CN115518632A - 五氟一氯乙烷制备六氟乙烷的工艺及其所用的催化剂 - Google Patents
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Abstract
本发明属于氟化合物技术领域,具体涉及五氟一氯乙烷制备六氟乙烷的工艺及其所用的催化剂。所述五氟一氯乙烷制备六氟乙烷的工艺所用的催化剂,化学式为Cr0.9Li0.1O3、Cr0.9Na0.1O3、Cr0.9K0.1O3或Cr0.9Cs0.1O3;是以Cr3+的硝酸盐和改性金属离子的硝酸盐作为前驱体,经沉淀、干燥、预处理、焙烧得到;改性金属离子为Li+、Na+、K+、Cs+中的一种。本发明采用改性金属离子对Cr2O3催化剂进行体相改性,大大增加了催化剂的催化性能;以五氟一氯乙烷为原料,采用上述催化剂,并采用HF作为稀释气体制备六氟乙烷,可以提高反应产物的选择性,延长催化剂的使用寿命。
Description
技术领域
本发明属于氟化合物技术领域,具体涉及五氟一氯乙烷制备六氟乙烷的工艺及其所用的催化剂。
背景技术
氟氯烷烃(CFCs),一般具有较低的臭氧消耗能力(ODP值),但是却具有较高的温室效应值(GWP值),常见的CFCs在大气中可以存在很长时间,对全球气候变暖具有比较显著的影响。随着现代科技的进步,CFCs的排放量也逐年增加,五氟一氯乙烷(CFC-115)作为五氟乙烷(HFC-125)和其它一些氟化学反应的副产物,在工业上的处理方式基本为焚烧,因此,需要进一步改善CFC-115的处理,使其更加清洁,高效。
六氟乙烷(FC-116)是一种全氟烷烃,在很多领域得到广泛的应用,例如:FC-116可以作为制冷剂R508B的原料,也可以用于芯片制造的电子刻蚀过程。由于CFC-115与FC-116在组成上只有很微小的差别,因此,需要一种高效稳定的工艺,将CFC-115的Cl取代,制备成全氟乙烷。
目前,FC-116的主要制备工艺如下:(1)通过C+F2在高温下发生直接氟化,该反应的主要产物为CF4,FC-116作为一种副产物生成,其含量达到20%左右;(2)乙烷、乙烯等烃类直接氟化法,将乙烷、乙烯等通过F2直接氟化,生成FC-116;(3)电化学氟化法,将乙烷、乙烯等在电解槽中进行氟化获得FC-116;(4)通过四氟乙烯与CO2的热分解来制备FC-116。
上述制备工艺都是运用直接氟化、电化学氟化以及热分解等没有催化手段的方式进行,因此,对于反应的速度不能进行直接或者间接控制,而且大多在反应过程中对于产物的选择性、收率没有精确控制。
针对以上这种情况,陆续有报道通过催化技术来实现FC-116的生产,例如专利CN1331066A中通过对C2HxFy等一系列HFC氟化物在催化剂CoF3的催化作用下,实现了FC-116的生成,并且实现了连续生产,该方法具有原料更安全、腐蚀性更小等优点。专利CN110590493A中报道了一种CoO-NiO-Cr2O3催化剂,该催化剂在高温高压下催化CFC-115、HFC-125以及HF,通过HF的氟化作用,生成FC-116,并且FC-116的选择性达到99%。
但是,现有的FC-116制备工艺均存在一定的局限性,在没有催化剂条件下进行的反应存在能量消耗高、反应不可控等缺点;而在一些有催化剂存在的反应中,也存在反应温度高、反应压力大等缺点,这就增加了生产成本和安全隐患。
因此,如何运用一种低价的原料,在低温、常压下通过催化剂的催化作用生成附加价值更高的FC-116,是我们亟待解决的问题。
发明内容
本发明要解决的技术问题是:提供一种五氟一氯乙烷制备六氟乙烷的工艺所用的催化剂,采用Li+、Na+、K+、Cs+对Cr2O3催化剂进行体相改性,大大增加了催化剂的催化性能;本发明还提供五氟一氯乙烷制备六氟乙烷的工艺,采用上述催化剂,并采用HF作为稀释气体,提高了反应产物的选择性,同时延长了催化剂的使用寿命。
本发明所述的五氟一氯乙烷(CFC-115)制备六氟乙烷(FC-116)的工艺所用的催化剂,化学式为Cr0.9Li0.1O3、Cr0.9Na0.1O3、Cr0.9K0.1O3或Cr0.9Cs0.1O3;是以Cr3+的硝酸盐和改性金属离子的硝酸盐作为前驱体,经沉淀、干燥、预处理、焙烧得到;所述改性金属离子为Li+、Na+、K+、Cs+中的一种。
所述催化剂的制备方法,包括以下步骤:
(1)将改性金属离子的硝酸盐与Cr3+的硝酸盐溶于水中,加入络合剂进行沉淀,然后进行干燥,得到催化剂前驱体;
(2)将催化剂前驱体先在100-300℃下预处理2-20min,再在400-800℃下焙烧3-6h,得到目标催化剂。
步骤(1)中,改性金属离子与Cr3+的摩尔比为1:9。
步骤(1)中,改性金属离子的硝酸盐与Cr3+的硝酸盐溶于水后,改性金属离子的浓度为0.05-0.2mol/L,Cr3+的浓度为0.45-1.8mol/L。
步骤(1)中,所述络合剂优选为柠檬酸,络合剂与金属离子(包括改性金属离子和Cr3+)的摩尔比为1:1-10:1;优选为2.5:1。
步骤(1)中,干燥时先在60-100℃下蒸干,再在80-200℃下干燥至无水分。优选的,干燥时先在80℃下蒸干,再在110℃下干燥至无水分,可以得到质量最佳的前驱体。
步骤(2)中,预处理温度优选为220℃。对催化剂前驱体在较低温度下进行预处理,此时柠檬酸不会发生燃烧,经预处理后,催化剂在焙烧时不会出现急剧的蓬松扩散,便于催化剂的收集,并且减少了原料的浪费。
步骤(2)中,焙烧温度优选为550℃,焙烧时间优选为4h,升温速率优选为5℃/min。焙烧时间太短,不利于催化剂的结构形成,对催化剂活性影响较大;焙烧时间太长,则会影响催化剂的物理化学性质,使得其表面的酸中心数量减少,并且使得催化剂的比表面积也减小,会降低催化剂的活性。
步骤(2)中,焙烧时气氛为空气。
上述制备方法制备得到的目标催化剂化学式为Cr0.9Li0.1O3、Cr0.9Na0.1O3、Cr0.9K0.1O3、Cr0.9Cs0.1O3。
本发明中,Cr2O3中的Cr为三价,而Cr3+只遵循6配位,其离子半径为6.2nm,Li+、Na+、K+、Cs+要进入Cr2O3的体相,需要与Cr3+的配位数相等,其在6配位的条件下,Li+、Na+、K+、Cs+离子半径分别为7.6nm、10.2nm、13.8nm、16.7nm。
本发明所述的五氟一氯乙烷制备六氟乙烷的工艺,以上述制备方法制备得到的目标催化剂Cr0.9Li0.1O3、Cr0.9Na0.1O3、Cr0.9K0.1O3、Cr0.9Cs0.1O3中的一种或多种作为催化剂,包括以下步骤:
在反应器中装填催化剂,N2吹扫、干燥,将反应器温度升至250-350℃,通入五氟一氯乙烷、F2、HF进行反应,得到六氟乙烷。
上述工艺中,催化剂在装填前进行压片处理,压片范围为10-80目,优选为10-20目。将催化剂进行压片是为了使得反应气体可以顺利通过反应器,不至于堵塞反应器,而且颗粒状催化剂能够在反应器中稳定存在,不会被反应器吹扫带离反应体系。
在一种实施方案中,N2吹扫、干燥时,将反应器温度升至120℃,持续48h,利用N2将蒸干的水分带离反应器。
上述工艺中,反应温度优选为250℃。在反应体系中由于F2的存在,因此,不需要高温来进行反应,这也是该工艺优于其它CFC-115转FC-116工艺的优点,反应能够维持在较低温度下进行,减少能量的损耗。现有技术中一般都是使用HF作为氟化试剂,但在低温下HF的氟化效果远远不如F2的氟化效果,本发明在此处选择加入HF,主要是因为F2的引入会使整个体系进行放热,如果F2浓度太高会直接影响反应的安全稳定性能,因此需要用其它物料对其进行稀释,同时考虑到N2、Ar等惰性气体的后续分离难度较大,故本发明引入HF对F2进行稀释。HF可以直接经过尾部的水吸收将其除去,既方便又高效,又节约成本。
上述工艺中,调节F2与HF的配比来控制产物的收率,优选的,五氟一氯乙烷、HF、F2的摩尔比为50:10:40-50:30:20。
上述工艺中,五氟一氯乙烷、F2、HF的体积空速为200-300h-1。
本发明优选Cr2O3作为体相催化剂,加入不同价态的金属进行体相改性,使得催化剂的催化活性更高;同时采用F2作为主要氟化试剂,HF作为稀释气,将CFC-115转化成FC-116,该合成工艺的反应温度较低且在常压下进行,大大减少了能量消耗,且反应安全性更好,同时通过控制F2与HF的配比,可以实现FC-116的高效产出。
与现有技术相比,本发明的有益效果如下:
(1)本发明采用Li+、Na+、K+、Cs+对Cr2O3催化剂进行体相改性,改性离子进入到Cr2O3的晶格中,使催化剂结构中出现缺位,缺位的存在会影响整个催化体系的电荷平衡,从而影响电荷的移动,化学反应的本质就是电荷的移动,因此促进了反应的进行,大大增加了催化剂的催化性能;
(2)本发明采用HF作为稀释气体,稀释气体的加入可以调节整个反应物料的浓度,提高反应产物的选择性,延长催化剂的使用寿命。
具体实施方式
下面结合实施例对本发明作进一步说明。同时下述实施例中所述实验方法,如无特殊说明,均为常规方法;所述试剂和材料,如无特殊说明,均可从商业途径获得。
实施例1
按照下述方法制备催化剂Cr0.9Li0.1O3:
称取0.09mol的Cr(NO3)3∙9H2O,将其溶解在100ml水中,待完全溶解后加入0.01mol的LiNO3,待LiNO3完全溶解后,加入0.25mol的一水合柠檬酸,持续搅拌6h,将混合溶液转移至80℃的水浴锅中蒸干,蒸干后的样品转移至110℃烘箱中过夜干燥,将干燥后的样品转移至220℃的马弗炉中预处理2min,将预处理后的样品充分研磨后转移至马弗炉中,以升温速率5℃/min升温至550℃,在空气气氛中焙烧4h,最终得到Cr0.9Li0.1O3催化剂。
实施例2
本实施例与实施例1的不同点仅在于,将LiNO3替换为等摩尔量的NaNO3,得到Cr0.9Na0.1O3催化剂。
实施例3
本实施例与实施例1的不同点仅在于,将LiNO3替换为等摩尔量的KNO3,得到Cr0.9K0.1O3催化剂。
实施例4
本实施例与实施例1的不同点仅在于,将LiNO3替换为等摩尔量的CsNO3,得到Cr0.9Cs0.1O3催化剂。
实施例5
按照下述方法制备催化剂Cr0.9Li0.1O3:
称取0.09mol的Cr(NO3)3∙9H2O,将其溶解在50ml水中,待完全溶解后加入0.01mol的LiNO3,待LiNO3完全溶解后,加入0.1mol的一水合柠檬酸,持续搅拌6h,将混合溶液转移至60℃的水浴锅中蒸干,蒸干后的样品转移至80℃烘箱中过夜干燥,将干燥后的样品转移至100℃的马弗炉中预处理20min,将预处理后的样品充分研磨后转移至马弗炉中,以升温速率5℃/min升温至400℃,在空气气氛中焙烧6h,最终得到Cr0.9Li0.1O3催化剂。
实施例6
按照下述方法制备催化剂Cr0.9Li0.1O3:
称取0.09mol的Cr(NO3)3∙9H2O,将其溶解在200ml水中,待完全溶解后加入0.01mol的LiNO3,待LiNO3完全溶解后,加入1mol的一水合柠檬酸,持续搅拌6h,将混合溶液转移至100℃的水浴锅中蒸干,蒸干后的样品转移至200℃烘箱中过夜干燥,将干燥后的样品转移至300℃的马弗炉中预处理10min,将预处理后的样品充分研磨后转移至马弗炉中,以升温速率5℃/min升温至800℃,在空气气氛中焙烧3h,最终得到Cr0.9Li0.1O3催化剂。
以下将实施例1-4制备的催化剂用于五氟一氯乙烷(CFC-115)气相氟氯交换制备六氟乙烷(FC-116),研究工艺条件对反应的影响。
对比例1-4
取上述催化剂进行压片处理,得到粒径20目的催化剂,量取10ml压片后的催化剂,装在固定床反应器上,将反应器温度升至120℃,N2吹扫、干燥,持续48h,利用N2将蒸干的水分带离反应器,然后将反应器温度升至250℃,将CFC-115、HF、F2按摩尔比50:45:5通入反应器,并通过质量流量计调节空速,使其空速维持在200h-1,通过F2的氟化作用将CFC-115的Cl取代,生成FC-116。部分反应条件和产物组成如表1所示。
表1
从表1可以看出,CFC-115气相氟氯交换制备FC-116的反应产物主要有三种:FC-116、四氟化碳(R14)、HFC-125,其中R14是由CFC-115的裂解产生,HFC-125是由HF加氢去氯产生。
观察四种催化剂的活性可以看出,Cr0.9Li0.1O3、Cr0.9Na0.1O3、Cr0.9K0.1O3、Cr0.9Cs0.1O3催化剂的活性依次降低,这主要是由于Li+的离子半径与Cr3+的离子半径相似,因此Li+可以进入到催化剂的晶格,进而引起缺位,这就会使得催化剂的活性上升。而Na+、K+、Cs+三种离子的离子半径,均比Cr3+的离子半径大,因此很难进入到催化剂的晶格,只能停留在催化剂的表面。而且,Li+、Na+、K+、Cs+四种离子均属于碱金属离子,其碱性依次增强,Na+、K+、Cs+三种离子均是以氧化物的形式覆盖在催化剂的表面,因此会将Cr基催化剂表面的一部分酸性位点中和,且碱性越强的离子,会使催化剂表面的酸性越弱。
此外,可以发现当F2的浓度较低时,所有催化剂对于FC-116的选择性均较低,这主要是由于F2浓度太低,因此不能与CFC-115发生剧烈的氟氯交换反应,但是此时的HF却可以与CFC-115在250℃下发生较浅的加氢去氯,因此生成HFC-125。
实施例7-10
取上述催化剂进行压片处理,得到粒径10目的催化剂,量取10ml压片后的催化剂,装在固定床反应器上,将反应器温度升至120℃,N2吹扫、干燥,持续48h,利用N2将蒸干的水分带离反应器,然后将反应器温度升至250℃,将CFC-115、HF、F2按摩尔比50:30:20通入反应器,并通过质量流量计调节空速,使其空速维持在200h-1,通过F2的氟化作用将CFC-115的Cl取代,生成FC-116。部分反应条件和产物组成如表2所示。
表2
从表2可以看出,与对比例1-4相比,调整CFC-115、F2、HF的比例后,各催化剂的活性均有所上升。这主要是由于F2的浓度增大导致,F2作为强氟化试剂,在可控浓度范围内,F2的适度增加会使得催化剂的活性上升,并且会使目标产物的收率上升。在催化剂的活性方面,Cr0.9Li0.1O3依旧表现出最优的催化活性,其FC-116的收率最高,而Cr0.9Cs0.1O3依旧具有最低的催化活性,其FC-116的收率最低。
此外,催化剂对于FC-116的选择性开始大于HFC-125的选择性,这是因为F2的浓度上升后,可以发生更多的氟化反应,不管从CFC-115上面直接取代Cl生成FC-116,还是从CFC-115先加氢脱氯生成HFC-125,再由HFC-125参与氟化生成FC-116,这均与F2的浓度上升有重大关系。
实施例11-14
取上述催化剂进行压片处理,得到粒径10目的催化剂,量取10ml压片后的催化剂,装在固定床反应器上,将反应器温度升至120℃,N2吹扫、干燥,持续48h,利用N2将蒸干的水分带离反应器,然后将反应器温度升至250℃,将CFC-115、HF、F2按摩尔比50:20:30通入反应器,并通过质量流量计调节空速,使其空速维持在200h-1,通过F2的氟化作用将CFC-115的Cl取代,生成FC-116。部分反应条件、产物组成、以及催化剂稳定性如表3所示。
其中催化剂的稳定性测试是以整个反应过程中,催化剂能够维持稳定活性的时间长度为标准,若催化剂在某一时刻出现活性的突然骤降,则认为催化剂的稳定性时间截至此时间点。
表3
从表3可以看出,由于反应物料的配比的改变,CFC-115的转化率再次出现上升,而且此次上升幅度较大,这再次说明了F2的浓度对于整个催化体系的影响,其可以发现,随着F2浓度的上升,R14的含量也在发生着微弱的上涨,这是由于F2本身具有很强的断键能力,因此碳碳键也会因此而发生断裂。反观HFC-125的含量逐渐变小,这主要是因为F2含量的不断增加会使得原本就不活泼的HF更容易失去其氟化能力。
催化剂的稳定性测试结果显示,Cr0.9Li0.1O3的寿命最长,这是由其自身的结构所决定的,因为Cr0.9Li0.1O3本身具有最多的空位,这些空位在反应时能够提供更多的活性中心,促进电子的转移。而反观其它几种催化剂的寿命,均小于Cr0.9Li0.1O3的寿命,这是由于其改性金属覆盖在Cr基催化剂的表面,并没有进入其晶格,来改变催化剂的结构,因此,这些碱金属元素会覆盖原有Cr基催化剂表面的酸性位点,从而使其催化活性下降。
实施例15-18
取上述催化剂进行压片处理,得到粒径10目的催化剂,量取10ml压片后的催化剂,装在固定床反应器上,将反应器温度升至120℃,N2吹扫、干燥,持续48h,利用N2将蒸干的水分带离反应器,然后将反应器温度升至250℃,将CFC-115、HF、F2按摩尔比50:10:40通入反应器,并通过质量流量计调节空速,使其空速维持在200h-1,通过F2的氟化作用将CFC-115的Cl取代,生成FC-116。部分反应条件和产物组成如表4所示。
表4
从表4可以看出,将F2的浓度调节到40%,此时数据结果表明CFC-115的转化率再一次发生了上升,但是值得注意的是,FC-116的含量已经发生了较大程度的下降,而R14的含量开始发生了较大程度的上升,而且此时的HFC-125在整个反应体系中的含量极低。R14以及FC-116含量的变化是由F2的浓度变化所导致,F2的含量越高,则其断键能力越强,因此就会有越来越多的碳碳键被断开,因此就会出现FC-116含量下降,而R14含量上升的现象。
对比例5-8
取上述催化剂进行压片处理,得到粒径10目的催化剂,量取10ml压片后的催化剂,装在固定床反应器上,将反应器温度升至120℃,N2吹扫、干燥,持续48h,利用N2将蒸干的水分带离反应器,然后将反应器温度升至250℃,将CFC-115、F2按摩尔比50:50通入反应器,并通过质量流量计调节空速,使其空速维持在200h-1,通过F2的氟化作用将CFC-115的Cl取代,生成FC-116。部分反应条件和产物组成如表5所示。
表5
从表5可以看出,原料配比直接将HF除去,只通入CFC-115以及F2,两种物料的比例为1:1,观察实验数据可以发现,首先体系中没有H的存在,因此不会出现HFC-125,同时整个催化反应的体系的活性均在上升,但是FC-116以及R14的含量发生了反转,对于F2氟化的反应体系来说,F2的浓度不能过高,否则会使得整个反应体系的产物选择性发生变化,氟气具有极强的氧化性和氟化能力,因此不能单独使用F2作为反应物,在这其中必须加入适量的平衡气来调节整个系统的平衡,F2浓度过高就会打破这种平衡。
通过对比例1-8和实施例7-18,可以发现该系列催化剂的规律,F2作为氟化试剂时,其含量必须维持在一定的水平,单纯使用F2,必须掺入平衡气,且平衡气必须是容易除去的,与反应物料不反应或者发生微小的反应,不能占据反应的主导地位。由于调节HF和F2的比例可以改变反应产物的选择性,当整个反应体系中的平衡气HF含量较高时,其更倾向于生成HFC-125,但是总的CFC-115的转化率较低,也就是说HF对于CFC-115的常压氟化并不是一种良好的氟化试剂,需要加入F2。
实施例19-22
取上述催化剂进行压片处理,得到粒径10目的催化剂,量取10ml压片后的催化剂,装在固定床反应器上,将反应器温度升至120℃,N2吹扫、干燥,持续48h,利用N2将蒸干的水分带离反应器,然后将反应器温度升至350℃,将CFC-115、HF、F2按摩尔比50:20:30通入反应器,并通过质量流量计调节空速,使其空速维持在200h-1,通过F2的氟化作用将CFC-115的Cl取代,生成FC-116。部分反应条件和产物组成如表6所示。
表6
从表6可以看出,当反应温度提高以后,催化剂的活性出现了上升,这是符合热力学定律的。但是也可以发现,FC-116的含量开始出现下降,而且R14的含量出现上升,这是由于反应温度上升,在F2以及催化剂存在的条件下,FC-116的碳碳键更容易断裂,因此会生成更多的R14。
实施例23-26
取上述催化剂进行压片处理,得到粒径10目的催化剂,量取10ml压片后的催化剂,装在固定床反应器上,将反应器温度升至120℃,N2吹扫、干燥,持续48h,利用N2将蒸干的水分带离反应器,然后将反应器温度升至250℃,将CFC-115、HF、F2按摩尔比50:20:30通入反应器,并通过质量流量计调节空速,使其空速维持在300h-1,通过F2的氟化作用将CFC-115的Cl取代,生成FC-116。部分反应条件和产物组成如表7所示。
表7
从表7可以看出,反应条件将空速改为300h-1,针对一般的化学反应,在其处理物料的能力之内,增大空速其催化剂活性基本不会发生改变,若空速超过其处理物料的能力,就会导致催化剂的活性随着空速的上升而下降。通过表7的反应数据可以看出空速增大,FC-116的收率降低,这说明此时已经超过了催化剂能够处理最大物料的程度。因此,针对此系列催化剂,并不需要在高空速下进行反应。
Claims (10)
1.一种五氟一氯乙烷制备六氟乙烷的工艺所用的催化剂,其特征在于:化学式为Cr0.9Li0.1O3、Cr0.9Na0.1O3、Cr0.9K0.1O3或Cr0.9Cs0.1O3;是以Cr3+的硝酸盐和改性金属离子的硝酸盐作为前驱体,经沉淀、干燥、预处理、焙烧得到;所述改性金属离子为Li+、Na+、K+、Cs+中的一种。
2.根据权利要求1所述的五氟一氯乙烷制备六氟乙烷的工艺所用的催化剂,其特征在于:制备方法包括以下步骤:
(1)将改性金属离子的硝酸盐与Cr3+的硝酸盐溶于水中,加入络合剂进行沉淀,然后进行干燥,得到催化剂前驱体;
(2)将催化剂前驱体先在100-300℃下预处理2-20min,再在400-800℃下焙烧3-6h,得到目标催化剂。
3.根据权利要求2所述的五氟一氯乙烷制备六氟乙烷的工艺所用的催化剂,其特征在于:步骤(1)中,改性金属离子与Cr3+的摩尔比为1:9。
4.根据权利要求2所述的五氟一氯乙烷制备六氟乙烷的工艺所用的催化剂,其特征在于:步骤(1)中,改性金属离子的硝酸盐与Cr3+的硝酸盐溶于水后,改性金属离子的浓度为0.05-0.2mol/L,Cr3+的浓度为0.45-1.8mol/L。
5.根据权利要求2所述的五氟一氯乙烷制备六氟乙烷的工艺所用的催化剂,其特征在于:步骤(1)中,所述络合剂为柠檬酸,络合剂与金属离子的摩尔比为1:1-10:1。
6.根据权利要求2所述的五氟一氯乙烷制备六氟乙烷的工艺所用的催化剂,其特征在于:步骤(1)中,干燥时先在60-100℃下蒸干,再在80-200℃下干燥至无水分。
7.根据权利要求2所述的五氟一氯乙烷制备六氟乙烷的工艺所用的催化剂,其特征在于:步骤(2)中,焙烧时气氛为空气。
8.一种五氟一氯乙烷制备六氟乙烷的工艺,其特征在于:以权利要求1-7任一项所述的催化剂Cr0.9Li0.1O3、Cr0.9Na0.1O3、Cr0.9K0.1O3、Cr0.9Cs0.1O3中的一种或多种作为催化剂,包括以下步骤:
在反应器中装填催化剂,N2吹扫、干燥,将反应器温度升至250-350℃,通入五氟一氯乙烷、F2、HF进行反应,得到六氟乙烷。
9.根据权利要求8所述的五氟一氯乙烷制备六氟乙烷的工艺,其特征在于:五氟一氯乙烷、HF、F2的摩尔比为50:10:40-50:30:20。
10.根据权利要求8所述的五氟一氯乙烷制备六氟乙烷的工艺,其特征在于:五氟一氯乙烷、F2、HF的体积空速为200-300h-1。
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