CN115385305A - 一种电子级双氧水树脂活化方法 - Google Patents
一种电子级双氧水树脂活化方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN115385305A CN115385305A CN202211034441.4A CN202211034441A CN115385305A CN 115385305 A CN115385305 A CN 115385305A CN 202211034441 A CN202211034441 A CN 202211034441A CN 115385305 A CN115385305 A CN 115385305A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- resin
- hydrogen peroxide
- macroporous adsorption
- isopropanol
- ultrapure water
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 101
- 239000011347 resin Substances 0.000 title claims abstract description 93
- 229920005989 resin Polymers 0.000 title claims abstract description 93
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 22
- 230000004913 activation Effects 0.000 title claims abstract description 19
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims abstract description 65
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 62
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 claims abstract description 20
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 claims description 34
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 claims description 34
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 25
- 239000006260 foam Substances 0.000 claims description 15
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 4
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 claims description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 26
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 abstract description 26
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 21
- 239000012535 impurity Substances 0.000 abstract description 9
- 229910001868 water Inorganic materials 0.000 abstract description 9
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 8
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 abstract description 7
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract description 4
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 abstract description 4
- 238000003889 chemical engineering Methods 0.000 abstract description 2
- 239000012847 fine chemical Substances 0.000 abstract description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 abstract 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 abstract 1
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 abstract 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 11
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 6
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 238000004659 sterilization and disinfection Methods 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000013557 residual solvent Substances 0.000 description 3
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KFSLWBXXFJQRDL-UHFFFAOYSA-N Peracetic acid Chemical compound CC(=O)OO KFSLWBXXFJQRDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000004043 dyeing Methods 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 description 2
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 2
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000742 Cotton Polymers 0.000 description 1
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 240000004808 Saccharomyces cerevisiae Species 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FEWJPZIEWOKRBE-UHFFFAOYSA-N Tartaric acid Natural products [H+].[H+].[O-]C(=O)C(O)C(O)C([O-])=O FEWJPZIEWOKRBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005843 Thiram Substances 0.000 description 1
- XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N Urea Natural products NC(N)=O XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UMGDCJDMYOKAJW-UHFFFAOYSA-N aminothiocarboxamide Natural products NC(N)=S UMGDCJDMYOKAJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000011114 ammonium hydroxide Nutrition 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 description 1
- 230000000844 anti-bacterial effect Effects 0.000 description 1
- 239000004599 antimicrobial Substances 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 244000052616 bacterial pathogen Species 0.000 description 1
- 239000003899 bactericide agent Substances 0.000 description 1
- 238000004061 bleaching Methods 0.000 description 1
- 239000007844 bleaching agent Substances 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010835 comparative analysis Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000005202 decontamination Methods 0.000 description 1
- 230000003588 decontaminative effect Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 239000000645 desinfectant Substances 0.000 description 1
- 230000000249 desinfective effect Effects 0.000 description 1
- VTIIJXUACCWYHX-UHFFFAOYSA-L disodium;carboxylatooxy carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C(=O)OOC([O-])=O VTIIJXUACCWYHX-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 238000007710 freezing Methods 0.000 description 1
- 230000008014 freezing Effects 0.000 description 1
- 229910001385 heavy metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002917 insecticide Substances 0.000 description 1
- 230000000968 intestinal effect Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000001717 pathogenic effect Effects 0.000 description 1
- 239000003208 petroleum Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- UKLNMMHNWFDKNT-UHFFFAOYSA-M sodium chlorite Chemical compound [Na+].[O-]Cl=O UKLNMMHNWFDKNT-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229960002218 sodium chlorite Drugs 0.000 description 1
- 229960001922 sodium perborate Drugs 0.000 description 1
- 229940045872 sodium percarbonate Drugs 0.000 description 1
- YKLJGMBLPUQQOI-UHFFFAOYSA-M sodium;oxidooxy(oxo)borane Chemical compound [Na+].[O-]OB=O YKLJGMBLPUQQOI-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 230000001954 sterilising effect Effects 0.000 description 1
- 235000002906 tartaric acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000011975 tartaric acid Substances 0.000 description 1
- -1 thiourea peroxide Chemical class 0.000 description 1
- KUAZQDVKQLNFPE-UHFFFAOYSA-N thiram Chemical compound CN(C)C(=S)SSC(=S)N(C)C KUAZQDVKQLNFPE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960002447 thiram Drugs 0.000 description 1
- 239000000984 vat dye Substances 0.000 description 1
- 239000011782 vitamin Substances 0.000 description 1
- 229940088594 vitamin Drugs 0.000 description 1
- 229930003231 vitamin Natural products 0.000 description 1
- 235000013343 vitamin Nutrition 0.000 description 1
- 210000002268 wool Anatomy 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B15/00—Peroxides; Peroxyhydrates; Peroxyacids or salts thereof; Superoxides; Ozonides
- C01B15/01—Hydrogen peroxide
- C01B15/013—Separation; Purification; Concentration
- C01B15/0135—Purification by solid ion-exchangers or solid chelating agents
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
本发明涉及一种电子级双氧水树脂活化方法,属于化学化工精细化学品技术领域。本发明异丙醇品质为高品质电子级等级,单项金属离子小于0.1微克每升,总金属离子含量低于0.5微克每升;电子级的异丙醇可以将树脂表面残留的有机溶剂清洗出来,而且将树脂本身吸附的有机物清洗出来,并且不会引入其他杂质,提高树脂对有机碳的吸附去除效果,通过特定的温度清洗树脂,由于温度升高,提高树脂活性,提高物质活性,提高离子流动性,从而提高了对有机碳的交换吸附效果,采用低温水冷却,因需要通过双氧水,双氧水在低温下较稳定,不易分解,从而保证在吸附去除有机碳过程中双氧水的稳定性。
Description
技术领域
本发明涉及一种电子级双氧水树脂活化方法,属于化学化工精细化学品技术领域。
背景技术
目前,过氧化氢为蓝色黏稠状液体,溶于水、醇、乙醚,不溶于苯、石油醚,水溶液为无色透明液体。熔点-0.43℃,沸点150.2℃,纯的过氧化氢其分子构型会改变,所以熔沸点也会发生变化。凝固点时固体密度为1.71g/cm3,密度随温度升高而减小。它的缔合程度比H2O大,所以它的介电常数和沸点比水高。
双氧水的用途分医用、军用和工业用以及电子级产品等用途,日常消毒的是医用双氧水,医用双氧水可杀灭肠道致病菌、化脓性球菌,致病酵母菌,一般用于物体表面消毒。双氧水具有氧化作用,但医用双氧水浓度等于或低于3%,擦拭到创伤面,会有灼烧感、表面被氧化成白色并冒气泡,用清水清洗一下就可以了,过3-5分钟就恢复原来的肤色。
化学工业用作生产过硼酸钠、过碳酸钠、过氧乙酸、亚氯酸钠、过氧化硫脲等的原料,酒石酸、维生素等的氧化剂。医药工业用作杀菌剂、消毒剂,以及生产福美双杀虫剂和抗菌剂的氧化剂。印染工业用作棉织物的漂白剂,还原染料染色后的发色。用于生产金属盐类或其他化合物时除去铁及其他重金属。也用于电镀液,可除去无机杂质,提高镀件质量。还用于羊毛、生丝、象牙、纸浆、脂肪等的漂白。高浓度的过氧化氢可用作火箭动力助燃剂。
民用:处理厨房下水道的异味,到药店购买双氧水加水加洗衣粉倒进下水道可去污,消毒,杀菌;3%的过氧化氢(医用级)可供伤口消毒。
在电子级化学品用途上,主要和氨水,硫酸,氢氟酸,盐酸形成各种配方内清洗液,对硅片表面清洗。双氧水溶液中,要求杂质含量地,低于10ppt,TOC要求低于10ppm,阴离子低于30ppb。但是现有工业级别双氧水中杂质含量高,需要特定工艺降低杂质含量。
有鉴于上述的缺陷,本发明以期创设一种电子级双氧水树脂活化方法,使其更具有产业上的利用价值。
发明内容
针对当前双氧水有机碳杂质含量高,本发明的目的是提供一种电子级双氧水树脂活化方法。
本发明的一种电子级双氧水树脂活化方法,具体步骤如下:
(1)将大孔吸附树脂采用超纯水清洗去除表面气沫;
(2)将去除表面气沫的大孔吸附树脂采用异丙醇活化,除去表面残留有机物;
(3)将除去表面残留有机物的大孔吸附树脂采用超纯水清洗,除去大孔吸附树脂表面残留异丙醇;
(4)将除去表面残留异丙醇的大孔吸附树脂采用低温超纯水清洗到5℃以下备用;
(5)将待活化的双氧水通过大孔吸附树脂,收集吸附处理后的双氧水即得活化双氧水。
进一步的,所述步骤(1)中异丙醇品质为高品质电子级等级,单项金属离子小于0.1微克每升,总金属离子含量低于0.5微克每升。
进一步的,所述步骤(2)中超纯水清洗温度为35~55℃。
进一步的,所述大孔吸附树脂为天津光伏科技发展有限公司大孔吸附树脂DA201-C或者天津云开树脂YKDH-4。
进一步的,所述步骤(1)中采用3~8倍树脂体积的超纯水清洗去除表面气沫。
借由上述方案,本发明至少具有以下优点:
本发明异丙醇品质为高品质电子级等级,单项金属离子小于0.1微克每升,总金属离子含量低于0.5微克每升;电子级的异丙醇可以将树脂表面残留的有机溶剂清洗出来,而且将树脂本身吸附的有机物清洗出来,并且不会引入其他杂质,提高树脂对有机碳的吸附去除效果。
本发明大孔树脂表面气沫是有机碳吸附树脂在生产过程中,有机溶剂残留在树脂大孔内形成的,因此需要将表面残留溶剂清洗出来,从而提高树脂对有机碳的吸附去除效果。
本发明通过特定的温度清洗树脂,由于温度升高,提高树脂活性,提高物质活性,提高离子流动性,从而提高了对有机碳的交换吸附效果。
本发明采用低温水冷却,因需要通过双氧水,双氧水在低温下较稳定,不易分解,从而保证在吸附去除有机碳过程中双氧水的稳定性。
上述说明仅是本发明技术方案的概述,为了能够更清楚了解本发明的技术手段,并可依照说明书的内容予以实施,以下以本发明的较佳实施例详细说明如后。
具体实施方式
下面结合实施例,对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明,但不用来限制本发明的范围。
电子级双氧水树脂活化方法,它包括如下步骤:
(1)将大孔吸附树脂采用3~8倍树脂体积的超纯水清洗去除表面气沫;表面气沫是有机碳吸附树脂在生产过程中,有机溶剂残留在树脂大孔内形成的,因此需要将表面残留溶剂清洗出来,从而提高树脂对有机碳的吸附去除效果。
(2)将去除表面气沫的大孔吸附树脂采用异丙醇活化,除去表面残留有机物;其中异丙醇品质需要高品质电子级等级,单项金属离子小于0.1微克每升,总金属离子含量低于0.5微克每升;电子级的异丙醇可以将树脂表面残留的有机溶剂清洗出来,而且将树脂本身吸附的有机物清洗出来,并且不会引入其他杂质,提高树脂对有机碳的吸附去除效果。
(3)将除去表面残留有机物的大孔吸附树脂采用超纯水清洗,其中超纯水清洗温度为35~55℃,除去大孔吸附树脂表面残留异丙醇;通过特定的温度清洗树脂,由于温度升高,提高树脂活性,提高物质活性,提高离子流动性,从而提高了对有机碳的交换吸附效果,但温度过高会破坏树脂的结构,反而影响吸附效果。
(4)将除去表面残留异丙醇的大孔吸附树脂采用低温超纯水清洗到5℃以下备用;采用低温水冷却,因需要通过双氧水,双氧水在低温下较稳定,不易分解,从而保证在吸附去除有机碳过程中双氧水的稳定性。
(5)将待活化的双氧水通过大孔吸附树脂,收集吸附处理后的双氧水即得活化双氧水。
所述大孔吸附树脂为天津光伏科技发展有限公司大孔吸附树脂DA201-C或者天津云开树脂YKDH-4。
实施例
实施例1:
将200L大孔吸附树脂DA201-C加入采用600L大孔吸附树脂体积超纯水清洗去表面气沫。将大孔吸附树脂加入600L单项金属离子为0.05微克每升,总金属离子含量为0.4微克每升的异丙醇活化,除去表面残留有机物。将异丙醇排出后,将大孔吸附树脂采用超纯水清洗,其中超纯水清洗温度35℃,除去表面残留异丙醇。将大孔吸附树脂采用低温超纯水清洗到5℃以下备用。将双氧水通过TOC吸附有机碳,原料TOC从350ppm降低到1.2ppm,有机碳。
实施例2:
将200L大孔吸附树脂YKDH-4加入采用1200L大孔吸附树脂体积超纯水清洗去表面气沫。将大孔吸附树脂加入600L单项金属离子为0.03微克每升,总金属离子含量为0.3微克每升的异丙醇活化,除去表面残留有机物。将异丙醇排出后,将大孔吸附树脂采用超纯水清洗,其中超纯水清洗温度55℃,除去表面残留异丙醇。将大孔吸附树脂采用低温超纯水清洗到0℃以下备用。将双氧水通过TOC吸附去除有机碳,原料TOC从350ppm降低到2.0ppm。
实施例3:
将200L大孔吸附树脂YKDH-4加入采用800L大孔吸附树脂体积超纯水清洗去表面气沫。将大孔吸附树脂加入600L单项金属离子为0.02微克每升,总金属离子含量为0.2微克每升的异丙醇活化,除去表面残留有机物。将异丙醇排出后,将大孔吸附树脂采用超纯水清洗,其中超纯水清洗温度50℃,除去表面残留异丙醇。将大孔吸附树脂采用低温超纯水清洗到0℃以下备用。将双氧水通过TOC吸附去除有机碳,原料TOC从350ppm降低到1.5ppm。
对比例1:
将200L大孔吸附树脂YKDH-4加入采用800L大孔吸附树脂体积超纯水清洗去表面气沫。将大孔吸附树脂采用低温超纯水清洗到0℃以下备用。将双氧水通过TOC吸附去除有机碳,原料TOC从350ppm降低到45.0ppm。
对比例2:
将200L大孔吸附树脂YKDH-4加入600L单项金属离子为0.02微克每升,总金属离子含量为0.2微克每升的异丙醇活化,除去表面残留有机物。将异丙醇排出后,将大孔吸附树脂采用超纯水清洗,其中超纯水清洗温度50℃,除去表面残留异丙醇。将大孔吸附树脂采用低温超纯水清洗到0℃以下备用。将双氧水通过TOC吸附去除有机碳,原料TOC从350ppm降低到32ppm。
对比例3:
处理方式和实施例3类似,唯有不同的是超纯水的清洗温度不在40~50℃之内。最终原料TOC从350ppm降低到15ppm。
对比例4:
处理方式和实施例3类似,唯有不同的是采用低温超纯水清洗备用时,超纯水的温度高于3℃。最终原料TOC从350ppm降低到12ppm.
对比分析
将实施例1-3和对照例1最终有机碳的去除效果进行性能对比,具体请见表1;
表1有机碳去除效果对比
首先本发明的实施例优于所有对比例,在各含量上,都比对比例优秀,证实了本申请的技术方案可行性高。
再将各对比例和实施例3进行对比,分析得出:
对比例1证实了异丙醇品质需要高品质电子级等级,单项金属离子小于0.1微克每升,总金属离子含量低于0.5微克每升;电子级的异丙醇可以将树脂表面残留的有机溶剂清洗出来,而且将树脂本身吸附的有机物清洗出来,并且不会引入其他杂质,提高树脂对有机碳的吸附去除效果。
对比例2证实了表面气沫是有机碳吸附树脂在生产过程中,有机溶剂残留在树脂大孔内形成的,因此需要将表面残留溶剂清洗出来,从而提高树脂对有机碳的吸附去除效果。
对比例3证实了通过特定的温度清洗树脂,由于温度升高,提高树脂活性,提高物质活性,提高离子流动性,从而提高了对有机碳的交换吸附效果。
对比例4证实了采用低温水冷却,因需要通过双氧水,双氧水在低温下较稳定,不易分解,从而保证在吸附去除有机碳过程中双氧水的稳定性。
以上所述仅是本发明的优选实施方式,并不用于限制本发明,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明技术原理的前提下,还可以做出若干改进和变型,这些改进和变型也应视为本发明的保护范围。
Claims (5)
1.一种电子级双氧水树脂活化方法,其特征在于具体步骤如下:
(1)将大孔吸附树脂采用超纯水清洗去除表面气沫;
(2)将去除表面气沫的大孔吸附树脂采用异丙醇活化,除去表面残留有机物;
(3)将除去表面残留有机物的大孔吸附树脂采用超纯水清洗,除去大孔吸附树脂表面残留异丙醇;
(4)将除去表面残留异丙醇的大孔吸附树脂采用低温超纯水清洗到5℃以下备用;
(5)将待活化的双氧水通过大孔吸附树脂,收集吸附处理后的双氧水即得活化双氧水。
2.根据权利要求1所述的一种电子级双氧水树脂活化方法,其特征在于:所述步骤(1)中异丙醇品质为高品质电子级等级,单项金属离子小于0.1微克每升,总金属离子含量低于0.5微克每升。
3.根据权利要求1所述的一种电子级双氧水树脂活化方法,其特征在于:所述步骤(2)中超纯水清洗温度为35~55℃。
4.根据权利要求1所述的一种电子级双氧水树脂活化方法,其特征在于:所述大孔吸附树脂为天津光伏科技发展有限公司大孔吸附树脂DA201-C或者天津云开树脂YKDH-4。
5.根据权利要求1所述的一种电子级双氧水树脂活化方法,其特征在于:所述步骤(1)中采用3~8倍树脂体积的超纯水清洗去除表面气沫。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202211034441.4A CN115385305A (zh) | 2022-08-26 | 2022-08-26 | 一种电子级双氧水树脂活化方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202211034441.4A CN115385305A (zh) | 2022-08-26 | 2022-08-26 | 一种电子级双氧水树脂活化方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN115385305A true CN115385305A (zh) | 2022-11-25 |
Family
ID=84123247
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202211034441.4A Pending CN115385305A (zh) | 2022-08-26 | 2022-08-26 | 一种电子级双氧水树脂活化方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN115385305A (zh) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20120148482A1 (en) * | 2010-12-08 | 2012-06-14 | Shanghai Huayi Microelectronic Material Co., Ltd. | Method for producing ultra-pure aqueous hydrogen peroxide solution |
CN112723316A (zh) * | 2021-01-04 | 2021-04-30 | 联仕(昆山)化学材料有限公司 | 一种低温去除双氧水中toc的提纯方法 |
-
2022
- 2022-08-26 CN CN202211034441.4A patent/CN115385305A/zh active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20120148482A1 (en) * | 2010-12-08 | 2012-06-14 | Shanghai Huayi Microelectronic Material Co., Ltd. | Method for producing ultra-pure aqueous hydrogen peroxide solution |
CN102556976A (zh) * | 2010-12-08 | 2012-07-11 | 上海华谊微电子材料有限公司 | 连续化生产超纯过氧化氢的方法 |
CN112723316A (zh) * | 2021-01-04 | 2021-04-30 | 联仕(昆山)化学材料有限公司 | 一种低温去除双氧水中toc的提纯方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5447640A (en) | Method and apparatus for sterilization of and treatment with ozonized water | |
JP2677468B2 (ja) | 純水の製造方法及び装置 | |
JP3649771B2 (ja) | 洗浄方法 | |
CN102000573A (zh) | 一种改性活性炭及其应用 | |
CN111825168B (zh) | 一种铜修饰碳纤维电极及其制备方法与应用 | |
CN109879505B (zh) | 一种含次氯酸钠废水处理工艺 | |
JPH05345188A (ja) | 過酸化水素の分解方法 | |
KR950011929B1 (ko) | 왕겨를 이용한 새로운 정수처리방법 | |
CN102381704B (zh) | 载银活性炭制备方法及其在自来水净化处理中的应用 | |
CN115385305A (zh) | 一种电子级双氧水树脂活化方法 | |
KR101623032B1 (ko) | 촉매적 오존화 공정용 촉매체 및 이를 이용한 난분해성 물질의 제거방법 | |
CN103785223A (zh) | 一种氧化石墨烯净水滤芯的制备方法 | |
JP2014198288A (ja) | 難生物分解性有機物含有水の処理方法及び処理装置 | |
JPH05115B2 (zh) | ||
JP2012035196A (ja) | 酢酸含有排水の処理方法及び装置 | |
JP2004181364A (ja) | 超純水の製造方法及び超純水製造装置 | |
JP4760120B2 (ja) | 難生物分解性有機物含有水の処理装置及び処理方法 | |
JPH1129795A (ja) | 電子材料用洗浄水、その製造方法及び電子材料の洗浄方法 | |
CN109809621B (zh) | 一种含氨氮污水的处理方法 | |
WO2014205510A1 (en) | Fluid processing | |
US11827544B2 (en) | Catalyst-free method for degrading dioxane in alkyl ether sulfate vacuum removal water | |
JPS61242684A (ja) | チオ尿素及び/又はその誘導体を含有する廃液の処理方法 | |
JP4738235B2 (ja) | 揮発性有機塩素化合物で汚染された土壌の浄化方法 | |
JP5564817B2 (ja) | イオン交換樹脂の再生方法及び超純水製造装置 | |
JP2011245422A (ja) | 水処理装置および水処理方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20221125 |