CN115676266A - 一种晶圆检测用放料装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种晶圆检测用放料装置，包括：机架；料盒固定座；夹紧单元、限位组件，均用于对不同尺寸的晶圆放料盒的位置进行限位固定；感应单元，用于感应不同尺寸的晶圆放料盒以及其内晶圆的位置；旋转单元，用于使料盒固定座进行旋转从而让料盒固定座再使晶圆放料盒在放置工位和检测工位之间进行切换。当料盒固定座上的晶圆放料盒处于放置工位时，晶圆会受其倾斜角度以及惯性的作用，统一向晶圆放料盒的一端滑动，感应单元会感应晶圆放料盒以及其内晶圆的位置，从而保证了晶圆放料盒中的晶圆能够排列整齐。又因为夹紧单元和限位组件能够对不同尺寸的晶圆放料盒进行固定，所以提高了对不同尺寸的晶圆进行检测的便捷性。

Description

一种晶圆检测用放料装置

技术领域

本发明涉及晶圆生产加工技术领域，具体涉及一种晶圆检测用放料装置。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，是高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。之后，硅晶棒再经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。当晶圆在生产完成后，需要对晶圆的性能以及品质进行检测，从而判断生产出的晶圆是否合格。

在现有技术中，当需要对晶圆的性能以及品质进行检测时，工作人员需要手动将生产好的晶圆放入晶圆放料盒内，然后再将晶圆放料盒放入到晶圆检测用放料装置中，最后由晶圆检测装置中的机械手将晶圆放料盒取出，并将其放在检测位置上。但是，在手动将晶圆放入晶圆放料盒中时，由于晶圆放料盒一般是水平放置，所以手动放入晶圆可能会使晶圆受惯性的作用在晶圆放料盒内有一定的水平滑动。并且在将晶圆放料盒放置在晶圆检测用放料装置上时，由于晶圆放料盒自身出现位置移动以及放置姿势改变的情况下，可能会使晶圆放料盒中晶圆的位置发生改变，导致晶圆在晶圆放料盒内会出现排列不齐的情况出现。因为现有技术中，不能对晶圆放料盒内晶圆的位置进行确定，所以无法判断晶圆在晶圆放料盒中的情况。又因为，晶圆检测装置中的机械手只会按照晶圆排列对齐时的预定位置取用晶圆，所以导致排列不齐的晶圆在被取用时，会存在拿取晶圆不稳定以及晶圆容易掉落的问题。

而且，晶圆检测用放料装置不能对不同尺寸的晶圆放料盒进行定位固定，使得在对不同尺寸的晶圆进行检测时，需要对不同尺寸的晶圆放料盒进行不同的定位固定，从而增加了对不同尺寸的晶圆进行检测的步骤，从而使晶圆检测的过程繁琐，不够便捷，具有局限性。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而进行的，目的在于提供一种晶圆检测用放料装置。

本发明提供了一种晶圆检测用放料装置，用于对不同尺寸的晶圆放料盒进行定位固定，以及将晶圆放料盒内的晶圆排列整齐，晶圆放料盒至少具有两个侧壁和连接在侧壁上方的顶壁，两个侧壁的一端与顶壁的一端形成用于取放晶圆的侧向开口端，两个侧壁之间设有用于放置晶圆的放置台，两个侧壁的一端上均设有沿开口端的端面向两个侧壁的外侧延伸的凸出壁，具有这样的特征，包括：机架，至少具有一个可活动地后板；料盒固定座，设于机架内，用于放置不同尺寸的晶圆放料盒；夹紧单元，设于料盒固定座上，用于对不同尺寸的晶圆放料盒的位置进行限位固定；限位组件，设于料盒固定座上，用于配合夹紧单元对不同尺寸的晶圆放料盒进行限位固定；感应单元，用于感应不同尺寸的晶圆放料盒以及其内晶圆的位置；旋转单元，用于使料盒固定座进行旋转从而让料盒固定座再使晶圆放料盒处于开口端倾斜朝向机架内侧上方的放置工位以及使晶圆放料盒处于开口端水平朝向机架内侧的检测工位之间进行切换。

在本发明提供的晶圆检测用放料装置中，还能够具有这样的特征：旋转单元包括第一驱动件、两个第一连接件以及两个空气弹簧，两个第一连接件的一端分别连接于料盒固定座的两侧，另一端均与第一驱动件的输出端连接，第一驱动件设于机架内，并位于料盒固定座的下方，第一驱动件通过两个第一连接件驱动料盒固定座进行转动，两个空气弹簧的一端分别与两个第一连接件连接，另一端分别连接于后板的两侧。

在本发明提供的晶圆检测用放料装置中，还能够具有这样的特征：夹紧单元包括第一限位件、第二连接件、两个承托件、两个夹紧件以及第二驱动件，第一限位件呈板条状，第一限位件设于料盒固定座上，且位于开口端的前侧，第一限位件的长度等于或大于两个侧壁之间的尺寸，第二连接件设于料盒固定座的下方，第二连接件与第二驱动件的输出端连接，两个承托件均设于第二连接件上，承托件的上表面均与料盒固定座的上表面平齐，多个夹紧件分别平均设于两个承托件上，一承托件上的每个夹紧件均有另一承托件上的一夹紧件与之对应设置，相互对应的两个夹紧件分别与一晶圆放料盒的两个凸出壁对应设置，相互对应的两个夹紧件用于与第一限位件相配合从而分别对与之对应设置的两个凸出壁进行夹紧，

第二驱动件设于机架内，并位于料盒固定座的下方，第二驱动件通过第二连接件和承托件驱动多个夹紧件靠近或远离第一限位件。

在本发明提供的晶圆检测用放料装置中，还能够具有这样的特征：料盒固定座上开设有供两个承托件移动的开口。

在本发明提供的晶圆检测用放料装置中，还能够具有这样的特征：每个夹紧件均呈L型结构，具有横部和竖部，横部用于与第一限位件相配合从而夹紧对应的凸出壁，一夹紧件的竖部用于与相对应的另一夹紧件的竖部相配合从而夹紧对应晶圆放料盒的两个侧壁。

在本发明提供的晶圆检测用放料装置中，还能够具有这样的特征：每个晶圆放料盒的两个侧壁的一端上均分别设有锁销和锁孔，第一限位件朝向晶圆放料盒的外壁上设有用于多个凹槽和多个凸起，每个凹槽均会与一晶圆放料盒上的锁销卡合，每个凸起均会与一晶圆放料盒上的锁孔卡合，每个凹槽均有一个凸起与之对应设置。

在本发明提供的晶圆检测用放料装置中，还能够具有这样的特征：夹紧单元还包括两个滑杆和两个滑块，两个滑杆设于料盒固定座的下方，两个滑杆分别与两个承托件对应设置，两个滑块均设于第二连接件上，并分别与两个滑杆滑动连接。

在本发明提供的晶圆检测用放料装置中，还能够具有这样的特征：限位组件包括多个呈两两对应的第二限位件，相对应的两个第二限位件之间的距离等于一晶圆放料盒的两个侧壁之间的距离。

在本发明提供的晶圆检测用放料装置中，还能够具有这样的特征：料盒固定座具有用于放置不同尺寸晶圆放料盒的底板，底板在晶圆放料盒处于检测工位时与地面平行。

在本发明提供的晶圆检测用放料装置中，还能够具有这样的特征：感应单元包括多个用于检测晶圆放料盒是否处于水平状态的第一传感器、用于检测晶圆放料盒中晶圆是否对齐的第二传感器以及多个用于检测晶圆放料盒尺寸的第三传感器。

发明的作用与效果

根据本发明所涉及的晶圆检测用放料装置，因为料盒固定座能够放置不同尺寸的晶圆放料盒，且旋转组件能够使料盒固定座进行转动，使得料盒固定座上的晶圆放料盒能够处于开口端倾斜朝向机架内侧上方的放置工位或开口端水平朝向机架内侧的检测工位，所以当工作人员将晶圆放料盒放到料盒固定座上并使晶圆放料盒处于放置工位，此时，晶圆放料盒中的晶圆会受其倾斜角度和惯性的作用，统一向相对于晶圆放料盒开口端的一端滑动。同时，感应单元会感应晶圆放料盒以及其内晶圆的位置，从而判断晶圆放料盒是否处于水平状态，并判断晶圆是否排列整齐，保证了晶圆放料盒中的晶圆能够排列整齐，从而能够解决晶圆在晶圆放料盒内出现排列不齐的问题。然后，旋转组件再使料盒固定座进行转动，使晶圆放料盒处于检测工位，因为晶圆放料盒内的晶圆已排列整齐，所以晶圆检测装置中的机械手在取用晶圆放料盒时，不会出现拿取晶圆不稳定以及晶圆容易掉落的问题，从而保证了晶圆检测装置中的机械手取用晶圆时的稳定性。

并且，又因为料盒固定座上的夹紧单元和限位组件能够对不同尺寸的晶圆放料盒进行固定，所以旋转组件使料盒固定座进行转动时，晶圆放料盒不会发生移动，以及无需对不同尺寸的晶圆放料盒进行不同的定位固定，从而保证了本发明多尺寸晶圆料盒固定机构工作时的稳定性以及提高了对不同尺寸晶圆进行检测时的便捷性。

附图说明

图1是本发明实施例中晶圆检测用放料装置的结构示意图；

图2是本发明实施例中晶圆检测用放料装置另一视角下的结构示意图；

图3是本发明实施例中晶圆检测用放料装置的内部结构示意图；

图4是本发明实施例中晶圆检测用放料装置另一视角下的内部结构示意图；

图5是本发明实施例中晶圆放料盒的结构示意图；

图6是本发明实施例中晶圆放料盒另一视角下的结构示意图；

图7是本发明实施例中晶圆检测用放料装置中夹紧单元的结构示意图；

图8是本发明实施例中晶圆检测用放料装置中夹紧单元另一视角下的结构示意图；

图9是图7中的A处放大图；

图10是图8中的B处放大图；

图11是本发明实施例中晶圆放料盒放置于晶圆检测用放料装置上并处于放置工位的示意图；

图12是本发明实施例中晶圆放料盒放置于晶圆检测用放料装置上并处于检测工位的示意图。

100、晶圆检测用放料装置；10、晶圆放料盒；11、侧壁；12、顶壁；13、底壁；14、凸出壁；15、放置台；16、锁销；17、锁孔；18、通孔；20、机架；21、后板；22、前板；23、侧板；24、顶板；25、基板；30、料盒固定座；31、底板；32、开口；40、旋转组件；41、第一连接件；42、第一驱动件；43、空气弹簧；50、夹紧单元；51、第一限位件；511、凸起；512、凹槽；52、第二连接件；53、承托件；54、夹紧件；55、第二驱动件；56、滑杆；57、滑块；60、限位组件；61、第二限位件；70、感应单元；71、第一传感器；72、第二传感器；73、第三传感器。

具体实施方式

为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，以下实施例结合附图对本发明作具体阐述。

实施例

图1是本发明晶圆检测用放料装置的结构示意图，图2是本发明晶圆检测用放料装置另一视角下的结构示意图，图3是本发明晶圆检测用放料装置的内部结构示意图，图4是本发明晶圆检测用放料装置另一视角下的内部结构示意图，图5是本发明实施例中晶圆放料盒的结构示意图，图6是本发明实施例中晶圆放料盒另一视角下的结构示意图。

如图1至图6所示，本实施例提供了一种晶圆检测用放料装置100，用于对不同尺寸的晶圆放料盒10进行定位固定，以及将晶圆放料盒10内的晶圆排列整齐，晶圆放料盒10至少具有两个侧壁11和连接在侧壁11上方的顶壁12，两个侧壁11的一端与顶壁12的一端形成用于取放晶圆的侧向开口32端，两个侧壁11之间设有用于放置晶圆的放置台15，两个侧壁11的一端上均设有沿开口32端的端面向两个侧壁11的外侧延伸的凸出壁14，包括机架20、料盒固定座30、旋转组件40、夹紧单元50、限位组件60以及晶圆放料盒10。在本实施例中，晶圆放料盒10还包括连接在两个侧板23下方的下板，其中，晶圆放料盒10的尺寸优选为4寸、5寸、6寸以及8寸。

如图1和图2所示，机架20至少具有一个可活动地后板21。在本实施例中，机架20还具有两个侧板23、连接在两个侧板23上方的顶板24、连接在两个侧板23下方的基板25以及与后板21相对设置的前板22。其中，前板22上开设有供晶圆检测装置中的机械手拿取机架20内晶圆放料盒10中晶圆的矩形口。

如图3和图4所示，料盒固定座30设于机架20内，用于放置不同尺寸的晶圆放料盒10。在本实施例中，料盒固定座30上开设有供夹紧单元50中部分零件移动的开口32，料盒固定座30具有用于放置不同尺寸晶圆放料盒10的底板31。

如图3和图4所示，旋转单元用于使料盒固定座30进行旋转从而让料盒固定座30再使晶圆放料盒10处于开口32端倾斜朝向机架20内侧上方的放置工位以及使晶圆放料盒10处于开口32端水平朝向机架20内侧的检测工位之间进行切换。在本实施例中，旋转单元包括第一驱动件42、两个第一连接件41以及两个空气弹簧43，两个第一连接件41的一端分别连接于料盒固定座30的两侧，另一端均与第一驱动件42的输出端连接，第一驱动件42设于机架20内，并位于料盒固定座30的下方，第一驱动件42通过两个第一连接件41驱动料盒固定座30进行转动，两个空气弹簧43的一端分别与两个第一连接件41连接，另一端分别连接于后板21的两侧。其中，第一驱动件42优选为双头双输出电机。

工作时，因为第一驱动件42为双头双输出电机，所以第一驱动件42能够驱动两个第一连接件41进行同步转动。且因为，两个第一连接件41的一端分别连接在料盒固定座30的两侧，所以两个第一连接件41能够同步带动料盒固定座30进行转动。同时，使料盒固定座30在转动过程中不会发生倾斜，从而保证了料盒固定座30转动时的稳定性。又因为，两个空气弹簧43分别与两个第一连接件41连接，并分别连接在后板21的两侧，所以两个第一连接件41进行转动时，能够通过两个空气弹簧43带动后板21进行转动，从而使后板21不会影响料盒固定座30的转动。并且，当料盒固定座30上的晶圆放料盒10由放置工位向检测工位进行切换时，后板21能够通过两个空气弹簧43对两个第一连接件41施加压力，从而保证晶圆放料盒10的开口32端水平朝向机架20内侧，进而进一步地提高了料盒固定座30转动时的稳定性。

图7是本发明晶圆检测用放料装置中夹紧单元的结构示意图，图8是本发明晶圆检测用放料装置中夹紧单元另一视角下的结构示意图，图9是图7中的A处放大图，图10是图8中的B处放大图。

如图7至图10所示，夹紧单元50设于料盒固定座30上，用于对不同尺寸的晶圆放料盒10的位置进行限位固定。在本实施例中，夹紧单元50包括第一限位件51、第二连接件52、两个承托件53、两个夹紧件54以及第二驱动件55，第一限位件51呈板条状，第一限位件51设于料盒固定座30上，且位于开口32端的前侧，第一限位件51的长度等于或大于两个侧壁11之间的尺寸，第二连接件52设于料盒固定座30的下方，第二连接件52与第二驱动件55的输出端连接，两个承托件53均设于第二连接件52上，承托件53的上表面均与料盒固定座30的上表面平齐，多个夹紧件54分别平均设于两个承托件53上，一承托件53上的每个夹紧件54均有另一承托件53上的一夹紧件54与之对应设置，相互对应的两个夹紧件54分别与一晶圆放料盒10的两个凸出壁14对应设置，相互对应的两个夹紧件54用于与第一限位件51相配合从而分别对与之对应设置的两个凸出壁14进行夹紧，第二驱动件55设于机架20内，并位于料盒固定座30的下方，第二驱动件55通过第二连接件52和承托件53驱动多个夹紧件54靠近或远离第一限位件51。其中，第二驱动件55优选为电动推缸，两个承托件53分别位于料盒固定座30上的两个开口32中。

工作时，工作人员将晶圆放料盒10放置在料盒固定座30的底板31上，然后第二驱动件55驱动第二连接件52移动，使第二连接件52带动其上的两个承托件53进行移动，并使两个承托件53上的多个夹紧件54靠近第一限位件51。又因为第一限位件51位于每个晶圆放料盒10开口32端的前侧，且第一限位件51的长度等于或大于最大尺寸晶圆放料盒10的两个侧壁11之间的尺寸。且夹紧单元50包括多个夹紧件54，多个夹紧件54分别平均设置在两个承托件53上，以及一承托件53上的每个夹紧件54均有另一承托件53上的一夹紧件54与之对应设置，相互对应的两个夹紧件54分别与一个晶圆放料盒10的两个凸出壁14对应设置，所以相互对应的两个夹紧件54能够配合第一限位件51对相对应尺寸的晶圆放料盒10进行夹紧，从而能够对不同尺寸的晶圆放料盒10进行初步的定位固定，并能够保证晶圆放料盒10在放置工位和检测工位之间进行切换时，不会出现倾斜以及位置移动的问题，进而保证了晶圆放料盒10处于放置工位时，其内的晶圆会受倾斜角度以及惯性的作用，统一向相对于晶圆放料盒10开口32端的一端滑动，使得晶圆能够排列整齐。并且，还保证了本发明晶圆检测用放料装置100工作时的稳定性以及提高了对不同尺寸晶圆进行检测时的便捷性。

在本实施例中，夹紧件54均呈L型结构，具有横部和竖部，横部用于与第一限位件51相配合从而夹紧对应的凸出壁14，一夹紧件54的竖部用于与相对应的另一夹紧件54的竖部相配合从而夹紧对应晶圆放料盒10的两个侧壁11。其中，每个晶圆放料盒10的两个侧壁11的外壁面且靠近第一限位件51和及底板31的位置上均设有通孔18。工作时，因为夹紧件54的横部能够与第一限位件51相配合从而夹紧对应尺寸晶圆放料盒10的凸出壁14，以及分别位于两个承托件53上对应设置的两个夹紧件54的竖部能够相互配合，从而夹紧对应尺寸晶圆放料盒10的两个侧壁11。或是相对应的两个夹紧件54的竖部能够分别与相对应尺寸晶圆放料盒10的两个侧壁11上的通孔18卡合，从而实现对相对应尺寸的晶圆放料盒10进行固定的目的，所以对应设置的两个夹紧件54与第一限位件51相配合，能够加强对相对应尺寸的晶圆放料盒10进行定位固定，从而提高了晶圆放料盒10转动时的稳定性，进而增强了对晶圆放料盒10内的晶圆的保护。

在本实施例中，每个晶圆放料盒10的两个侧壁11的一端上均分别设有锁销16和锁孔17，第一限位件51朝向晶圆放料盒10的外壁上设有用于多个凹槽512和多个凸起511，每个凹槽512均会与一晶圆放料盒10上的锁销16卡合，每个凸起511均会与一晶圆放料盒10上的锁孔17卡合，每个凹槽512均有一个凸起511与之对应设置。其中，第一限位件51上用于与锁销16卡合的凹槽512，也可设置成孔的形式。工作时，第一限位件51上相对应设置的凹槽512和凸起511能够与相对应尺寸晶圆放料盒10上的锁销16和锁孔17卡合，所以进一步增强对相对应尺寸的晶圆放料盒10的定位固定。又因为第一限位件51上设有多个凹槽512和多个凸起511，所以能够对不同尺寸的晶圆放料盒10进行初步的定位固定。

在本实施例中，夹紧单元50还包括两个滑杆56和两个滑块57，两个滑杆56设于料盒固定座30的下方，两个滑杆56分别与两个承托件53对应设置，两个滑块57均设于第二连接件52上，并分别与两个滑杆56滑动连接。其中，两个滑杆56分别贯穿两个承托件53。当第二驱动件55驱动第二连接件52进行移动时，第二连接件52上的滑块57也会在对应的滑杆56上进行滑动，从而能够减小第二驱动件55的驱动力，并提高第二连接件52的移动效果，进而能够提高第二连接件52移动过程中的稳定性，并保证夹紧件54配合第一限位件51对晶圆放料盒10的夹紧效果。

如图8和图9所示，限位组件60设于料盒固定座30上，用于配合夹紧单元50对不同尺寸的晶圆放料盒10进行限位固定。在本实施例中，限位组件60包括多个呈两两对应的第二限位件61，相对应的两个第二限位件61之间的距离等于一晶圆放料盒10的两个侧壁11之间的距离。其中，第二限位件61能够为L型结构或块状结构。工作时，因为相对应设置的两个第二限位件61之间的距离等于相对应尺寸晶圆放料盒10的两个侧壁11之间的距离，所以相对应设置的两个第二限位件61能够防止对应尺寸的晶圆放料盒10处于放置工位时，发生左右移动，从而更进一步的提高了对该晶圆放料盒10的定位固定，进而保证了本发明晶圆检测用放料装置100工作时的稳定性。又因为限位组件60包括多个呈两两对应的第二限位件61，所以限位组件60能够配合夹紧单元50对不同尺寸的晶圆放料盒10进行定位固定。

如图8和图9所示，感应单元70设于料盒固定座30上，用于感应不同尺寸的晶圆放料盒10以及其内晶圆的位置。在本实施例中，感应单元70包括多个用于检测晶圆放料盒10是否处于水平状态的第一传感器71、用于检测晶圆放料盒10中晶圆是否对齐的第二传感器72以及多个用于检测晶圆放料盒10尺寸的第三传感器73。其中，多个第一传感器71均设于料盒固定座30的底板31的上表面，第二传感器72设于底板31的下表面，但底板31与晶元放料盒与第二传感器72对应的位置均开设有供第二传感器72检测晶圆是否排列整齐的圆孔，第三传感器73设于底板31的上方且位于底板31的两侧。工作时，因为第一传感器71能够判断晶圆放料盒10是否处于水平状态，第二传感器72能够判断晶圆放料盒10内的晶圆是否排列整齐，以及第三传感器73能够判断晶圆放料盒10的尺寸，从而保证了晶圆放料盒10中的晶圆能够排列整齐，进而能够解决晶圆在晶圆放料盒10内出现排列不齐的问题。

图11是本发明实施例中晶圆放料盒放置于晶圆检测用放料装置上并处于放置工位的示意图，图12是本发明实施例中晶圆放料盒放置于晶圆检测用放料装置上并处于检测工位的示意图。

如图1至图12所示，当本发明晶圆检测用放料装置100进行工作时，工作人员需要预先将不同尺寸的晶圆放置到相对应尺寸的晶圆放料盒10中。并预先通过第一驱动件42驱动两个第一连接件41使料盒固定座30进行转动，同时，两个第一连接件41通过两个空气弹簧43使机架20的后板21转动。然后，工作人员将装好晶圆的晶圆放料盒10放置到料盒固定座30上，此时，晶圆放料盒10处于放置状态，导致晶圆放料盒10内的晶圆会受其倾斜角度和惯性的作用，统一向相对于晶圆放料盒10开口32端的一端滑动，从而使晶圆放料盒10内的晶圆排列整齐。接着，工作人员将该晶圆放料盒10上的锁销16和锁孔17分别与第一限位件51上相对应设置的凹槽512和凸起511卡合。紧接着，工作人员再通过第二驱动件55驱动第二连接件52移动，使两个承托件53在相对应的开口32中进行移动，并使两个承托件53上的多个夹紧件54向第一限位件51移动，从而使相对应设置的两个夹紧件54的横部能够配合第一限位件51分别对该晶圆放料盒10的两个凸出壁14进行夹紧，并使相对应设置的两个夹紧件54的竖部能够相互配合对该晶圆放料盒10的两个侧壁11进行夹紧。同时，限位组件60中的两个相对应设置的第二限位件61也对该晶圆放料盒10的两个侧壁11进行夹紧。然后，工作人员再通过第一驱动件42驱动两个第一连接件41使料盒固定座30进行旋转，此时，后板21能够通过两个空气弹簧43对两个第一连接件41施加压力，从而能够压平料盒固定座30，进而保证该晶圆放料盒10处于开口32端水平朝向晶圆检测用放料装置100的内侧的检测工位。同时，第一传感器71会检测该晶圆传感器是否处于水平状态，第二传感器72会检测该晶圆传感器内的晶圆是否会排列整齐，从而保证该晶圆放料盒10中的晶圆能够排列整齐。最后，晶圆检测装置中的机械手穿过机架20前板22上的矩形孔拿取该晶圆放料盒10中的晶圆，并输送至晶圆检测装置中。

实施例的作用与效果

根据本实施例所涉及的晶圆检测用放料装置，因为料盒固定座能够放置不同尺寸的晶圆放料盒，且旋转组件能够使料盒固定座进行转动，使得料盒固定座上的晶圆放料盒能够处于开口端倾斜朝向机架内侧上方的放置工位或开口端水平朝向机架内侧的检测工位，所以当工作人员将晶圆放料盒放到料盒固定座上并使晶圆放料盒处于放置工位，此时，晶圆放料盒中的晶圆会受其倾斜角度和惯性的作用，统一向相对于晶圆放料盒开口端的一端滑动。同时，感应单元会感应晶圆放料盒以及其内晶圆的位置，从而判断晶圆放料盒是否处于水平状态，并判断晶圆是否排列整齐，保证了晶圆放料盒中的晶圆能够排列整齐，从而能够解决晶圆在晶圆放料盒内出现排列不齐的问题。然后，旋转组件再使料盒固定座进行转动，使晶圆放料盒处于检测工位，因为晶圆放料盒内的晶圆已排列整齐，所以晶圆检测装置中的机械手在取用晶圆放料盒时，不会出现拿取晶圆不稳定以及晶圆容易掉落的问题，从而保证了晶圆检测装置中的机械手取用晶圆时的稳定性。

并且，又因为料盒固定座上的夹紧单元和限位组件能够对不同尺寸的晶圆放料盒进行固定，所以旋转组件使料盒固定座进行转动时，晶圆放料盒不会发生移动，以及无需对不同尺寸的晶圆放料盒进行不同的定位固定，从而保证了本发明多尺寸晶圆料盒固定机构工作时的稳定性以及提高了对不同尺寸晶圆进行检测时的便捷性。

进一步地，因为本晶圆检测用放料装置中第一驱动件为双头双输出电机，所以第一驱动件能够驱动两个第一连接件进行同步转动。且因为，两个第一连接件的一端分别连接在料盒固定座的两侧，所以两个第一连接件能够同步带动料盒固定座进行转动。同时，使料盒固定座在转动过程中不会发生倾斜，从而保证了料盒固定座转动时的稳定性。

进一步地，因为本晶圆检测用放料装置中两个空气弹簧分别与两个第一连接件连接，并分别连接在后板的两侧，所以两个第一连接件进行转动时，能够通过两个空气弹簧带动后板进行转动，从而使后板不会影响料盒固定座的转动。并且，当料盒固定座上的晶圆放料盒由放置工位向检测工位进行切换时，后板能够通过两个空气弹簧对两个第一连接件施加压力，从而保证晶圆放料盒的开口端水平朝向机架内侧，进而进一步地提高了料盒固定座转动时的稳定性。

进一步地，因为本晶圆检测用放料装置中第一限位件位于每个晶圆放料盒开口端的前侧，且第一限位件的长度等于或大于最大尺寸晶圆放料盒的两个侧壁之间的尺寸。且夹紧单元包括多个夹紧件，多个夹紧件分别平均设置在两个承托件上，以及一承托件上的每个夹紧件均有另一承托件上的一夹紧件与之对应设置，相互对应的两个夹紧件分别与一个晶圆放料盒的两个凸出壁对应设置，所以相互对应的两个夹紧件能够配合第一限位件对相对应尺寸的晶圆放料盒进行夹紧，从而能够对不同尺寸的晶圆放料盒进行初步的定位固定，并能够保证晶圆放料盒在放置工位和检测工位之间进行切换时，不会出现倾斜以及位置移动的问题，进而保证了晶圆放料盒处于放置工位时，其内的晶圆会受倾斜角度以及惯性的作用，统一向相对于晶圆放料盒开口端的一端滑动，使得晶圆能够排列整齐。并且，还保证了本发明晶圆检测用放料装置工作时的稳定性以及提高了对不同尺寸晶圆进行检测时的便捷性。

进一步地，因为本晶圆检测用放料装置中夹紧件的横部能够与第一限位件相配合从而夹紧对应尺寸晶圆放料盒的凸出壁，以及分别位于两个承托件上对应设置的两个夹紧件的竖部能够相互配合，从而夹紧对应尺寸晶圆放料盒的两个侧壁。或是相对应的两个夹紧件的竖部能够分别与相对应尺寸晶圆放料盒的两个侧壁上的通孔卡合，从而实现对相对应尺寸的晶圆放料盒进行固定的目的，所以对应设置的两个夹紧件与第一限位件相配合，能够加强对相对应尺寸的晶圆放料盒进行定位固定，从而提高了晶圆放料盒转动时的稳定性，进而增强了对晶圆放料盒内的晶圆的保护。

进一步地，因为本晶圆检测用放料装置中第一限位件上相对应设置的凹槽和凸起能够与相对应尺寸晶圆放料盒上的锁销和锁孔卡合，所以进一步增强对相对应尺寸的晶圆放料盒的定位固定。又因为第一限位件上设有多个凹槽和多个凸起，所以能够对不同尺寸的晶圆放料盒进行初步的定位固定。

进一步地，因为本晶圆检测用放料装置中第二驱动件驱动第二连接件进行移动时，第二连接件上的滑块也会在对应的滑杆上进行滑动，从而能够减小第二驱动件的驱动力，并提高第二连接件的移动效果，进而能够提高第二连接件移动过程中的稳定性，并保证夹紧件配合第一限位件对晶圆放料盒的夹紧效果。

进一步地，因为本晶圆检测用放料装置中因为相对应设置的两个第二限位件之间的距离等于相对应尺寸晶圆放料盒的两个侧壁之间的距离，所以相对应设置的两个第二限位件能够防止对应尺寸的晶圆放料盒处于放置工位时，发生左右移动，从而更进一步的提高了对该晶圆放料盒的定位固定，进而保证了本发明晶圆检测用放料装置工作时的稳定性。又因为限位组件包括多个呈两两对应的第二限位件，所以限位组件能够配合夹紧单元对不同尺寸的晶圆放料盒进行定位固定。

进一步地，因为本晶圆检测用放料装置中因为第一传感器能够判断晶圆放料盒是否处于水平状态，第二传感器能够判断晶圆放料盒内的晶圆是否排列整齐，以及第三传感器能够判断晶圆放料盒的尺寸，从而保证了晶圆放料盒中的晶圆能够排列整齐，进而能够解决晶圆在晶圆放料盒内出现排列不齐的问题。

上述实施方式为本发明的优选案例，并不用来限制本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种晶圆检测用放料装置，用于对不同尺寸的晶圆放料盒进行定位固定，以及将所述晶圆放料盒内的晶圆排列整齐，所述晶圆放料盒至少具有两个侧壁和连接在所述侧壁上方的顶壁，两个所述侧壁的一端与所述顶壁的一端形成用于取放晶圆的侧向开口端，两个所述侧壁之间设有用于放置晶圆的放置台，两个所述侧壁的一端上均设有沿所述开口端的端面向两个所述侧壁的外侧延伸的凸出壁，其特征在于，包括：

机架，至少具有一个可活动地后板；

料盒固定座，设于所述机架内，用于放置不同尺寸的所述晶圆放料盒；

夹紧单元，设于所述料盒固定座上，用于对不同尺寸的所述晶圆放料盒的位置进行限位固定；

限位组件，设于所述料盒固定座上，用于配合所述夹紧单元对不同尺寸的所述晶圆放料盒进行限位固定；

感应单元，用于感应不同尺寸的所述晶圆放料盒以及其内晶圆的位置；

旋转单元，用于使所述料盒固定座进行旋转从而让所述料盒固定座再使所述晶圆放料盒处于所述开口端倾斜朝向所述机架内侧上方的放置工位以及使所述晶圆放料盒处于所述开口端水平朝向所述机架内侧的检测工位之间进行切换。

2.根据权利要求1所述的晶圆检测用放料装置，其特征在于：

其中，所述旋转单元包括第一驱动件、两个第一连接件以及两个空气弹簧，

两个所述第一连接件的一端分别连接于所述料盒固定座的两侧，另一端均与所述第一驱动件的输出端连接，

所述第一驱动件设于所述机架内，并位于所述料盒固定座的下方，所述第一驱动件通过两个所述第一连接件驱动所述料盒固定座进行转动，

两个所述空气弹簧的一端分别与两个所述第一连接件连接，另一端分别连接于所述后板的两侧。

3.根据权利要求1所述的晶圆检测用放料装置，其特征在于：

其中，所述夹紧单元包括第一限位件、第二连接件、两个承托件、两个夹紧件以及第二驱动件，

所述第一限位件呈板条状，所述第一限位件设于所述料盒固定座上，且位于所述开口端的前侧，所述第一限位件的长度等于或大于两个所述侧壁之间的尺寸，

所述第二连接件设于所述料盒固定座的下方，所述第二连接件与所述第二驱动件的输出端连接，

两个所述承托件均设于所述第二连接件上，所述承托件的上表面均与所述料盒固定座的上表面平齐，

多个所述夹紧件分别平均设于两个所述承托件上，一所述承托件上的每个所述夹紧件均有另一所述承托件上的一所述夹紧件与之对应设置，相互对应的两个所述夹紧件分别与一所述晶圆放料盒的两个凸出壁对应设置，相互对应的两个所述夹紧件用于与所述第一限位件相配合从而分别对与之对应设置的两个所述凸出壁进行夹紧，

所述第二驱动件设于所述机架内，并位于所述料盒固定座的下方，所述第二驱动件通过所述第二连接件和所述承托件驱动多个所述夹紧件靠近或远离所述第一限位件。

4.根据权利要求3所述的晶圆检测用放料装置，其特征在于：

其中，所述料盒固定座上开设有供两个所述承托件移动的开口。

5.根据权利要求3所述的晶圆检测用放料装置，其特征在于：

其中，每个所述夹紧件均呈L型结构，具有横部和竖部，所述横部用于与所述第一限位件相配合从而夹紧对应的所述凸出壁，一所述夹紧件的所述竖部用于与相对应的另一所述夹紧件的所述竖部相配合从而夹紧对应所述晶圆放料盒的两个侧壁。

6.根据权利要求3所述的晶圆检测用放料装置，其特征在于：

其中，每个所述晶圆放料盒的两个侧壁的一端上均分别设有锁销和锁孔，

所述第一限位件朝向所述晶圆放料盒的外壁上设有用于多个凹槽和多个凸起，每个所述凹槽均会与一所述晶圆放料盒上的所述锁销卡合，每个所述凸起均会与一所述晶圆放料盒上的所述锁孔卡合，每个所述凹槽均有一个所述凸起与之对应设置。

7.根据权利要求1所述的晶圆检测用放料装置，其特征在于：

其中，夹紧单元还包括两个滑杆和两个滑块，

两个所述滑杆设于所述料盒固定座的下方，两个所述滑杆分别与两个所述承托件对应设置，

两个所述滑块均设于所述第二连接件上，并分别与两个所述滑杆滑动连接。

8.根据权利要求1所述的晶圆检测用放料装置，其特征在于：

其中，所述限位组件包括多个呈两两对应的第二限位件，相对应的两个所述第二限位件之间的距离等于一所述晶圆放料盒的两个侧壁之间的距离。

9.根据权利要求1所述的晶圆检测用放料装置，其特征在于：

其中，所述料盒固定座具有用于放置不同尺寸所述晶圆放料盒的底板，所述底板在所述晶圆放料盒处于检测工位时与地面平行。

10.根据权利要求1所述的晶圆检测用放料装置，其特征在于：

其中，所述感应单元包括多个用于检测所述晶圆放料盒是否处于水平状态的第一传感器、用于检测所述晶圆放料盒中晶圆是否对齐的第二传感器以及多个用于检测所述晶圆放料盒尺寸的第三传感器。

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