CN115342069A - 一种大口径整体叶轮复合分子泵 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种大口径整体叶轮复合分子泵，包括分子泵主体，所述分子泵主体包括上泵壳和下泵壳，所述上泵壳设置在下泵壳的正上方，所述上泵壳上远离下泵壳的一端安装有进气口法兰，所述下泵壳内中部安装有电机壳，所述电机壳内设置有叶轮，所述电机壳内安装有电机，所述电机的输出端固定连接有主轴，所述主轴贯穿叶轮的中部，并固定连接在叶轮上，所述下泵壳内连接有排气通道。该种大口径整体叶轮复合分子泵，通过设置一体化的叶轮，在分子泵内旋转，一体化的叶轮设计在分子泵内，具有涡轮分子泵分子流时抽速大和牵引泵高压强时抽速大压缩比高的特点，扩大了分子泵的应用范围。

Description

一种大口径整体叶轮复合分子泵
技术领域
本发明涉及分子泵技术领域，具体为一种大口径整体叶轮复合分子泵。
背景技术
分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。现在行业内大口径分子泵主要是把单片涡轮叶片逐个通过螺钉紧固连接到转动芯轴上面，该中分子泵大多是由单片涡轮叶片组成，这样叶轮由于是单片叠加导致不平衡量比较大，在运转过程中没那么平稳，会产生共振。因此我们对此做出改进，提出一种大口径整体叶轮复合分子泵。
发明内容
为了解决上述技术问题，本发明提供了如下的技术方案：
本发明一种大口径整体叶轮复合分子泵，包括分子泵主体，所述分子泵主体包括上泵壳和下泵壳，所述上泵壳设置在下泵壳的正上方，所述上泵壳上远离下泵壳的一端安装有进气口法兰，所述下泵壳内中部安装有电机壳，所述电机壳内设置有叶轮，所述电机壳内安装有电机，所述电机的输出端固定连接有主轴，所述主轴贯穿叶轮的中部，并固定连接在叶轮上，所述下泵壳内连接有排气通道，所述排气通道的一端贯穿下泵壳的侧壁，并连通外侧。
作为本发明的一种优选技术方案，所述叶轮的中部开设有安装槽，所述安装槽的底部开设有贯穿孔，并延伸至叶轮的底部，所述主轴穿过贯穿孔，并通过定位螺栓固定连接在安装槽内。
作为本发明的一种优选技术方案，所述电机壳内的上下两端分别安装有上轴承和下轴承，所述主轴的贯穿上轴承和下轴承，并分别与上轴承和下轴承转动连接。
作为本发明的一种优选技术方案，所述下泵壳的底部安装有油池，所述下泵壳的底部安装有多个相互对称的地脚。
作为本发明的一种优选技术方案，所述上泵壳与下泵壳之间通过多个螺栓连接，所述螺栓等距离设置在上泵壳与下泵壳的表面。
作为本发明的一种优选技术方案，所述叶轮包括中轴，所述中轴的表面连接有多个整机动片，所述中轴与整机动片为一体化结构。
作为本发明的一种优选技术方案，所述上泵壳的内壁上安装有多个整体静片，所述整体静片与整机动片相匹配设置，每一个所述整体静片分别活动设置在两个整机动片之间，所述上泵壳的顶部开设有开口，所述上泵壳的内壁上安装有隔离环。
作为本发明的一种优选技术方案，所述下泵壳的底部一侧安装有排气口连接法兰，所述排气口连接法兰安装在排气通道的表面，所述下泵壳的另一侧连接有电源接头，所述电源接头贯穿下泵壳，并电性连接在电机上，所述下泵壳的内壁底部安装有弧线盘，所述弧线盘与叶轮底部的整机动片交错设置。
本发明的有益效果是：
1、该种大口径整体叶轮复合分子泵，通过设置一体化的叶轮，在分子泵内旋转，一体化的叶轮设计在分子泵内，具有涡轮分子泵分子流时抽速大和牵引泵高压强时抽速大压缩比高的特点，扩大了分子泵的应用范围；
2、该种大口径整体叶轮复合分子泵，通过设置隔离环和弧线盘，不仅对气体起到导流的作用，而且还能够提高涡轮分子泵的压缩比，从而提高分子泵的应用前景。
附图说明
附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。在附图中：
图1是本发明一种大口径整体叶轮复合分子泵的立体图；
图2是本发明一种大口径整体叶轮复合分子泵的结构示意图；
图3是本发明图2中A处放大图。
图中：1、分子泵主体；2、上泵壳；3、下泵壳；4、进气口法兰；5、叶轮；6、整体静片；7、隔离环；8、弧线盘；9、电机壳；10、电机；11、主轴；12、排气口连接法兰；13、油池；14、地脚；15、下轴承；16、上轴承。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本发明，并不用于限定本发明。
实施例：如图1-3所示，本发明一种大口径整体叶轮复合分子泵，包括分子泵主体1，分子泵主体1包括上泵壳2和下泵壳3，上泵壳2设置在下泵壳3的正上方，上泵壳2上远离下泵壳3的一端安装有进气口法兰4，下泵壳3内中部安装有电机壳9，电机壳9内设置有叶轮5，电机壳9内安装有电机10，电机10的输出端固定连接有主轴11，主轴11贯穿叶轮5的中部，并固定连接在叶轮5上，下泵壳3内连接有排气通道，排气通道的一端贯穿下泵壳3的侧壁，并连通外侧。
其中，叶轮5的中部开设有安装槽，安装槽的底部开设有贯穿孔，并延伸至叶轮5的底部，主轴11穿过贯穿孔，并通过定位螺栓固定连接在安装槽内。
其中，电机壳9内的上下两端分别安装有上轴承16和下轴承15，主轴11的贯穿上轴承16和下轴承15，并分别与上轴承16和下轴承15转动连接。
其中，下泵壳3的底部安装有油池13，下泵壳3的底部安装有多个相互对称的地脚14。
其中，上泵壳2与下泵壳3之间通过多个螺栓连接，螺栓等距离设置在上泵壳2与下泵壳3的表面。
其中，叶轮5包括中轴，中轴的表面连接有多个整机动片，中轴与整机动片为一体化结构。
其中，上泵壳2的内壁上安装有多个整体静片6，整体静片6与整机动片相匹配设置，每一个整体静片6分别活动设置在两个整机动片之间，上泵壳2的顶部开设有开口，上泵壳2的内壁上安装有隔离环7。
其中，下泵壳3的底部一侧安装有排气口连接法兰12，排气口连接法兰12安装在排气通道的表面，下泵壳3的另一侧连接有电源接头，电源接头贯穿下泵壳3，并电性连接在电机10上，下泵壳3的内壁底部安装有弧线盘8，弧线盘8与叶轮5底部的整机动片交错设置。
工作原理：叶轮5在分子泵主体1内旋转的时候，气体从上泵壳2的顶部吸入，通过叶轮5与上泵壳2以及下泵壳3内部结构之间的间隙，吸入空气，空气沿间隙导流，最后又排气通道排出，排气口连接法兰12可用于在排气口处连接排气设备，通过设置一体化的叶轮，在分子泵内旋转，一体化的叶轮5设计在分子泵内，具有涡轮分子泵分子流时抽速大和牵引泵高压强时抽速大压缩比高的特点，扩大了分子泵的应用范围，通过设置隔离环7和弧线盘8，不仅对气体起到导流的作用，而且还能够提高涡轮分子泵的压缩比，从而提高分子泵的应用前景，本发明抽速对氮气大于等于4200升每秒，振动值小于0.1UM，整机漏率小于1*10-10帕立方米每秒。
最后应说明的是：在本发明的描述中，需要说明的是，术语“竖直”、“上”、“下”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
在本发明的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种大口径整体叶轮复合分子泵，包括分子泵主体(1)，其特征在于，所述分子泵主体(1)包括上泵壳(2)和下泵壳(3)，所述上泵壳(2)设置在下泵壳(3)的正上方，所述上泵壳(2)上远离下泵壳(3)的一端安装有进气口法兰(4)，所述下泵壳(3)内中部安装有电机壳(9)，所述电机壳(9)内设置有叶轮(5)，所述电机壳(9)内安装有电机(10)，所述电机(10)的输出端固定连接有主轴(11)，所述主轴(11)贯穿叶轮(5)的中部，并固定连接在叶轮(5)上，所述下泵壳(3)内连接有排气通道，所述排气通道的一端贯穿下泵壳(3)的侧壁，并连通外侧。
2.根据权利要求1所述的一种大口径整体叶轮复合分子泵，其特征在于，所述叶轮(5)的中部开设有安装槽，所述安装槽的底部开设有贯穿孔，并延伸至叶轮(5)的底部，所述主轴(11)穿过贯穿孔，并通过定位螺栓固定连接在安装槽内。
3.根据权利要求1所述的一种大口径整体叶轮复合分子泵，其特征在于，所述电机壳(9)内的上下两端分别安装有上轴承(16)和下轴承(15)，所述主轴(11)的贯穿上轴承(16)和下轴承(15)，并分别与上轴承(16)和下轴承(15)转动连接。
4.根据权利要求1所述的一种大口径整体叶轮复合分子泵，其特征在于，所述下泵壳(3)的底部安装有油池(13)，所述下泵壳(3)的底部安装有多个相互对称的地脚(14)。
5.根据权利要求1所述的一种大口径整体叶轮复合分子泵，其特征在于，所述上泵壳(2)与下泵壳(3)之间通过多个螺栓连接，所述螺栓等距离设置在上泵壳(2)与下泵壳(3)的表面。
6.根据权利要求1所述的一种大口径整体叶轮复合分子泵，其特征在于，所述叶轮(5)包括中轴，所述中轴的表面连接有多个整机动片，所述中轴与整机动片为一体化结构。
7.根据权利要求1所述的一种大口径整体叶轮复合分子泵，其特征在于，所述上泵壳(2)的内壁上安装有多个整体静片(6)，所述整体静片(6)与整机动片相匹配设置，每一个所述整体静片(6)分别活动设置在两个整机动片之间，所述上泵壳(2)的顶部开设有开口，所述上泵壳(2)的内壁上安装有隔离环(7)。
8.根据权利要求6所述的一种大口径整体叶轮复合分子泵，其特征在于，所述下泵壳(3)的底部一侧安装有排气口连接法兰(12)，所述排气口连接法兰(12)安装在排气通道的表面，所述下泵壳(3)的另一侧连接有电源接头，所述电源接头贯穿下泵壳(3)，并电性连接在电机(10)上，所述下泵壳(3)的内壁底部安装有弧线盘(8)，所述弧线盘(8)与叶轮(5)底部的整机动片交错设置。
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