CN115621172A - 预治式晶圆载盘的卸载装置及其方法 - Google Patents

Abstract

本发明是一种预治式晶圆载盘的卸载装置及其方法，是在一第一位移机构周侧设有晶圆环卸载机构、晶圆卸载机构、遮盖卸载机构、载盘及机械臂；第一位移机构具有第一座体，载盘上设有复数经由夹具固定的组合件，各组合件分别由晶圆环、晶圆、遮盖依序叠置而成，机械臂的活动端上设有影像攫取组件及装卸机构；机械臂校正装卸机构，以正确对应于载盘上的待卸载的组合件，装卸机构先解锁夹具，再将该待卸载的组合件由载盘移置于第一座体上，然后由遮盖卸载机构、晶圆卸载机构、晶圆环卸载机构依序拆卸回收遮盖、晶圆、晶圆环。

Description

预治式晶圆载盘的卸载装置及其方法

技术领域

本发明是有关预治式晶圆载盘的卸载装置及其方法，尤指一种利用简单机构及操作，可将载盘上的组合件移出，且分别分解回收晶圆环、晶圆、遮盖的卸载装置及其方法。

背景技术

一般的集成电路(integrated circuit,IC)制造过程主要可分为：硅晶圆制造、集成电路制作以及集成电路封装等三大部分；当硅晶棒切割成晶圆后，还需要经过黄光、长晶、蚀刻、机械研磨等多道手续繁杂的流程，方能完成集成电路的制作，而在上述的制造过程中，晶圆在进行测试、清洗、蒸镀、干燥或浸泡有机溶剂等流程时，为能有效固定晶圆以便于加工，且能同时处理大量晶圆以增进加工效率，大多会将多个晶圆固定于一大面积的载盘上，由该载盘同时承载各晶圆进行上述各流程的加工作业。

常见的载盘基本结构，乃为一大面积的凸(或凹)弧面状盘体结构，于该载盘上设有多个可供收容晶圆的镂空部，且于各镂空部周侧设有多个可固定晶圆的夹具，当各晶圆受夹具固定于该镂空部的上方(凸弧面的外凸表面或凹弧面的内凹表面)，可使各晶圆经由该镂空部对外显露待加工的部位，因此利用该载盘可容置多个晶圆并同时移至各不同的加工程序，以有效增加晶圆整体加工的效率。

而随着自动化机械加工逐渐普及，利用各种自动机械执行晶圆在载盘上的取放作业，不但可节省大量人力，并可降低生产成本、增进加工效率，已为必然的趋势，但由于晶圆本身极为脆弱，且对于加工精密度的要求极高，因此，不但对于相关移置机构取放晶圆时的作业精确度有极高的要求，且在利用多个移置机构分别执行晶圆及相关组件的组卸作业时，各移置机构之间也必须具有精准的衔接，否则，极易影响整体移置的组合精度及成品品质，甚至于造成半成品毁损的情形；故而，如何有效校准各移置机构，使其不但在单一移置机构进行不同物件移置动作时保持极佳准确性，也可使不同移置机构之间形成极佳的相对活动关联性，以确保各移置机构在移置相同物件时的作业连接精确度，乃为各相关业者所亟待努力的一主要课题。

发明内容

有鉴于现有将载盘上组合件移置分解的移置机构有上述应用需求，发明人乃针对该些需求研究改进的道，终于有本发明产生。

为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：

一种预治式晶圆载盘的卸载装置，其特征在于，包括：

一载盘，表面设有至少一用以承载一组合件的组合件承载部，该组合件承载部周侧设有复数用以将组合件固定在该组合件承载部内的夹具；

一第一位移机构，连接并受一控制模块驱动，该第一位移机构具有一能往复移动的第一座体，于该第一座体上设有一组合件卸载部；

一机械臂，连接并受驱动于该控制模块，该机械臂具有一能移动于该第一座体与该载盘之间的活动端，于该活动端上设有一能携带及释放该组合件的装卸机构；

一设置于该第一位移机构旁侧的遮盖卸载机构，连接并受驱动于该控制模块，该遮盖卸载机构具有一供回置由该组合件卸下的遮盖的遮盖回置座，于该遮盖回置座旁侧设有一遮盖移置组件，该遮盖移置组件能携带及释放该遮盖，且于该遮盖回置座与该第一座体的组合件卸载部之间进行活动；

一设置于该第一位移机构旁侧的晶圆卸载机构，连接并受驱动于该控制模块，该晶圆卸载机构具有一供回置由该组合件卸下的晶圆的晶圆回置座，于该晶圆回置座旁侧设有一晶圆移置组件，该晶圆移置组件具有一能承托晶圆的晶圆托架，且该晶圆托架能受该晶圆移置组件带动而于该晶圆回置座与该第一座体的组合件卸载部之间进行活动；

一设置于该第一位移机构旁侧的晶圆环卸载机构，连接并受驱动于该控制模块，该晶圆环卸载机构具有一供回置由该组合件卸下的晶圆环的晶圆环回置座，于该晶圆环回置座旁侧设有一晶圆环移置组件，该晶圆环移置组件能携带及释放该晶圆环，且于该晶圆环回置座与该第一座体的组合件卸载部之间进行活动。

所述的预治式晶圆载盘的卸载装置，其中：该机械臂的活动端上还设有一能取得影像的影像攫取组件；该装卸机构上分别设有能够相对开合以夹持该组合件的夹持组件、复数对应并解锁各夹具的夹具操作组件及复数能够测量距离的测距元件。

所述的预治式晶圆载盘的卸载装置，其中：该复数测距元件为能够产生测距激光光束的激光光源，且分别设置于该装卸机构周侧至少三点。

所述的预治式晶圆载盘的卸载装置，其中：该第一位移机构旁侧设有一连接并受该控制模块驱动的第二位移机构，该第二位移机构具有一能够往复位移的第二座体，于该第二座体上设有一能承置该载盘的枢转组件。

所述的预治式晶圆载盘的卸载装置，其中：该组合件卸载部是一镂空孔，该镂空孔内设有一承托座，于该承托座顶面上凹设有一凹槽道，于该凹槽道二旁侧设有复数能抽吸空气的吸气孔；该承托座底部设有一承托座升降组件，该承托座升降组件能带动该承托座进行升降的动作；该晶圆托架顶面设有复数能够抽吸空气的抽气孔。

所述的预治式晶圆载盘的卸载装置，其中：该晶圆环回置座下方设有一晶圆环升降组件，该晶圆环升降组件能带动该晶圆环回置座进行升降的动作，该晶圆环移置组件具有一能够升降的晶圆环移置滑座，于该晶圆环移置滑座上设有一能横向往复位移的晶圆环移置导轨，于该晶圆环移置导轨上设有一能夹持该晶圆环的夹合组件；该晶圆回置座下方设有一晶圆升降组件，该晶圆升降组件系能带动该晶圆回置座进行升降的动作，该晶圆回置座上设有可供间隔收容复数晶圆的晶圆匣，该晶圆移置组件具有复数平行于该第一导轨的晶圆移置导轨，以及一设置于各该晶圆移置导轨上且能够往复位移的晶圆移置滑座，于该晶圆移置滑座上设有一能够垂向升降的伸缩组件，该晶圆托架设置于该伸缩组件的活动端；该遮盖回置座下方设有一遮盖升降组件，该遮盖升降组件能带动该遮盖回置座进行升降的动作，该遮盖移置组件具有一能够升降的遮盖移置滑座，于该遮盖移置滑座上设有一能够横向往复位移的遮盖移置导轨，于该遮盖移置导轨上设有一能夹持该遮盖的夹爪组。

所述的预治式晶圆载盘的卸载装置，其中：该遮盖中央设有一能够受该夹爪组夹持的环凸部；该第一座体设置于复数平行延伸的第一导轨上。

一种预治式晶圆载盘的卸载方法，应用所述的预治式晶圆载盘的卸载装置，其特征在于，包括：

一“载盘移至一移置作业定位”步骤，是在一载盘上设置由复数夹具固定的组合件，并使该载盘移置于一预设的移置作业定位；

一“装卸机构将待卸载的组合件移置于第一座体上的组合件卸载部”程序，由该控制模块驱动该机械臂上的装卸机构，将该载盘上待卸载的组合件移置于该第一座体上一预设的组合件卸载部；

一“遮盖卸载机构移置回收该遮盖”步骤，由该控制模块驱动该遮盖卸载机构的该遮盖移置组件接近该第一座体的组合件卸载部上方，并将该待卸载的组合件最上层的遮盖移至于该遮盖回置座上；

一“晶圆卸载机构移置回收该晶圆”步骤，由该控制模块驱动该晶圆卸载机构带动该晶圆移置组件的该晶圆托架，将该晶圆移置于该晶圆回置座上；

一“晶圆环卸载机构移置回收该晶圆环”步骤，由该控制模块驱动该晶圆环卸载机构的该晶圆环移置组件接近该第一座体的组合件卸载部上方，并将该晶圆环移至该晶圆环回置座上。

一种预治式晶圆载盘的卸载方法，应用所述的预治式晶圆载盘的卸载装置，其特征在于，包括：

一“载盘移至一移置作业定位”步骤，是在一载盘上设置由复数夹具固定的组合件，并使该载盘移置于一预设的移置作业定位；

一“装卸机构校正装卸作业面”程序，由该控制模块驱动该机械臂上的装卸机构调整位置，使各测距元件测量该载盘上一待移置位置的待卸载的组合件周侧的距离为等长，该装卸机构得以一预设的装卸作业面正向且平行对应该待卸载的组合件，以校正该装卸机构的装卸作业面的倾斜角度，并由该控制模块储存该校正后装卸作业面的信息；

一“影像攫取组件检视载盘上待卸载的组合件的影像，并校正取像面”程序，由该控制模块驱动该机械臂上的影像攫取组件，依前述校正后装卸作业面的倾斜角度及方向检视该待卸载的组合件及各夹具的影像，并调整该影像攫取组件以一预设的取像面正确对应于该待卸载的组合件及各夹具的位置，以校正该影像攫取组件的取像面的位置，且由该控制模块储存该校正后取像面的信息，同时该控制模块利用该校正后取像面的信息进一步修正该装卸作业面的相对位置，使该装卸作业面可准确地对应于该待卸载的组合件及各夹具的位置；

一“装卸机构将待卸载的组合件移置于第一座体上的组合件卸载部”程序，由该控制模块驱动该机械臂上的装卸机构，将该载盘上待卸载的组合件移置于该第一座体上一预设的组合件卸载部；

一“遮盖卸载机构移置回收该遮盖”步骤，由该控制模块驱动该遮盖卸载机构的该遮盖移置组件接近该第一座体的组合件卸载部上方，并将该待卸载的组合件最上层的遮盖移至于该遮盖回置座上；

一“晶圆卸载机构移置回收该晶圆”步骤，由该控制模块驱动该晶圆卸载机构带动该晶圆移置组件的该晶圆托架，将该晶圆移置于该晶圆回置座上；

一“晶圆环卸载机构移置回收该晶圆环”步骤，由该控制模块驱动该晶圆环卸载机构的该晶圆环移置组件接近该第一座体的组合件卸载部上方，并将该晶圆环移至该晶圆环回置座上。

所述的预治式晶圆载盘的卸载方法，其中：该“装卸机构将待卸载的组合件移置于第一座体上的组合件卸载部”程序，具有：

一“装卸机构解锁各夹具”步骤，先由该控制模块驱动该机械臂上的装卸机构移至该待卸载的组合件上方，利用各夹具操作组件松开各夹具；

一“装卸机构将待卸载的组合件移置于第一座体上的组合件卸载部”步骤，由该控制模块驱动该机械臂上的装卸机构以该夹持组件夹持该待卸载的组合件，将该待卸载的组合件移至该第一座体上的一组合件卸载部。

一种预治式晶圆载盘的卸载方法，应用所述的预治式晶圆载盘的卸载装置，其特征在于，包括：

一“载盘移至一移置作业定位”步骤，是在一载盘上设置由复数夹具固定的组合件，并使该载盘移置于一预设的移置作业定位；

一“装卸机构校正装卸作业面”程序，由该控制模块驱动该机械臂上的装卸机构调整位置，使各测距元件测量该载盘上一待移置位置的待卸载的组合件周侧的距离为等长，该装卸机构得以一预设的装卸作业面正向且平行对应该待卸载的组合件，以校正该装卸机构的装卸作业面的倾斜角度，并由该控制模块储存该校正后装卸作业面的信息；

一“影像攫取组件检视载盘上待卸载的组合件的影像，并校正取像面”程序，由该控制模块驱动该机械臂上的影像攫取组件，依前述校正后装卸作业面的倾斜角度及方向检视该待卸载的组合件及各夹具的影像，并调整该影像攫取组件以一预设的取像面正确对应于该待卸载的组合件及各夹具的位置，以校正该影像攫取组件的取像面的位置，且由该控制模块储存该校正后取像面的信息，同时该控制模块利用该校正后取像面的信息进一步修正该装卸作业面的相对位置，使该装卸作业面可准确地对应于该待卸载的组合件及各夹具的位置；

一“装卸机构将待卸载的组合件移置于第一座体上的组合件卸载部”程序，由该控制模块驱动该机械臂上的装卸机构，将该载盘上待卸载的组合件移置于该第一座体上一预设的组合件卸载部；

一“遮盖卸载机构移置回收该遮盖”步骤，由该控制模块驱动该遮盖卸载机构的该遮盖移置组件接近该第一座体的组合件卸载部上方，并将该待卸载的组合件最上层的遮盖移至于该遮盖回置座上；

一“晶圆卸载机构移置回收该晶圆”步骤，由该控制模块驱动该晶圆卸载机构带动该晶圆移置组件的该晶圆托架，将该晶圆移置于该晶圆回置座上；

一“晶圆环卸载机构移置回收该晶圆环”步骤，由该控制模块驱动该晶圆环卸载机构的该晶圆环移置组件接近该第一座体的组合件卸载部上方，并将该晶圆环移至该晶圆环回置座上。

所述的预治式晶圆载盘的卸载方法，其中：该“装卸机构将待卸载的组合件移置于第一座体上的组合件卸载部”程序，具有：

一“装卸机构解锁各夹具”步骤，先由该控制模块驱动该机械臂上的装卸机构移至该待卸载的组合件上方，利用各夹具操作组件松开各夹具；

一“装卸机构将待卸载的组合件移置于第一座体上的组合件卸载部”步骤，由该控制模块驱动该机械臂上的装卸机构以该夹持组件夹持该待卸载的组合件，将该待卸载的组合件移至该第一座体上的一组合件卸载部。

所述的预治式晶圆载盘的卸载方法，其中：该“装卸机构将待卸载的组合件移置于第一座体上的组合件卸载部”步骤之后还设有一“装卸机构脱离待卸载的组合件，且载盘转动”步骤，系使各夹持组件松脱该待卸载的组合件，并由该控制模块驱动该枢转组件带动该载盘枢转，使该已移出组合件的部位枢转移动至一旁侧位置，且另一旁侧的组合件移至该待移置位置，形成另一待卸载的组合件。

所述的预治式晶圆载盘的卸载方法，其中：该“载盘移至一移置作业定位”步骤中，该载盘系置于第二位移机构中远离该第一位移机构的一端的第二座体上，再由该控制模块驱动该第二位移机构的该第二座体带动该载盘移至接近该第一位移机构的一移置作业定位。

所述的预治式晶圆载盘的卸载方法，其中：该“晶圆卸载机构移置回收该晶圆”步骤中，在该晶圆托架移置该晶圆之前，由该控制模块驱动该第一位移机构的该承托座升降组件带动该承托座承托该组合件卸载部内的晶圆上升，利用各吸气孔吸气，以吸附固定该晶圆，并使该承托座的凹槽道对外显露，以便于该控制模块驱动该晶圆卸载机构的晶圆移置组件以该晶圆托架伸入该承托座的凹槽道中；然后该晶圆托架的各抽气孔吸附该晶圆，且各吸气孔停止吸气，该承托座升降组件带动该承托座下降，使该晶圆受该晶圆托架承托并移置。

本发明的主要优点在于提供一种预治式晶圆载盘的卸载装置及其方法，是在一第一位移机构的周侧分别设有晶圆环卸载机构、晶圆卸载机构、遮盖卸载机构及载盘，且于该第一位移机构、载盘之间设有一机械臂；该第一位移机构具有一可往复位移的第一座体，该载盘上设有复数受夹具固定的组合件，该机械臂的活动端上设有一影像攫取组件及一装卸机构；该机械臂能带动装卸机构、影像攫取组件分别校正其装卸作业面及取像面，使该装卸机构可正向且准确对应于该载盘上一待移置位置的待卸载的组合件，该装卸机构可先解锁该夹具，再将该待卸载的组合件由该载盘上移置于该第一座体上，且该载盘转动，使另一组合件移至该待移置位置；然后，该遮盖卸载机构将该待卸载的组合件中的遮盖取出并移置回收，该晶圆卸载机构将该待卸载的组合件中的晶圆取出并移置回收，该晶圆环卸载机构将该待卸载的组合件中的晶圆环取出并移置回收，凭借上述简单的结构及顺畅的操作流程，可达到降低设备建置成本，并提升组装效率的功效。

本发明的另一优点在于提供一种预治式晶圆载盘的卸载装置及其方法，其中该装卸机构周侧设有复数测距元件，当该装卸机构以一预设装卸基准值的方向及角度接近该载盘上的待移置位置后，可调整该装卸机构位置，使各测距元件测量该待卸载的组合件周侧的距离为等长，以校正该装卸机构的装卸作业面的倾斜角度，使该装卸作业面能平行(具有相同的倾斜角度)对应于该待卸载的组合件；而该影像攫取组件可以相同于该校正后装卸作业面的方向及倾斜角度接近该待移置位置并直接取像，再调整该影像攫取组件位置，使其正向准确对应于该待移置位置的待卸载的组合件，以校正该影像攫取组件的取像面的位置，同时利用该校正后取像面的位置的信息修正该装卸机构的位置，以使该装卸机构的装卸作业面可正向且精确的对应于该待卸载的组合件及其周边组件。

本发明的又一优点在于提供一种预治式晶圆载盘的卸载装置及其方法，其中该第一位移机构旁侧设有受该控制模块驱动的第二位移机构，该第二位移机构可带动该载盘进行往复移动及枢转等动作，使该载盘可由易于放置的位置移至接近该第一位移机构的移置作业定位，且该载盘上的各组合件可分别被移至接近该机械臂活动范围的待移置位置，以提升整体的操作效率。

为使本发明的上述目的、功效及特征可获致更具体的了解，兹依下列附图说明如下。

附图说明

图1是本发明的整体结构及相关组件立体分解图。

图2是本发明的局部结构示意图；其揭示了第一座体及相关承托座等部位的结构。

图3是图1的A部位局部放大图；其揭示了组设于机械臂上的影像攫取组件及装卸机构的结构。

图4是本发明的操作流程图。

图5是本发明的第二座体于外侧承置载盘，且于载盘上承载复数组合件的状态示意图。

图6是本发明的第二座体带动载盘移至移置作业定位的动作图。

图7是本发明的装卸机构利用测距元件对正于载盘上待卸载的组合件，以校准装卸作业面的倾斜角度的动作图。

图8是本发明的影像攫取组件取得待卸载的组合件的影像，并以校正取像面的位置的动作图。

图9是本发明利用装卸机构解锁待卸载的组合件周侧夹具的动作图。

图10是本发明利用装卸机构将待卸载的组合件由载盘移置于第一座体上的动作图(一)。

图11是本发明利用装卸机构将待卸载的组合件由载盘移置于第一座体上的动作图(二)。

图12是本发明的遮盖移置组件移置遮盖的动作图(一)。

图13是本发明的遮盖移置组件移置遮盖的动作图(二)。

图14是本发明的遮盖移置组件移置遮盖的动作图(三)。

图15是本发明该遮盖移置组件的夹爪组脱离遮盖的动作图。

图16是本发明的第一座体位移至晶圆环卸载机构旁侧位置的动作图。

图17是本发明的晶圆移置组件移置晶圆的动作图(一)。

图18是本发明的晶圆移置组件移置晶圆的动作图(二)。

图19是本发明的晶圆移置组件移置晶圆的动作图(三)。

图20是本发明的晶圆移置组件移置晶圆的动作图(四)。

图21是本发明的晶圆移置组件移置晶圆的动作图(五)。

图22是本发明的晶圆环移置组件移置晶圆环的动作图(一)。

图23是本发明的晶圆环移置组件移置晶圆环的动作图(二)。

图24是本发明的晶圆环移置组件移置晶圆环的动作图(三)。

图25是本发明的晶圆环移置组件移置晶圆环的动作图(四)。

附图标记说明：1第一位移机构；11第一导轨；12第一座体；121组合件卸载部；13承托座；131凹槽道；132吸气孔；133承托座升降组件；2晶圆环卸载机构；21晶圆环回置座；22晶圆环升降组件；23晶圆环移置组件；231晶圆环移置导轨；232晶圆环移置滑座；233夹合组件；2a晶圆环；20a组合件；3晶圆卸载机构；31晶圆回置座；32晶圆升降组件；33晶圆移置组件；331晶圆移置导轨；332晶圆移置滑座；333伸缩组件；34晶圆托架；341抽气孔；3a晶圆；30a晶圆匣；4遮盖卸载机构；41遮盖回置座；42遮盖升降组件；43遮盖移置组件；431遮盖移置导轨；432遮盖移置滑座；433夹爪组；4a遮盖；41a环凸部；5第二位移机构；51第二导轨；52第二座体；53枢转组件；50载盘；501组合件承载部；502夹具；6机械臂；61影像攫取组件；611取像组件；62装卸机构；621测距元件；6211激光光束；622夹持组件；623夹具操作组件；A图1的影像攫取组件及装卸机构部位；S11载盘移至一移置作业定位；P2装卸机构校正装卸作业面；S21机械臂带动装卸机构以预设装卸基准值接近载盘，并以测距元件测量与一待移置位置的待卸载的组合件周侧的距离；S22控制模块经由机械臂调整装卸机构位置，使各测距元件的测量距离为等长，以校正其装卸作业面的倾斜角度；P3影像攫取组件检视载盘上待卸载的组合件的影像，并校正取像面；S31机械臂带动影像攫取组件以相同于该校正后装卸作业面的倾斜角度接近载盘，并取得该待卸载的组合件及各夹具的位置影像；S32控制模块经由机械臂调整影像攫取组件位置，使其正确对应该待卸载的组合件，以校正其取像面的位置，且利用该校正后取像面的信息修正该装卸作业面，使其正向且准确对应该待卸载的组合件；P4装卸机构将待卸载的组合件移置于第一座体上的组合件卸载部；S41装卸机构解锁各夹具；S42装卸机构将待卸载的组合件移置于第一座体上的组合件卸载部；S43装卸机构脱离待卸载的组合件，且载盘转动；S51遮盖卸载机构移置回收该遮盖；S61晶圆卸载机构移置回收该晶圆；S71晶圆环卸载机构移置回收该晶圆环。

具体实施方式

请参图1至图3所示，可知本发明的主要结构包括：第一位移机构1、晶圆环卸载机构2、晶圆卸载机构3、遮盖卸载机构4、第二位移机构5及机械臂6等部份；其中该第一位移机构1连接并受一控制模块(可为一具运算功能的电脑，未绘出)驱动，该第一位移机构1具有复数平行延伸的第一导轨11，以及一设置于各该第一导轨11上且可往复位移的第一座体12，于该第一座体12上设有一组合件卸载部121(可为一镂空孔)，于该组合件卸载部121(镂空孔)内设有一承托座13，该承托座13系受一承托座升降组件133带动而可进行升降的动作，于该承托座13顶面凹设有一凹槽道131，于该凹槽道131二旁侧设有复数能抽吸空气的吸气孔132。

该晶圆环卸载机构2设于该第一导轨11的一旁侧，连接并受该控制模块(未绘出)驱动，该晶圆环卸载机构2具有一可供承托复数晶圆环2a的晶圆环回置座21，以及一支撑于该晶圆环回置座21下方的晶圆环升降组件22，该晶圆环升降组件22可带动该晶圆环回置座21进行升降的动作，于该晶圆环回置座21旁侧设有一晶圆环移置组件23，该晶圆环移置组件23具有一可升降的晶圆环移置滑座232，于该晶圆环移置滑座232上设有一可横向往复位移的晶圆环移置导轨231，于该晶圆环移置导轨231上设有一组可相对开合的夹合组件233。

该晶圆卸载机构3设于该第一导轨11的一旁侧，连接并受该控制模块(未绘出)驱动，该晶圆卸载机构3具有一可供承托复数晶圆3a的晶圆回置座31，以及一支撑于该晶圆回置座31下方的晶圆升降组件32，该晶圆升降组件32可带动该晶圆回置座31进行升降的动作；于该晶圆回置座31旁侧设有一晶圆移置组件33，该晶圆移置组件33具有复数平行于该第一导轨11的晶圆移置导轨331，以及一设置于各该晶圆移置导轨331上且可往复位移的晶圆移置滑座332，于该晶圆移置滑座332上设有一可垂向升降的伸缩组件333，于该伸缩组件333的活动端设有一晶圆托架34，于该晶圆托架34顶面设有复数可抽吸空气的抽气孔341。

在一个可行的实施例中，该晶圆回置座31上设有可供间隔收容复数晶圆3a的晶圆匣30a，该晶圆匣30a可同时收容复数晶圆3a并形成保护，具有易于保存与移置等特点。

该遮盖卸载机构4设于该第一导轨11的一旁侧，连接并受该控制模块(未绘出)驱动，该遮盖卸载机构4具有一可供承托复数遮盖4a的遮盖回置座41，以及一支撑于该遮盖回置座41下方的遮盖升降组件42，该遮盖升降组件42可带动该遮盖回置座41进行升降的动作，于该遮盖回置座41旁侧设有一遮盖移置组件43，该遮盖移置组件43具有一可升降的遮盖移置滑座432，于该遮盖移置滑座432上设有一可横向往复位移的遮盖移置导轨431，于该遮盖移置导轨431上设有一组可相对开合的夹爪组433。

在一个可行的实施例中，该遮盖4a中央设有一可受该夹爪组433夹持的环凸部41a。

该第二位移机构5可横向设置于该第一导轨11一端部旁侧，且连接并受该控制模块(未绘出)驱动，该第二位移机构5具有复数平行延伸的第二导轨51，以及一设置于各该第二导轨51上且可往复位移的第二座体52，于该第二座体52上设有一枢转组件53，该枢转组件53上可供结合放置一载盘50。

在一个可行的实施例中，该载盘50是一具凸弧面的盘状结构体，于该载盘50表面设有复数组合件承载部501(可为一镂空部)，于各组合件承载部501(镂空部)周侧分别设有复数夹具502。

该机械臂6设置于该第一位移机构1、第二位移机构5之间，连接并受该控制模块(未绘出)驱动，于该机械臂6的活动端设有一影像攫取组件61及一装卸机构62；该影像攫取组件61具有一可攫取影像的取像组件611，该装卸机构62具有二可相对开合的夹持组件622、复数对应于各夹具502的夹具操作组件623及复数测距元件621，该复数测距元件621可为能产生测距激光光束6211的激光光源，且分别设置于该装卸机构62周侧至少三点。

请参图4所示，可知本发明的操作方法包括：一“载盘移至一移置作业定位”S11步骤、一“装卸机构校正装卸作业面”P2程序、一“影像攫取组件检视载盘上待卸载的组合件的影像，并校正取像面”P3程序、一“装卸机构将待卸载的组合件移置于第一座体上的组合件卸载部”P4程序、一“遮盖卸载机构移置回收该遮盖”S51步骤、一“晶圆卸载机构移置回收该晶圆”S61步骤、一“晶圆环卸载机构移置回收该晶圆环”S71步骤；其中：

该“装卸机构校正装卸作业面”P2程序，由该控制模块驱动该机械臂6上的装卸机构62调整位置，使各测距元件621测量该载盘50上一待移置位置的待卸载的组合件20a周侧的距离为等长，使该装卸机构62得以平行(具有相同倾斜角度)正向对应该待卸载的组合件20a，以校正该装卸机构62的装卸作业面的倾斜角度，并由该控制模块储存该校正后装卸作业面的信息；其依序具有：“机械臂带动装卸机构以预设装卸基准值接近载盘，并以测距元件测量与一待移置位置的待卸载的组合件周侧的距离”S21步骤、“控制模块经由机械臂调整装卸机构位置，使各测距元件的测量距离为等长，以校正其装卸作业面的倾斜角度”S22步骤。

该“影像攫取组件检视载盘上待卸载的组合件的影像，并校正取像面”P3程序，由该控制模块驱动该机械臂6上的影像攫取组件61依前述校正后装卸作业面的倾斜角度及方向检视该待卸载的组合件20a及各夹具502的影像，并调整该影像攫取组件61正确对应于该待卸载的组合件20a及其夹具502的位置，以校正该影像攫取组件61的取像面的位置，且由该控制模块储存该校正后取像面的信息，同时该控制模块利用该校正后取像面的信息进一步修正该装卸作业面的相对位置，使该装卸作业面可准确地对应于该待卸载的组合件20a及其夹具502的位置；其依序具有：“机械臂带动影像攫取组件以相同于该校正后装卸作业面的倾斜角度接近载盘，并取得该待卸载的组合件及各夹具的位置影像”S31步骤、“控制模块经由机械臂调整影像攫取组件位置，使其正确对应该待卸载的组合件，以校正其取像面的位置，且利用该校正后取像面的信息修正该装卸作业面，使其正向且准确对应该待卸载的组合件”S32步骤。

该“装卸机构将待卸载的组合件移置于第一座体上的组合件卸载部”P4程序，由该控制模块驱动该机械臂6上的装卸机构62将该待卸载的组合件20a移置于该第一座体12的组合件卸载部121；其依序具有：“装卸机构解锁各夹具”S41步骤、“装卸机构将待卸载的组合件移置于第一座体上的组合件卸载部”S42步骤、“装卸机构脱离待卸载的组合件，且载盘转动”S43步骤。

以下即配合图5至图25，分别说明上述各步骤，并形成一实际可行的应用实施例：

首先，该“载盘移至一移置作业定位”S11步骤，是在一载盘50的各组合件承载部501上分别设置由晶圆环2a、晶圆3a、遮盖4a叠置而成的组合件20a，各该组合件20a分别经由复数夹具502固定于载盘50的各组合件承载部501(镂空部)上；并使该第二位移机构5的第二座体52移至各第二导轨51远离该第一位移机构1的一端，以便于将该满置各组合件20a的载盘50放置于该第二位移机构5的枢转组件53上(如图5所示)；再由该控制模块驱动该第二位移机构5的该第二座体52带动该载盘50移至接近该第一位移机构1的移置作业定位；且于该晶圆回置座31上设置至少一晶圆匣30a(如图6所示)。

该“机械臂带动装卸机构以预设装卸基准值接近载盘，并以测距元件测量与一待移置位置的待卸载的组合件周侧的距离”S21步骤，由该控制模块驱动该机械臂6上的装卸机构62以预设装卸基准值的方向及角度移至该载盘50上的一待移置位置；并利用各测距元件621侦测与该待移置位置上待卸载的组合件20a周侧的距离(如图7所示)。

在一个可行的实施例中，该测距元件621是一激光光源，可经由激光光束6211分别投射于该待卸载的组合件20a周侧，以侦测距离。

该“控制模块经由机械臂调整装卸机构位置，使各测距元件的测量距离为等长，以校正其装卸作业面的倾斜角度”S22步骤，由该控制模块依各测距元件621所侦测的距离(即激光光束6211投射长度)差异而驱动该机械臂6上的装卸机构62调整位置，使各测距元件621(激光光源)侦测该待卸载的组合件20a周侧的距离(激光光束6211)为等长，以校正该装卸机构62的装卸作业面的倾斜角度，并确保该装卸作业面平行地对应该待卸载的组合件20a；且该控制模块可储存该校正后装卸作业面的信息。

该“机械臂带动影像攫取组件以相同于该校正后装卸作业面的倾斜角度接近载盘，并取得该待卸载的组合件及各夹具的位置影像”S31步骤，由该控制模块驱动该机械臂6上的影像攫取组件61以相同于该校正后装卸作业面的倾斜角度及方向移至该待卸载的组合件20a上方，利用该取像组件611取得该待卸载的组合件20a周边的影像(如图8所示)，以确认该待卸载的组合件20a及各夹具502的位置及状态。

该“控制模块经由机械臂调整影像攫取组件位置，使其正确对应该待卸载的组合件，以校正其取像面的位置，且利用该校正后取像面的信息修正该装卸作业面，使其正向且准确对应该待卸载的组合件”S32步骤，由该控制模块依上述取得该待卸载的组合件20a的影像位置差异，而驱动该机械臂6上的影像攫取组件61调整位置，以校正该影像攫取组件61的取像面的位置，以确保该影像攫取组件61正确且平齐地对应该待卸载的组合件20a；且该控制模块可储存该校正后取像面的信息(如图8所示)。

在一个可行的实施例中，各夹具502周侧于预设部位设有定位标示(未绘出，可为十字刻度或其它具标示性的结构)，且于该影像攫取组件61的取像组件611的镜头上可设置相对应的相对标示(未绘出，可为十字刻度或其它具标示性的结构)；当该影像攫取组件61调整位置，使该相对标示与该定位标示相重合，即可达到校正该影像攫取组件61的取像面位置的功效。

由于该影像攫取组件61系以相同于该校正后装卸作业面的倾斜角度及方向进行取像，因此在校正该取像面的位置后，该控制模块可利用该校正后取像面的位置计算并储存该装卸机构62所需再次修正的位置信息，使该控制模块可直接且迅速地再次驱动该机械臂6上的装卸机构62移至位于正向准确地对应该待卸载的组合件20a的位置。

该“装卸机构解锁各夹具”S41步骤，由该控制模块驱动该机械臂6上的装卸机构62移至该待卸载的组合件20a上方，利用各夹具操作组件623松开各夹具502(如图9所示)。

该“装卸机构将该待卸载的组合件移置于第一座体上的组合件卸载部”S42步骤，由该控制模块驱动该机械臂6上的装卸机构62以该夹持组件622夹持该待卸载的组合件20a，再将该待卸载的组合件20a移至该第一座体12的组合件卸载部121(镂空孔)上(如图10、图11所示)；此时，该控制模块驱动该第一位移机构1的承托座升降组件133带动该承托座13上升，以穿过该组合件卸载部121(镂空孔)并承托该晶圆3a，并使各吸气孔132吸气，以吸附固定该晶圆3a，避免该晶圆3a于后续移置过程中产生位移或损坏破裂等情形。

该“装卸机构脱离待卸载的组合件，且载盘转动”S43步骤，是在上述该夹持组件622移置该待卸载的组合件20a并松脱后，由该控制模块驱动该第二位移机构5的该枢转组件53带动该载盘50枢转，使上述已被移置组合件20a的组合件承载部501枢转移动至一旁侧位置，且另一旁侧的组合件20a移至原待移置位置形成另一待卸载的组合件20a(如图11所示)，以便于后续重复地将各组合件20a分别移置至第一座体12的组合件卸载部121上。

该“遮盖卸载机构移置回收该遮盖”S51步骤，由该控制模块驱动该遮盖卸载机构4的该遮盖移置组件43带动该夹爪组433接近该第一座体12的组合件卸载部121上方(如图12所示)；利用该夹爪组433夹持该待卸载的组合件20a最上层的遮盖4a的环凸部41a(如图13所示)，并随该遮盖移置滑座432升降及遮盖移置导轨431横向滑动，可将该遮盖4a移至于该遮盖回置座41上(如图14所示)；然后，该夹爪组433松脱该环凸部41a(如图15所示)，使该遮盖4a被放置于该遮盖回置座41上；此时，该组合件卸载部121中留有晶圆环2a、晶圆3a。

在实际应用时，该遮盖升降组件42可配合带动该遮盖回置座41升降，以便于该遮盖移置组件43更易将该遮盖4a移置于该遮盖回置座41上。

该“晶圆卸载机构移置回收该晶圆”S61步骤，可依需要先使该第一座体12沿第一导轨11移至接近该晶圆环卸载机构2(或晶圆卸载机构3)旁侧的位置(如图16所示)；再由该控制模块驱动该第一位移机构1的该承托座升降组件133带动该承托座13承托该晶圆3a上升，使该承托座13的凹槽道131对外显露(如图17所示)；同时，该控制模块驱动该晶圆卸载机构3带动该晶圆移置组件33的晶圆移置滑座332移动，配合该伸缩组件333伸长，可使该晶圆托架34伸入该承托座13的凹槽道131中承托该晶圆3a，同时各抽气孔341抽气，以吸附固定该晶圆3a(如图18所示)；然后，各吸气孔132停止吸气，该承托座升降组件133带动该承托座13下降脱离该晶圆3a(如图19所示)；再由该晶圆移置组件33的晶圆移置滑座332移动，配合该伸缩组件333伸长，可使该晶圆托架34稳定地将该晶圆3a移置于该晶圆匣30a中(如图20、图21所示)；此时，该组合件卸载部121中留有晶圆环2a。

在实际应用时，该晶圆升降组件32可配合带动该晶圆回置座31升降，以便该晶圆托架34更易于将晶圆3a移置于适当位置的晶圆匣30a中的适当高度。

该“晶圆环卸载机构移置回收该晶圆环”S71步骤，由该控制模块驱动该晶圆环卸载机构2，使该晶圆环移置组件23带动该夹合组件233接近该第一座体12的组合件卸载部121上方(如图22所示)；利用该夹合组件233夹持该组合件卸载部121上的晶圆环2a(如图23所示)；并随该晶圆环移置滑座232升降及晶圆环移置导轨231横向滑动，可将该晶圆环2a移至该晶圆环回置座21上(如图24、图25所示)；然后，该夹合组件233松脱该晶圆环2a，使该晶圆环2a被放置于该晶圆环回置座21上。

在实际应用时，该晶圆环升降组件22可配合带动该晶圆环回置座21升降，以便于该晶圆环移置组件23更易将该晶圆环2a移置于该晶圆环回置座21上。

本发明凭借上述的卸载装置及方法，可将该载盘50上各加工完成的组合件20a逐一分解为遮盖4a、加工完成的晶圆3a、晶圆环2a等组件，并分别被移置于遮盖回置座41、晶圆回置座31、晶圆环回置座21上，形成一机械化自动卸载回收的机制。

综合以上所述，本发明预治式晶圆载盘的卸载装置及其方法确可达成利用简单机构及操作，将一组合件分解为晶圆环、晶圆、遮盖，并分别加以回收的功效。

Claims (20)

1.一种预治式晶圆载盘的卸载装置，其特征在于，包括：

一载盘，表面设有至少一用以承载一组合件的组合件承载部，该组合件承载部周侧设有复数用以将组合件固定在该组合件承载部内的夹具；

一第一位移机构，连接并受一控制模块驱动，该第一位移机构具有一能往复移动的第一座体，于该第一座体上设有一组合件卸载部；

一机械臂，连接并受驱动于该控制模块，该机械臂具有一能移动于该第一座体与该载盘之间的活动端，于该活动端上设有一能携带及释放该组合件的装卸机构；

一设置于该第一位移机构旁侧的遮盖卸载机构，连接并受驱动于该控制模块，该遮盖卸载机构具有一供回置由该组合件卸下的遮盖的遮盖回置座，于该遮盖回置座旁侧设有一遮盖移置组件，该遮盖移置组件能携带及释放该遮盖，且于该遮盖回置座与该第一座体的组合件卸载部之间进行活动；

一设置于该第一位移机构旁侧的晶圆卸载机构，连接并受驱动于该控制模块，该晶圆卸载机构具有一供回置由该组合件卸下的晶圆的晶圆回置座，于该晶圆回置座旁侧设有一晶圆移置组件，该晶圆移置组件具有一能承托晶圆的晶圆托架，且该晶圆托架能受该晶圆移置组件带动而于该晶圆回置座与该第一座体的组合件卸载部之间进行活动；

一设置于该第一位移机构旁侧的晶圆环卸载机构，连接并受驱动于该控制模块，该晶圆环卸载机构具有一供回置由该组合件卸下的晶圆环的晶圆环回置座，于该晶圆环回置座旁侧设有一晶圆环移置组件，该晶圆环移置组件能携带及释放该晶圆环，且于该晶圆环回置座与该第一座体的组合件卸载部之间进行活动。

2.如权利要求1所述的预治式晶圆载盘的卸载装置，其特征在于：该机械臂的活动端上还设有一能取得影像的影像攫取组件；该装卸机构上分别设有能够相对开合以夹持该组合件的夹持组件、复数对应并解锁各夹具的夹具操作组件及复数能够测量距离的测距元件。

3.如权利要求2所述的预治式晶圆载盘的卸载装置，其特征在于：该复数测距元件为能够产生测距激光光束的激光光源，且分别设置于该装卸机构周侧至少三点。

4.如权利要求1所述的预治式晶圆载盘的卸载装置，其特征在于：该第一位移机构旁侧设有一连接并受该控制模块驱动的第二位移机构，该第二位移机构具有一能够往复位移的第二座体，于该第二座体上设有一能承置该载盘的枢转组件。

5.如权利要求2所述的预治式晶圆载盘的卸载装置，其特征在于：该第一位移机构旁侧设有一连接并受该控制模块驱动的第二位移机构，该第二位移机构具有一能够往复位移的第二座体，于该第二座体上设有一能承置该载盘的枢转组件。

6.如权利要求1所述的预治式晶圆载盘的卸载装置，其特征在于：该组合件卸载部是一镂空孔，该镂空孔内设有一承托座，于该承托座顶面上凹设有一凹槽道，于该凹槽道二旁侧设有复数能抽吸空气的吸气孔；该承托座底部设有一承托座升降组件，该承托座升降组件能带动该承托座进行升降的动作；该晶圆托架顶面设有复数能够抽吸空气的抽气孔。

7.如权利要求2所述的预治式晶圆载盘的卸载装置，其特征在于：该组合件卸载部是一镂空孔，于该镂空孔内设有一承托座，于该承托座顶面上凹设有一凹槽道，于该凹槽道二旁侧设有复数能抽吸空气的吸气孔；该承托座底部设有一承托座升降组件，该承托座升降组件能带动该承托座进行升降的动作；该晶圆托架顶面设有复数能够抽吸空气的抽气孔。

8.如权利要求4所述的预治式晶圆载盘的卸载装置，其特征在于：该组合件卸载部是一镂空孔，于该镂空孔内设有一承托座，于该承托座顶面上凹设有一凹槽道，于该凹槽道二旁侧设有复数能抽吸空气的吸气孔；该承托座底部设有一承托座升降组件，该承托座升降组件能带动该承托座进行升降的动作；该晶圆托架顶面设有复数能够抽吸空气的抽气孔。

9.如权利要求5所述的预治式晶圆载盘的卸载装置，其特征在于：该组合件卸载部是一镂空孔，于该镂空孔内设有一承托座，于该承托座顶面上凹设有一凹槽道，于该凹槽道二旁侧设有复数能抽吸空气的吸气孔；该承托座底部设有一承托座升降组件，该承托座升降组件能带动该承托座进行升降的动作；该晶圆托架顶面设有复数能够抽吸空气的抽气孔。

10.如权利要求1或2或3或4或5或6或7或8或9所述的预治式晶圆载盘的卸载装置，其特征在于：该晶圆环回置座下方设有一晶圆环升降组件，该晶圆环升降组件能带动该晶圆环回置座进行升降的动作，该晶圆环移置组件具有一能够升降的晶圆环移置滑座，于该晶圆环移置滑座上设有一能横向往复位移的晶圆环移置导轨，于该晶圆环移置导轨上设有一能夹持该晶圆环的夹合组件；该晶圆回置座下方设有一晶圆升降组件，该晶圆升降组件系能带动该晶圆回置座进行升降的动作，该晶圆回置座上设有可供间隔收容复数晶圆的晶圆匣，该晶圆移置组件具有复数平行于该第一导轨的晶圆移置导轨，以及一设置于各该晶圆移置导轨上且能够往复位移的晶圆移置滑座，于该晶圆移置滑座上设有一能够垂向升降的伸缩组件，该晶圆托架设置于该伸缩组件的活动端；该遮盖回置座下方设有一遮盖升降组件，该遮盖升降组件能带动该遮盖回置座进行升降的动作，该遮盖移置组件具有一能够升降的遮盖移置滑座，于该遮盖移置滑座上设有一能够横向往复位移的遮盖移置导轨，于该遮盖移置导轨上设有一能夹持该遮盖的夹爪组。

11.如权利要求10所述的预治式晶圆载盘的卸载装置，其特征在于：该遮盖中央设有一能够受该夹爪组夹持的环凸部；该第一座体设置于复数平行延伸的第一导轨上。

12.一种预治式晶圆载盘的卸载方法，应用如权利要求1所述的预治式晶圆载盘的卸载装置，其特征在于，包括：

一“载盘移至一移置作业定位”步骤，是在一载盘上设置由复数夹具固定的组合件，并使该载盘移置于一预设的移置作业定位；

一“装卸机构将待卸载的组合件移置于第一座体上的组合件卸载部”程序，由该控制模块驱动该机械臂上的装卸机构，将该载盘上待卸载的组合件移置于该第一座体上一预设的组合件卸载部；

一“遮盖卸载机构移置回收该遮盖”步骤，由该控制模块驱动该遮盖卸载机构的该遮盖移置组件接近该第一座体的组合件卸载部上方，并将该待卸载的组合件最上层的遮盖移至于该遮盖回置座上；

一“晶圆卸载机构移置回收该晶圆”步骤，由该控制模块驱动该晶圆卸载机构带动该晶圆移置组件的该晶圆托架，将该晶圆移置于该晶圆回置座上；

一“晶圆环卸载机构移置回收该晶圆环”步骤，由该控制模块驱动该晶圆环卸载机构的该晶圆环移置组件接近该第一座体的组合件卸载部上方，并将该晶圆环移至该晶圆环回置座上。

13.一种预治式晶圆载盘的卸载方法，应用如权利要求2所述的预治式晶圆载盘的卸载装置，其特征在于，包括：

一“载盘移至一移置作业定位”步骤，是在一载盘上设置由复数夹具固定的组合件，并使该载盘移置于一预设的移置作业定位；

一“装卸机构校正装卸作业面”程序，由该控制模块驱动该机械臂上的装卸机构调整位置，使各测距元件测量该载盘上一待移置位置的待卸载的组合件周侧的距离为等长，该装卸机构得以一预设的装卸作业面正向且平行对应该待卸载的组合件，以校正该装卸机构的装卸作业面的倾斜角度，并由该控制模块储存该校正后装卸作业面的信息；

一“影像攫取组件检视载盘上待卸载的组合件的影像，并校正取像面”程序，由该控制模块驱动该机械臂上的影像攫取组件，依前述校正后装卸作业面的倾斜角度及方向检视该待卸载的组合件及各夹具的影像，并调整该影像攫取组件以一预设的取像面正确对应于该待卸载的组合件及各夹具的位置，以校正该影像攫取组件的取像面的位置，且由该控制模块储存该校正后取像面的信息，同时该控制模块利用该校正后取像面的信息进一步修正该装卸作业面的相对位置，使该装卸作业面可准确地对应于该待卸载的组合件及各夹具的位置；

一“装卸机构将待卸载的组合件移置于第一座体上的组合件卸载部”程序，由该控制模块驱动该机械臂上的装卸机构，将该载盘上待卸载的组合件移置于该第一座体上一预设的组合件卸载部；

一“遮盖卸载机构移置回收该遮盖”步骤，由该控制模块驱动该遮盖卸载机构的该遮盖移置组件接近该第一座体的组合件卸载部上方，并将该待卸载的组合件最上层的遮盖移至于该遮盖回置座上；

一“晶圆卸载机构移置回收该晶圆”步骤，由该控制模块驱动该晶圆卸载机构带动该晶圆移置组件的该晶圆托架，将该晶圆移置于该晶圆回置座上；

一“晶圆环卸载机构移置回收该晶圆环”步骤，由该控制模块驱动该晶圆环卸载机构的该晶圆环移置组件接近该第一座体的组合件卸载部上方，并将该晶圆环移至该晶圆环回置座上。

14.如权利要求13所述的预治式晶圆载盘的卸载方法，其特征在于：该“装卸机构校正装卸作业面”程序，具有：

一“机械臂带动装卸机构以预设装卸基准值接近载盘，并以测距元件测量与一待移置位置的待卸载的组合件周侧的距离”步骤，由该控制模块驱动该机械臂上的装卸机构，以预设装卸基准值的方向及角度移至该载盘上的待移置位置；并利用各测距元件侦测至该待移置位置上待卸载的组合件周侧的距离；

一“控制模块经由机械臂调整装卸机构位置，使各测距元件的测量距离为等长，以校正其装卸作业面的倾斜角度”步骤，由该控制模块驱动该机械臂上的装卸机构调整位置，使各测距元件侦测至该待卸载的组合件周侧的距离为等长，以确保该装卸机构的装卸作业面正向且平行地对应该待卸载的组合件，以校正该装卸机构的装卸作业面的倾斜角度；且该控制模块储存该校正后装卸作业面的信息；

该“影像攫取组件检视载盘上待卸载的组合件的影像，并校正取像面”程序，具有：

一“机械臂带动影像攫取组件以相同于该校正后装卸作业面的倾斜角度接近载盘，并取得该待卸载的组合件及各夹具的位置影像”步骤，由该控制模块驱动该机械臂上的影像攫取组件，以相同于该校正后装卸作业面的方向及倾斜角度移至该待移置位置上方，利用该影像攫取组件取得该待卸载的组合件周边的影像，以确认该待卸载的组合件及各夹具的位置；

一“控制模块经由机械臂调整影像攫取组件位置，使其正确对应该待卸载的组合件，以校正其取像面的位置，且利用该校正后取像面的信息修正该装卸作业面，使其正向且准确对应该待卸载的组合件”步骤，由该控制模块驱动该机械臂上的影像攫取组件调整位置，使该影像攫取组件的取像面保持正确地对应该待卸载的组合件及各夹具，以校正该影像攫取组件的取像面的位置；且该控制模块储存该校正后取像面的信息，并可计算出该装卸机构的修正位置信息，以便于再经由该机械臂带动该装卸机构移至位于正向准确且平齐地对应该待卸载的组合件的位置。

15.如权利要求13所述的预治式晶圆载盘的卸载方法，其特征在于：该“装卸机构将待卸载的组合件移置于第一座体上的组合件卸载部”程序，具有：

一“装卸机构解锁各夹具”步骤，先由该控制模块驱动该机械臂上的装卸机构移至该待卸载的组合件上方，利用各夹具操作组件松开各夹具；

一“装卸机构将待卸载的组合件移置于第一座体上的组合件卸载部”步骤，由该控制模块驱动该机械臂上的装卸机构以该夹持组件夹持该待卸载的组合件，将该待卸载的组合件移至该第一座体上的一组合件卸载部。

16.一种预治式晶圆载盘的卸载方法，应用如权利要求9所述的预治式晶圆载盘的卸载装置，其特征在于，包括：

一“载盘移至一移置作业定位”步骤，是在一载盘上设置由复数夹具固定的组合件，并使该载盘移置于一预设的移置作业定位；

一“装卸机构校正装卸作业面”程序，由该控制模块驱动该机械臂上的装卸机构调整位置，使各测距元件测量该载盘上一待移置位置的待卸载的组合件周侧的距离为等长，该装卸机构得以一预设的装卸作业面正向且平行对应该待卸载的组合件，以校正该装卸机构的装卸作业面的倾斜角度，并由该控制模块储存该校正后装卸作业面的信息；

一“影像攫取组件检视载盘上待卸载的组合件的影像，并校正取像面”程序，由该控制模块驱动该机械臂上的影像攫取组件，依前述校正后装卸作业面的倾斜角度及方向检视该待卸载的组合件及各夹具的影像，并调整该影像攫取组件以一预设的取像面正确对应于该待卸载的组合件及各夹具的位置，以校正该影像攫取组件的取像面的位置，且由该控制模块储存该校正后取像面的信息，同时该控制模块利用该校正后取像面的信息进一步修正该装卸作业面的相对位置，使该装卸作业面可准确地对应于该待卸载的组合件及各夹具的位置；

一“装卸机构将待卸载的组合件移置于第一座体上的组合件卸载部”程序，由该控制模块驱动该机械臂上的装卸机构，将该载盘上待卸载的组合件移置于该第一座体上一预设的组合件卸载部；

一“遮盖卸载机构移置回收该遮盖”步骤，由该控制模块驱动该遮盖卸载机构的该遮盖移置组件接近该第一座体的组合件卸载部上方，并将该待卸载的组合件最上层的遮盖移至于该遮盖回置座上；

一“晶圆卸载机构移置回收该晶圆”步骤，由该控制模块驱动该晶圆卸载机构带动该晶圆移置组件的该晶圆托架，将该晶圆移置于该晶圆回置座上；

一“晶圆环卸载机构移置回收该晶圆环”步骤，由该控制模块驱动该晶圆环卸载机构的该晶圆环移置组件接近该第一座体的组合件卸载部上方，并将该晶圆环移至该晶圆环回置座上。

17.如权利要求16所述的预治式晶圆载盘的卸载方法，其特征在于：该“装卸机构将待卸载的组合件移置于第一座体上的组合件卸载部”程序，具有：

一“装卸机构解锁各夹具”步骤，先由该控制模块驱动该机械臂上的装卸机构移至该待卸载的组合件上方，利用各夹具操作组件松开各夹具；

一“装卸机构将待卸载的组合件移置于第一座体上的组合件卸载部”步骤，由该控制模块驱动该机械臂上的装卸机构以该夹持组件夹持该待卸载的组合件，将该待卸载的组合件移至该第一座体上的一组合件卸载部。

18.如权利要求17所述的预治式晶圆载盘的卸载方法，其特征在于：该“装卸机构将待卸载的组合件移置于第一座体上的组合件卸载部”步骤之后还设有一“装卸机构脱离待卸载的组合件，且载盘转动”步骤，系使各夹持组件松脱该待卸载的组合件，并由该控制模块驱动该枢转组件带动该载盘枢转，使该已移出组合件的部位枢转移动至一旁侧位置，且另一旁侧的组合件移至该待移置位置，形成另一待卸载的组合件。

19.如权利要求16所述的预治式晶圆载盘的卸载方法，其特征在于：该“载盘移至一移置作业定位”步骤中，该载盘系置于第二位移机构中远离该第一位移机构的一端的第二座体上，再由该控制模块驱动该第二位移机构的该第二座体带动该载盘移至接近该第一位移机构的一移置作业定位。

20.如权利要求16所述的预治式晶圆载盘的卸载方法，其特征在于：该“晶圆卸载机构移置回收该晶圆”步骤中，在该晶圆托架移置该晶圆之前，由该控制模块驱动该第一位移机构的该承托座升降组件带动该承托座承托该组合件卸载部内的晶圆上升，利用各吸气孔吸气，以吸附固定该晶圆，并使该承托座的凹槽道对外显露，以便于该控制模块驱动该晶圆卸载机构的晶圆移置组件以该晶圆托架伸入该承托座的凹槽道中；然后该晶圆托架的各抽气孔吸附该晶圆，且各吸气孔停止吸气，该承托座升降组件带动该承托座下降，使该晶圆受该晶圆托架承托并移置。

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