CN115787066A - 一种单晶炉生产用智能水冷装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及单晶炉生产技术领域，具体为一种单晶炉生产用智能水冷装置，包括炉体，炉体的内侧固定安装有环形板，环形板的中部通过驱动机构设置有若干沿环形板孔洞内壁环形阵列的第一水冷板，驱动机构用于驱动若干第一水冷板同步向环形板的中心移动或远离其中心，相邻的两个第一水冷板相互靠近的一端皆通过连接结构设置有第二水冷板，连接机构用于当第一水冷板移动时带动若干第二水冷板同步移动，且二者之间的角度不变，若干第一水冷板和若干第二水冷板之间设置有通水机构，通水机构用于将冷却水从第一水冷板和第二水冷板的顶端注入到二者内，且通过二者的底端排到炉体外，解决了现有的单晶炉无法在生产加工的过程中切换不同尺寸的水冷热屏的问题。

Description

一种单晶炉生产用智能水冷装置

技术领域

本发明涉及单晶炉生产技术领域，具体为一种单晶炉生产用智能水冷装置。

背景技术

单晶硅作为一种半导体材料，一般用于制造集成电路和其他电子元件，目前单晶硅的生长技术有两种，区熔法和直拉法，其中直拉法是目前普遍的采用的方法。单晶炉通过直拉法制造单晶硅时，要将多晶硅置于石英坩埚中，经过高温使其熔化，然后籽晶由顶部降至熔化的多晶硅中，通过控制液面的温度，使熔化的籽晶在周围重新结晶，生成排列整齐的单晶硅棒。传统的控温方式是通过在单晶炉中增加水冷热屏，在水冷热屏中通入冷却液体，晶棒在向上移动经过水冷热屏时，通过水冷热屏带走结晶产生的热量。

现有的技术中，水冷热屏的结构较为固定，当生产不同直径的单晶硅棒时，为了保证单晶硅棒和水冷热屏之间有较小的间隔且加快单晶硅棒的冷却，需要在生产加工前更换合适大小的水冷热屏，当上一组单晶硅棒刚刚生产完成时，单晶炉内的温度较高，难以立刻对水冷热屏进行更换，而现有的单晶炉无法在生产加工的过程中切换不同尺寸的水冷热屏。

基于此，本发明设计了一种单晶炉生产用智能水冷装置，以解决上述问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种具有可以改变水冷热屏尺寸的功能的单晶炉生产用智能水冷装置，以解决上述背景技术中提出了的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种单晶炉生产用智能水冷装置，包括炉体，所述炉体的内侧固定安装有环形板，所述环形板的中部通过驱动机构设置有若干沿环形板孔洞内壁环形阵列的第一水冷板，所述驱动机构用于驱动若干第一水冷板同步向环形板的中心移动或远离其中心，相邻的两个所述第一水冷板相互靠近的一端皆通过连接结构设置有第二水冷板，所述连接机构用于当第一水冷板移动时带动若干第二水冷板同步移动，且二者之间的角度不变，若干所述第一水冷板和若干第二水冷板之间设置有通水机构，所述通水机构用于将冷却水从第一水冷板和第二水冷板的顶端注入到二者内，且通过二者的底端排到炉体外。

作为本发明的进一步方案，所述连接机构包括第二水冷板靠近环形板中心的一侧皆开设的连接槽，所述第一水冷板相互靠近的一侧皆固定安装有连接块，所述连接块皆处于连接槽的内侧并与之滑动相连接，所述第一水冷板的端部皆与第二水冷板的侧壁紧密贴合，所述第一水冷板的顶端固定安装有第一连接板，所述第二水冷板的顶端皆固定安装有第二连接板，所述第二连接板的底端皆与环形板的顶端滑动连接，所述第一连接板的底端皆与第二连接板的顶端滑动连接，所述第一连接板远离第一水冷板的一端设置有密封机构，所述密封机构用于对第一连接板与连接环之间进行密封。

作为本发明的进一步方案，所述第一水冷板的中部皆开设有第一水槽，所述第二水冷板的中部皆开设有第二水槽，所述第二水槽的内侧皆滑动连接有两个水板，所述连接块远离环形板中心的一端皆固定安装有C形杆，所述C形杆的底端靠近第二水冷板的一侧皆穿过第二水冷板，并与水板固定相连接，相邻的两个所述C形杆的竖直端长度不同，所述C形杆的底端皆固定安装有密封板，所述密封板皆与第二水冷板紧密贴合且对第二水冷板与C形杆的接口处进行遮挡。

作为本发明的进一步方案，所述密封机构包括第一连接板远离环形板中心的一端皆固定安装的弧形杆，所述弧形杆的底端皆与环形板相贴合，所述弧形杆的两端皆固定安装有滑杆，所述滑杆的外侧皆通过拉伸弹簧滑动连接有L形杆，所述L形杆皆与第一连接板和第二连接板紧密贴合。

作为本发明的进一步方案，所述驱动机构包括第一连接板顶端皆固定安装的固定块，所述环形板的顶端固定安装有若干与固定块一一对应的安装块，所述安装块的顶端皆转动连接有螺杆，所述螺杆靠近第一水冷板的一端皆穿过固定块并与之螺纹连接，所述安装块靠近固定块的一侧皆固定安装有导向杆，所述导向杆的另一端皆穿过固定块并与之滑动相连接，若干所述螺杆之间通过同步机构相连接，所述同步机构用于从炉体的外侧驱动若干螺杆同步转动。

作为本发明的进一步方案，所述同步机构包括环形板顶端固定安装的若干限位块，若干所述限位块的顶端滑动连接有第一环形锥齿轮，若干所述限位块用于限制第一环形锥齿轮稳定转动，所述螺杆靠近安装块的一端外侧皆固定安装有第二环形锥齿轮，所述第二环形锥齿轮皆与第一环形锥齿轮相啮合，所述炉体的左端转动连接有转动杆，所述转动杆的右端固定安装有传动锥齿轮，所述传动锥齿轮与第一环形锥齿轮相啮合。

作为本发明的进一步方案，所述通水机构包括环形板顶端固定安装的第一环形管，所述第一环形管远离炉体内壁的一侧固定安装有若干第一套管并与之相连通，所述第一水冷板的顶端皆固定安装有异形管，所述异形管的底端皆与第一水槽相连通，且所述异形管的另一端皆穿过第一套管并与之滑动相连接，所述第二水冷板的顶端皆固定安装有进水管，所述进水管的底端皆与第二水槽相连通，且所述进水管的另一端皆穿过第一套管并与之滑动相连接，所述第一环形管的右端穿过炉体并与外界相连通，所述第一水冷板和第二水冷板的底端设置有排水机构，所述排水机构用于将第一水槽和第二水槽内的液体排到炉体外。

作为本发明的进一步方案，所述排水机构包括炉体内壁固定安装的第二环形管，所述第二环形管远离炉体内壁的一侧固定安装有若干第二套管并与之相连通，所述第一水冷板底端和第二水冷板的底端皆固定安装有排水管，若干所述排水管的其中一端分别与第一水槽和第二水槽相连通，且若干所述排水管的另一端皆穿过第二套管并与之滑动相连接。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

1.本发明通过第一水冷板和第二水冷板，驱动机构启动带动若干第一水冷板同步向炉体的内壁移动，第一水冷板移动的同时推动第二水冷板向炉体的内壁移动，从而使得第一水冷板和第二水冷板所围成的范围增大，方便了工作人员根据所需生产的硅棒直径进行调节，使得该装置可以适用于不同尺寸硅棒的生产时使用，增加了本装置的适用性。

2.本发明通过设置驱动机构，使得工作人员在炉体的外部即可对第一水冷板和第二水冷板进行调节，当炉体刚刚完成一组生产并需要继续生产其他尺寸的硅棒时，工作人员无需将炉体打开进行调节和更换，避免了更换过程中炉体内热量的流失，减少了能源的浪费，同时节省了生产加工的成本，操作步骤十分简单，给工作人员的工作带来了便利，解决了现有的单晶炉无法在生产加工的过程中切换不同尺寸的水冷热屏的问题。

附图说明

图1为本发明总体结构示意图；

图2为本发明前视角内部结构剖面结构示意图；

图3为本发明前俯视角内部结构阶梯剖结构示意图；

图4为本发明图3中A处放大结构示意图；

图5为本发明中第一套管和异形管连接结构示意图；

图6为本发明图5中B处放大结构示意图；

图7为本发明中第二水槽和进水管连接结构示意图；

图8为本发明图7中C处放大结构示意图；

图9为本发明中第二环形管和第二套管连接结构示意图；

图10为本发明中第一水冷板和第二水冷板连接结构示意图；

图11为本发明图10中D处放大结构示意图；

图12为本发明中第二水槽和水板连接结构示意图；

图13为本发明中C形杆和密封板连接结构示意图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1、炉体；2、环形板；3、第一水冷板；4、第二水冷板；5、连接槽；6、连接块；7、第一连接板；8、第二连接板；9、第一水槽；10、第二水槽；11、水板；12、C形杆；13、密封板；14、弧形杆；15、滑杆；16、L形杆；17、固定块；18、安装块；19、螺杆；20、导向杆；21、限位块；22、第一环形锥齿轮；23、第二环形锥齿轮；24、转动杆；25、传动锥齿轮；26、第一环形管；27、第一套管；28、异形管；29、进水管；30、第二环形管；31、第二套管；32、排水管。

具体实施方式

请参阅图1-图13，本发明提供一种技术方案：一种单晶炉生产用智能水冷装置，包括炉体1，炉体1的内侧固定安装有环形板2，环形板2的中部通过驱动机构设置有若干沿环形板2孔洞内壁环形阵列的第一水冷板3，驱动机构用于驱动若干第一水冷板3同步向环形板2的中心移动或远离其中心，相邻的两个第一水冷板3相互靠近的一端皆通过连接结构设置有第二水冷板4，连接机构用于当第一水冷板3移动时带动若干第二水冷板4同步移动，且二者之间的角度不变，若干第一水冷板3和若干第二水冷板4之间设置有通水机构，通水机构用于将冷却水从第一水冷板3和第二水冷板4的顶端注入到二者内，且通过二者的底端排到炉体1外。

所述连接机构包括第二水冷板4靠近环形板2中心的一侧皆开设的连接槽5，第一水冷板3相互靠近的一侧皆固定安装有连接块6，连接块6皆处于连接槽5的内侧并与之滑动相连接，第一水冷板3的端部皆与第二水冷板4的侧壁紧密贴合，第一水冷板3的顶端固定安装有第一连接板7，第二水冷板4的顶端皆固定安装有第二连接板8，第二连接板8的底端皆与环形板2的顶端滑动连接，第一连接板7的底端皆与第二连接板8的顶端滑动连接，第一连接板7远离第一水冷板3的一端设置有密封机构，密封机构用于对第一连接板7与连接环之间进行密封。

工作时，通水机构持续向第一水冷板3和第二水冷板4内输入冷却水，冷却水在吸收热量后从第一水冷板3和第二水冷板4的底端排出到炉体1的外侧，保证了第一水冷板3和第二水冷板4持续对硅晶体进行降温；当需要生产不同尺寸的硅棒时，只需启动驱动机构，以生产更大直径的硅棒为例，驱动机构启动带动若干第一水冷板3同步向炉体1的内壁移动，第一水冷板3移动带动连接块6在连接槽5内滑动，此时连接块6对连接槽5进行限位，使得第一水冷板3和第二水冷板4之间的角度保持恒定，第一水冷板3移动的同时推动第二水冷板4向炉体1的内壁移动，从而使得第一水冷板3和第二水冷板4所围成的范围增大，方便了工作人员根据所需生产的硅棒直径进行调节，使得该装置可以适用于不同尺寸硅棒的生产时使用，增加了本装置的适用性。

本发明通过设置驱动机构，使得工作人员在炉体1的外部即可对第一水冷板3和第二水冷板4进行调节，当炉体1刚刚完成一组生产并需要继续生产其他尺寸的硅棒时，工作人员无需将炉体1打开进行调节和更换，避免了更换过程中炉体1内热量的流失，减少了能源的浪费，同时节省了生产加工的成本，操作步骤十分简单，给工作人员的工作带来了便利，解决了现有的单晶炉无法在生产加工的过程中切换不同尺寸的水冷热屏的问题。

当第一水冷板3和第二水冷板4移动时，第二水冷板4移动带动第二连接板8在环形板2的顶端滑动，此时第一水冷板3移动第一连接板7在第二连接板8的顶端滑动，第一连接板7和第二连接板8对第一水冷板3和第二水冷板4与环形板2的连接处进行遮挡，从而保证了单晶炉内气体的导流不受影响，气体可以通过第一水冷板3和第二水冷板4所围成空间直接导向到硅溶液的表面。

作为本发明的进一步方案，第一水冷板3的中部皆开设有第一水槽9，第二水冷板4的中部皆开设有第二水槽10，第二水槽10的内侧皆滑动连接有两个水板11，连接块6远离环形板2中心的一端皆固定安装有C形杆12，C形杆12的底端靠近第二水冷板4的一侧皆穿过第二水冷板4，并与水板11固定相连接，相邻的两个C形杆12的竖直端长度不同，C形杆12的底端皆固定安装有密封板13，密封板13皆与第二水冷板4紧密贴合且对第二水冷板4与C形杆12的接口处进行遮挡。

工作时所述连接板移动通过C形杆12带动水板11移动，使得两个水板11之间的距离始终等于相邻的两个第一水冷板3相互靠近的一端之间的距离，由于冷却水从两个水板11之间流动，使得第二水槽10内的冷却水始终与相邻的两个第一水冷板3之间的间隙对应，当该装置对向上生长的硅棒进行冷却时，第二水冷板4与硅棒相邻的一部分内侧才有冷却水流动，从而提高了第二水槽10内冷却水的利用率，避免了第二水槽10内的冷却水消耗过多炉体1内环境的热量。

作为本发明的进一步方案，密封机构包括第一连接板7远离环形板2中心的一端皆固定安装的弧形杆14，弧形杆14的底端皆与环形板2相贴合，弧形杆14的两端皆固定安装有滑杆15，滑杆15的外侧皆通过拉伸弹簧滑动连接有L形杆16，L形杆16皆与第一连接板7和第二连接板8紧密贴合。

当第一连接板7移动时，弧形杆14和L形杆16始终在环形板2的顶端滑动，此时L形杆16远离炉体1内壁的一端在拉伸弹簧的作用下始终与第二连接板8贴合，从而避免了炉体1顶端输入的气体从第一连接板7与环形板2之间的间隙中通过，提高了第一水冷板3和第二水冷板4的导流效果。

作为本发明的进一步方案，所述驱动机构包括第一连接板7顶端皆固定安装的固定块17，环形板2的顶端固定安装有若干与固定块17一一对应的安装块18，安装块18的顶端皆转动连接有螺杆19，螺杆19靠近第一水冷板3的一端皆穿过固定块17并与之螺纹连接，安装块18靠近固定块17的一侧皆固定安装有导向杆20，导向杆20的另一端皆穿过固定块17并与之滑动相连接，若干螺杆19之间通过同步机构相连接，同步机构用于从炉体1的外侧驱动若干螺杆19同步转动。

当需要对第一水冷板3和第二水冷板4进行调节时，只需通过同步机构带动若干螺杆19同步转动，螺杆19转动通过螺纹作用带动固定块17在导向杆20的外侧滑动，此时导向杆20对固定块17的移动进行限位，使得固定块17的移动更加稳定；固定块17移动通过第一连接板7带动第一水冷板3移动，从而为第一水冷板3的移动提供了动力。

作为本发明的进一步方案，所述同步机构包括环形板2顶端固定安装的若干限位块21，若干限位块21的顶端滑动连接有第一环形锥齿轮22，若干限位块21用于限制第一环形锥齿轮22稳定转动，螺杆19靠近安装块18的一端外侧皆固定安装有第二环形锥齿轮23，第二环形锥齿轮23皆与第一环形锥齿轮22相啮合，炉体1的左端转动连接有转动杆24，转动杆24的右端固定安装有传动锥齿轮25，传动锥齿轮25与第一环形锥齿轮22相啮合。

工作时，工作人员只需转动转动杆24，转动杆24转动通过传动锥齿轮25带动第一环形锥齿轮22转动，第一环形锥齿轮22转动通过第二环形锥齿轮23带动若干螺杆19同步转动，使得工作人员在炉体1的外部即可对第一水冷板3和第二水冷板4进行调节，操作步骤十分简单，给工作人员的工作带来了便利。

作为本发明的进一步方案，所述通水机构包括环形板2顶端固定安装的第一环形管26，第一环形管26远离炉体1内壁的一侧固定安装有若干第一套管27并与之相连通，第一水冷板3的顶端皆固定安装有异形管28，异形管28的底端皆与第一水槽9相连通，且异形管28的另一端皆穿过第一套管27并与之滑动相连接，第二水冷板4的顶端皆固定安装有进水管29，进水管29的底端皆与第二水槽10相连通，且进水管29的另一端皆穿过第一套管27并与之滑动相连接，第一环形管26的右端穿过炉体1并与外界相连通，第一水冷板3和第二水冷板4的底端设置有排水机构，排水机构用于将第一水槽9和第二水槽10内的液体排到炉体1外。

当需要对第一水槽9和第二水槽10内持续供给冷却水时，只需对第一环形管26的右端开口处持续注入冷却水，冷却水通过第一环形管26进入到第一套管27内，部分第一套管27内的冷却水通过异形管28流入到第一水槽9内，其余第一套管27内的冷却水通过进水管29流入到第二水槽10内，从而实现了持续对第一水冷板3和第二水冷板4内供水；当第一水冷板3移动时，第一水冷板3移动带动异形管28在第一套管27内滑动，当第二水冷板4移动时，第二水冷板4移动带动进水管29在第一套管27内滑动，从而保证了第一水冷板3和第二水冷板4的位置不对冷却水的供给造成影响。

作为本发明的进一步方案，所述排水机构包括炉体1内壁固定安装的第二环形管30，第二环形管30远离炉体1内壁的一侧固定安装有若干第二套管31并与之相连通，第一水冷板3底端和第二水冷板4的底端皆固定安装有排水管32，若干排水管32的其中一端分别与第一水槽9和第二水槽10相连通，且若干排水管32的另一端皆穿过第二套管31并与之滑动相连接。

工作时，第一水槽9和第二水槽10内受热的冷却水通过排水管32进入到第二套管31内，第二套管31内的受热冷却水流入到第二环形管30内，再从第二环形管30右端的开口处流出，从而实现了持续将受热过的冷却水向炉体1外排泄；当第一水冷板3和第二水冷板4移动时，第一水冷板3和第二水冷板4带动排水管32在第二套管31内滑动，从而保证了第一水冷板3和第二水冷板4的位置不对受热冷却水的排出造成影响。

Claims (8)

1.一种单晶炉生产用智能水冷装置，包括炉体(1)，其特征在于：所述炉体(1)的内侧固定安装有环形板(2)，所述环形板(2)的中部通过驱动机构设置有若干沿环形板(2)孔洞内壁环形阵列的第一水冷板(3)，所述驱动机构用于驱动若干第一水冷板(3)同步向环形板(2)的中心移动或远离其中心，相邻的两个所述第一水冷板(3)相互靠近的一端皆通过连接结构设置有第二水冷板(4)，所述连接机构用于当第一水冷板(3)移动时带动若干第二水冷板(4)同步移动，且二者之间的角度不变，若干所述第一水冷板(3)和若干第二水冷板(4)之间设置有通水机构，所述通水机构用于将冷却水从第一水冷板(3)和第二水冷板(4)的顶端注入到二者内，且通过二者的底端排到炉体(1)外。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉生产用智能水冷装置，其特征在于：所述连接机构包括第二水冷板(4)靠近环形板(2)中心的一侧皆开设的连接槽(5)，所述第一水冷板(3)相互靠近的一侧皆固定安装有连接块(6)，所述连接块(6)皆处于连接槽(5)的内侧并与之滑动相连接，所述第一水冷板(3)的端部皆与第二水冷板(4)的侧壁紧密贴合，所述第一水冷板(3)的顶端固定安装有第一连接板(7)，所述第二水冷板(4)的顶端皆固定安装有第二连接板(8)，所述第二连接板(8)的底端皆与环形板(2)的顶端滑动连接，所述第一连接板(7)的底端皆与第二连接板(8)的顶端滑动连接，所述第一连接板(7)远离第一水冷板(3)的一端设置有密封机构，所述密封机构用于对第一连接板(7)与连接环之间进行密封。

3.根据权利要求2所述的一种单晶炉生产用智能水冷装置，其特征在于：所述第一水冷板(3)的中部皆开设有第一水槽(9)，所述第二水冷板(4)的中部皆开设有第二水槽(10)，所述第二水槽(10)的内侧皆滑动连接有两个水板(11)，所述连接块(6)远离环形板(2)中心的一端皆固定安装有C形杆(12)，所述C形杆(12)的底端靠近第二水冷板(4)的一侧皆穿过第二水冷板(4)，并与水板(11)固定相连接，相邻的两个所述C形杆(12)的竖直端长度不同，所述C形杆(12)的底端皆固定安装有密封板(13)，所述密封板(13)皆与第二水冷板(4)紧密贴合且对第二水冷板(4)与C形杆(12)的接口处进行遮挡。

4.根据权利要求2所述的一种单晶炉生产用智能水冷装置，其特征在于：所述密封机构包括第一连接板(7)远离环形板(2)中心的一端皆固定安装的弧形杆(14)，所述弧形杆(14)的底端皆与环形板(2)相贴合，所述弧形杆(14)的两端皆固定安装有滑杆(15)，所述滑杆(15)的外侧皆通过拉伸弹簧滑动连接有L形杆(16)，所述L形杆(16)皆与第一连接板(7)和第二连接板(8)紧密贴合。

5.根据权利要求2所述的一种单晶炉生产用智能水冷装置，其特征在于：所述驱动机构包括第一连接板(7)顶端皆固定安装的固定块(17)，所述环形板(2)的顶端固定安装有若干与固定块(17)一一对应的安装块(18)，所述安装块(18)的顶端皆转动连接有螺杆(19)，所述螺杆(19)靠近第一水冷板(3)的一端皆穿过固定块(17)并与之螺纹连接，所述安装块(18)靠近固定块(17)的一侧皆固定安装有导向杆(20)，所述导向杆(20)的另一端皆穿过固定块(17)并与之滑动相连接，若干所述螺杆(19)之间通过同步机构相连接，所述同步机构用于从炉体(1)的外侧驱动若干螺杆(19)同步转动。

6.根据权利要求5所述的一种单晶炉生产用智能水冷装置，其特征在于：所述同步机构包括环形板(2)顶端固定安装的若干限位块(21)，若干所述限位块(21)的顶端滑动连接有第一环形锥齿轮(22)，若干所述限位块(21)用于限制第一环形锥齿轮(22)稳定转动，所述螺杆(19)靠近安装块(18)的一端外侧皆固定安装有第二环形锥齿轮(23)，所述第二环形锥齿轮(23)皆与第一环形锥齿轮(22)相啮合，所述炉体(1)的左端转动连接有转动杆(24)，所述转动杆(24)的右端固定安装有传动锥齿轮(25)，所述传动锥齿轮(25)与第一环形锥齿轮(22)相啮合。

7.根据权利要求3所述的一种单晶炉生产用智能水冷装置，其特征在于：所述通水机构包括环形板(2)顶端固定安装的第一环形管(26)，所述第一环形管(26)远离炉体(1)内壁的一侧固定安装有若干第一套管(27)并与之相连通，所述第一水冷板(3)的顶端皆固定安装有异形管(28)，所述异形管(28)的底端皆与第一水槽(9)相连通，且所述异形管(28)的另一端皆穿过第一套管(27)并与之滑动相连接，所述第二水冷板(4)的顶端皆固定安装有进水管(29)，所述进水管(29)的底端皆与第二水槽(10)相连通，且所述进水管(29)的另一端皆穿过第一套管(27)并与之滑动相连接，所述第一环形管(26)的右端穿过炉体(1)并与外界相连通，所述第一水冷板(3)和第二水冷板(4)的底端设置有排水机构，所述排水机构用于将第一水槽(9)和第二水槽(10)内的液体排到炉体(1)外。

8.根据权利要求7所述的一种单晶炉生产用智能水冷装置，其特征在于：所述排水机构包括炉体(1)内壁固定安装的第二环形管(30)，所述第二环形管(30)远离炉体(1)内壁的一侧固定安装有若干第二套管(31)并与之相连通，所述第一水冷板(3)底端和第二水冷板(4)的底端皆固定安装有排水管(32)，若干所述排水管(32)的其中一端分别与第一水槽(9)和第二水槽(10)相连通，且若干所述排水管(32)的另一端皆穿过第二套管(31)并与之滑动相连接。

Images