CN211620661U - 一种用于单晶炉的二次加料漏斗装置 - Google Patents

一种用于单晶炉的二次加料漏斗装置 Download PDF

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宋生宏
高生全
文武
何旭
李德义
李广岳
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Abstract

本实用新型公开了一种用于单晶炉的二次加料漏斗装置,包括单晶炉体,所述单晶炉体的内侧设置有保温筒,所述单晶炉体的内部设置有加热组件,所述加热组件位于保温筒的内部位置,所述单晶炉体内底部设置有坩埚轴,所述坩埚轴的上端固定连接有石墨坩埚,所述石墨坩埚的内部设置有石英坩埚,所述单晶炉体的内顶部固定连接有导流筒,所述单晶炉体的开口端设置有安装板,所述安装板的内侧固定连接有漏斗。本实用新型结构设计合理,在气流的作用下,可加快原料向下流动的速度,也可以防止原料发生堵塞的情况,以保证原料的快速下料,方便石英坩埚的再次利用。

Description

一种用于单晶炉的二次加料漏斗装置
技术领域
本实用新型涉及单晶炉装置技术领域,尤其涉及一种用于单晶炉的二次加料漏斗装置。
背景技术
单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。
目前,单晶炉在硅单晶拉制完成时,可采用二次加料装置向石英坩埚内再次投入颗粒状硅料,实现石英坩埚的再利用,这样能够降低第二根硅棒的拉制时间,而传统的单晶炉二次加料装置在加料的过程中,往往由于原料的大量落下容易出现堵塞的情况,影响加料的进度。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种用于单晶炉的二次加料漏斗装置,其在气流的作用下,可加快原料向下流动的速度,也可以防止原料发生堵塞的情况,以保证原料的快速下料,方便石英坩埚的再次利用。
为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
一种用于单晶炉的二次加料漏斗装置,包括单晶炉体,所述单晶炉体的内侧设置有保温筒,所述单晶炉体的内部设置有加热组件,所述加热组件位于保温筒的内部位置,所述单晶炉体内底部设置有坩埚轴,所述坩埚轴的上端固定连接有石墨坩埚,所述石墨坩埚的内部设置有石英坩埚,所述单晶炉体的内顶部固定连接有导流筒,所述单晶炉体的开口端设置有安装板,所述安装板的内侧固定连接有漏斗,所述漏斗的内部设置有下料机构。
优选地,所述导流筒呈圆锥状结构,所述导流筒的直径自上而下逐渐变小。
优选地,所述下料机构包括固定连接在漏斗上侧的电动推杆,所述电动推杆的伸缩端延伸至漏斗的内部并固定连接有连接杆,所述连接杆的下端固定连接有挡板,所述连接杆的内部设置有防堵塞机构。
优选地,所述防堵塞机构包括设置在连接杆内部的连通腔,所述连接杆的外侧对称设置有两组相通出气口的连通腔,每个所述出气口由三个出气口构成,所述安装板的上侧固定连接有鼓风机,所述鼓风机的输出端连接有连接管,所述连接管远离鼓风机的一端延伸至漏斗的内部并连通连通腔。
优选地,所述出气口的出气方向呈向下倾斜设置,所述出气口的内部设置有纱网。
优选地,所述连接管位于漏斗内部的部分预留有一段供连接杆上下移动的管道。
本实用新型具备以下有益效果:
1、通过防堵塞机构的设置,利用气流倾斜向下流动,在气流的作用下,可加快原料向下流动的速度,也可以防止原料发生堵塞的情况,以保证原料的快速下料;
2、通过下料机构的设置,利用电动推杆的推杆,可实现挡板和漏斗的分离,方便打开漏斗的出料口进行下料工作。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种用于单晶炉的二次加料漏斗装置的结构示意图;
图2为本实用新型提出的一种用于单晶炉的二次加料漏斗装置的防堵塞机构的剖面结构示意图。
图中:1单晶炉体、2保温筒、3加热组件、4石墨坩埚、5石英坩埚、6坩埚轴、7导流筒、8挡板、9连接杆、10安装板、11漏斗、12电动推杆、13连通腔、14出气口、15鼓风机、16连接管。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。
在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。
参照图1-2,一种用于单晶炉的二次加料漏斗装置,包括单晶炉体1,单晶炉体1的内侧设置有保温筒2,单晶炉体1的内部设置有加热组件3,加热组件3位于保温筒2的内部位置,单晶炉体1内底部设置有坩埚轴6,坩埚轴6的上端固定连接有石墨坩埚4,石墨坩埚4的内部设置有石英坩埚5,单晶炉体1的内顶部固定连接有导流筒7,导流筒7呈圆锥状结构,导流筒7的直径自上而下逐渐变小,起到了导料的作用,方便原料全部落入石英坩埚5的内部。
单晶炉体1的开口端设置有安装板10,安装板10为环形结构,安装板10的内侧固定连接有漏斗11,漏斗11的侧壁自带有进料口,方便原料的投放,漏斗11的内部设置有下料机构,下料机构包括固定连接在漏斗11上侧的电动推杆12,电动推杆12的伸缩端延伸至漏斗11的内部并固定连接有连接杆9,连接杆9的下端固定连接有挡板8,挡板8呈圆锥状结构,可避免原料下落时停留在挡板8的上表面。
连接杆9的内部设置有防堵塞机构,防堵塞机构包括设置在连接杆9内部的连通腔13,连接杆9的外侧对称设置有两组相通出气口14的连通腔13,每个出气口14由三个出气口14构成,出气口14的出气方向呈向下倾斜设置,出气口14的内部设置有纱网,可防止原料进行连通腔13的内部,安装板10的上侧固定连接有鼓风机15,鼓风机15的输出端连接有连接管16,连接管16远离鼓风机15的一端延伸至漏斗11的内部并连通连通腔13,连接管16位于漏斗11内部的部分预留有一段供连接杆9上下移动的管道,方便连接杆9的上下移动,避免出现连接管16管长不够的的情况。
工作时,首先将原料投放进漏斗11内,随后启动电动推杆12,电动推杆12的伸缩端推动连接杆9下移,挡板8在连接杆9的拉动下与漏斗11的出料口分离,从而漏斗11内的原料可自动从漏斗11的出料口排出,通过导流筒7的导流作用掉落进石英坩埚5内,方便加工,在原料下料的过程中,可启动鼓风机15,使得气流通过连接管16进入流通腔13的内部,通过出气口14吹出,在气流的作用下,可加快原料向下流动的速度,也可以防止原料发生堵塞的情况。
以上,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种用于单晶炉的二次加料漏斗装置,包括单晶炉体(1),其特征在于,所述单晶炉体(1)的内侧设置有保温筒(2),所述单晶炉体(1)的内部设置有加热组件(3),所述加热组件(3)位于保温筒(2)的内部位置,所述单晶炉体(1)内底部设置有坩埚轴(6),所述坩埚轴(6)的上端固定连接有石墨坩埚(4),所述石墨坩埚(4)的内部设置有石英坩埚(5),所述单晶炉体(1)的内顶部固定连接有导流筒(7),所述单晶炉体(1)的开口端设置有安装板(10),所述安装板(10)的内侧固定连接有漏斗(11),所述漏斗(11)的内部设置有下料机构。
2.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的二次加料漏斗装置,其特征在于,所述导流筒(7)呈圆锥状结构,所述导流筒(7)的直径自上而下逐渐变小。
3.根据权利要求2所述的一种用于单晶炉的二次加料漏斗装置,其特征在于,所述下料机构包括固定连接在漏斗(11)上侧的电动推杆(12),所述电动推杆(12)的伸缩端延伸至漏斗(11)的内部并固定连接有连接杆(9),所述连接杆(9)的下端固定连接有挡板(8),所述连接杆(9)的内部设置有防堵塞机构。
4.根据权利要求3所述的一种用于单晶炉的二次加料漏斗装置,其特征在于,所述防堵塞机构包括设置在连接杆(9)内部的连通腔(13),所述连接杆(9)的外侧对称设置有两组出气口(14)相通的连通腔(13),每个所述出气口(14)由三个出气口(14)构成,所述安装板(10)的上侧固定连接有鼓风机(15),所述鼓风机(15)的输出端连接有连接管(16),所述连接管(16)远离鼓风机(15)的一端延伸至漏斗(11)的内部并连通连通腔(13)。
5.根据权利要求4所述的一种用于单晶炉的二次加料漏斗装置,其特征在于,所述出气口(14)的出气方向呈向下倾斜设置,所述出气口(14)的内部设置有纱网。
6.根据权利要求4所述的一种用于单晶炉的二次加料漏斗装置,其特征在于,所述连接管(16)位于漏斗(11)内部的部分预留有一段供连接杆(9)上下移动的管道。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114703541A (zh) * 2022-03-11 2022-07-05 连城凯克斯科技有限公司 一种连续直拉单晶硅的制备方法及其产品
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