CN115463484B - 面板过渡设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种面板过渡设备,包括用于容纳面板的过渡腔室和位于过渡腔室外部的抽气泵，抽气泵设置在过渡腔室的顶部，用于对过渡腔室抽真空，过渡腔室通过抽气通道与抽气泵连通，抽气通道内部设置有过滤件，过滤件设置有通孔和出气口，通孔贯穿过滤件的底部和顶部，出气口位于过滤件的侧面或顶部，出气口连通抽气通道位于过滤件与抽气泵之间的部位，通孔的内侧壁设置有与出气口连通的连通口，通孔的内部设置有阻挡件，阻挡件位于连通口的下方，连通口与过渡腔室不连通，抽气泵抽气时，阻挡件沿竖直方向移动至连通口的上方，以使连通口与过渡腔室连通。其能避免抽气泵内部的异物掉落到过渡腔室内部的面板上。

Description

面板过渡设备

技术领域

本发明涉及面板加工设备技术领域，尤其涉及一种面板过渡设备。

背景技术

显示装置的面板加工时，需要利用面板过渡设备将面板运输到真空的处理腔室内进行处理(例如对光刻后的面板进行烘干，或对面板表面进行蒸镀等处理)。

参照图1，面板过渡设备包括两个相对独立的过渡腔室1＇，过渡腔室1＇用于放置待处理的面板100＇，两个过渡腔室1＇分别在竖直方向上间隔分布，上方的过渡腔室1＇顶部和下方的过渡腔室1＇底部均连接有抽气泵2＇和吸气部件3＇，抽气泵2＇用于抽出过渡腔室1＇内的气体，吸气部件3＇用于向过渡腔室1＇内部输送洁净的气体。面板100＇进入过渡腔室1＇之后，利用抽气泵2＇对过渡腔室1＇抽真空，然后将面板100＇送入处理腔室内，待面板100＇处理完成后，面板100＇由处理腔室回到过渡腔室1＇，再利用吸气部件3＇向过渡腔室1＇内输入洁净气体，使过渡腔室1＇内由真空状态恢复至大气状态后，将面板100＇输出过渡腔室1＇外。抽气泵2＇运转时内部零部件的磨损会产生碎屑等异物，异物在重力作用下会从过渡腔室1＇顶部的抽气口4＇掉落到在过渡腔室1＇内部的面板100＇上，影响面板100＇的质量。

现有技术中，为了防止抽气泵2＇内部的异物会掉落到上方的过渡腔室1＇内，在上方的过渡腔室1＇内部设置挡板5＇，挡板5＇位于抽气口4＇的正下方，通过挡板5＇拦截从抽气口4＇掉落的异物。现有技术存在以下缺陷：吸气部件3＇运转时，在过渡腔室1＇气流的影响下，挡板5＇上的异物还是容易从挡板5＇的边沿掉落至过渡腔室1＇内部面板100＇上，也会影响面板100＇的质量。

发明内容

本发明的目的在于：提供一种面板过渡设备，其能避免抽气泵内部的异物掉落到过渡腔室内部的面板上。

为达上述目的，本发明采用以下技术方案：

提供一种面板过渡设备，包括用于容纳面板的过渡腔室和位于所述过渡腔室外部的抽气泵，所述抽气泵设置在所述过渡腔室的顶部，用于对所述过渡腔室抽真空，所述过渡腔室通过抽气通道与所述抽气泵连通，所述抽气通道内部设置有过滤件，所述过滤件设置有通孔和出气口，所述出气口位于所述过滤件的侧面或顶部，所述出气口连通所述抽气通道位于所述过滤件与所述抽气泵之间的部位，所述通孔的内侧壁设置有与所述出气口连通的连通口，所述通孔的内部设置有阻挡件，所述阻挡件位于所述连通口的下方时，所述连通口与所述过渡腔室不连通，所述抽气泵抽气时，所述阻挡件沿竖直方向移动至所述连通口的上方，以使所述连通口与所述过渡腔室连通。

作为面板过渡设备的一种优选方案，所述通孔包括第一孔和与所述第一孔连通的第二孔，所述第一孔位于所述第二孔的底部，所述第一孔的孔径大于所述第二孔的孔径，所述阻挡件设置在所述第一孔内，且所述阻挡件的尺寸大于所述第二孔的尺寸，所述连通口设置在所述第一孔的内侧壁上。

作为面板过渡设备的一种优选方案，所述第二孔包括依次连通的第一分孔、第二分孔和第三分孔组成，所述第一分孔远离所述第一孔，所述第三分孔靠近并连通所述第一孔，所述第二分孔位于所述第一分孔与所述第三分孔之间，所述第一分孔和所述第三分孔竖直设置，所述第二分孔倾斜设置，所述第二分孔与水平面之间的夹角为α，30°≤α≤60°。

作为面板过渡设备的一种优选方案，所述阻挡件通过牵引件与所述第一孔的顶部连接。

作为面板过渡设备的一种优选方案，所述牵引件为弹性件，所述弹性件在自由状态时，所述阻挡件位于所述连通口的下方，所述弹性件位被压缩时，所述阻挡件能够移动至所述连通口的上方。

作为面板过渡设备的一种优选方案，所述阻挡件为球形结构。

作为面板过渡设备的一种优选方案，所述出气口设置在所述过滤件的侧面，所述出气口通过第一气体通道与所述连通口连通，所述过滤件的侧面位于所述出气口上方的位置凹陷设置有第一凹槽，所述第一凹槽由所述出气口延伸至所述过滤件的顶部，所述第一凹槽与所述抽气通道之间形成第二气体通道。

作为面板过渡设备的一种优选方案，所述通孔具有多个，所述通孔具有多个，多个所述通孔间隔分布所述过滤件上，每个所述通孔中的所述第一孔均设置有所述阻挡件，相邻的两个所述通孔中的所述第一孔通过第三气体通道连通，所述出气口具有多个，每个所述出气口均对应有至少一个所述第一孔。

作为面板过渡设备的一种优选方案，所述过滤件通过螺纹结构可拆卸设置在所述抽气通道中，所述过滤件的侧面设置有外螺纹，所述抽气通道的内侧壁设置有内螺纹，所述外螺纹与所述内螺纹旋接配合。

作为面板过渡设备的一种优选方案，所述过滤件的底部设置有安装板，所述安装板朝向远离所述抽气通道的轴心线的凸出，所述安装板贯穿设置有第一连接孔，所述过渡腔室的内侧壁邻近所述抽气通道的位置设置有第二连接孔，螺丝穿过第一连接孔拧紧在所述第二连接孔内。

本发明的有益效果为：在抽气通道的内部设置过滤件，过滤件贯穿其顶部和底部开设通孔，通孔内部设置有阻挡件，抽气泵未抽气时阻挡件位于连通口的下方，抽气泵产生的异物通过抽气通道掉落到过滤件的顶部后，从通孔的顶部进入到通孔的内部，利用阻挡件将异物阻挡在通孔的内部，防止异物从通孔的底部进入到过渡腔室内。通过在过滤件内部设置可移动的阻挡件，可以有效地阻挡抽气泵产生的异物，避免抽气泵的异物掉落到过渡腔室内部的面板上而影响面板的质量。

附图说明

下面根据附图和实施例对本发明作进一步详细说明。

图1为现有技术中的真空过渡设备的结构图。

图2为本发明实施例所述面板过渡设备的结构示意图。

图3为本发明第一实施例所述过滤件的剖视图(阻挡件位于连通口的下方时)。

图4为本发明第一实施例所述过滤件的剖视图(阻挡件移动至连通口的上方时)。

图5为本发明第二实施例所述过滤件的剖视图。

图6为本发明第三实施例所述过滤件的剖视图(图示未示出阻挡件)。

图7为本发明第四实施例所述过滤件安装在抽气通道中的示意图。

图8为本发明第五实施例所述过滤件另一角度的剖视图。

图9为本发明第五实施例所述过滤件的俯视图。

图10为本发明第六实施例所述第一孔的剖视图。

图1：

100＇、面板；1＇、过渡腔室；2＇、抽气泵；3＇、吸气部件；4＇、抽气口；5＇、挡板。

图2至图10中：

1、过渡腔室；11、第二连接孔；2、抽气泵；3、吸气部件；4、抽气通道；5、吸气通道；6、过滤件；61、通孔；611、第一孔；6111、第二凹槽；612、第二孔；6121、第一分孔；6122、第二分孔；6123、第三分孔；62、连通口；63、出气口；64、第一气体通道；65、外螺纹；66、安装板；661、第一连接孔；67、第三气体通道；68、第一凹槽；7、阻挡件；8、牵引件；9、螺丝；100、面板；200、异物。

具体实施方式

参考下面结合附图详细描述的实施例，本发明的优点和特征以及实现它们的方法将变得显而易见。然而，本发明不限于以下公开的实施例，而是可以以各种不同的形式来实现，提供本实施例仅仅是为了完成本发明的公开并且使本领域技术人员充分地了解本发明的范围，并且本发明仅由权利要求的范围限定。相同的附图标记在整个说明书中表示相同的构成要素。

本实施例中，参照图2至图5，提供一种面板过渡设备，包括用于容纳面板100的过渡腔室1和位于过渡腔室1外部的抽气泵2，抽气泵2设置在过渡腔室1的顶部，用于对过渡腔室1抽真空，过渡腔室1通过抽气通道4与抽气泵2连通。抽气通道4内部设置有过滤件6，过滤件6设置有通孔61和出气口63。通孔61贯穿过滤件6的底部和顶部，出气口63位于过滤件6的侧面或顶部，出气口63连通抽气通道4位于过滤件6与抽气泵2之间的部位。通孔61的内侧壁设置有与出气口63连通的连通口62。通孔61的内部设置有阻挡件7，阻挡件7位于连通口62的下方时，连通口62与过渡腔室1不连通，抽气泵2抽气时，阻挡件7沿竖直方向移动至连通口62的上方，以使连通口62与过渡腔室1连通。

其中，面板过渡设备还包括位于在过渡腔室1外部的吸气部件3，吸气部件3设置在过渡腔室1的顶部，且吸气部件3通过吸气通道5与过渡腔室1连通。吸气部件3用于向过渡腔室1抽入洁净气体，使过渡腔室1由真空状体切换至大气状态。具体地，吸气部件3为吸气泵或风机。

可以理解是，由于抽气泵2设置在过渡腔室1的顶部，且过渡腔室1的顶部设置有抽气通道4，通过抽气通道4连通过渡腔室1和抽气泵2，实现抽气泵2对过渡腔室1的内部抽气。抽气泵2运转时内部的零部件磨损会产生碎屑等异物200，异物200在重力的影响下会从抽气通道4掉落到过渡腔室1内的面板100上，影响面板100的质量。

本实施例中，在抽气通道4的内部设置过滤件6，过滤件6贯穿其顶部和底部开设通孔61，通孔61内部设置有阻挡件7，抽气泵2未抽气时阻挡件7位于连通口62的下方，抽气泵2产生的异物200通过抽气通道4掉落到过滤件6的顶部后，从通孔61的顶部进入到通孔61的内部，利用阻挡件7将异物200阻挡在通孔61的内部，防止异物200从通孔61的底部进入到过渡腔室1内。抽气泵2运转的初期时，在气流的作用下被阻挡件7阻挡的异物200随着气流经过出气口63和通孔61的顶部被抽出到过滤件6上方的抽气通道4中，最终被抽气泵2抽出到外部，随着抽气泵2的运转，通孔61位于阻挡件7上方位置的气压逐渐减小，在气压的作用下阻挡件7在通孔61内被移动至连通口62的上方，使连通口62与过渡腔室1连通，进而使过渡腔室1内部的气体依次通过通孔61、连通口62和出气口63输出到抽气通道4内，实现对过渡腔室1抽真空。抽气泵2停止运转时，阻挡件7在自身重力的作用下，会重新掉落到连通口62的下方，以阻挡抽气泵2掉落的异物200。通过在过滤件6内部设置可移动的阻挡件7，可以有效地阻挡抽气泵2产生的异物200，避免抽气泵2的异物200掉落到过渡腔室1内部的面板100上而影响面板100的质量。

其中，参照图3至图5，通孔61包括第一孔611和与第一孔611连通的第二孔612，第一孔611位于第二孔612的底部，第一孔611的孔径大于第二孔612的孔径，且阻挡件7的尺寸大于第二孔612的尺寸，阻挡件7设置在第一孔611内，连通口62设置在第一孔611的内侧壁上。将第一孔611的孔径大于第二孔612的孔径，当阻挡件7移动至连通口62的上方后，过渡腔室1内部的气体可通过较大孔径的第一孔611进入到出气口63，设置小孔径的第二孔612，抽气泵2产生的异物200掉落到过滤件6的顶部，一部分进入到第二孔612内，从而减少异物200进入通孔61内的量，避免抽气泵2运转时通孔61内部异物200过多而无法及时排出。

优选地，参照图6，第二孔612由包括第一分孔6121、第二分孔6122和第三分孔6123，第一分孔6121远离第一孔611，第三分孔6123靠近并连通第一孔611，第二分孔6122位于第一分孔6121与第三分孔6123之间，第一分孔6121和第三分孔6123竖直设置，第二分孔6122倾斜设置，第二分孔6122与水平面之间的夹角为α，30°≤α≤60°。设置倾斜角度为30°-60°第二分孔6122，抽气泵2生产的异物200从第一分孔6121到第二分孔6122后，由于异物200的重量较轻，大部分的异物200被滞留在第二分孔6122倾斜的内侧壁上而进入到第三分孔6123内，抽气泵2运转时，第二分孔6122的内侧壁上的异物200会随着气流经过第一分孔6121排出到过滤件6顶部的抽气通道4中，从而减少异物200掉落到第一孔611内部。

进一步地，第二分孔6122的内侧壁设置有内螺纹，内螺纹的延伸方向与第二分孔6122的延伸方向一致。通过内螺纹可以增加第二分孔6122内侧壁的粗糙度，更易于将异物200截留在第二分孔6122内。

本实施例中，参照图3和图4，阻挡件7通过牵引件8与第一孔611的顶部连接。通过牵引件8将阻挡件7进行牵引，防止阻挡件7从第一孔611靠近过渡腔室1的一端掉落到过渡腔室1内。其中，牵引件8可以为牵引绳或弹性件等。

优选牵引件8为弹性件。当牵引件8为弹性件，弹性件在自由状态时，阻挡件7位于连通口62的下方，弹性件位被压缩时，阻挡件7能够移动至连通口62的上方。进一步地，弹性件为压缩弹簧。弹性件的上端与第一孔611的顶部连接，弹性件的下端与阻挡件7连接。抽气泵2运转时，阻挡件7被气压驱动向上移动的过程中，弹性件被弹性压缩，通过弹性件可以对阻挡件7进行缓冲，防止阻挡件7在上升的过程中被第一孔611的顶部撞击变形，此外，当抽气泵2停止运转时，弹性件在弹性形变的作用下驱动阻挡件7向下移动，实现阻挡件7的快速复位。

在另一实施例中，可以在第一孔611的内侧壁位于连通口62下方的位置设置限位凸部(图中未示出)，通过阻挡件7被限位在第一孔611的顶部与限位凸部之间，在抽气泵2未运转时，阻挡件7在自身重力的作用下抵接在限位凸部上，抽气泵2运转时，气压驱动阻挡件7相对于限位凸部移动，使阻挡件7被移动至连通口62的上方，此种设计使阻挡件7不需要牵引件8牵引，在实际实施中，可根据需要灵活改变对阻挡件7设置在通孔61内部的方式，在并不对阻挡件7在第一孔611的设置方式进行限制。

实际实施中，阻挡件7至少部分与第一孔611的内侧壁贴合，以尽可能缩小阻挡件7与第一孔611的内侧壁之间的缝隙。

优选地，阻挡件7与第一孔611的内侧壁弹性抵接。

一实施例中，阻挡件7采用弹性材质制成，例如采用弹性橡胶材料或弹性海绵材料等。具体实施时，设置阻挡件7的尺寸稍微大于第一孔611的孔径，在弹性形变的作用下挤压阻挡件7，使阻挡件7设置在第一孔611内，保证阻挡件7与第一孔611的内侧壁弹性地抵接。抽气泵2运转时，气压的驱动力克服阻挡件7的重力和阻挡件7与第一孔611内侧壁之间的摩擦力即可将移动阻挡件7至连通口62的上方。

另一实施例中，阻挡件7包括本体以及包裹在本体外周的弹性层，本体采用刚性材料制成。具体实施时，设置阻挡件7的尺寸稍微大于第一孔611的孔径，在弹性层的弹性形变作用下，也可以保证阻挡件7与第一孔611的内侧壁弹性地抵接。

优选地，第一孔611为圆孔，阻挡件7为与圆孔的形状匹配的球形结构。由于球形结构的阻挡件7表面无棱角，球形结构的阻挡件7可以较好地与第一孔611的内侧壁贴合，即使阻挡件7在第一孔611内发生偏移阻挡件7也能较好地设置在第一孔611内，此外，球形结构的阻挡件7表面无棱角，对气流起到一定的引导作用，也有利于粘附在将阻挡件7表面的异物200抽走。

当然，在其他的实施例中，也可根据第一孔611形状灵活改变阻挡件7的结构形状，例如将阻挡件7的形状设置为圆柱体、长方体或棱锥体等。

本实施例中，出气口63设置在过滤件6的侧面，出气口63通过第一气体通道64与连通口62连通。将出气口63设置在过滤件6的侧面，减少对过滤件6顶部的占用，避免影响在过滤件6的顶部影响第二孔612的布置和开设。当然在其他的实施例中，也可以将出气口63设置在过滤件6的顶部，在此并不对出气口63的位置作具体限制。

参照图3、图4、图8和图9，当出气口63设置在过滤件6的侧面时，过滤件6的侧面位于出气口63上方的位置凹陷设置有第一凹槽68，第一凹槽68由出气口63延伸至过滤件6的顶部，第一凹槽68与抽气通道4之间形成第二气体通道。第一凹槽68在过滤件6与抽气通道4之间预留排气的空间，使第一孔611内部的气体依次通过连通口62、第一气体通道64、出气口63、第二气体通道和抽气通道4排出到抽气泵2外。通过在过滤件6的侧面上开设第一凹槽68，避免过滤件6的外侧壁阻挡从出气口63排出的气体进入到抽气通道4位于过滤件6与抽气泵2之间的部位，保证气流畅通。

另一实施例中，参照图5，也可以将出气口63设置在过滤件6的顶部，出气口63通过第一气体通道64与连通口62连通。

优选地，参照图8和图9，通孔61具有多个，多个通孔61间隔分布过滤件6上，每个通孔61中的第一孔611均设置有阻挡件7，相邻的两个通孔61中的第一孔611通过第三气体通道67连通，出气口63具有多个，每个出气口63均对应有至少一个第一孔611。由于通孔61间隔分布在过滤件6上，抽气泵2运转时，过渡腔室1内的气体能够从过滤件6多个位置的排气，加快了抽气通道4的抽气效率。此外，相邻的两个通孔61中的第一孔611通过第三气体通道67连通，每个第一孔611均至少对应有一个出气口63，当部分第一孔611或/和部分出气口63被堵塞的情况下，剩余部分的第一孔611和出气口63也可以正常使用，提高了过滤件6的可靠性。

具体地，第三气体通道67靠近第一孔611的端口与连通口62处于同一高度，使阻挡件7向上移动时，连通口62和第三气体通道67能够同时通过第一孔611与过渡腔室1连通，实现过渡腔室1快速排气。

一实施例中，第一孔611的内侧壁位于连通口62上方的位置凹陷设置有第二凹槽6111，第二凹槽6111与第二孔612连通，当阻挡件7被移动至连通口62的上方时，第二凹槽6111与阻挡件7之间形成第四气体通道。通过设置第二凹槽6111，当阻挡件7被移动至连通口62的上方时，第一孔611的内侧壁与阻挡件7之间预留排气通道，过渡腔室1内部的气体可以在第一孔611中同时通过连通口62和第四气体通道排出到抽气通道4中，提高了抽气的效率，且在连通口62和第四气体通道中其中一个被异物200堵塞的情况下，连通口62和第四气体通道中的另一个可以正常排气，保证过滤件6通气顺畅。。

随着过滤件6的长时间使用，过滤件6上的孔有可能会被堵塞，为了便于将过滤件6从抽气通道4内拆卸清洁，将过滤件6可拆卸设置在抽气通道4中。

一实施例中，参照图2至图4，过滤件6通过螺纹结构可拆卸设置在抽气通道4中，过滤件6的侧面设置有外螺纹65，抽气通道4的内侧壁设置有内螺纹，外螺纹65与内螺纹旋接配合。设置螺纹结构将过滤件6与抽气通道4的内侧壁可拆卸连接，便于组装，且过滤件6与抽气通道4的内侧壁连接可靠。

另一实施例中，参照图7，过滤件6的底部设置有安装板66，安装板66朝向远离抽气通道4的轴心线凸出，安装板66贯穿设置有第一连接孔661，过渡腔室1的内侧壁邻近抽气通道4的位置设置有第二连接孔11，螺丝9穿过第一连接孔661拧紧在第二连接孔11内，此种结构的过滤件6，也可实现过滤件6可拆卸设置在抽气通道4中。

具体地，过渡腔室1的内侧壁环绕抽气通道4设置有安装槽，安装板66安装在安装槽内，安装槽的槽底设置第二连接孔11。

当然，在具体实施中，也可将过滤件6固定设置在抽气通道4内，在此并不对设置方式作具体限制。

为了便于拆装过滤件6，过滤件6的底部凸出设置握持手柄。

尽管上面已经参考附图描述了本发明的实施例，但是本发明不限于以上实施例，而是可以以各种形式制造，并且本领域技术人员将理解，在不改变本发明的技术精神或基本特征的情况下，可以以其他特定形式来实施本发明。因此，应该理解，上述实施例在所有方面都是示例性的而不是限制性的。

Claims (5)

1.一种面板过渡设备，包括用于容纳面板的过渡腔室和位于所述过渡腔室外部的抽气泵，所述抽气泵设置在所述过渡腔室的顶部，用于对所述过渡腔室抽真空，所述过渡腔室通过抽气通道与所述抽气泵连通，其特征在于，所述抽气通道内部设置有过滤件，所述过滤件设置有通孔和出气口，所述出气口连通所述抽气通道位于所述过滤件与所述抽气泵之间的部位，所述通孔的内侧壁设置有与所述出气口连通的连通口，所述通孔的内部设置有阻挡件，所述阻挡件位于所述连通口的下方时，所述连通口与所述过渡腔室不连通，所述抽气泵抽气时，所述阻挡件沿竖直方向移动至所述连通口的上方，以使所述连通口与所述过渡腔室连通，所述出气口设置在所述过滤件的侧面，所述出气口通过第一气体通道与所述连通口连通，所述过滤件的侧面位于所述出气口上方的位置凹陷设置有第一凹槽，所述第一凹槽由所述出气口延伸至所述过滤件的顶部，所述第一凹槽与所述抽气通道之间形成第二气体通道，所述通孔包括第一孔和与所述第一孔连通的第二孔，所述第一孔位于所述第二孔的底部，所述第一孔的孔径大于所述第二孔的孔径，所述阻挡件设置在所述第一孔内，且所述阻挡件的尺寸大于所述第二孔的尺寸，所述连通口设置在所述第一孔的内侧壁上，所述第二孔包括依次连通的第一分孔、第二分孔和第三分孔组成，所述第一分孔远离所述第一孔，所述第三分孔靠近并连通所述第一孔，所述第二分孔位于所述第一分孔与所述第三分孔之间，所述第一分孔和所述第三分孔竖直设置，所述第二分孔倾斜设置，所述第二分孔与水平面之间的夹角为α，30°≤α≤60°，所述阻挡件通过牵引件与所述第一孔的顶部连接，所述通孔具有多个，多个所述通孔间隔分布所述过滤件上，每个所述通孔中的所述第一孔均设置有所述阻挡件，相邻的两个所述通孔中的所述第一孔通过第三气体通道连通，所述出气口具有多个，每个所述出气口均对应有至少一个所述第一孔。

2.根据权利要求1所述的面板过渡设备，其特征在于，所述牵引件为弹性件，所述弹性件在自由状态时，所述阻挡件位于所述连通口的下方，所述弹性件位被压缩时，所述阻挡件能够移动至所述连通口的上方。

3.根据权利要求1所述的面板过渡设备，其特征在于，所述阻挡件为球形结构。

4.根据权利要求1至3任一项所述的面板过渡设备，其特征在于，所述过滤件通过螺纹结构可拆卸设置在所述抽气通道中，所述过滤件的侧面设置有外螺纹，所述抽气通道的内侧壁设置有内螺纹，所述外螺纹与所述内螺纹旋接配合。

5.根据权利要求1至3任一项所述的面板过渡设备，其特征在于，所述过滤件的底部设置有安装板，所述安装板朝向远离所述抽气通道的轴心线的凸出，所述安装板贯穿设置有第一连接孔，所述过渡腔室的内侧壁邻近所述抽气通道的位置设置有第二连接孔，螺丝穿过第一连接孔拧紧在所述第二连接孔内。