CN117957049A - 工艺气体处理装置和用于处理工艺气体的方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种用于工艺气体(2)的工艺气体处理装置(1)，该工艺气体用于处置工艺仪器(3)中的工艺产物，并且涉及一种用于在干燥阶段和冷却阶段期间处理用于处置工艺仪器(3)中的工艺产物的工艺气体(2)的方法。

Description

工艺气体处理装置和用于处理工艺气体的方法

技术领域

本发明涉及一种用于工艺气体的工艺气体处理装置，该工艺气体用于处置工艺仪器中的工艺产物，该工艺气体处理装置具有：工艺气体入口；和与工艺仪器以流体的方式连接的工艺气体出口，其中，工艺气体在从工艺气体入口延伸到工艺气体出口的处理路径上流动；沿着工艺气体的流动方向构造为装置组件的工艺气体除湿装置；和布置在工艺气体除湿装置下游的、构造为装置组件的工艺气体调温装置，其中，工艺气体除湿装置具备除湿装置入口和除湿装置出口，并且工艺气体调温装置具备调温装置入口和调温装置出口，并且其中，工艺气体调温装置具有具备调温单元入口和调温单元出口的、构造为装置组件的用于工艺气体的调温单元；以及控制装置。

此外本发明涉及一种用于在干燥阶段和冷却阶段期间处理用于处置工艺仪器中的工艺产物的工艺气体的方法，具有工艺气体处理装置，该工艺气体处理装置具有：工艺气体入口；和与工艺仪器以流体的方式连接的工艺气体出口，其中，工艺气体在从工艺气体入口延伸到工艺气体出口的处理路径上流动；沿着工艺气体的流动方向构造为装置组件的工艺气体除湿装置；和布置在工艺气体除湿装置下游的、构造为装置组件的工艺气体调温装置，其中，工艺气体除湿装置具备除湿装置入口和除湿装置出口，并且工艺气体调温装置具备调温装置入口和调温装置出口，并且其中，工艺气体调温装置具有具备调温单元入口和调温单元出口的、构造为装置组件的用于工艺气体的调温单元；以及控制装置。

背景技术

已知工艺气体处理装置，然而该工艺气体处理装置除了高能量消耗之外还具有用于工艺气体的较长的冷却时间。

发明内容

因此，本发明的目的是提供一种工艺气体处理装置和一种用于处理工艺气体的方法，以便使得已知的工艺气体处理装置的缺点最小化，尤其使得用于工艺气体的高能量消耗最小化。

该目的在开头所提及的类型的工艺气体处理装置中通过下述方式来实现，即：在工艺气体除湿装置上游布置有具备用于测量工艺气体的相对湿度的相对湿度传感器的第二测量装置。以有利的方式借助于第二测量装置在工艺气体入口处测量工艺气体中的相对湿度，并且将其作为传感器信号传送处控制装置处。由此能够不依赖于另外的装置组件来控制每个单个装置组件。

在工艺气体处理装置的就此而言的改进方案中，工艺气体处理装置具有构造为装置组件的工艺仪器，该工艺仪器以适宜的方式构造为流化仪器或者涂层仪器。流化仪器例如构造为涡流-或者发射层仪器。涂层仪器是例如涂布机，尤其是滚筒涂布机。

优选工艺气体处理装置具有构造为装置组件的工艺气体输送装置。工艺气体处理装置的这样的设计方案的优点是，工艺气体以能设定的方式由工艺气体输送装置、尤其是风扇、真空泵或诸如此类物在处理路径上进行输送。就此而言，工艺气体输送装置以适宜的方式布置在工艺仪器的上游和/或下游。

根据工艺气体处理装置的另一种改进方案，工艺气体除湿装置具有具备凝结除湿单元入口和凝结除湿单元出口的构造为装置组件的凝结除湿单元、和/或具备吸附除湿单元入口和吸附除湿单元出口的构造为装置组件的吸附除湿单元。以有利的方式，凝结除湿单元和吸附除湿单元均适合于对工艺气体除湿，其中，通过在工艺气体除湿装置中使用凝结除湿单元和吸附除湿单元能够实现对工艺气体的经改善的并且能目标精确地设定的除湿。根据有待从工艺气体去除的湿度量来使用两个装置组件或者其组合。

以适宜的方式，凝结除湿单元构造为流体冷却的冷凝器，其中，作为流体尤其使用冷却水，其例如来自周围环境的附近水域。构造为冷凝器的凝结除湿单元优选如此确定尺寸，以便在使用冷却水的情况下将工艺气体冷却到近似8℃。由此工艺气体的相对湿度下降，由此干燥该工艺气体。

构造为冷凝器的凝结除湿单元对于大部分的用于处理工艺气体的方法而言被足够地确定尺寸。

对于工艺气体除湿装置具备凝结除湿单元和吸附除湿单元的情况，以适宜的方式在处理路径上将凝结除湿单元布置吸附除湿单元上游。由此在对凝结除湿单元穿流之后能够通过吸附除湿单元目标精确地设定工艺气体的相对湿度，其中，吸附除湿单元优选构造为干燥轮。

尤其吸附除湿单元具备具有再生单元入口和再生单元出口的、构造为装置组件的再生单元，其中，由具有再生气体输送装置入口和再生气体输送装置出口的、构造为装置组件的再生气体输送装置在从再生单元入口延伸到再生单元出口的再生路径上输送再生气体，并且该再生气体沿着再生气体的流动方向对具有再生气体加热装置入口和再生气体加热装置出口的、构造为装置组件的再生气体加热装置、以及具有再生气体入口和再生气体出口的吸附除湿单元进行穿流。以适宜的方式进行吸附除湿单元的暖再生。在暖再生中，针对吸附除湿单元的干燥剂的再生，再生气体被加热到例如160℃或者更高的温度并且被引导通过有待再生的吸附除湿单元。热的再生气体从干燥剂去除由工艺气体吸收的湿气并且优选将其在再生单元出口处以适宜的方式输出到周围环境。就此而言优选再生路径构造为闭合回路。与此对应地这样的闭合回路具有的优点是，能够不依赖于周围环境条件来实现对吸附除湿单元的再生，也就是说例如在没有吸入的周围环境空气的情况下来实现。

按照工艺气体处理装置的另一种设计方案，工艺气体除湿装置具有具备预加热单元入口和预加热单元出口的、构造为装置组件的预加热单元，该预加热单元以适宜的方式布置在凝结除湿单元和/或吸附除湿单元上游。预加热单元尤其用作用于凝结除湿单元的“防冻加热装置”。在再生路径构造为闭合回路的情况下，在预加热单元中在吸附除湿单元的再生时吸收的湿气从再生气体凝结出来。

特别优选预加热单元此外也配属于再生单元，其中，预加热单元在构造为闭合回路的再生路径上布置在再生气体加热装置上游和再生气体输送装置下游，由此工艺气体在对预加热单元穿流时被加温，并且再生气体在对预加热单元穿流时被冷却。构造为热源的预加热单元的集成方案附加地提高了对工艺气体的干燥的经济性。

此外优选再生气体输送装置在再生路径上布置在吸附除湿单元下游。通过再生气体输送装置的这种布置方式产生一种在再生路径上优选的负压。

此外优选的是，第一测量装置布置在工艺气体调温装置上游。以有利的方式借助于第一测量装置测量工艺气体的相对湿度并且将其作为传感器信号传送到控制装置处。

湿度表示工艺气体中的水蒸气的份额，液态的水(例如雨、露水)不算在内。相对湿度说明了尽可能高的饱和度的份额，其中，100％意味着，在工艺气体中不再能够吸收水蒸气。绝对湿度说明了每立方米工艺气体的水蒸气的质量。温度越高，工艺气体、尤其空气就能够吸收越多的水蒸气。

能够在使用近似公式的情况下将相对湿度换算成绝对湿度。为此，存在不同的近似公式，在文献中已知这些近似公式。用于由相对湿度和温度来计算采用单位g/m³的绝对湿度f的“简单的”近似公式

在-30℃与35℃的温度范围以及平常的大气压中实现了具有最大0.1％的偏差的精确性，其中，在公式中温度T以摄氏度给出，相对空气湿度rh以％给出，并且e是自然对数的底2.71828。温度与前面所提到的温度范围偏离越大，换算的结果就越不精确。

对于相对湿度到绝对湿度的换算需要工艺气体的温度。因此第一测量装置此外具备用于测量工艺气体的温度的温度传感器。以适宜的方式工艺气体的温度也被测量并且作为传感器信号传送到控制装置处。

优选第一测量装置的相对湿度传感器和温度传感器构造为结构单元。

借助于以适宜的方式作为传感器信号传送到控制装置处的、工艺气体的温度和相对湿度能够实现对绝对湿度的计算，该绝对湿度不依赖于温度。在第一测量装置中或者在控制装置中进行到绝对湿度实际值的换算。

根据工艺气体处理装置的另一种改进方案，调温单元具有具备加热装置入口和加热装置出口的、构造为装置组件的加热装置。加热装置以有利的方式适合于，工艺气体在处置工艺产物的干燥阶段中通过冷却或者加温来处理。由此能够设定尤其呈周围环境空气的形式的工艺气体的在5℃至250℃的范围中的任意的温度。

根据工艺气体处理装置的附加的改进方案，工艺气体输送装置布置在工艺气体除湿装置下游和工艺气体调温装置上游。通过工艺气体输送装置在工艺气体除湿装置下游的这种布置方式，产生一种在处理路径上优选的负压。

此外在工艺气体处理装置的改进方案中，工艺气体调温单元具有具备冷却单元入口和冷却单元出口的、构造为装置组件的用于工艺气体的冷却单元、以及具备旁通入口和旁通出口的、与调温单元并联连接的、构造为装置组件的旁通单元，其中，在旁通单元处布置有构造为装置组件的阀门布置结构以用于可选地对调温单元或者旁通单元穿流，并且带有具备用于测量工艺气体的相对湿度的相对湿度传感器的第一测量装置，其中，第一测量装置布置在工艺气体除湿装置下游。优选在此冷却单元是旁通单元的组成部件。这样的工艺气体处理装置除了明显降低工艺产物的干燥阶段和冷却阶段期间的能量消耗的优点之外附加地还具有的优点是，在工艺产物的接着干燥阶段的冷却阶段中通过将冷却单元布置在旁通单元中来缩短用于尤其被设计为周围环境空气的工艺气体的冷却时间。在工艺产物的干燥阶段之后，开始工艺产物的冷却阶段。冷却阶段是必要的，以便避免从处置的工艺产物“排出”尤其呈水的形式的湿气，因为该湿气否则会冷凝并且会导致工艺产物在工艺仪器中的不希望的聚集。在已知的工艺气体处理装置中，在工艺气体调温装置上游或者下游进行对工艺气体的冷却。在工艺气体调温装置上游或者下游进行对工艺气体的冷却的情况下，在冷却阶段中所有装置组件也被穿流并且因此在时间上在工艺产物之前被冷却，这例如由于所安装的装置组件的惰性质量(Masse)而非常耗能并且耗时。

对于相对湿度到绝对湿度的换算，需要工艺气体的温度。因此第二测量装置此外具备用于测量工艺气体的温度的温度传感器。特别地，工艺气体的在第二测量装置处所测量的温度也作为传感器信号传送到控制装置处。

第二测量装置的相对湿度传感器和温度传感器也以适宜的方式构造为结构单元。

在第二测量装置处所测量的温度和相对湿度用于调节和/或控制各个装置组件，以关断和/或接通这些装置组件的形式来进行。特别地，凝结除湿单元、吸附除湿单元、预加热单元和/或加湿装置因此对应地调节和/或控制。出乎意料的是，通过这种合乎时势的、创新的并且积极主动的调节技术引起显著的节能并且得到工艺气体的的经改善的处理。

在工艺气体处理装置的另一种设计方案中，该工艺气体处理装置优选具有尤其布置在工艺气体除湿装置下游和工艺气体调温装置上游的构造为装置组件的加湿装置，该加湿装置具备加湿装置入口和加湿装置出口。通过加湿装置能够对工艺气体加湿并且也能够设定工艺气体的湿度，该湿度在值方面高于在工艺气体入口处进入到工艺气体处理装置中的工艺气体的湿度。为此，工艺气体由预加热单元加温到下述温度，该温度对于工艺气体能够实现吸收湿气。

此外所述目的在开头所提及的类型的方法中通过下述方式来实现，即：能够接通和/或切断工艺气体处理装置的每个装置组件。为此，在工艺气体除湿装置上游布置有具备用于测量工艺气体的相对湿度的相对湿度传感器、以及用于测量工艺气体的温度的温度传感器的第二测量装置，并且在控制装置中在绝对湿度目标值与绝对湿度实际值之间实现第二绝对湿度比较，其中，从由第二测量装置的相对湿度传感器所测量的相对湿度值以及由配属于其的温度传感器所测量的温度值来确定绝对湿度实际值。以适宜的方式在第二测量装置中或者在控制装置中实现绝对湿度实际值确定。为此，在考虑到第二绝对湿度比较的情况下控制装置能够将绝对湿度调节参量传送到每个装置组件处，以便接通和/或关断工艺气体处理装置的相应的装置组件。

根据所述方法的另外有利的设计方案，尤其至少在干燥阶段期间调节流动通过工艺气体处理装置的工艺气体的湿度。工艺气体的湿度能够不仅借助于相对湿度而且也借助于绝对湿度来调节，其中，优选借助于绝对湿度来调节，因为不同于相对湿度，绝对湿度不依赖于工艺气体的温度。

为此，优选第一测量装置具有用于测量工艺气体的温度的温度传感器，并且在控制装置中在绝对湿度目标值与绝对湿度实际值之间实现第一绝对湿度比较，其中，从由第一测量装置的相对湿度传感器所测量的相对湿度值以及由配属于其的温度传感器所测量的温度值来确定绝对湿度实际值。以适宜的方式在第一测量装置中或者在控制装置中实现绝对湿度实际值确定。控制装置在考虑到第一绝对湿度比较的情况下将绝对湿度调节参量传送到工艺气体除湿装置和/或加湿装置处，以便调节工艺气体的绝对湿度。以适宜的方式，湿度在目标值的±3％的公差范围中调节。

就此而言，工艺气体通过尤其布置在工艺气体除湿装置下游和工艺气体调温装置上游的加湿装置来加湿。通过加湿装置能够对工艺气体加湿并且也能够设定工艺气体的湿度，该湿度在值方面高于在工艺气体入口处进入到工艺气体处理装置中的工艺气体的湿度。为此，工艺气体由预加热单元加温到下述温度，该温度对于工艺气体能够实现吸收湿气。通过加湿装置，用于处理用于处置工艺仪器中的、尤其流化仪器中的或者涂层仪器中的工艺产物的工艺气体的方法还要更为灵活。

根据所述方法的另一种改进方案中，工艺气体除湿装置具有具备再生单元的吸附除湿单元，其中，吸附除湿单元通过再生单元至少部分地再生。就此而言再生单元具有对再生气体加温的再生气体加热装置，使得再生气体在对吸附除湿单元穿流时吸收湿气，由此至少部分地干燥吸附除湿单元并且由此使其再生。吸附除湿单元对工艺气体除湿，无论是否前置有凝结除湿单元，从而达到控制装置中存储的目标值。这尤其通过精确地设定对此而言重要的参数、如再生气体的温度和相对湿度来实现。特别地，控制装置因此基于平衡实际值和目标值来调节和/或控制再生气体加热装置。再生气体对吸附除湿单元进行再生，从而该吸附除湿单元刚好能够吸收湿气的量，以便对应地干燥工艺气体以用于达到控制装置中存储的目标值。优选再生气体在此在相对于工艺气体的逆流中对吸附除湿单元穿流。

此外工艺气体除湿装置具有预加热单元，该预加热单元以适宜的方式布置在凝结除湿单元上游，其中，预加热单元对通过工艺气体入口进入到工艺气体处理装置中的工艺气体加温，以便防止凝结除湿单元冻结或者为了对工艺气体的加湿而对工艺气体进行加温。预加热单元尤其用作用于凝结除湿单元的“防冻加热装置”。在再生路径构造为闭合回路的情况下，在预加热单元中在吸附除湿单元的再生时所吸收的湿气从再生气体凝结出来。

根据所述方法的附加的改进方案，工艺气体调温单元具有具备冷却单元入口和冷却单元出口的、构造为装置组件的用于工艺气体的冷却单元、以及具备旁通入口和旁通出口的、与调温单元并联连接的、构造为装置组件的旁通单元，其中，在旁通单元处布置有构造为装置组件的阀门布置结构以用于可选地对调温单元或者旁通单元穿流，并且带有具备用于测量工艺气体的相对湿度的相对湿度传感器的第一测量装置，其中，第一测量装置布置在工艺气体除湿装置下游，其中，冷却单元是旁通单元的组成部件，并且其中，在处置工艺仪器中的工艺产物时在干燥阶段中调温单元被穿流并且在冷却阶段中具备冷却单元的旁通单元被穿流。用于处理工艺气体处理装置中的工艺气体的如此设计的方法除了明显降低工艺产物的干燥阶段和冷却阶段期间的能量消耗的优点之外附加地也具有的优点是，在工艺产物的接着干燥阶段的冷却阶段中通过将冷却单元布置在旁通单元中来缩短用于尤其设计为周围环境空气的工艺气体的冷却时间。在工艺产物的干燥阶段之后开始工艺产物的冷却阶段。冷却阶段是必要的，以便避免从处置的工艺产物“排出”尤其呈水的形式的湿气，因为该湿气否则会冷凝并且会导致工艺产物在工艺仪器中的不希望的聚集。在已知的工艺气体处理装置中，在工艺气体调温装置上游或者下游进行对工艺气体的冷却。在工艺气体调温装置上游或者下游来冷却工艺气体的情况下，在冷却阶段中所有装置组件也被穿流，并且因此在时间上在工艺产物之前被冷却，这例如由于所安装的装置组件的惰性质量而非常耗能且耗时。通过所述方法在冷却阶段中工艺气体调温装置没有被穿流，由此所述方法比已知的方法明显更为能量高效。

控制装置基于绝对湿度比较来决定工艺气体处理装置的哪些装置组件为了对工艺气体除湿而被接通和/或关断。在下文中列举在实践中在运行工艺气体处理装置时所使用的绝对湿度目标值：

-在绝对湿度目标值大于等于8g/m³时仅通过凝结除湿单元除湿；吸附除湿单元在存在时被关断；

-在绝对湿度目标值小于8g/m³时仅通过吸附除湿单元来除湿；凝结除湿单元在存在时被关断；

-在绝对湿度目标值小于8g/m³并且绝对湿度实际值与绝对湿度目标值之间的差值大于等于6g/m³时，通过凝结除湿单元并且通过吸附除湿单元除湿；

-在绝对湿度实际值小于绝对湿度目标值时通过加湿装置加湿。

前面所提到的绝对湿度目标值是基于经验的值，该值也可能偏离于前面所提到的绝对湿度目标值。

工艺气体处理装置具有构造为装置组件的工艺气体输送装置，该工艺气体输送装置在从工艺气体入口延伸到工艺气体出口的处理路径上输送工艺气体。所述方法的这样的设计方案的优点是，以能设定的方式由工艺气体输送装置、尤其风扇、真空泵或诸如此类物在处理路径上输送工艺气体。

附图说明

在下文中根据附图更详细地阐释本发明，并且在这些附图中示出了：

图1示出了工艺气体处理装置的第一实施方式，

图2示出了工艺气体处理装置的第二实施方式，

图3示出了工艺气体处理装置的第三实施方式，

图4示出了工艺气体处理装置的第四实施方式，

图5示出了工艺气体处理装置的第五实施方式，

图6示出了工艺气体处理装置的第六实施方式，并且

图7示出了工艺气体处理装置的第七实施方式。

具体实施方式

只要没有作出另外说明，接下来的说明涉及用于工艺气体2的优选的工艺气体处理装置1的在附图中绘出的全部的实施方式，该工艺气体用于处置工艺仪器3中的工艺产物，并且涉及用于处理用于处置工艺仪器3中的工艺产物的工艺气体2的对应的方法。在此，工艺气体处理装置1以适宜的方式具有构造为装置组件4的工艺仪器3，该工艺仪器尤其构造为流化仪器5或者涂层仪器6。

工艺气体处理装置1具备工艺气体入口7以及与具有工艺仪器入口8和工艺仪器出口9的工艺仪器3以流体的方式连接的工艺气体出口10。优选工艺气体入口7和工艺气体出口10构造为联接套管，进行供应的或继续引导的、以适宜的方式构造为管道的通道区段11分别能布置或者被布置在所述联接套管处。为了能够分别更好地区分相同的对象，这些对象在下文中在附图标记方面用a、b、c等来标记，例如对于通道区段11a、11b、11c。

由构造为装置组件4的工艺气体输送装置12在从工艺气体入口7延伸到工艺气体出口10的处理路径13上输送工艺气体2。在此，具有工艺气体输送装置入口14和工艺气体输送装置出口15的工艺气体输送装置12以适宜的方式构造为真空泵16或者风扇17。优选工艺气体输送装置入口14和工艺气体输送装置出口15构造为联接套管，进行供应的或继续引导的通道区段11分别能够布置或者被布置在所述联接套管处，其中，通道区段11尤其构造为管道。

工艺气体处理装置1沿着工艺气体2的流动方向具有构造为装置组件4的工艺气体除湿装置18以及布置在工艺气体除湿装置18下游的、构造为装置组件4的工艺气体调温装置19。优选工艺气体输送装置12布置在工艺气体除湿装置18下游以及工艺气体调温装置19上游。

工艺气体除湿装置18具备除湿装置入口20和除湿装置出口21，并且工艺气体调温装置19具备调温装置入口22和调温装置出口23。优选除湿装置入口20、除湿装置出口21、调温装置入口22以及调温装置出口23也构造为联接套管，尤其呈管道的形式的进行供应的或继续引导的通道区段11分别能够布置或者被布置在所述联接套管处。以有利的方式，工艺气体除湿装置18能够实现对工艺气体2的能目标精确地设定的除湿。

在此，工艺气体除湿装置18具有具备凝结除湿单元入口24和凝结除湿单元出口25的、构造为装置组件4的凝结除湿单元26和/或具备吸附除湿单元入口27和吸附除湿单元出口28的、构造为装置组件4的吸附除湿单元29。优选凝结除湿单元入口24和凝结除湿单元出口25以及吸附除湿单元入口27和吸附除湿单元出口28构造为联接套管，进行供应的或继续引导的、以适宜的方式构造为管道的通道区段11分别能够布置或者被布置在所述联接套管处。

在工艺气体处理装置1的在图1中所示出的第一实施方式中，工艺气体除湿装置18仅具有凝结除湿单元26，并且在图2中所示出的实施方式中，工艺气体除湿装置18仅具有吸附除湿单元29，除了在所述第一实施方式中以及在图2中所示出的实施方式中之外，工艺气体除湿装置18在所有其他的在图3至图7中所示出的实施方式中分别具备凝结除湿单元26和在处理路径13上布置在凝结除湿单元26的下游的吸附除湿单元29。优选凝结除湿单元26构造为流体冷却的冷凝器30并且吸附除湿单元29构造为干燥轮31。

在流体冷却的冷凝器30中尤其使用冷却水以作为流体。在此，冷凝器30尤其如此确定尺寸(dimensionieren)，以便在使用冷却水的情况下将工艺气体2冷却到近似8℃，由此降低工艺气体2的湿度。这样的冷凝器对于大部分的所执行的用于处理工艺气体2的方法而言被足够地确定尺寸。工艺气体2也能够冷却到另一种温度。前面所提到的8℃是在使用来自工艺气体处理装置1的运营方的冷却水网络的冷却水的情况下的经验值。

在图2中所示出的实施方式示出了构造为工艺除湿装置18的呈干燥轮31的形式的吸附除湿单元29。通过构造为干燥轮31的吸附除湿单元29能够目标精确地设定工艺气体2的湿度。

在图3至图6的实施方式中通过构造为干燥轮31的吸附除湿单元29也能够目标精确地设定工艺气体2的湿度。为此，吸附除湿单元29在图2至图6中所示出的实施方式中具备具有再生单元入口32和再生单元出口33的、构造为装置组件4的再生单元34。优选再生单元入口32和再生单元出口33构造为联接套管，进行供应的或继续引导的、以适宜的方式构造为管道的通道区段11分别能够布置或者被布置在所述联接套管处。

对于吸附除湿单元29、尤其干燥轮31的再生，在从再生单元入口32延伸到再生单元出口33的再生路径36上由具有再生气体输送装置入口37和再生气体输送装置出口38的、构造为装置组件4的再生气体输送装置39来输送再生气体35。以适宜的方式，再生气体输送装置入口37和再生气体输送装置出口38也构造为联接套管，进行供应的或继续引导的、例如构造为管道的通道区段11分别能够布置或者被布置在所述联接套管处。在此，具有再生气体加热装置入口40和再生气体加热装置出口41的、构造为装置组件4的再生气体加热装置42以及具有再生气体入口43和再生气体出口44的吸附除湿单元29沿着再生气体35的流动方向被穿流。作为再生气体加热装置42，尤其热交换器或者电加热装置是合适的。优选再生气体加热装置入口40和再生气体加热装置出口41以及再生气体入口43和再生气体出口44也构造为联接套管，进行供应的或继续引导的、尤其构造为管道的通道区段11分别能够布置或者被布置在所述联接套管处。以适宜的方式，再生气体输送装置39在再生路径36上布置在吸附除湿单元29下游，并且进一步优选地同时布置在工艺气体调温装置19上游，由此在再生路径36上优选能产生或者产生了负压。

以适宜的方式进行吸附除湿单元29的暖再生(Warmregeneration)。在暖再生中，针对吸附除湿单元29的干燥剂的再生，再生气体35被加热到例如160℃的温度并且引导通过有待再生的吸附除湿单元29。热的再生气体35从干燥剂去除从工艺气体2吸收的湿气并且将其在再生单元出口33处以适宜的方式输出到周围环境。

在图3中所示出的实施方式中，工艺气体2的一部分用作再生气体35，这部分在凝结除湿单元26上游从工艺气体2分岔。在分岔之后，再生气体35沿着流动方向在再生路径36上通过再生气体加热装置42、吸附除湿单元29和再生气体输送装置39经由再生单元出口33流动到周围环境中，由此离开再生单元34并且因此离开工艺气体处理装置1。

不同于图3中所示出的实施方式，在图2和图4中所示出的实施方式中再生气体35不是工艺气体2的一部分，而是从周围环境空气中取得。

与图2至图4的实施方式相反，在两个在图5和图6中所描述的实施方式中，再生路径36构造为闭合回路45。在图5中所示出的第五实施方式中，关于工艺气体2在相同流动中再生气体35对吸附除湿单元29穿流。在图6中所示出的第六实施方式中，工艺气体2和再生气体35以逆流原则对吸附除湿单元29穿流。闭合回路45具有的优点是，吸附除湿单元29的再生能够不依赖于周围环境条件来实现，例如不依赖于周围环境温度和周围环境空气来实现。

图7示出了工艺气体处理装置1的第七实施方式。在此，工艺气体除湿装置18的吸附除湿单元29具有两个容器72a和72b，这些容器分别填充有吸附剂。容器72a或者72b分别借助于再生气体35冷地或者暖地再生，而分别其他的容器72a或者72b被工艺气体2穿流并且该工艺气体被干燥到所期望的湿度。

此外工艺气体除湿装置18具有具备预加热单元入口46和预加热单元出口47的、构造为装置组件4的预加热单元48。预加热单元尤其用作用于凝结除湿单元26的“防冻加热装置”，并且以适宜的方式布置在凝结除湿单元26和/或吸附除湿单元29上游。在再生路径36构造为闭合回路45的情况下，在预加热单元48中在吸附除湿单元29的再生时吸收的湿气从再生气体35凝结出来。就此而言有利地，预加热单元48此外也配属于再生单元34，使得预加热单元48在构造为闭合回路45的再生路径36上布置在再生气体加热装置42上游和再生气体输送装置39下游，由此工艺气体2在穿流预加热单元48时被加温，并且再生气体35在穿流预加热单元48时被冷却。以适宜的方式，预加热单元入口46和预加热单元出口47构造为管接头，进行供应的或继续引导的、以适宜的方式构造为管道的通道区段11分别能够布置或者被布置在所述管接头处。

工艺气体调温装置19具有具备调温单元入口49和调温单元出口50的、构造为装置组件4的用于工艺气体2的调温单元51。以适宜的方式，调温单元入口49和调温单元出口50构造为管接头，进行供应的或继续引导的、以适宜的方式构造为管道的通道区段11分别能够布置或者被布置在所述管接头处。在此调温单元51具有具备加热装置入口52和加热装置出口53的、构造为装置组件4的加热装置54。优选加热装置入口52和加热装置出口53也构造为管接头，进行供应的或继续引导的、以适宜的方式构造为管道的通道区段11分别能够布置或者被布置在所述管接头处。加热装置54以有利的方式合适于，在对工艺产物的处置的干燥阶段中通过冷却或者加温来处理工艺气体2，尤其能够设定10℃至250℃的温度范围，优选至少在周围环境温度之上。

此外工艺气体处理装置1具有尤其布置在工艺气体除湿装置18下游和工艺气体调温装置19上游的、构造为装置组件4的加湿装置55，该加湿装置具备加湿装置入口56和加湿装置出口57。优选加湿装置入口56和加湿装置出口57也构造为管接头，进行供应的或继续引导的、以适宜的方式构造为管道的通道区段11分别能够布置或者被布置在所述管接头处。通过加湿装置55能够对工艺气体2加湿并且也设定工艺气体2的相对湿度，该湿度在值方面高于在工艺气体入口7处进入到工艺气体处理装置1中的工艺气体2的湿度。

此外工艺气体调温装置19具有具备旁通入口58和旁通出口59的、与调温单元51并联连接的、构造为装置组件4的旁通单元60。旁通单元60又具备具有冷却单元入口61和冷却单元出口62、构造为装置组件4的冷却单元63，尤其是热交换器或诸如此类物，以用于工艺气体2。优选冷却单元入口61和冷却单元出口62构造为管接头，进行供应的或继续引导的、以适宜的方式构造为管道的通道区段11分别能够布置或者被布置在所述管接头处。在旁通单元60处布置有构造为装置组件4的阀门布置结构64以用于可选地对调温单元51或者旁通单元60穿流，其中，冷却单元63是旁通单元60的组成部件。旁通单元60以适宜的方式构造为呈管道的形式的通道区段11。作为阀门布置结构64以适宜的方式使用两个3-路径-阀或者其它的适合于可选地对调温单元51或者旁通单元60穿流的阀门布置结构64。

工艺气体处理装置1附加地具备第一测量装置66，该第一测量装置具备用于测量工艺气体2的相对湿度的相对湿度传感器65，其中，第一测量装置66布置在工艺气体除湿装置18下游。借助于相对湿度传感器65来测量工艺气体2中的相对湿度并且将其作为实际值以传感器信号的形式传送到控制装置67处。配置控制装置67，以便不依赖于彼此地调节和/或控制所有装置组件4。装置组件4的相应的入口和出口根据图1至图7中所示出的实施方式通过优选呈管道的形式的通道区段11与彼此连接。布置在工艺气体入口7的上游和工艺气体出口10的下游的外围设备也能够通过优选呈管道的形式的通道区段11来连接。

此外第一测量装置66还具有用于测量工艺气体2的温度的温度传感器68。温度值也作为用于温度的实际值以传感器信号的形式传送到控制装置67处。以适宜的方式，第一测量装置66的相对湿度传感器和温度传感器68构造为结构单元。

由工艺气体2的在相对湿度传感器66处所测量的相对湿度和在温度传感器68处所测量的温度，如已经阐释的那样，工艺气体2的绝对湿度实际值确定绝对湿度。在第一测量装置66中或者在控制装置67中实现绝对湿度实际值确定。对于在第一测量装置66中实现绝对湿度实际值确定的情况，绝对湿度实际值作为传感器信号传送到控制装置67处。

通过控制装置67结合第一测量装置66来调节流动通过工艺气体处理装置1的工艺气体2的湿度、优选是绝对湿度。以有利的方式，至少在干燥阶段期间调节湿度。要么基于相对湿度要么基于绝对湿度来实现所述调节，其中，基于绝对湿度的调节是优选的，因为这不依赖于温度。

为此，在控制装置67中在存储在控制装置67中的绝对湿度目标值与绝对湿度实际值之间进行第一绝对湿度比较，其中，如描述的那样从由第一测量装置66的相对湿度传感器65所测量的相对湿度值和由配属于其的温度传感器68所测量的温度值来确定绝对湿度实际值。

随后在考虑到第一绝对湿度比较的情况下，控制装置67将绝对湿度调节参量传送到工艺气体除湿装置18处，以便调节工艺气体2的绝对湿度。

对于朝更低的湿气进行的干燥而言得到不同的可行方案，其中，借助于凝结除湿单元26进行的干燥通过冷却水来限制。吸附除湿单元通过干燥剂的容量来限制，其中，通过干燥剂的再生能够设定有待吸收的湿气。

借助于由控制装置67调节的工艺气体除湿装置18如此设定工艺气体2的绝对湿度，使得针对绝对湿度的对应的绝对湿度实际值和绝对湿度目标值相一致，以适宜的方式在小于等于3％的公差范围中。前面所描述的内容适用于相对湿度。

在绝对湿度比较中绝对湿度实际值小于绝对湿度目标值的情况下，对工艺气体2加湿。为此，工艺气体2以适宜的方式被预加热单元48加温，使得工艺气体2的温度能够实现吸收有待供应的湿气。随后借助于加湿装置55将湿气供应给工艺气体。以适宜的方式，为此，第一测量装置66也布置在工艺气体调温装置19上游。

此外在工艺气体除湿装置18上游布置有具备用于测量工艺气体2的相对湿度的相对湿度传感器69的第二测量装置70。借助于相对湿度传感器69来测量工艺气体2中的相对湿度，并且将其作为另外的实际值以传感器信号的形式传送到控制装置67处。

第二测量装置70此外优选也具备用于测量工艺气体2的温度的温度传感器71，其中，第二测量装置70的相对湿度传感器69和温度传感器71以适宜的方式构造为结构单元。对于在第二测量装置70中实现绝对湿度实际值确定的情况，绝对湿度实际值作为传感器信号传送到控制装置67处。

通过基于第二测量装置70进行的第二调节和/或控制，能够接通和/或切断工艺气体处理装置1的每个装置组件4。

为此，在工艺气体除湿装置1上游布置有具备用于测量工艺气体2的相对湿度的相对湿度传感器69和用于测量工艺气体2的温度的温度传感器71的第二测量装置70，并且在控制装置67中在存储在控制装置67中的绝对湿度目标值与绝对湿度实际值之间进行第二绝对湿度比较，该绝对湿度目标值以适宜的方式与用于调节湿度的绝对湿度目标值区别开，其中，从由第二测量装置70的相对湿度传感器69所测量的相对湿度值和由配属于其的温度传感器71所测量的温度值来确定绝对湿度实际值。

优选在第二测量装置70中或者在控制装置67中实现绝对湿度实际值确定。

控制装置67在考虑到第二绝对湿度比较的情况下将绝对湿度调节参量传送到每个装置组件4处，以便接通和/或关断工艺气体处理装置1相应的装置组件4。由此可行的是，在进行所述方法期间接通和/或关断每个单个的装置组件4，然而尤其接通和/或关断凝结除湿单元26和/或吸附除湿单元29和/或加湿装置55。出乎意料的是，通过这种合乎时势的、创新的并且积极主动的调节-和/或控制技术引起显著的节能，尤其在温度和湿度方面得到对工艺气体2的经改善的处理。

调节和/或控制装置组件4能够如之前所描述的基于绝对湿度那样同样地也基于相对湿度。这里通过绝对湿度进行的调节和/或控制也是优选的，因为这与温度无关。以适宜的方式在小于等于3％的公差范围中。

用于处理用于处置工艺仪器3中的工艺产物的工艺气体2的方法在工艺处理装置1中如接下来更详细地阐释的那样进行。

对用于处置工艺仪器3中的、尤其是流化仪器5或者涂层仪器6中的工艺产物的工艺气体2的处理被划分成两个彼此相继地进行的方法阶段，即干燥阶段和冷却阶段。工艺产物的每次处置(Behandlung)结束时，因此进行工艺产物的冷却阶段。这是必要的，以便避免从所处置的工艺产物“排出”尤其呈水的形式的湿气，因为否则湿气会发生冷凝并且导致或者会导致工艺产物在工艺仪器3中不希望的聚集。因此在处置工艺仪器3中的工艺产物时，在干燥阶段中工艺气体调温装置19的调温单元51被穿流，并且在冷却阶段中具备冷却单元63的旁通单元60被穿流。在穿流调温单元51时，旁通单元60没有被穿流，反之亦然。用于处理工艺气体处理装置1中的工艺气体2的方法由此除了在工艺产物的整个处置期间明显降低的能量消耗的优点之外也还具有的优点是，在工艺产物的接着干燥阶段的冷却阶段中通过将冷却单元63布置在旁通单元60中来缩短用于尤其是周围环境空气的工艺气体2的冷却时间。由此也能够更为快速地并且更为能量高效地冷却工艺产物。

在处置工艺仪器3中的工艺产物期间，工艺气体2在工艺气体入口7处进入到工艺处理装置1中并且对该工艺处理装置穿流并且对接着工艺处理装置1的工艺仪器3穿流。工艺气体2在此由工艺气体输送装置12输送。除了工艺气体除湿装置18和工艺气体调温装置19之外，工艺气体2在此也对必要时尤其布置在工艺气体除湿装置18下游和工艺气体调温装置19上游的加湿装置55穿流。加湿装置55能够实现对工艺气体2加湿并且也设定工艺气体2的相对湿度，该湿度在值方面高于在工艺气体入口7处进入到工艺气体处理装置1中的工艺气体2的湿度。如果使用加湿装置55，那么工艺气体2在加湿之前以适宜的方式由预加热单元48加温到下述温度，该温度保证了工艺气体2能够吸收通过加湿装置55所供应的湿气。

在所述方法中，调节流动通过工艺气体处理装置1的工艺气体2的湿度，尤其至少在干燥阶段期间进行调节。工艺气体2的湿度能够不仅借助于相对湿度而且也借助于绝对湿度来调节，其中，优选借助于绝对湿度来调节，因为不同于相对湿度，绝对湿度不依赖于工艺气体2的温度。

为此，优选第一测量装置66具有用于测量工艺气体2的相对湿度的相对湿度传感器65以及用于测量工艺气体2的温度的温度传感器68。相对湿度值和温度值作为传感器信号传送到控制装置67处。

在控制装置67中在存储的绝对湿度目标值与绝对湿度实际值之间实现第一绝对湿度比较，其中，从由第一测量装置66的相对湿度传感器65所测量的相对湿度值以及由配属于其的温度传感器68所测量的温度值来确定绝对湿度实际值。以适宜的方式在第一测量装置66中或者在控制装置67中实现绝对湿度实际值确定。控制装置67在考虑到第一绝对湿度比较的情况下将绝对湿度调节参量传送到工艺气体除湿装置1处，以便调节工艺气体2的绝对湿度。以适宜的方式在目标值的±3％的公差范围中调节湿度。

必要时有待执行的加湿也通过借助于第一测量装置66的调节如已经预先阐释那样来进行。

如果工艺气体除湿装置18具有尤其构造为干燥轮31的吸附除湿单元29以用于干燥工艺气体2，那么该工艺气体除湿装置具备至少部分地对吸附除湿单元29进行再生的再生单元34。主要在图2至图7中示出了这样的工艺气体除湿装置18。

再生气体35在吸附除湿单元29上游对再生气体加热装置42穿流，该再生气体加热装置对再生气体35进行干燥并且加温，使得再生气体35能够吸收吸附除湿单元29的湿气。再生气体35在此以一定的程度进行干燥和加温，使得吸附除湿单元29将同样流动通过吸附除湿单元29的工艺气体2干燥到确定的相对湿度上或者能够将其干燥到确定的相对湿度上。特别地，控制装置67因此基于存储的绝对湿度目标值与绝对湿度实际值之间的第一绝对湿度比较来调节和/或控制再生气体加热装置42。优选在此再生气体35在相对于工艺气体2的逆流中对吸附除湿单元29穿流，如在图6中示出的那样。

此外工艺气体除湿装置18具有预加热单元48，该预加热单元以适宜的方式布置在凝结除湿单元26上游，其中，预加热单元48对通过工艺气体入口7进入到工艺气体处理装置1中的工艺气体2加温，以便防止凝结除湿单元26冻结。预加热单元48尤其用作用于凝结除湿单元26的“防冻加热装置”。在再生路径36构造为闭合回路45的情况下，在预加热单元48中在吸附除湿单元29的再生时所吸收的湿气从再生气体35凝结出来。

能够接通和/或切断工艺气体处理装置1的每个单个的装置组件4。为此，在工艺气体除湿装置18上游布置有具备用于测量工艺气体2的相对湿度的相对湿度传感器69和用于测量工艺气体2的温度的温度传感器71的第二测量装置70。在控制装置中实现绝对湿度目标值与第二测量装置70的绝对湿度实际值之间的第二绝对湿度比较，其中，从由第二测量装置70的相对湿度传感器69所测量的相对湿度值以及由配属于其的温度传感器71所测量的温度值来确定绝对湿度实际值。以适宜的方式在第二测量装置70中或者在控制装置67中实现绝对湿度实际值确定。为此，控制装置67在考虑到第二绝对湿度比较的情况下将绝对湿度调节参量传送到每个装置组件4处，以便接通和/或关断工艺气体处理装置1的相应的装置组件4。出乎意料的是，通过这种合乎时势的、创新的并且积极主动的调节技术引起显著的节能，得到对工艺气体2的相对湿度和温度的经改善的处理。以适宜的方式通过关断或者接通装置组件4明显降低用于设备运行的成本。

控制装置67在绝对湿度比较的基础上决定工艺气体处理装置1的哪些装置组件4为了对工艺气体2的除湿而被接通和/或关断。在下文中列举在实践中在运行工艺气体处理装置1时所使用的绝对湿度目标值：

-在绝对湿度目标值大于等于8g/m³时仅通过凝结除湿单元26除湿；吸附除湿单元29在存在时被关断；

-在绝对湿度目标值小于8g/m³时仅通过吸附除湿单元29来除湿；凝结除湿单元26在存在时被关断；

-在绝对湿度目标值小于8g/m³并且绝对湿度实际值与绝对湿度目标值之间的差值大于等于6g/m³时，通过凝结除湿单元26并且通过吸附除湿单元29除湿；

-在绝对湿度实际值小于绝对湿度目标值时通过加湿装置55加湿。

Claims (37)

1.用于工艺气体(2)的工艺气体处理装置(1)，该工艺气体用于处置工艺仪器(3)中的工艺产物，所述工艺气体处理装置具有：

工艺气体入口(7)；以及与所述工艺仪器(3)以流体的方式连接的工艺气体出口(10)，其中，所述工艺气体(2)在从所述工艺气体入口(7)延伸到所述工艺气体出口(10)的处理路径(13)上流动；

沿着所述工艺气体(2)的流动方向构造为装置组件(4)的工艺气体除湿装置(18)、以及布置在工艺气体除湿装置(18)下游的构造为装置组件(4)的工艺气体调温装置(19)，其中，所述工艺气体除湿装置(18)具备除湿装置入口(20)和除湿装置出口(21)，并且所述工艺气体调温装置(19)具备调温装置入口(22)和调温装置出口(23)，并且其中，工艺气体调温装置(19)具有具备调温单元入口(49)和调温单元出口(50)的、构造为装置组件(4)的用于所述工艺气体(2)的调温单元(51)；以及

控制装置(67)，

其特征在于，在所述工艺气体除湿装置(18)上游布置有具备用于测量所述工艺气体(2)的相对湿度的相对湿度传感器(69)的第二测量装置(70)。

2.根据权利要求1所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述工艺气体处理装置(1)具有构造为装置组件(4)的工艺仪器(3)，所述工艺仪器以适宜的方式构造为流化仪器(5)或者涂层仪器(6)。

3.根据权利要求1或2所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述工艺气体处理装置(1)具有构造为装置组件(4)的工艺气体输送装置(12)。

4.根据权利要求3所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述工艺气体输送装置布置在工艺仪器(3)上游和/或下游。

5.根据前述权利要求中任一项所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述工艺气体除湿装置(18)具有具备凝结除湿单元入口(24)和凝结除湿单元出口(25)的构造为装置组件(4)的凝结除湿单元(26)、和/或具备吸附除湿单元入口(27)和吸附除湿单元出口(28)的构造为装置组件(4)的吸附除湿单元(29)，其中，以适宜的方式在所述处理路径(13)上所述凝结除湿单元(26)布置在所述吸附除湿单元(29)上游。

6.根据权利要求5所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述吸附除湿单元(29)构造为干燥轮(31)。

7.根据权利要求5或6所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述吸附除湿单元(29)具备具有再生单元入口(32)和再生单元出口(33)的、构造为装置组件(4)的再生单元(34)，其中，由具有再生气体输送装置入口(37)和再生气体输送装置出口(38)的、构造为装置组件(4)的再生气体输送装置(39)在从所述再生单元入口(32)延伸到所述再生单元出口(33)的再生路径(36)上输送再生气体(35)，并且该再生气体沿着所述再生气体(35)的流动方向对具有再生气体加热装置入口(40)和再生气体加热装置出口(41)的、构造为装置组件(4)的再生气体加热装置(42)以及具有再生气体入口(43)和再生气体出口(44)的吸附除湿单元(29)进行穿流。

8.根据权利要求7所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述再生路径(36)构造为闭合回路(48)。

9.根据前述权利要求中任一项所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述工艺气体除湿装置(18)具有具备预加热单元入口(45)和预加热单元出口(46)的构造为装置组件(4)的预加热单元(47)，该预加热单元以适宜的方式布置在所述凝结除湿单元(26)和/或所述吸附除湿单元(29)上游。

10.根据权利要求8和9中任一项所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述预加热单元(47)此外也配属于所述再生单元(34)，其中，所述预加热单元(47)在构造为回路(48)的再生路径(36)上布置在所述再生气体加热装置(42)上游和所述再生气体输送装置(39)下游，由此所述工艺气体(2)在对所述预加热单元(47)穿流时被加温，并且所述再生气体(35)在对所述预加热单元(47)穿流时被冷却。

11.根据权利要求7至10中任一项所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述再生气体输送装置(39)在再生路径(35)上布置在所述吸附除湿单元(29)下游。

12.根据前述权利要求中任一项所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述第一测量装置(66)布置在所述工艺气体调温装置(19)上游。

13.根据前述权利要求中任一项所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述第一测量装置(66)此外具有用于测量所述工艺气体(2)的温度的温度传感器(68)。

14.根据权利要求13所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述第一测量装置(66)的相对湿度传感器(65)和温度传感器(68)构造为结构单元。

15.根据前述权利要求中任一项所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述调温单元(51)具有具备加热装置入口(52)和加热装置出口(53)的、构造为装置组件(4)的加热装置(54)。

16.根据前述权利要求中任一项所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述工艺气体输送装置(12)布置在所述工艺气体除湿装置(18)下游和所述工艺气体调温装置(19)上游。

17.根据前述权利要求中任一项所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述工艺气体调温单元(19)具有具备冷却单元入口(61)和冷却单元出口(62)的构造为装置组件(4)的用于所述工艺气体(2)的冷却单元(63)、以及具备旁通入口(58)和旁通出口(59)的、与调温单元(51)并联连接的、构造为装置组件(4)的旁通单元(60)，其中，在旁通单元(60)处布置有构造为装置组件(4)的阀门布置结构(64)以用于可选地对所述调温单元(51)或者旁通单元(60)穿流，并且带有具备用于测量所述工艺气体(2)的相对湿度的相对湿度传感器(65)的第一测量装置(66)，其中，所述第一测量装置(66)布置在所述工艺气体除湿装置(18)下游。

18.根据权利要求17所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述冷却单元(63)是所述旁通单元(60)的组成部件。

19.根据权利要求15所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述第二测量装置(70)此外具备用于测量所述工艺气体(2)的温度的温度传感器(71)。

20.根据权利要求17和18所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述第二测量装置(70)的相对湿度传感器(69)和温度传感器(71)构造为结构单元。

21.根据前述权利要求中任一项所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述工艺气体处理装置(1)具有尤其布置在所述工艺气体除湿装置(18)下游和所述工艺气体调温装置(19)上游的、构造为装置组件(4)的加湿装置(55)，该加湿装置具备加湿装置入口(56)和加湿装置出口(57)。

22.用于在干燥阶段和冷却阶段期间处理工艺气体(2)的方法，该工艺气体用于处置工艺仪器(3)中的工艺产物，具有工艺气体处理装置(1)，该工艺气体处理装置具有：

工艺气体入口(7)；以及与所述工艺仪器(3)以流体的方式连接的工艺气体出口(10)，其中，所述工艺气体(2)在从工艺气体入口(7)延伸到工艺气体出口(10)的处理路径(13)上流动；

沿着所述工艺气体(2)的流动方向构造为装置组件(4)的工艺气体除湿装置(18)；以及布置在所述工艺气体除湿装置(18)下游的、构造为装置组件(4)的工艺气体调温装置(19)，其中，所述工艺气体除湿装置(18)具备除湿装置入口(20)和除湿装置出口(21)，并且所述工艺气体调温装置(19)具备调温装置入口(22)和调温装置出口(23)，并且其中，所述工艺气体调温装置(19)具有具备调温单元入口(49)和调温单元出口(50)的、构造为装置组件(4)的用于所述工艺气体(2)的调温单元(51)；以及

控制装置(67)，

其特征在于，所述工艺气体处理装置(1)的每个装置组件(4)能够被接通和/或切断，并且在所述工艺气体除湿装置(18)上游尤其布置有具备用于测量所述工艺气体(2)的相对湿度的相对湿度传感器(69)的第二测量装置(70)。

23.根据权利要求22所述的方法，其特征在于，对流动通过所述工艺气体处理装置(1)的工艺气体(2)的湿度进行调节。

24.根据权利要求23所述的方法，其特征在于，所述工艺气体处理装置(1)具有具备用于测量所述工艺气体(2)的温度的温度传感器(68)的第一测量装置(66)，并且在控制装置(67)中在绝对湿度目标值与绝对湿度实际值之间实现第一绝对湿度比较，其中，从由所述第一测量装置(66)的相对湿度传感器(65)所测量的相对湿度值以及由配属于其的温度传感器(68)所测量的温度值来确定所述绝对湿度实际值。

25.根据权利要求24所述的方法，其特征在于，在第一测量装置(66)中或者在控制装置(67)中实现绝对湿度实际值确定。

26.根据权利要求24或25所述的方法，其特征在于，所述控制装置(67)在考虑到所述第一绝对湿度比较的情况下将绝对湿度调节参量传送到所述工艺气体除湿装置(18)和/或所述加湿装置(55)处，以便调节所述工艺气体(2)的绝对湿度。

27.根据权利要求23至26中任一项所述的方法，其特征在于，至少在所述干燥阶段期间调节所述湿度。

28.根据权利要求22至27中任一项所述的方法，其特征在于，借助于尤其布置在所述工艺气体除湿装置(18)下游和所述工艺气体调温装置(19)上游的加湿装置(55)对所述工艺气体(2)加湿。

29.根据权利要求22至28中任一项所述的方法，其特征在于，所述工艺气体除湿装置(18)具有具备再生单元(34)的吸附除湿单元(29)，其中，所述吸附除湿单元(29)通过所述再生单元(34)至少部分地再生。

30.根据权利要求29所述的方法，其特征在于，所述再生单元(34)具有对再生气体(35)加温的再生气体加热装置(42)，使得所述再生气体(35)在对所述吸附除湿单元(29)穿流时吸收湿气，由此至少部分地对所述吸附除湿单元(29)进行干燥并且由此使其再生。

31.根据权利要求30所述的方法，其特征在于，所述再生气体(35)在相对于所述工艺气体(2)逆流中对所述吸附除湿单元(29)穿流。

32.根据权利要求22至31中任一项所述的方法，其特征在于，所述工艺气体除湿装置(18)具有预加热单元(47)，所述预加热单元以适宜的方式布置在所述凝结除湿单元(26)上游，其中，所述预加热单元(47)对通过工艺气体入口(7)进入到工艺气体处理装置(1)中的工艺气体(2)加温，以便防止凝结除湿单元(26)发生冻结或者为了加湿所述工艺气体(2)而对工艺气体(2)加温。

33.根据权利要求22至32中任一项所述的方法，其特征在于，所述工艺气体调温单元(19)具有具备冷却单元入口(61)和冷却单元出口(62)的构造为装置组件(4)的用于所述工艺气体(2)的冷却单元(63)、以及具备旁通入口(58)和旁通出口(59)的与调温单元(51)并联连接的、构造为装置组件(4)的旁通单元(60)，其中，在所述旁通单元(60)处布置有构造为装置组件(4)的阀门布置结构(64)以用于可选地对所述调温单元(51)或者所述旁通单元(60)穿流，并且带有具备用于测量所述工艺气体(2)的相对湿度的相对湿度传感器(65)的第一测量装置(66)，其中，所述第一测量装置(66)布置在所述工艺气体除湿装置(18)下游，其中，所述冷却单元(63)是所述旁通单元(60)的组成部件，并且其中，在处置所述工艺仪器(3)中的工艺产物时，在所述干燥阶段中所述调温单元(51)被穿流，并且在所述冷却阶段中具备冷却单元(51)的旁通单元(60)被穿流。

34.根据权利要求33所述的方法，其特征在于，在所述工艺气体除湿装置(18)上游布置有具备用于测量所述工艺气体(2)的相对湿度的相对湿度传感器(69)以及用于测量所述工艺气体(2)的温度的温度传感器(71)的第二测量装置(70)，并且在所述控制装置(67)中在绝对湿度目标值与绝对湿度实际值之间实现第二绝对湿度比较，其中，从由所述第二测量装置(70)的相对湿度传感器(69)所测量的相对湿度值以及由配属于其的温度传感器(71)所测量的温度值来确定所述绝对湿度实际值。

35.根据权利要求34所述的方法，其特征在于，在第二测量装置(70)中或者在控制装置(67)中实现绝对湿度实际值确定。

36.根据权利要求34或35所述的方法，其特征在于，所述控制装置(67)能够在考虑到所述第二绝对湿度比较的情况下将绝对湿度调节参量传送到每个装置组件(4)处，以便接通和/或关断所述工艺气体处理装置(18)的相应的装置组件(4)。

37.根据权利要求22至36中任一项所述的方法，其特征在于，所述工艺气体处理装置(1)具有构造为装置组件(4)的工艺气体输送装置(12)，所述工艺气体输送装置在从所述工艺气体入口(7)延伸到所述工艺气体出口(10)的处理路径(13)上输送所述工艺气体(2)。