CN115734479A - 绘制系统、绘制方法以及记录有程序的存储介质 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种绘制系统。匹配位置决定部设定与对应于临时匹配位置(95a)的模板相同大小的临时模板区域(951a)，以临时模板区域(951a)为中心设定比摄像部的摄像视野大的核对区域(952a)。匹配位置决定部还确认在核对区域(952a)中是否存在表示与临时模板区域(951a)相同的图案的重复区域。然后，在核对区域(952a)中存在重复区域的情况下，匹配位置决定部反复使临时匹配位置(95a)向规定方向移动而再次设定临时模板区域(951a)以及核对区域(952a)，确认是否存在重复区域。另一方面，在核对区域(952a)中不存在重复区域的情况下，匹配位置决定部将临时匹配位置(95a)决定为匹配位置。

Description

绘制系统、绘制方法以及记录有程序的存储介质

参照关联申请

本申请主张在2021年8月27日中提交的日本专利申请JP2021-139064的优先权的利益，该申请的全部公开援引至本申请中。

技术领域

本发明涉及对基板照射光绘制图案的技术。

背景技术

以往以来，通过对形成在半导体基板、印刷基板、或者有机EL显示装置或液晶显示装置用的玻璃基板等(以下，称为“基板”)的感光材料照射光，绘制图案。在进行这种绘制的绘制装置中，进行了检测设在基板上的对准标记的位置并对图案的绘制位置自动进行调节的对准处理。

近年来，在相对于印刷基板进行绘制时，为了使能够从一张基板获取的个数增加，要求削减用于配置对准标记的空间。于是，不在基板设置对准专用的标记，利用基板上的图案的一部分来作为对准标记。

例如，在JP特开2013-171988号公报(文献1)的曝光装置中，在拍摄基板上的图案得到的图像内，将该图案的一部分设定为在对准处理中利用的基准标记模型(即，模板)并事先录入。然后，当应曝光的基板搬入至曝光装置时，拍摄该基板上的图案的一部分，进行得到的图像与上述基准标记模型的图案匹配，进行该基板的对准处理。

此外，在文献1的曝光装置中，为了得到图案匹配用的模板，在曝光装置的规定位置设置基板来拍摄基板上的图案，需要从得到的图像提取成为模板的局部图案。为此，生成模板所需的作业量变多，作业时间也变长。

另外，在利用基板上的图案的一部分来作为模板的情况下，需要设计者进行从该图案选择成为模板的部分的作业。成为该模板的部分需要为在周围的区域不存在与模板相同或者类似的图案的部分。因此，在选择成为模板的部分时的设计者的作业量也变多。

发明内容

本发明提供一种绘制系统，其目的在于降低生成模板所需的设计者的作业量。

本发明的优选的一个方面的绘制系统具备：对基板照射光来绘制图案的绘制装置；以及创建模板生成信息并将其发送至所述绘制装置的数据处理装置。所述绘制装置具备：载台，其保持事先在上表面上设有第1图案的所述基板；对所述基板的所述上表面照射调制后的光的绘制头；在与所述基板的所述上表面平行的扫描方向上使所述载台相对于所述绘制头相对移动的扫描机构；拍摄所述第1图案的一部分的摄像部；位置检测部，其通过相对于由所述摄像部获取的摄像图像进行使用了模板的图案匹配来检测所述基板的位置；存储部，其存储第2CAD数据，该第2CAD数据为在所述第1图案上绘制的第2图案的CAD数据；将所述第2CAD数据栅格化来生成第2栅格数据的数据生成部；以及绘制控制部，其通过基于所述第2栅格数据以及由所述位置检测部检测出的所述基板的位置来控制所述绘制头以及所述扫描机构，向相对于所述绘制头在所述扫描方向上相对移动的所述基板执行所述第2图案的绘制。所述存储部还存储包括表示在所述第1图案上由所述位置检测部进行图案匹配的匹配位置的座标在内的所述模板生成信息。所述数据生成部将所述第1图案的CAD数据栅格化来创建中间数据，从所述中间数据生成与所述匹配位置对应的规定大小的区域的图像数据来作为所述模板。所述数据处理装置具备：在所述第1图案上设定临时匹配位置的初始设定部；匹配位置决定部，其设定与对应于所述临时匹配位置的所述模板相同大小的临时模板区域，以所述临时模板区域为中心设定比所述摄像部的摄像视野大的核对区域，确认在所述核对区域中是否存在表示与所述临时模板区域相同的图案的重复区域，在存在所述重复区域的情况下，反复使所述临时匹配位置向规定方向移动而再次设定所述临时模板区域以及所述核对区域，来确认是否存在所述重复区域，在不存在所述重叠区域的情况下，将所述临时匹配位置决定为所述匹配位置；以及信息创建部，其创建包括表示由所述匹配位置决定部决定的所述匹配位置的座标在内的所述模板生成信息。

根据该绘制系统，能够降低生成模板所需的作业者的作业量。

优选地，在存在所述重复区域的情况下的由所述匹配位置决定部决定的所述临时匹配位置的移动方向为所述扫描方向。

优选地，利用所述初始设定部设定有使多个临时匹配位置列在与所述扫描方向垂直的宽度方向上以等间隔排列的临时匹配位置组，将所述多个临时匹配位置列的所述宽度方向上的间隔设在规定值以下，所述多个临时匹配位置列分别为在所述扫描方向上排列的临时匹配位置的集合。

优选地，利用所述初始设定部设定有使多个临时匹配位置列在与所述扫描方向垂直的宽度方向上以等间隔排列的临时匹配位置组，将所述多个临时匹配位置列的数量设为规定数量，所述多个临时匹配位置列分别为在所述扫描方向上排列的临时匹配位置的集合。

优选地，在所述基板的所述上表面设定有多个部分绘制区域，该多个部分绘制区域在所述扫描方向以及与所述扫描方向垂直的宽度方向上呈矩阵状排列并且在每个部分绘制区域中绘制有相同的图案。所述初始设定部在所述多个部分绘制区域中的一个部分绘制区域设定临时匹配位置。所述匹配位置决定部基于所述临时匹配位置决定所述一个部分绘制区域内中的匹配位置，在所述多个部分绘制区域中的其他部分绘制区域中，以使相对于所述其他部分绘制区域的相对位置成为与所述匹配位置相对于所述一个部分绘制区域的相对位置相同的方式决定其他部分绘制区域中的匹配位置。

优选地，在所述基板的所述上表面设定有在所述扫描方向以及与所述扫描方向垂直的宽度方向上呈矩阵状排列的多个部分绘制区域。在所述多个部分绘制区域中的所述扫描方向上的最靠一侧且所述宽度方向上的最靠一侧的部分绘制区域中，所述临时匹配位置与所述扫描方向上的所述一侧且所述宽度方向上的所述一侧的角部相邻配置。在所述多个部分绘制区域中的所述扫描方向上的最靠所述一侧且所述宽度方向上的最靠另一侧的部分绘制区域中，所述临时匹配位置与所述扫描方向上的所述一侧且所述宽度方向上的所述另一侧的角部相邻配置。在所述多个部分绘制区域中的所述扫描方向上的最靠另一侧且所述宽度方向上的最靠所述一侧的部分绘制区域中，与所述临时匹配位置与所述扫描方向上的所述另一侧且所述宽度方向上的所述一侧的角部相邻配置。在所述多个部分绘制区域中的所述扫描方向上的最靠所述另一侧且所述宽度方向上的最靠所述另一侧的部分绘制区域中，所述临时匹配位置与所述扫描方向上的所述另一侧且所述宽度方向上的所述另一侧的角部相邻配置。

优选地，所述数据处理装置对部分数据进行剪辑并发送至所述绘制装置，所述部分数据为与所述第1图案中的包括所述匹配位置在内的规定的区域对应的CAD数据。所述绘制装置的所述数据生成部仅将所述部分数据栅格化来创建所述中间数据。

优选地，在所述基板的所述上表面设定有在所述扫描方向以及与所述扫描方向垂直的宽度方向上呈矩阵状排列的多个部分绘制区域。所述部分数据与包括所述匹配位置在内的部分绘制区域对应。

优选地，所述模板生成信息还包括表示通过设计者决定的其他匹配位置的座标。

本发明还提供对基板照射光来绘制图案的绘制方法。本发明的优选的一个方面的绘制方法包括：a)工序，保持事先在上表面上设有第1图案的基板；b)工序，生成所述基板的位置检测使用的模板；c)工序，拍摄所述第1图案的一部分；d)工序，通过相对于在所述c)工序中获取的摄像图像进行使用了所述模板的图案匹配来检测所述基板的位置；e)工序，将第2CAD数据栅格化而生成第2栅格数据，所述第2CAD数据为在所述第1图案上绘制的第2图案的CAD数据；以及f)工序，通过基于所述第2栅格数据以及在所述d)工序中检测出的所述基板的位置对绘制头以及扫描机构进行控制，而向相对于所述绘制头在扫描方向上相对移动的所述基板执行所述第2图案的绘制，其中，所述绘制头对所述基板的所述上表面照射调制后的光，所述扫描装置在与所述基板的所述上表面平行的所述扫描方向上使所述基板相对于所述绘制头相对移动。所述b)工序具备：b1)工序，准备包含表示在所述第1图案上进行所述图案匹配的匹配位置的座标在内的模板生成信息；以及b2)工序，将所述第1图案的CAD数据栅格化来创建中间数据，从所述中间数据生成与所述匹配位置对应的规定大小的区域的图像数据来作为所述模板。所述b1)工序具备：b3)工序，在所述第1图案上设定临时匹配位置；b4)工序，设定与对应于所述临时匹配位置的所述模板相同大小的临时模板区域，以所述临时模板区域为中心设定比所述c)工序中的摄像视野大的核对区域，确认在所述核对区域中是否存在表示与所述临时模板区域相同的图案的重复区域，在存在所述重复区域的情况下，反复使所述临时匹配位置向规定方向移动而再次设定所述临时模板区域以及所述核对区域，来确认是否存在所述重复区域，在不存在所述重叠区域的情况下，将所述临时匹配位置决定为所述匹配位置；以及b5)工序，创建包括表示在所述b4)工序中决定的所述匹配位置的座标在内的所述模板生成信息。

本发明还提供记录有在对基板照射光来绘制图案的绘制系统中执行的程序的存储介质。所述绘制系统所述绘制系统具备：对基板照射光来绘制图案的绘制装置；以及创建模板生成信息并将其发送至所述绘制装置的数据处理装置，所述绘制装置具备：载台，其保持事先在上表面上设有第1图案的基板；对所述基板的所述上表面照射调制后的光的绘制头；在与所述基板的所述上表面平行的扫描方向上使所述载台相对于所述绘制头相对移动的扫描机构；拍摄所述第1图案的一部分的摄像部；位置检测部，其通过相对于由所述摄像部获取的摄像图像进行使用了模板的图案匹配来检测所述基板的位置；存储部，其存储第2CAD数据，所述第2CAD数据为在所述第1图案上绘制的第2图案的CAD数据；将所述第2CAD数据栅格化来生成第2栅格数据的数据生成部；以及绘制控制部，其通过基于所述第2栅格数据以及由所述位置检测部检测出的所述基板的位置来控制所述绘制头以及所述扫描机构，向相对于所述绘制头在所述扫描方向上相对移动的所述基板执行所述第2图案的绘制。通过计算机执行所述程序，在所述数据处理装置中执行如下的工序：g)工序，在所述第1图案上设定临时匹配位置；h)工序，设定与对应于所述临时匹配位置的所述模板相同大小的临时模板区域，以所述临时模板区域为中心设定比所述摄像部的摄像视野大的核对区域，确认在所述核对区域中是否存在表示与所述临时模板区域相同的图案的重复区域，在存在所述重复区域的情况下，反复使所述临时匹配位置向规定方向移动而再次设定所述临时模板区域以及所述核对区域，来确认是否存在所述重复区域，在不存在所述重叠区域的情况下，将所述临时匹配位置决定为所述匹配位置；i)工序，创建包括表示在所述h)工序中决定的所述匹配位置的座标在内的所述模板生成信息，在所述绘制装置的所述数据生成部中执行j)工序，在该j)工序中，将所述第1图案的CAD数据栅格化来创建中间数据，从所述中间数据生成与所述匹配位置对应的规定大小的区域的图像数据来作为所述模板。

上述的目的以及他的目的、特征、形态以及优点通过以下参照附图对本发明进行的详细说明而变明朗。

附图说明

图1是示出一实施方式的绘制系统的立体图。

图2是示出基板的平面图。

图3是示出绘制装置的控制部所具备的计算机的构成的图。

图4是示出绘制装置的控制部的功能的框图。

图5A是示出相对于基板绘制图案的流程的图。

图5B是示出相对于基板绘制图案的流程的图。

图6是示出匹配位置以及提取区域的图。

图7是示出模板的一例的图。

图8是示出多个匹配位置的配置的一例的图。

图9是示出多个匹配位置的配置的另一例的图。

图10是示出数据处理装置的构成的图。

图11是示出数据处理装置的功能的框图。

图12是示出模板生成信息的创建的流程的图。

图13是示出多个临时匹配位置的配置的一例的图。

图14是示出多个临时匹配位置的配置的另一例的图。

图15是示出临时匹配位置、临时模板区域以及核对区域的图。

图16是示出临时匹配位置、临时模板区域以及核对区域的图。

图17是示出多个匹配位置的配置的另一例的图。

图18是示出基板的平面图。

其中，附图标记说明如下：

1绘制装置

3摄像部

5绘制系统

6数据处理装置

9基板

21载台

22载台移动机构

41绘制头

90(基板的)上表面

94部分绘制区域

95匹配位置

95a临时匹配位置

96提取区域

97模板

109、609该程序

111存储部

113位置检测部

114绘制控制部

115数据生成部

612初始设定部

613匹配位置决定部

614信息创建部

950a临时匹配位置列

951a临时模板区域

952a核对区域

S11～S16、S21～S29、S121～S122步骤

具体实施方式

图1是示出本发明的一实施方式的绘制系统5的立体图。绘制系统5具备绘制装置1以及数据处理装置6。绘制装置1为通过将被进行了空间调制的大致光束状的光照射至基板9上的感光材料，在基板9上对该光的照射区域进行扫描而绘制图案的直接绘制装置。数据处理装置6为进行绘制装置1中的绘制所使用的数据的前处理等的装置。数据处理装置6例如为通常的计算机，但在图1中利用大致长方形概念地进行绘制。在图1中，用箭头示出彼此正交的三个方向来作为X方向、Y方向以及Z方向。在图1示出的例子中，X方向以及Y方向为彼此垂直的水平方向，Z方向为铅垂方向。在其他图中也相同。

图2是示出基板9的(+Z)侧的主面(以下也称为“上表面90”)的平面图。基板9例如为俯视下近似矩形状的板状构件。基板9例如为多层印刷布线基板(以下，仅称为“印刷基板”)。在本实施方式中，在基板9的上表面90事先形成有由铜(Cu)等形成的电路图案，在该电路图案上设有由感光材料形成的抗蚀膜。然后，在绘制装置1中，在基板9的该抗蚀膜绘制(即，形成)焊锡图案。该焊锡图案与该电路图案对应地绘制在上述的电路图案上。

在以下的说明中，也将在基板9的上表面90上事先形成的图案(即，电路图案)称为“第1图案”，也将在绘制装置1中在基板9的上表面90上绘制的预定的图案(即，焊锡图案)称为“第2图案”。此外，基板9的种类以及形状等可以进行各种各样的变更。另外，利用绘制装置1在基板9绘制的图案也不限于焊锡图案，可以进行各种各样的变更。

在图2例示的基板9的上表面90设定有利用栅格状的分割预定线93分别划分成近似矩形状的多个部分绘制区域94。在多个部分绘制区域94分别绘制了相同的图案。各部分绘制区域94与最终从基板9获取的器件(piece)对应。在图2示出的例子中，各部分绘制区域94为近似正方形状。多个部分绘制区域94在X方向以及Y方向上呈矩阵状排列。在图2中，与实际相比较大地绘制出各部分绘制区域94，与实际相比较少地绘制了部分绘制区域94的数量。在基板9设有与后述的位置检测处理(即，对准处理)专用的对准标记。

如图1所示，绘制装置1具备载台21、载台移动机构22、摄像部3、绘制部4以及控制部10。控制部10对载台移动机构22、摄像部3以及绘制部4等进行控制。载台21为在摄像部3以及绘制部4的下方(即，(-Z)侧)从下侧保持水平状态的基板9的大致平板状的基板保持部。载台21例如为吸附并保持基板9的下表面的真空吸盘。载台21也可以具有真空吸盘以外的构造。载置在载台21上的基板9的上表面90相对于Z方向大致垂直，与X方向以及Y方向大致平行。

载台移动机构22为使载台21相对于摄像部3以及绘制部4在水平方向(即，与基板9的上表面90大致平行的方向)上相对移动的移动机构。载台移动机构22具备第1移动机构23、第2移动机构24。第2移动机构24沿着导轨在X方向上直线移动载台21。第1移动机构23沿着导轨在Y方向上直线移动载台21和第2移动机构24。第1移动机构23以及第2移动机构24的驱动源例如其线性伺服马达，或者在滚珠丝杠安装有马达。第1移动机构23以及第2移动机构24的构造可以进行各种各样的变更。

在绘制装置1中，也可以设有以沿Z方向延伸的旋转轴为中心使载台21旋转的载台旋转机构。另外，在Z方向上移动载台21的载台升降机构也可以设在绘制装置1。作为载台旋转机构，例如，能够利用伺服马达。作为载台升降机构，例如能够使用线性伺服马达。载台旋转机构以及载台升降机构的构造可以进行各种各样的变更。

摄像部3具有在X方向上排列的多个(在图1示出的例子中为两个)摄像头31。各摄像头31利用跨过载台21以及载台移动机构22而设置的头支承部30而支承在载台21以及载台移动机构22的上方。两个摄像头31中的一个摄像头31固定于头支承部30，另一个摄像头31能够在头支承部30上沿X方向移动。由此，能够改变两个摄像头31间在X方向上的距离。此外，摄像部3的摄像头31的数量也可以为1个，还可以为3个以上。

各摄像头31为具有省略图示的摄像传感器以及光学系统的相机或摄像头。各摄像头31例如为获取二维图像的面阵相机。摄像传感器例如具备呈矩阵状排列的多个CCD(Charge Coupled Device：电荷耦合器件)等的元件。在各摄像头31中，从省略图示的光源向基板9的上表面90导入的照明光的反射光经由光学系统向摄像传感器导入。摄像传感器接受来自基板9的上表面90的反射光，获取近似矩形状的摄像区域的图像。作为上述光源，能够利用LED(Light Emitting Diode：发光二极管)等的各种光源。此外，各摄像头31可以为线阵相机等，也可以为其他种类的相机。

绘制部4具备在X方向以及Y方向上排列的多个(在图1示出的例子为五个)绘制头41。各绘制头41利用跨过载台21以及载台移动机构22而设置的头支承部40而支承在载台21以及载台移动机构22的上方。头支承部40与摄像部3的头支承部30相比配置在(+Y)侧。此外，绘制部4的绘制头41的数量可以为一个，也可以为多个。

各绘制头41具备省略图示的光源、光学系统以及空间光调制元件。作为空间光调制元件，能够利用DMD(Digital Micro Mirror Device：数字微镜设备)、GLV(GratingLight Valve：光栅光阀)(硅光机(森尼韦尔、加利福尼亚)的注册商标)等的各种元件。作为光源，能够利用LD(Laser Diode:激光二极管)等各种各样的光源。多个绘制头41具有大致相同的构造。

在绘制装置1中，从绘制部4的多个绘制头41将调制后的(即，空间光调制后的)光照射至基板9的上表面90上，并且利用载台移动机构22而在Y方向上移动基板9。由此，在基板9上沿Y方向对来自多个绘制头41的光的照射区域进行扫描，相对于基板9绘制图案。在以下的说明中，也将Y方向称为“扫描方向”，将X方向称为“宽度方向”。载台移动机构22为在基板9上沿扫描方向移动来自各绘制头41的光的照射区域的扫描机构。

在绘制装置1中，利用所谓的单路径(One pass)方式进行相对于基板9的绘制。具体来说，利用载台移动机构22使载台21相对于多个绘制头41在Y方向上相对移动，来自多个绘制头41的光的照射区域在基板9的上表面90上沿Y方向(即，扫描方向)仅扫描一次。由此，相对于基板9的绘制结束。此外，在绘制装置1中，也可以利用反复载台21向Y方向的移动和向X方向的步进移动这样的多路径方式来相对于基板9进行绘制。此外，在绘制装置1中进行多路径方式的绘制的情况下，Y方向为主扫描方向，X方向为副扫描方向。另外，载台移动机构22的第1移动机构23为使载台21沿主扫描方向移动的主扫描机构，第2移动机构24为使载台21沿副扫描方向移动的副扫描机构。

图3是示出控制部10所具备的计算机100的构成的图。计算机100为具备处理器101、存储器102、输入输出部103、总线104的通常的计算机。总线104为将处理器101、存储器102以及输入输出部103连接的信号电路。存储器102存储各种信息。存储器102读取并存储例如事先存储在作为程序产品的存储介质81内的程序109。存储介质81例如为USB存储器或CD-ROM。

处理器101根据存储在存储器102内的上述程序109等，利用存储器102等并且执行各种各样的处理(例如，数值计算或图像处理)。输入输出部103具备受理来自操作者的输入的键盘105以及鼠标106、以及显示来自处理器101的输出等的显示器107。此外，控制部10可以为可编程逻辑控制器(PLC：Programmable Logic Controller)或电路基板等，也可以为这些器件与一个以上计算机的组合。

图4是示出通过利用计算机100执行上述程序109而实现的控制部10的功能的框图。在图4中，还一并示出控制部10以外的构成。控制部10具备存储部111、摄像控制部112、位置检测部113、绘制控制部114、数据生成部115。

存储部111主要由存储器102实现，事先存储有与绘制装置1绘制图案有关的各种信息。在存储在存储部111内的信息例如包括从数据处理装置6向绘制装置1发送的信息。从数据处理装置6将例如在基板9绘制的预定的第2图案的CAD数据(以下，也称为“第2CAD数据”)、以及作为后述的生成模板所使用的信息的模板生成信息等发送至绘制装置1。

摄像控制部112、位置检测部113、绘制控制部114以及数据生成部115主要由处理器101实现。摄像控制部112通过控制摄像部3以及载台移动机构22，使摄像部3拍摄基板9的上表面90(参照图2)的一部分来获取上述第1图案的一部分图像(以下，也称为“摄像图像”)。向存储部111发送该摄像图像来保存该该摄像图像。数据生成部115将存储在存储部111内的第2CAD数据栅格化，生成绘制装置1绘制第2图案所使用的栅格数据(以下，也称为“第2栅格数据”)。第2栅格数据例如为游程长度(Run-Length)数据。另外，数据生成部115生成基板9的位置检测所使用的模板(即，基准图像)。

位置检测部113通过相对于上述第1图案的摄像图像进行使用了该模板的图案匹配，来检测载台21(参照图1)上的基板9的位置(即，相基板9对于绘制部4的相对位置)。绘制控制部114基于上述第2栅格数据、以及由位置检测部113检测出的基板9的位置等，控制绘制部4以及载台移动机构22，由此，调节基板9上的绘制位置，并且使绘制部4执行相对于基板9绘制第2图案。

接下来，参照图5A以及图5B说明利用绘制装置1向基板9绘制图案的流程。在相对于基板9进行绘制时，首先，基板9搬入至图1示出的绘制装置1，由载台21保持(步骤S11)。载台21与摄像部3以及绘制部4相比位于(-Y)侧。在保持在载台21上的基板9的上表面90上事先设置第1图案。基板9的上表面90与X方向以及Y方向大致平行。

然后，利用控制部10的数据生成部115(参照图4)生成上述图案匹配所使用的模板(步骤S12)。在步骤S12中，首先，在数据处理装置6中创建模板生成信息。在后面说明数据处理装置6中的模板生成信息的创建。然后，从数据处理装置6相对于绘制装置1发送第2CAD数据以及模板生成信息，并保存在存储部111内。由此，在绘制装置1中，准备第2CAD数据以及模板生成信息(步骤S121)。模板生成信息包括作为第1图案的CAD数据的第1CAD数据、以及表示在第1图案上由位置检测部113进行图案匹配的位置(以下，也称为“匹配位置”)的座标。另外，模板生成信息也包含表示该图案匹配所使用的模板的大小的模板尺寸信息。

在控制部10中，利用数据生成部115读取存储在存储部111内的模板生成信息。数据生成部115将包含在模板生成信息内的第1CAD数据栅格化，生成第1栅格数据(以下，也称为“中间数据”)。第1栅格数据例如为游程长度数据。

另外，数据生成部115基于包含在模板生成信息内的表示匹配位置的座标以及模板尺寸信息，从第1栅格数据提取与该匹配位置对应的规定大小(即，模板尺寸信息示出的大小)的区域。如图6所示，从第1栅格数据提取的该区域(以下，也称为“提取区域96”)例如为以用十字表示的匹配位置95为中心的2mm²的近似正方形状的区域。在图6中，放大示出了绘制有第1图案的基板9的多个部分绘制区域94中的、左上(即，(-X)侧且(+Y)侧的顶点)的部分绘制区域94的左上顶点附近的部位。此外，提取区域96并非必须以匹配位置95为中心来提取，例如可以为将匹配位置95设为左上顶点的近似正方形状的区域。另外，提取区域96的形状以及大小可以进行各种各样的变更。

数据生成部115通过将从第1栅格数据提取的提取区域96的数据转换为图案匹配可利用的形式的图像数据，生成模板(步骤S122)。图7是示出由数据生成部115生成的模板97的一例的图。像上述这样，模板97包含有第1图案的一部分。此外，模板97所包含的图案的形状不限于图7示出的形状，也可以进行各种各样的变更。在本实施方式中，模板为位图数据。此外，模板的数据形式可以为位图形式以外的形式。

模板生成信息通常包含多个(例如，四个以上)匹配位置95的座标。在数据处理装置6中事先设定该多个匹配位置95，包含在模板生成信息内。在上述步骤S12中，与该多个匹配位置95分别对应的多个模板97由数据生成部115生成，而保存在存储部111内。

图8是示出基板9上的多个匹配位置95的配置的一例的图。在图8示出的例子中，四个匹配位置95分别配置于在基板9上呈矩阵状排列的多个部分绘制区域94中的、位于四个角的四个部分绘制区域94。另外，在供匹配位置95配置的各部分绘制区域94中，匹配位置95配置在该部分绘制区域94的四个角部中的、距离基板9的中央部最远的一个角部附近。

具体来说，在位于(-X)侧且(+Y)侧的角部的部分绘制区域94(即，宽度方向上的最靠一侧且扫描方向上的最靠一侧的部分绘制区域94)中，匹配位置95与部分绘制区域94的(-X)侧且(+Y)侧的角部相邻配置。另外，与该匹配位置95对应的提取区域96也与部分绘制区域94的该角部相邻配置。提取区域96的整体位于部分绘制区域94内(即，部分绘制区域94的外周缘上以及该外周缘的内侧)。优选地，提取区域96的(-X)侧且(+Y)侧的角部与部分绘制区域94的(-X)侧且(+Y)侧的角部重叠，提取区域96的(-X)侧的边以及(+Y)侧的边与部分绘制区域94的(-X)侧的边以及(+Y)侧的边重叠。

此外，提取区域96也可以与部分绘制区域94的外周缘向内侧分离。在该情况下，提取区域96的(-X)侧的边与部分绘制区域94的(-X)侧的边之间的距离例如2mm为以下(即，提取区域96的一边的长度的100％以下)，优选为1mm以下(即，提取区域96的一边的长度的50％以下)。提取区域96的(+Y)侧的边与部分绘制区域94的(+Y)侧的边之间的距离也相同。

在位于(+X)侧且(+Y)侧的角部的部分绘制区域94(即，宽度方向上的最靠另一侧且扫描方向上的最靠一侧的部分绘制区域94)中，匹配位置95以及提取区域96与部分绘制区域94的(+X)侧且(+Y)侧的角部相邻配置。提取区域96的整体位于部分绘制区域94内。优选地，提取区域96的(+X)侧且(+Y)侧的角部与部分绘制区域94的(+X)侧且(+Y)侧的角部重叠，提取区域96的(+X)侧的边以及(+Y)侧的边与部分绘制区域94的(+X)侧的边以及(+Y)侧的边分别重叠。此外，提取区域96与上述同样地，也可以与部分绘制区域94的外周缘向内侧分离。在该情况下，针对提取区域96与部分绘制区域94之间的距离，与配置在上述最靠(-X)侧且最靠(+Y)侧的部分绘制区域94的提取区域96大致相同。

在位于(+X)侧且(-Y)侧的角部的部分绘制区域94(即，宽度方向上的最靠另一侧且扫描方向上的最靠另一侧的部分绘制区域94)中，匹配位置95以及提取区域96与部分绘制区域94的(+X)侧且(-Y)侧的角部相邻配置。提取区域96的整体位于部分绘制区域94内。优选地，提取区域96的(+X)侧且(-Y)侧的角部与部分绘制区域94的(+X)侧且(-Y)侧的角部重叠，提取区域96的(+X)侧的边以及(-Y)侧的边与部分绘制区域94的(+X)侧的边以及(-Y)侧的边分别重叠。此外，提取区域96与上述同样地，与部分绘制区域94的外周缘向内侧分离。在该情况下，针对提取区域96与部分绘制区域94之间的距离，与配置在上述最靠(-X)侧且最靠(+Y)侧的部分绘制区域94的提取区域96大致相同。

在位于(-X)侧且(-Y)侧的角部的部分绘制区域94(即，宽度方向上的最靠一侧且扫描方向上的最靠另一侧的部分绘制区域94)中，匹配位置95以及提取区域96与部分绘制区域94的(-X)侧且(-Y)侧的角部相邻配置。提取区域96的整体位于部分绘制区域94内。优选地，提取区域96的(-X)侧且(-Y)侧的角部与部分绘制区域94的(-X)侧且(-Y)侧的角部重叠，提取区域96的(-X)侧的边以及(-Y)侧的边与部分绘制区域94的(-X)侧的边以及(-Y)侧的边分别重叠。此外，提取区域96与上述同样地，与部分绘制区域94的外周缘向内侧分离。在该情况下，针对提取区域96与部分绘制区域94之间的距离，与配置于上述最靠(-X)侧且最靠(+Y)侧的部分绘制区域94的提取区域96大致相同。

基板9上的匹配位置95的数量以及配置不限于图8示出的情况，可以进行各种各样的变更。例如，可以在多个部分绘制区域94中的、位于四个角的部分绘制区域94以外的部分绘制区域94配置有匹配位置95。例如，如图9所示，可以在呈矩阵状排列的多个部分绘制区域94的各部分绘制区域94配置有两个匹配位置95。在图9示出的例子中，在多个部分绘制区域94中位于最靠(-Y)侧的各部分绘制区域94中与匹配位置95与(-Y)侧的边相邻配置，在位于最靠(+Y)侧的各部分绘制区域94中，匹配位置95与(+Y)侧的边相邻配置。另外，在位于最靠(-X)侧的各部分绘制区域94中，匹配位置95与(-X)侧的边相邻配置，在位于最靠(+X)侧的各部分绘制区域94中，匹配位置95与(+X)侧的边相邻配置。

在步骤S12中，当生成与多个匹配位置95分别对应的多个模板97时，利用图1示出的载台移动机构22使基板9与载台21一并向(+Y)方向移动，向摄像部3的下方移动。此外，步骤S12可以在步骤S11中搬入以及保持基板9之前进行，也可以与步骤S11并行进行。

然后，通过利用摄像控制部112(参照图4)控制摄像部3以及载台移动机构22，拍摄在基板9上与各匹配位置95对应的规定大小的摄像区域，获取包括第1图案的一部分在内的摄像图像(步骤S13)。该摄像区域为在基板9准确保持在载台21上的设计位置的情况下的以匹配位置95为中心的近似矩形状的区域。该摄像区域具有与X方向以及Y方向分别平行的一对边，在X方向以及Y方向这双方上，比上述提取区域96大。

例如，该摄像区域具有使提取区域96在(+X)侧、(-X)侧、(+Y)侧以及(-Y)侧分别放大了规定大小的近似矩形状。例如，该摄像区域的X方向以及Y方向上的各自的长度(即，摄像头31的摄像视野的X方向以及Y方向上的各自的长度)为14mm以及7mm。因此，即使载台21上的基板9的位置与设计位置稍微偏移，在摄像图像内也包含与模板97对应的图案。在步骤S13中，获取与多个匹配位置95分别对应的多个摄像图像，而保存在存储部111内。此外，步骤S13可以在步骤S12之前进行，也可以与步骤S12并行进行。另外，摄像区域的大小可以进行各种各样的变更。

接下来，利用控制部10的位置检测部113相对于与各匹配位置95对应的摄像图像进行使用了与该匹配位置95对应的模板97的图案匹配。该图案匹配利用公知的图案匹配法(例如，几何学形状图案匹配或归一化相关搜索等)来进行。然后，基于与各摄像图像中的模板97相同的图案的位置、以及获取各摄像图像时的基板9与摄像部3的相对位置等，利用位置检测部113(参照图4)来检测载台21上的基板9的位置(步骤S14)。

在步骤S14中利用位置检测部113检测到的基板9的位置是指，包括在载台21上的基板9的X方向以及Y方向上的座标、基板9的朝向、以及表示因基板9的畸变等引起的变形的信息。另外，表示基板9的变形的信息是指，发生了变形的基板9的形状、以及该基板9上的多个部分绘制区域94的位置等的信息。

在控制部10中，另外，利用数据生成部115(参照图4)从存储部111读取第2CAD数据，进行第2CAD数据的栅格化而生成第2栅格数据(步骤S15)。第2栅格数据例如为游程长度数据。步骤S15可以在步骤S14之后进行，可以与步骤S14并行进行，也可以在步骤S14之后进行。在步骤S15在步骤S14之前进行的情况下，例如，步骤S15可以与步骤S11～S13的某一步骤并行进行，也可以在步骤S11～S14的某两个步骤之间进行，可以在步骤S11之前进行。

当生成第2栅格数据时，基于第2栅格数据以及在步骤S14中检测出的基板9的位置，利用绘制控制部114(参照图4)控制绘制部4以及载台移动机构22。由此，向相对于绘制部4的绘制头41在Y方向上相对移动的基板9照射上述的调制后的光，而在基板9的上表面90上绘制第2图案(步骤S16)。在步骤S16中，基于在步骤S14中检测出的基板9的位置，利用在绘制部4以及载台移动机构22中已知的修正方法机械性地自动修正从绘制部4向基板9照射的光束的调制间隔以及调制定时、以及基板9上的光束的扫描位置等。由此，能够位置精度优良地在第1图案上绘制第2图案。

在上述说明中，在步骤S12中，使用将第1CAD数据全部(即，第1图案整体)栅格化得到的第1栅格数据来作为中间数据，从该中间数据提取与匹配位置95对应的提取区域96来生成模板97，但不限于此。例如，在步骤S12中，可以利用数据生成部115仅将作为第1CAD数据的一部分的部分数据栅格化，来创建上述中间数据。在该情况下，该部分数据为包括第1图案中的各匹配位置95在内的与规定大小的区域(以下，也称为“剪辑区域”)对应的CAD数据。像上述这样，在设定了多个匹配位置95的情况下，上述部分数据为对应于与多个匹配位置95分别对应的多个剪辑区域的集合的CAD数据。

在数据处理装置6中事先设定多个剪辑区域的位置以及大小而将其包含在模板生成信息内。换言之，数据处理装置6对在第1CAD数据中与剪辑区域对应的部分数据进行剪辑并发送至绘制装置1。

各剪辑区域像上述那样包括一个匹配位置95，包括与该匹配位置95对应的提取区域96的整体。剪辑区域例如具有与X方向以及Y方向分别平行的一对边，为在X方向以及Y方向这双方上具有该提取区域96以上的大小的近似矩形状的区域。剪辑区域例如具有将提取区域96在(+X)侧、(-X)侧、(+Y)侧以及(-Y)侧上分别仅放大规定大小(例如，想定的基板9的X方向以及Y方向上的最大位置偏移量)的形状。或者，如图8所示，在仅在多个部分绘制区域94中的一部分的部分绘制区域94配置匹配位置95的情况下，剪辑区域可以为与包括匹配位置95在内的一个部分绘制区域94相同的区域。在该情况下，上述部分数据为与分别包括多个匹配位置95的每一个在内的多个部分绘制区域94(即，包括匹配位置95的部分绘制区域94的集合)对应的CAD数据。像这样，在数据生成部115中仅将第1CAD数据的一部分栅格化，由此，能够缩短栅格化所需的时间。

接下来，说明数据处理装置6以及模板生成信息的创建。数据处理装置6为创建上述模板生成信息并发送至绘制装置1的装置。如图10所示，数据处理装置6为具备处理器601、存储器602、输入输出部603和总线604的通常的计算机。总线604为将处理器601、存储器602以及输入输出部603连接的信号电路。存储器602存储各种信息。存储器602例如读取并存储在作为程序产品的存储介质82内事先存储的程序609。存储介质82例如为USB存储器或CD-ROM。

处理器601遵照存储在存储器602内的上述程序609等，利用存储器602等执行各种各样的处理(例如，数值计算或图像处理)。输入输出部603具备受理来自操作者的输入的键盘605以及鼠标606、显示来自处理器601的输出等的显示器607、以及向绘制装置1等发送信息的发送部608。

图11是示出通过在数据处理装置6中执行上述程序609而实现的功能的框图。数据处理装置6具备存储部611、初始设定部612、匹配位置决定部613以及信息创建部614。存储部611主要由存储器602实现，事先存储与模板生成信息的创建有关的各种信息。在存储部611存储的信息中例如包括第1CAD数据以及第2CAD数据。初始设定部612、匹配位置决定部613以及信息创建部614主要通过处理器601来实现。初始设定部612在第1图案上设定临时匹配位置。临时匹配位置为为了决定上述匹配位置95而在第1图案上临时设定的初始位置。匹配位置决定部613基于临时匹配位置决定匹配位置95。信息创建部614创建包括表示由匹配位置决定部613决定的匹配位置95的座标在内的模板生成信息。

接下来，参照图12说明数据处理装置6中的模板生成信息的创建的流程。图12示出的步骤S21～S29为详细说明图5B示出的步骤S121的步骤。在数据处理装置6执行步骤S21～S28，在绘制装置1执行步骤S29。

在创建模板生成信息时，首先，利用初始设定部612(参照图11)在第1图案上设定临时匹配位置(步骤S21)。图13以及图14是分别示出基板9上的临时匹配位置95a的配置的例子的图。在图13以及图14中，用X字状的标记来表示临时匹配位置95a。

在数据处理装置6中，准备多个临时匹配位置95a的配置模式，由设计者选择该多个配置模式中的一个配置模式。初始设定部612按照由设计者选择出的配置模式设定多个临时匹配位置95a的座标。图13与仅在基板9的绘制区域的四个角部(即，与呈矩阵状配置的多个部分绘制区域94外接的最小矩形的四个角部)配置临时匹配位置95a的配置模式(以下，也称为“第1配置模式”)对应。第1配置模式是用于决定图8示出的匹配位置95的配置模式。

在图13示出的例子中，四个临时匹配位置95a分别配置在基板9上呈矩阵状排列的多个部分绘制区域94中的、位于四个角的四个部分绘制区域94。另外，在供临时匹配位置95a配置的各部分绘制区域94中，临时匹配位置95a配置在该部分绘制区域94的四个角部中的、与基板9的中央部相距最远的一个角部附近。

具体来说，在位于(-X)侧且(+Y)侧的角部的部分绘制区域94中，临时匹配位置95a与部分绘制区域94的(-X)侧且(+Y)侧的角部相邻配置。另外，在位于(+X)侧且(+Y)侧的角部的部分绘制区域94中，临时匹配位置95a与部分绘制区域94的(+X)侧且(+Y)侧的角部相邻配置。在位于(+X)侧且(-Y)侧的角部的部分绘制区域94中，临时匹配位置95a与部分绘制区域94的(+X)侧且(-Y)侧的角部相邻配置。在位于(-X)侧且(-Y)侧的角部的部分绘制区域94中，临时匹配位置95a与部分绘制区域94的(-X)侧且(-Y)侧的角部相邻配置。

图14与在基板9的绘制区域中将多个临时匹配位置95a沿X方向以及Y方向呈矩阵状配置的配置模式(以下，也称为“第2配置模式”)对应。第2配置模式用于决定图9示出的匹配位置95。在第2配置模式中，设定多个临时匹配位置列950a在X方向上以大致等间隔排列的临时匹配位置组，多个临时匹配位置列950a的X方向上的间隔被设为规定的上限值(例如，200mm)以下。各临时匹配位置列950a为在Y方向上大致平行排列的多个临时匹配位置95a的集合，在图14中用双点划线包围。

在第2配置模式中，在基板9上的绘制区域的最靠(+X)侧以及最靠(-X)侧配置有临时匹配位置列950a，在该两个临时匹配位置列950a之间等间隔地配置有其他临时匹配位置列950a。在图14示出的例子中，在基板9上设定三个临时匹配位置列950a，但若基板9的X方向上的长度变大则临时匹配位置列950a的数量增加。另外，若基板9的X方向上的长度变短则临时匹配位置列950a的数量增加。此外，多个临时匹配位置列950a的X方向上的间隔的上限值可以适当变更，例如在50mm～300mm的范围内适当决定上述间隔的上限值。

在各临时匹配位置列950a中，沿Y方向排列的多个临时匹配位置95a以大致等间隔配置。各临时匹配位置列950a中的多个临时匹配位置95a的Y方向上的间隔可以为事先设定的固定值(例如，50mm)，也可以与基板9的Y方向上的长度匹配地自动、或者由设计者适当决定。另外，在各临时匹配位置列950a中，可以在基板9上的绘制区域的最靠(+Y)侧以及最靠(-Y)侧配置临时匹配位置95a，在该两个临时匹配位置95a之间，等间隔地配置规定数量的临时匹配位置95a。

在数据处理装置6中，可以设为还能够选择上述的第1配置模式以及第2配置模式以外的配置模式。例如，与图14大致同样地，多个临时匹配位置列950a在X方向上以大致等间隔配置，另一方面，可以设为能够选择多个临时匹配位置列950a的数量被设为规定数量(例如，三个)的配置模式(以下，也称为“第3配置模式”)。在第3配置模式中，也与第2配置模式同样地，在基板9上的绘制区域的最靠(+X)侧以及最靠(-X)侧也配置有临时匹配位置列950a，在该两个临时匹配位置列950a之间等间隔地配置有其他临时匹配位置列950a。在第3配置模式中，基板9的X方向上的长度也变化，在X方向上排列的临时匹配位置列950a的数量不变。此外，沿X方向排列的多个临时匹配位置列950a的数量可以适当变更，例如将数量适当决定为两个～六个。

然后，如图15所示，利用匹配位置决定部613(参照图11)设定与各临时匹配位置95a对应的临时模板区域951a(步骤S22)。在图15中，放大示出配置于在图8以及图9中位于左上角的部分绘制区域94的(-X)侧且(+Y)侧的角部附近的临时匹配位置95a附近的部位。临时模板区域951a为与上述的模板97相同大小的区域。临时模板区域951a相对于临时匹配位置95a的相对位置与上述的提取区域96相对于匹配位置95的相对位置相同。临时模板区域951a例如为以临时匹配位置95a为中心的2mm²的近似正方形状的区域。

另外，在匹配位置决定部613中，以临时模板区域951a为中心，设定比摄像部3的摄像头31的摄像视野(在上述例子中，14mm x 7mm的近似矩形状区域)大的核对区域952a(步骤S23)。核对区域952a为具有与X方向以及Y方向分别平行的一对边的近似矩形状，在X方向以及Y方向的双方比上述的摄像视野大。例如，核对区域952a使该摄像视野在(+X)侧、(-X)侧、(+Y)侧以及(-Y)侧分别仅放大规定大小(例如，想定的基板9的X方向以及Y方向中的最大位置偏移量)。在该最大位置偏移量为例如3mm的情况下，核对区域952a为20mmx13mm的近似矩形状区域。此外，核对区域952a的大小可以进行各种各样的变更。

当步骤S23结束时，匹配位置决定部613确认在核对区域952a中表示与临时模板区域951a相同的图案的重复区域的存在(步骤S24)。该重复区域为与位于与临时模板区域951a不同的位置的临时模板区域951a相同形状的区域。

具体来说，匹配位置决定部613从核对区域952a提取与临时模板区域951a相同形状的区域(以下，也称为“比较区域”)，基于第1CAD数据利用公知的方法对该比较区域所表示的图案与临时模板区域951a所表示的图案进行比较。然后，若两个图案相同，则认定为比较区域为重复区域，若两个图案不同，则认定为比较区域不是重复区域。匹配位置决定部613针对核对区域952a的整个区域进行该比较区域的提取以及临时模板区域951a的图案比较，若没有出现被认定为重复区域的比较区域，则判断为在核对区域952a中不存在重复区域。另一方面，在进行核对区域952a中的比较区域的提取以及临时模板区域951a的图案比较的过程中出现了被认定为重复区域的比较区域的情况下，匹配位置决定部613判断为在核对区域952a中存在重复区域，停止提取比较区域。

在步骤S24中存在重复区域的情况下，匹配位置决定部613使临时匹配位置95a仅向规定方向移动规定距离(步骤S25)。该规定方向例如为X方向或者Y方向。在图15示出的例子中，在临时匹配位置95a的(+Y)侧以及(-X)侧几乎不存在绘制区域，因此，临时匹配位置95a的移动方向实质上成为(-Y)方向或者(+X)方向。另外，该规定距离例如为临时模板区域951a的X方向或者Y方向上的长度的0.5倍～1倍。此外，在位于基板9的中央部附近的临时匹配位置95a的情况下，临时匹配位置95a的上述移动方向也能够设定为(-Y)方向、(+Y)方向、(-X)方向以及(+X)方向的某个方向。

在本实施方式中，如图16所示，临时匹配位置95a从图15示出的位置向(-Y)方向(即，与扫描方向平行的方向)仅移动与临时模板区域951a的Y方向上的长度的0.5倍相等的距离。在图16中，用实线示出移动后的临时匹配位置95a，用双点划线表示移动前的临时匹配位置95a。然后，返回至步骤S22，利用匹配位置决定部613来设定与新的临时匹配位置95a对应的临时模板区域951a以及核对区域952a(步骤S22，S23)。换言之，匹配位置决定部613移动临时匹配位置95a而再次设定临时模板区域951a以及核对区域952a。在图16中，用实线表示再次设定的临时模板区域951a以及核对区域952a，用双点划线表示再次设定前的临时模板区域951a以及核对区域952a。然后，再次确认核对区域952a中是否存在重复区域(步骤S24)。

在数据处理装置6中，到确认在核对区域952a中不存在重复区域为止反复进行步骤S22～S25。然后，在步骤S24中，在核对区域952a中不存在重复区域的情况下，利用匹配位置决定部613决定此时的临时匹配位置95a来作为匹配位置95(步骤S26)。在数据处理装置6中，针对多个临时匹配位置95a分别进行步骤S22～S26，决定与多个临时匹配位置95a分别对应的多个匹配位置95。

此后，利用信息创建部614(参照图11)创建包括在步骤S26中决定的多个匹配位置95的座标在内的模板生成信息(步骤S27)。像上述这样，模板生成信息还包括第1CAD数据、第2CAD数据以及模板尺寸信息。另外，模板生成信息例如还包括与上述剪辑区域有关的剪辑信息。在步骤S27中创建的模板生成信息从数据处理装置6的发送部608(参照图10)向绘制装置1发送(步骤S28)，并保存在绘制装置1的存储部111内(步骤S29)。

如以上说明的那样，绘制系统5具备绘制装置1以及数据处理装置6。绘制装置1向基板9照射光，来绘制图案。数据处理装置6创建模板生成信息并将其发送至绘制装置1。绘制装置1具备载台21、绘制头41、扫描机构(在上述例子中为载台移动机构22)、摄像部3、位置检测部113、存储部111、数据生成部115、绘制控制部114。载台21保持事先在上表面90上设有第1图案的基板9。绘制头41向基板9的上表面90照射调制后的光。扫描机构沿与基板9的上表面90平行的扫描方向(在上述例子中为Y方向)相对于绘制头41相对移动载台21。摄像部3拍摄第1图案的一部分。

位置检测部113通过相对于由摄像部3获取的摄像图像进行使用了模板97的图案匹配来检测基板9的位置。存储部111存储作为在第1图案上绘制的第2图案的CAD数据的第2CAD数据。数据生成部115将第2CAD数据栅格化而生成第2栅格数据。绘制控制部114通过基于第2栅格数据以及由位置检测部113检测出的基板9的位置来控制绘制头41以及扫描机构，执行向相对于绘制头41在扫描方向上相对移动的基板9绘制第2图案。

存储部111还存储包括表示在第1图案上由位置检测部113进行图案匹配的匹配位置95的座标在内的模板生成信息。数据生成部115将第1图案的CAD数据栅格化来创建中间数据，从该中间数据生成与匹配位置95对应的规定大小的区域(即，提取区域96)的图像数据来作为模板97。

数据处理装置6具备初始设定部612、匹配位置决定部613、信息创建部614。初始设定部612在第1图案上设定临时匹配位置95a。匹配位置决定部613设定与对应于临时匹配位置95a的模板97相同大小的临时模板区域951a，以临时模板区域951a为中心设定比摄像部3的摄像视野大的核对区域952a。匹配位置决定部613还确认在核对区域952a中是否存在表示与临时模板区域951a相同的图案的重复区域。然后，在核对区域952a中存在重复区域的情况下，匹配位置决定部613反复使临时匹配位置95a向规定方向移动，并再次设定临时模板区域951a以及核对区域952a来确认是否存在重复区域。另一方面，在核对区域952a中不存在重复区域的情况下，匹配位置决定部613将临时匹配位置95a决定为匹配位置95。信息创建部614创建包括表示由匹配位置决定部613决定的匹配位置95的座标在内的模板生成信息。

像这样，在绘制系统5中，在生成在检测基板9的位置时的图案匹配所使用的生成模板97时，绘制装置1不拍摄基板9上的第1图案，能够从第1图案的CAD数据生成模板97。因此，在生成模板97时，不需要将基板9准确地载置载台21上的设计位置、或者利用摄像部3拍摄基板9上的第1图案。因此，能够容易且迅速地生成模板97。另外，数据处理装置6能够自动决定进行上述图案匹配的位置(即，匹配位置95)，因此，能够省略由设计者进行的匹配位置95的决定作业。其结果为，还能够降低生成模板所需的设计者的作业量。

像上述这样，在数据处理装置6中，在核对区域952a中存在重复区域的情况下的由匹配位置决定部613决定的临时匹配位置95a的移动方向优选为扫描方向(在上述例子中为Y方向)。由此，多个匹配位置95的宽度方向(在上述例子中为X方向)上的位置相同，因此，在绘制装置1拍摄该多个匹配位置95时，不需要摄像部3在宽度方向上的相对移动。其结果为，能够缩短绘制装置1检测基板9的位置所需的时间。

像上述这样，优选地，利用初始设定部612设定多个临时匹配位置列950a在与扫描方向垂直的宽度方向上以等间隔排列的临时匹配位置组。该多个临时匹配位置列950a分别为在扫描方向上排列的临时匹配位置95a的集合。另外，该多个临时匹配位置列950a的宽度方向上的间隔优选设为规定值以下。由此，能够将适当数量的匹配位置95设定在基板9上的适当位置。其结果为，能够提高基板9的位置检测的精度。

或者，像上述这样，该多个临时匹配位置列950a的数量也优选为规定数量。在该情况下，也与上述大致同样地，能够将适当数量的匹配位置95设定在基板9上的适当位置，因此，能够提高基板9的位置检测的精度。另外，与基板9的大小无关地将临时匹配位置列950a的数量设为一定，由此，能够将临时匹配位置95a的设定作业简化。

如图13所示，在基板9的上表面90设定有在扫描方向以及与该扫描方向垂直的宽度方向上呈矩阵状排列的多个部分绘制区域94的情况下，在多个部分绘制区域94中的、扫描方向上的最靠一侧且宽度方向上的最靠一侧(在上述例子中，为最靠(+Y)侧且最靠(-X)侧)的部分绘制区域94中，临时匹配位置95a优选与扫描方向上的该一侧且宽度方向上的该一侧(在上述例子中，为(+Y)侧且(-X)侧)的角部相邻配置。另外，在多个部分绘制区域94中的扫描方向上的该最靠一侧且宽度方向上的最靠另一侧(在上述例子中，为最靠(+Y)侧且最靠(+X)侧)的部分绘制区域94中，临时匹配位置95a优选与扫描方向上的该一侧且宽度方向上的该另一侧(在上述例子中，(+Y)侧且(+X)侧)的角部相邻配置。而且，在多个部分绘制区域94中的扫描方向上的最靠另一侧且宽度方向上的该最靠另一侧(在上述例子中，为最靠(-Y)侧且最靠(+X)侧)的部分绘制区域94中，临时匹配位置95a优选与扫描方向上的该另一侧且宽度方向上的该另一侧(在上述例子中，为(-Y)侧且(+X)侧)的角部相邻配置。然后，在多个部分绘制区域94中的扫描方向上的该最靠另一侧且宽度方向上的该最靠一侧(在上述例子中，为最靠(-Y)侧且最靠(-X)侧)的部分绘制区域94中，临时匹配位置95a优选与扫描方向上的该另一侧且宽度方向上的该一侧(在上述例子中，为(-Y)侧且(-X)侧)的角部相邻配置。

像这样，通过在基板9上与呈矩阵状排列的多个部分绘制区域94外接的最小矩形的四个角部配置有四个临时匹配位置95a，而在该四个角部附近的区域配置四个匹配位置95。由此，能够利用该四个匹配位置95包围绘制有第2图案的区域的大致整体。其结果为，能够高精度地对准绘制有第2图案的该区域的大致整体，能够提高第2图案的绘制精度。

基板9上的匹配位置95的数量以及配置不限于图8以及图9示出的情况，可以进行各种各样的变更。例如，如图17所示，在位于呈矩阵状排列的多个部分绘制区域94中的四个角的部分绘制区域94中，各部分绘制区域94内的匹配位置95相对于各部分绘制区域94的相对位置(例如，将部分绘制区域94的(-X)侧且(+Y)侧的角部设为原点的相对座标)也可以相同。在图17示出的例子中，在该四个部分绘制区域94的每一个中，匹配位置95与部分绘制区域94的(-X)侧且(+Y)侧的角部相邻配置。

在该情况下，在绘制装置1的数据生成部115中，无需提取与四个匹配位置95分别对应的四个提取区域96并生成四个模板97，而是生成与位于四个角的部分绘制区域94中的一个部分绘制区域94的匹配位置95对应的一个模板97。然后，由位置检测部113进行的该四个部分绘制区域94各自的匹配位置95中的图案匹配共用该一个模板97。由此，能够缩短生成模板97所需的时间。

另外，在数据处理装置6的初始设定部612中，仅在上述四个部分绘制区域94中的一个部分绘制区域94设定临时匹配位置95a，在匹配位置决定部613中，基于该临时匹配位置95a决定该一个部分绘制区域94内的匹配位置95。然后，针对剩余的三个部分绘制区域94，具有与上述的匹配位置95相对于一个部分绘制区域94的相对位置相同的相对位置的匹配位置95利用匹配位置决定部613来决定。即，针对上述剩余的三个部分绘制区域94，不进行临时匹配位置95a的设定，另外，还省略对基于临时匹配位置95a的匹配位置95的决定。由此，能够缩短创建包含匹配位置95的座标在内的模板生成信息所需的时间。

此外，在图17示出的例子中，说明了在位于多个部分绘制区域94中的四个角的部分绘制区域94中，在各部分绘制区域94内的相同位置配置有匹配位置95的情况，但在与多个部分绘制区域94内的位置无关的两个以上部分绘制区域94中，在各部分绘制区域94内的相同位置配置有匹配位置95的情况下也发挥大致相同的效果。

即，在多个部分绘制区域94中的两个以上部分绘制区域94中，在各部分绘制区域94中的、匹配位置95相对于各部分绘制区域94的相对位置相同的情况下，数据生成部115生成与该两个以上部分绘制区域94中的一个部分绘制区域94的匹配位置95对应的一个模板97，由位置检测部113进行的该两个以上部分绘制区域94各自的匹配位置95中的图案匹配优选共用该一个模板97。由此，能够缩短生成模板97所需的时间。

另外，匹配位置决定部613在上述两个以上部分绘制区域94中的一个部分绘制区域94设定临时匹配位置95a，匹配位置决定部613基于该临时匹配位置95a决定该一个部分绘制区域94内的匹配位置95。然后，优选在该两个以上部分绘制区域94中的其他部分绘制区域94中，以使相对于该其他部分绘制区域94的相对位置与上述匹配位置95相对于一个部分绘制区域94的相对位置相同的方式，来决定其他部分绘制区域94中的匹配位置95。由此，能够缩短创建模板生成信息所需的时间。

在上述说明中，在数据处理装置6决定匹配位置95的过程中，到确认到在核对区域952a中不存在重复区域为止，反复进行步骤S22～S25，但也可以将步骤S22～S25的反复次数限制在规定的上限次数以下。在该情况下，若步骤S22～S25达到上限次数也没决定匹配位置95，则例如在显示器607(参照图10)显示这种情况，通知给设计者。设计者当确认到基板9上的匹配位置95的缺失位置(即，没有决定匹配位置95的位置)并判断该缺失位置对于对准处理的影响很小时，在缺失该匹配位置95的状态下使数据处理装置6继续创建模板生成信息。在该情况下，绘制装置1不进行该缺失位置的图案匹配。

另一方面，设计者当判断为该缺失位置对对准处理的影响很大时，将在该缺失位置附近的区域(例如，与该缺失位置相距5mm²的范围)中适当的位置决定为匹配位置95，并将该匹配位置95的座标包含在模板生成信息内。上述适当位置是指，在将该位置设为临时匹配位置95a的情况下，在核对区域952a中不存在表示与临时模板区域951a相同的图案的重复区域的位置。设计者通过目视等判断是否存在该重复区域。像这样，通过使模板生成信息还包括表示由设计者决定的其他匹配位置95的座标，能够防止基板9上的绘制区域的角部等、重要度高的位置处的模板97的缺失。其结果为，能够抑制基板9的位置检测的精度下降。

像上述这样，向基板照射光来绘制图案的绘制方法包括：保持在上表面90上事先设有第1图案的基板9的工序(步骤S11)；生成用于基板9的位置检测的模板97的工序(步骤S12)；拍摄第1图案的一部分的工序(步骤S13)；通过相对于在步骤S13中获取的摄像图像进行使用了模板97的图案匹配来检测基板9的位置的工序(步骤S14)；将在第1图案上绘制的第2图案的CAD数据即第2CAD数据栅格化而生成第2栅格数据的工序(步骤S15)；以及通过基于第2栅格数据以及在步骤S14中检测出的基板9的位置对绘制头41和扫描机构(在上述例子中，载台移动机构22)进行控制，来执行向相对于绘制头41在扫描方向上相对移动的基板9绘制第2图案的工序(步骤S16)，其中，绘制头41向基板9的上表面90照射调制后的光，扫描机构在与基板9的上表面90平行的扫描方向(在上述例子中，Y方向)上使基板9相对于绘制头41相对移动。

步骤S12包括：准备表示在第1图案上进行图案匹配的匹配位置95的座标的工序(步骤S121)；以及将第1图案的CAD数据栅格化来创建中间数据，从该中间数据生成与匹配位置95对应的规定大小的区域的图像数据来作为模板97的工序(步骤S122)。

步骤S121包括：在第1图案上设定临时匹配位置95a的工序(步骤S21)；设定与对应于临时匹配位置95a的模板97相同大小的临时模板区域951a，以临时模板区域951a为中心设定步骤S13中的比摄像视野大的核对区域952a，在核对区域952a中确认是否存在表示与临时模板区域951a相同的图案的重复区域，在存在该重复区域的情况下，反复使临时匹配位置95a向规定方向移动而再次设定临时模板区域951a以及核对区域952a，并确认是否存在重复区域，在不存在重复区域的情况下，决定临时匹配位置95a来作为匹配位置95的(步骤S22～S26)工序；创建包括表示在步骤S22～S26中决定的匹配位置95的座标在内的模板生成信息的工序(步骤S27)。由此，与上述同样地，能够容易且迅速地生成模板97，并且还能够降低生成模板所需的设计者的作业量。

在上述的例子中，在绘制装置1事先存储有模板生成信息的创建的程序609，在绘制装置1的计算机100事先存储有模板97的生成的程序109，但不限于此。例如，该程序109、609可以从后面导入(即，装配)已经使用的绘制系统5。在该情况下，通过使数据处理装置6执行该程序609，来执行如下的工序：在第1图案上设定临时匹配位置95a的工序(步骤S21)；设定与对应于临时匹配位置95a的模板97相同大小的临时模板区域951a，以临时模板区域951a为中心设定比摄像部3的摄像视野大的核对区域952a，确认在核对区域952a中是否存在表示与临时模板区域951a相同的图案的重复区域，在存在该重复区域的情况下，反复使临时匹配位置95a向规定方向移动而再次设定临时模板区域951a以及核对区域952a，并确认是否存在重复区域，在不存在重复区域的情况下，将临时匹配位置95a决定为匹配位置95的(步骤S22～S26)工序；创建包括表示在步骤S22～S26中决定的匹配位置95的座标在内的模板生成信息的工序(步骤S27)。

由此，与上述同样地，还能够降低生成模板所需的设计者的作业量。另外，由计算机100执行上述程序109，由此，数据生成部115将第1图案的CAD数据栅格化来创建中间数据，从该中间数据生成与匹配位置95对应的规定大小的区域(即，提取区域96)的图像数据，来作为模板97。由此，与上述同样地，能够容易且迅速地生成模板97。

在上述的绘制系统5、绘制方法、以及程序109以及程序609中，能够进行各种各样的变更。

例如，在上述例子中，说明了在基板9的上表面90设定有由栅格状的分割预定线93分别划分成近似矩形状的多个部分绘制区域94的情况，但如图18所示，可以在基板9的上表面90设定由区分线91划分成近似矩形的多个区画区域92，并且在各区画区域92内以相同配置设定呈矩阵状排列的多个部分绘制区域94。在该情况下，可以在利用与上述的S21～S26相同的动作相对于一个区画区域92决定了匹配位置之后，在其他区画区域92中以成为与匹配位置相对于该一个区画区域92的相对位置相同的位置的方式决定其他区画区域92中的匹配位置，并创建模板生成信息。由此，与针对全部区画区域92计算匹配位置的情况相比，能够缩短创建模板生成信息所需的时间。

另外，例如，在上述的例子中，说明了相对于基板9的一侧主面进行绘制，但也可以利用绘制装置1相对于基板9的双侧主面绘制图案。在该情况下，在相对于基板9的另一侧主面绘制时，也与上述同样地，在数据处理装置6中从事先形成在该另一个主面的图案的CAD数据，自动创建图案匹配所用的模板。

在上述步骤S24中，在核对区域952a中存在与临时模板区域951a重复的重复区域的情况下，步骤S25中的临时匹配位置95a的移动方向不限于X方向或者Y方向，可以进行各种各样的变更。例如，临时匹配位置95a也可以在X方向且Y方向上(即，倾斜地)移动。或者，也可以呈以最初设定的临时匹配位置95a为中心的螺旋状地移动临时匹配位置95a。

并非必须在上述基板9设定多个部分绘制区域94。另外，基板9并非必须是印刷基板。在绘制装置1中，例如，可以相对于半导体基板、液晶显示装置或有机EL显示装置等的平板显示装置用的玻璃基板、光罩用的玻璃基板、太阳能电池面板用的基板等进行绘制。

上述实施方式以及各变形例中的构成只要彼此不矛盾就可以进行适当组合。

详细地叙述并说明了本发明，但已经进行的说明仅为例示性的，并非限定。因此，只要不脱离本发明的范围就能够实现多种变形形态。

Claims (11)

1.一种绘制系统，其特征在于，具备：

对基板照射光来绘制图案的绘制装置；以及

创建模板生成信息并将其发送至所述绘制装置的数据处理装置，

所述绘制装置具备：

载台，其保持事先在上表面上设有第1图案的所述基板；

对所述基板的所述上表面照射调制后的光的绘制头；

在与所述基板的所述上表面平行的扫描方向上使所述载台相对于所述绘制头相对移动的扫描机构；

拍摄所述第1图案的一部分的摄像部；

位置检测部，其通过相对于由所述摄像部获取的摄像图像进行使用了模板的图案匹配来检测所述基板的位置；

存储部，其存储第2CAD数据，该第2CAD数据为在所述第1图案上绘制的第2图案的CAD数据；

将所述第2CAD数据栅格化来生成第2栅格数据的数据生成部；以及

绘制控制部，其通过基于所述第2栅格数据以及由所述位置检测部检测出的所述基板的位置来控制所述绘制头以及所述扫描机构，向相对于所述绘制头在所述扫描方向上相对移动的所述基板执行所述第2图案的绘制，

所述存储部还存储包括表示在所述第1图案上由所述位置检测部进行图案匹配的匹配位置的座标在内的所述模板生成信息，

所述数据生成部将所述第1图案的CAD数据栅格化来创建中间数据，从所述中间数据生成与所述匹配位置对应的规定大小的区域的图像数据来作为所述模板，

所述数据处理装置具备：

在所述第1图案上设定临时匹配位置的初始设定部；

匹配位置决定部，其设定与对应于所述临时匹配位置的所述模板相同大小的临时模板区域，以所述临时模板区域为中心设定比所述摄像部的摄像视野大的核对区域，确认在所述核对区域中是否存在表示与所述临时模板区域相同的图案的重复区域，在存在所述重复区域的情况下，反复使所述临时匹配位置向规定方向移动而再次设定所述临时模板区域以及所述核对区域，来确认是否存在所述重复区域，在不存在所述重叠区域的情况下，将所述临时匹配位置决定为所述匹配位置；以及

信息创建部，其创建包括表示由所述匹配位置决定部决定的所述匹配位置的座标在内的所述模板生成信息。

2.根据权利要求1所述的绘制系统，其特征在于，

在存在所述重复区域的情况下的由所述匹配位置决定部决定的所述临时匹配位置的移动方向为所述扫描方向。

3.根据权利要求1所述的绘制系统，其特征在于，

利用所述初始设定部设定有使多个临时匹配位置列在与所述扫描方向垂直的宽度方向上以等间隔排列的临时匹配位置组，将所述多个临时匹配位置列的所述宽度方向上的间隔设在规定值以下，所述多个临时匹配位置列分别为在所述扫描方向上排列的临时匹配位置的集合。

4.根据权利要求1所述的绘制系统，其特征在于，

利用所述初始设定部设定有使多个临时匹配位置列在与所述扫描方向垂直的宽度方向上以等间隔排列的临时匹配位置组，将所述多个临时匹配位置列的数量设为规定数量，所述多个临时匹配位置列分别为在所述扫描方向上排列的临时匹配位置的集合。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的绘制系统，其特征在于，

在所述基板的所述上表面设定有多个部分绘制区域，该多个部分绘制区域在所述扫描方向以及与所述扫描方向垂直的宽度方向上呈矩阵状排列并且在每个部分绘制区域中绘制有相同的图案，

所述初始设定部在所述多个部分绘制区域中的一个部分绘制区域设定临时匹配位置，

所述匹配位置决定部基于所述临时匹配位置决定所述一个部分绘制区域内中的匹配位置，在所述多个部分绘制区域中的其他部分绘制区域中，以使相对于所述其他部分绘制区域的相对位置成为与所述匹配位置相对于所述一个部分绘制区域的相对位置相同的方式决定其他部分绘制区域中的匹配位置。

6.根据权利要求1～4中任一项所述的绘制系统，其特征在于，

在所述基板的所述上表面设定有在所述扫描方向以及与所述扫描方向垂直的宽度方向上呈矩阵状排列的多个部分绘制区域，

在所述多个部分绘制区域中的所述扫描方向上的最靠一侧且所述宽度方向上的最靠一侧的部分绘制区域中，所述临时匹配位置与所述扫描方向上的所述一侧且所述宽度方向上的所述一侧的角部相邻配置，

在所述多个部分绘制区域中的所述扫描方向上的最靠所述一侧且所述宽度方向上的最靠另一侧的部分绘制区域中，所述临时匹配位置与所述扫描方向上的所述一侧且所述宽度方向上的所述另一侧的角部相邻配置，

在所述多个部分绘制区域中的所述扫描方向上的最靠另一侧且所述宽度方向上的最靠所述一侧的部分绘制区域中，所述临时匹配位置与所述扫描方向上的所述另一侧且所述宽度方向上的所述一侧的角部相邻配置，

在所述多个部分绘制区域中的所述扫描方向上的最靠所述另一侧且所述宽度方向上的最靠所述另一侧的部分绘制区域中，所述临时匹配位置与所述扫描方向上的所述另一侧且所述宽度方向上的所述另一侧的角部相邻配置。

7.根据权利要求1～4中任一项所述的绘制系统，其特征在于，

所述数据处理装置对部分数据进行剪辑并发送至所述绘制装置，所述部分数据为与所述第1图案中的包括所述匹配位置在内的规定区域对应的CAD数据，

所述绘制装置的所述数据生成部仅将所述部分数据栅格化来创建所述中间数据。

8.根据权利要求7所述的绘制系统，其特征在于，

在所述基板的所述上表面设定有在所述扫描方向以及与所述扫描方向垂直的宽度方向上呈矩阵状排列的多个部分绘制区域，

所述部分数据与包括所述匹配位置在内的部分绘制区域对应。

9.根据权利要求1～4中任一项所述的绘制系统，其特征在于，

所述模板生成信息还包括表示通过设计者决定的其他匹配位置的座标。

10.一种绘制方法，对基板照射光来绘制图案，所述绘制方法的特征在于，包括：

a)工序，保持事先在上表面上设有第1图案的基板；

b)工序，生成所述基板的位置检测使用的模板；

c)工序，拍摄所述第1图案的一部分；

d)工序，通过相对于在所述c)工序中获取的摄像图像进行使用了所述模板的图案匹配来检测所述基板的位置；

e)工序，将第2CAD数据栅格化而生成第2栅格数据，所述第2CAD数据为在所述第1图案上绘制的第2图案的CAD数据；以及

f)工序，通过基于所述第2栅格数据以及在所述d)工序中检测出的所述基板的位置对绘制头以及扫描机构进行控制，而向相对于所述绘制头在扫描方向上相对移动的所述基板执行所述第2图案的绘制，其中，所述绘制头对所述基板的所述上表面照射调制后的光，所述扫描装置在与所述基板的所述上表面平行的所述扫描方向上使所述基板相对于所述绘制头相对移动，

所述b)工序具备：

b1)工序，准备包含表示在所述第1图案上进行所述图案匹配的匹配位置的座标在内的模板生成信息；以及

b2)工序，将所述第1图案的CAD数据栅格化来创建中间数据，从所述中间数据生成与所述匹配位置对应的规定大小的区域的图像数据来作为所述模板，

所述b1)工序具备：

b3)工序，在所述第1图案上设定临时匹配位置；

b4)工序，设定与对应于所述临时匹配位置的所述模板相同大小的临时模板区域，以所述临时模板区域为中心设定比所述c)工序中的摄像视野大的核对区域，确认在所述核对区域中是否存在表示与所述临时模板区域相同的图案的重复区域，在存在所述重复区域的情况下，反复使所述临时匹配位置向规定方向移动而再次设定所述临时模板区域以及所述核对区域，来确认是否存在所述重复区域，在不存在所述重叠区域的情况下，将所述临时匹配位置决定为所述匹配位置；以及

b5)工序，创建包括表示在所述b4)工序中决定的所述匹配位置的座标在内的所述模板生成信息。

11.一种记录有程序的存储介质，所述程序在对基板照射光来绘制图案的绘制系统中执行，所述存储介质的特征在于，

所述绘制系统具备：

对基板照射光来绘制图案的绘制装置；以及

创建模板生成信息并将其发送至所述绘制装置的数据处理装置，

所述绘制装置具备：

载台，其保持事先在上表面上设有第1图案的基板；

对所述基板的所述上表面照射调制后的光的绘制头；

在与所述基板的所述上表面平行的扫描方向上使所述载台相对于所述绘制头相对移动的扫描机构；

拍摄所述第1图案的一部分的摄像部；

位置检测部，其通过相对于由所述摄像部获取的摄像图像进行使用了模板的图案匹配来检测所述基板的位置；

存储部，其存储第2CAD数据，所述第2CAD数据为在所述第1图案上绘制的第2图案的CAD数据；

将所述第2CAD数据栅格化来生成第2栅格数据的数据生成部；以及

绘制控制部，其通过基于所述第2栅格数据以及由所述位置检测部检测出的所述基板的位置来控制所述绘制头以及所述扫描机构，向相对于所述绘制头在所述扫描方向上相对移动的所述基板执行所述第2图案的绘制，

通过计算机执行所述程序，

在所述数据处理装置中执行如下的工序：

g)工序，在所述第1图案上设定临时匹配位置；

h)工序，设定与对应于所述临时匹配位置的所述模板相同大小的临时模板区域，以所述临时模板区域为中心设定比所述摄像部的摄像视野大的核对区域，确认在所述核对区域中是否存在表示与所述临时模板区域相同的图案的重复区域，在存在所述重复区域的情况下，反复使所述临时匹配位置向规定方向移动而再次设定所述临时模板区域以及所述核对区域，来确认是否存在所述重复区域，在不存在所述重叠区域的情况下，将所述临时匹配位置决定为所述匹配位置；

i)工序，创建包括表示在所述h)工序中决定的所述匹配位置的座标在内的所述模板生成信息，

在所述绘制装置的所述数据生成部中执行j)工序，在该j)工序中，将所述第1图案的CAD数据栅格化来创建中间数据，从所述中间数据生成与所述匹配位置对应的规定大小的区域的图像数据来作为所述模板。

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