CN115799147B

CN115799147B - 一种晶圆传输装置

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Publication number: CN115799147B
Application number: CN202310061786.7A
Authority: CN
Inventors: 洪成都; 任中辛
Original assignee: Suzhou Juyun Technology Co ltd
Current assignee: Suzhou Juyun Technology Co ltd
Priority date: 2023-01-17
Filing date: 2023-01-17
Publication date: 2023-05-12
Anticipated expiration: 2043-01-17
Also published as: CN115799147A

Abstract

本发明涉及一种晶圆传输装置，包括：传输轨道，其包括多个相互平行设置的传输辊，用以传输晶圆；相邻两个所述传输辊之间形成过道；定位机构，其设置于所述传输轨道下方，包括第一升降驱动组件和止挡结构；所述止挡结构固定于所述第一升降驱动组件的驱动端，所述止挡结构与所述传输轨道的其中一个过道位置相对应；其中，当所述第一升降驱动组件驱动所述止挡结构向上运动时，所述止挡结构能够穿过与其位置相对应的所述过道后挡在所述晶圆的前方，以将所述晶圆定位于待缓存位置。通过设置定位机构，能够将晶圆精准定位于待缓存位置，便于后续缓存工作的执行，且定位机构结构简单、操作简便。

Description

一种晶圆传输装置

技术领域

本发明涉及晶圆传输设备技术领域，特别是涉及一种晶圆传输装置。

背景技术

在晶圆制造工艺中，通常需借助晶圆传输装置传输晶圆。在晶圆传输过程中，若下料机器出现故障，需将传输装置上运输的晶圆进行及时转移。现有晶圆制造工艺中，通过设置缓存装置用以缓存晶圆。

在缓存操作过程中，由于晶圆处于传输运动中，晶圆在缓存区域的位置具有不确定性，则需配置光学传感器先对晶圆进行定位后再进行转移，光学传感器定位精确度和可靠性不够高，还是会存在不能对晶圆精准定位的问题。

发明内容

基于现有技术中的上述缺陷，本发明的目的在于提供一种晶圆传输装置，设置定位机构，能够将晶圆精准定位于待缓存位置，便于后续缓存工作的执行。

为此，本发明提供如下技术方案。

本发明提供一种晶圆传输装置，包括：

传输轨道，其包括多个相互平行设置的传输辊，用以传输晶圆；相邻两个所述传输辊之间形成过道；

定位机构，其设置于所述传输轨道下方，包括第一升降驱动组件和止挡结构；所述止挡结构固定于所述第一升降驱动组件的驱动端，所述止挡结构与所述传输轨道的其中一个过道位置相对应；

其中，当所述第一升降驱动组件驱动所述止挡结构向上运动时，所述止挡结构能够穿过与其位置相对应的所述过道后挡在所述晶圆的前方，以将所述晶圆定位于待缓存位置。

优选地，所述止挡结构包括至少两个竖杆，所述至少两个竖杆所在平面与所述过道的延伸方向相互平行。

优选地，至少有两个所述竖杆关于所述传输轨道的传输中心线所在竖直平面对称。

优选地，所述竖杆为圆柱形。

优选地，所述竖杆外周设有防静电橡胶层。

优选地，所述定位机构还包括水平驱动组件，其驱动端与所述第一升降驱动组件相连接，所述水平驱动组件用以驱动所述第一升降驱动组件带着所述止挡结构一起沿所述传输轨道的传输方向运动。

优选地，所述第一升降驱动组件和所述水平驱动组件均为气缸驱动组件。

优选地，还包括缓存机构，其包括第二升降驱动组件和至少两个竖直并排设置的支架组件；

其中，每个所述支架组件均对应一个过道地设置，所述第二升降驱动组件用于驱动所述支架组件在其对应的过道中升降移动以暂存所述晶圆或将所述晶圆卸载于所述传输轨道上。

优选地，每个所述支架组件均包括相对设置的第一安装架和第二安装架，所述第一安装架上设置有第一支杆，所述第二安装架上设置有第二支杆，所述第一支杆和所述第二支杆在所述过道延伸方向上对齐设置。

优选地，所述第一支杆和所述第二支杆之间的间距大于所述止挡结构在所述过道延伸方向上的长度。

本发明具有以下技术效果：

本发明提供一种晶圆传输装置，通过设置定位机构，能够将晶圆精准定位于待缓存位置，便于后续缓存工作的执行，且定位机构结构简单、操作简便。

附图说明

图1为本发明的定位机构的立体结构示意图；

图2为本发明的晶圆传输装置在传输状态时的立体结构示意图；

图3为本发明的缓存机构的立体结构示意图。

附图标记说明

100、传输装置；

1、传输轨道；11、传输辊；12、过道；

2、定位机构；21、第一升降驱动组件；22、止挡结构；221、竖杆；23、水平驱动组件；

3、缓存机构；31、第二升降驱动组件；32、支架组件；321、第一安装架；322、第二安装架；323、第一支杆；324、第二支杆；

200、晶圆。

具体实施方式

为使本发明的技术方案和有益效果能够更加明显易懂，下面通过列举具体实施例的方式进行详细说明。除非另有定义，本文所使用的技术和科学术语与本申请所属的技术领域中的技术和科学术语的含义相同。

在本发明的描述中，除非另有明确的限定，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“高度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于本发明的简化描述，而不是指示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，即不能理解为对本发明的限制。

在本发明中，术语“第一”、“第二”仅用于描述清楚的目的，不能理解为所指示特征的相对重要性或所指示的技术特征的数量。因此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个；“若干个”的含义是至少一个；另有明确限定的除外。

在本发明中，除非另有明确的限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”、“设置”等应作广义理解。例如，“连接”，可以是固定连接、可拆卸连接或一体成型；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，还可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的限定，第一特征在第二特征“上”、“之上”、“上方”和“上面”、“下”、“之下”、“下方”或“下面”可以是第一特征和第二特征直接接触，或第一特征和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可以是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征的水平高度高于第二特征的水平高度。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征的水平高度小于第二特征的水平高度。

本发明中提及的“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”均以图2中的标示为准。

下面根据图1至图3详细说明本发明的晶圆传输装置。

在本实施方式中，如图1和图2所示，晶圆传输装置100包括传输轨道1和定位机构2，传输轨道1包括多个相互平行设置的传输辊11，晶圆200放置在多个传输辊11形成的支撑台面上，传输辊11转动以产生推动晶圆200的作用力，实现晶圆传输。

在本实施方式中，定位机构2设置于传输轨道1下方，有效利用传输轨道1下方的空间，有利于晶圆传输装置100的小型化设计。如图1所示，定位机构2包括第一升降驱动组件21和止挡结构22；止挡结构22固定于第一升降驱动组件21的驱动端。如图2所示，传输轨道1的相邻两个传输辊11之间形成过道12。止挡结构22与传输轨道1的其中一个过道12位置相对应，其中，当第一升降驱动组件21驱动止挡结构22向上运动时，止挡结构22能够穿过与其位置相对应的过道12后挡在晶圆200的前方，以将晶圆200定位于待缓存位置；当无需缓存时，第一升降驱动组件21驱动止挡结构22向下运动至原位，这样，传输轨道1可以继续传输晶圆200。

在本实施方式中，通过设置定位机构2，以将晶圆200精准定位于待缓存位置，便于后续缓存工作的执行，且定位机构结构简单、操作简便。

在一实施方式中，如图1所示，止挡结构22包括至少两个竖杆221，所有的竖杆221沿过道12的延伸方向依次布设且处于同一个平面，即，该平面与过道12的延伸方向相互平行，以便于止挡结构22穿过该过道12。进行定位时，通过至少两个竖杆221抵住晶圆200的圆周边缘，能够起到稳定止挡作用。

进一步地，如图2所示，晶圆传输装置100包括缓存机构3，用以对传输轨道1传输的晶圆200进行缓存。定位机构2位于缓存机构3的前侧，当定位机构2不对传输轨道1上的晶圆200进行阻挡时，竖杆221位于传输轨道1的下方，竖杆221与位于缓存机构3的前侧的一个过道12位置相对应；当定位机构2对晶圆200进行阻挡时，竖杆221穿过该过道12后挡在缓存机构3的前侧，以阻挡晶圆200继续前移。

进一步地，如图1所示，竖杆221的数目为两个，通过两个竖杆221抵住晶圆200的圆周边缘的两个部位，定位稳定且结构简单。

进一步地，所有的竖杆221关于传输轨道1的传输中心线所在竖直平面对称地设置，止挡结构22的中心部位位于传输中心线处。在传输的过程中，晶圆200一般位于传输轨道1的左右方向的中间位置，止挡结构22也位于传输轨道1的左右方向的中间位置，以便于定位机构2对准晶圆200后进行定位，提高定位的精准度。此外，由于所有的竖杆221关于传输轨道1的传输中心线所在竖直平面对称地设置，止挡结构22能够将晶圆200定位在传输轨道1的左右方向的中间位置。

进一步地，如图1所示，竖杆221为圆柱形，竖杆221表面圆滑，避免竖杆221刮伤晶圆。

进一步地，竖杆221外周设有防静电橡胶层，具有防静电作用，以减少竖杆221与晶圆200接触过程中的静电现象，此外，竖杆221位橡胶层，具有柔性，避免竖杆221损伤晶圆。

应当理解，止挡结构22不限于至少两个竖杆221构成的结构，还可以是挡板结构。

在一实施方式中，如图1所示，定位机构2还包括水平驱动组件23，其驱动端与第一升降驱动组件21相连接，水平驱动组件23用以驱动第一升降驱动组件21带着止挡结构22一起沿传输轨道1的传输方向运动。由于晶圆200的尺寸不同，晶圆200在待缓存位置时其圆周轮廓在传输轨道1上的位置不同。通过设置水平驱动组件23，可以调整止挡结构22的水平位置，能够定位不同尺寸的晶圆200。

进一步地，止挡结构22位于第一升降驱动组件21的上方，第一升降驱动组件21位于水平驱动组件23的上方，结构小巧且布设紧凑。

在一实施方式中，第一升降驱动组件21和水平驱动组件23均为气缸驱动组件，结构简单且小巧化。

应当理解，第一升降驱动组件21和水平驱动组件23不限于气缸驱动组件的结构，还可以是皮带驱动组件或丝杆螺母驱动组件或齿轮齿条驱动组件等其它可以实现直线驱动的组件。

在一实施方式中，如图2和图3所示，缓存机构3包括第二升降驱动组件31和至少两个竖直并排设置的支架组件32；其中，每个支架组件32均对应一个过道12地设置，第二升降驱动组件31用于驱动支架组件32在其对应的过道12中升降移动以暂存晶圆200或将晶圆200卸载于传输轨道1上。

具体地，晶圆传输装置100设置缓存机构3，支架组件32与过道12位置相对应，当支架组件32在过道12中上升运动时，则将位于传输轨道1上的晶圆200撑起以实现缓存；当支架组件32在过道12中下降运动时，则将缓存于支架组件32的晶圆200卸载在传输轨道1上。通过支架组件32的升降运动，即可实现缓存，缓存操作简单快捷；此外，缓存机构3与传输轨道1排布紧凑，缩短缓存的操作时间。

进一步地，每个支架组件32均包括相对设置的第一安装架321和第二安装架322，第一安装架321上设置有第一支杆323，第二安装架322上设置有第二支杆324，第一支杆323和第二支杆324在过道延伸方向上对齐设置。对齐设置的第一支杆323和第二支杆324用以抵接晶圆200下表面的两个部位，则通过两组支架组件32能够抵接晶圆200下表面的四个部位，进而稳定撑起晶圆200。

进一步地，第一支杆323和第二支杆324之间的间距大于止挡结构22在过道12延伸方向上的长度，当止挡结构22在沿传输轨道1的传输方向上运动时，能够避免其与第一支杆323和/或第二支杆324发生干涉，便于止挡结构22的水平位置的调整。

进一步地，每个第一安装架321上设置多个第一支杆323，所有的第一支杆323在竖直方向上均匀分布；每个第二安装架322上设置多个第二支杆324，所有的第二支杆324在竖直方向上均匀分布；第一支杆323与第二支杆324一一对应设置，以实现多个晶圆200的缓存。

应当理解，以上实施例均为示例性的，不用于包含权利要求所包含的所有可能的实施方式。在不脱离本公开的范围的情况下，还可以在以上实施例的基础上做出各种变形和改变。同样的，也可以对以上实施例的各个技术特征进行任意组合，以形成可能没有被明确描述的本发明的另外的实施例。因此，上述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，不对本发明专利的保护范围进行限制。

Claims

1.一种晶圆传输装置，其特征在于，包括：

传输轨道（1），其包括多个相互平行设置的传输辊（11），用以传输晶圆（200）；相邻两个所述传输辊（11）之间形成过道（12）；

定位机构（2），其设置于所述传输轨道（1）下方，包括第一升降驱动组件（21）和止挡结构（22）；所述止挡结构（22）固定于所述第一升降驱动组件（21）的驱动端，所述止挡结构（22）与所述传输轨道（1）的其中一个过道（12）位置相对应；所述止挡结构（22）包括至少两个竖杆（221），所述至少两个竖杆（221）所在平面与所述过道（12）的延伸方向相互平行；所述定位机构（2）还包括水平驱动组件（23），其驱动端与所述第一升降驱动组件（21）相连接，所述水平驱动组件（23）用以驱动所述第一升降驱动组件（21）带着所述止挡结构（22）一起沿所述传输轨道（1）的传输方向运动；

还包括缓存机构（3），其包括第二升降驱动组件（31）和至少两个竖直并排设置的支架组件（32）；

其中，每个所述支架组件（32）均对应一个过道（12）地设置，所述第二升降驱动组件（31）用于驱动所述支架组件（32）在其对应的过道（12）中升降移动以暂存所述晶圆或将所述晶圆卸载于所述传输轨道上；

其中，当所述第一升降驱动组件（21）驱动所述止挡结构（22）向上运动时，所述止挡结构（22）能够穿过与其位置相对应的所述过道（12）后挡在所述晶圆（200）的前方，以将所述晶圆（200）定位于待缓存位置。

2.根据权利要求1所述的晶圆传输装置，其特征在于，至少有两个所述竖杆（221）关于所述传输轨道（1）的传输中心线所在竖直平面对称。

3.根据权利要求1所述的晶圆传输装置，其特征在于，所述竖杆（221）为圆柱形。

4.根据权利要求1所述的晶圆传输装置，其特征在于，所述竖杆（221）外周设有防静电橡胶层。

5.根据权利要求1所述的晶圆传输装置，其特征在于，所述第一升降驱动组件（21）和所述水平驱动组件（23）均为气缸驱动组件。

6.根据权利要求1所述的晶圆传输装置，其特征在于，每个所述支架组件（32）均包括相对设置的第一安装架（321）和第二安装架（322），所述第一安装架（321）上设置有第一支杆（323），所述第二安装架（322）上设置有第二支杆（324），所述第一支杆（323）和所述第二支杆（324）在所述过道（12）延伸方向上对齐设置。

7.根据权利要求6所述的晶圆传输装置，其特征在于，所述第一支杆（323）和所述第二支杆（324）之间的间距大于所述止挡结构（22）在所述过道（12）延伸方向上的长度。