CN115763308B - 多路单项充气设备、控制方法及存储介质 - Google Patents

Abstract

本发明提出一种多路单项充气设备、控制方法及存储介质，该设备包括：机架、充气模块和控制装置，其中，多个充气模块分别安装于机架上，充气模块包括送料组件和一侧开口的充气腔室，送料组件包括驱动装置、用于密封充气腔室的开口的密封盖板和用于承托待充气产品的送料支架，驱动装置与密封盖板连接，送料支架设置于密封盖板靠近充气腔室的一侧上，充气腔室内设置有气管，气管连接有气体控制阀，气体控制阀分别与抽气泵和充气泵连接，各个控制按钮与各个充气模块相对应；控制装置分别与控制按钮、驱动装置和气体控制阀连接，以使控制模块响应于控制按钮控制对应的充气模块对待充气产品进行独立的定时充气处理。

Description

多路单项充气设备、控制方法及存储介质

技术领域

本发明涉及封装设备技术领域，尤其涉及一种多路单项充气设备、控制方法及存储介质。

背景技术

在一些半导体产品设备制作过程中，需要向产品填充惰性气体，以保证半导体设备的高热性能。目前的充气装置的充气腔体虽然能够支持同时对多个半导体设备进行充气，为了确保各个半导体设备充气均匀，需要填充大量的惰性气体，导致充气成本高。另外，充气腔体需要通过人工采用拧动螺栓的方式进行封盖，难以保证设备的密封性，效率低，导致生产成本高，可靠性低。因此，如何低成本地提高对各个半导体设备充气的可靠性成为亟需解决的问题。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种多路单项充气设备、控制方法及存储介质，能够实现低成本地对各个半导体设备进行自动化的均匀充气，提高充气设备的可靠性和便利性。

第一方面，本发明实施例提供一种多路单项充气设备，包括：

机架，包括充气泵和多个控制按钮；

充气模块，设置有多个，所述多个充气模块分别安装于所述机架上，所述充气模块包括送料组件和一侧开口的充气腔室，所述送料组件包括驱动装置、用于密封所述充气腔室的开口的密封盖板和用于承托待充气产品的送料支架，所述驱动装置与所述密封盖板连接，所述送料支架设置于所述密封盖板靠近所述充气腔室的一侧上，所述充气腔室内设置有气管，所述气管连接有气体控制阀，所述气体控制阀与所述充气泵连接，各个所述控制按钮与各个充气模块相对应；

控制装置，分别与所述控制按钮、所述驱动装置和所述气体控制阀连接，以使所述控制模块响应于所述控制按钮控制对应的所述充气模块对待充气产品进行独立的定时充气处理。

根据本发明实施例提供的多路单项充气设备，至少具有如下有益效果：多路单项充气设备通过设置多个独立的充气腔室，待充气产品能够在驱动装置的驱动作用下跟随送料支架进入相应的充气腔室，并通过密封盖板对充气腔室进行密封，从而能够对各个待充气产品分别进行独立的充气处理，各个充气腔室互不干扰地独立进行抽气处理或充气处理。通过多个独立的充气腔体对多个产品进行处理，能够提高充气腔体内部空间的利用率，减少惰性气体的填充量，降低成本。同时，由于充气腔体内部容积小，能够实现快速充气处理和抽气处理，且有助于均匀充气，可靠性提高。另外，多路单项充气设备为各个充气模块对应设置有控制按钮，控制装置能够自动驱动与被触发的控制按钮所对应的充气模块进行独立的定时充气处理。相比于相关技术中采用人工拧动螺栓的方式进行腔室密封的方案或者支持同时对多个半导体设备进行充气的方案，本发明通过设置多个独立的充气腔室，并通过驱动装置对充气腔室进行密封，自动控制各个充气模块独立运行，能够减小惰性气体的填充量，低成本地对各个半导体设备进行自动化的均匀充气，提高充气设备的可靠性和便利性。

在上述的多路单项充气设备，所述机架还包括抽气泵，所述气管包括充气气管和抽气气管，所述充气气管通过所述气体控制阀与所述充气泵连接，所述抽气气管通过所述气体控制阀与所述抽气泵连接。

在上述的多路单项充气设备，所述密封盖板设置有安装槽，所述送料支架可拆卸连接于所述安装槽。

在上述的多路单项充气设备，所述充气腔室内设置有气压传感器，所述气体控制阀设置有气体流量计，所述气压传感器和所述气体流量计分别与所述控制装置连接。

在上述的多路单项充气设备，所述控制装置包括定时控制电路，所述定时控制电路包括定时模块、按钮触发模块和多个气体控制模块，所述定时模块分别与所述按钮触发模块和各个所述气体控制模块连接，所述按钮触发模块与所述控制按钮连接，各个所述气体控制模块分别与所述气体控制阀和所述驱动装置对应连接。

在上述的多路单项充气设备，所述气体控制模块包括第一三极管、第一电阻、用于与控制电源连接的第二电阻、用于与所述定时模块连接的控制输入端，以及用于与所述气体控制阀或所述驱动装置连接的控制输出端，所述第一三极管的基极通过所述第一电阻与所述控制输入端连接，所述第一三极管的发射极接地，所述第一三极管的集电极与所述第二电阻连接，所述控制输出端连接至所述第一三极管的集电极与所述第二电阻的连接点。

在上述的多路单项充气设备，所述按钮触发模块包括用于与控制电源连接的保护电阻、设置于所述控制按钮内的触发开关和与所述定时模块连接的按钮触发端，所述触发开关的一端接地，另一端与所述按钮触发端连接，所述保护电阻的一端连接至所述触发开关与所述按钮触发端的连接点。

第二方面，本发明实施例提供一种充气控制方法，应用于如上述第一方面实施例的多路单项充气设备，该充气控制方法包括：

响应于所述控制按钮，对应控制所述充气模块中的所述驱动装置驱动所述密封盖板向所述充气腔室的开口方向移动，直至所述密封盖板与所述充气腔室抵接；

控制所述气体控制阀仅与所述充气泵连通，并对充气时长进行计时；

当所述充气时长达到充气定时时长，控制所述气体控制阀关闭。

根据本发明实施例提供的充气控制方法，至少具有如下有益效果：由于各个控制按钮与各个充气模块相对应，因此，在控制按钮被触发的情况下，控制相应的充气模块中的驱动模块，使得驱动模块驱动密封盖板与充气腔室抵接，同时将待充气产品送至充气腔室内部，对充气腔室进行自动密封，能够避免人工误操作导致漏气，进而提高充气设备的可靠性。另外，对各个充气腔室分别进行独立的充气计时，确保惰性气体能够均匀填充至待充气产品内，由于对各个充气腔室即各个待充气产品独立充气，因此，降低惰性气体的填充量，实现低成本地对各个半导体设备进行自动化的均匀充气，提高充气设备的可靠性和便利性。

第三方面，本发明实施例提供一种计算机可读存储介质，存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时，实现如上述第二方面实施例的充气控制方法。

根据本发明实施例提供的运行控制装置，至少具有如下有益效果：由于各个控制按钮与各个充气模块相对应，因此，在控制按钮被触发的情况下，控制相应的充气模块中的驱动模块，使得驱动模块驱动密封盖板与充气腔室抵接，同时将待充气产品送至充气腔室内部，对充气腔室进行自动密封，能够避免人工误操作导致漏气，进而提高充气设备的可靠性。另外，对各个充气腔室分别进行独立的充气计时，确保待充气产品在真空环境下进行惰性气体填充，有助于均匀充气，由于对各个充气腔室即各个待充气产品独立充气，因此，降低惰性气体的填充量，实现低成本地对各个半导体设备进行自动化的均匀充气，提高充气设备的可靠性和便利性。

本发明的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点可通过在说明书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步地说明；

图1是本发明实施例提供的多路单项充气设备的结构示意图；

图2是本发明实施例提供的单个充气模块的结构示意图；

图3是本发明实施例提供的充气腔室的结构示意图；

图4是本发明实施例提供的定时控制电路的模块连接示意图；

图5是本发明实施例提供的气体控制模块的电路连接示意图；

图6是本发明实施例提供的按钮触发模块的电路连接示意图；

图7是本发明实施例提供的定时控制电路的控制原理流程图；

图8是本发明另一实施例提供的定时控制电路的控制原理流程图；

图9是本发明实施例提供的充气控制方法的流程示意图；

图10是图9中的方法步骤S102之前的具体流程图。

具体实施方式

本部分将详细描述本发明的具体实施例，本发明之较佳实施例在附图中示出，附图的作用在于用图形补充说明书文字部分的描述，使人能够直观地、形象地理解本发明的每个技术特征和整体技术方案，但其不能理解为对本发明保护范围的限制。

应了解，在本发明实施例的描述中，如果有描述到“第一”、“第二”等只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。“至少一个”是指一个或者多个，“多个”是指两个或两个以上。“以下至少一项”及其类似表达，是指的这些项中的任意组合，包括单项或复数项的任意组合。

此外，除非另有明确的规定和限定，术语“连接/相连”应做广义理解，例如，可以是固定连接或活动连接，也可以是可拆卸连接或不可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。

在本发明实施例的描述中，参考术语“一个实施例/实施方式”、“另一实施例/实施方式”或“某些实施例/实施方式”、“在上述实施例/实施方式”等的描述意指结合实施方式或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本公开的至少两个实施例或实施方式中。在本公开中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的示实施例或实施方式。需要说明的是，虽然在流程图中示出了逻辑顺序，但是在某些情况下，可以以不同于流程图中的顺序执行所示出或描述的步骤。

需要说明的是，下面所描述的本发明各个实施方式中所涉及到的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。

本发明实施例提供了一种多路单项充气设备、控制方法及存储介质，通过设置多个独立的充气腔室，待充气产品能够在驱动装置的驱动作用下跟随送料支架进入相应的充气腔室，并通过密封盖板对充气腔室进行密封，从而能够对各个待充气产品分别进行独立的充气处理，各个充气腔室互不干扰地独立进行充气处理。通过多个独立的充气腔体对多个产品进行处理，能够提高充气腔体内部空间的利用率，减少惰性气体的填充量，降低成本。同时，由于充气腔体内部容积小，能够实现快速充气处理，且有助于均匀充气，可靠性提高。另外，多路单项充气设备为各个充气模块对应设置有控制按钮，控制装置能够自动驱动与被触发的控制按钮所对应的充气模块进行独立的定时充气处理。相比于相关技术中采用人工拧动螺栓的方式进行腔室密封的方案或者支持同时对多个半导体设备进行充气的方案，本发明通过设置多个独立的充气腔室，并通过驱动装置对充气腔室进行密封，自动控制各个充气模块独立运行，能够减小惰性气体的填充量，低成本地对各个半导体设备进行自动化的均匀充气，提高充气设备的可靠性和便利性。

下面结合附图，对本发明实施例作进一步阐述。

参照图1，图1是本发明实施例提供的多路单项充气设备的结构示意图。

可以理解的是，多路单项充气设备包括有机架110、控制装置130和多个充气模块120。其中，机架110内设置有充气泵，在机架110的外侧设置有多个控制按钮111。多个充气模块120均安装在机架110上，其中，各个控制按钮111与各个充气模块120相对应，即，每个充气模块120可以与一个或多个控制按钮111相对应。控制装置130内部设置有定时模块，定时模块能够对各个充气模块120的充气时长进行记录和限制。控制装置130分别与各个控制按钮111、各个充气模块120中的驱动装置123和气体控制阀一一连接，从而控制装置130能够响应于各个控制按钮111，而对相应的充气模块120进行控制，使得每个待充气产品进行独立的定时充气处理。因此，控制按钮111可以包括有多种类型，例如，用于控制驱动装置123将送料支架124向靠近充气腔室121方向移动的放料按钮、用于控制驱动装置123将送料支架124向远离充气腔室121方向移动的腔体按钮，以及用于控制气体控制阀连通充气泵的充气按钮，在机架还设置有与气体控制阀连接的抽气泵的情况下，控制按钮111还包括有用于控制气体控制阀连通抽气泵的抽气按钮。又如，可以包括有运料按钮和气体控制按钮111，运料按钮能够切换驱动装置123的驱动方向，而气体控制按钮111能够切换气体控制阀的连通方向。由于相关技术中充气装置的充气腔室121和盖板通过螺栓连接，因此，在每次产品进行充气处理的前后，均需要通过人工拧动螺栓的方式进行密封和解封，人工成本高，且生产效率低下，另外，由于人工操作容易出现误操作，导致充气腔室121密封性无法保证，可靠性低。本发明实施例提供的多路单项充气设备通过控制装置130、控制按钮111和驱动装置123之间的相互配合，实现自动密封解封充气腔室121，无需人工操作，提高充气腔室121的密封性，提高生产效率，便于使用。

由于不同类型的产品所需要的充气时间不同，或者填充的惰性气体类型不同，而相关技术中的充气装置采用单个腔室同时对多个待充气产品进行充气处理，导致无法同时对不同类型的产品进行充气处理，出现单个腔室在放置同一类型的产品后仍有空余空间，浪费填充的惰性气体。另外，在产品完成充气处理之后还需要对产品进行封盖处理，相关技术中的腔室打开后，所有已完成充气处理的产品均暴露于外部环境中，而由于难以同时对所有的产品进行封盖处理，导致部分未及时封盖的产品内部混入空气，影响了产品的质量。而本发明实施例提供的多路单项充气设备，通过调整充气腔室121的体积和数量，由于单个充气腔室121的体积缩小，且充气腔室121内部结构紧凑，在支持同等数量待充气产品同时进行充气处理的同时，多个充气腔室121的整体容积降低，导致惰性气体的填充量降低，而且由于充气腔室121内部体积小，所需的填充量小，因此充气时间也随之降低，实现快速充气，并有助于向充气腔室121内部均匀充气。各个充气腔室121能够互不干扰地独立进行充气处理，能够有助于根据实际需求，对不同数量的不同待充气产品进行充气处理，在待充气产品数量较少的情况下，能够节省惰性气体的填充量，缩短充气处理时间。另外，由于各个充气腔室121互不干扰，因此，在其中一个充气腔室121打开后对产品进行封盖过程中，不会影响其他充气腔室121内部的产品，可靠性提高。

结合图2，图2是本发明实施例提供的单个充气模块120的结构示意图。

可以理解的是，每个充气模块120均包括有送料组件和充气腔室121。送料组件包括驱动装置123、密封盖板122和送料支架124，驱动装置123与密封盖板122连接，而充气腔室121一侧开口，密封盖板122与充气腔室121的开口相匹配，因此，驱动装置123能够驱动密封盖板122向靠近充气腔室121开口方向移动，从而密封盖板122能够与充气腔室121抵接，使得充气腔室121密封。其中，为了提高充气腔室121的密封性，在充气腔室121的开口边缘可以设置有密封胶条125，从而密封盖板122与密封胶条125抵接配合，能够避免外部气体流入或者惰性气体流出。送料支架124设置在密封盖板122靠近充气腔室121的一侧，送料支架124向充气腔室121的方向延伸，送料支架124上设置有用于承托待充气产品的放置槽129，且送料支架124在靠近充气腔室121的一侧还设置有器件托盘131，放置槽129能够固定待充气产品，防止待充气产品横向移动，而器件托盘131能够对待充气产品进行限位，防止待充气产品在送料支架124移动过程中掉入充气腔室121内部，导致充气完成后难以取出产品。因此，通过驱动装置123驱动密封盖板122，带动送料支架124向靠近充气腔室121的开口方向移动，从而能够将送料支架124以及放置在送料支架124上的待充气产品一并送入充气腔室121内部进行充气处理。

在充气腔室121的内部设置有气管和通气接口，通气接口可以设置在充气腔室121的底部，通气接口与气管连接，气管连接有气体控制阀，气体控制阀与机架110内的充气泵连接，因此，在气体控制阀的控制下，可以控制气管与充气泵连通或者截断。

可以理解的是，密封盖板122上设置有安装槽126，而送料支架124可拆卸连接于安装槽126，从而送料支架124固定于密封盖板122上。由于不同产品的尺寸不同，同一尺寸类型的送料支架124无法对所有的产品进行固定和承托，因此，可拆卸式的连接有助于更换不同尺寸类型的送料支架124，从而能够对不同待充气产品进行充气处理，适用性强。

可以理解的是，安装槽126可以设置为长条状的螺孔，送料支架124可以通过螺栓安装于安装槽126内，而由于不同尺寸类型的送料支架124的宽度不同，长条状的螺孔能够便于各种尺寸类型的送料支架124进行安装固定，提高安装的便利性。

结合图3，图3是本发明实施例提供的充气腔室121的结构示意图。

可以理解的是，在机架上还设置有抽气泵，充气腔室121内设置有进气接口和出气接口，气管包括充气气管127和抽气气管128，充气气管127与进气接口连接，而抽气气管128与出气接口连接。充气气管127通过气体控制阀与充气气泵连接，而抽气气管128可以通过同一个气体控制阀或者另一个气体控制阀与抽气泵连接。其中，进气接口和出气接口均设置有接口开关，用于封闭或导通进气接口和出气接口，提高充气腔室121内部的密封性，避免气体通过进气接口或出气接口流出。因此，可以通过控制装置对气体控制阀进行控制，使得抽气泵通过抽气气管128与充气腔室121连通，进行抽气处理，同时能够进行独立的抽气时长计时。

可以理解的是，在充气腔室121内部设置有气压传感器，气压传感器能够检测充气腔室121内部的气体压强，从而检测充气腔室121的真空度，以及惰性气体的填充程度，确保待充气产品的充气环境，保证产品的充气质量。在气体控制阀设置有气体流量计，气体流量计能够测量流经气体控制阀的气体量，从而判断出空气的抽出量以及惰性气体的填充量，辅助进行充气处理和抽气处理，确保充气量和抽气量，同时防止避免过度充气或者过度抽气，浪费成本。

结合图4，图4是本发明实施例提供的定时控制电路的模块连接示意图。

可以理解的是，控制装置130还包括定时控制电路，其中，定时控制电路包括定时模块、按钮触发模块和多个气体控制模块，其中，定时模块分别与按钮触发模块和气体控制模块连接，而按钮触发模块和气体控制模块均可以设置有多个，而各个按钮触发模块与各个控制按钮111一一对应连接，每个气体控制阀和每个驱动装置123均连接有一个气体控制模块。当控制按钮111被触发，即按钮触发模块被触发，定时模块能够接收到按钮触发模块的电平信号，并向对应的气体控制模块发送相应的电平信号，使得对应的气体控制模块控制气体控制阀或驱动装置123运行，实现按钮触发自动运行，其中，定时模块可以包括有具有定时功能的单片机芯片，因此定时模块能够在接收到按钮触发模块的电平信号，或者向气体控制模块发送相应的电平信号的同时进行计时，从而对气体控制模块进行定时控制，例如，定时关闭气体控制模块。因此，定时模块可以利用不同的按钮触发模块的触发情况控制不同的气体控制模块运行，实现不同控制按钮111具有不同的控制功能，便于使用。

结合图5，图5是本发明实施例提供的气体控制模块的电路连接示意图。

可以理解的是，气体控制模块包括有第一三极管211、第一电阻212、第二电阻213、控制输入端214和控制输出端215。第一三级管的集电极通过第二电阻213可以与控制电源连接，而第一三极管211的基极通过第一电阻212与控制输入端214连接，第一三极管211的发射极接地。控制输入端214与定时模块连接，从而能够接收定时模块向气体控制模块发送的电平信号，而控制输出端215连接至集电极和第二电阻213之间的连接点，且控制输出端215连接至对应的气体控制阀或者驱动装置123。因此，当定时模块向控制输入端214提供高电平信号，第一三级管导通，控制电源通过第二电阻213流入第一三极管211，从而控制输出端215得电，从而能够使得对应的气体控制阀或者驱动装置123得到驱动信号，实现控制气体控制阀或者驱动装置123的开关。

结合图6，图6是本发明实施例提供的按钮触发模块的电路连接示意图。

可以理解的是，按钮触发模块包括保护电阻221、触发开关223和按钮触发端222，触发开关223的一端接地，另一端与按钮触发端222连接，按钮触发端222连接至定时模块，而保护电阻221的一端与控制电源连接，另一端连接至触发开关223与按钮触发端222的连接点，其中，触发开关223设置于控制按钮111内，因此，当控制按钮111触发，触发开关223切换开关状态。当触发开关223闭合，控制电源的电流通过保护电阻221和触发开关223流入地面，从而按钮触发端222的电平信号发生变化，定时模块能够接收到电平信号的变化情况，并对气体控制模块发送相应的电平信号，控制气体控制模块。

结合图7，图7是本发明实施例提供的定时控制电路的控制原理流程图。

可以理解的是，定时模块可以为具有定时器功能的单片机，而控制按钮111包括有腔体按钮和放料按钮，而单片机的各个IO管脚分别与腔体按钮、放料按钮和气体控制模块连接。当定时控制电路的定时模块得电后，单片机对内部的定时器进行初始化，并设置抽气定时时长和充气定时时长。当腔体按钮触发，即对应的按钮触发模块触发，单片机IO管脚向相应的气体控制模块的控制输入端214输出高电平信号，使得对应的第一三极管211导通，控制电源的5V电压加载至相应的驱动装置123，使得充气腔室121打开，呈现出送料支架124，便于待充气产品的放置。当放料按钮触发，即对应的按钮触发模块触发，单片机对应的IO管脚向相应的气体控制模块的控制输入端214输出高电平信号，使得对应的第一三极管211导通，控制电源的5V电压加载至相应的驱动装置123，使得充气腔室121关闭，完成送料操作。当充气腔室121关闭后，单片机相应的IO管脚向控制气体控制阀的气体控制模块的控制输入端214输出高电平信号，对充气腔室121进行充气处理，直至设置的定时器计数溢出，则关闭定时器，单片机控制该IO管脚输出低电平，控制气体控制阀与充气泵关断，停止充气。

结合图8，图8是本发明另一实施例提供的定时控制电路的控制原理流程图。

可以理解的是，机架还设置有与气体控制阀连接的抽气泵，当充气腔室121关闭后，单片机可以通过相应的IO管脚向控制气体控制阀的气体控制模块的控制输入端214输出高电平信号，使得向充气腔室121抽气处理，并同时打开定时器。当设置的定时器计数溢出，重置定时器，单片机控制该IO管脚输出低电平，控制气体控制阀与抽气泵断联，停止抽气，并重新开始计时，同时向相应的气体控制模块输出高电平信号，进行后续的充气处理。

需要说明的是，在抽气功能未触发的情况下，多路单项充气设备在充气腔室121关闭之后，仅控制气体控制阀与充气泵连通，直接对充气腔室121进行充气处理，而无需进行抽气处理，具体流程如图7所示的控制原理流程图。

结合图9，图9是本发明实施例提供的充气控制方法的流程示意图，该充气控制方法可以应用于如上述实施例的多路单项充气设备，该充气控制方法包括但不限于有以下步骤：

步骤S101，响应于控制按钮，对应控制充气模块中的驱动装置驱动密封盖板向充气腔室的开口方向移动，直至密封盖板与充气腔室抵接；

步骤S102，控制气体控制阀仅与充气泵连通，并对充气时长进行计时；

步骤S103，当充气时长达到充气定时时长，控制气体控制阀关闭。

可以理解的是，由于各个控制按钮与各个充气模块相对应，因此，在控制按钮被触发的情况下，控制装置能够对与被触发的控制按钮相对应的充气模块进行控制，控制对应的驱动装置运行，推动密封盖板和送料支架向充气腔室的开口方向移动，使得送料支架进入充气腔室内部，并且密封盖板与充气腔室抵接，完成送料操作和对充气腔室的密封操作。其中，可以通过设置对驱动装置控制的驱动时长，驱动时长为密封盖板由初始状态移动至与充气腔室抵接的状态所需的时长，因此，当控制时长达到驱动时长，可以认为密封盖板已经与充气腔室抵接。另外，还可以位于充气腔室的开口或者密封盖板设置接触开关，触发开关与控制装置连接，当密封盖板与充气腔室的开口抵接，接触开关被触发，则可以认为密封盖板已经与充气腔室抵接，完成密封操作。另外，还可以在驱动装置上设置行程开关，行程开关可以根据密封盖板由初始状态移动至与充气腔室抵接的状态所需移动的密封距离进行设置，当行程开关被触发，则可以认为密封盖板已经与充气腔室抵接，完成密封操作。

在密封盖板已经与充气腔室抵接，控制气体控制阀与充气泵连通，从而能够通过充气泵对充气腔室填充惰性气体，并同时记录充气时长，避免过度充气。当充气时长达到充气定时市场，则可以认为充气操作完成，控制气体控制阀断开与充气泵的连通，即气体控制阀关闭，完成对产品的充气处理。因此，在控制按钮触发后，能够自动对充气腔室进行密封操作，以及定时的充气处理，避免人工误操作导致充气腔室密封性弱而漏气，同时，定时的充气处理能够精准控制惰性气体的填充量，避免惰性气体的浪费，提高生产效率。另外，对各个充气腔室分别进行独立的充气计时，确保惰性气体能够均匀地填充至待充气产品内部。由于对各个充气腔室即各个待充气产品独立充气，因此，降低惰性气体的填充量，实现低成本地对各个半导体设备进行自动化的均匀充气，提高充气设备的可靠性和便利性。

结合图10，图10是图9中的方法步骤S102之前的具体流程图，在图10的示例中，步骤S102之前包括但不限于有以下步骤：

步骤S201，控制气体控制阀仅与抽气泵连通，并对充气腔室进行抽气，直至抽气时长达到抽气定时时长。

可以理解的是，在密封盖板已经与充气腔室抵接，完成密封操作之后，控制气体控制阀与抽气泵连通，并与充气泵断联，从而通过抽气泵对充气腔室进行抽真空处理，并同时记录抽气时长。当抽气时长达到抽气定时时长，则可以认为抽气操作完成，控制气体控制阀断开与抽气泵的连通，并控制气体控制阀与充气泵连通。

需要说明的是，抽气定时时长和充气定时时长可以是预先设定的时长，也可以根据实际产品的所需情况，通过控制按钮调整抽气定时时长或充气定时时长，其中，抽气定时时长和充气定时时长均可以设置相同，也可以设置不同，例如，抽气定时时长和充气定时时长均可以设置为30秒，本发明实施例并不对充气定时时长和抽气定时时长进行具体限制，本领域技术人员根据实际情况进行调整即可，同时，通过控制按钮调整抽气定时时长或充气定时时长的具体方式为本领域技术人员熟知，本申请实施例在此不多做限制。

需要说明的是，控制按钮可以设置有多个，包括放料按钮、腔体按钮、充气按钮和排气按钮，不同类型的控制按钮对应于不同的控制步骤，例如，响应于放料按钮，对应控制充气模块中的驱动装置驱动密封盖板向充气腔室的开口方向移动，直至密封盖板与充气腔室抵接；响应于排气按钮，控制气体控制阀仅与抽气泵连通，并对抽气时长进行计时，当抽气时长达到抽气定时时长，控制气体控制阀关闭；响应于充气按钮，控制气体控制阀仅与充气泵连通，并对充气时长进行计时，当充气时长达到充气定时时长，控制气体控制阀关闭；响应于腔体按钮，对应控制充气模块中的驱动装置驱动密封盖板向远离充气腔室的开口方向移动。另外，放料按钮和腔体按钮可以设置为同一个，充气按钮和排气按钮也可以设置为同一个，根据控制按钮的触发次数，执行不同的控制步骤。

需要说明的是，在步骤S104之后，充气控制方法还包括但不限于以下步骤：对充气时长和抽气时长进行重置归零；对充气定时时长和抽气定时时长进行重置归零。

本发明的第四方面实施例提供一种计算机可读存储介质，计算机可读存储介质存储有计算机可执行指令，计算机可执行指令可以用于使计算机执行如上第一方面实施例的功率器件的保护控制方法，例如，执行以上描述的图9中的方法步骤S101至步骤S103以及图10中的方法步骤S201。

本领域普通技术人员可以理解，上文中所公开方法中的全部或某些步骤、系统可以被实施为软件、固件、硬件及其适当的组合。某些物理组件或所有物理组件可以被实施为由处理器，如中央处理器、数字信号处理器或微处理器执行的软件，或者被实施为硬件，或者被实施为集成电路，如专用集成电路。这样的软件可以分布在计算机可读介质上，计算机可读介质可以包括计算机存储介质或非暂时性介质和通信介质或暂时性介质。如本领域普通技术人员公知的，术语计算机存储介质包括在用于存储信息诸如计算机可读指令、数据结构、程序模块或其他数据的任何方法或技术中实施的易失性和非易失性、可移除和不可移除介质。计算机存储介质包括但不限于RAM、ROM、EEPROM、闪存或其他存储器技术、CD-ROM、数字多功能盘DVD或其他光盘存储、磁盒、磁带、磁盘存储或其他磁存储装置、或者可以用于存储期望的信息并且可以被计算机访问的任何其他的介质。此外，本领域普通技术人员公知的是，通信介质通常包含计算机可读指令、数据结构、程序模块或者诸如载波或其他传输机制之类的调制数据信号中的其他数据，并且可包括任何信息递送介质。

上面结合附图对本发明实施例作了详细说明，但是本发明不限于上述实施例，在技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本发明宗旨的前提下作出各种变化。

Claims (10)

1.一种多路单项充气设备，其特征在于，包括：

机架，包括充气泵和多个控制按钮；

充气模块，设置有多个，所述多个充气模块分别安装于所述机架上，所述充气模块包括送料组件和一侧开口的充气腔室，所述送料组件包括驱动装置、用于密封所述充气腔室的开口的密封盖板和用于承托待充气产品的送料支架，所述驱动装置与所述密封盖板连接，所述送料支架设置于所述密封盖板靠近所述充气腔室的一侧上，所述充气腔室内设置有气管，所述气管连接有气体控制阀，所述气体控制阀与所述充气泵连接，各个所述控制按钮与各个充气模块相对应；

控制装置，分别与所述控制按钮、所述驱动装置和所述气体控制阀连接，以使所述控制装置响应于所述控制按钮控制对应的所述充气模块对待充气产品进行独立的定时充气处理。

2.根据权利要求1所述的多路单项充气设备，其特征在于，所述机架还包括抽气泵，所述气管包括充气气管和抽气气管，所述充气气管通过所述气体控制阀与所述充气泵连接，所述抽气气管通过所述气体控制阀与所述抽气泵连接。

3.根据权利要求1所述的多路单项充气设备，其特征在于，所述密封盖板设置有安装槽，所述送料支架可拆卸连接于所述安装槽。

4.根据权利要求1所述的多路单项充气设备，其特征在于，所述充气腔室内设置有气压传感器，所述气体控制阀设置有气体流量计，所述气压传感器和所述气体流量计分别与所述控制装置连接。

5.根据权利要求1所述的多路单项充气设备，其特征在于，所述控制装置包括定时控制电路，所述定时控制电路包括定时模块、按钮触发模块和多个气体控制模块，所述定时模块分别与所述按钮触发模块和各个所述气体控制模块连接，所述按钮触发模块与所述控制按钮连接，各个所述气体控制模块分别与所述气体控制阀和所述驱动装置对应连接。

6.根据权利要求5所述的多路单项充气设备，其特征在于，所述气体控制模块包括第一三极管、第一电阻、用于与控制电源连接的第二电阻、用于与所述定时模块连接的控制输入端，以及用于与所述气体控制阀或所述驱动装置连接的控制输出端，所述第一三极管的基极通过所述第一电阻与所述控制输入端连接，所述第一三极管的发射极接地，所述第一三极管的集电极与所述第二电阻连接，所述控制输出端连接至所述第一三极管的集电极与所述第二电阻的连接点。

7.根据权利要求5所述的多路单项充气设备，其特征在于，所述按钮触发模块包括用于与控制电源连接的保护电阻、设置于所述控制按钮内的触发开关和与所述定时模块连接的按钮触发端，所述触发开关的一端接地，另一端与所述按钮触发端连接，所述保护电阻的一端连接至所述触发开关与所述按钮触发端的连接点。

8.一种充气控制方法，其特征在于，应用于如权利要求1至7任一所述的多路单项充气设备，所述充气控制方法包括：

响应于所述控制按钮，对应控制所述充气模块中的所述驱动装置驱动所述密封盖板向所述充气腔室的开口方向移动，直至所述密封盖板与所述充气腔室抵接；

控制所述气体控制阀仅与所述充气泵连通，并对充气时长进行计时；

当所述充气时长达到充气定时时长，控制所述气体控制阀关闭。

9.根据权利要求8所述的充气控制方法，其特征在于，所述机架还包括抽气泵，所述气体控制阀与所述抽气泵连接；

所述控制所述气体控制阀仅与所述充气泵连通，并对充气时长进行计时之前，所述充气控制方法还包括：

控制所述气体控制阀仅与所述抽气泵连通，并对所述充气腔室进行抽气，直至所述抽气时长达到抽气定时时长。

10.一种计算机可读存储介质，其特征在于，存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时，实现如权利要求8至9中任意一项所述的充气控制方法。

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