CN117779189A - 一种单晶炉循环水冷装置 - Google Patents

Abstract

本发明属于单晶体制造技术领域，具体的说是一种单晶炉循环水冷装置，该单晶炉包括炉体，所述炉体的上表面固定连接有炉盖，所述炉盖的上表面固定连接有连接管，所述炉盖的内部设置有水冷机构，所述水冷机构包括固定连接在炉盖内部的进水箱，所述进水箱的下表面固定连接有齿圈，所述齿圈的下表面固定连接有排水箱，所述排水箱和进水箱的表面均设置有定位管，所述齿圈的上表面转动连接有第一锥齿轮，所述第一锥齿轮的内部设置有多道第一滑槽，所述第一滑槽的内部均滑动连接有移动管，所述移动管的一端均固定连接有水冷柱，通过调节泵的输水压力并输水进入套管内部，即可以调节水冷柱的位置来对不同直径的单晶体进行快速冷却操作。

Description

一种单晶炉循环水冷装置

技术领域

本发明属于单晶体制造技术领域，具体的说是一种单晶炉循环水冷装置。

背景技术

由于单晶体的生产过程中会产生大量的热量，因此需要水冷套来将单晶体的温度降低到安全范围，水冷套是一种紧密贴合在晶体附近的装置，它能够通过热传导将单晶体的热量吸收并传递给冷却水。通过这种方式，水冷套可以将单晶体的温度降低到安全范围，防止高温对单晶体产生损害。

公开号为CN116446036B的专利，公开了一种单晶炉水冷装置，通过设置水冷单元，可根据不同直径的单晶体进行位置调节，保持热传导距离不变或降低。

上述现有技术中虽然其水冷板可以根据单晶体的直径变化而进行调节，但是其调节方式需要人工控制，人工控制可能需要操作人员接触高温的设备和材料，存在一定的安全风险，如果操作不当或者疏忽，可能导致安全事故的发生；

并且其水冷板针对单晶体表面的冷却的位置是固定的，在单晶体生长过程中，由于热量分布不均匀，可能导致水冷板的某些部位温度过高或过低，影响冷却效果，还可能无法全面覆盖单晶体表面，导致某些部位冷却不足或过冷可能导致晶体内部产生热应力，影响单晶体的质量和性能。

为此，本发明提供一种单晶炉循环水冷装置。

发明内容

为了弥补现有技术的不足，解决背景技术中所提出的至少一个技术问题。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：本发明所述的一种单晶炉循环水冷装置，该单晶炉包括炉体，所述炉体的上表面固定连接有炉盖，所述炉盖的上表面固定连接有连接管，所述炉盖的内部设置有水冷机构，所述水冷机构包括固定连接在炉盖内部的进水箱，所述进水箱的下表面固定连接有齿圈，所述齿圈的下表面固定连接有排水箱，所述排水箱和进水箱的表面均设置有定位管，所述齿圈的上表面转动连接有第一锥齿轮，所述第一锥齿轮的内部设置有多道第一滑槽，所述第一滑槽的内部均滑动连接有移动管，所述移动管的一端均固定连接有水冷柱，所述水冷柱的内部均固定连接有螺旋管，所述移动管的圆周面设置有滑杆，所述进水箱的表面固定连接有多个套管，所述套管之间固定连接有环形管，所述套管的内部滑动连接有活塞杆，所述活塞杆的一端固定连接有锥形盘，且锥形盘的内圆周面和滑杆的一端相贴合，所述炉体的外侧壁固定连接有循环水箱，所述循环水箱的上表面固定连接有调节泵，所述调节泵的输出端设置有输水机构，所述炉体的外侧壁固定连接有驱动壳，所述输水机构用于输水进入驱动壳，并通过驱动壳将水输送至进水箱和套管中，以及还可以储存排水箱中排出的水。

优选的，所述输水机构包括固定连接在调节泵的输入端和循环水箱之间的进水管，所述调节泵的输出端和驱动壳的上表面之间固定连接有第一排水管，所述排水箱的内部和循环水箱之间固定连接有循环管，所述进水箱的内部固定连接有三通管，所述三通管的一端和驱动壳的下表面之间固定连接第二排水管，所述三通管的另一开口和套管的内部固定连接。

优选的，所述套管的内部和活塞杆的一端之间固定连接有第二弹簧，所述套管的内部形状与活塞杆的形状相互匹配，均设置为T形。

优选的，所述第一锥齿轮的上表面固定连接有支撑板，所述支撑板的一侧和滑杆的圆周面之间固定连接有第三弹簧，所述滑杆的一端形状设置为弧形，所述锥形盘的上表面直径大于下表面的直径。

优选的，所述驱动壳的内部转动连接有转杆，所述转杆的一端固定连接有叶轮，所述转杆的另一端固定连接有第二锥齿轮，所述第一锥齿轮的下表面转动连接有第一齿轮，且第一齿轮和齿圈相互啮合，所述第一锥齿轮的内部设置有多道第二滑槽，所述第二滑槽的内部均滑动连接有移动杆，所述移动杆和第二滑槽之间固定连接有第一弹簧，所述第一齿轮的转动端、移动杆的一端与移动管的圆周面均固定连接有链轮，三个所述链轮通过链条传动连接。

优选的，所述叶轮的一端和驱动壳的内壁相贴合，所述叶轮的内部设置有集水槽。

优选的，所述进水箱和排水箱的内部均转动连接有转动板，所述转动板的下表面固定连接有若干个固定杆，所述固定杆的圆周面和定位管表面滑动连接，所述转动板的表面均固定连接有第一软管，所述第一软管的一端和定位管的内部固定连接，所述定位管的内部和移动管的一端转动连接。

优选的，所述螺旋管两端均和移动管的一端固定且相通，所述螺旋管的表面和水冷柱的内壁相贴合。

优选的，所述移动管的圆周面转动连接有连接套，所述连接套的圆周面和滑杆的一端固定连接。

优选的，所述炉盖的上表面固定连接有观察管，所述连接管的圆周面固定连接有惰气管。

本发明的有益效果如下：

1.本发明所述的一种单晶炉循环水冷装置，通过调节泵的输水压力并输水进入套管和进水箱的内部，套管内部的压力增加并带动活塞杆向下，活塞杆带动锥形件下降，锥形件挤压滑杆，滑杆可以推动移动管在第一滑槽中运动，移动管可以带动水冷柱运动到适配单晶体的直径尺寸，通过减少热传导之间的距离，进水箱中的水通过定位管进入螺旋管的内部，水冷柱对单晶体进行换热处理，再通过螺旋管和水冷柱内壁进行换热处理，此时即可以对不同直径的单晶体进行快速冷却操作。

2.本发明所述的一种单晶炉循环水冷装置，通过调节泵输水进入驱动壳的内部并带动叶轮转动，使得叶轮带动转杆一端的第一锥齿轮转动，第一锥齿轮和第二锥齿轮啮合，使得第一锥齿轮可以带动水冷柱绕单晶体表面转动，同时第一锥齿轮转动时带动第一齿轮运动，第一齿轮和齿圈啮合，使得第一齿轮转动，第一齿轮通过链轮可以驱动水冷柱旋转时发生自转，此时可以单晶体各部分都能得到均匀冷却，避免出现局部过热或过冷的情况，同时还可以更好地适应单晶体表面不平整或变化的情况，从而更有效地进行热传导。

3.本发明所述的一种单晶炉循环水冷装置，当单晶体的直径较小时，单晶体的提升速度变快，此时通过调节泵进行调节输送水的压力，输水压力变大，使得水冷柱向炉体中心运动来缩小直径，同时叶轮的转速提高，使得第一锥齿轮转动速度提高，水冷柱的旋转的速度和自转的速度提高，可以更快地将热量从单晶体表面热量传递给冷却柱内部冷却水，从而提高冷却效率，还可以更好地分散单晶体表面的热应力，避免局部应力集中，从而减少热裂纹等质量问题。

附图说明

下面结合附图对本发明作进一步说明。

图1是本发明整体结构示意图；

图2是本发明整体内部结构剖视图；

图3是图2中B处局部放大图；

图4是本发明水冷机构的结构示意图；

图5是图5中C处局部放大图；

图6是本发明驱动壳的结构剖视图；

图7是本发明水冷柱的结构剖视图；

图8是本发明齿圈的仰向结构剖视图；

图9是图8中A处局部放大图；

图10是本发明进水箱的结构示意图；

图11是本发明进水箱的结构剖视图；

图12是本发明转板的结构仰视图；

图中：1、炉体；11、炉盖；12、连接管；13、观察管；14、惰气管；2、齿圈；21、第一锥齿轮；22、第一滑槽；23、移动管；24、水冷柱；25、螺旋管；26、第一齿轮；27、第二滑槽；28、移动杆；29、链轮；210、第一弹簧；211、进水箱；212、转动板；213、定位管；214、第一软管；215、套管；216、第二弹簧；217、活塞杆；218、锥形盘；219、支撑板；220、滑杆；221、第三弹簧；222、排水箱；223、循环管；224、循环水箱；225、调节泵；226、进水管；227、第一排水管；228、驱动壳；229、转杆；230、叶轮；231、第二排水管；232、三通管；233、第二锥齿轮；234、固定杆；235、环形管；236、连接套。

具体实施方式

为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。

实施例一

如图2、图7至图11所示，本发明实施例所述的一种单晶炉循环水冷装置，该单晶炉包括炉体1，所述炉体1的上表面固定连接有炉盖11，所述炉盖11的上表面固定连接有连接管12，所述炉盖11的内部设置有水冷机构，所述水冷机构包括固定连接在炉盖11内部的进水箱211，所述进水箱211的下表面固定连接有齿圈2，所述齿圈2的下表面固定连接有排水箱222，所述排水箱222和进水箱211的表面均设置有定位管213，所述齿圈2的上表面转动连接有第一锥齿轮21，所述第一锥齿轮21的内部设置有多道第一滑槽22，所述第一滑槽22的内部均滑动连接有移动管23，所述移动管23的一端均固定连接有水冷柱24，所述水冷柱24的内部均固定连接有螺旋管25，所述移动管23的圆周面设置有滑杆220，所述进水箱211的表面固定连接有多个套管215，所述套管215之间固定连接有环形管235，所述套管215的内部滑动连接有活塞杆217，所述活塞杆217的一端固定连接有锥形盘218，且锥形盘218的内圆周面和滑杆220的一端相贴合，所述炉体1的外侧壁固定连接有循环水箱224，所述循环水箱224的上表面固定连接有调节泵225，所述调节泵225的输出端设置有输水机构，所述炉体1的外侧壁固定连接有驱动壳228，所述输水机构用于输水进入驱动壳228，并通过驱动壳228将水输送至进水箱211和套管215中，以及还可以储存排水箱222中排出的水。

具体的，现有技术中，在单晶体在生产过程中，由籽晶引出时，其温度相当高，而若不及时冷却，则引出的单晶体可能会产生位错，影响单晶体的质量，因此常规的操作一般是在单晶体引出方向上增加冷却套，通过水冷套对单晶体进行降温冷却操作，可以保护单晶体本身不受高温的损害，延长其使用寿命，但是单晶体在形成时，根据生产需求的不同，因此单晶体的直径也会根据需求的不同而发生变化，如果水冷套的直径过小，不能充分吸收单晶体产生的热量，会导致单晶体温度过高，如果水冷套的直径过大，可能会对单晶体产生过大的冷却作用，导致晶体内部产生裂纹或变形，目前的水冷套的直径可以根据单晶体的直径进行变化匹配，由于调节方式一般为人工控制，人工控制可能需要操作人员接触高温的设备和材料，存在一定的安全风险，如果操作不当或者疏忽，可能导致安全事故的发生；

本发明使用过程中，当需要生产小直径的单晶体时，可以通过调整水冷柱24的在第一滑槽22内部向第一锥齿轮21的圆心处滑动，单晶体的直径根据生产需求变小时，可以向上调整调节泵225输送冷却水的压力，调节泵225通过输水机构将循环冷却水从循环水箱224送入驱动壳228的内部，再通过驱动壳228将冷却水送入进水箱211和套管215的内部，再通过环形管235输送至其余套管215的内部，由于水压增加，使得冷却水进入套管215内部后可以推动活塞杆217向下运动，活塞杆217带动锥形盘218下降，锥形盘218下降并挤压多个滑杆220同步滑动，滑杆220可以推动移动管23在第一滑槽22的内部向第一锥齿轮21圆心处滑动，移动管23均可以带动水冷柱24在第一锥齿轮21的内部向第一锥齿轮21圆心处滑动，多个水冷柱24向第一锥齿轮21圆心靠近，使得多个水冷柱24距离第一锥齿轮21的圆心点距离减少，从而可以适应小直径的单晶体尺寸；

当需要对单晶体冷却时，水冷柱24对单晶体进行热交换，此时冷却水由调节泵225从循环水箱224中抽送驱动壳228的内部，冷却水再通过输水机构从驱动壳228送至进水箱211的内部，冷却水由进水箱211进入设置在进水箱211下方的定位管213中，定位管213和移动管213的一端连通，因此冷却水可以通过定位管213进入移动管23的内部，移动管23的一端和螺旋管25的一端连通，使得冷却水进入进入螺旋管25的内部，螺旋管25将水冷柱24表面的热量吸收后通过冷却水换热操作，此时换热后的冷却水通过螺旋管25的另一端排入排水箱222的内部，最后通过排水箱222进入循环水箱224的内部；

可以通过调节泵225控制输水压力从而实现自动调节水冷柱24的位置，不仅可以减轻工作人员调节的工作强度，还可以避免操作人员接触高温的设备和材料，可能导致安全事故的发生的问题。

如图2至图5所示，所述输水机构包括固定连接在调节泵225的输入端和循环水箱224之间的进水管226，所述调节泵225的输出端和驱动壳228的上表面之间固定连接有第一排水管227，所述排水箱222的内部和循环水箱224之间固定连接有循环管223，所述进水箱211的内部固定连接有三通管232，所述三通管232的一端和驱动壳228的下表面之间固定连接第二排水管231，所述三通管232的另一开口和套管215的内部固定连接。

具体的，调节泵225将通过进水管226将循环水箱224中的冷却水抽出，并通过第一排水管227将冷却水送入驱动架的内部，冷却水通过第二排水管231由驱动架排出进入三通管232的内部，冷却水分别进入套管215和进水箱211的内部，冷却水进入套管215的内部可以推动活塞杆217和锥形盘218向下运动，使得锥形盘218可以推动滑杆220运动，滑杆220带动移动管23和水冷柱24运动，即可根据单晶体的直径尺寸而变化，冷却水进入进水箱211中，方便后续输送冷却水进行循环冷却操作，换热完成后的水通过循环管223进入循环水箱224中收集。

如图11所示，所述套管215的内部和活塞杆217的一端之间固定连接有第二弹簧216，所述套管215的内部形状与活塞杆217的形状相互匹配，均设置为T形。

具体的，当活塞杆217受到水压可以在套管215的内部向下运动，此时活塞杆217拉动第二弹簧216，当内部水压下降时，此时第二弹簧216可以拉动活塞杆217复位操作。

如图3所示，所述第一锥齿轮21的上表面固定连接有支撑板219，所述支撑板219的一侧和滑杆220的圆周面之间固定连接有第三弹簧221，所述滑杆220的一端形状设置为弧形，所述锥形盘218的上表面直径大于下表面的直径。

具体的，当锥形盘218向下运动时，锥形盘218内部的倾斜面会挤压滑杆220的一端，滑杆220一端受力并挤压第三弹簧221，此时滑杆220可以推动移动管23进行滑动，当锥形件向上运动时，此时第三弹簧221可以带动滑杆220复位，并且第三弹簧221可以让滑杆220的一端保持和锥形盘218的内部倾斜面为贴合状态。

实施例二

如图3至图9所示，对比实施例一，其中本发明的另一种实施方式为：所述驱动壳228的内部转动连接有转杆229，所述转杆229的一端固定连接有叶轮230，所述转杆229的另一端固定连接有第二锥齿轮233，所述第一锥齿轮21的下表面转动连接有第一齿轮26，且第一齿轮26和齿圈2相互啮合，所述第一锥齿轮21的内部设置有多道第二滑槽27，所述第二滑槽27的内部均滑动连接有移动杆28，所述移动杆28和第二滑槽27之间固定连接有第一弹簧210，所述第一齿轮26的转动端、移动杆28的一端与移动管23的圆周面均固定连接有链轮29，三个所述链轮29通过链条传动连接。

具体的，现有技术中的水冷板针对单晶体表面的冷却的位置是固定的，在单晶体生长过程中，由于热量分布不均匀，可能导致水冷板的某些部位温度过高或过低，影响冷却效果，还可能无法全面覆盖单晶体表面，导致某些部位冷却不足或过冷可能导致晶体内部产生热应力，影响单晶体的质量和性能；

冷却水进入驱动壳228的内部并带动叶轮230转动，叶轮230带动转杆229转动，转杆229带动第二锥齿轮233转动，第二锥齿轮233和第一锥齿轮21啮合，第一锥齿轮21转动并带动冷却柱转动，冷却柱旋转时带动第一齿轮26转动，第一齿轮26和齿圈2啮合，使得第一齿轮26带动链轮29转动，通过链条可以带动移动杆28和移动管23同步转动，即可以驱动冷却柱转动的同时还可以发生自转，由于水冷柱24可以绕单晶体表面旋转，并且还可以自转，可以更全面地覆盖单晶体的表面，从而提供更均匀、更有效的冷却效果，相对于固定设置的水冷套往往难以实现全方位的冷却，尤其是在单晶体生长过程中，局部过热或局部冷却不足的情况可能会影响单晶体的质量；

当移动管23的位置发生变化时，移动管23在第一滑槽22中滑动，同时通过链条可以拉动移动杆28在第二滑槽27中同步滑动并拉伸第一弹簧210，使得移动管23运动不同位置时保持对移动管23的传动效果；

当单晶体的直径较小时，单晶体的提升速度变快，此时通过调节泵225进行调节输送水的压力，输水压力变大，使得水冷柱24向炉体1中心运动来缩小直径，同时叶轮230的转速提高，使得第二锥齿轮233转动速度提高并提高第一锥齿轮21的转动速度，使得第一锥齿轮21带动水冷柱24的旋转速度提高，并且第一齿轮26和齿圈2的啮合速度提升，使得冷却柱的自转速度提高，从而可以更快地将热量从单晶体表面热量传递给冷却柱内部冷却水，从而提高冷却效率，还可以更好地分散单晶体表面的热应力，避免局部应力集中，从而减少热裂纹等质量问题。

如图6所示，所述叶轮230的一端和驱动壳228的内壁相贴合，所述叶轮230的内部设置有集水槽。

具体的，冷却水进入驱动壳228的内部后，冷却水进入集水槽的内部，集水槽内部水流增加，从而叶轮230受到重力加上冷却水的驱动力可以稳定带动转杆229发生旋转。

如图3所示，所述进水箱211和排水箱222的内部均转动连接有转动板212，所述转动板212的下表面固定连接有若干个固定杆234，所述固定杆234的圆周面和定位管213表面滑动连接，所述转动板212的表面均固定连接有第一软管214，所述第一软管214的一端和定位管213的内部固定连接，所述定位管213的内部和移动管23的一端转动连接。

具体的，水冷柱24转动的同时带动定位管213的两端运动，定位管213可以带动转动板212配合第一锥齿轮21同步旋转，同时当移动管23在第一滑槽22的内部运动时，移动管23带动定位管213在固定杆234的表面随着移动管23滑动，并且定位管213会拉动第一软管214运动一直保持稳定的输水操作。

如图4所示，所述螺旋管25两端均和移动管23的一端固定且相通，所述螺旋管25的表面和水冷柱24的内壁相贴合。

具体的，移动管23内部进入冷却水后，可以进入螺旋管25中，通过螺旋管25可以增加和水冷柱24内壁的接触面积从而提高对水冷柱24的换热效果。

如图7所示，所述移动管23的圆周面转动连接有连接套236，所述连接套236的圆周面和滑杆220的一端固定连接。

具体的，连接套236在移动管23的圆周面转动设置，因此移动管23转动时，连接套236不会因移动管23自转而变化位置，同时当滑杆220受到挤压并推动连接套236时，连接套236可以带动移动管23在第一滑槽22中稳定滑动。

如图1所示，所述炉盖11的上表面固定连接有观察管13，所述连接管12的圆周面固定连接有惰气管14。

具体的，观察管13为现有技术，且惰气管14用于生产进行过程中，保持炉体1内的惰性气体环境。

工作原理，使用时水冷柱24对单晶体进行热交换，同时打开调节泵225，节泵将通过进水管226将循环水箱224中的冷却水抽出，并通过第一排水管227将冷却水送入驱动架的内部，冷却水通过第二排水管231由驱动架排出进入三通管232的内部，冷却水分别进入套管215和进水箱211的内部，冷却水通过第一软管214进入定位管213的内部，再通过定位管213进入螺旋管25的内部，螺旋管25将水冷柱24表面的热量吸收，此时换热后的冷却水通过螺旋管25的另一端排入排水箱222的内部，最后通过循环管223进入循环水箱224的内部；

当单晶体的直径变小时，可以进行变化水冷柱24的直径来匹配单晶体的直径变化，即通过调节泵225调节输送冷却水的压力，并将冷却水送入进水箱211和套管215的内部，再通过环形管235输送至其余套管215的内部，套管215根据水压向下活塞杆217运动，活塞杆217带动锥形盘218下降，锥形盘218下降并挤压多个滑杆220同步滑动，滑杆220可以推动移动管23在第一滑槽22的内部滑动，移动管23均可以带动水冷柱24在第一锥齿轮21的下表面滑动，此时即可根据单晶体的尺寸进行变化水冷柱24的位置；

当移动管23的位置发生变化时，移动管23在第一滑槽22中滑动，同时通过链条可以拉动移动杆28在第二滑槽27中同步滑动并拉伸第一弹簧210，通过移动管23带动定位管213在固定杆234的表面滑动并调节第一软管214的位置来保证冷却水进入移动管23的内部，冷却水进入驱动壳228的内部并带动叶轮230转动，叶轮230带动转杆229转动，转杆229带动第二锥齿轮233转动，第二锥齿轮233和第一锥齿轮21啮合，第一锥齿轮21转动并带动冷却柱转动，冷却柱旋转时带动第一齿轮26转动，第一齿轮26和齿圈2啮合，使得第一齿轮26带动链轮29转动，通过链条可以带动移动杆28和移动管23同步转动，当单晶体的直径较小时，单晶体的提升速度变快，此时通过调节泵225进行调节输送水的压力，输水压力变大，使得水冷柱24向炉体1中心运动来缩小直径，同时叶轮230的转速提高，使得第二锥齿轮233转动速度提高并提高第一锥齿轮21的转动速度，使得第一锥齿轮21带动水冷柱24的旋转速度提高，并且第一齿轮26和齿圈2的啮合速度提升，使得冷却柱的自转速度提高。

以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (10)

1.一种单晶炉循环水冷装置，该单晶炉包括炉体（1），所述炉体（1）的上表面固定连接有炉盖（11），所述炉盖（11）的上表面固定连接有连接管（12），所述炉盖（11）的内部设置有水冷机构，其特征在于：所述水冷机构包括固定连接在炉盖（11）内部的进水箱（211），所述进水箱（211）的下表面固定连接有齿圈（2），所述齿圈（2）的下表面固定连接有排水箱（222），所述排水箱（222）和进水箱（211）的表面均设置有定位管（213），所述齿圈（2）的上表面转动连接有第一锥齿轮（21），所述第一锥齿轮（21）的内部设置有多道第一滑槽（22），所述第一滑槽（22）的内部均滑动连接有移动管（23），所述移动管（23）的一端均固定连接有水冷柱（24），所述水冷柱（24）的内部均固定连接有螺旋管（25），所述移动管（23）的圆周面设置有滑杆（220），所述进水箱（211）的表面固定连接有多个套管（215），所述套管（215）之间固定连接有环形管（235），所述套管（215）的内部滑动连接有活塞杆（217），所述活塞杆（217）的一端固定连接有锥形盘（218），且锥形盘（218）的内圆周面和滑杆（220）的一端相贴合，所述炉体（1）的外侧壁固定连接有循环水箱（224），所述循环水箱（224）的上表面固定连接有调节泵（225），所述调节泵（225）的输出端设置有输水机构，所述炉体（1）的外侧壁固定连接有驱动壳（228），所述输水机构用于输水进入驱动壳（228），并通过驱动壳（228）将水输送至进水箱（211）和套管（215）中，以及还可以储存排水箱（222）中排出的水。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉循环水冷装置，其特征在于：所述输水机构包括固定连接在调节泵（225）的输入端和循环水箱（224）之间的进水管（226），所述调节泵（225）的输出端和驱动壳（228）的上表面之间固定连接有第一排水管（227），所述排水箱（222）的内部和循环水箱（224）之间固定连接有循环管（223），所述进水箱（211）的内部固定连接有三通管（232），所述三通管（232）的一端和驱动壳（228）的下表面之间固定连接第二排水管（231），所述三通管（232）的另一开口和套管（215）的内部固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种单晶炉循环水冷装置，其特征在于：所述套管（215）的内部和活塞杆（217）的一端之间固定连接有第二弹簧（216），所述套管（215）的内部形状与活塞杆（217）的形状相互匹配，均设置为T形。

4.根据权利要求1所述的一种单晶炉循环水冷装置，其特征在于：所述第一锥齿轮（21）的上表面固定连接有支撑板（219），所述支撑板（219）的一侧和滑杆（220）的圆周面之间固定连接有第三弹簧（221），所述滑杆（220）的一端形状设置为弧形，所述锥形盘（218）的上表面直径大于下表面的直径。

5.根据权利要求4所述的一种单晶炉循环水冷装置，其特征在于：所述驱动壳（228）的内部转动连接有转杆（229），所述转杆（229）的一端固定连接有叶轮（230），所述转杆（229）的另一端固定连接有第二锥齿轮（233），所述第一锥齿轮（21）的下表面转动连接有第一齿轮（26），且第一齿轮（26）和齿圈（2）相互啮合，所述第一锥齿轮（21）的内部设置有多道第二滑槽（27），所述第二滑槽（27）的内部均滑动连接有移动杆（28），所述移动杆（28）和第二滑槽（27）之间固定连接有第一弹簧（210），所述第一齿轮（26）的转动端、移动杆（28）的一端与移动管（23）的圆周面均固定连接有链轮（29），三个所述链轮（29）通过链条传动连接。

6.根据权利要求5所述的一种单晶炉循环水冷装置，其特征在于：所述叶轮（230）的一端和驱动壳（228）的内壁相贴合，所述叶轮（230）的内部设置有集水槽。

7.根据权利要求6所述的一种单晶炉循环水冷装置，其特征在于：所述进水箱（211）和排水箱（222）的内部均转动连接有转动板（212），所述转动板（212）的下表面固定连接有若干个固定杆（234），所述固定杆（234）的圆周面和定位管（213）表面滑动连接，所述转动板（212）的表面均固定连接有第一软管（214），所述第一软管（214）的一端和定位管（213）的内部固定连接，所述定位管（213）的内部和移动管（23）的一端转动连接。

8.根据权利要求1所述的一种单晶炉循环水冷装置，其特征在于：所述螺旋管（25）两端均和移动管（23）的一端固定且相通，所述螺旋管（25）的表面和水冷柱（24）的内壁相贴合。

9.根据权利要求8所述的一种单晶炉循环水冷装置，其特征在于：所述移动管（23）的圆周面转动连接有连接套（236），所述连接套（236）的圆周面和滑杆（220）的一端固定连接。

10.根据权利要求1所述的一种单晶炉循环水冷装置，其特征在于：所述炉盖（11）的上表面固定连接有观察管（13），所述连接管（12）的圆周面固定连接有惰气管（14）。