修复，并将修复后的违例图形重新传输至图形匹配检测器123中，图形匹配检测器123通过输出模块125将修复后的违例图形进行输出。

进一步地，图形驱动器12还包括布线模块126，当图形驱动器12检测到图形修复器124所修复后的图形会影响到该违例图形附近其他布线图形时，则会判断为修复失败，并将修复失败的违例图形传输至布线模块126处，布线模块126将该违例图形进行删除，并且针对该违例图形所在的区域进行重新布线形成修复图形，最后布线模块126将修复图形传输回图形匹配检测器123进行检测，若修复成功则输出修复图形，若修复失败则重新回到布线模块126中进行迭代布线，直至修复图形成功修复。

请结合图1和图6，本发明实施例还提供一种计算机设备2，应用于上述掩模版图违例自动修复方法，包括存储器21、处理器22及存储在存储器21上的计算机程序23，处理器22执行上述计算机程序23以实现掩模版图违例自动修复方法。

本发明实施例提供的计算机设备2，具有与上述掩模版图违例自动修复方法相同的有益效果，在此不做赘述。

与现有技术相比，本发明所提供的一种掩模版图违例自动修复方法、数据库训练方法、系统及计算机设备，具有如下的有益效果：

1.本发明实施例提供的一种掩模版图违例自动修复方法，包括以下步骤：提供数据库，数据库包括预设违例图形和与预设违例图形相对应的预设修复命令；提供初始掩模版图，获取初始掩模版图中的布线图形，将布线图形与数据库内的预设违例图形进行匹配，若成功则该布线图形违例；基于预设修复命令对该布线图形进行修复并输出最终掩模版图。通过建立数据库，并将违例的掩模图形输出建立形成数据库，当对初始初始掩模版图进行修复时，获取到掩模版图中的布线图形，并将布线图形与数据库中的违例图形进行匹配，以获取到违例图形，基于修复命令对违例图形进行修复，无需人为地在设计工具中进行删改，缩减了违例修改周期中所需要耗费的时间，极大提升了违例修复的效率。

2.本发明实施例预设修复命令包括移动图形、缩放图形、增减图形中的一种命令或多种命令的组合。基于修复命令对违例图形进行修复，使得修复后的图形在掩模上进行成像后不会在掩模版上产生坏点，同时在数据库中不同违例图形对应不同修复命令，使得在违例修复过程中，极大地削减了修复所需要花费的时间，实现了自动化且提高了修复效率。

3.本发明实施例基于预设修复命令对违例图形进行修复后进一步包括：输出修复后的布线图形，基于布线工具判断该布线图形是否修复成功；若修复失败，则将违例图形删除并在该违例图形所在区域重新布线生成修复图形；将修复图形代入数据库，若无法匹配到违例图形则输出修复图形，若匹配到违例图形则基于修复命令对修复图形进行修复；若修复图形无法修复则迭代上述重新布线过程；若修复图形成功修复则输出修复成功后的图形。若无法修复违例，人为地消除单个加强版设计规则违例的方式通常会带来图形移动，而可能导致其他的设计规则违例。通过将无法修复的违例图形删除并进行重新布线，使得一些特殊的情况下出现的违例图形也能够得到完全修复，提升了违例自动修复系统应对特殊违例现象的修复能力。

4.一种掩模版图违例数据库训练方法，应用于上述掩模版图违例自动修复方法，包括以下步骤：提供掩模版图作为样本，提供掩模版图作为样本，基于仿真工具对样本中的掩模图形进行成像处理以获得掩模图像；获得掩模图像中的违例图像，并保存违例图像所对应的掩模图形；将掩模图形导入布线工具中以生成预设违例图形。通过将不同的预设违例图形导入至数据库中即可一个庞大的违例图形数据库。

5.本发明实施例保存违例图像所对应的掩模图形后进一步包括：基于预设分类规则对掩模图形进行分类以获得掩模图形所对应的键值，其中键为分类索引，值为掩模图形的图形信息。在后续对布线图形进行修复的过程中，将布线图形和违例图形进行匹配时，可先将布线图形按照预设分类规则进行分类，以获得布线图形所对应的键值，再通过键值中的索引部分将布线图形和违例图形进行一次匹配，再对违例图形值部分所对应的具体图形以及布线图形值部分所对应的图形信息进行二次匹配，提升了布线图形和违例图形之间的匹配效率。

6.本发明实施例输出违例数据形成数据库后还包括：提供新的掩模版图作为样本，基于仿真工具和布线工具对数据库进行更新。通过补充样本更新数据库，增加了数据库的范围且提升了数据库中数据的多样性。

7.本发明实施例对掩模图形进行分类以获得键值后进一步包括：将键值和掩模图形一同导入布线工具，所生成的预设违例图形基于键值中的图形信息进行拆分，并将拆分的结果保存至布线工具中以生成违例数据。图形信息指的是基本图形元素，即指图形中的点、线、圆(圆弧)、边数量等。将图形转换为数据，可以极大提升匹配过程中的效率。

8.本发明实施例生成违例数据之后进一步包括：将每个布线图形基于图形信息进行拆分获得待检测数据，基于待检测数据与违例数据计算获得匹配系数，若匹配系数大于预设值，则界定该布线图形为违例图形。通过将匹配系数与预设值进行比较，使得违例自动修复系统对布线图形是否违例判断更为精准。

9.本发明实施例还提供一种系统，具有与上述一种掩模版图违例自动修复方法相同的有益效果，在此不做赘述。

10.本发明实施例还提供一种计算机设备，具有与上述一种掩模版图违例自动修复方法相同的有益效果，在此不做赘述。

以上对本发明实施例公开的一种掩模版图违例自动修复方法、数据库训练方法、系统及计算机设备进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制，凡在本发明的原则之内所做的任何修改，等同替换和改进等均应包含本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种掩模版图违例数据库训练方法，用于掩模版图违例自动修复，其特征在于：包括以下步骤：

提供掩模版图作为样本，基于仿真工具对样本中的掩模图形进行成像处理以获得掩模图像；

获得掩模图像中的违例图像，并保存违例图像所对应的掩模图形；

提供针对违例图像所对应的掩模图形的修复命令，并将违例图像所对应的掩模图形导入布线工具中以生成预设违例图形；

将预设违例图形和修复命令导入数据库内以完成对数据库进行训练。

2.如权利要求1所述的掩模版图违例数据库训练方法，其特征在于：修复命令包括移动图形、缩放图形、增减图形中的一种命令或多种命令的组合。

3.如权利要求1所述的掩模版图违例数据库训练方法，其特征在于：保存违例图像所对应的掩模图形后进一步包括：基于预设分类规则对掩模图形进行分类以获得掩模图形所对应的键值，其中键为分类索引，值为掩模图形的图形信息。

4.如权利要求3所述的掩模版图违例数据库训练方法，其特征在于：生成预设违例图形后还包括：提供新的掩模版图作为样本，获取该样本中的掩模图像；若掩模图像中存在违例图像，则保存违例图像所对应的掩模图形并用该掩模图形更新数据库。

5.如权利要求4所述的掩模版图违例数据库训练方法，其特征在于：对掩模图形进行分类以获得键值后进一步包括：

将键值和掩模图形一同导入布线工具，所生成的预设违例图形基于键值中的图形信息进行拆分，并将拆分的结果保存至布线工具中以生成违例数据。

6.如权利要求5所述的掩模版图违例数据库训练方法，其特征在于：生成违例数据之后进一步包括：

提供初始掩模版图，获取初始掩模版图中的布线图形；

将每个布线图形基于图形信息进行拆分获得待检测数据，基于待检测数据与违例数据计算获得匹配系数，若匹配系数大于预设值，则界定该布线图形为违例图形。

7.一种掩模版图违例自动修复方法，其特征在于：包括以下步骤：

提供数据库，数据库包括如权利要求1-6中任意一项所述的预设违例图形和与预设违例图形相对应的预设修复命令；

提供初始掩模版图，获取初始掩模版图中的布线图形，将布线图形与数据库内的预设违例图形进行匹配，若成功则该布线图形违例；

基于预设修复命令对该布线图形进行修复并输出最终掩模版图。

8.如权利要求7所述的掩模版图违例自动修复方法，其特征在于：基于预设修复命令对违例图形进行修复后进一步包括：

输出修复后的布线图形，基于布线工具判断该布线图形是否修复成功；

若修复失败，则将违例图形删除并在该违例图形所在区域重新布线生成修复图形；

将修复图形代入数据库，若无法匹配到违例图形则输出修复图形；若匹配到违例图形则基于修复命令对修复图形进行修复；

若修复图形无法修复则迭代上述重新布线过程；若修复图形成功修复则输出修复成功后的图形。

9.一种掩模版图违例自动修复系统，应用于如权利要求7-8中任一项所述掩模版图违例自动修复方法，其特征在于：所述系统包括：

数据存储模块：用于存储预设违例图形和预设修复命令所形成的数据库；

识别模块：用于获取初始掩模版图中的布线图形；

图形匹配检测器：将布线图形与数据库内的预设违例图形进行匹配；

图形修复器：基于预设修复命令对违例图形进行修复；

输出模块：用于输出最终掩模版图。

10.一种计算机设备，应用于如权利要求7-8中任一项所述掩模版图违例自动修复方法，其特征在于：包括存储器、处理器及存储在存储器上的计算机程序，所述处理器执行上述计算机程序以实现所述掩模版图违例自动修复方法。