CN115491758B - 保温结构及晶体生长炉 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种保温结构及晶体生长炉,晶体生长炉包括坩埚及籽晶轴,籽晶轴能够相对于坩埚沿水平预设方向移动。保温结构包括保温桶及第一保温组件,保温桶具有用于容纳坩埚的保温腔,保温桶的顶壁开设有用于穿设籽晶轴的第一开口;第一保温组件可活动地盖合于第一开口,第一保温组件设有用于穿设籽晶轴的第一通孔,第一保温组件能够在籽晶轴水平移动的过程中始终将第一开口密封,以使得保温腔密封。籽晶轴相对于坩埚沿水平预设方向移动时,籽晶轴能够带动第一保温组件与籽晶轴同步活动,在第一保温组件相对于保温桶活动的过程中,第一保温组件能够始终将第一开口密封,减少籽晶轴的移动对保温桶及炉室内的热场的影响。
Description
技术领域
本发明涉及晶体生长技术领域,特别是一种保温结构及晶体生长炉。
背景技术
目前,单晶蓝宝石越来越广泛地应用于光电产业,各生产厂家通常采用泡生法来生产单晶蓝宝石,而且,通常是将籽晶置于坩埚的轴线位置进行引晶。现有的研究表明,将籽晶置于偏离坩埚轴线的位置进行偏心引晶,生长出来的晶体的质量更佳。
采用上述的偏心引晶的方式来生产不同规格的晶体时,籽晶偏离坩埚轴线的距离不同。为此,有必要使晶体生长炉的籽晶轴能够进行水平移动,以调整籽晶偏离坩埚轴线的距离。然而,籽晶轴的水平移动会导致炉室内的热气排出或外界冷空气进入炉室内,破坏炉室内的热场,影响晶体的生长质量。
发明内容
基于此,有必要针对上述问题,提供一种保温结构及晶体生长炉,该保温结构能够减少籽晶轴的移动对炉室内的热场的影响,保证晶体的生长质量。
本发明首先提供一种保温结构,用于晶体生长炉,所述晶体生长炉包括坩埚及籽晶轴,所述籽晶轴能够相对于所述坩埚沿水平预设方向移动,所述保温结构包括:保温桶,具有用于容纳所述坩埚的保温腔,所述保温桶的顶壁开设有用于穿设所述籽晶轴的第一开口;以及第一保温组件,可活动地盖合于所述第一开口,所述第一保温组件设有用于穿设所述籽晶轴的第一通孔,所述第一保温组件还包括保温件,所述保温件能够在所述籽晶轴水平移动的过程中随所述籽晶轴同步移动并始终盖合于所述第一开口,以使得所述保温腔密封。
上述保温结构中,籽晶轴能够通过第一通孔伸入保温腔内,籽晶轴相对于坩埚沿水平预设方向移动时,籽晶轴能够带动第一保温组件的保温件随籽晶轴同步移动,并且,在保温件相对于保温桶移动的过程中,保温件能够始终将第一开口密封,从而能够保证保温桶始终处于密封状态,避免籽晶轴相对于坩埚的水平移动而导致保温桶内的热气通过第一开口排出或外界冷空气通过第一开口进入保温桶内,从而能够减少籽晶轴的移动对保温桶及炉室内的热场的影响,保证晶体的生长质量。
在其中一个实施例中,所述第一保温组件包括两个所述保温件,沿所述水平预设方向,两个所述保温件相对设置于所述籽晶轴的两侧,以在所述籽晶轴移动时,两个所述保温件能够随所述籽晶轴在所述水平预设方向上移动相同的距离。
如此设置,只要两个保温件在籽晶轴移动时沿水平预设方向与籽晶轴移动相同的距离就能够实现两个保温件与籽晶轴之间始终处于密封状态。
在其中一个实施例中,沿所述水平预设方向,所述第一开口的内壁包括两个相对设置的倾斜段,所述倾斜段自所述保温腔向外渐扩设置;两个所述保温件能够分别沿两个所述倾斜段滑动,以在所述籽晶轴将其中一个所述保温件沿所述倾斜段向上推顶时,另一个所述保温件能够在重力的作用下沿所述倾斜段向下滑动。
如此设置,在保温件的重力的作用下,两个保温件能够始终与第一开口的内壁及籽晶轴的外壁接触,以密封第一开口。
在其中一个实施例中,所述倾斜段与水平面之间的倾角θ满足,0.29<tanθ<1/0.29。
如此设置,在籽晶轴移动过程中,能够轻松将其中一个保温件向上推顶,并且还能够保证另一个保温件及时沿倾斜段向下滑动。
在其中一个实施例中,所述保温件相对远离所述籽晶轴的一端包括能够与所述倾斜段贴合的倾斜面。
如此设置,倾斜面能够增大保温件与倾斜段之间的接触面积,提高密封效果。
在其中一个实施例中,所述倾斜段及所述倾斜面中的一者开设有沿所述倾斜段的倾斜方向延伸的滑槽,另一者设有能够与所述滑槽滑动配合的滑块。
如此设置,滑槽与滑块滑动配合能够对保温件起到导向作用,以限制保温件的运动路径,保证保温件只能够沿着滑槽的延伸方向滑动。
在其中一个实施例中,所述保温件还设有半圆形槽,所述半圆形槽的直径等于所述籽晶轴的直径,两个所述保温件的所述半圆形槽的内壁围设形成所述第一通孔。
如此设置,半圆形槽的内壁能够始终与籽晶轴的外壁紧密贴合,保证保温件与籽晶轴之间的密封效果。
在其中一个实施例中,所述保温桶的底壁开设有用于穿设所述坩埚的轴的第二开口,所述保温结构还包括可活动地盖合于所述第二开口的第二保温组件,所述第二保温组件设有用于穿设所述坩埚的轴的第二通孔。
如此设置,第二保温组件能够始终将第二开口密封,从而能够保证保温桶始终处于密封状态,避免坩埚的轴水平移动而导致保温桶内的热气通过第二开口排出或外界冷空气通过第二开口进入保温桶内。
在其中一个实施例中,所述保温桶及/或所述第一保温组件设置为碳毡件。
如此设置,碳毡件具有耐高温、耐腐蚀及不熔融等特性,能够起到较好的保温效果,减少热量的散失;并且,碳毡件的体积密度小、柔软且可剪裁,能够提高生产效率。
本发明还提供一种晶体生长炉,包括:坩埚;籽晶轴,能够相对于所述坩埚沿所述水平预设方向移动;以及如上述的保温结构,所述坩埚设置于所述保温腔内,所述籽晶轴通过所述第一通孔伸入所述保温腔。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例或传统技术中的技术方案,下面将对实施例或传统技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅是本申请的一些实施例,对于本领域普通技术人员而言,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明一种实施方式的保温结构的剖视图;
图2为本发明提供的图1中A处的放大结构示意图;
图3为本发明提供的图1中籽晶相对于坩埚沿水平方向移动后的剖视图;
图4为本发明提供的图3中B处的放大结构示意图;
图5为本发明提供的图1中第一保温组件的立体结构示意图;
图6为本发明提供的图5中保温件的立体结构示意图。
附图标记:1、保温桶;11、保温腔;12、第一开口;121、倾斜段;13、第二开口;14、桶体;15、盖体;2、第一保温组件;21、第一通孔;22、保温件;221、倾斜面;222、半圆形槽;223、侧面;3、滑槽;4、滑块;5、第二保温组件;51、第二通孔;6、坩埚;7、籽晶轴。
具体实施方式
为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施,本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进,因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。
需要说明的是,当组件被称为“固定于”或“设置于”另一个组件,它可以直接在另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“连接”另一个组件,它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中组件。本申请的说明书所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的,并不表示是唯一的实施方式。
此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中,“多个”的含义是至少两个,例如两个,三个等,除非另有明确具体的限定。
在本申请中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征“上”、“下”可以是第一特征直接和第二特征接触,或第一特征和第二特征间接地通过中间媒介接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方,或仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方,或仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
除非另有定义,本申请的说明书所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的,不是旨在于限制本申请。本申请的说明书所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
现有的采用偏心引晶的方式来生产不同规格的晶体时,由于籽晶偏离坩埚轴线的距离不同,一般会通过水平移动晶体生长炉的籽晶轴来调整籽晶偏离坩埚轴线的距离。然而,籽晶轴的水平移动会导致炉室内的热气排出或外界冷空气进入炉室内,破坏炉室内的热场,影响晶体的生长质量。
为了解决上述问题,如图1至图6所示,本发明首先提供一种保温结构,该保温结构用于晶体生长炉,晶体生长炉包括坩埚6及籽晶轴7,籽晶轴7能够相对于坩埚6沿水平预设方向移动(即如图1及图3所示的±X轴方向)。该保温结构能够减少籽晶轴7的移动对炉室内的热场的影响,保证晶体的生长质量。
其中,籽晶轴7可以设置为硬轴或软轴。
如图1所示,具体地,保温结构包括保温桶1及第一保温组件2,其中:保温桶1具有用于容纳坩埚6的保温腔11,保温桶1的顶壁开设有用于穿设籽晶轴7的第一开口12;第一保温组件2可活动地盖合于第一开口12,第一保温组件2设有用于穿设籽晶轴7的第一通孔21,第一保温组件2还包括保温件22,保温件22能够在籽晶轴7水平移动的过程中随籽晶轴7同步移动并始终盖合于第一开口12,以使得保温腔11密封。
如前所述,现有的晶体生长炉通过水平移动籽晶轴来调整籽晶偏离坩埚轴线的距离时,会导致炉室内的热气排出或外界冷空气进入炉室内,破坏炉室内的热场,影响晶体的生长质量。而本发明实施例提供的保温结构中,籽晶轴7能够通过第一通孔21伸入保温腔11内,控制籽晶轴7相对于坩埚6沿±X轴方向移动以调整籽晶偏离坩埚6轴线的距离时,籽晶轴7能够带动保温件22随籽晶轴7同步活动,并且,在保温件22相对于保温桶1活动的过程中,保温件22能够始终将第一开口12密封,从而能够保证保温桶1始终处于密封状态,避免籽晶轴7相对于坩埚6的水平移动而导致保温桶1内的热气通过第一开口12排出或外界冷空气通过第一开口12进入保温桶1内,从而能够减少籽晶轴7的移动对保温桶1及炉室内的热场的影响,保证晶体的生长质量。
如图1所示,在图示的实施方式中,保温桶1包括可拆卸连接的桶体14及盖体15,桶体14及盖体15围设形成保温腔11。当需要拆装坩埚6或取出生长完成的晶体时,能够将盖体15打开,以便于用户操作,操作完成后再将盖体15盖合于桶体14上,两者之间密封连接,从而能够保证该保温腔11的密封性。其中,盖体15包括顶壁,第一开口12开设于盖体15的顶壁的中心位置,桶体14包括底壁。当然,在其他实施方式中,也可以在桶体14的侧壁开设开口,并在开口处设置能够开合的门体,当需要拆装坩埚6或取出生长完成的晶体时,将门体打开,并在操作完成后再将门体关闭,以保证该保温腔11的密封性。
如图1至图2所示,第一保温组件2包括两个保温件22,沿±X轴方向,两个保温件22相对设置于籽晶轴7的两侧,以在籽晶轴7移动时,两个保温件22能够随籽晶轴7在±X轴方向上移动相同的距离。定义+X轴方向为籽晶轴7的右侧,-X轴方向为籽晶轴7的左侧,即两个保温件22相对设置于籽晶轴7的左右两侧。当籽晶轴7相对于坩埚6沿±X轴方向移动时,左右两个保温件22均能够随籽晶轴7沿±X轴方向移动相同的距离,这样,能够避免籽晶轴7移动时增大籽晶轴7与左右两个保温件22之间的间距,避免间距增大而导致保温桶1内的热气排出或外界冷空气进入保温桶1内,保证两个保温件22与籽晶轴7之间始终处于密封状态,从而保证保温桶1内的热场保持不变。可以理解,在实际应用中,籽晶轴7相对于坩埚6的移动方向不限于图示的±X轴方向或左右方向,只要是沿水平方向移动即可,在此不做具体限制。
如图2及图4所示,在图示的实施方式中,沿±X轴方向,第一开口12的内壁包括两个相对设置的倾斜段121,倾斜段121自保温腔11向外渐扩设置,左侧的倾斜段121向左上方倾斜设置,右侧的倾斜段121向右上方倾斜设置;两个保温件22能够分别沿两个倾斜段121滑动,即左侧的保温件22能够沿左侧的倾斜段121滑动,右侧的保温件22能够沿右侧的倾斜段121滑动。当籽晶轴7沿+X方向移动时,即籽晶轴7自图4所示位置移动至图2所示位置时,籽晶轴7能够将右侧的保温件22沿右侧倾斜段121向右上方推顶,此时,左侧的保温件22能够在重力的作用下沿左侧的倾斜段121向右下方滑动。相同地,当籽晶轴7沿-X方向移动时,即籽晶轴7自图2所示位置移动至图4所示位置时,籽晶轴7能够将左侧的保温件22沿左侧倾斜段121向左上方推顶,此时,右侧的保温件22能够在重力的作用下沿右侧的倾斜段121向左下方滑动。在保温件22的重力的作用下,两个保温件22能够始终与第一开口12的内壁及籽晶轴7的外壁接触,以密封第一开口12。
在水平方向上,第一开口12沿垂直于X轴方向的宽度尺寸等于两个保温件22沿垂直于X轴方向的宽度尺寸。其中,保温件22包括两个沿垂直于X轴方向相对设置的侧面223,保温件22的宽度尺寸即为如图6所示两个侧面223之间的间距a。这样,保温件22的两个侧面223在滑动过程中就能够始终与第一开口12对应的两侧内壁紧密贴合,保证保温件22与第一开口12的内壁之间的密封效果。并且,第一开口12沿垂直于X轴方向的宽度尺寸需要等于或大于籽晶轴7的直径,以保证籽晶轴7能够在第一开口12内活动。当第一开口12沿垂直于X轴方向的宽度尺寸等于籽晶轴7的直径时,该第一开口12的开口面积最小。
如图2及图5所示,保温件22相对远离籽晶轴7的一端包括能够与倾斜段121贴合的倾斜面221。倾斜面221能够增大保温件22与倾斜段121之间的接触面积,提高密封效果。在保温件22的重力的作用下,左侧保温件22的倾斜面221能够始终与左侧倾斜段121紧密贴合,右侧保温件22的倾斜面221也能够始终与右侧倾斜段121紧密贴合,并且两个保温件22均能够始终与籽晶轴7的外周壁贴合,以保证保温件22与第一开口12的内壁之间的密封效果。
在一种实施方式中,保温桶1及第一保温组件2均设置为碳毡件。碳毡件具有耐高温、耐腐蚀及不熔融等特性,能够起到较好的保温效果,减少热量的散失。并且,碳毡件的体积密度小、柔软且可剪裁,从而还能够提高保温桶1及第一保温组件2的生产效率。当然,在其他实施方式中,保温桶1及第一保温组件2也可以设置为其他耐高温且具有保温功能的材质,在此不做具体限制。
如图2所示,由于碳毡件之间的动摩擦系数约为0.29,静摩擦系数约为0.22。因此,倾斜段121与水平面之间的倾角θ满足,0.29<tanθ<1/0.29。当tanθ<1/0.29时,θ<arctan1/0.29=73.91°,在籽晶轴7移动过程中,就能够轻松将其中一个保温件22向上推顶,减小籽晶轴7在推动保温件22时所需要施加的力;当tanθ>0.29时,θ> arctan 0.29=16.62°,在籽晶轴7移动过程中,就能够保证另一个保温件22及时沿倾斜段121向下滑动,从而保证两侧的保温件22都能够始终与籽晶轴7的外周壁贴合。其中,两侧的倾斜段121的倾角θ可以相同,也可以不同,两侧的倾斜面221的倾斜角度则与两侧的倾斜段121对应设置,以保证倾斜面221能够与对应的倾斜段121贴合。
如图3至图4所示,保温件22的下表面沿X轴方向的尺寸b,保温件22的上表面沿X轴方向的尺寸c,满足c=2b。这样,能够保证当籽晶轴7沿X轴方向移动至一侧的极限位置时,其中一个保温件22完全落入第一开口12内,另一个保温件22被籽晶轴7向上推顶至最上方且不会完全脱出第一开口12。
如图2及图5所示,倾斜段121及倾斜面221中的一者开设有沿倾斜段121的倾斜方向延伸的滑槽3,另一者设有能够与滑槽3滑动配合的滑块4。滑槽3与滑块4滑动配合能够对保温件22起到导向作用,以限制保温件22的运动路径,保证保温件22只能够沿着滑槽3的延伸方向滑动,避免保温件22的倾斜面221与倾斜段121脱离而导致保温桶1内的热气排出或外界冷空气进入保温桶1内,进一步提高密封效果。
滑块4的截面可以设置为梯形,以避免滑块4在保温件22滑动过程中脱出滑槽3,保证滑块4与滑槽3的内壁贴合。当然,滑块4的截面也可以设置为矩形、平行四边形等其他规则或不规则形状的结构。滑槽3的内表面做润滑处理,避免滑块4与滑槽3相对滑动时出现卡顿,减小籽晶轴7需要对保温件22施加的力。
在另一种实施方式中,第一开口12也可以不设置倾斜段121,两个保温件22沿水平方向可滑动地设置于盖体15的顶壁的上表面,籽晶轴7沿水平方向移动时能够直接带动左右两个保温件22沿水平方向移动。例如,当籽晶轴7沿+X轴方向移动时,籽晶轴7能够推动右侧的保温件22向右移动,左侧的保温件22能够跟随籽晶轴7同步移动,或在弹性件等其他元件的作用下向右同步移动。当籽晶轴7沿-X轴方向移动时,籽晶轴7能够推动左侧的保温件22向左移动,右侧的保温件22能够跟随籽晶轴7同步移动,或在弹性件等其他元件的作用下向左同步移动。此时,两个保温件22也可以相互固定或一体设置。保温件22的下表面能够在重力的作用下与盖体15的顶壁的上表面贴合,以保证保温件22与盖体15之间的密封效果,同时,还能够通过弹性件等其他元件保温件22与籽晶轴7之间的密封效果。在其他实施方式中,第一保温组件2也可以只包括一个保温件22,保温件22沿水平方向可滑动地设置于盖体15的顶壁的上表面,保温件22的中间区域开设有用于穿设籽晶轴7的第一通孔21,当籽晶轴7移动时,保温件22能够随籽晶轴7共同移动,并且在移动过程中,保温件22能够始终盖合于第一开口12。当然,保温件22及第一开口12也可以设置为其他结构,只要保证保温件22在活动过程中能够始终盖合于第一开口12以保证保温腔11的密封效果即可,在此不做具体限制。
如图5至图6所示,保温件22还设有半圆形槽222,半圆形槽222的直径等于籽晶轴7的直径,两个保温件22的半圆形槽222的内壁围设形成第一通孔21。由于半圆形槽222的直径等于籽晶轴7的直径,因此半圆形槽222的内壁能够始终与籽晶轴7的外壁紧密贴合,保证保温件22与籽晶轴7之间的密封效果。同时,两个保温件22的半圆形槽222能够围设形成第一通孔21,避免两个保温件22、籽晶轴7及第一开口12的内壁之间存在间隙而影响密封效果。
如图1及图3所示,由于在拉晶过程中坩埚6需要转动,因此,桶体14的底壁开设有用于穿设坩埚6的轴的第二开口13,坩埚6的轴能够在穿过第二开口13后伸入保温腔11内与坩埚6连接。并且,在拉晶过程中坩埚6还可能需要沿水平方向进行微小的移动以实现热场中心的微调,因此,第二开口13的内径需要略大于坩埚6的轴的外径,以保证坩埚6能够沿水平方向发生微小的移动。保温结构还包括可活动地盖合于第二开口13的第二保温组件5,第二保温组件5设有用于穿设坩埚6的轴的第二通孔51,坩埚6的轴在沿水平方向移动时能够带动第二保温组件5与坩埚6的轴同步活动,并且,在第二保温组件5相对于保温桶1活动的过程中,第二保温组件5能够始终将第二开口13密封,从而能够保证保温桶1始终处于密封状态,避免坩埚6的轴水平移动而导致保温桶1内的热气通过第二开口13排出或外界冷空气通过第二开口13进入保温桶1内,从而能够减少坩埚6的轴的移动对保温桶1及炉室内的热场的影响,保证晶体的生长质量。
其中,第二保温组件5可以与第一保温组件2结构相同,此时,第二开口13的结构也与第一开口12的结构相同。当然,第二保温组件5也可以设置为与第一保温组件2的结构不同,只要能够保证保温桶1始终处于密封状态即可。第二保温组件5可以设置为碳毡件,也可以设置为其他耐高温且具有保温功能的材质,在此不做具体限制。
本发明还提供一种晶体生长炉,包括炉室(图未示)、坩埚6、籽晶轴7及上述的保温结构,保温结构设置于炉室内,坩埚6设置于保温腔11内,坩埚6中盛有熔融状的氧化铝熔融液,籽晶轴7伸入炉室内后通过第一通孔21伸入保温腔11,籽晶轴7的底部携带有籽晶,且籽晶与籽晶轴7同轴设置。晶体生长炉在拉晶开始前,向晶体生长炉的炉室内充入惰性气体,并将籽晶轴7下降,使得籽晶与氧化铝熔融液接触。然后通过驱动件驱动籽晶轴7平移到达需要偏心的位置,籽晶轴7移动的过程中,第一保温组件2能够始终将第一开口12密封,从而保证保温桶1始终处于密封状态。当籽晶和氧化铝熔融液的固液界面的温度低于氧化铝的凝固点时,在籽晶和氧化铝熔融液的固液界面上开始生长和籽晶相同晶体结构的晶体。其中,该晶体生长炉可以是蓝宝石晶体生长炉、单晶炉等。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合,为使描述简洁,未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述,然而,只要这些技术特征的组合不存在矛盾,都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对申请专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本申请构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本申请的保护范围。因此,本申请的专利保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (6)
1.一种保温结构,用于晶体生长炉,所述晶体生长炉包括坩埚(6)及籽晶轴(7),所述籽晶轴(7)能够相对于所述坩埚(6)沿水平预设方向移动,其特征在于,所述保温结构包括:
保温桶(1),具有用于容纳所述坩埚(6)的保温腔(11),所述保温桶(1)的顶壁开设有用于穿设所述籽晶轴(7)的第一开口(12);以及
第一保温组件(2),可活动地盖合于所述第一开口(12),所述第一保温组件(2)设有用于穿设所述籽晶轴(7)的第一通孔(21),所述第一保温组件(2)还包括保温件(22),所述保温件(22)能够在所述籽晶轴(7)水平移动的过程中随所述籽晶轴(7)同步移动并始终盖合于所述第一开口(12),以使得所述保温腔(11)密封;
所述第一保温组件(2)包括两个所述保温件(22),沿所述水平预设方向,两个所述保温件(22)相对设置于所述籽晶轴(7)的两侧,以在所述籽晶轴(7)移动时,两个所述保温件(22)能够随所述籽晶轴(7)在所述水平预设方向上移动相同的距离;
沿所述水平预设方向,所述第一开口(12)的内壁包括两个相对设置的倾斜段(121),所述倾斜段(121)自所述保温腔(11)向外渐扩设置;
两个所述保温件(22)能够分别沿两个所述倾斜段(121)滑动,以在所述籽晶轴(7)将其中一个所述保温件(22)沿所述倾斜段(121)向上推顶时,另一个所述保温件(22)能够在重力的作用下沿所述倾斜段(121)向下滑动;
所述保温件(22)相对远离所述籽晶轴(7)的一端包括能够与所述倾斜段(121)贴合的倾斜面(221);
所述倾斜段(121)及所述倾斜面(221)中的一者开设有沿所述倾斜段(121)的倾斜方向延伸的滑槽(3),另一者设有能够与所述滑槽(3)滑动配合的滑块(4)。
2.根据权利要求1所述的保温结构,其特征在于,所述倾斜段(121)与水平面之间的倾角θ满足,0.29<tanθ<1/0.29。
3.根据权利要求1所述的保温结构,其特征在于,所述保温件(22)还设有半圆形槽(222),所述半圆形槽(222)的直径等于所述籽晶轴(7)的直径,两个所述保温件(22)的所述半圆形槽(222)的内壁围设形成所述第一通孔(21)。
4.根据权利要求1所述的保温结构,其特征在于,所述保温桶(1)的底壁开设有用于穿设所述坩埚(6)的轴的第二开口(13),所述保温结构还包括可活动地盖合于所述第二开口(13)的第二保温组件(5),所述第二保温组件(5)设有用于穿设所述坩埚(6)的轴的第二通孔(51)。
5.根据权利要求1所述的保温结构,其特征在于,所述保温桶(1)及/或所述第一保温组件(2)设置为碳毡件。
6.一种晶体生长炉,其特征在于,包括:
坩埚(6);
籽晶轴(7),能够相对于所述坩埚(6)沿所述水平预设方向移动;以及
如权利要求1至权利要求5任一项所述的保温结构,所述坩埚(6)设置于所述保温腔(11)内,所述籽晶轴(7)通过所述第一通孔(21)伸入所述保温腔(11)。
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