CN115779621A - 工艺气体处理设备及工艺气体处理方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种用于加工工艺装置(3)中的工艺物料的工艺气体(2)用的工艺气体处理设备(1)和一种用于处理用于在干燥阶段和冷却阶段加工在工艺装置(3)中的工艺物料的工艺气体(2)的方法。
Description
技术领域
本发明涉及一种用于工艺气体(Prozessgas)的工艺气体处理设备(Prozessgasaufbereitungseinrichtung),该工艺气体用于加工工艺装置中的工艺物料,该工艺气体处理设备带有:工艺气体入口和与工艺装置流体连接的工艺气体出口,其中,工艺气体在从工艺气体入口至工艺气体出口延伸的处理段上流动;沿工艺气体的流动方向构造成设备部件的工艺气体除湿设备和布置在工艺气体除湿设备下游的、构造成设备部件的工艺气体调温设备,其中,工艺气体除湿设备具有除湿设备入口和除湿设备出口,并且工艺气体调温设备具有调温设备入口和调温设备出口,并且其中,工艺气体调温设备具有用于工艺气体的构造成设备部件的调温单元、用于工艺气体的构造成设备部件的冷却单元和与调温单元并联连接的构造成设备部件的旁通单元(Bypasseinheit),调温单元具有调温单元入口和调温单元出口,冷却单元具有冷却单元入口和冷却单元出口,旁通单元具有旁通入口和旁通出口,其中,在旁通单元处布置有构造成设备部件的阀组件,用于选择性地流过调温单元或旁通单元;和第一测量设备,第一测量设备具有用于测量工艺气体的相对湿度的相对湿度传感器,其中,第一测量设备布置在工艺气体除湿设备的下游;和控制设备。
此外,本发明涉及一种用于处理工艺气体的方法,该工艺气体用于在干燥阶段和冷却阶段期间加工在工艺装置中的工艺物料,该工艺装置具有工艺气体处理设备,该工艺气体处理设备带有:工艺气体入口和与工艺装置流体连接的工艺气体出口,其中,工艺气体在从工艺气体入口至工艺气体出口延伸的处理段上流动;沿工艺气体的流动方向构造成设备部件的工艺气体除湿设备和布置在工艺气体除湿设备下游的、构造成设备部件的工艺气体调温设备,其中,工艺气体除湿设备具有除湿设备入口和除湿设备出口,并且工艺气体调温设备具有调温设备入口和调温设备出口,并且其中,工艺气体调温设备具有用于工艺气体的构造成设备部件的调温单元、用于工艺气体的构造成设备部件的冷却单元和与调温单元并联连接的构造成设备部件的旁通单元,调温单元具有调温单元入口和调温单元出口,冷却单元具有冷却单元入口和冷却单元出口,旁通单元具有旁通入口和旁通出口,其中,在旁通单元处布置有构造成设备部件的阀组件,用于选择性地流过调温单元或旁通单元;和第一测量设备,第一测量设备具有用于测量工艺气体的相对湿度的相对湿度传感器,其中,第一测量设备布置在工艺气体除湿设备的下游;和控制设备。
背景技术
工艺气体处理设备是已知的,但除了具有用于工艺气体的高能耗之外还具有用于工艺气体的漫长的冷却时间。
发明内容
因此,本发明的目的是,提供一种工艺气体处理设备和一种用于处理工艺气体的方法,以便最小化已知工艺气体处理设备的缺点,尤其用于工艺气体的高能耗和长冷却时间。
在开头所述类型的工艺气体处理设备中,该目的由此实现,即,冷却单元是旁通单元的组成部分。除了在工艺物料的干燥阶段和冷却阶段期间显著降低能耗的优点之外,这种工艺气体处理设备还具有如下优点,即,在工艺物料的紧接着干燥阶段之后的冷却阶段中用于工艺气体(其尤其构造为环境空气)的冷却时间通过将冷却单元布置在旁通单元中而缩短。在工艺物料的干燥阶段之后,开始工艺物料的冷却阶段。冷却阶段是必要的,以便避免尤其以水形式的湿气从加工过的工艺物料中“渗出”,因为否则湿气会凝结,并可能导致工艺装置中的工艺物料的不希望的结块。在已知的工艺气体处理设备中,在工艺气体调温设备的上游或下游进行工艺气体的冷却。在工艺气体调温设备的上游或下游进行对工艺气体的冷却的情况下,所有设备部件也在冷却阶段中被流过,并且因此在时间上在工艺物料之前被冷却,这例如由于安装的设备部件的惯性质量而非常耗能且耗时。
在工艺气体处理设备的与此相关的改进方案中,工艺气体处理设备具有构造为设备部件的工艺装置,该工艺装置适宜地构造为流化装置或涂层装置。流化装置例如构造为流化床装置或喷射床装置。涂层装置例如是涂覆机,尤其是滚筒涂覆机。
工艺气体处理设备优选具有构造为设备部件的工艺气体输送设备。工艺气体处理设备的这种设计方案的优点是,工艺气体可调节地由工艺气体输送设备(尤其鼓风机、真空泵等)在处理段上输送。就此而言,工艺气体输送设备适宜地布置在工艺装置的上游和/或下游。
根据工艺气体处理设备的进一步改进,工艺气体除湿设备具有被构造为设备部件的冷凝除湿单元和/或被构造为设备部件的吸附除湿单元,冷凝除湿单元具有冷凝除湿单元入口和冷凝除湿单元出口,吸附除湿单元具有吸附除湿单元入口和吸附除湿单元出口。有利地,冷凝除湿单元和吸附除湿单元二者适合于对工艺气体除湿,其中,通过在工艺气体除湿设备中使用冷凝除湿单元和吸附除湿单元实现对工艺气体的改善的且可目标精确地调节的除湿。根据要从工艺气体中提取的湿气量来使用这两种设备部件或它们的组合。
适宜地,冷凝除湿单元构造为流体冷却的冷凝器,其中,作为流体尤其使用冷却水,例如来自环境附近的水体。构造为冷凝器的冷凝除湿单元优选地如此设计尺寸,以便在使用冷却水的情况下将工艺气体冷却到大约8℃。因此工艺气体的相对湿度降低,由此将工艺气体干燥。
构造为冷凝器的冷凝除湿单元尺寸设计成对于大部分用于处理工艺气体的方法是足够的。
对于工艺气体除湿设备具有冷凝除湿单元和吸附除湿单元的情况,适宜地在处理段上将冷凝除湿单元布置在吸附除湿单元的上游。因此工艺气体在流过冷凝除湿单元后的相对湿度可通过吸附除湿单元目标精确地调节,其中,吸附除湿单元优选构造为干燥轮。
尤其地,吸附除湿单元具有被构造为设备部件的再生单元,该再生单元具有再生单元入口和再生单元出口,其中,再生气体由具有再生气体输送设备入口和再生气体输送设备出口的、被构造为设备部件的再生气体输送设备在从再生单元入口延伸到再生单元出口的再生段上输送,并且在再生气体的流动方向上流过被构造为设备部件的再生气体加热设备和吸附除湿单元,该再生气体加热设备具有再生气体加热设备入口和再生气体加热设备出口,该吸附除湿单元具有再生气体入口和再生气体出口。适宜地进行吸附除湿单元的热再生。在热再生时为了再生吸附除湿单元的干燥剂,将再生气体加热到例如160℃或更高的温度,并且被引导通过待再生的吸附除湿单元。热的再生气体从干燥剂中除去从工艺气体中吸收的湿气,并优选在再生单元出口处适宜地将该湿气排放到环境中。就此而言,优选地将再生段构造为闭合回路。与之相应地,这样的闭合回路具有如下优点,即,吸附除湿单元的再生可以独立于环境条件进行,即例如不吸入环境空气。
根据工艺气体处理设备的另一设计方案,工艺气体除湿设备具有被构造为设备部件的预热单元,该预热单元具有预热单元入口和预热单元出口,该预热单元适宜地布置在冷凝除湿单元和/或吸附除湿单元的上游。预热单元尤其用作用于冷凝除湿单元的“防冻加热器”。在再生段被构造为闭合回路的情况下,在吸附除湿单元的再生时从再生气体中吸收的湿气在预热单元中被冷凝出。
此外特别优选地,预热单元还与再生单元相关联,其中,预热单元在构造为闭合回路的再生段上布置在再生气体加热设备的上游和再生气体输送设备的下游,由此工艺气体在流经预热单元时被加热,而再生气体在流经预热单元时被冷却。构造为热源的预热单元的集成额外地提高了工艺气体的干燥经济性。
此外优选地,再生气体输送设备在再生段上布置在吸附除湿单元的下游。通过再生气体输送设备的这种布置产生优选在再生段上的负压。
进一步优选地,第一测量设备布置在工艺气体调温设备的上游。有利地,工艺气体中的相对湿度借助于第一测量设备来测量并且作为传感器信号被传输给控制设备。
湿度描述了工艺气体中水蒸气的比例,液态水(例如雨、露水)在此不算。相对湿度说明最高可能饱和度的比例,其中,100%意味着工艺气体中无法再吸收水蒸气。绝对湿度说明每立方米工艺气体的水蒸气质量。温度越高,工艺气体(尤其空气)就可吸收更多水蒸气。
可以在使用近似公式的情况下将相对湿度换算为绝对湿度。对此存在在文献中已知的各种近似公式。用于由相对湿度和温度计算以g/m³为单位的绝对湿度f的一个“简单”近似公式:
在-30℃至35℃的温度范围内和正常大气压下,达到最大偏差为0.1%的精度,其中,在该公式中,温度T以摄氏度为单位,相对湿度rh以%为单位,并且e是自然对数的底2.71828。温度越大程度地偏离上述温度范围,换算的结果就越不精确。
为了将相对湿度换算为绝对湿度,需要工艺气体的温度。因此,第一测量设备还具有用于测量工艺气体温度的温度传感器。适宜地,工艺气体的温度也被测量并作为传感器信号被传输给控制设备。
第一测量设备的相对湿度传感器和温度传感器优选构造为结构单元。
借助工艺气体的适宜地作为传感器信号传输给控制设备的温度和相对湿度,实现计算与温度无关的绝对湿度。在第一测量设备或控制设备中换算成绝对湿度实际值。
根据工艺气体处理设备的另一改进方案,调温单元具有被构造为设备部件的加热设备,该加热设备具有加热设备入口和加热设备出口。加热设备有利地适合于在加工工艺物料的干燥阶段中通过冷却或加热来处理工艺气体。因此可调节尤其以环境空气形式的工艺气体的在5℃至250℃范围内的任意温度。
根据工艺气体处理设备的附加改进,工艺气体输送设备布置在工艺气体除湿设备的下游和工艺气体调温设备的上游。通过在工艺气体除湿设备下游对工艺气体输送设备的这种布置,产生优选在处理段上的负压。此外,在工艺气体处理设备的改进方案中,在工艺气体除湿设备的上游布置有第二测量设备,该第二测量设备具有用于测量工艺气体的相对湿度的相对湿度传感器。有利地,工艺气体中的相对湿度在工艺气体入口处借助于第二测量设备被测量并且作为传感器信号被传输给控制设备。由此实现独立于其他设备部件来调节和/或控制每个单独的设备部件。
为了将相对湿度换算为绝对湿度,需要工艺气体的温度。因此,第二测量设备还具有用于测量工艺气体的温度的温度传感器。尤其地,工艺气体的在第二测量设备处测量的温度还作为传感器信号被传输给控制设备。
第二测量设备的相对湿度传感器和温度传感器也适宜地构造为结构单元。
在第二测量设备处测量的温度和相对湿度被应用于以切断和/或接通各个设备部件的形式调节和/或控制各个设备部件。尤其地,冷凝除湿单元、吸附除湿单元、预热单元和/或加湿设备因此被相应地调节和/或控制。令人惊讶的是,通过这种现代、创新和前瞻的控制技术,可以引起显著的能源节省,以及实现对工艺气体的改善处理。
在工艺气体处理设备的另一设计方案中,它优选具有尤其布置在工艺气体除湿设备的下游和工艺气体调温设备的上游的、被构造为设备部件的加湿设备,该加湿设备具有加湿设备入口和加湿设备出口。通过加湿设备可以对工艺气体进行加湿,并且还可以将工艺气体的湿度设定成在量值上高于在工艺气体入口处进入工艺气体处理设备中的工艺气体的湿度。为此,工艺气体由预热单元加热到使得工艺气体能够吸收湿气的温度。
此外,该目的在开头所述类型的方法中以如下方式来实现,即,冷却单元是旁通单元的组成部分,并且其中,在干燥阶段中在工艺装置中加工工艺物料时流过调温单元,并且在冷却阶段中流过具有冷却单元的旁通单元。除了在工艺物料的干燥阶段和冷却阶段期间显著降低能耗的优点之外,以这种方式设计的用于在工艺气体处理设备中处理工艺气体的方法还具有以下优点:在工艺物料的紧接着干燥阶段之后的冷却阶段中用于尤其构造为环境空气的工艺气体的冷却时间通过将冷却单元布置在旁通单元中而缩短。在工艺物料的干燥阶段之后,开始工艺物料的冷却阶段。该冷却阶段是必要的,以便避免尤其水形式的湿气从加工过的工艺物料中“渗出”,因为否则所述湿气会凝结,并可能导致工艺装置中的工艺物料的不希望的结块。在已知的工艺气体处理设备中在工艺气体调温设备的上游或下游进行工艺气体的冷却。在工艺气体调温设备的上游或下游进行工艺气体的冷却的情况下,全部的设备部件也在冷却阶段被流过并且因此在时间上在工艺物料之前被冷却,这例如由于安装的设备部件的惯性质量而非常耗能且耗时。由于该方法在冷却阶段中不流过工艺气体调温设备,由此该方法比已知方法显著更节能。
根据该方法的另一有利的设计方案,尤其是至少在干燥阶段期间,调节流过工艺气体处理设备的工艺气体的湿度。工艺气体的湿度既可以借助相对湿度也可以借助绝对湿度来调节,其中,优选借助绝对湿度来调节,因为绝对湿度区别于相对湿度与工艺气体的温度无关。
优选地,第一测量设备为此具有用于测量工艺气体温度的温度传感器,并且在控制设备中进行在绝对湿度额定值和绝对湿度实际值之间的第一绝对湿度比较,其中,绝对湿度实际值根据由第一测量设备的相对湿度传感器测量的相对湿度值和由相关温度传感器测量的温度值来确定。绝对湿度实际值确定适宜地在第一测量设备或控制设备中进行。在考虑到第一绝对湿度比较的情况下,控制设备将绝对湿度调节参数传输给工艺气体除湿设备和/或加湿设备,以便调节工艺气体的绝对湿度。适宜地,湿度在额定值的±3%的容差范围内调节。
就此而言,工艺气体通过加湿设备被加湿,该加湿设备尤其布置在工艺气体除湿设备的下游和工艺气体调温设备的上游。通过加湿设备,可以对工艺气体进行加湿,并且还可以将工艺气体的湿度设定为在量值上高于在工艺气体入口处进入工艺气体处理设备中的工艺气体的湿度。为此,工艺气体由预热单元加热到使得工艺气体能够吸收湿气的温度。通过加湿设备,用来处理用于加工在工艺装置、尤其流化装置或涂层装置中的工艺物料的工艺气体的方法变得更加灵活。
根据该方法的进一步改进,工艺气体除湿设备具有吸附除湿单元,该吸附除湿单元具有再生单元,其中,吸附除湿单元至少部分地通过再生单元再生。就此而言,再生单元具有加热再生气体的再生气体加热设备,从而使得再生气体在流过吸附除湿单元时吸收湿气,由此吸附除湿单元至少部分地被干燥并且因此再生。吸附除湿单元如此对工艺气体进行除湿-无论是否在上游连接冷凝除湿单元,使得达到存储在控制设备中的额定值。这尤其通过精确地调节对此重要的参数例如再生气体的温度和相对湿度来实现。尤其地,控制设备因此基于实际值和额定值的比较来调节和/或控制再生气体加热设备。再生气体对吸附除湿单元如此进行再生,使得吸附除湿单元恰好能够吸收用以相应地干燥工艺气体以便达到存储在控制设备中的额定值的湿气量。在此,再生气体优选与工艺气体逆流地流过吸附除湿单元。
此外,工艺气体除湿设备具有预热单元,该预热单元适宜地布置在冷凝除湿单元的上游,其中,预热单元加热经由工艺气体入口进入工艺气体处理设备中的工艺气体,以便防止冷凝除湿单元的结冰,或加热工艺气体以加湿工艺气体。预热单元尤其用作冷凝除湿单元的“防冻加热器”。在再生段构造为闭合回路的情况下,在吸附除湿单元再生时从再生气体中吸收的湿气在预热单元中被冷凝出。
根据该方法的附加改进方案,工艺气体处理设备的每个设备部件可被接通和/或切断。为此,在工艺气体除湿设备的上游布置有第二测量设备,该第二测量设备具有用于测量工艺气体相对湿度的相对湿度传感器和用于测量工艺气体温度的温度传感器,并且在控制设备中进行在绝对湿度额定值与绝对湿度实际值之间的第二绝对湿度比较,其中,绝对湿度实际值根据由第二测量设备的相对湿度传感器测量的相对湿度值和由相关的温度传感器测量的温度值来确定。适宜地,绝对湿度实际值确定在第二测量设备或控制设备中进行。为此在考虑到第二绝对湿度比较的情况下,控制设备可以将绝对湿度调节参数传输给每个设备部件,以便接通和/或切断工艺气体处理设备的相应的设备部件。
基于绝对湿度比较,控制设备决定将工艺气体处理设备的哪些部件接通和/或切断,以对工艺气体进行除湿。下面列出了在实践中在运行工艺气体处理设备时所应用的绝对湿度额定值:
-在绝对湿度额定值大于等于8g/m³时,仅经由冷凝除湿单元进行除湿;吸附除湿单元在存在时被切断;
-在绝对湿度额定值小于8g/m³时,仅经由吸附除湿单元进行除湿;冷凝除湿单元在存在时被切断;
-在绝对湿度额定值小于8g/m³并且绝对湿度实际值与绝对湿度额定值之间的差值大于等于6g/m³时,经由冷凝除湿单元和吸附除湿单元进行除湿;
-在绝对湿度实际值小于绝对湿度额定值时,经由加湿设备进行加湿。
上述绝对湿度额定值是基于经验的值,该值也可以偏离于上述绝对湿度额定值。
工艺气体处理设备具有构造为设备部件的工艺气体输送设备,该工艺气体输送设备在从工艺气体入口延伸到工艺气体出口的处理段上输送工艺气体。该方法的这种设计的优点是,工艺气体可调节地由工艺气体输送设备(尤其鼓风机、真空泵等)在处理段上输送。
附图说明
下面依据附图更详细地解释本发明,并且在附图中:
图1示出了工艺气体处理设备的第一实施方式;
图2示出了工艺气体处理设备的第二实施方式;
图3示出了工艺气体处理设备的第三实施方式;
图4示出了工艺气体处理设备的第四实施方式;
图5示出了工艺气体处理设备的第五实施方式;
图6示出了工艺气体处理设备的第六实施方式;和
图7示出了工艺气体处理设备的第七实施方式。
具体实施方式
除非另有说明,否则以下描述涉及:用于工艺气体2的优选的工艺气体处理设备1的在附图中示出的所有实施方式,该工艺气体用于加工在工艺装置3中的工艺物料;和用于处理工艺气体2的相应方法,该工艺气体用于加工在工艺装置3中的工艺物料。在此,工艺气体处理装置1适宜地具有构造为设备部件4的工艺装置3,该工艺装置尤其构造为流化装置5或涂层装置6。
工艺气体处理设备1具有工艺气体入口7和与工艺装置3流体连接的工艺气体出口10,工艺装置3具有工艺装置入口8和工艺装置出口9。工艺气体入口7和工艺气体出口10优选构造成联接接头,在这些联接接头处分别可布置或布置有起供应作用或转运作用的、适宜地构造成管道的通道区段11。为了更容易地区分分别相同的对象,这些对象在下面在附图标记处用a、b、c等来标识,例如对于通道区段11a、11b、11c。
工艺气体2由构造为设备部件4的工艺气体输送设备12,在从工艺气体入口7延伸到工艺气体出口10的处理段13上输送。具有工艺气体输送设备入口14和工艺气体输送设备出口15的工艺气体输送设备12在此适宜地构造为真空泵16或鼓风机17。工艺气体输送设备入口14和工艺气体输送设备出口15优选地构造为联接接头,在这些联接接头处分别可布置或布置有起供应作用或转运作用的通道区段11,其中,通道区段11尤其构造为管道。
在工艺气体2的流动方向上,工艺气体处理设备1具有被构造为设备部件4的工艺气体除湿设备18和布置在工艺气体除湿设备18下游的、被构造为设备部件4的工艺气体调温设备19。工艺气体输送设备12优选地布置在工艺气体除湿设备18的下游和工艺气体调温设备19的上游。
工艺气体除湿设备18具有除湿设备入口20和除湿设备出口21,工艺气体调温设备19具有调温单元入口22和调温单元出口23。除湿设备入口20、除湿设备出口21、调温单元入口22和调温单元出口23优选地也构造为联接接头,在这些联接接头处分别可布置或布置有起供应作用或转运作用的尤其管道形式的通道区段11。有利地,工艺气体除湿设备18可以实现对工艺气体2的可目标精确地调节的除湿。
在此,工艺气体除湿设备18具有被构造为设备部件4的冷凝除湿单元26和/或被构造为设备部件4的吸附除湿单元29,冷凝除湿单元具有冷凝除湿单元入口24和冷凝除湿单元出口25,吸附除湿单元具有吸附除湿单元入口27和吸附除湿单元出口28。冷凝除湿单元入口24和冷凝除湿单元出口25以及吸附除湿单元入口27和吸附除湿单元出口28优选地构造为联接接头,在这些联接接头处分别可布置或布置有起供应作用或转运作用的、适宜地构造成管道的通道区段11。
除了在工艺气体处理设备1的图1所示的第一实施方式中(其中工艺气体除湿设备18仅具有冷凝除湿单元26)和在图2所示的实施方式中(其中工艺气体除湿设备18仅具有吸附除湿单元29),工艺气体除湿设备18在图3至图7所示的所有其他实施方式中都具有冷凝除湿单元26和吸附除湿单元29,吸附除湿单元在处理段13上布置在冷凝除湿单元26的下游。优选地,冷凝除湿单元26构造为流体冷却的冷凝器30,并且吸附除湿单元29构造为干燥轮31。
在流体冷却的冷凝器30的情况下,尤其使用冷却水作为流体。在这种情况下,冷凝器30尤其如此尺寸设计,使得在使用冷却水的情况下将工艺气体2冷却到大约8℃,由此降低工艺气体2的湿度。这种冷凝器尺寸设计得对于为处理工艺气体2而执行的大多数方法是足够的。工艺气体2也可以被冷却到不同的温度。上述8℃是在工艺气体处理设备1的运营商在使用来自冷却水网络的冷却水时的经验值。
图2所示的实施方式示出了干燥轮31形式的被构造为工艺除湿设备18的吸附除湿单元29。通过被构造为干燥轮31的吸附除湿单元29,可目标精确地调节工艺气体2的湿度。
同样在图3至6的实施方式中,工艺气体2的湿度可通过构造为干燥轮31的吸附除湿单元29目标精确地调节。吸附除湿单元29为此在图2至6所示的实施方式中具有被构造为设备部件4的再生单元34,该再生单元34具有再生单元入口32和再生单元出口33。再生单元入口32和再生单元出口33优选地构造为联接接头,在这些联接接头处分别可布置或布置有起供应作用或转运作用的、适宜地构造成管道的通道区段11。为了吸附除湿单元29、尤其干燥轮31的再生,由被构造为设备部件4的再生气体输送设备39在从再生单元入口32延伸到再生单元出口33的再生段36上输送再生气体35,再生气体输送设备具有再生气体输送设备入口37和再生气体输送设备出口38。再生气体输送设备入口37和再生气体输送设备出口38适宜地也构造为联接接头,在这些联接接头处分别可布置或布置有起供应作用或转运作用的例如构造成管道的通道区段11。这里在再生气体35的流动方向上,被构造为设备部件4的再生气体加热设备42和吸附除湿单元29被流过,再生气体加热设备具有再生气体加热设备入口40和再生气体加热设备出口41,吸附除湿单元具有再生气体入口43和再生气体出口44。热交换器或电加热器特别适合作为再生气体加热设备42。优选地,再生气体加热设备入口40和再生气体加热设备出口41以及再生气体入口43和再生气体出口44也构造为联接接头,在这些联接接头处分别可布置或布置有起供应作用或转运作用的尤其构造成管道的通道区段11。再生气体输送设备39适宜地在再生段36上布置在吸附除湿单元29下游,且进一步优选地同时布置在工艺气体调温设备19的上游,由此在再生段36上优选地可产生或产生负压。
适宜地进行对吸附除湿单元29的热再生。在热再生时,为了再生吸附除湿单元29的干燥剂,再生气体35被加热到例如160℃的温度,并被引导经过待再生的吸附除湿单元29。热再生气体35从干燥剂中除去从工艺气体2吸收的湿气,并且有利地将该湿气在再生单元出口33处排放到环境中。
在图3所示的实施方式中,作为再生气体35利用工艺气体2的一部分,该部分在冷凝除湿单元26上游从工艺气体2分流出来。分流后,再生气体35沿流动方向在再生段36上流过再生气体加热设备42、吸附除湿单元29和再生气体输送设备39,经再生单元出口33进入环境中—因此离开再生单元34,并且由此离开工艺气体处理设备1。
与图3中所示的实施方式不同,再生气体35在图2和4所示的实施方式中不是工艺气体2的一部分,而是取自环境空气。
在图5和6中所述的两个实施方式中,与图2至4的实施方式相反,再生段36被构造为闭合回路45。在图5所示的第五实施方式中,再生气体35相对于工艺气体2顺流地流过吸附除湿单元29。在图6所示的第六实施方式中,工艺气体2和再生气体35以逆流原理流过吸附除湿单元29。闭合回路45具有如下优点,即,吸附除湿单元29的再生可以独立于环境条件进行,例如独立于环境温度和环境空气。
图7示出工艺气体处理设备1的第七实施方式。这里,工艺气体除湿设备18的吸附除湿单元29具有分别填充有吸附剂的两个容器72a和72b。每一个容器72a或72b都通过再生气体35被冷再生或热再生,而相应的另一个容器72a或72b被工艺气体2流过,并且该工艺气体被干燥至期望的湿度。
此外,工艺气体除湿设备18具有被构造为设备部件4的预热单元48,该预热单元48具有预热单元入口46和预热单元出口47。预热单元尤其用作用于冷凝除湿单元26的“防冻加热器”,并且适宜地布置在冷凝除湿单元26和/或吸附除湿单元29的上游。在再生段36被构造为闭合回路45的情况下,在吸附除湿单元29的再生期间吸收的湿气在预热单元48中从再生气体35中被冷凝出。就此而言有利地,预热单元48还与再生单元34相关联,使得预热单元48在被构造为闭合回路45的再生段36上布置在再生气体加热设备42的上游和再生气体输送设备39的下游,由此使得工艺气体2在流过预热单元48时被加热,并且再生气体35在流过预热单元48时被冷却。有利地,预热单元入口46和预热单元出口47被构造为管接头,在这些管接头处分别可布置或布置有起供应作用或转运作用的、适宜地构造成管道的通道区段11。
工艺气体调温设备19具有用于工艺气体2的被构造为设备部件4的调温单元51,该调温单元具有调温单元入口49和调温单元出口50。适宜地,调温单元入口49和调温单元出口50被构造为管接头,在这些管接头处分别可布置或布置有起供应作用或转运作用的、适宜地构造成管道的通道区段11。在这种情况下,调温单元51具有被构造为设备部件4的加热设备54,该加热设备54具有加热设备入口52和加热设备出口53。优选地,加热设备入口52和加热设备出口53也构造为管接头,在这些管接头处分别可布置或布置有起供应作用或转运作用的、适宜地构造成管道的通道区段11。加热设备54有利地适合于在工艺物料的加工干燥阶段中通过冷却或加热来处理工艺气体2,尤其可设定10℃至250℃的温度范围,优选地至少在环境温度以上。
此外,工艺气体处理设备1具有尤其布置在工艺气体除湿设备18的下游和工艺气体调温设备19的上游的、被构造为设备部件4的加湿设备55,其具有加湿设备入口56和加湿设备出口57。加湿设备入口56和加湿设备出口57优选地也被构造为管接头,在这些管接头处分别可布置或布置有起供应作用或转运作用的、适宜地构造成管道的通道区段11。通过加湿设备55,可以对工艺气体2进行加湿,并且也可以将工艺气体2的相对湿度设定成在量值上高于在工艺气体入口7处进入工艺气体处理设备1中的工艺气体2的相对湿度。
此外,工艺气体调温设备19具有与调温单元51并联连接的被构造为设备部件4的旁通单元60,该旁通单元具有旁通入口58和旁通出口59。旁通单元60又具有用于工艺气体2的被构造为设备部件4的冷却单元63、尤其是热交换器等,该冷却单元63具有冷却单元入口61和冷却单元出口62。冷却单元入口61和冷却单元出口62优选地构造为管接头,在这些管接头处分别可布置或布置有起供应作用或转运作用的、适宜地构造成管道的通道区段11。在旁通单元60处构造有被构造为设备部件4的阀组件64,用于选择性地流过调温单元51或旁通单元60,其中,冷却单元63是旁通单元60的组成部分。旁通单元60有利地构造为管道形式的通道区段11。作为阀组件64,适宜地使用两个三通阀或适合于选择性地流过调温单元51或旁通单元60的其他阀组件64。
工艺气体处理设备1额外具有第一测量设备66,第一测量设备66具有用于测量工艺气体2的相对湿度的相对湿度传感器65,其中,第一测量设备66布置在工艺气体除湿设备18的下游。工艺气体2中的相对湿度通过相对湿度传感器65测量,并且作为实际值以传感器信号的形式被传输给控制设备67。控制设备67被配置用于相互独立地调节和/或控制所有设备部件4。设备部件4的相应的入口和出口,根据在图1至7中示出的实施方式,通过通道区段11彼此连接,该通道区段优选为管道的形式。布置在工艺气体入口7上游和工艺气体出口10下游的外围装置也可以通过通道部段11连接,该通道区段优选为管道的形式。
此外,第一测量设备66还具有用于测量工艺气体2的温度的温度传感器68。温度值也作为温度实际值以传感器信号的形式传输给控制设备67。第一测量设备66的相对湿度传感器和温度传感器68适宜地构造为结构单元。
根据工艺气体2的在相对湿度传感器69处测量的相对湿度和在温度传感器68处测量的温度—如已经解释的—确定工艺气体2的绝对湿度实际值,即绝对湿度。绝对湿度实际值确定在第一测量设备66或控制设备67中进行。如果绝对湿度实际值在第一测量设备66中确定,则绝对湿度实际值作为传感器信号被传输给控制设备67。
流经工艺气体处理设备1的工艺气体2的湿度、优选绝对湿度,由控制设备67结合以第一测量设备66予以调节。有利地,至少在干燥阶段调节湿度。该调节基于相对湿度或绝对湿度进行,其中,基于绝对湿度的调节是优选的,因为绝对湿度与温度无关。
为此,在控制设备67中进行在存储于控制设备67中的绝对湿度额定值和绝对湿度实际值之间的第一绝对湿度比较,其中,如所述的,绝对湿度实际值根据由第一测量设备66的相对湿度传感器65测量的相对湿度值和由相关的温度传感器68测量的温度值来确定。
在考虑到第一绝对湿度比较的情况下,控制设备67随后将绝对湿度调节参数传输给工艺气体除湿设备18,以便调节工艺气体2的绝对湿度。
对于干燥至较低的湿度得到不同的可行方案,其中,所述干燥借助冷凝除湿单元26经由冷却水受到限制。吸附除湿单元受干燥剂容量的限制,其中,可通过干燥剂的再生来调节所吸收的湿气。
工艺气体2的绝对湿度借助由控制设备67调节的工艺气体除湿设备18予以调节,使得相应的绝对湿度实际值和绝对湿度的绝对湿度额定值有利地在小于等于3%的容差范围内一致。以上描述内容适用于相对湿度。
在绝对湿度比较时绝对湿度实际值小于绝对湿度额定值的情况下,对工艺气体2加湿。为此,工艺气体2适宜地由预热单元48加热,从而工艺气体2的温度能实现吸收所供应的湿气。然后通过加湿设备55将湿气供应给工艺气体。为此,第一测量设备66有利地也布置在工艺气体调温设备19的上游。
此外,在工艺气体除湿设备18的上游布置有第二测量设备70,其具有用于测量工艺气体2相对湿度的相对湿度传感器69。工艺气体2中的相对湿度通过相对湿度传感器69予以测量,并且作为另一个实际值以传感器信号的形式被传输给控制设备67。
第二测量设备70还优选地具有用于测量工艺气体2的温度的温度传感器71,其中,第二测量设备70的相对湿度传感器69和温度传感器71有利地构造为结构单元。对于在第二测量设备70中确定绝对湿度实际值的情况,将绝对湿度实际值作为传感器信号传输给控制设备67。
工艺气体处理设备1的每个设备部件4都可经由基于第二测量设备70进行的第二调节和/或控制来接通和/或切断。为此,在工艺气体除湿设备1的上游布置有具有用于测量工艺气体2的相对湿度的相对湿度传感器69和用于测量工艺气体2的温度的温度传感器71的第二测量设备70,并且在控制设备67中进行在存储于控制设备67中的绝对湿度额定值与绝对湿度实际值之间的第二绝对湿度比较,该绝对湿度额定值适宜地区别于用于调节湿度的绝对湿度额定值,其中,绝对湿度实际值根据由第二测量设备70的相对湿度传感器69测量的相对湿度值和由相关温度传感器71测量的温度值来确定。
绝对湿度实际值确定优选在第二测量设备70或控制设备67中进行。
在考虑到第二绝对湿度比较的情况下控制设备67将绝对湿度调节参数传输给每个设备部件4,以便接通和/或切断工艺气体处理设备1的相应的设备部件4。由此可行的是,在方法执行期间接通和/或切断每个单独的设备部件4,但尤其是冷凝除湿单元26和/或吸附除湿单元29和/或加湿设备55。令人惊讶的是,通过这种现代的、创新的和前瞻的调节和/或控制技术,实现了显著的能量节省,对工艺气体2的改善的处理、尤其在温度和湿度方面。
对设备部件4的调节和/或控制可以如上所述的那样基于绝对湿度,同样地也可以基于相对湿度。这里也优选通过绝对湿度进行调节和/或控制,因为绝对湿度与温度无关。适宜地在小于等于3%的公差范围内。
用于处理用于加工工艺装置3中的工艺物料的工艺气体2的方法在工艺处理设备1中进行,如下文更详细地解释的那样:
用于加工在工艺装置3(尤其流化装置5或涂敷装置6)中的工艺物料的工艺气体2的处理被分为两个前后相继的方法阶段,即干燥阶段和冷却阶段。因而在工艺物料的每次加工结束时,都有工艺物料的冷却阶段。该冷却阶段是必要的,以便避免尤其水形式的湿气从加工过的工艺物料中“渗出”,因为否则湿气会凝结,并导致或可能导致工艺装置3中的工艺物料的不希望的结块。因此,在干燥阶段加工工艺装置3中的工艺物料时,工艺气体调温设备19的调温单元51被流过,并且在冷却阶段中具有冷却单元63的旁通单元60被流过。在流过调温单元51时不流过旁通单元60,并且反之亦然。由此,除了在工艺物料的整个加工过程中显著降低能耗的优点之外,用于在工艺气体处理设备1中处理工艺气体2的方法还具有如下优点,即,在工艺物料的紧接着干燥阶段之后的冷却阶段中用于工艺气体2(其尤其是环境空气)的冷却时间通过将冷却单元63布置在旁通单元60中而缩短。因此,工艺物料也可以更快、更节能地被冷却。
在工艺装置3中加工工艺物料期间,工艺气体2在工艺气体入口7进入工艺处理设备1中,并流过该工艺处理设备1和与工艺处理设备1连接的工艺装置3。工艺气体2由工艺气体输送设备12输送。除了工艺气体除湿设备18和工艺气体调温设备19之外,工艺气体2在此还流过加湿设备55,该加湿设备55必要时尤其布置在工艺气体除湿设备18的下游和工艺气体调温设备19的上游。加湿设备55使得能够对工艺气体2进行加湿,并且还使得能够调节工艺气体2的相对湿度,所述相对湿度的值大于在工艺气体入口7处进入工艺气体处理设备1中的工艺气体2的相对湿度。如果使用加湿设备55,则工艺气体2在加湿之前有利地被预热单元48加热到确保工艺气体2能够吸收通过加湿设备55供应的湿气的温度。在该方法中,尤其至少在干燥阶段期间,调节流过工艺气体处理设备1的工艺气体2的湿度。工艺气体2的湿度既可以借助相对湿度也可以借助绝对湿度来调节,其中,优选借助绝对湿度来调节,因为绝对湿度区别于相对湿度与工艺气体2的温度无关。
为此,第一测量设备66优选地具有用于测量工艺气体2相对湿度的相对湿度传感器65和用于测量工艺气体2的温度的温度传感器68。相对湿度值和温度值作为传感器信号被传输给控制设备67。
在控制设备67中进行在存储的绝对湿度额定值和绝对湿度实际值之间的第一绝对湿度比较,其中,绝对湿度实际值根据由第一测量设备66的相对湿度传感器65测量的相对湿度值和由相关温度传感器68测量的温度值确定。绝对湿度实际值适宜地在第一测量设备66或控制设备67中确定。在考虑到第一绝对湿度比较的情况下,控制设备67将绝对湿度调节参数传输给工艺气体除湿设备1,以便调节工艺气体2的绝对湿度。适宜地,湿度在额定值的±3%的容差范围内调节。
必要时要进行的加湿也借助第一测量设备66经由所述调节来进行,如先前已经阐释的那样。
如果工艺气体除湿设备18具有尤其构造为干燥轮31的用于干燥工艺气体2的吸附除湿单元29,则该吸附除湿单元具有再生单元34,该再生单元34至少部分地对吸附除湿单元29进行再生。这种工艺气体除湿设备18尤其在图2至7中示出。
再生气体35在吸附除湿单元29的上游流过再生气体加热设备42,再生气体加热设备42对再生气体35进行干燥和加热,使得再生气体35能够从吸附除湿单元29吸收湿气。再生气体35在此被干燥和加热到如下程度,即吸附除湿单元29将也流过吸附除湿单元29的工艺气体2干燥到或可以干燥到固定的相对湿度。尤其地,控制设备67因此基于在存储的绝对湿度额定值和绝对湿度实际值之间的第一绝对湿度比较来调节和/或控制再生气体加热设备42。在此,再生气体35优选地流过吸附除湿单元29,如图6所示的那样,与工艺气体2逆流。
此外,工艺气体除湿设备18具有预热单元48,该预热单元适宜地布置在冷凝除湿单元26的上游,其中,预热单元48加热通过工艺气体入口7进入工艺气体处理设备1中的工艺气体2,以便防止冷凝除湿单元26结冰。预热单元48尤其用作冷凝除湿单元26的“防冻加热器”。在再生段36被构造为闭合回路45的情况下,在预热单元48中在吸附除湿单元29的再生期间吸收的湿气从再生气体35中被冷凝出。
工艺气体处理设备1的每个单独的设备部件4可以被接通和/或切断。为此,在工艺气体除湿设备18的上游布置有第二测量设备70,该第二测量设备70具有用于测量工艺气体2相对湿度的相对湿度传感器69和用于测量工艺气体2的温度的温度传感器71。在控制设备中进行在绝对湿度额定值和第二测量设备70的绝对湿度实际值之间的第二绝对湿度比较,其中,绝对湿度实际值根据由第二测量设备70的相对湿度传感器69测量的相对湿度值和由相关温度传感器71测量的温度值来确定。适宜地,绝对湿度实际值确定在第二测量设备70或控制设备67中进行。为此,在考虑到第二绝对湿度比较的情况下,控制设备67将绝对湿度调节参数传输给每个设备部件4,以便接通和/或切断工艺气体处理设备1的相应的设备部件4。令人惊讶的是,通过这种最新的、创新的和前瞻的控制技术,可以实现显著地节省能源,并改进对工艺气体2的相对湿度和温度的处理。适宜地,通过切断和/或接通设备部件4来显著降低用于装置运行的成本。
控制设备67基于绝对湿度比较来决定接通和/或切断工艺气体处理设备1的哪些设备部件4,以便对工艺气体2进行除湿。下面列出了实践中在运行工艺气体处理设备1时所应用的绝对湿度额定值:
-在绝对湿度额定值大于等于8g/m³时,仅经由冷凝除湿单元26进行除湿;吸附除湿单元29在存在时被切断;
-绝对湿度额定值小于8g/m³时,仅经由吸附除湿单元29进行除湿;冷凝除湿单元26在存在时被切断;
-在绝对湿度额定值小于8g/m³并且绝对湿度实际值与绝对湿度额定值之间的差值大于等于6g/m³时,经由冷凝除湿单元26和吸附除湿单元29进行除湿;
-在绝对湿度实际值小于绝对湿度额定值时,经由加湿设备55进行加湿。
Claims (36)
1.一种用于工艺气体(2)的工艺气体处理设备(1),所述工艺气体用于加工工艺装置(3)中的工艺物料,所述工艺气体处理设备带有:工艺气体入口(7)和与所述工艺装置(3)流体连接的工艺气体出口(10),其中,所述工艺气体(2)在从所述工艺气体入口(7)至所述工艺气体出口(10)延伸的处理段(13)上流动;沿所述工艺气体(2)的流动方向构造成设备部件(4)的工艺气体除湿设备(18);和布置在所述工艺气体除湿设备(18)下游的、构造成设备部件(4)的工艺气体调温设备(19),其中,所述工艺气体除湿设备(18)具有除湿设备入口(20)和除湿设备出口(21),并且所述工艺气体调温设备(19)具有调温设备入口(22)和调温设备出口(23),并且其中,所述工艺气体调温设备(19)具有用于所述工艺气体(2)的构造成设备部件(4)的调温单元(51)、用于所述工艺气体(2)的构造成设备部件(4)的冷却单元(63)和与所述调温单元(51)并联连接的构造成设备部件(4)的旁通单元(60),所述调温单元具有调温单元入口(49)和调温单元出口(50),所述冷却单元具有冷却单元入口(61)和冷却单元出口(62),所述旁通单元具有旁通入口(58)和旁通出口(59),其中,在所述旁通单元(60)处布置有构造成设备部件(4)的阀组件(64),用于选择性地流过所述调温单元(51)或所述旁通单元(60);和第一测量设备(66),所述第一测量设备具有用于测量所述工艺气体(2)相对湿度的相对湿度传感器(65),其中,所述第一测量设备(66)布置在所述工艺气体除湿设备(18)的下游;和控制设备(67),其特征在于,所述冷却单元(63)是所述旁通单元(60)的组成部分。
2.根据权利要求1所述的工艺气体处理设备(1),其特征在于,所述工艺气体处理设备(1)具有构造为设备部件(4)的工艺装置(3),所述工艺装置适宜地构造为流化装置(5)或涂层装置(6)。
3.根据权利要求1或2所述的工艺气体处理设备(1),其特征在于,所述工艺气体处理设备(1)具有构造为设备部件(4)的工艺气体输送设备(12)。
4.根据权利要求3所述的工艺气体处理设备(1),其特征在于,所述工艺气体输送设备(12)布置在所述工艺装置(3)的上游和/或下游。
5.根据前述权利要求中任一项所述的工艺气体处理设备(1),其特征在于,所述工艺气体除湿设备(18)具有被构造为设备部件(4)的冷凝除湿单元(26)和/或被构造为设备部件(4)的吸附除湿单元(29),所述冷凝除湿单元具有冷凝除湿单元入口(24)和冷凝除湿单元出口(25),所述吸附除湿单元具有吸附除湿单元入口(27)和吸附除湿单元出口(28),其中适宜地,在所述处理段(13)上所述冷凝除湿单元(26)布置在所述吸附除湿单元(29)的上游。
6.根据权利要求5所述的工艺气体处理设备(1),其特征在于,所述吸附除湿单元(29)构造为干燥轮(31)。
7.根据权利要求5或6所述的工艺气体处理设备(1),其特征在于,所述吸附除湿单元(29)具有构造为设备部件(4)的再生单元(34),所述再生单元具有再生单元入口(32)和再生单元出口(33),其中,其中,再生气体(35)由具有再生气体输送设备入口(37)和再生气体输送设备出口(38)的、被构造为设备部件(4)的再生气体输送设备(39)在从所述再生单元入口(32)延伸到所述再生单元出口(33)的再生段(36)上输送,并且在所述再生气体(35)的流动方向上流过被构造为设备部件(4)的再生气体加热设备(42)和吸附除湿单元(29),所述再生气体加热设备具有再生气体加热设备入口(40)和再生气体加热设备出口(41),所述吸附除湿单元具有再生气体入口(43)和再生气体出口(44)。
8.根据权利要求7所述的工艺气体处理设备(1),其特征在于,所述再生段(36)构造为闭合回路(45)。
9.根据前述权利要求中任一项所述的工艺气体处理设备(1),其特征在于,所述工艺气体除湿设备(18)具有被构造为设备部件(4)的预热单元(48),所述预热单元具有预热单元入口(46)和预热单元出口(47),所述预热单元适宜地布置在所述冷凝除湿单元(26)和/或所述吸附除湿单元(29)的上游。
10.根据权利要求6和7中任一项所述的工艺气体处理设备(1),其特征在于,此外所述预热单元(48)还与所述再生单元(34)相关联,其中,所述预热单元(48)在被构造为回路(45)的所述再生段(36)上布置在所述再生气体加热设备(42)的上游和所述再生气体输送设备(39)的下游,由此所述工艺气体(2)在流过所述预热单元(48)时被加热,并且所述再生气体(35)在流过所述预热单元(48)时被冷却。
11.根据权利要求7至10中任一项所述的工艺气体处理设备(1),其特征在于,所述再生气体输送设备(39)在所述再生段(36)上布置在所述吸附除湿单元(29)的下游。
12.根据前述权利要求中任一项所述的工艺气体处理设备(1),其特征在于,所述第一测量设备(66)布置在所述工艺气体调温设备(19)的上游。
13.根据前述权利要求中任一项所述的工艺气体处理设备(1),其特征在于,所述第一测量设备(66)还具有用于测量所述工艺气体(2)的温度的温度传感器(68)。
14.根据权利要求13所述的工艺气体处理设备(1),其特征在于,所述第一测量设备(66)的相对湿度传感器(65)和温度传感器(68)构造为结构单元。
15.根据前述权利要求中任一项所述的工艺气体处理设备(1),其特征在于,所述调温单元(51)具有被构造为设备部件(4)的加热设备(54),所述加热设备具有加热设备入口(52)和加热设备出口(53)。
16.根据前述权利要求中任一项所述的工艺气体处理设备(1),其特征在于,所述工艺气体输送设备(12)布置在所述工艺气体除湿设备(18)的下游和所述工艺气体调温设备(19)的上游。
17.根据前述权利要求中任一项所述的工艺气体处理设备(1),其特征在于,在所述工艺气体除湿设备(18)的上游布置有第二测量设备(70),所述第二测量设备具有用于测量所述工艺气体(2)的相对湿度的相对湿度传感器(69)。
18.根据权利要求17所述的工艺气体处理设备(1),其特征在于,所述第二测量设备(70)还具有用于测量所述工艺气体(2)的温度的温度传感器(71)。
19.根据权利要求17和18所述的工艺气体处理设备(1),其特征在于,所述第二测量设备(70)的相对湿度传感器(69)和温度传感器(71)构造为结构单元。
20.根据前述权利要求中任一项所述的工艺气体处理设备(1),其特征在于,所述工艺气体处理设备(1)具有尤其布置在所述工艺气体除湿设备(18)下游和所述工艺气体调温设备(19)上游的、被构造为设备部件(4)的加湿设备(55),所述加湿设备具有加湿设备入口(56)和加湿设备出口(57)。
21.一种用于处理工艺气体(2)的方法,所述工艺气体用于在干燥阶段和冷却阶段期间加工在工艺装置(3)中的工艺物料,所述工艺装置具有工艺气体处理设备(1),所述工艺气体处理设备带有:工艺气体入口(7)和与所述工艺装置(3)流体连接的工艺气体出口(10),其中,所述工艺气体(2)在从所述工艺气体入口(7)至所述工艺气体出口(10)延伸的处理段(13)上流动;沿所述工艺气体(2)的流动方向构造成设备部件(4)的工艺气体除湿设备(18)和布置在所述工艺气体除湿设备(18)下游的、构造成设备部件(4)的工艺气体调温设备(19),其中,所述工艺气体除湿设备(18)具有除湿设备入口(20)和除湿设备出口(21),并且所述工艺气体调温设备(19)具有调温设备入口(22)和调温设备出口(23),并且其中,所述工艺气体调温设备(19)具有用于所述工艺气体(2)的构造成设备部件(4)的调温单元(51)、用于所述工艺气体(2)的构造成设备部件(4)的冷却单元(63)和与所述调温单元(51)并联连接的构造成设备部件(4)的旁通单元(60),所述调温单元具有调温单元入口(49)和调温单元出口(50),所述冷却单元具有冷却单元入口(61)和冷却单元出口(62),所述旁通单元具有旁通入口(58)和旁通出口(59),其中,在所述旁通单元(60)处布置有构造成设备部件(4)的阀组件(64),用于选择性地流过所述调温单元(51)或所述旁通单元(60);和第一测量设备(66),所述第一测量设备具有用于测量所述工艺气体(2)的相对湿度的相对湿度传感器(65),其中,所述第一测量设备(66)布置在所述工艺气体除湿设备(18)的下游;和控制设备(67),其特征在于,所述冷却单元(63)是所述旁通单元(60)的组成部分,并且其中,在加工所述工艺装置(3)中的工艺物料时,在所述干燥阶段在流过所述调温单元(51),并且在所述冷却阶段中流过具有所述冷却单元(63)的旁通单元(60)。
22.根据权利要求21所述的方法,其特征在于,调节流过所述工艺气体处理设备(1)的工艺气体(2)的湿度。
23.根据权利要求22所述的方法,其特征在于,所述第一测量设备(66)具有用于测量所述工艺气体(2)的温度的温度传感器(68),并且在所述控制设备(67)中进行在绝对湿度额定值和绝对湿度实际值之间的第一绝对湿度比较,其中,所述绝对湿度实际值根据由所述第一测量设备(66)的相对湿度传感器(65)测量的相对湿度值和由相关的所述温度传感器(68)测量的温度值来确定。
24.根据权利要求23所述的方法,其特征在于,所述绝对湿度实际值确定在所述第一测量设备(66)或所述控制设备(67)中进行。
25.根据权利要求23或24所述的方法,其特征在于,所述控制设备(67)在考虑到所述第一绝对湿度比较的情况下将绝对湿度调节参数传输给所述工艺气体除湿设备(18)和/或所述加湿设备(55),以便调节所述工艺气体(2)的绝对湿度。
26.根据权利要求22至24中任一项所述的方法,其特征在于,至少在所述干燥阶段期间调节所述湿度。
27.根据权利要求21至26中任一项所述的方法,其特征在于,借助加湿设备(55)加湿所述工艺气体(2),所述加湿设备尤其布置在所述工艺气体除湿设备(18)的下游和所述工艺气体调温设备(19)的上游。
28.根据权利要求21至27中任一项所述的方法,其特征在于,所述工艺气体除湿设备(18)具有吸附除湿单元(29),所述吸附除湿单元具有再生单元(34),其中,所述吸附除湿单元(29)由所述再生单元(34)至少部分地再生。
29.根据权利要求28所述的方法,其特征在于,所述再生单元(34)具有再生气体加热设备(42),所述再生气体加热设备加热再生气体(35),从而使得所述再生气体(35)在流过所述吸附除湿单元(29)时吸收湿气,由此将所述吸附除湿单元(29)至少部分地干燥并由此再生。
30.根据权利要求29所述的方法,其特征在于,所述再生气体(35)相对于所述工艺气体(2)逆流地流过所述吸附除湿单元(29)。
31.根据权利要求21至30中任一项所述的方法,其特征在于,所述工艺气体除湿设备(19)具有预热单元(48),所述预热单元适宜地布置在所述冷凝除湿单元(26)的上游,其中,所述预热单元(48)加热经由所述工艺气体入口(7)进入到所述工艺气体处理设备(1)中的工艺气体(2),以便防止所述冷凝除湿单元(26)的结冰,或加热所述工艺气体(2)用于加湿所述工艺气体(2)。
32.根据权利要求21至31中任一项所述的方法,其特征在于,能够接通和/或切断所述工艺气体处理设备(1)的每个设备部件(4)。
33.根据权利要求32所述的方法,其特征在于,在所述工艺气体除湿设备(18)的上游布置有第二测量设备(70),所述第二测量设备具有用于测量所述工艺气体(2)的相对湿度的相对湿度传感器(69)和用于测量所述工艺气体(2)的温度的温度传感器(71),并且在所述控制设备(67)中进行在绝对湿度额定值和绝对湿度实际值之间的第二绝对湿度比较,其中,所述绝对湿度实际值根据由所述第二测量设备(70)的相对湿度传感器(69)测量的相对湿度值和由相关的所述温度传感器(71)测量的温度值来确定。
34.根据权利要求33所述的方法,其特征在于,所述绝对湿度实际值确定在所述第二测量设备(70)或所述控制设备(67)中进行。
35.根据权利要求33或34所述的方法,其特征在于,所述控制设备(67)在考虑到所述第二绝对湿度比较的情况下能够将绝对湿度调节参数传输给每个设备部件(4),以便接通和/或切断所述工艺气体处理设备(1)的相应的设备部件(4)。
36.根据权利要求21至35中任一项所述的方法,其特征在于,所述工艺气体处理设备(1)具有被构造为设备部件(4)的工艺气体输送设备(12),所述工艺气体输送设备在从所述工艺气体入口(7)延伸到所述工艺气体出口(10)的处理段(13)上输送所述工艺气体(2)。
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